JP2003330164A - Photosensitive silver paste and image display using the same - Google Patents

Photosensitive silver paste and image display using the same

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JP2003330164A
JP2003330164A JP2002135202A JP2002135202A JP2003330164A JP 2003330164 A JP2003330164 A JP 2003330164A JP 2002135202 A JP2002135202 A JP 2002135202A JP 2002135202 A JP2002135202 A JP 2002135202A JP 2003330164 A JP2003330164 A JP 2003330164A
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JP
Japan
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weight
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photosensitive silver
silver paste
acrylate
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Japanese (ja)
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Manabu Naito
学 内藤
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Sumitomo Bakelite Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Bakelite Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive silver paste for forming a high-precision fine electrode pattern by solving problems in a conventional electrode pattern forming method. <P>SOLUTION: The photosensitive silver paste consists of an alkali-soluble resin (A), a crosslinkable monomer (B) having an unsaturated double bond, a photopolymerization initiator (C), silver powder (D), glass frit (E) containing ≥50 wt.% bismuth oxide and an organic solvent (F), wherein the amount of the crosslinkable monomer (B) is 40-150 pts.wt. based on 100 pts.wt. alkali- soluble resin in the electroconductive resin paste. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は感光性銀ペーストに
関するものであり、それを用いた画像表示装置等であ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive silver paste and an image display device using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プラズマデイスプレイパネル、液
晶表示装置等の画像表示装置、サーマルヘッド等の各種
電子部品においては微細な電極をパターン形成する必要
があり、例えばスクリーン印刷法、蒸着、スパッタリン
グやメッキ等の方法で形成した導電性膜をフォトリソグ
ラフィー法によりエッチングしてパターン形成する方法
やスクリーンによるパターン印刷等の方法で作成したパ
ターンを乾燥・焼成する事によって電極とすることが行
われている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in various electronic parts such as a plasma display panel, an image display device such as a liquid crystal display device, and a thermal head, it is necessary to form a fine electrode pattern, for example, a screen printing method, vapor deposition, sputtering or plating. A conductive film formed by the above method is etched by a photolithography method to form a pattern, or a pattern formed by a method such as pattern printing using a screen is dried and baked to form an electrode.

