JP2003043676A - Photosensitive silver paste and image display using the same - Google Patents
Photosensitive silver paste and image display using the sameInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は感光性銀ペーストに
関するものであり、それを用いた画像表示装置等であ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive silver paste and an image display device using the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、プラズマデイスプレイパネル、液
晶表示装置等の画像表示装置、サーマルヘッド等の各種
電子部品においては微細な電極をパターン形成する必要
があり、例えばスクリーン印刷法、蒸着、スパッタリン
グやメッキ等の方法で形成した導電性膜をフォトリソグ
ラフィー法によりエッチングしてパターン形成する方法
やスクリーンによるパターン印刷等の方法で作成したパ
ターンを乾燥・焼成する事によって電極とすることが行
われている。2. Description of the Related Art Conventionally, in various electronic parts such as a plasma display panel, an image display device such as a liquid crystal display device, and a thermal head, it is necessary to pattern fine electrodes, for example, a screen printing method, vapor deposition, sputtering or plating. A conductive film formed by the above method is etched by a photolithography method to form a pattern, or a pattern formed by a method such as pattern printing using a screen is dried and baked to form an electrode.
【0003】これらの方法のうちエッチングによってパ
ターン形成する方法では高精度なパターン形成が可能で
あるが、エッチング工程を有することからコスト高にな
るといった欠点があった。一方のスクリーン版による印
刷法は画像表示装置の大画面化に対応する基板へのパタ
ーン形成には比較的低コストで可能であることから有利
ではあるが、ペースト中のごみがあるとパターン作成時
にも残り、焼成後に断線の原因となる。Among these methods, the method of forming a pattern by etching can form a highly accurate pattern, but it has a drawback that the cost is high because of the etching process. On the other hand, the printing method using the screen plate is advantageous because it is possible to form a pattern on the substrate corresponding to the large screen of the image display device at a relatively low cost, but if there is dust in the paste, it may occur during pattern creation. Also remains, which causes disconnection after firing.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、断線の少ない優れたパターン作成能力を有する感光
性銀ぺーストを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is, therefore, an object of the present invention to provide a photosensitive silver paste which has an excellent pattern forming ability with less disconnection.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】アルカリ可溶性樹脂
(A)、不飽和二重結合を有する架橋性モノマー
(B)、光重合開始剤(C)、銀粉(D)、ガラスフリ
ット(E)、有機溶剤(F)からなる感光性の銀ペース
トであり、銀ペースト中のアルカリ可溶樹脂100重量
部に対して不飽和二重結合を有する架橋性モノマー
(B)が40〜150重量部、光重合開始剤(C)が1
5〜50重量部、銀粉(D)が400〜1500重量
部、ガラスフリット(E)が1〜60重量部、有機溶剤
(F)が50〜250重量部の範囲にあり、ワニス作成
後、ペースト作成後にそれぞれろ過工程を経ている感光
性銀ペーストである。さらに上記の感光性銀ペーストを
用いて製造された画像表示装置である。Means for Solving the Problems Alkali-soluble resin (A), crosslinkable monomer having unsaturated double bond (B), photopolymerization initiator (C), silver powder (D), glass frit (E), organic A photosensitive silver paste comprising a solvent (F), 40 to 150 parts by weight of a crosslinkable monomer (B) having an unsaturated double bond with respect to 100 parts by weight of an alkali-soluble resin in the silver paste, and photopolymerization. 1 initiator (C)
5 to 50 parts by weight, silver powder (D) is 400 to 1500 parts by weight, glass frit (E) is 1 to 60 parts by weight, and organic solvent (F) is 50 to 250 parts by weight. It is a photosensitive silver paste that has been subjected to a filtration process after each preparation. Further, the image display device is manufactured by using the above-mentioned photosensitive silver paste.
【0006】[0006]
【発明の実施の形態】本発明に用いられるアルカリ可溶
性樹脂(A)は、ペーストのバインダー樹脂であり通常
のアルカリ性現像液による現像を可能にするためにアル
カリ可溶性であることが望ましい。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The alkali-soluble resin (A) used in the present invention is a binder resin for a paste, and is preferably alkali-soluble in order to enable development with an ordinary alkaline developer.
