JP2003334747A - 研削・研磨方法および装置 - Google Patents
研削・研磨方法および装置Info
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラスレンズ等の光学素子の研削・研磨加工
に際して、循環する研削・研磨液中に混入する不純物を
分離除去して、被加工物の不良品の発生を抑え、表面精
度を向上させることができる研削・研磨方法および装置
を提供する。 【解決手段】 ガラスレンズ５を研磨工具１の研磨表面
４に当接させ、研磨工具１とガラスレンズ５の当接部分
に研磨液１１をノズル１０を介して供給しながら研磨工
具１とガラスレンズ５を相対運動させることによりガラ
スレンズ５を研磨加工する研磨装置において、研磨加工
に際して使用する研磨液１１を噴出するノズル１０に構
造が簡単で簡易に作製できる濾過器１２を取り付け、濾
過器１２により研磨液１１中に混入している塵埃、ガラ
ス破片、スラッジ等の不純物を分離除去する。これによ
り、不純物による被加工物表面の傷等の発生をなくし、
常に安定して良好な品質の被加工表面を得ることができ
る。
に際して、循環する研削・研磨液中に混入する不純物を
分離除去して、被加工物の不良品の発生を抑え、表面精
度を向上させることができる研削・研磨方法および装置
を提供する。 【解決手段】 ガラスレンズ５を研磨工具１の研磨表面
４に当接させ、研磨工具１とガラスレンズ５の当接部分
に研磨液１１をノズル１０を介して供給しながら研磨工
具１とガラスレンズ５を相対運動させることによりガラ
スレンズ５を研磨加工する研磨装置において、研磨加工
に際して使用する研磨液１１を噴出するノズル１０に構
造が簡単で簡易に作製できる濾過器１２を取り付け、濾
過器１２により研磨液１１中に混入している塵埃、ガラ
ス破片、スラッジ等の不純物を分離除去する。これによ
り、不純物による被加工物表面の傷等の発生をなくし、
常に安定して良好な品質の被加工表面を得ることができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学素子として用
いられるガラス、セラミックス等の高脆材料を球面形状
あるいは平面形状に研削・研磨加工する研削・研磨装置
において、研削・研磨加工に際して使用する研削・研磨
液中に混入する塵埃や被加工物の破片、スラッジ等の不
純物を分離除去して、被加工面の傷の発生をなくして安
定して良好に研削・研磨加工を行うことができる研削・
研磨方法および装置に関するものである。
いられるガラス、セラミックス等の高脆材料を球面形状
あるいは平面形状に研削・研磨加工する研削・研磨装置
において、研削・研磨加工に際して使用する研削・研磨
液中に混入する塵埃や被加工物の破片、スラッジ等の不
純物を分離除去して、被加工面の傷の発生をなくして安
定して良好に研削・研磨加工を行うことができる研削・
研磨方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】カメラ、ビデオ等に用いられる球面レン
ズ等の光学素子の研削加工や研磨加工は、ガラス、セラ
ミックス等の高脆材料で作られた被加工物を、凹凸が反
転した表面形状を有する総型の研削・研磨用工具に押し
つけた状態で、研削・研磨用具を回転させ、かつ、研削
・研磨用工具と被加工物の間に相対的な接線方向の揺動
運動を与えることによって行われている。
ズ等の光学素子の研削加工や研磨加工は、ガラス、セラ
ミックス等の高脆材料で作られた被加工物を、凹凸が反
転した表面形状を有する総型の研削・研磨用工具に押し
つけた状態で、研削・研磨用具を回転させ、かつ、研削
・研磨用工具と被加工物の間に相対的な接線方向の揺動
運動を与えることによって行われている。
【０００３】図６は、従来の光学素子の研磨加工の一例
を示す概略図であり、特に凹形状のガラスレンズを研磨
加工する態様を示す。図６において、研磨工具１０１
は、工具基体１０１ｂの工具面１０１ａにゴム系または
エポキシ系等の水分によって溶融しない接着剤１０２を
用いて一般に研磨加工用に使用される発泡ポリウレタン
等の素材の研磨シート１０３を接着して構成され、この
研磨工具１０１は被加工物であるガラスレンズと接する
ような凹凸相反する形状で曲率半径の略一致する研磨表
面１０４を有している。
を示す概略図であり、特に凹形状のガラスレンズを研磨
加工する態様を示す。図６において、研磨工具１０１
は、工具基体１０１ｂの工具面１０１ａにゴム系または
エポキシ系等の水分によって溶融しない接着剤１０２を
用いて一般に研磨加工用に使用される発泡ポリウレタン
等の素材の研磨シート１０３を接着して構成され、この
研磨工具１０１は被加工物であるガラスレンズと接する
ような凹凸相反する形状で曲率半径の略一致する研磨表
面１０４を有している。
【０００４】レンズ受け工具１０６に保持されたガラス
レンズ１０５は、その被加工面を曲率半径の創成された
研磨工具１０１の研磨表面１０４に当接させ、支持棒１
０７をレンズ受け工具１０６の支持部１０８に合致さ
せ、支持棒１０７を介して適宜設定された圧力で押圧さ
れる。
レンズ１０５は、その被加工面を曲率半径の創成された
研磨工具１０１の研磨表面１０４に当接させ、支持棒１
