JP2003346693A - 試料台および試料観察方法 - Google Patents
試料台および試料観察方法Info
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- JP2003346693A JP2003346693A JP2002147298A JP2002147298A JP2003346693A JP 2003346693 A JP2003346693 A JP 2003346693A JP 2002147298 A JP2002147298 A JP 2002147298A JP 2002147298 A JP2002147298 A JP 2002147298A JP 2003346693 A JP2003346693 A JP 2003346693A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子顕微鏡用試料台において、試料の隣接す
る２面が１回の試料載置で観察できるような試料台と、
その観察方法を提供する。 【解決手段】 試料を固定し観察する電子顕微鏡用試料
台において、前記試料を載置する試料台の主表面に１箇
所以上の溝を設け、溝の底のなす角度が９０度であるこ
とを特徴とし、電子顕微鏡を用いて試料を観察する際
に、電子顕微鏡用試料台の主表面に１箇所以上の溝を設
けて試料を載置し、該試料台を傾斜することにより、前
記試料を一度載置した状態で９０度以上異なる角度から
観察する試料観察方法である。
る２面が１回の試料載置で観察できるような試料台と、
その観察方法を提供する。 【解決手段】 試料を固定し観察する電子顕微鏡用試料
台において、前記試料を載置する試料台の主表面に１箇
所以上の溝を設け、溝の底のなす角度が９０度であるこ
とを特徴とし、電子顕微鏡を用いて試料を観察する際
に、電子顕微鏡用試料台の主表面に１箇所以上の溝を設
けて試料を載置し、該試料台を傾斜することにより、前
記試料を一度載置した状態で９０度以上異なる角度から
観察する試料観察方法である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、走査型電子顕微鏡
の試料台および試料の観察方法に関するものである。
の試料台および試料の観察方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、走査型電子顕微鏡で試料を観察す
る場合には、観察したい試料面の対面側を導電性ペ−ス
トや導電性テ−プ等によって試料台に接着固定した後、
試料台を走査型電子顕微鏡のステ−ジに設置し、真空中
において観察を行っていた。図３は、走査型電子顕微鏡
で従来の試料台４を用いて、試料５を観察した場合の概
略模式図である。従来の試料台４では、図３（ａ）に示
すように、観察したい面が試料５の一表面である時は、
問題を生じないが、試料５のほぼ９０度程度異なる隣接
する他の面に関しても直上から観察しようとすると、図
３（ｂ）に示すように、試料５もしくは試料台４が電子
光学系６に接触してしまい、観察ができないという問題
があった。
る場合には、観察したい試料面の対面側を導電性ペ−ス
トや導電性テ−プ等によって試料台に接着固定した後、
試料台を走査型電子顕微鏡のステ−ジに設置し、真空中
において観察を行っていた。図３は、走査型電子顕微鏡
で従来の試料台４を用いて、試料５を観察した場合の概
略模式図である。従来の試料台４では、図３（ａ）に示
すように、観察したい面が試料５の一表面である時は、
問題を生じないが、試料５のほぼ９０度程度異なる隣接
する他の面に関しても直上から観察しようとすると、図
３（ｂ）に示すように、試料５もしくは試料台４が電子
光学系６に接触してしまい、観察ができないという問題
があった。
【０００３】そのため、試料５の隣接する２つの面を観
察するには、試料台４を設置した走査型電子顕微鏡のス
テ−ジを傾斜させる機構を使ったとしても、観察したい
それぞれの面を走査型電子顕微鏡の光学系６に向けた試
料を２つ用意するか、もしくは、試料５の一面を観察し
た後、一度試料５を装置から出し、改めて再載置し直さ
ないと、観察をすることができないという問題があっ
た。
察するには、試料台４を設置した走査型電子顕微鏡のス
テ−ジを傾斜させる機構を使ったとしても、観察したい
それぞれの面を走査型電子顕微鏡の光学系６に向けた試
料を２つ用意するか、もしくは、試料５の一面を観察し
た後、一度試料５を装置から出し、改めて再載置し直さ
ないと、観察をすることができないという問題があっ
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、試料によって
は、入手が難しいものや、１つの試料を正面および隣接
する側面の２面から観察したいものもあり、そのために
は正面から観察した後、一度試料を装置から出し、改め
て再載置し直してから観察しており、時間がかかると共
に、再載置の作業の際に試料に傷を付けたり、汚染して
