JP2003503227A - マイクロ機械装置の熱屈曲アクチュエータ - Google Patents

マイクロ機械装置の熱屈曲アクチュエータ

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    • B41J2/01—Ink jet
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  • Micromachines (AREA)
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  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Ink Jet (AREA)
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  • Input Circuits Of Receivers And Coupling Of Receivers And Audio Equipment (AREA)
  • Tires In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】 熱屈曲アクチュエータ（２８）は、ロッド要素（１０２）を介して接続された二つの間隔を空けて位置するアーム（３１，３２）を有している。ロッド要素（１０２）は、ねじり棒（１１０，１１２，１１４，１１６，１１８）を介して互いに接続されている。一本のアーム（３２）を導電的に加熱して、電流を流すことによりアクチュエータ（２８）を屈曲させることができる。ロッド要素（１０２）とねじり棒（１１０，１１２，１１４，１１６，１１８）は、アクチュエータ（２８）の不適切な動作を引き起こす可能性のある不本意な屈曲状態が起きる可能性を低減する。アクチュエータ（２８）は、インクジェット装置のノズル室のなかのインク移動パドルを移動させるために使用することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロ電気機械（ＭＥＭ、micro electro-mechanical、マイクト
メカトロンクス）装置の熱屈曲アクチュエータに関する。本発明は、マイクロ電
気機械システム（ＭＥＭＳ）に適用可能な技術を組み込むことによって作製する
タイプのインジェクションノズルや、相補形金属酸化膜半導体（“ＣＭＯＳ”）
を組み込んだ回路などに適用でき、また、本発明はその適用方法の内容において
説明する。しかし、本発明は、他のタイプのＭＥＭ装置における熱屈曲アクチュ
エータに対しより広く適用できることも理解できよう。 （同時係属出願） 本発明に関連し、さまざまな方法、システム、および装置が、本発明の出願と
同時に本発明の出願人または譲受人によって提出された以下に示す同時出願中の
出願書類に開示されている。 PCT/AU00/00518, PCT/AU00/00519, PCT/AU00/00520, PCT/AU00/00521, PCT/AU00
/00522, PCT/AU00/00523, PCT/AU00/00524, PCT/AU00/00525, PCT/AU00/00526,
PCT/AU00/00527, PCT/AU00/00528, PCT/AU00/00529, PCT/AU00/00530, PCT/AU00
/00531, PCT/AU00/00532, PCT/AU00/00533, PCT/AU00/00534, PCT/AU00/00535,
PCT/AU00/00536, PCT/AU00/00537, PCT/AU00/00538, PCT/AU00/00539, PCT/AU00
/00540, PCT/AU00/00541, PCT/AU00/00542, PCT/AU00/00543, PCT/AU00/00544,
PCT/AU00/00545, PCT/AU00/00547, PCT/AU00/00546, PCT/AU00/00554, PCT/AU00
/00556, PCT/AU00/00557, PCT/AU00/00558, PCT/AU00/00559, PCT/AU00/00560,