０７をレンズ受け工具１０６の支持部１０８に合致さ
せ、支持棒１０７を介して適宜設定された圧力で押圧さ
れる。
【０００５】そして、研磨液１１１をノズル１１０から
噴出させながら、研磨工具１０１の取り付けられた下軸
を矢印ａ方向に回転させ、かつガラスレンズ１０５に矢
印ｂに示すような適度な揺動運動を与えて、研磨加工が
行われる。
噴出させながら、研磨工具１０１の取り付けられた下軸
を矢印ａ方向に回転させ、かつガラスレンズ１０５に矢
印ｂに示すような適度な揺動運動を与えて、研磨加工が
行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した従
来技術によるガラスレンズ等の被加工物の研削加工や研
磨加工（以下、これらを総称して単に研磨加工ともい
う。）に際しては、研磨加工に適した研削液あるいは研
磨液（以下、これらを総称して単に研磨液ともいう。）
が使用されているけれども、研磨液を循環させて使用す
る際には、研磨液中に塵埃、ガラスの破片、スラッジ等
の不純物が混入し、これらの不純物は、研磨液と一緒に
循環して、研磨液とともに研磨工具と被加工面の間に供
給される。その結果、研磨液中に混入している不純物
は、研磨工具による研磨動作により、研磨工具の研磨表
面の劣化を発生させ、また、被加工物の被加工面に傷を
発生させていた。
来技術によるガラスレンズ等の被加工物の研削加工や研
磨加工（以下、これらを総称して単に研磨加工ともい
う。）に際しては、研磨加工に適した研削液あるいは研
磨液（以下、これらを総称して単に研磨液ともいう。）
が使用されているけれども、研磨液を循環させて使用す
る際には、研磨液中に塵埃、ガラスの破片、スラッジ等
の不純物が混入し、これらの不純物は、研磨液と一緒に
循環して、研磨液とともに研磨工具と被加工面の間に供
給される。その結果、研磨液中に混入している不純物
は、研磨工具による研磨動作により、研磨工具の研磨表
面の劣化を発生させ、また、被加工物の被加工面に傷を
発生させていた。
【０００７】前述したような従来技術によって加工され
た複数の被加工物（ガラスレンズ）の品質状態を評価し
たところ、図７の図表に示すような結果であった。な
お、図７において、横軸は被加工物の表面精度をＡから
Ｅのランクに分けて示す表面精度の品質レベルを表し、
縦軸は発生率（％）を表す。この図表において、モデル
として使用したガラスレンズの品質レベルの合格ライン
はＡからＣランクまでであり、図表中のＤおよびＥラン
クに分類される１５％ものガラスレンズが不良品となっ
てしまっている。このように従来技術によって加工され
たガラスレンズ等の被加工物の表面においては、被加工
面に傷の発生が見られることが多く、安定して良品質の
被加工面を得ることが困難であった。
た複数の被加工物（ガラスレンズ）の品質状態を評価し
たところ、図７の図表に示すような結果であった。な
お、図７において、横軸は被加工物の表面精度をＡから
Ｅのランクに分けて示す表面精度の品質レベルを表し、
縦軸は発生率（％）を表す。この図表において、モデル
として使用したガラスレンズの品質レベルの合格ライン
はＡからＣランクまでであり、図表中のＤおよびＥラン
クに分類される１５％ものガラスレンズが不良品となっ
てしまっている。このように従来技術によって加工され
たガラスレンズ等の被加工物の表面においては、被加工
面に傷の発生が見られることが多く、安定して良品質の
被加工面を得ることが困難であった。
【０００８】そこで、本発明は、前述した従来技術の有
する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、ガラ
スレンズ等の光学素子の研削・研磨加工に際して、循環
する研削・研磨液中に混入する不純物を分離除去して、
被加工物の不良品の発生を抑え、表面精度を向上させる
ことができる研削・研磨方法および装置を提供すること
を目的とするものである。
する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、ガラ
スレンズ等の光学素子の研削・研磨加工に際して、循環
する研削・研磨液中に混入する不純物を分離除去して、
被加工物の不良品の発生を抑え、表面精度を向上させる
ことができる研削・研磨方法および装置を提供すること
を目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の研削・研磨方法は、被加工物を研磨・研削
加工用の工具に当接させ、前記工具と被加工物の当接部
分に研削・研磨液を噴出部を介して供給しながら前記工
具と前記被加工物を相対運動させることにより前記被加
工物を研削・研磨加工する研削・研磨方法において、前
記研削・研磨液の供給経路に濾過器を配設して、該濾過
器により前記研削・研磨液中に混入する不純物を分離除
去した前記研削・研磨液を前記工具と被加工物の当接部
位に供給しながら加工することを特徴とする。
め、本発明の研削・研磨方法は、被加工物を研磨・研削
加工用の工具に当接させ、前記工具と被加工物の当接部
分に研削・研磨液を噴出部を介して供給しながら前記工
具と前記被加工物を相対運動させることにより前記被加
工物を研削・研磨加工する研削・研磨方法において、前
記研削・研磨液の供給経路に濾過器を配設して、該濾過
