JP2003329741A - 半導体製品の管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、半導体製品の自動割付システムにお
いて、テスタの無稼働時間を減少できるようにすること
を最も主要な特徴とする。 【解決手段】たとえば、複数の半導体製品を、ロット単
位で任意のテスタ２０１ａにより測定する場合に、その
テスタ２０１ａが備える測定ユニットの診断を行う。こ
の診断の結果、一部の測定ユニットがフェイル（ｎｇ）
の場合、不良ユニット情報をもとに、測定の際にｎｇの
測定ユニットを使用しない測定待ちの別製品を検索す
る。検索の条件に合った別製品が見付かった場合には、
その別製品をテスタ２０１ａにより測定するように、割
り付けをし直す構成となっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製品の管
理システムに関するもので、特に、半導体製品の量産工
場でのテスタ・メンテナンスと生産管理において使用さ
れる、診断結果を反映した半導体製品の自動割付システ
ムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製品（以下、単に製品と略
記する）の量産工場での一般的な自動割付システムとし
ては、たとえば、生産管理ホストが生産計画に基づいて
量産された複数の製品を、ロットを基準にいくつかの半
導体試験装置（テスタ）に自動的に割り付ける。そし
て、割り付られたテスタがそれぞれ備える測定ユニット
を選択的に用いて、製品に対する所定の測定（試験）が
ロット単位に行われる。

【０００３】図６は、従来技術における、半導体製品の
自動割付システムの構築例（ソフトウエアブロック）を
示すものである。

【０００４】図に示すように、一般的な自動割付システ
ムは、１台の生産管理ホスト１０１と複数台のテスタ２
０１とを有して構成されている。複数台のテスタ２０１
は、号機ごとに、測定する製品の種類や測定の項目に応
じた複数の測定ユニット（図示していない）を備えてい
る。これにより、割り付られたテスタ２０１によって、
それぞれ、各製品に対する所定の測定が任意に行われ
る。

【０００５】さて、生産管理ホスト１０１は、システム
全体を制御する生産管理制御ソフトを実行する制御装置
１０２によって、生産管理情報メモリ１０３、テスタ稼
働情報メモリ１０４およびテスタ構成情報メモリ１０５
などを参照しながら、生産計画に基づいて量産される複
数の製品を適当なテスタ２０１に割り付ける。通常、製
品の割り付けは、ロットを基準にして自動的に行われ
る。

【０００６】テスタ２０１は、先のロットに対する測定
が終了した後に、新たに対象となったロットの測定を、
テスタ割付情報メモリ１０６の情報をもとに実施する。
たとえば、このテスタでは、どのロットに対して、どの
測定ユニットを用いて、どのような測定を行うかの情報
（テスタ割付情報）にしたがって、新たに対象となった
ロットの測定が行われる。

【０００７】その際、生産管理ホスト１０１およびテス
タ２０１の間では、上記テスタ２０１での測定などを制
御するテスタ制御ソフト（テスタＯＳ）を実行する制御
装置２０２と、上記生産管理ホスト１０１の生産管理制
御ソフトを実行する制御装置１０２との制御のもと、デ
ータのやり取りが行われる。また、製品の測定時には、
生産管理ホスト１０１で一元管理されている製品プログ
ラムメモリ１０７内から、測定対象ロットの製品プログ
ラム１０７ａが、製品プログラム管理情報メモリ１０８
の情報をもとに読み出される。この製品プログラム１０
７ａは、テスタ２０１のテスタ内ディスク２０３にロー
ドされる。そして、テスタＯＳを実行する制御装置２０
２の制御にしたがって、その製品プログラム１０７ａが
プログラムメモリ２０４へとロードされる。

【０００８】なお、テスタ２０１では、各測定ユニット
の動作保証のために、診断する用途に応じた診断結果情
報（不良ユニット情報）を記憶するためのメモリ２０５
を管理するようになっている。測定ユニットの診断は、
毎日／週単位／月単位／製品の切り替えごとといった間
隔で行われる。たとえば、月単位に行うような診断の場
合、診断専用のボード（図示していない）をテスタ２０
１のテストヘッド上に載せることによって実行される。
また、毎日の診断では、診断専用のボードを使わずに実
行されるのが一般的である。

【０００９】診断は、テスタ内ディスク２０３内に保存
・格納されている診断プログラム２０３ａを、テスタＯ
Ｓを実行する制御装置２０２の制御のもと、プログラム
メモリ２０４にロードすることによって実行される。そ
の診断の結果は、図示していないモニタ画面上へ表示し
たり、診断結果情報としてメモリ２０５に保存したりす
ることも可能である。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】従来技術においては、
診断を実施したテスタ（ある号機）で一部の測定ユニッ
トが故障していた場合、つまり、診断により測定ユニッ
トの故障が検出された場合、修理・交換が完了するま
で、そのテスタの使用は不可となる。故障が解消される
時間も、故障の状況や修理・交換する部材のストックな
どに応じて、数時間から数日かかる場合もある。このよ
うに、場合によっては、長期間、テスタの使用を停止さ
せなければならないこともある。