PCT/AU00/00561, PCT/AU00/00562, PCT/AU00/00563, PCT/AU00/00564, PCT/AU00
/00565, PCT/AU00/00566, PCT/AU00/00567, PCT/AU00/00568, PCT/AU00/00569,
PCT/AU00/00570, PCT/AU00/00571, PCT/AU00/00572, PCT/AU00/00573, PCT/AU00
/00574, PCT/AU00/00575, PCT/AU00/00576, PCT/AU00/00577, PCT/AU00/00578,
PCT/AU00/00579, PCT/AU00/00581, PCT/AU00/00580, PCT/AU00/00582, PCT/AU00
/00587, PCT/AU00/00588, PCT/AU00/00589, PCT/AU00/00583, PCT/AU00/00593,
PCT/AU00/00590, PCT/AU00/00591, PCT/AU00/00592, PCT/AU00/00584, PCT/AU00
/00585, PCT/AU00/00586, PCT/AU00/00594, PCT/AU00/00595, PCT/AU00/00596,
PCT/AU00/00597, PCT/AU00/00598, PCT/AU00/00516, PCT/AU00/00517, PCT/AU00
/00511, PCT/AU00/00501, PCT/AU00/00502, PCT/AU00/00503, PCT/AU00/00504,
PCT/AU00/00505, PCT/AU00/00506, PCT/AU00/00507, PCT/AU00/00508, PCT/AU00
/00509, PCT/AU00/00510, PCT/AU00/00512, PCT/AU00/00513, PCT/AU00/00514,
PCT/AU00/00515 これら同時出願中の出願書類の開示は、本書内で相互参照として引用している
。
【０００２】
【従来の技術】
高速ページ幅インクジェットプリンタは、本発明の出願人により、最近開発さ
れた。これは、典型的には約５１，２００のインクジェットノズルを採用してＡ
４サイズの用紙を印刷し、１，６００ｄｐｉで写真レベルの品質の画像印刷を行
うものである。このノズル密度を実現するため、ノズルは、一体型ＭＥＭＳ−Ｃ
ＭＯＳ技術によって作製し、これに関連して、本出願人が提出した、“熱アクチ
ュエータ”と題する国際特許出願Ｎｏ．ＰＣＴ／ＡＵ００／００３３８を参照さ
れたい。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
これらの高速ページ幅インクジェットプリンタは、起動アームを部分的に電気
抵抗材料から形成することによって、またアームに電流を通してアームを移動さ
せることによって熱屈曲アクチェータのアームを基板に対して移動させて、用紙
上に画像を作成する。アームは、アームが移動するとパドルが移動し、インクの
滴を用紙上に吐出するようにパドルと接続してある。インクの滴を吐出するため
、ノズル穴を有するノズルチャンバまでパドルを延在させ、パドルの動きによっ
て滴がノズル穴から吐出されるように構成してある。起動アームは、一端が固定
され、電流がアームに流れると、アームが曲がることによってパドルを移動し、
ノズル穴から滴を吐出する。パドルを適切に移動させて滴を吐出させるため、起
動アームは上方向に曲がり、一般的にアームの固定側端部を中心として旋回しな
ければならない。アームの屈曲はアームに電流を流し、アームの長手の部分をア
ームの別の部分に対してさせることによって行う。起動アームを適切に曲げるた
めには、ノズルチャンバからの滴の吐出に影響する可能性のある不適切なパドル
の動作を引き起こす可能性のあるアームの屈曲状態を制御しなければならない。
例えば、アームの一方を他方より長くすることによってアームを必要に応じて上
方向に曲げるのではなく、おおむね皿型形状を形成するように両側を巻き上げる
か、正弦波形状や他の湾曲形状に曲げる。これらの屈曲状態は、上述のように、