器により前記研削・研磨液中に混入する不純物を分離除
去した前記研削・研磨液を前記工具と被加工物の当接部
位に供給しながら加工することを特徴とする。
【００１０】本発明の研削・研磨方法において、前記研
削・研磨液の供給経路は、前記研削・研磨液を収容する
タンクと前記工具と被加工物の当接部位に対する前記研
削・研磨液の噴出部とをポンプを介して配管をもって連
通するとともに、前記噴出部から噴出される前記研削・
研磨液を受ける液受け槽を回収配管を介して前記タンク
に接続し、前記研削・研磨液を循環させて使用するよう
に構成される。
削・研磨液の供給経路は、前記研削・研磨液を収容する
タンクと前記工具と被加工物の当接部位に対する前記研
削・研磨液の噴出部とをポンプを介して配管をもって連
通するとともに、前記噴出部から噴出される前記研削・
研磨液を受ける液受け槽を回収配管を介して前記タンク
に接続し、前記研削・研磨液を循環させて使用するよう
に構成される。
【００１１】本発明の研削・研磨方法において、前記濾
過器は、前記研削・研磨液の供給経路における前記噴出
部に、あるいは、前記タンクと前記噴出部とを連通する
前記配管の途中に、あるいはまた、前記研削・研磨液を
前記液受け槽から前記タンクへ回収する回収配管のタン
ク側端部に配設されていることが好ましい。
過器は、前記研削・研磨液の供給経路における前記噴出
部に、あるいは、前記タンクと前記噴出部とを連通する
前記配管の途中に、あるいはまた、前記研削・研磨液を
前記液受け槽から前記タンクへ回収する回収配管のタン
ク側端部に配設されていることが好ましい。
【００１２】本発明の研削・研磨装置は、被加工物を研
磨・研削加工用の工具に当接させ、前記工具と被加工物
の当接部分に研削・研磨液を噴出部を介して供給しなが
ら前記工具と前記被加工物を相対運動させることにより
前記被加工物を研削・研磨加工する研削・研磨装置にお
いて、前記研削・研磨液の供給経路に濾過器を配設し
て、該濾過器により前記研削・研磨液中に混入する不純
物を分離除去することを特徴とする。
磨・研削加工用の工具に当接させ、前記工具と被加工物
の当接部分に研削・研磨液を噴出部を介して供給しなが
ら前記工具と前記被加工物を相対運動させることにより
前記被加工物を研削・研磨加工する研削・研磨装置にお
いて、前記研削・研磨液の供給経路に濾過器を配設し
て、該濾過器により前記研削・研磨液中に混入する不純
物を分離除去することを特徴とする。
【００１３】本発明の研削・研磨装置において、前記研
削・研磨液の供給経路は、前記研削・研磨液を収容する
タンクと前記工具と被加工物の当接部位に対する前記研
削・研磨液の噴出部とをポンプを介して配管をもって連
通するとともに、前記噴出部から噴出される前記研削・
研磨液を受ける液受け槽を回収配管を介して前記タンク
に接続し、前記研削・研磨液を循環させて使用するよう
に構成されていることが好ましい。
削・研磨液の供給経路は、前記研削・研磨液を収容する
タンクと前記工具と被加工物の当接部位に対する前記研
削・研磨液の噴出部とをポンプを介して配管をもって連
通するとともに、前記噴出部から噴出される前記研削・
研磨液を受ける液受け槽を回収配管を介して前記タンク
に接続し、前記研削・研磨液を循環させて使用するよう
に構成されていることが好ましい。
【００１４】本発明の研削・研磨装置において、前記濾
過器は、前記研削・研磨液の供給経路における前記噴出
部に、あるいは、前記タンクと前記噴出部とを連通する
前記配管の途中に、あるいはまた、前記研削・研磨液を
前記液受け槽から前記タンクへ回収する回収配管のタン
ク側端部に配設されていることが好ましい。
過器は、前記研削・研磨液の供給経路における前記噴出
部に、あるいは、前記タンクと前記噴出部とを連通する
前記配管の途中に、あるいはまた、前記研削・研磨液を
前記液受け槽から前記タンクへ回収する回収配管のタン
ク側端部に配設されていることが好ましい。
【００１５】本発明の研削・研磨装置において、前記研
削・研磨液の供給経路に複数の濾過器を配設し、該複数
の濾過器に使用するそれぞれのフィルター素材の網目数
を前記噴出部に向けて順次細かくすることが好ましい。
削・研磨液の供給経路に複数の濾過器を配設し、該複数
の濾過器に使用するそれぞれのフィルター素材の網目数
を前記噴出部に向けて順次細かくすることが好ましい。
【００１６】本発明の研削・研磨装置において、前記濾
過器に使用するフィルター素材は、多孔質、繊維質、不
織布、または網目状の金属体で作製されていることが好
ましい。
過器に使用するフィルター素材は、多孔質、繊維質、不
織布、または網目状の金属体で作製されていることが好
ましい。
【００１７】
【作用】本発明によれば、ガラスレンズ等の光学素子の
研削・研磨加工に使用する研削・研磨液中に混入して一
緒に循環する塵埃、ガラス破片、スラッジ等の不純物等
を簡単な構成でかつ簡易に作製できる濾過器により分離
除去して、被加工物表面に傷等を発生させることなく、
常に安定して良好な研削・研磨加工を行うことを可能に
する。
研削・研磨加工に使用する研削・研磨液中に混入して一
緒に循環する塵埃、ガラス破片、スラッジ等の不純物等
を簡単な構成でかつ簡易に作製できる濾過器により分離