しまうこともあって、電子顕微鏡による観察を行う上で
の課題となっていた。このため、特開平６−２８１５５
１号公報のように、電子顕微鏡用試料の固定装置が開示
されているが、特開平６−２８１５５１号公報が示す固
定装置は特殊であって観察できる試料形態が限られ、汎
用性のある試料台とはいえなかった。
は、入手が難しいものや、１つの試料を正面および隣接
する側面の２面から観察したいものもあり、そのために
は正面から観察した後、一度試料を装置から出し、改め
て再載置し直してから観察しており、時間がかかると共
に、再載置の作業の際に試料に傷を付けたり、汚染して
しまうこともあって、電子顕微鏡による観察を行う上で
の課題となっていた。このため、特開平６−２８１５５
１号公報のように、電子顕微鏡用試料の固定装置が開示
されているが、特開平６−２８１５５１号公報が示す固
定装置は特殊であって観察できる試料形態が限られ、汎
用性のある試料台とはいえなかった。
【０００５】そこで、本発明はこのような問題点を解消
するためになされたものであり、その目的は、試料台作
製が安価で、観察する試料に対して汎用性があり、試料
の隣接する２面が１回の試料載置で観察できるような電
子顕微鏡用の試料台と、その観察方法を提供することで
ある。
するためになされたものであり、その目的は、試料台作
製が安価で、観察する試料に対して汎用性があり、試料
の隣接する２面が１回の試料載置で観察できるような電
子顕微鏡用の試料台と、その観察方法を提供することで
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１の発明に係わる走査型電子顕微鏡用試料
台は、試料を固定し観察する電子顕微鏡用試料台におい
て、前記試料を載置する試料台の主表面に１箇所以上の
溝を設けたことを特徴とするものである。
めに、請求項１の発明に係わる走査型電子顕微鏡用試料
台は、試料を固定し観察する電子顕微鏡用試料台におい
て、前記試料を載置する試料台の主表面に１箇所以上の
溝を設けたことを特徴とするものである。
【０００７】請求項２の発明に係わる走査型電子顕微鏡
用試料台は、前記試料台の主表面に設けられた溝の底の
なす角度が９０度であることを特徴とするものである。
用試料台は、前記試料台の主表面に設けられた溝の底の
なす角度が９０度であることを特徴とするものである。
【０００８】請求項３の発明に係る試料観察方法は、電
子顕微鏡を用いて試料を観察する際に、電子顕微鏡用試
料台の主表面に１箇所以上の溝を設けて試料を載置し、
該試料台を傾斜することにより、前記試料を一度載置し
た状態で９０度以上異なる角度から観察するものであ
る。
子顕微鏡を用いて試料を観察する際に、電子顕微鏡用試
料台の主表面に１箇所以上の溝を設けて試料を載置し、
該試料台を傾斜することにより、前記試料を一度載置し
た状態で９０度以上異なる角度から観察するものであ
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。図１は、走査型電子顕微鏡に
おいて、本発明の試料台１を用いて、試料２を観察して
いる状態を示す模式図であり、溝の状態が判るように側
面を透過して描いてある。試料台１の材質としては、
銅、真ちゅう、アルミニウム、アルミニウム合金、ステ
ンレス、カ−ボン等が用いられ、試料台１の形状として
は、使用する電子顕微鏡の構造により異なるが、通常に
用いられる円柱形状、立方体形状、直方体形状であり、
使用する電子顕微鏡に適合した形状と寸法で用いられ
る。本発明の試料台は走査型電子顕微鏡装置だけに限定
されている訳ではなく、電子顕微鏡としての形態観察機
能をあわせて備えていれば、Ｘ線光電子分光装置等の分
析装置、集束イオンビ−ム加工装置等の加工装置の試料
台としても適用が可能である。
施形態について説明する。図１は、走査型電子顕微鏡に
おいて、本発明の試料台１を用いて、試料２を観察して
いる状態を示す模式図であり、溝の状態が判るように側
面を透過して描いてある。試料台１の材質としては、
銅、真ちゅう、アルミニウム、アルミニウム合金、ステ
ンレス、カ−ボン等が用いられ、試料台１の形状として
は、使用する電子顕微鏡の構造により異なるが、通常に
用いられる円柱形状、立方体形状、直方体形状であり、
使用する電子顕微鏡に適合した形状と寸法で用いられ
る。本発明の試料台は走査型電子顕微鏡装置だけに限定
されている訳ではなく、電子顕微鏡としての形態観察機
能をあわせて備えていれば、Ｘ線光電子分光装置等の分
析装置、集束イオンビ−ム加工装置等の加工装置の試料
台としても適用が可能である。
【００１０】上記の試料台１の試料を載置する主表面を
切削加工し、１箇所以上の鋸歯状の溝を形成する。切削
面はそのままでもよいが、鏡面研磨しておく方が好まし
い。溝の深さは、試料台１の使用時の機械強度が維持さ
れていれば、特に限定されず、試料台１の厚さおよび通
常観察する試料の大きさに応じて決めればよく、溝の幅
は、溝の両端が試料台１の端面にまで達していてもよい