【0007】具体的な例を挙げると、カルボン酸のよう
な酸性基とエチレン性不飽和基を有するアクリル系共重
合体が好適であり、酸性基成分としてはアクリル酸、メ
タクリル酸、コハク酸2−メタクリロイルオキシエチ
ル、コハク酸2−アクリロイルオキシエチル、フタル酸
2−メタクリロイルオキシエチル、フタル酸2−アクリ
ロイルオキシエチルなどが挙げられ、エチレン性不飽和
成分としてはメチルアクリレート、メチルメタクリレー
ト、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−
プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、
イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレー
ト、nーブチルアクリレート、 nーブチルメタクリレ
ート、sec−ブチルアクリレート、 sec−ブチル
メタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチル
メタクリレート、tert−ブチルアクリレート、 t
ert−ブチルメタクリレート、アリルアクリレート、
アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジ
ルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シク
ロヘキシルメタリレートなどが挙げられる。To give a concrete example, an acrylic copolymer having an acidic group such as carboxylic acid and an ethylenically unsaturated group is preferable, and as the acidic group component, acrylic acid, methacrylic acid, succinic acid 2 -Methacryloyloxyethyl, 2-acryloyloxyethyl succinate, 2-methacryloyloxyethyl phthalate, 2-acryloyloxyethyl phthalate and the like, as the ethylenically unsaturated component, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl. Methacrylate, n-
Propyl acrylate, n-propyl methacrylate,
Isopropyl acrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, tert-butyl acrylate, t
ert-butyl methacrylate, allyl acrylate,
Examples thereof include allyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl metalylate and the like.
【0008】本発明の不飽和二重結合を有する架橋性モ
ノマー(B)は、少なくとも1つのエチレン性不飽和二
重結合を有する化合物である。光照射によって光重合開
始剤から発生したラジカルで反応し、アルカリ現像液へ
の溶解性を低下させてパターン形成するものである。具
体的な例としては、アリルアクリレート、ベンジルアク
リレート、ブトキシエチルアクリレート、ブトキシエチ
レングリコールアクリレート、シクロヘキシルアクリレ
ート、ジシクロペンタニルアクリレート、2−エチルヘ
キシルアクリレート、グリセロールアクリレート、グリ
シジルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレー
ト、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、イソボニル
アクリレート、イソオクチルアクリレート、ラウリルア
クリレート、2−メトキシアクリレート、メトキシエチ
レングリコールアクリレート、フェノキシエチルアクリ
レート、ステアリルアクリレート、エチレングリコール
ジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレー
ト、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,5−
ペンタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジ
オールジアクリレート、1,3−プロパンジオールジア
クリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジアクリ
レート、2,2−ジメチロールプロパンジアクリレー
ト、グリセロールジアクリレート、トリプロピレングリ
コールジアクリレート、グリセロールトリアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタ
エリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトー
ルテトラアクリレート、エチレンオキサイド変性ペンタ
エリスリトールトリアクリレート、エチレンオキサイド
変性ペンタエリスリトールテトラアクリレート、プロピ
レンオキサイド変性ペンタエリスリトールテトラアクリ
レート、プロピレンオキサイド変性ペンタエリスリトー
ルトリアクリレート、トリエチレングリコールジアクリ
レート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパント
リアクリレート、ブチレングリコールジアクリレート、
1,2,4−ブタントリオールトリアクリレート、2,
2,4−トリメチルー1,3−ペンタンジオールジアク
リレート、1,10−デカンジオールジメチルアクリレ
ート、ペンタエリスリトールヘキサアクリレート及び上
記のアクリレートをメタクリレートに置き換えたもの、
γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、1−
ビニルー2−ピロリドン等が挙げられる。上記の架橋性
モノマーを2種以上組み合わせて用いても良い。不飽和
二重結合を有する架橋性モノマー(B)の量は、アルカ
リ可溶性樹脂100重量に対し40〜150重量部であ
ることが好ましい。40重量部未満では架橋性に乏し
く、解像度が悪くなり、150重量部を越えると粘度が
著しく低下し、保存中に銀粉が沈降し、凝集する原因と
なるため好ましくない。The crosslinkable monomer (B) having an unsaturated double bond of the present invention is a compound having at least one ethylenically unsaturated double bond. It reacts with the radicals generated from the photopolymerization initiator upon irradiation with light to reduce the solubility in an alkali developing solution to form a pattern. As specific examples, allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, butoxyethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, glycerol acrylate, glycidyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2- Hydroxypropyl acrylate, isobonyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxy acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,5-
Pentanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,3-propanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate, 2,2-dimethylolpropane diacrylate, glycerol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate Acrylate, glycerol triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, ethylene oxide modified pentaerythritol triacrylate, ethylene oxide modified pentaerythritol tetraacrylate, propylene oxide modified pentaerythritol tetraacrylate, propylene oxide modified penta Erythritol triacrylate, Triethylene glycol diacrylate, polyoxyethylene propane triacrylate, butylene glycol diacrylate,
1,2,4-butanetriol triacrylate, 2,
2,4-trimethyl-1,3-pentanediol diacrylate, 1,10-decanediol dimethyl acrylate, pentaerythritol hexaacrylate and the above acrylates replaced by methacrylates,
γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 1-
Examples include vinyl-2-pyrrolidone and the like. You may use the said crosslinkable monomer in combination of 2 or more types. The amount of the crosslinkable monomer (B) having an unsaturated double bond is preferably 40 to 150 parts by weight based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. If it is less than 40 parts by weight, the crosslinkability is poor and the resolution is poor, and if it exceeds 150 parts by weight, the viscosity is remarkably lowered and the silver powder precipitates during storage, causing aggregation, which is not preferable.