【0003】これらの方法のうちエッチングによってパ
ターン形成する方法では高精度なパターン形成が可能で
あるが、エッチング工程を有することからコスト高にな
るといった欠点があった。一方のスクリーン版による印
刷法は画像表示装置の大画面化に対応する基板へのパタ
ーン形成には比較的低コストで可能であることから有利
であるが、50μm以下の微細パターンの形成には版の
精度上限界があった。このような理由から、従来の電極
パターン作成法の問題点を解決して高精度な微細電極パ
ターンを形成するための感光性銀ペーストが画像表示装
置の電極形成に使用されるようになった。これらのペー
ストは焼成を行うため、通常焼結性を良好なものにする
ためにガラスフリットを添加している。このガラスフリ
ットには400℃〜600℃の低温で焼結するために酸化鉛を
添加しているものが多い。しかし、昨今の環境問題への
意識の高まりより鉛成分を排除しようという動きが高く
なっている。さらに、酸化鉛はペースト中でイオンにな
りやすく、これがアクリルモノマーの重合を促進するこ
とで保存中に粘度が上昇してしまう恐れがある。よって
酸化鉛を含まず、かつ低温で焼成可能なガラスフリット
の必要性が高まっている。
Among these methods, the method of forming a pattern by etching can form a highly accurate pattern, but it has a drawback that the cost is high because of the etching process. On the other hand, the printing method using a screen plate is advantageous because it is possible to form a pattern on a substrate corresponding to a large screen of an image display device at a relatively low cost, but it is useful for forming a fine pattern of 50 μm or less. There was a limit in accuracy. For these reasons, a photosensitive silver paste for solving the problems of the conventional electrode pattern forming method and forming a highly precise fine electrode pattern has come to be used for forming an electrode of an image display device. Since these pastes are fired, glass frit is usually added to improve the sinterability. Many of these glass frits contain lead oxide for sintering at a low temperature of 400 ° C to 600 ° C. However, due to the recent increasing awareness of environmental issues, there is a growing movement to eliminate lead components. Furthermore, lead oxide tends to become ions in the paste, which accelerates the polymerization of the acrylic monomer, which may increase the viscosity during storage. Therefore, there is an increasing need for a glass frit that does not contain lead oxide and can be fired at a low temperature.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、焼結
助剤として酸化鉛を含まず、且つ450℃〜550℃で焼成可
能なガラスフリットを添加した感光性銀ペーストを提供
することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a photosensitive silver paste which does not contain lead oxide as a sintering aid and to which is added a glass frit which can be fired at 450 ° C to 550 ° C. is there.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】アルカリ可溶性樹脂
(A)、不飽和二重結合を有する架橋性モノマー
(B)、光重合開始剤(C)、銀粉(D)、酸化ビスマ
スを50重量%以上含むガラスフリット(E)、有機溶
剤(F)からなる感光性の導電性樹脂ペーストであり、
導電性樹脂ペースト中のアルカリ可溶性樹脂100重量
部に対して不飽和二重結合を有する架橋性モノマー
(B)が40〜150重量部、光重合開始剤(C)が1
5〜60重量部、銀粉(D)が400〜1500重量
部、酸化ビスマスを50重量%以上含むガラスフリット
(E)が1〜60重量部、有機溶剤(F)が50〜25
0重量部の範囲にある感光性銀ペーストである。更に好
ましくは、光重合開始剤(C)が、ジメチルベンジルケ
タール、4−ジメチルアミノ安息香酸である感光性銀ペ
ーストである。また、上記の感光性銀ペーストを用いて
製造された画像表示装置である。
[Means for Solving the Problems] Alkali-soluble resin (A), crosslinkable monomer having unsaturated double bond (B), photopolymerization initiator (C), silver powder (D), and bismuth oxide in an amount of 50% by weight or more. A photosensitive conductive resin paste comprising a glass frit (E) and an organic solvent (F) containing
40 to 150 parts by weight of the crosslinkable monomer (B) having an unsaturated double bond and 100 parts by weight of the photopolymerization initiator (C) with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the conductive resin paste.
5 to 60 parts by weight, silver powder (D) is 400 to 1500 parts by weight, glass frit (E) containing 50% by weight or more of bismuth oxide is 1 to 60 parts by weight, and organic solvent (F) is 50 to 25 parts by weight.
It is a photosensitive silver paste in the range of 0 parts by weight. More preferably, it is a photosensitive silver paste in which the photopolymerization initiator (C) is dimethylbenzyl ketal or 4-dimethylaminobenzoic acid. Further, it is an image display device manufactured using the above-mentioned photosensitive silver paste.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】本発明に用いられるアルカリ可溶
性樹脂(A)は、ペーストのバインダー樹脂であり通常
のアルカリ性現像液による現像を可能にするためにアル
カリ可溶性であることが望ましい。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The alkali-soluble resin (A) used in the present invention is a binder resin for a paste, and is preferably alkali-soluble in order to enable development with an ordinary alkaline developer.

【0007】具体的な例を挙げると、カルボン酸のよう
な酸性基とエチレン性不飽和基を有するアクリル系共重
合体が好適であり、酸性基成分としてはアクリル酸、メ
タクリル酸、コハク酸2−メタクリロイルオキシエチ
ル、コハク酸2−アクリロイルオキシエチル、フタル酸
2−メタクリロイルオキシエチル、フタル酸2−アクリ
ロイルオキシエチルなどが挙げられ、エチレン性不飽和
成分としてはメチルアクリレート、メチルメタクリレー
ト、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−
プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、
イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレー
ト、nーブチルアクリレート、 nーブチルメタクリレ
ート、sec−ブチルアクリレート、 sec−ブチル
メタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチル
メタクリレート、tert−ブチルアクリレート、 t
ert−ブチルメタクリレート、アリルアクリレート、
アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジ
ルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シク
ロヘキシルメタリレートなどが挙げられる。
To give a concrete example, an acrylic copolymer having an acidic group such as carboxylic acid and an ethylenically unsaturated group is preferable, and as the acidic group component, acrylic acid, methacrylic acid, succinic acid 2 -Methacryloyloxyethyl, 2-acryloyloxyethyl succinate, 2-methacryloyloxyethyl phthalate, 2-acryloyloxyethyl phthalate and the like, as the ethylenically unsaturated component, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl. Methacrylate, n-
Propyl acrylate, n-propyl methacrylate,
Isopropyl acrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, tert-butyl acrylate, t
ert-butyl methacrylate, allyl acrylate,
Examples thereof include allyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl metalylate and the like.