除去して、被加工物表面に傷等を発生させることなく、
常に安定して良好な研削・研磨加工を行うことを可能に
する。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００１９】図１は、本発明の一実施例の研磨装置にお
いて凹形状のガラスレンズを研磨加工する態様を示す概
略図であり、図２は、図１に図示する本発明の一実施例
の研磨装置に用いる濾過器を一部破断して示す分解図で
ある。
いて凹形状のガラスレンズを研磨加工する態様を示す概
略図であり、図２は、図１に図示する本発明の一実施例
の研磨装置に用いる濾過器を一部破断して示す分解図で
ある。
【００２０】図１において、研磨工具１は、工具基体１
ｂの工具面１ａにゴム系またはエポキシ系等の水分によ
って溶融しない接着剤２を用いて一般に研磨加工に使用
される発泡ポリウレタン等の素材の研磨シート３を接着
して構成されており、この研磨工具１は被加工物である
ガラスレンズ５と接するような凹凸相反する形状で曲率
半径の略一致する研磨表面４を有している。
ｂの工具面１ａにゴム系またはエポキシ系等の水分によ
って溶融しない接着剤２を用いて一般に研磨加工に使用
される発泡ポリウレタン等の素材の研磨シート３を接着
して構成されており、この研磨工具１は被加工物である
ガラスレンズ５と接するような凹凸相反する形状で曲率
半径の略一致する研磨表面４を有している。
【００２１】被加工物であるガラスレンズ５は、レンズ
受け工具６に保持されて、曲率半径の創成された研磨工
具１の研磨表面４に当接され、レンズ受け工具６の支持
部８に合致された支持棒７により適宜設定された圧力で
押圧される。
受け工具６に保持されて、曲率半径の創成された研磨工
具１の研磨表面４に当接され、レンズ受け工具６の支持
部８に合致された支持棒７により適宜設定された圧力で
押圧される。
【００２２】また、研磨工具１の研磨表面４上に研磨液
１１を噴出するノズル（噴出部）１０には濾過器（フィ
ルター）１２が取り付けられている。濾過器１２は、図
２に示すように、円筒状の濾過器本体１２ａの両端部分
にそれぞれ雌形状のねじ部１２ｂ、１２ｃが設けられ、
この一方のねじ部１２ｃに濾過部として使用するフィル
ター素材１３を嵌め込んでＯリング等の固定具１４で押
さえ込み、固定ねじ１５によってフィルター素材１３を
濾過器本体１２ａに固定する。そして、濾過器本体１２
ａの他方のねじ部１２ｂはノズル１０の端部に設けられ
た雄形状のねじ部１０ａに螺合して取り付けられる。な
お、フィルター素材１３は、研磨液中に混入する塵埃、
ガラス破片、スラッジ等の不純物を除去する濾過部とし
て機能するものであり、多孔質体や不織布、繊維質体等
を用いることができ、さらに、ステンレスや真鍮等の金
属からなる網目状のものも用いることが可能である。ま
た、フィルター素材１３の材質やメッシュ（網目数）
は、使用する研磨液の研磨剤の粒径や品質レベルの目的
に応じて、適宜選択して設定する。
１１を噴出するノズル（噴出部）１０には濾過器（フィ
ルター）１２が取り付けられている。濾過器１２は、図
２に示すように、円筒状の濾過器本体１２ａの両端部分
にそれぞれ雌形状のねじ部１２ｂ、１２ｃが設けられ、
この一方のねじ部１２ｃに濾過部として使用するフィル
ター素材１３を嵌め込んでＯリング等の固定具１４で押
さえ込み、固定ねじ１５によってフィルター素材１３を
濾過器本体１２ａに固定する。そして、濾過器本体１２
ａの他方のねじ部１２ｂはノズル１０の端部に設けられ
た雄形状のねじ部１０ａに螺合して取り付けられる。な
お、フィルター素材１３は、研磨液中に混入する塵埃、
ガラス破片、スラッジ等の不純物を除去する濾過部とし
て機能するものであり、多孔質体や不織布、繊維質体等
を用いることができ、さらに、ステンレスや真鍮等の金
属からなる網目状のものも用いることが可能である。ま
た、フィルター素材１３の材質やメッシュ（網目数）
は、使用する研磨液の研磨剤の粒径や品質レベルの目的
に応じて、適宜選択して設定する。
【００２３】以上のように構成される研磨装置におい
て、レンズ受け工具６に保持されたガラスレンズ５の被
加工面を研磨工具１の研磨表面４に当接させるとともに
支持棒７を介して適宜設定された圧力で押圧し、ノズル
１０の先端部に取り付けられた濾過器１２のフィルター
素材１３を介して不純物が分離された状態の研磨液１１
を研磨工具１の研磨表面４上に噴出させる。そして、研
磨工具１の取り付けられた下軸を回転させて研磨工具１
を矢印ａの方向に回転させ、かつ支持棒７を介してガラ
スレンズ５を矢印ｂの方向に適度な揺動運動を与えて、
ガラスレンズ５の研磨加工を行う。
て、レンズ受け工具６に保持されたガラスレンズ５の被
加工面を研磨工具１の研磨表面４に当接させるとともに
支持棒７を介して適宜設定された圧力で押圧し、ノズル
１０の先端部に取り付けられた濾過器１２のフィルター
素材１３を介して不純物が分離された状態の研磨液１１
を研磨工具１の研磨表面４上に噴出させる。そして、研
磨工具１の取り付けられた下軸を回転させて研磨工具１
を矢印ａの方向に回転させ、かつ支持棒７を介してガラ
スレンズ５を矢印ｂの方向に適度な揺動運動を与えて、
ガラスレンズ５の研磨加工を行う。
【００２４】上述したように濾過器１２のフィルター素