【0009】本発明に用いられる光重合開始剤(C)
は、ジメチルベンジルケタール、4−ジメチルアミノ安
息香酸を必須成分として含むことが高感度でパターンを
得る上で好ましい。この組み合わせに加えて通常のネガ
タイプのフォトリソグラフィーに用いられる光重合開始
剤をさらに添加することも差し支えない。例を挙げる
と、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、
4,4−ビス(ジメチルアミン)ベンゾフェノン、4,
4−ビス(ジエチルアミン)ベンゾフェノン、α−アミ
ノアセトフェノン、4,4−ジクロロベンゾフェノン、
4−ベンゾイル−4−メチルジフェニルケトン、ジベン
ジルケトン、フルオレノン、2,2−ジエトキシアセト
フェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニル−2−フ
ェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプ
ロピオフェノン、p−t−ブチルジクロロアセトフェノ
ン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−
クロロチオキサントン、2−イソプロピルチオキサント
ン、ジエチルチオキサントン、ベンジル−メトキシエチ
ルアセタール、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキノン、2−
t−ブチルアントラキノン、2―アミルアントラキノ
ン、β−クロロアントラキノン、アントロン、ベンズア
ントロン、ジベンゾスベロン、メチレンアントロン、4
−アジドベンザルアセトフェノン、2,6−ビス(p−
アジドベンジリデン)シクロヘキサノン、2,6−ビス
(p−アジドベンジリデン)−4−メチルシクロヘキサ
ノン、2−フェニル−1,2−ブタジオン−2−(o−
メトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−プロパ
ンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、
1,3−ジフェニル−プロパントリオン−2−(o−エ
トキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−3−エト
キシープロパントリオン−2−(o−ベンゾイル)オキ
シム、ミヒラーケトン、2−メチル−[4−(メチルチ
オ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン、
ナフタレンスルフォニルクロライド、キノリンスルフォ
ニルクロライド、N−フェニルチオアクドリン、4,4
−アゾビスイソブチロニトリル、ジフェニルジスルフィ
ド、ベンズチアゾールスルフィド、トリフェニルフォス
フィン、カンファーキノンなどであるが2種以上併用し
ても差し支えない。光架橋開始剤(C)の添加量は、ア
ルカリ可溶性樹脂100重量部あたり15〜60重量部
であることが望ましい。15重量部未満では反応性に乏
しく、解像度が悪くなり、60重量部を越えると保存性
に問題があり好ましくない。The photopolymerization initiator (C) used in the present invention
It is preferable to contain dimethylbenzyl ketal and 4-dimethylaminobenzoic acid as essential components in order to obtain a pattern with high sensitivity. In addition to this combination, a photopolymerization initiator used in ordinary negative type photolithography may be further added. For example, benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate,
4,4-bis (dimethylamine) benzophenone, 4,
4-bis (diethylamine) benzophenone, α-aminoacetophenone, 4,4-dichlorobenzophenone,
4-benzoyl-4-methyldiphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, p-t-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-
Chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzyl-methoxyethyl acetal, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, anthraquinone, 2-
t-Butylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, β-chloroanthraquinone, anthrone, benzanthrone, dibenzosuberone, methyleneanthrone, 4
-Azidobenzalacetophenone, 2,6-bis (p-
Azidobenzylidene) cyclohexanone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 2-phenyl-1,2-butadion-2- (o-
Methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime,
1,3-Diphenyl-propanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3-ethoxy-propanetrione-2- (o-benzoyl) oxime, Michler's ketone, 2-methyl- [4- (methylthio ) Phenyl] -2-morpholino-1-propanone,
Naphthalene sulphonyl chloride, quinoline sulphonyl chloride, N-phenylthioacdrine, 4,4
-Azobisisobutyronitrile, diphenyl disulfide, benzthiazole sulfide, triphenylphosphine, camphorquinone and the like, but two or more kinds may be used in combination. The addition amount of the photocrosslinking initiator (C) is preferably 15 to 60 parts by weight per 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. If it is less than 15 parts by weight, the reactivity is poor and the resolution becomes poor, and if it exceeds 60 parts by weight, there is a problem in storage stability, which is not preferable.