【0008】本発明の不飽和二重結合を有する架橋性モ
ノマー(B)は、少なくとも1つのエチレン性不飽和二
重結合を有する化合物である。光照射によって光重合開
始剤から発生したラジカルで反応し、アルカリ現像液へ
の溶解性を低下させてパターン形成するものである。具
体的な例としては、アリルアクリレート、ベンジルアク
リレート、ブトキシエチルアクリレート、ブトキシエチ
レングリコールアクリレート、シクロヘキシルアクリレ
ート、ジシクロペンタニルアクリレート、2−エチルヘ
キシルアクリレート、グリセロールアクリレート、グリ
シジルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレー
ト、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、イソボニル
アクリレート、イソオクチルアクリレート、ラウリルア
クリレート、2−メトキシアクリレート、メトキシエチ
レングリコールアクリレート、フェノキシエチルアクリ
レート、ステアリルアクリレート、エチレングリコール
ジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレー
ト、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,5−
ペンタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジ
オールジアクリレート、1,3−プロパンジオールジア
クリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジアクリ
レート、2,2−ジメチロールプロパンジアクリレー
ト、グリセロールジアクリレート、トリプロピレングリ
コールジアクリレート、グリセロールトリアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタ
エリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトー
ルテトラアクリレート、エチレンオキサイド変性ペンタ
エリスリトールトリアクリレート、エチレンオキサイド
変性ペンタエリスリトールテトラアクリレート、プロピ
レンオキサイド変性ペンタエリスリトールテトラアクリ
レート、プロピレンオキサイド変性ペンタエリスリトー
ルトリアクリレート、トリエチレングリコールジアクリ
レート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパント
リアクリレート、ブチレングリコールジアクリレート、
1,2,4−ブタントリオールトリアクリレート、2,
2,4−トリメチルー1,3−ペンタンジオールジアク
リレート、1,10−デカンジオールジメチルアクリレ
ート、ペンタエリスリトールヘキサアクリレート及び上
記のアクリレートをメタクリレートに置き換えたもの、
γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、1−
ビニルー2−ピロリドン等が挙げられる。上記の架橋性
モノマーを2種以上組み合わせて用いても良い。不飽和
二重結合を有する架橋性モノマー(B)の量は、アルカ
リ可溶性樹脂100重量部に対し40〜150重量部で
ある。下限値未満では架橋性に乏しく、解像度が悪くな
り、上限値を越えると粘度が著しく低下し、保存中に銀
粉が沈降し凝集する原因となるため好ましくない。
The crosslinkable monomer (B) having an unsaturated double bond of the present invention is a compound having at least one ethylenically unsaturated double bond. It reacts with the radicals generated from the photopolymerization initiator upon irradiation with light to reduce the solubility in an alkali developing solution to form a pattern. As specific examples, allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, butoxyethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, glycerol acrylate, glycidyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2- Hydroxypropyl acrylate, isobonyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxy acrylate, methoxy ethylene glycol acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,5-
Pentanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,3-propanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate, 2,2-dimethylolpropane diacrylate, glycerol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate Acrylate, glycerol triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, ethylene oxide modified pentaerythritol triacrylate, ethylene oxide modified pentaerythritol tetraacrylate, propylene oxide modified pentaerythritol tetraacrylate, propylene oxide modified penta Erythritol triacrylate, Triethylene glycol diacrylate, polyoxyethylene propane triacrylate, butylene glycol diacrylate,
1,2,4-butanetriol triacrylate, 2,
2,4-trimethyl-1,3-pentanediol diacrylate, 1,10-decanediol dimethyl acrylate, pentaerythritol hexaacrylate and the above acrylates replaced by methacrylates,
γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 1-
Examples include vinyl-2-pyrrolidone and the like. You may use the said crosslinkable monomer in combination of 2 or more types. The amount of the crosslinkable monomer (B) having an unsaturated double bond is 40 to 150 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. If it is less than the lower limit, the crosslinkability is poor and the resolution is poor.