材１３を介して不純物を分離除去した研磨液１１を噴出
して、研磨工具１の研磨表面４と被加工物であるガラス
レンズ５との間に供給しながらガラスレンズ５の研磨加
工を行い、研磨加工後のガラスレンズの品質状態を評価
したところ、図３に示すような結果が得られた。なお、
図３は、前述した図７の図表と同様に、横軸は被加工物
の表面精度をＡからＥのランクに分けて示す表面精度の
品質レベルを表し、縦軸は発生率（％）を表す。図３の
図表から分かるように、表面精度の品質レベルは全てＡ
からＣのランクにあり、図７に示す従来例における品質
レベルと比較しても、全体の品質レベルが向上してお
り、また、従来例においては発生していたＤおよびＥラ
ンクの不良品となる品質の発生がなくなっていることも
分かる。
材１３を介して不純物を分離除去した研磨液１１を噴出
して、研磨工具１の研磨表面４と被加工物であるガラス
レンズ５との間に供給しながらガラスレンズ５の研磨加
工を行い、研磨加工後のガラスレンズの品質状態を評価
したところ、図３に示すような結果が得られた。なお、
図３は、前述した図７の図表と同様に、横軸は被加工物
の表面精度をＡからＥのランクに分けて示す表面精度の
品質レベルを表し、縦軸は発生率（％）を表す。図３の
図表から分かるように、表面精度の品質レベルは全てＡ
からＣのランクにあり、図７に示す従来例における品質
レベルと比較しても、全体の品質レベルが向上してお
り、また、従来例においては発生していたＤおよびＥラ
ンクの不良品となる品質の発生がなくなっていることも
分かる。
【００２５】次に、ノズルの先端部に取り付けることが
できる濾過器の変形例について、図４の（ａ）および
（ｂ）を用いて説明する。
できる濾過器の変形例について、図４の（ａ）および
（ｂ）を用いて説明する。
【００２６】図４の（ａ）に図示する濾過器１２Ａは、
簡易的に作製することができるものであり、多孔質体、
不織布あるいは繊維質体からなるフィルター素材１３Ａ
を適当な大きさに切断して、これをノズル１０の先端部
を包み込むようにして、固定バンド１６によってノズル
１０に取り付ける。このように簡易的に作製できる濾過
器１２Ａを用いて研磨液１１をノズル１０から噴出させ
るとき、濾過器１２Ａのフィルター素材１３Ａによっ
て、研磨液１１中に混入している塵埃、ガラスの破片、
スラッジ等の不純物を分離除去することができ、不純物
を含まない研磨液１１を研磨工具の研磨表面と被加工物
の間に供給することができ、前述した濾過器１２と同様
の作用効果を奏することができる。この変形例において
は、フィルター素材１３Ａとして、多孔質体、不織布あ
るいは繊維質体を用いることが好ましく、金属製の網は
ノズル１０へ固定バンド１６により完全に固定すること
が困難であった。
簡易的に作製することができるものであり、多孔質体、
不織布あるいは繊維質体からなるフィルター素材１３Ａ
を適当な大きさに切断して、これをノズル１０の先端部
を包み込むようにして、固定バンド１６によってノズル
１０に取り付ける。このように簡易的に作製できる濾過
器１２Ａを用いて研磨液１１をノズル１０から噴出させ
るとき、濾過器１２Ａのフィルター素材１３Ａによっ
て、研磨液１１中に混入している塵埃、ガラスの破片、
スラッジ等の不純物を分離除去することができ、不純物
を含まない研磨液１１を研磨工具の研磨表面と被加工物
の間に供給することができ、前述した濾過器１２と同様
の作用効果を奏することができる。この変形例において
は、フィルター素材１３Ａとして、多孔質体、不織布あ
るいは繊維質体を用いることが好ましく、金属製の網は
ノズル１０へ固定バンド１６により完全に固定すること
が困難であった。
【００２７】また、図４の（ｂ）に図示する濾過器１２
Ｂは、有底円筒形状に形成した多孔質体を濾過部となる
フィルター素材１３Ｂに用いるものであり、有底円筒形
状の内部空間部１７を矢印ｃで示すようにノズル１０の
先端部分に嵌め込み、固定バンド１８によりノズル１０
に固定して取り付ける。この変形例においても、簡易的
に濾過器を作製することができ、また、フィルター素材
１３Ｂの内部空間部１７はノズル１０から供給される研
磨液の貯留部となり、研磨液１１はその内部空間部１７
からフィルター素材１３Ｂの多孔質体を介して外部に流
出し、その際に研磨液中の塵埃、ガラスの破片、スラッ
ジ等の不純物は分離される。
Ｂは、有底円筒形状に形成した多孔質体を濾過部となる
フィルター素材１３Ｂに用いるものであり、有底円筒形
状の内部空間部１７を矢印ｃで示すようにノズル１０の
先端部分に嵌め込み、固定バンド１８によりノズル１０
に固定して取り付ける。この変形例においても、簡易的
に濾過器を作製することができ、また、フィルター素材
１３Ｂの内部空間部１７はノズル１０から供給される研
磨液の貯留部となり、研磨液１１はその内部空間部１７
からフィルター素材１３Ｂの多孔質体を介して外部に流
出し、その際に研磨液中の塵埃、ガラスの破片、スラッ
ジ等の不純物は分離される。
【００２８】前述した実施例およびその変形例において
は、構造が簡単でかつ簡易に作製することができる濾過
器１２、１２Ａ、１２Ｂをノズル１０の先端部に配設す
ることにより、研磨液中に混入している塵埃、ガラス破
片、スラッジ等の不純物を分離除去することができ、ガ