【0010】本発明の銀粉(D)は、導電性を付与させ
るために使用される。銀粉の量は、アルカリ可溶樹脂1
00重量部あたり400〜1500重量部であることが
好ましい。400重量部未満では焼成後の導電性に問題
があり、1500重量部を越えると反応性に問題があ
り、解像度が悪くなる可能性があり好ましくない。使用
される銀粉の粒径は、0.5〜5.0μmが好ましい。The silver powder (D) of the present invention is used to impart conductivity. The amount of silver powder is 1
It is preferably 400 to 1500 parts by weight per 00 parts by weight. If it is less than 400 parts by weight, there is a problem in conductivity after firing, and if it exceeds 1500 parts by weight, there is a problem in reactivity, and the resolution may deteriorate, which is not preferable. The particle size of the silver powder used is preferably 0.5 to 5.0 μm.
【0011】本発明に用いられるガラスフリット(E)
は、焼成後に銀を焼結させるものである。ガラスフリッ
ト量は、アルカリ可溶性樹脂100重量部あたり1〜6
0重量部であることが好ましい。1重量部未満では焼結
できないため導電性が低く、60重量部を越えると遮光
保存時での粘度上昇が大きいため好ましくない。使用さ
れるガラスフリットの粒径は、0.1〜3.0μmが好
ましい。Glass frit (E) used in the present invention
Is for sintering silver after firing. The glass frit amount is 1 to 6 per 100 parts by weight of the alkali-soluble resin.
It is preferably 0 part by weight. If it is less than 1 part by weight, it cannot be sintered and the conductivity is low. The particle size of the glass frit used is preferably 0.1 to 3.0 μm.
【0012】本発明の用いられる有機溶剤(F)は、ペ
ーストを所望の粘度にしてスクリーン印刷等の作業性を
向上させるために用いられる。具体的な例としては、エ
チルアルコール、イソプロピルアルコール、n−プロピ
ルアルコール等のアルコール系溶剤、メトキシアルコー
ル、エトキシアルコール等のセロソルブ系溶剤、メトキ
シエトキシエタノール、エトキシエトキシエタノール等
のカルビトール系溶剤、酢酸エチル、酢酸ブチル、メト
キシプロピオン酸メチル、乳酸エチル等のエステル系溶
剤、メトキシエチルアセテート、エトキシエチルアセテ
ート、エチルセロソルブアセテート等のセロソルブアセ
テート系溶剤、メトキシエトキシエチルアセテート、エ
トキシエトキシエチルアセテート等のカルビトールアセ
テート系溶剤、エチレングリコールジメチルエーテル、
ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロ
フラン等のエーテル系溶剤、N,N−ジメチルフォルム
アミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−
2−ピロリドン等の非プロトン性アミド系溶剤、γ―ブ
チロラクトン等のラクトン系溶剤、トルエン、キシレ
ン、ナフタレン等の芳香族炭化水素系溶剤、n−ヘプタ
ン、n−ヘキサン、n−オクタン脂肪族炭化水素系溶
剤、等の有機溶剤が挙げられる。有機溶剤の量は、アル
カリ可溶性樹脂100重量部に対して50〜250重量
部であることが好ましい。50重量部未満であると粘度
が高すぎるため膜厚が薄くなり、ピンホールが発生しや
すくなる可能性があり、逆に250重量部を越えると粘
度が低すぎて、保存中に銀粉が沈降し凝集するため好ま
しくない。The organic solvent (F) used in the present invention is used to make the paste have a desired viscosity and improve workability such as screen printing. Specific examples include alcohol solvents such as ethyl alcohol, isopropyl alcohol and n-propyl alcohol, cellosolve solvents such as methoxy alcohol and ethoxy alcohol, carbitol solvents such as methoxyethoxy ethanol and ethoxyethoxy ethanol, ethyl acetate. , Ester solvents such as butyl acetate, methyl methoxypropionate and ethyl lactate, cellosolve acetate solvents such as methoxyethyl acetate, ethoxyethyl acetate and ethyl cellosolve acetate, carbitol acetates such as methoxyethoxyethyl acetate and ethoxyethoxyethyl acetate Solvent, ethylene glycol dimethyl ether,
Ether-based solvents such as diethylene glycol dimethyl ether and tetrahydrofuran, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-