ノズルチャンバからの滴の吐出状態に影響を与えうる、不適切なパドルの動作に
つながる可能性がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の特徴は、第１のアクチュエータ部と； 第１のアクチュエータ部から間隔を空けて位置し、導電的に加熱して熱屈曲ア
クチュエータを屈曲させる第２のアクチュエータ部と； 第１と第２の部分を相互接続する第１の接続部材と； 第１と第２の部分を相互接続する第２の接続部材と； 第１と第２の接続部材に連結され第１と第２の接続部材を相互接続するねじり
部材とを備えたマイクロ電気機械装置用の熱屈曲アクチュエータを提供している
。
【０００５】 よって、本発明のこの特徴によると、アクチェータ部と、接続部を相互接続す
るねじり部材を相互接続する接続部を設けることにより、熱屈曲アクチュエータ
の加熱時に起こりやすい屈曲状態を減じてアクチュエータを希望の状態に従って
屈曲させて熱屈曲アクチュエータを適切に動かすようにする。
【０００６】 本発明は、さらに、 流体を収容する流体チャンバと； チャンバから流体を吐出するための、チャンバ内に設けられた吐出口と； チャンバから吐出口の穴を通して流体を分配するための熱屈曲アクチュエータ
であって、 第１のアクチュエータ部と； 第１のアクチュエータ部から間隔を空けて位置し、導電的に加熱して熱屈曲ア
クチュエータを屈曲させる第２のアクチュエータ部と； 第１と第２の部分を相互接続する第１の接続部材と； 第１と第２の部分を相互接続する第２の接続部材と； 第１と第２の接続部材に連結され第１と第２の接続部材を相互接続するねじり
部材とを備えた、熱屈曲アクチュエータを備えてなるマイクロ電気機械装置にあ
ると言える。
【０００７】 好ましくは、各アクチュエータ部は、少なくとも二つの間隔を空けて位置する
フィンガと、第１と第２のアクチュエータ部の第１のフィンガを相互接続する前
記第１の接続部材と、第１と第２のアクチュエータ部の第２のフィンガを相互接
続する第２の接続部材とを有する。
【０００８】 好ましくは、各フィンガには、タブが設けてあり、それぞれの接続部材が各フ
ィンガのタブに連結してある。
【０００９】 好ましくは、各フィンガは、第１の縁部と、第２の縁部とを有し、複数のタブ
が各フィンガの第１の縁部と第２の縁部の上に設けられており、接続部材が第１
のアクチュエータ部のフィンガ上のそれぞれのタブと、第２のアクチュエータ部
のフィンガ上のそれぞれのタブとの間に延在している。
【００１０】 好ましくは、接続部材は、一方のアクチュエータ部のタブを通って延在してお
り、前記一方のアクチュエータ部から間隔を空けて位置する両端を有し、前記ね
じり部材は、接続部材のそれぞれの対の両端を相互接続している。
【００１１】 好ましくは、接続部材が接続ロッドを備えている。
【００１２】 好ましくは、ねじり部材がねじり棒を備えている。
【００１３】 好ましくは、熱アクチュエータは、チャンバ内に位置するとともに熱アクチュ
エータが屈曲するとチャンバからノズル穴を通して液体の滴を吐出するするパド
ルを備えている。
【００１４】 好ましくは、チャンバは上壁を有し、ねじり部材はチャンバの上壁と同時に蒸
着によって形成される。
【００１５】 好ましくは、まず、アクチュエータ部の一方に設けられたタブに開口を形成し
、材料を開口を介して第１もしくは第２のアクチュエータ部の他方に設けられた
タブに蒸着させて、アクチュエータ部を相互接続することによる蒸着によってね
じり部材を形成し、材料を蒸着させて接続部材を形成することにより、接続部材
がチャンバの上壁と実質的に同一の高さに自由端を有する。
【００１６】 好ましくは、接続部材は、熱屈曲アクチュエータの中間端部に設けられる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の好ましい実施の形態について、添付の図面を見ながら例を挙げて説明
する。 図１および他の関連図面に約３０００倍の拡大図で示すように、単一のインク
ジェットノズル装置１がＭＥＭＳおよびＣＭＯＳ技術を統合することによって作
製するチップの一部として示されている。完成したノズル装置は、シリコン基板