【0009】本発明に用いられる光重合開始剤(C)
は、ジメチルベンジルケタール、4−ジメチルアミノ安
息香酸が高感度でパターンを得る上で好ましい。この組
み合わせに加えて通常のネガタイプのフォトリソグラフ
ィーに用いられる光重合開始剤をさらに添加することも
差し支えない。例を挙げると、ベンゾフェノン、o−ベ
ンゾイル安息香酸メチル、4,4−ビス(ジメチルアミ
ン)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミン)
ベンゾフェノン、α−アミノアセトフェノン、4,4−
ジクロロベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチル
ジフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、
2,2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキ
シ−2−フェニル−2−フェニルアセトフェノン、2−
ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、p−t−ブ
チルジクロロアセトフェノン、チオキサントン、2−メ
チルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−
イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサント
ン、ベンジル−メトキシエチルアセタール、ベンゾイ
ン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルエー
テル、アントラキノン、2−t−ブチルアントラキノ
ン、2―アミルアントラキノン、β−クロロアントラキ
ノン、アントロン、ベンズアントロン、ジベンゾスベロ
ン、メチレンアントロン、4−アジドベンザルアセトフ
ェノン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)シク
ロヘキサノン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデ
ン)−4−メチルシクロヘキサノン、2−フェニル−
1,2−ブタジオン−2−(o−メトキシカルボニル)
オキシム、1−フェニル−プロパンジオン−2−(o−
エトキシカルボニル)オキシム、1,3−ジフェニル−
プロパントリオン−2−(o−エトキシカルボニル)オ
キシム、1−フェニル−3−エトキシープロパントリオ
ン−2−(o−ベンゾイル)オキシム、ミヒラーケト
ン、2−メチル−[4−(メチルチオ)フェニル]−2
−モルフォリノ−1−プロパノン、ナフタレンスルフォ
ニルクロライド、キノリンスルフォニルクロライド、N
−フェニルチオアクドリン、4,4−アゾビスイソブチ
ロニトリル、ジフェニルジスルフィド、ベンズチアゾー
ルスルフィド、トリフェニルフォスフィン、カンファー
キノンなどであるが2種以上併用しても差し支えない。
光架橋開始剤(C)の合計量は、アルカリ可溶性樹脂1
00重量部あたり15〜60重量部である。下限値未満
では解像度が悪くなり、上限値を越えると保存性に問題
があり好ましくない。
The photopolymerization initiator (C) used in the present invention
Are preferably dimethylbenzyl ketal and 4-dimethylaminobenzoic acid for obtaining a pattern with high sensitivity. In addition to this combination, a photopolymerization initiator used in ordinary negative type photolithography may be further added. For example, benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamine) benzophenone, 4,4-bis (diethylamine)
Benzophenone, α-aminoacetophenone, 4,4-
Dichlorobenzophenone, 4-benzoyl-4-methyldiphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone,
2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, 2-
Hydroxy-2-methylpropiophenone, pt-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-
Isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzyl-methoxyethyl acetal, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, anthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, β-chloroanthraquinone, anthrone, benzanthrone, dibenzosuberone, methylene Anthrone, 4-azidobenzalacetophenone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexanone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 2-phenyl-
1,2-Butadione-2- (o-methoxycarbonyl)
Oxime, 1-phenyl-propanedione-2- (o-
Ethoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenyl-
Propanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3-ethoxy-propanetrione-2- (o-benzoyl) oxime, Michler's ketone, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2
-Morpholino-1-propanone, naphthalene sulfonyl chloride, quinoline sulfonyl chloride, N
-Phenylthioacdrine, 4,4-azobisisobutyronitrile, diphenyldisulfide, benzthiazole sulfide, triphenylphosphine, camphorquinone and the like, but two or more kinds may be used in combination.
The total amount of the photocrosslinking initiator (C) is the alkali-soluble resin 1
It is 15 to 60 parts by weight per 00 parts by weight. If it is less than the lower limit value, the resolution becomes poor, and if it exceeds the upper limit value, there is a problem in storage stability, which is not preferable.

【0010】本発明の銀粉(D)は、導電性を付与させ
るために使用される。銀粉の量は、アルカリ可溶樹脂1
00重量部あたり400〜1500重量部である。下限
値未満では焼成後の導電性に問題があり、上限値を越え
ると光反応性に問題があり好ましくない。
The silver powder (D) of the present invention is used to impart conductivity. The amount of silver powder is 1
It is 400 to 1500 parts by weight per 00 parts by weight. If it is less than the lower limit, there is a problem in conductivity after firing, and if it exceeds the upper limit, there is a problem in photoreactivity, which is not preferable.

【0011】本発明に用いられるガラスフリット(E)
は、酸化ビスマスを主成分とするものであり、焼成後に
銀の焼結を助ける働きを有し、酸化鉛を含まないため環
境にも良く、450℃〜550℃の温度で焼成可能であること
を見出した。本発明に用いられるガラスフリットは、酸
化ビスマスを50%以上含むものであり、その他の成分
としては、酸化ホウ素、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化アル
ミニウム、酸化ケイ素、酸化セリウム、酸化ジルコニウ
ム、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化マグネシウム、
酸化バリウム等の酸化物を1つまたは2つ以上を含むもの
である。ガラスフリット量は、アルカリ可溶性樹脂10
0重量部あたり1〜60重量部である。下限値未満では
焼結できないため導電性が低く、上限値を越えると遮光
保存時での粘度上昇が大きいため好ましくない。
Glass frit (E) used in the present invention
Is composed mainly of bismuth oxide, has a function of helping the sintering of silver after firing, and is environmentally friendly because it does not contain lead oxide, and it can be fired at a temperature of 450 ° C to 550 ° C. Found. The glass frit used in the present invention contains 50% or more of bismuth oxide, and other components include boron oxide, zinc oxide, tin oxide, aluminum oxide, silicon oxide, cerium oxide, zirconium oxide, lithium oxide, Sodium oxide, magnesium oxide,
It contains one or more oxides such as barium oxide. The amount of glass frit is 10
It is 1 to 60 parts by weight per 0 parts by weight. If the amount is less than the lower limit, sintering cannot be performed, resulting in low conductivity, and if the amount exceeds the upper limit, the viscosity increases greatly during storage under light-shielding.