Aprotic amide solvents such as 2-pyrrolidone, lactone solvents such as γ-butyrolactone, aromatic hydrocarbon solvents such as toluene, xylene and naphthalene, n-heptane, n-hexane and n-octane aliphatic hydrocarbons. Examples include organic solvents such as system solvents. The amount of the organic solvent is preferably 50 to 250 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. When it is less than 50 parts by weight, the viscosity is too high and the film thickness becomes thin, so that pinholes may easily occur. On the contrary, when it exceeds 250 parts by weight, the viscosity is too low and silver powder precipitates during storage. It is not preferable because it aggregates.
【0013】さらに上記成分に添加剤として、増感剤、
重合禁止剤、レベリング剤、分散剤、消泡剤、増粘剤、
沈殿防止剤等を必要に応じて加えることが可能である。Further, as an additive to the above components, a sensitizer,
Polymerization inhibitor, leveling agent, dispersant, defoaming agent, thickener,
A suspending agent or the like can be added if necessary.
【0014】本発明の感光性銀ペーストは、構成成分の
うち銀粉とガラスフリットを除いたものを事前にイエロ
ールーム等の紫外線を遮断した部屋で秤量、配合した
後、三本ロールや攪拌機にて均一なワニスを作成する。
ワニスは、0.1〜10μmのメッシュにてろ過し、そ
のワニスに銀粉、ガラスフリットをイエロールーム等の
紫外線を遮断した部屋で添加し、三本ロールや混練機に
て混合してペーストを作成する。ペーストは、10〜1
00μmのメッシュにてろ過する。ペーストの粘度は用
途に応じて有機溶剤で調整されるが、通常1000〜3
0万cps程度が好ましい。The photosensitive silver paste of the present invention is prepared by weighing and mixing components of the composition excluding silver powder and glass frit in a room such as a yellow room, which is shielded from ultraviolet rays, and then using a three-roll mill or a stirrer. Make a uniform varnish.
The varnish is filtered through a mesh of 0.1 to 10 μm, and silver powder and glass frit are added to the varnish in a room such as a yellow room where ultraviolet rays are blocked, and mixed with a triple roll or a kneader to form a paste. To do. Paste is 10-1
Filter through a 00 μm mesh. The viscosity of the paste is adjusted with an organic solvent according to the application, but usually 1000 to 3
About 10,000 cps is preferable.
【0015】本発明の感光性銀ペーストを用いてプラズ
マデイスプレイの電極パターンを形成する場合は、ガラ
ス基板上に通常スクリーン印刷等の方法で5〜30μm
の厚みで塗布される。When the electrode pattern of the plasma display is formed using the photosensitive silver paste of the present invention, it is usually 5 to 30 μm on the glass substrate by a method such as screen printing.
Applied in the thickness of.
【0016】ついで基板上の塗布膜を50〜120℃で
10〜30分程度加熱乾燥した後、フォトリソグラフィ
ー法により所望のマスクを介して紫外線照射し、露光部
分を光硬化させる。このときに用いられる光源は紫外
線、電子線、X線等があるが、その中では紫外線が好ま
しい。通常高圧水銀灯が用いられる。通常の露光量は生
産性等を考慮して50〜1000[mJ/cm2]程度
が好ましい。Then, the coating film on the substrate is heated and dried at 50 to 120 ° C. for about 10 to 30 minutes, and then ultraviolet rays are irradiated through a desired mask by a photolithography method to photo-cur the exposed portion. The light source used at this time includes ultraviolet rays, electron beams, X-rays and the like, and among them, ultraviolet rays are preferable. Usually, a high pressure mercury lamp is used. The usual exposure amount is preferably about 50 to 1000 [mJ / cm 2 ] in consideration of productivity and the like.