２０を有する支持構造体と、金属酸化膜半導体層（metal oxide semiconductor
layer）２１と、表面安定化処理層（passivation layer）２２、および非腐食性
誘電被覆／チャンバ形成層（non-corrosive dielectric coating/chamber defin
ing layer）２９を備えている。上述した国際特許出願Ｎｏ．ＰＣＴ／ＡＵ００
／００３３８のノズル装置の作製についての開示を参照されたい。装置の操作は
、同出願人による“マイクロ電気機械装置の動作センサ” （ＭＪ１２）と題し
た同時出願の出願書類に詳しく開示してある。これら二つの出願の内容について
は、本明細書内で引用している。
【００１８】 ノズル装置には、インクの供給源（図示せず）に接続してあるインクチャンバ
２４が組み込まれている。層２９は、後に説明するように他の部品のうち、チャ
ンバ２４内のインク２５から滴を吐出するためのノズル穴１３を有するチャンバ
の壁２３を形成している。図１に最もわかりやすく示すように、壁２３の形状は
おおむね円筒形であり、その円筒形の壁２３の略中間に穴１３を設けてある。壁
２３は、壁２３の周囲の一部を形成する一部円形凹型縁部を有する。
【００１９】 図３に最もわかりやすく示すように、チャンバ２４は、また、周側壁２３ａ、
下側壁２３ｂ、基礎壁（図示せず）、および基板２０の縁部３９によって形成さ
れている。起動アーム２８（図３に略図として、また図４〜６に詳細に示す）が
層２２上に形成されており、支持部２３ｃが起動アーム２８の一端に形成されて
いる。
【００２０】 起動アーム２８は、装置の作製中に蒸着され、基板２０と支持体２３ｃに対し
て旋回可能である。起動アーム２８は、上側アーム部と下側アーム部３１および
３２を備えている。アーム２８の下側部分３２はＣＭＯＳ層２１との電気接触部
であり、電流を部分３２に供給し、アーム２８を、熱屈曲によって図２に示す位
置から図３に示す位置まで移動させ、滴Ｄを穴１３から吐出し、用紙（図示せず
）上に定着させる。よって、層２２は、前記同時出願中の出願書類に説明するよ
うに、図に示すノズルを操作する他の回路とともに部分３２に電流を供給するた
めの電力供給回路を有している。
【００２１】 ブロック８が、アクチュエータのアーム２８上に取り付けられている。アクチ
ュエータ２８は、チャンバ２４内に配置されているとともに図１および３に示す
ようなアクチュエータとともに移動して滴Ｄを吐出することができるパドル２７
を有している。
【００２２】 周壁２３ａ、チャンバ壁２３、ブロック８、および支持部２３ｃはすべて、層
２９を形成する材料を蒸着し、犠牲材料をエッチングして、チャンバ２４、ノズ
ル穴１３、別個のブロック８、およびブロック８と支持部２３ｃとの間の間隔を
成形することによって形成されている。下側壁部２３ｂは、基板２０との蒸着中
にも形成される。
【００２３】 ブロック８は、周壁１０を有するおおむねＴ字型部分５０（平面図で見た場合
）を有している。チャンバ２４の上側壁２３は、壁２３の縁部５２によって形成
されたおおむねＴ字型溝穴６０を有しており、ブロック８のＴ字型部分５０を受
容する。アクチュエータ２８は、チャンバ２４内に配置されるとともに図１およ
び３に示すようにアクチュエータとともに移動して滴Ｄを吐出することができる
パドル２７を有している。
【００２４】 層２２の端縁２２ａと、壁２３の縁部５０の間の間隔は、アクチュエータ２８
が図１および２に示すような休止または静止状態にあるときにブロック８のＴ字
型部分５０によって略全体を閉鎖されるアクチュエータ穴５４を形成している。
図１および２に示す静止位置では、部分５０の壁１０は、１ミクロン未満の距離
だけ縁部５２から離れ、縁部５７と壁１０の間に微細な溝穴を形成している。
【００２５】 アクチュエータのアーム２８が上下動してチャンバ２４から滴Ｄが吐出される
と、ブロック８と壁１０は、壁２３の縁５２からわずかに離れた間隔を保ちなが
ら壁２３の溝穴６０の縁部５２に対して上下動する。壁１０が縁５２に対して上
下動すると、壁１０と縁５２との近さから、メニスカス（meniscus、半月形、新
月形）Ｍが壁１０と縁部５２の間に形成される。メニスカスＭの維持により、縁