【0012】本発明に用いられる有機溶剤(F)は、ペ
ーストを所望の粘度にしてスクリーン印刷等の作業性を
向上させるために用いられるが、具体的な例としては、
エチルアルコール、イソプロピルアルコール、n−プロ
ピルアルコール等のアルコール系溶剤、メトキシアルコ
ール、エトキシアルコール等のセロソルブ系溶剤、メト
キシエトキシエタノール、エトキシエトキシエタノール
等のカルビトール系溶剤、酢酸エチル、酢酸ブチル、メ
トキシプロピオン酸メチル、乳酸エチル等のエステル系
溶剤、メトキシエチルアセテート、エトキシエチルアセ
テート、エチルセロソルブアセテート等のセロソルブア
セテート系溶剤、メトキシエトキシエチルアセテート、
エトキシエトキシエチルアセテート等のカルビトールア
セテート系溶剤、エチレングリコールジメチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒ
ドロフラン等のエーテル系溶剤、N,N−ジメチルフォ
ルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチ
ル−2−ピロリドン等の非プロトン性アミド系溶剤、γ
―ブチロラクトン等のラクトン系溶剤、トルエン、キシ
レン、ナフタレン等の芳香族炭化水素系溶剤、n−ヘプ
タン、n−ヘキサン、n−オクタン脂肪族炭化水素系溶
剤、等の有機溶剤が挙げられる。有機溶剤の量は、アル
カリ可溶性樹脂100重量部に対して50〜250重量
部である。下限値未満であると粘度が高すぎるため膜厚
が薄くなり、ピンホールが発生しやすくなる可能性があ
り、逆に上限値を越えると粘度が低すぎ、保存中に銀粉
が沈降して凝集するため好ましくない。
The organic solvent (F) used in the present invention is used to make the paste have a desired viscosity to improve workability such as screen printing.
Alcohol solvents such as ethyl alcohol, isopropyl alcohol, n-propyl alcohol, cellosolve solvents such as methoxy alcohol and ethoxy alcohol, carbitol solvents such as methoxy ethoxy ethanol and ethoxy ethoxy ethanol, ethyl acetate, butyl acetate, methoxy propionic acid. Ester solvents such as methyl and ethyl lactate, methoxyethyl acetate, ethoxyethyl acetate, cellosolve acetate solvents such as ethyl cellosolve acetate, methoxyethoxyethyl acetate,
Carbitol acetate-based solvents such as ethoxyethoxyethyl acetate, ether-based solvents such as ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, etc. Aprotic amide solvent, γ
-Lactone solvents such as butyrolactone, aromatic hydrocarbon solvents such as toluene, xylene, and naphthalene, and organic solvents such as n-heptane, n-hexane, and n-octane aliphatic hydrocarbon solvents. The amount of the organic solvent is 50 to 250 parts by weight based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. If it is less than the lower limit, the viscosity will be too high and the film thickness will be thin, and pinholes may easily occur.On the contrary, if it exceeds the upper limit, the viscosity will be too low and silver powder will settle and agglomerate during storage. It is not preferable because

【0013】さらに上記の成分に添加剤として、増感
剤、重合禁止剤、分散剤、消泡剤、増粘剤、沈殿防止
剤、レベリング剤等を必要に応じて加えることが可能で
ある。
Further, a sensitizer, a polymerization inhibitor, a dispersant, a defoaming agent, a thickener, a suspending agent, a leveling agent and the like can be added as additives to the above components.

【0014】本発明の感光性銀ペーストは、構成成分の
うち銀粉とガラスフリットを除いたものを事前にイエロ
ールーム等の紫外線を遮断した部屋で秤量、配合した
後、三本ロールや攪拌機にて均一なワニスを作成する。
そのワニスに銀粉、ガラスフリットを添加しワニスと同
条件で三本ロールや混練機にて混合してペーストを作成
する。
The photosensitive silver paste of the present invention is prepared by weighing and mixing components of the composition excluding silver powder and glass frit in a room such as a yellow room, which is shielded from ultraviolet rays, and then using a three-roll mill or a stirrer. Make a uniform varnish.
Silver powder and glass frit are added to the varnish, and the paste is prepared by mixing the varnish under the same conditions as the varnish with a three-roll or kneader.