【0017】次に未露光部分をアルカリ現像液で溶解除
去してパターン形成する。現像は浸漬法やスプレー法が
あるが微細パターン形成には後者が用いられる。通常現
像液にはアルカリ水溶液が用いられるが、水酸化ナトリ
ウム、水酸化カルシウム、炭酸ナトリウム等の金属アル
カリ水溶液やテトラメチルアンモニウムヒドロオキサイ
ド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン等の有
機アルカリ水溶液を用いることもできる。通常のアルカ
リ水溶液の濃度は0.1〜2.0wt%程度がよく用い
られる。Next, the unexposed portion is dissolved and removed with an alkaline developer to form a pattern. The development includes a dipping method and a spray method, but the latter is used for forming a fine pattern. Usually, an alkaline aqueous solution is used as the developing solution, but a metallic alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide, calcium hydroxide or sodium carbonate, or an organic alkaline aqueous solution such as tetramethylammonium hydroxide, monoethanolamine or diethanolamine can also be used. A usual alkaline aqueous solution is often used at a concentration of about 0.1 to 2.0 wt%.
【0018】次に得られたパターンを空気中にて焼成し
て感光性有機成分であるアルカリ可溶性樹脂、架橋性モ
ノマー、光重合開始剤、有機溶剤を完全に酸化蒸発させ
る。温度条件としては450〜550℃で15〜60分
間焼成しガラス基板に銀成分を融着焼き付けする。Next, the obtained pattern is baked in air to completely oxidize and evaporate the alkali-soluble resin, the crosslinkable monomer, the photopolymerization initiator and the organic solvent, which are photosensitive organic components. The temperature condition is 450 to 550 ° C. for 15 to 60 minutes, and the silver component is fusion-baked on the glass substrate.
【0019】本発明の感光性銀ペーストを用いて電極パ
ターンを形成した場合、焼成後の導電膜の厚み5〜10
μmで最小線幅20μm程度の微細パターンを形成する
ことができる。それらを用いて信頼性が高く、高画像の
画像表示装置を作製することが出来る。画像表示装置の
製造方法は従来の公知の方法を用いることが出来る。When an electrode pattern is formed using the photosensitive silver paste of the present invention, the thickness of the conductive film after firing is 5 to 10
It is possible to form a fine pattern having a minimum line width of about 20 μm in μm. By using them, an image display device with high reliability and high image can be manufactured. As a method for manufacturing the image display device, a conventionally known method can be used.
【0020】[0020]
【実施例】以下本発明を実施例で具体的に説明する。
<実施例1>アルカリ可溶性樹脂としてメチルメタクリ
レート/メタクリル酸(モル比:90/10)共重合体
(1)100重量部、アクリルモノマーとしてエチレン
オキサイド変性トリメチロールプロパンアクリレート8
0重量部、光重合開始剤(1)としてジメチルベンジル
ケタール15重量部、光重合開始剤(2)として4−ジ
メチルアミノ安息香酸12重量部、光重合開始剤(3)
としてイソプロピルチオキサントン10重量部、γ−ブ
チロラクトン150重量部を添加したワニスをイエロー
ルームで3本ロールを用いて作成し、5μmのフィルタ
ーにてろ過した。その後、イエロールームにてこのワニ
ス成分に銀分(1)800重量部、ガラスフリット
(1)20重量部を添加して3本ロールを用いて銀ペー
ストを作成し、25μmのフィルターにてろ過した。こ
のペーストの種々の特性を評価し、表1に示す結果を得
た。EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples. <Example 1> 100 parts by weight of a methyl methacrylate / methacrylic acid (molar ratio: 90/10) copolymer (1) as an alkali-soluble resin and ethylene oxide-modified trimethylolpropane acrylate 8 as an acrylic monomer.