５２と壁１０の間が密封され、よってチャンバ２４からのインクの漏れや灯心現
象が起きる可能性が減る。また、メニスカスＭ２が層２２上に形成された支持フ
ランジ５６とブロック８が形成されているアクチュエータ２８の部分５８との間
にも形成されている。静止位置にあるときには、部分５８はフランジ５４上に位
置する。メニスカスＭ２の形成によっても、起動アーム２８とパドル２７の動作
中のインクの漏れや灯心現象（wicking、ウィッキング）が起きる可能性が減る
。メニスカス（図示せず）は、アクチュエータのアパーチャ５４の側面（図示せ
ず）と、アパーチャ５４を形成する壁２３ａの縁（図示せず）との間にも形成さ
れる。
【００２６】 図３に示すように、縁部１０にリップ８０を設け、また、壁９にもリップ８２
を設けることにより、チャンバ２４からブロック８上もしくは壁２３の上面への
インクの灯心現象の可能性をさらに減らすように構成してもよい。リップ８０は
壁２３の周囲に全体にわたって延在していてもよく、また、類似したリップをア
パーチャ１３上に設けることもできる。
【００２７】 図４から６には、熱屈曲アクチュエータ２８が詳細に示されている。解かりや
すいように、また、図６にアクチュエータアーム２８をできるだけ詳細に示すた
め、図６にはブロック８と支持部２３ｃは示していない。
【００２８】 アクチュエータのアームは、前に述べた下側アーム３２と上側アーム３１とを
有している。図４に最も解かりやすく示すように、下側アーム３２と上側アーム
３１は、両方とも基部８４で結合された第１のフィンガ８０と第２のフィンガ８
２を備えている。フィンガ８０と８２の、基部８４から離れた側の端部は、図３
に示すように、アーム２８が支持構造体２３ｃに対して旋回できるように支持構
造体２３ｃに固定されている。フィンガ８０と８２は、それぞれ側縁８０ａ，８
０ｂ，８２ａ，８２ｂを有している。側縁８０ａ，８０ｂ，８２ａ，８２ｂはそ
れぞれ一体型タブまたは止め金８８，９０，９２，９４を有している。図４に示
すように、側縁８０ａ，８０ｂ，８２ａ，８２ｂそれぞれに同様な５つのタブが
設けられている。
【００２９】 アーム３１上のタブは、アーム３１が蒸着されるときにアーム３１の残りの部
分と一体型に形成される。下側アーム３２は上述のようにアーム３１と同一であ
り、図２，３，５，および６に明確に示すように上側アーム３１の下に配置され
ている。
【００３０】 上側アーム３１のタブ８８，９０，９２，および９４には、円形穴１００が設
けられている。穴１００は、タブ８８〜９４内に犠牲材料をマスキングおよび蒸
着し、その犠牲材料をエッチングで取り除き、タブ８８から９２を貫通する穴１
００を残すことによって形成される。ロッド１０２は、下側アーム３２上のタブ
８８〜９２（図示せず）から上側アーム３１のタブ８８〜９２の穴１００を通っ
て延在するように蒸着される。ロッド１０２は、アーム２８が図１および２に示
す静止位置にあるときにチャンバ２４の上側壁２３と略同じ高さにくる自由端１
０４を有している。よって、アーム３２上のタブ９２は、アーム３２上のタブの
すぐ上にあるアーム３１上のタブ９２と相互接続される。アーム３１および３２
それぞれの各タブ８８，９０，９２，および９４はロッド１０２によって同様に
接続されている。
【００３１】 従って、図４から６を見ると明らかであるが、５組のロッド１０２は、それぞ
れ、図４にＬ１からＬ５の符号で示す線で示すように、一直線に並んだ４個ずつ
のロッド１０２を含む組になっている。線Ｌ１のポスト１０２は、ねじりロッド
（torsion rod）１１０によってその自由端１０４を互いに接続されている。線
Ｌ２のポストは、ねじりロッド１１２によって互いに接続されている。線Ｌ３の
ポストは、ねじりロッド１１４によって互いに接続されている。線Ｌ４のポスト
は、ねじりロッド１１６によって互いに接続され、線Ｌ５のポストはねじりロッ
ド１１８によって互いに接続されている。ねじりロッド１１０〜１１８は、上壁
２３、ブロック８、および支持構造体２３ｃが形成される層２９と同時に蒸着す
ることができる。よって、ねじり棒１１０から１１８は、フィンガ８２および８
０の側面を相互接続し、側縁が上方向に巻き上がったり、尖突したりしないよう