【0015】本発明の感光性銀ペーストを用いてプラズ
マディスプレイの電極パターンを形成する場合は、ガラ
ス基板上に通常スクリーン印刷等の方法で5〜30μm
の厚みで塗布される。
When the electrode pattern of a plasma display is formed using the photosensitive silver paste of the present invention, it is usually 5 to 30 μm on a glass substrate by a method such as screen printing.
Applied in the thickness of.

【0016】ついで基板上の塗布膜を50〜120℃で
5〜30分程度加熱乾燥した後、フォトリソグラフィー
法により所望のマスクを介して紫外線照射し、露光部分
を光硬化させる。このときに用いられる光源は紫外線、
電子線、X線等があるが中でも紫外線が好ましい。通常
高圧水銀灯が用いられる。通常の露光量は生産性等を考
慮して50〜1000[mJ/cm2]程度が好まし
い。
Then, the coating film on the substrate is heated and dried at 50 to 120 ° C. for about 5 to 30 minutes, and then ultraviolet rays are irradiated through a desired mask by a photolithography method to photo-cur the exposed portion. The light source used at this time is ultraviolet light,
There are electron beams, X-rays, etc., but ultraviolet rays are preferable. Usually, a high pressure mercury lamp is used. The usual exposure amount is preferably about 50 to 1000 [mJ / cm 2 ] in consideration of productivity and the like.

【0017】次に未露光部分をアルカリ現像液で溶解除
去してパターン形成する。現像は浸漬法やスプレー法が
あるが微細パターン形成には後者が用いられる。通常現
像液にはアルカリ水溶液が用いられるが、水酸化ナトリ
ウム、水酸化カルシウム、炭酸ナトリウム等の金属アル
カリ水溶液やテトラメチルアンモニウムヒドロオキサイ
ド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン等の有
機アルカリ水溶液を用いることもできる。通常のアルカ
リ水溶液の濃度は0.1〜2wt%程度がよく用いられ
る。
Next, the unexposed portion is dissolved and removed with an alkaline developer to form a pattern. The development includes a dipping method and a spray method, but the latter is used for forming a fine pattern. Usually, an alkaline aqueous solution is used as the developing solution, but a metallic alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide, calcium hydroxide or sodium carbonate, or an organic alkaline aqueous solution such as tetramethylammonium hydroxide, monoethanolamine or diethanolamine can also be used. The normal concentration of the alkaline aqueous solution is often about 0.1 to 2 wt%.

【0018】次に得られたパターンを空気中にて焼成し
て感光性有機成分であるアルカリ可溶性樹脂、架橋性モ
ノマー、光重合開始剤を完全に酸化蒸発させる。温度条
件としては400〜600℃で15〜120分間焼成し
ガラス基板に銀成分を融着焼き付けする。
Next, the obtained pattern is baked in air to completely oxidize and evaporate the alkali-soluble resin, the crosslinkable monomer and the photopolymerization initiator, which are photosensitive organic components. The temperature conditions are 400 to 600 ° C. for 15 to 120 minutes, and the silver component is fusion-baked on the glass substrate.

【0019】本発明の感光性銀ペーストを用いて電極パ
ターンを形成した場合、焼成後の導電膜の厚み1〜10
μmで最小線幅30μm程度の微細パターンを形成する
ことができる。それらを用いて信頼性が高く、高画像の
画像表示装置を作製することができる。画像表示装置の
製造方法は従来の公知の方法を用いることができる。
When an electrode pattern is formed using the photosensitive silver paste of the present invention, the thickness of the conductive film after firing is 1 to 10
It is possible to form a fine pattern having a minimum line width of about 30 μm in μm. By using them, an image display device with high reliability and high image can be manufactured. As a method for manufacturing the image display device, a conventionally known method can be used.