0 parts by weight, 15 parts by weight of dimethylbenzyl ketal as the photopolymerization initiator (1), 12 parts by weight of 4-dimethylaminobenzoic acid as the photopolymerization initiator (2), and a photopolymerization initiator (3)
As an example, a varnish containing 10 parts by weight of isopropylthioxanthone and 150 parts by weight of γ-butyrolactone was prepared in a yellow room using a three-roll mill, and filtered with a 5 μm filter. Thereafter, in the yellow room, 800 parts by weight of silver (1) and 20 parts by weight of glass frit (1) were added to this varnish component to prepare a silver paste using a three-roll, and the silver paste was filtered with a 25 μm filter. . Various properties of this paste were evaluated and the results shown in Table 1 were obtained.
【0021】<塗布、印刷>上記ペーストを325メッ
シュのスクリーンを用いてガラス基板上(500mm
角、3mm厚)に400mm角に塗布し、70℃で30
分乾燥することによって厚さ12μmのベタの膜を得
た。<Coating and printing> The above paste was applied on a glass substrate (500 mm) using a 325 mesh screen.
Square, 3 mm thick) to 400 mm square and apply at 70 ° C for 30
A solid film having a thickness of 12 μm was obtained by minute drying.
【0022】<露光、現像>上記で作成した塗布膜に1
0〜100μmのテストパターンを有するマスクを用い
て50〜300[mJ/cm2]まで50[mJ/c
m2]きざみの紫外線を照射した。その後0.5wt%
の炭酸ナトリウム水溶液でスプレー現像して未露光部を
除去水洗した。<Exposure and development> 1 is applied to the coating film prepared above.
50 [mJ / c] up to 50-300 [mJ / cm 2 ] using a mask having a test pattern of 0-100 μm
m 2 ], the ultraviolet rays of each step were irradiated. Then 0.5 wt%
The product was spray-developed with an aqueous sodium carbonate solution to remove the unexposed portion and washed with water.
【0023】<焼成>ガラス基板上に印刷した塗布膜を
空気中500℃で60分間焼成を行い、電極パターンを
作成した。
<評価>焼成塗布膜の膜厚、解像度、比抵抗を測定評価
した。膜厚は表面粗さ計にて測定し、解像度は金属顕微
鏡にて観察した。比抵抗はシート抵抗を測定し膜厚から
算出した。保存安定性は23℃で遮光した状態で放置
し、ペースト粘度が初期粘度に対して50%上昇するま
での日数で評価した。銀粉の凝集については、作製日か
ら凝集物が確認されるまでの日数で評価した。ピンホー
ルは、400mm角に塗布したペーストを70℃で30
分乾燥し、パターンを作成せずに500℃で60分間焼
成し、光に透かして数を数えた。<Baking> The coating film printed on the glass substrate was baked in air at 500 ° C. for 60 minutes to form an electrode pattern. <Evaluation> The film thickness, resolution and specific resistance of the baked coating film were measured and evaluated. The film thickness was measured with a surface roughness meter, and the resolution was observed with a metallographic microscope. The specific resistance was calculated from the film thickness by measuring the sheet resistance. The storage stability was evaluated by the number of days until the paste viscosity was increased by 50% with respect to the initial viscosity by allowing the paste to stand at 23 ° C. in the dark. Aggregation of silver powder was evaluated by the number of days from the date of preparation to the confirmation of aggregates. The pinhole is 30 mm at 70 ° C with paste applied on a 400 mm square.
It was dried for a minute, baked at 500 ° C. for 60 minutes without forming a pattern, and counted through light.
【0024】<実施例2〜5、比較例1〜13>表1に
示した組成以外はすべて実施例1と同様の方法、操作で
感光性銀ペーストを作成し、実施例1と同様の評価を行
った。評価結果を表1及び表2に示す。<Examples 2 to 5, Comparative Examples 1 to 13> A photosensitive silver paste was prepared by the same method and operation as in Example 1 except for the composition shown in Table 1, and evaluated in the same manner as in Example 1. I went. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2.
【0025】[0025]
【表1】 [Table 1]
【0026】[0026]
【表2】 [Table 2]
【0027】[0027]
【発明の効果】本発明の感光性銀ペーストを基板上に塗
布した後、周りに広がることがなく、フォトリソグラフ
ィーで高精度な微細パターンを高感度で形成することが
可能であり、焼成した後に得られる電極の導電性につい
ても良好である。さらに、常温保存において銀粉が沈み
にくいため、長期保存にも適している。その結果、低抵
抗で導電性に優れかつ50μm以下の高解像度を200
[mJ/cm2]以下の露光量で得ることができ、プラ
ズマデイスプレイに代表される画像表示装置等のパター
ン電極の形成に有用である。After applying the photosensitive silver paste of the present invention onto a substrate, it is possible to form a highly precise fine pattern with high sensitivity by photolithography without spreading around, and after firing. The conductivity of the obtained electrode is also good. Furthermore, it is suitable for long-term storage because the silver powder does not sink easily when stored at room temperature. As a result, low resistance, excellent conductivity, and high resolution of 50 μm or less can be achieved.