ラスレンズ等の高脆材料からなる被加工物の表面に傷等
の発生を抑制することができ、安定して品質を向上させ
ることができる。しかも、前述した濾過器１２、１２
Ａ、１２Ｂは、構造が簡単で簡易に作製することがで
き、また、従来の研削・研磨加工機等に簡単にかつ容易
に取り付けることができ、低コストで品質の良い表面精
度を得ることが可能となる。
は、構造が簡単でかつ簡易に作製することができる濾過
器１２、１２Ａ、１２Ｂをノズル１０の先端部に配設す
ることにより、研磨液中に混入している塵埃、ガラス破
片、スラッジ等の不純物を分離除去することができ、ガ
ラスレンズ等の高脆材料からなる被加工物の表面に傷等
の発生を抑制することができ、安定して品質を向上させ
ることができる。しかも、前述した濾過器１２、１２
Ａ、１２Ｂは、構造が簡単で簡易に作製することがで
き、また、従来の研削・研磨加工機等に簡単にかつ容易
に取り付けることができ、低コストで品質の良い表面精
度を得ることが可能となる。
【００２９】次に、本発明の他の実施例の研磨装置につ
いて図５を参照して説明する。
いて図５を参照して説明する。
【００３０】図５は本発明の他の実施例の研磨装置にお
ける研磨液の循環経路を示す概略図であり、本実施例
は、濾過器の取り付け位置が前述した実施例と異にする
ものである。
ける研磨液の循環経路を示す概略図であり、本実施例
は、濾過器の取り付け位置が前述した実施例と異にする
ものである。
【００３１】図５において、研磨機２０は、一般にレン
ズの研削・研磨加工に広く使用されている研磨機であ
り、研磨に使用された研磨液を受ける液受け槽２１内に
配置された研磨工具１（１個のみ図示する）は、モータ
ー２２によりベルト２３を介して回転駆動され、被加工
物であるガラスレンズ５はレンズ保持具６に保持されて
支持棒７によって支持され、この支持棒７は研磨工具１
の曲率半径に倣って適宜設定された揺動運動をする。
ズの研削・研磨加工に広く使用されている研磨機であ
り、研磨に使用された研磨液を受ける液受け槽２１内に
配置された研磨工具１（１個のみ図示する）は、モータ
ー２２によりベルト２３を介して回転駆動され、被加工
物であるガラスレンズ５はレンズ保持具６に保持されて
支持棒７によって支持され、この支持棒７は研磨工具１
の曲率半径に倣って適宜設定された揺動運動をする。
【００３２】研磨液の循環供給経路は、研磨液２４を収
容するタンク２５と、タンク２５内の研磨液２４をクー
ラントポンプ等のポンプ２６により吸い上げてノズル１
０へ供給する配管２７と、ノズル１０から噴出され研磨
工具１の研磨表面上に供給されて使用済みの研磨液２４
を受ける液受け槽２１から研磨液２４をタンク２５へ回
収する回収配管２８を備え、タンク２５に収容されてい
る研磨液２４は、ポンプ２６によって吸い上げられて配
管２７を介してノズル１０へ送られ、そしてノズル１０
から噴出されて、研磨工具１の研磨表面とガラスレンズ
５との間に供給される。研磨に使用された研磨液２４
は、研磨工具１の下方に配置されている液受け槽２１に
受けられてそこから回収配管２８を介してタンク２５に
回収される。
容するタンク２５と、タンク２５内の研磨液２４をクー
ラントポンプ等のポンプ２６により吸い上げてノズル１
０へ供給する配管２７と、ノズル１０から噴出され研磨
工具１の研磨表面上に供給されて使用済みの研磨液２４
を受ける液受け槽２１から研磨液２４をタンク２５へ回
収する回収配管２８を備え、タンク２５に収容されてい
る研磨液２４は、ポンプ２６によって吸い上げられて配
管２７を介してノズル１０へ送られ、そしてノズル１０
から噴出されて、研磨工具１の研磨表面とガラスレンズ
５との間に供給される。研磨に使用された研磨液２４
は、研磨工具１の下方に配置されている液受け槽２１に
受けられてそこから回収配管２８を介してタンク２５に
回収される。
【００３３】この研磨液の循環供給経路において、回収
配管２８のタンク側の端部に前述した図４の（ａ）また
は同（ｂ）に示した濾過器１２Ａまたは１２Ｂと同様の
濾過器３０を取り付けることにより、使用後の研磨液２
４に含まれて一緒に循環する塵埃、ガラス破片、スラッ
ジ等の不純物を概ね除去することが可能となる。
配管２８のタンク側の端部に前述した図４の（ａ）また
は同（ｂ）に示した濾過器１２Ａまたは１２Ｂと同様の
濾過器３０を取り付けることにより、使用後の研磨液２
４に含まれて一緒に循環する塵埃、ガラス破片、スラッ
ジ等の不純物を概ね除去することが可能となる。
【００３４】また、研磨液の循環供給経路におけるポン
プ２６とノズル１０を連通する配管２７の任意の個所
に、前述した図１および図２に示す濾過器１２の一部を
改造した濾過器３１を取り付けることによっても、不純
物の除去能力においては略同等の結果を得ることができ
る。さらに、研磨液の循環供給経路に複数の濾過器を配
置して、複数の濾過器に使用するそれぞれのフィルター
素材の網目数（メッシュ）をノズル方向に向けて順次細
かくすることによって、不純物の分離除去を効率よく行
うようにすることもできる。
プ２６とノズル１０を連通する配管２７の任意の個所
に、前述した図１および図２に示す濾過器１２の一部を
改造した濾過器３１を取り付けることによっても、不純
物の除去能力においては略同等の結果を得ることができ