【００１１】本来、テスタの一部の測定ユニット（たと
えば、特定のピンエレクトニクスの特定ピン，特定電源
など）が故障した場合でも、その測定ユニットを使用し
ないロット（製品）であれば、測定上、このテスタを使
用することに問題はない。

【００１２】しかしながら、一部の測定ユニットが故障
しているテスタによる測定が可能なロットの調査・判断
は、人間によって行うことが可能であるものの、数十〜
数百以上あるロットの中から測定が可能なロットを探し
出すのは相当な手間がかかる。そのため、実施されてい
ないのが現実であった。

【００１３】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されたもので、その目的とするところは、半導体試験装
置の無稼働時間を減少でき、半導体製品の管理を高効率
化することが容易に可能な半導体製品の管理システムを
提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明の半導体製品の管理システムにあって
は、複数の半導体製品を、ロット単位で任意の半導体試
験装置に自動的に割り付けるものであって、前記半導体
試験装置で実施された号機ごとの診断結果を取り込み、
その診断結果にもとづいて、前記半導体製品のロット割
り付けを行う割付手段を具備したことを特徴とする。

【００１５】また、この発明の半導体製品の管理システ
ムにあっては、少なくとも１つの管理制御装置と複数の
半導体試験装置とを含み、前記管理制御装置の制御によ
り、複数の半導体製品を、ロット単位で任意の半導体試
験装置に自動的に割り付けるものであって、前記複数の
半導体試験装置は、号機ごとに備えられた少なくとも１
つの測定ユニットと、号機ごとに各測定ユニットの診断
を行う診断手段と、前記診断の結果を前記管理制御装置
に転送する転送手段とを備え、前記管理制御装置は、前
記複数の半導体試験装置がそれぞれ備える測定ユニット
情報を号機ごとに記憶する第１の記憶手段と、前記複数
の半導体試験装置でそれぞれ実施された号機ごとの診断
結果を取り込み、その診断結果より、号機ごとの不良測
定ユニット情報を収集し、それを管理する管理手段と、
前記複数の半導体製品に対して施される測定情報を、ロ
ット単位で記憶する第２の記憶手段と、前記測定ユニッ
ト情報、前記不良測定ユニット情報および前記測定情報
をもとに、所定の半導体試験装置に対して割り付け可能
な半導体製品のロットを検索し、その検索の結果に応じ
て、前記ロットの再割り付けを行う割付手段とを備える
ことを特徴とする。

【００１６】この発明の半導体製品の管理システムによ
れば、半導体試験装置で実施される診断において、一部
の測定ユニットが異常でフェイルした場合でも、そのフ
ェイルとなった測定ユニットを使用しない半導体製品の
ロットを検索して、自動的に再割り付けできるようにな
る。これにより、診断フェイルの内容によっては、半導
体試験装置を停止させずに稼動させ続けることが可能と
なるものである。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。

【００１８】図１は、本発明の一実施形態にかかる、半
導体製品の量産工場での自動割付システムの構築例を示
すものである。ここでは、図６に示した従来の自動割付
システムと同一部分には同一符号を付して、その詳細な
説明は割愛する。

【００１９】この自動割付システムは、たとえば、１台
の生産管理ホスト（管理制御装置）１０１ａと、複数台
のテスタ（半導体試験装置）２０１ａ，２０１ｂ，…，
２０１ｎとを含んで構成されている。上記テスタ２０１
ａ，２０１ｂ，…，２０１ｎは、それぞれ、少なくとも
１つの測定ユニット３００を備えている。測定ユニット
３００とは、たとえば、特定のピンエレクトニクスの特
定ピンや特定電源などの機器である。上記テスタ２０１
ａ，２０１ｂ，…，２０１ｎでは、複数の測定ユニット
３００を単独で用いて、もしくは、組み合わせることに
より、半導体製品に対する所定の測定（試験）を実施す
るようになっている。

【００２０】すなわち、生産計画に基づいて量産された
複数の半導体製品は、生産管理ホスト１０１ａの制御に
より、測定する製品の種類や測定の項目に応じて、ロッ
トを基準に任意のテスタ２０１ａ，２０１ｂ，…，２０
１ｎに自動的に割り付けられる。そして、ロットの割り
付られたテスタ２０１ａ，２０１ｂ，…，２０１ｎにお
いて、それぞれ備える測定ユニット３００を選択的に用
いて、各製品に対する所定の測定がロット単位に行われ
る。

【００２１】また、この自動割付システムにおいては、
各テスタ２０１ａ，２０１ｂ，…，２０１ｎでの、各測
定ユニット３００の診断の結果に応じて、ロットの各テ
スタ２０１ａ，２０１ｂ，…，２０１ｎへの再割り付け
を自動的に行うように構成されている。

【００２２】図２は、自動割付システムにおける生産管
理ホスト１０１ａおよびテスタ２０１ａ，２０１ｂ，
…，２０１ｎの構成例（ソフトウエアブロック）を示す
ものである。なお、ここでは１つのテスタ２０１ａを例
示して説明する。