It can be obtained at an exposure dose of [mJ / cm 2 ] or less, and is useful for forming a pattern electrode of an image display device represented by a plasma display.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01B 1/22 H01B 1/22 A Fターム(参考) 2H025 AA01 AA02 AB17 AC01 AD01 BC14 BC32 BC42 CA01 CA27 CB13 CB14 CB43 CB52 CC03 CC08 CC09 FA01 FA03 FA17 FA29 4J011 AA05 CB00 CC07 CC10 DA02 FA07 FB01 PA03 PA15 PA69 PB22 PB27 PB40 PC02 PC08 QA03 QA13 QA17 QA22 QA39 QA43 SA21 SA31 SA41 SA51 SA63 SA64 SA82 SA83 UA01 VA01 WA01 WA10 4J026 AA43 AA45 AC09 AC23 BA27 BA28 BA40 DB06 DB09 DB11 DB36 FA05 GA07 GA08 5G301 DA03 DA32 DA42 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H01B 1/22 H01B 1/22 AF term (reference) 2H025 AA01 AA02 AB17 AC01 AD01 BC14 BC32 BC42 CA01 CA27 CB13 CB14 CB43 CB52 CC03 CC08 CC09 FA01 FA03 FA17 FA29 4J011 AA05 CB00 CC07 CC10 DA02 FA07 FB01 PA03 PA15 PA69 PB22 PB27 PB40 PC02 PC08 QA03 QA13 QA17 QA22 QA39 QA43 SA21 AA25 SA01 SA02 A01 WAA 29 A01 A23 A01 WAA 22 UA27 A01 WAA 22 A01 WAA 22 A01 BA40 DB06 DB09 DB11 DB36 FA05 GA07 GA08 5G301 DA03 DA32 DA42
Claims (2)
結合を有する架橋性モノマー(B)、光重合開始剤
(C)、銀粉(D)、ガラスフリット(E)、有機溶剤
(F)からなる感光性の銀ペーストであり、該銀ペース
ト中のアルカリ可溶樹脂(A)100重量部に対して、
不飽和二重結合を有する架橋性モノマー(B)が40〜
150重量部、光重合開始剤(C)が15〜60重量
部、銀粉(D)が400〜1500重量部、ガラスフリ
ット(E)が1〜60部、有機溶剤(F)が50〜25
0重量部であり、ワニス作成後及びペースト作成後にそ
れぞれろ過の工程を経ていることを特徴とする感光性銀
ペースト。1. An alkali-soluble resin (A), a crosslinkable monomer (B) having an unsaturated double bond, a photopolymerization initiator (C), a silver powder (D), a glass frit (E), an organic solvent (F). Which is a photosensitive silver paste consisting of 100 parts by weight of the alkali-soluble resin (A) in the silver paste,
The crosslinkable monomer (B) having an unsaturated double bond is 40 to
150 parts by weight, photopolymerization initiator (C) 15 to 60 parts by weight, silver powder (D) 400 to 1500 parts by weight, glass frit (E) 1 to 60 parts, organic solvent (F) 50 to 25.
The photosensitive silver paste is 0 parts by weight, and is subjected to a filtration step after the varnish is formed and after the paste is formed.
いて製造された画像表示装置。2. An image display device manufactured using the photosensitive silver paste according to claim 1.
Priority Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7105256B2 (en) | 2003-08-21 | 2006-09-12 | Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd. | Photosensitive conductive composition and plasma display panel formed by using the same |
JP2012513624A (en) * | 2008-12-23 | 2012-06-14 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | Photosensitive paste and pattern production method using the same |
-
2001
- 2001-07-30 JP JP2001228840A patent/JP2003043676A/en active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN100409371C (en) * | 2003-08-21 | 2008-08-06 | 太阳油墨制造株式会社 | Photosensitive electric conductive composition and plasma display panel |
JP2012513624A (en) * | 2008-12-23 | 2012-06-14 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | Photosensitive paste and pattern production method using the same |
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