る。さらに、研磨液の循環供給経路に複数の濾過器を配
置して、複数の濾過器に使用するそれぞれのフィルター
素材の網目数（メッシュ）をノズル方向に向けて順次細
かくすることによって、不純物の分離除去を効率よく行
うようにすることもできる。
【００３５】なお、以上の各実施例においては、被加工
物として凹形状のガラスレンズを例に挙げてガラスレン
ズの研磨加工について説明しているけれど、凸形状の被
加工物の研磨加工に際しても、同様に行うことができる
ところであり、さらに、研磨加工のみならず凸形状や凹
形状の被加工物の研削加工においても同様に行うことが
できることはいうまでもない。
物として凹形状のガラスレンズを例に挙げてガラスレン
ズの研磨加工について説明しているけれど、凸形状の被
加工物の研磨加工に際しても、同様に行うことができる
ところであり、さらに、研磨加工のみならず凸形状や凹
形状の被加工物の研削加工においても同様に行うことが
できることはいうまでもない。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ガラスレンズ等の光学素子の研削・研磨加工に使用する
研削・研磨液中に混入して一緒に循環する塵埃、ガラス
破片、スラッジ等の不純物等を簡単な構成でかつ簡易に
作製できる濾過器により分離除去することができ、被加
工物表面に傷を発生させることなく常に安定して良好な
研削・研磨加工を行うことができ、被加工物の表面精度
を向上させることができる。
ガラスレンズ等の光学素子の研削・研磨加工に使用する
研削・研磨液中に混入して一緒に循環する塵埃、ガラス
破片、スラッジ等の不純物等を簡単な構成でかつ簡易に
作製できる濾過器により分離除去することができ、被加
工物表面に傷を発生させることなく常に安定して良好な
研削・研磨加工を行うことができ、被加工物の表面精度
を向上させることができる。
【図１】本発明の一実施例の研磨装置において凹形状の
ガラスレンズを研磨加工する態様を示す概略図である。
ガラスレンズを研磨加工する態様を示す概略図である。
【図２】図１に図示する本発明の一実施例の研磨装置に
用いる濾過器を一部破断して示す分解図である。
用いる濾過器を一部破断して示す分解図である。
【図３】図１に図示する研磨装置により加工されたガラ
スレンズの品質状態を表した図表である。
スレンズの品質状態を表した図表である。
【図４】（ａ）および（ｂ）は、図１に図示する本発明
の一実施例の研磨装置に用いる濾過器の変形例を示す概
略図である。
の一実施例の研磨装置に用いる濾過器の変形例を示す概
略図である。
【図５】本発明の他の実施例の研磨装置における研磨液
の循環供給経路を示す概略図である。
の循環供給経路を示す概略図である。
【図６】従来の研磨装置において凹形状のガラスレンズ
を研磨加工する態様を示す概略図である。
を研磨加工する態様を示す概略図である。
【図７】図６に図示する研磨装置により加工されたガラ
スレンズの品質状態を表した図表である。
スレンズの品質状態を表した図表である。
１ 研磨工具
１ａ 工具面
１ｂ 工具基体
２ 接着剤
３ 研磨シート
４ 研磨表面
５ ガラスレンズ（被加工物）
６ レンズ受け工具
７ 支持棒
１０ ノズル（噴出部）
１１ 研磨液
１２、１２Ａ、１２Ｂ 濾過器（フィルター）
１２ａ 濾過器本体
１２ｂ、１２ｃ ねじ部
１３、１３Ａ、１３Ｂ フィルター素材
１５ 固定ねじ
１６ 固定バンド
１７ 内部空間部
１８ 固定バンド
２０ 研磨機
２１ 液受け槽
２４ 研磨液
２５ タンク ２６ ポンプ
２７ 配管
２８ 回収配管
３０、３１ 濾過器（フィルター）
Claims (13)
- 【請求項１】 被加工物を研磨・研削加工用の工具に当
接させ、前記工具と被加工物の当接部分に研削・研磨液
を噴出部を介して供給しながら前記工具と前記被加工物
を相対運動させることにより前記被加工物を研削・研磨
加工する研削・研磨方法において、前記研削・研磨液の
供給経路に濾過器を配設して、該濾過器により前記研削
・研磨液中に混入する不純物を分離除去した前記研削・
研磨液を前記工具と被加工物の当接部位に供給しながら
加工することを特徴とする研削・研磨方法。 - 【請求項２】 前記研削・研磨液の供給経路は、前記研
削・研磨液を収容するタンクと前記工具と被加工物の当
接部位に対する前記研削・研磨液の噴出部とをポンプを
介して配管をもって連通するとともに、前記噴出部から
噴出される前記研削・研磨液を受ける液受け槽を回収配
管を介して前記タンクに接続し、前記研削・研磨液を循
環させて使用するように構成されていることを特徴とす
る請求項１記載の研削・研磨方法。 - 【請求項３】 前記濾過器は、前記研削・研磨液の供給
経路における前記噴出部に配設されていることを特徴と
する請求項１または２記載の研削・研磨方法。 - 【請求項４】 前記濾過器は、前記タンクと前記噴出部
とを連通する前記配管の途中に配設されていることを特
徴とする請求項１ないし３にいずれか１項に記載の研削
・研磨方法。 - 【請求項５】 前記濾過器は、前記研削・研磨液を前記
液受け槽から前記タンクへ回収する回収配管のタンク側
端部に配設されていることを特徴とする請求項２ないし
４のいずれか１項に記載の研削・研磨方法。 - 【請求項６】 前記濾過器に使用するフィルター素材