に防ぐことにより、電流をアーム３２に流すと、アクチュエータのアームが皿型
または谷形形状となるようにする。ねじり棒１１０から１１８により、操作中の
熱屈曲アクチュエータの尖突の可能性を減じるとともに、アクチュエータのアー
ム３２の加熱時に起こりうる屈曲状態の数を減じることができる。これにより、
アームを図３に示す様にのみ屈曲させ、パドルが適切に移動し、ノズルアパーチ
ャ１３から滴Ｄを適切に吐出することができるようになる。
【００３２】 また、フィンガ８０ａから８２ｂの各縁上に５本のポストを設けることにより
、アームが正弦波または波形状に屈曲する可能性を確実になくすことができる。
従って、ねじりロッド１１０から１１８は、アーム３１と３２の二つの縁を、特
にフィンガ８８から９４の側縁を互いに結ぶことによってアクチュエータのアー
ムの尖突またはたわみを防ぎ、フィンガ８０および８２の中間端部の縁８０ａか
ら８０ｂに沿って配置された複数のポスト１０２により、アームが正弦波または
波形状に屈曲する可能性を減じることによって、起こりうる屈曲の状態をさらに
減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 プリンタのインクジェットノズルにおける本発明の一実施形態の平面図である
。
【図２】 図１の線２−２に沿って切った断面図である。
【図３】 さらに詳しく、かつ、装置が起動限界位置にある状態を示した図２に類似した
断面図であり、ノズルから滴が吐出されているところを示している。
【図４】 図２の線４−４に沿って切った図である。
【図５】 図１の線５−５に沿って切った図である。
【図６】 好ましい実施形態による、熱屈曲アクチュエータの斜視図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ， ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ， ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，Ｃ Ｈ，ＣＮ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ， ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，Ｋ Ｇ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ， ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，Ｓ Ｄ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ， ＺＡ，ＺＷ

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 マイクロ電気機械装置用の熱屈曲アクチュエータであって、 第１のアクチュエータ部と； 第１のアクチュエータ部から間隔を空けて位置し、導電的に加熱されて熱屈曲
    アクチュエータを屈曲させる第２のアクチュエータ部と； 第１と第２の部分を相互接続する第１の接続部材と； 第１と第２の部分を相互接続する第２の接続部材と； 第１と第２の接続部材に連結され第１と第２の接続部材を相互接続するねじり
    部材と を備えた前記アクチュエータ。
  2. 【請求項２】 各アクチュエータ部は、少なくとも二つの間隔を空けて位置するフィンガと、
    第１と第２のアクチュエータ部の第１のフィンガを相互接続する前記第１の接続
    部材と、第１と第２のアクチュエータ部の第２のフィンガを相互接続する第２の
    接続部材とを有することを特徴とする、請求項１に記載のアクチュエータ。
  3. 【請求項３】 各フィンガには、タブが設けてあり、それぞれの接続部材が各フィンガのタブ
    に連結してあることを特徴とする、請求項２に記載のアクチュエータ。
  4. 【請求項４】 各フィンガは、第１の縁部と、第２の縁部とを有し、複数のタブが各フィンガ
    の第１の縁部と第２の縁部の上に設けられており、接続部材が第１のアクチュエ
    ータ部のフィンガ上のそれぞれのタブと、第２のアクチュエータ部のフィンガ上