【0020】[0020]

【実施例】以下本発明を実施例で具体的に説明する。 <実施例1>アルカリ可溶性樹脂としてメチルメタクリ
レート/メタクリル酸(モル比:90/10)共重合体
100重量部、アクリルモノマーとしてエチレンオキサ
イド変性トリメチロールプロパンアクリレート80重量
部、光重合開始剤(1)ジメチルベンジルケタール15
重量部、光重合開始剤(2)4−ジメチルアミノ安息香
酸12重量部、光重合開始剤(3)イソプロピルチオキ
サントン10重量部、有機溶剤としてブチルカルビトー
ル150重量部添加したワニスを作成した。その後、こ
のワニス成分に銀粉800重量部、酸化ビスマスを80
重量%含むガラスフリット20重量部を添加してペース
トを作成した。このペーストの種々の特性を評価し、表
1に示す結果を得た。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples. <Example 1> 100 parts by weight of a methyl methacrylate / methacrylic acid (molar ratio: 90/10) copolymer as an alkali-soluble resin, 80 parts by weight of ethylene oxide-modified trimethylolpropane acrylate as an acrylic monomer, and a photopolymerization initiator (1). Dimethylbenzyl ketal 15
A varnish was prepared by adding 20 parts by weight of photopolymerization initiator (2) 4-dimethylaminobenzoic acid, 10 parts by weight of photopolymerization initiator (3) isopropylthioxanthone, and 150 parts by weight of butyl carbitol as an organic solvent. Then, add 800 parts by weight of silver powder and 80 parts of bismuth oxide to this varnish component.
A paste was prepared by adding 20 parts by weight of a glass frit containing 10% by weight. Various properties of this paste were evaluated and the results shown in Table 1 were obtained.

【0021】<塗布、印刷>上記ペーストを325メッ
シュのスクリーンを用いてガラス基板上(500mm
角、3mm厚)に400mm角に塗布し、80℃で10
分乾燥することによって厚さ12μmのベタの膜を得
た。
<Coating and printing> The above paste was applied on a glass substrate (500 mm) using a 325 mesh screen.
Square, 3 mm thick) to 400 mm square and apply at 80 ° C for 10
A solid film having a thickness of 12 μm was obtained by minute drying.

【0022】<露光、現像>上記で作成した塗布膜に1
0〜100μmのテストパターンを有するマスクを用い
て50〜300[mJ/cm2]まで50[mJ/c
2]きざみの紫外線を照射した。その後0.5wt%
の炭酸ナトリウム水溶液でスプレー現像して未露光部を
除去水洗した。
<Exposure and development> 1 is applied to the coating film prepared above.
50 [mJ / c] up to 50-300 [mJ / cm 2 ] using a mask having a test pattern of 0-100 μm
m 2 ], the ultraviolet rays of each step were irradiated. Then 0.5 wt%
The product was spray-developed with an aqueous sodium carbonate solution to remove the unexposed portion and washed with water.

【0023】<焼成>ガラス基板上に印刷した塗布膜を
空気中500℃で60分間焼成を行い、電極パターンを
作成した。 <評価>焼成塗布膜の膜厚、解像度、比抵抗を測定評価
した。膜厚は表面粗さ計にて測定し、解像度は金属顕微
鏡にて観察した。比抵抗はシート抵抗を測定し膜厚から
算出した。保存安定性は23℃遮光した状態で放置し、
ペースト粘度が初期粘度に対して50%上昇するまでの
日数で評価した。銀粉の凝集については、作製日から容
器の底に凝集物が確認されるまでの日数で評価した。ピ
ンホールは、400mm角に塗布したペーストを80℃
で10分乾燥し、パターンを作成せずに500℃で60
分間焼成し、光に透かして10μm以上のピンホールの
数を数えた。
<Baking> The coating film printed on the glass substrate was baked in air at 500 ° C. for 60 minutes to form an electrode pattern. <Evaluation> The film thickness, resolution and specific resistance of the baked coating film were measured and evaluated. The film thickness was measured with a surface roughness meter, and the resolution was observed with a metallographic microscope. The specific resistance was calculated from the film thickness by measuring the sheet resistance. For storage stability, leave it at 23 ℃
It was evaluated by the number of days until the paste viscosity increased by 50% with respect to the initial viscosity. Aggregation of silver powder was evaluated by the number of days from the date of preparation to the time when aggregates were confirmed on the bottom of the container. Pinholes are pastes applied to 400 mm square at 80 ° C.
Dry for 10 minutes at 60 ° C at 500 ℃ without creating a pattern
After baking for a minute, the number of pinholes of 10 μm or more was counted through the light.

【0024】<実施例2〜5、比較例1〜11>表1に
示した組成以外はすべて実施例1と同様の方法、操作で
感光性銀ペーストを作成し、実施例1と同様の評価を行
った。結果を表1に示す。
<Examples 2 to 5, Comparative Examples 1 to 11> A photosensitive silver paste was prepared by the same method and operation as in Example 1 except for the composition shown in Table 1, and evaluated in the same manner as in Example 1. I went. The results are shown in Table 1.