は、多孔質、繊維質、不織布、または網目状の金属体で
作製されていることを特徴とする請求項１ないし５のい
ずれか１項に記載の研削・研磨方法。 - 【請求項７】 被加工物を研磨・研削加工用の工具に当
接させ、前記工具と被加工物の当接部分に研削・研磨液
を噴出部を介して供給しながら前記工具と前記被加工物
を相対運動させることにより前記被加工物を研削・研磨
加工する研削・研磨装置において、前記研削・研磨液の
供給経路に濾過器を配設して、該濾過器により前記研削
・研磨液中に混入する不純物を分離除去することを特徴
とする研削・研磨装置。 - 【請求項８】 前記研削・研磨液の供給経路は、前記研
削・研磨液を収容するタンクと前記工具と被加工物の当
接部位に対する前記研削・研磨液の噴出部とをポンプを
介して配管をもって連通するとともに、前記噴出部から
噴出される前記研削・研磨液を受ける液受け槽を回収配
管を介して前記タンクに接続し、前記研削・研磨液を循
環させて使用するように構成されていることを特徴とす
る請求項７記載の研削・研磨装置。 - 【請求項９】 前記濾過器は、前記研削・研磨液の供給
経路における前記噴出部に配設されていることを特徴と
する請求項７または８記載の研削・研磨装置。 - 【請求項１０】 前記濾過器は、前記タンクと前記噴出
部とを連通する前記配管の途中に配設されていることを
特徴とする請求項７ないし９にいずれか１項に記載の研
削・研磨装置。 - 【請求項１１】 前記濾過器は、前記研削・研磨液を前
記液受け槽から前記タンクへ回収する回収配管のタンク
側端部に配設されていることを特徴とする請求項８ない
し１０のいずれか１項に記載の研削・研磨装置。 - 【請求項１２】 前記研削・研磨液の供給経路に複数の
濾過器を配設し、該複数の濾過器に使用するそれぞれの
フィルター素材の網目数を前記噴出部に向けて順次細か
くすることを特徴とする請求項７ないし１１のいずれか
１項に記載の研削・研磨装置。 - 【請求項１３】 前記濾過器に使用するフィルター素材
は、多孔質、繊維質、不織布、または網目状の金属体で
作製されていることを特徴とする請求項７ないし１２の
いずれか１項に記載の研削・研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002137939A JP2003334747A (ja) | 2002-05-14 | 2002-05-14 | 研削・研磨方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002137939A JP2003334747A (ja) | 2002-05-14 | 2002-05-14 | 研削・研磨方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003334747A true JP2003334747A (ja) | 2003-11-25 |
Family
ID=29699520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002137939A Pending JP2003334747A (ja) | 2002-05-14 | 2002-05-14 | 研削・研磨方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003334747A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007098485A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Hoya Glass Disk Thailand Ltd | 磁気記録媒体用のガラス基板および磁気ディスクの製造方法 |
| CN114800230A (zh) * | 2022-03-11 | 2022-07-29 | 西安超纳精密光学有限公司 | 一种光学玻璃毛细孔抛光设备及方法 |
| CN114952580A (zh) * | 2022-08-02 | 2022-08-30 | 江苏中尚机器人科技有限公司 | 一种电子加工用打磨装置 |
-
2002
- 2002-05-14 JP JP2002137939A patent/JP2003334747A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007098485A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Hoya Glass Disk Thailand Ltd | 磁気記録媒体用のガラス基板および磁気ディスクの製造方法 |
| CN114800230A (zh) * | 2022-03-11 | 2022-07-29 | 西安超纳精密光学有限公司 | 一种光学玻璃毛细孔抛光设备及方法 |
| CN114952580A (zh) * | 2022-08-02 | 2022-08-30 | 江苏中尚机器人科技有限公司 | 一种电子加工用打磨装置 |
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