し、一定の幅であってもよい。溝の数は一度に観察した
い試料数に応じて設ければよい。また、複数の溝を設け
る場合には、一定のピッチで規則的に設けてもよいし、
不規則に設けてもよい。図２は、本発明の試料台１の溝
を鋸歯状に一定のピッチで設けた例を示す説明図であ
り、図２（ｂ）に示すように、複数の溝を設けた試料台
の表面の溝の間に平面があっても、また図２（ａ）に示
すように、複数の溝の間に平面が無くてもよい。ただ
し、ある溝に載置した試料２が大きい場合には、隣接す
る溝に載置した試料はその影になってしまい、観察でき
ないことがあるので、試料載置の場合には、試料間の位
置関係に注意が必要である。
切削加工し、１箇所以上の鋸歯状の溝を形成する。切削
面はそのままでもよいが、鏡面研磨しておく方が好まし
い。溝の深さは、試料台１の使用時の機械強度が維持さ
れていれば、特に限定されず、試料台１の厚さおよび通
常観察する試料の大きさに応じて決めればよく、溝の幅
は、溝の両端が試料台１の端面にまで達していてもよい
し、一定の幅であってもよい。溝の数は一度に観察した
い試料数に応じて設ければよい。また、複数の溝を設け
る場合には、一定のピッチで規則的に設けてもよいし、
不規則に設けてもよい。図２は、本発明の試料台１の溝
を鋸歯状に一定のピッチで設けた例を示す説明図であ
り、図２（ｂ）に示すように、複数の溝を設けた試料台
の表面の溝の間に平面があっても、また図２（ａ）に示
すように、複数の溝の間に平面が無くてもよい。ただ
し、ある溝に載置した試料２が大きい場合には、隣接す
る溝に載置した試料はその影になってしまい、観察でき
ないことがあるので、試料載置の場合には、試料間の位
置関係に注意が必要である。
【００１１】溝の底がなす角度は、試料の端部断面と同
じ角度であることが好ましく、それよりも鋭角だと試料
２が十分に溝の奥まで入らず、また、それよりも鈍角だ
と試料２が滑って安定しない可能性があり、様々な試料
２を設置する汎用的な使い方をする上からは、溝の底が
なす角度は９０度であることが好ましい。
じ角度であることが好ましく、それよりも鋭角だと試料
２が十分に溝の奥まで入らず、また、それよりも鈍角だ
と試料２が滑って安定しない可能性があり、様々な試料
２を設置する汎用的な使い方をする上からは、溝の底が
なす角度は９０度であることが好ましい。
【００１２】本発明の電子顕微鏡試料台を用いて試料観
察を行えば、左右それぞれに４５度傾けることによっ
て、隣接した２面を９０度以上異なる方向から、それぞ
れの面の垂直線上の位置から観察が可能である。
察を行えば、左右それぞれに４５度傾けることによっ
て、隣接した２面を９０度以上異なる方向から、それぞ
れの面の垂直線上の位置から観察が可能である。
【００１３】
【実施例】真ちゅう製の直径３０ｍｍ、厚さ５ｍｍの円
柱形試料台の中央部に、切削加工により、深さ３ｍｍ、
長さ２０ｍｍ、溝の底の角度が９０度の溝を、ピッチ９
ｍｍで３箇所形成した。次に一辺が５ｍｍの立方体形状
の試料３点を用意し、導電性テ−プにより各々の試料を
１個づつ３箇所の溝内に接着し固定した。次に、走査型
電子顕微鏡の試料ステ−ジに試料台を設置し、１×１０
-6Ｔｏｒｒの真空下で試料の形態観察を行った。先ず最
初の試料の一面を直角方向から観察し、続いて試料台を
傾斜させながら４５度の斜め方向から観察をし、次に最
初の一面に隣り合う９０度異なる次の面を直上から観察
し、隣接する２面を連続して観察した。次に、他の２点
の試料についても同様に、２つの面を連続して観察し
た。本発明の試料台を用いることにより、試料台に一度
載置すれば、観察対象を９０度以上異なる方向から観察
することができた。
柱形試料台の中央部に、切削加工により、深さ３ｍｍ、
長さ２０ｍｍ、溝の底の角度が９０度の溝を、ピッチ９
ｍｍで３箇所形成した。次に一辺が５ｍｍの立方体形状
の試料３点を用意し、導電性テ−プにより各々の試料を
１個づつ３箇所の溝内に接着し固定した。次に、走査型
電子顕微鏡の試料ステ−ジに試料台を設置し、１×１０
-6Ｔｏｒｒの真空下で試料の形態観察を行った。先ず最
初の試料の一面を直角方向から観察し、続いて試料台を
傾斜させながら４５度の斜め方向から観察をし、次に最
初の一面に隣り合う９０度異なる次の面を直上から観察
し、隣接する２面を連続して観察した。次に、他の２点
の試料についても同様に、２つの面を連続して観察し
た。本発明の試料台を用いることにより、試料台に一度
載置すれば、観察対象を９０度以上異なる方向から観察
することができた。
【００１４】
【発明の効果】本発明による試料台は、試料の隣接する
２面が１回の試料載置で観察でき、試料台に再度セット
し直してから観察する必要もないので、余分な時間を必
要とせず、試料に傷を付けたり、汚染してしまうことが
ないという効果がある。
２面が１回の試料載置で観察でき、試料台に再度セット
し直してから観察する必要もないので、余分な時間を必
要とせず、試料に傷を付けたり、汚染してしまうことが
ないという効果がある。