【0025】[0025]

【表1】 [Table 1]

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明の感光性銀ペーストを基板上に塗
布した後、周りに広がることがなく、フォトリソグラフ
ィーで高精度な微細パターンを高感度で形成することが
可能であり、焼成した後に得られる電極の導電性につい
ても良好である。さらに、長期保存にも適している。そ
の結果、低抵抗で導電性に優れかつ40μm以下の高解
像度を200[mJ/cm2]以下の露光量で得ること
が出来、プラズマデイスプレイに代表される画像表示装
置等のパターン電極の形成に有用である。また、本発明
の感光性銀ペーストには鉛を含まないため環境にも優れ
ており、450℃〜550℃で焼成可能な感光性銀ペーストで
ある。
After applying the photosensitive silver paste of the present invention onto a substrate, it is possible to form a highly precise fine pattern with high sensitivity by photolithography without spreading around, and after firing. The conductivity of the obtained electrode is also good. It is also suitable for long-term storage. As a result, low resistance, excellent conductivity, and high resolution of 40 μm or less can be obtained with an exposure amount of 200 [mJ / cm 2 ] or less, which is suitable for forming pattern electrodes such as image display devices typified by plasma displays. It is useful. In addition, the photosensitive silver paste of the present invention does not contain lead and thus is excellent in the environment, and is a photosensitive silver paste that can be baked at 450 ° C to 550 ° C.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G03F 7/028 G03F 7/028 H01B 1/22 H01B 1/22 A Fターム(参考) 2H025 AA00 AA19 AB14 AB17 AC01 AD01 BC13 BC42 CA05 CA27 CB42 CB45 CC09 FA35 FA39 4J011 PA03 PA15 PA69 PC02 QA03 QA13 QA22 QA23 QA24 RA03 SA54 SA61 WA01 4J026 AA43 BA27 BA28 DB36 FA04 GA08 5G301 DA03 DA33 DA34 DA37 DA42 DD01 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G03F 7/028 G03F 7/028 H01B 1/22 H01B 1/22 A F term (reference) 2H025 AA00 AA19 AB14 AB17 AC01 AD01 BC13 BC42 CA05 CA27 CB42 CB45 CC09 FA35 FA39 4J011 PA03 PA15 PA69 PC02 QA03 QA13 QA22 QA23 QA24 RA03 SA54 SA61 WA01 4J026 AA43 BA27 BA28 DB36 FA04 GA08 5G301 DA03 DA33 DA34 DA37 DA42 DD01

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 アルカリ可溶性樹脂(A)、不飽和二重
結合を有する架橋性モノマー(B)、光重合開始剤
(C)、銀粉(D)、酸化ビスマスを50重量%以上含
むガラスフリット(E)、有機溶剤(F)を有する感光
性の導電性樹脂ペーストであり、該導電性樹脂ペースト
中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して不飽和二
重結合を有する架橋性モノマー(B)が40〜150重
量部、光重合開始剤(C)が15〜60重量部、銀粉
(D)が400〜1500重量部、酸化ビスマスを50
重量%以上含むガラスフリット(E)が1〜60重量
部、有機溶剤(F)が50〜250重量部の範囲にある
ことを特徴とする感光性銀ペースト。
1. A glass frit containing an alkali-soluble resin (A), a crosslinkable monomer having an unsaturated double bond (B), a photopolymerization initiator (C), a silver powder (D), and 50% by weight or more of bismuth oxide ( E), a photosensitive conductive resin paste containing an organic solvent (F), wherein the crosslinkable monomer (B) having an unsaturated double bond is added to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the conductive resin paste. 40 to 150 parts by weight, photopolymerization initiator (C) 15 to 60 parts by weight, silver powder (D) 400 to 1500 parts by weight, bismuth oxide 50
A photosensitive silver paste, characterized in that the glass frit (E) is contained in an amount of 1 to 60 parts by weight, and the organic solvent (F) is included in an amount of 50 to 250 parts by weight, which are contained in an amount of at least 1% by weight.
【請求項2】 光重合開始剤(C)が、ジメチルベンジ
ルケタール、4−ジメチルアミノ安息香酸である請求項
1記載の感光性銀ペースト。
2. The photosensitive silver paste according to claim 1, wherein the photopolymerization initiator (C) is dimethylbenzyl ketal or 4-dimethylaminobenzoic acid.
【請求項3】 請求項1に記載の感光性銀ペーストを用
いて製造された画像表示装置。
3. An image display device manufactured using the photosensitive silver paste according to claim 1.
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