    のそれぞれのタブとの間に延在していることを特徴とする、請求項３に記載のア
    クチュエータ。
  5. 【請求項５】 接続部材は、一方のアクチュエータ部のタブを通って延在しており、前記一方
    のアクチュエータ部から間隔を空けて位置する両端を有し、前記ねじり部材は、
    接続部材のそれぞれの対の両端を相互接続していることを特徴とする、請求項４
    に記載のアクチュエータ。
  6. 【請求項６】 接続部材が接続ロッドを備えていることを特徴とする、請求項１に記載のアク
    チュエータ。
  7. 【請求項７】 ねじり部材がねじり棒を備えていることを特徴とする、請求項１に記載のアク
    チュエータ。
  8. 【請求項８】 流体を収容する流体チャンバと； チャンバから流体を吐出するための、チャンバ内に設けられた吐出口と； チャンバから吐出口の穴を通して流体を分配するための熱屈曲アクチュエータ
    であって、 第１のアクチュエータ部と； 第１のアクチュエータ部から間隔を空けて位置し、導電的に加熱されて熱屈
    曲アクチュエータを屈曲させる第２のアクチュエータ部と； 第１と第２の部分を相互接続する第１の接続部材と； 第１と第２の部分を相互接続する第２の接続部材と； 第１と第２の接続部材に連結され第１と第２の接続部材を相互接続するねじ
    り部材とを有する前記熱屈曲アクチュエータと を備えたマイクロ電気機械装置。
  9. 【請求項９】 各アクチュエータ部は、少なくとも二つの間隔を空けて位置するフィンガと、
    第１と第２のアクチュエータ部の第１のフィンガを相互接続する前記第１の接続
    部材と、第１と第２のアクチュエータ部の第２のフィンガを相互接続する第２の
    接続部材とを有することを特徴とする、請求項８に記載の装置。
  10. 【請求項１０】 各フィンガには、タブが設けてあり、それぞれの接続部材が各フィンガのタブ
    に連結してあることを特徴とする、請求項９に記載の装置。
  11. 【請求項１１】 各フィンガは、第１の縁部と、第２の縁部とを有し、複数のタブが各フィンガ
    の第１の縁部と第２の縁部の上に設けられており、接続部材が第１のアクチュエ
    ータ部のフィンガ上のそれぞれのタブと、第２のアクチュエータ部のフィンガ上
    のそれぞれのタブとの間に延在していることを特徴とする、請求項１０に記載の
    装置。
  12. 【請求項１２】 接続部材は、一方のアクチュエータ部のタブを通って延在しており、前記一方
    のアクチュエータ部から間隔を空けて位置する両端を有し、前記ねじり部材は、
    接続部材のそれぞれの対の両端を相互接続していることを特徴とする、請求項１
    １に記載の装置。
  13. 【請求項１３】 接続部材が接続ロッドを備えていることを特徴とする、請求項８に記載の装置
    。
  14. 【請求項１４】 ねじり部材がねじり棒を備えていることを特徴とする、請求項８に記載の装置
    。
  15. 【請求項１５】 熱アクチュエータは、チャンバ内に位置するとともに熱アクチュエータが屈曲
    するとチャンバからノズル穴を通して液体の滴を吐出するパドルを備えているこ
    とを特徴とする、請求項８に記載の装置。
  16. 【請求項１６】 チャンバは上壁を有し、ねじり部材はチャンバの上壁と同時に蒸着によって形
    成されることを特徴とする、請求項８に記載の装置。
  17. 【請求項１７】 接続部材は、まず、アクチュエータ部の一方に設けられたタブに開口を形成し
    、材料を開口からアクチュエータ部を相互接続するように第１もしくは第２のア
    クチュエータ部の他方に関連するタブに蒸着させることによって形成され、材料
    を蒸着させて接続部材を形成することにより、接続部材がチャンバの上壁と実質
    的に同一の高さに自由端を有することを特徴とする、請求項１２に記載の装置。
  18. 【請求項１８】 接続部材は、熱屈曲アクチュエータの中間端部に設けられることを特徴とする
    、請求項８に記載の装置。
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