【図１】 電子顕微鏡の本発明の試料台と試料の状態を
示す概略模式図
示す概略模式図
【図２】 本発明の試料台の溝の例を示す説明図
【図３】 電子顕微鏡の従来の試料台を示す概略模式図
１ 溝を設けた試料台
２、５試料
３、６電子光学系
４ 従来の試料台
Claims (3)
- 【請求項１】 試料を固定し観察する電子顕微鏡用試料
台において、前記試料を載置する試料台の主表面に１箇
所以上の溝を設けたことを特徴とする電子顕微鏡用試料
台。 - 【請求項２】 前記試料台の主表面に設けられた溝の底
のなす角度が９０度であることを特徴とする請求項１に
記載の電子顕微鏡用試料台。 - 【請求項３】 電子顕微鏡を用いて試料を観察する際
に、電子顕微鏡用試料台の主表面に１箇所以上の溝を設
けて試料を載置し、該試料台を傾斜することにより、前
記試料を一度載置した状態で９０度以上異なる角度から
観察する試料観察方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002147298A JP2003346693A (ja) | 2002-05-22 | 2002-05-22 | 試料台および試料観察方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002147298A JP2003346693A (ja) | 2002-05-22 | 2002-05-22 | 試料台および試料観察方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003346693A true JP2003346693A (ja) | 2003-12-05 |
Family
ID=29766496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002147298A Pending JP2003346693A (ja) | 2002-05-22 | 2002-05-22 | 試料台および試料観察方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003346693A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010276559A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Canon Inc | 試料観察システム及び試料観察方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02145762U (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-11 | ||
| JPH0765767A (ja) * | 1993-08-23 | 1995-03-10 | Canon Inc | 走査電子顕微鏡用試料台 |
| JP2001338599A (ja) * | 2000-05-29 | 2001-12-07 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
-
2002
- 2002-05-22 JP JP2002147298A patent/JP2003346693A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02145762U (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-11 | ||
| JPH0765767A (ja) * | 1993-08-23 | 1995-03-10 | Canon Inc | 走査電子顕微鏡用試料台 |
| JP2001338599A (ja) * | 2000-05-29 | 2001-12-07 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010276559A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Canon Inc | 試料観察システム及び試料観察方法 |
| US8243266B2 (en) | 2009-05-29 | 2012-08-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Sample observation system and sample observation process |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040830 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060704 |
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