【００２３】すなわち、生産管理ホスト１０１ａには、
新たに、生産管理制御ソフトを実行する制御装置（割付
手段）１０２によりそれぞれ制御される診断結果管理情
報メモリ１１０、管理手段としての診断結果情報（不良
ユニット情報）メモリ１１１、第２の記憶手段としての
製品測定情報（使用ユニット情報）メモリ１１２、およ
び、管理モニタ（モニタ手段）１１３が設けられてい
る。

【００２４】診断結果管理情報メモリ１１０は、上記テ
スタ２０１ａ，２０１ｂ，…，２０１ｎでそれぞれ実施
された号機ごとの診断結果（測定ユニット情報）を取り
込み、記憶するものである。

【００２５】診断結果情報メモリ１１１は、上記診断結
果より、号機ごとの不良ユニット情報を収集し、それを
管理するものである。

【００２６】製品測定情報メモリ１１２は、上記各ロッ
ト（製品）に対して施される測定情報を、ロット単位で
記憶するものである。

【００２７】なお、テスタ構成情報を記憶するメモリ
（第１の記憶手段）１０５は、上記各テスタ２０１ａ，
２０１ｂ，…，２０１ｎがそれぞれ備える測定ユニット
３００に関する情報を号機ごとに記憶するものである。

【００２８】管理モニタ１１３は、上記診断結果などの
各種の情報を表示するためのものである。

【００２９】一方、テスタ２０１ａには、号機ごとに各
測定ユニット３００の診断を行う診断手段としての診断
プログラム２０３ａの他、たとえば、上記製品測定情報
メモリ１１２に記憶されている、所定のロットに対して
施される製品測定情報を上記産管理ホスト１０１ａより
受け取り、それを測定ユニット情報として記憶するメモ
リ２０７が追加されている。また、テスタ２０１ａに
は、上記生産管理ホスト１０１ａに転送される不良ユニ
ット情報を記憶するメモリ（転送手段）２０５’が設け
られている。

【００３０】このような構成によれば、測定ユニット情
報、不良ユニット情報および使用ユニット情報をもと
に、たとえば、テスタ２０１ａの一部の測定ユニット３
００が異常でフェイルした場合でも、このテスタ２０１
ａに対して割り付け可能なロット、つまり、そのフェイ
ルとなった測定ユニット３００を使用しないロットを検
索して、自動的にロットの再割り付けを行うことが可能
となる。

【００３１】以下に、上述したロットの再割り付けの方
法について、図面を参照して詳細に説明する。

【００３２】図３および図４は、本発明の一実施形態に
かかる自動割付システムでの、自動割り付けのための処
理の流れを示すものである。ここでは、先に測定を行っ
ていたテスタ２０１ａによるロット（たとえば、製品
Ｘ）の測定が終了し、次のロット、つまり、あらかじめ
割り付けられている製品（この例では、製品Ａのロッ
ト）への切り替え時において、テスタ２０１ａによる製
品Ａに対する測定の可否を判断し、テスタ２０１ａでの
製品Ａの測定が不可となった場合に、テスタ２０１ａに
よる測定が可能な別の製品Ｂを検索して、テスタ２０１
ａに対する製品Ｂの再割り付けを行う場合について説明
する。

【００３３】一連の処理の流れについて順を追って説明
すると、まず、製品Ａの割り付け（ステップｓｔ１）
は、生産管理ホスト１０１ａにおいて、生産管理制御ソ
フトを実行する制御装置１０２の制御により、製品Ｘの
測定の段階（もしくは、それ以前の段階）で、あらかじ
め行われる。この場合、製品Ａの割り付けは、メモリ１
０３内の生産管理情報やメモリ１０５内のテスタ構成情
報、または、メモリ１０４内のテスタ稼動情報などを参
照して自動的に行われる。製品Ａの割り付けは、人の判
断により行われるものであってもよい。

【００３４】製品Ａの割り付けにより、メモリ１０６内
のテスタ割付情報が、たとえば、製品Ａをテスタ２０１
ａに割り付けたことを示す情報により更新される。ま
た、メモリ１１２内の製品測定情報が、たとえば、製品
Ａの測定に使用するテスタ２０１ａの測定ユニット３０
０を示す情報により更新される。

【００３５】前ロット（製品Ｘ）に対する測定終了を示
すロットエンドの時点（ステップｓｔ２）で、テスタ制
御ソフト（テスタＯＳ）を実行する制御装置２０２の制
御のもと、テスタ２０１ａから、次ロット（製品Ａ）に
関する問い合わせが行われる。

【００３６】この問い合せに対し、生産管理ホスト１０
１ａは、割り付けられている製品Ａをキーにメモリ１１
２を検索し（ステップｓｔ３）、製品Ａの製品測定情報
をテスタ２０１ａへと送信する（ステップｓｔ４）。

【００３７】テスタ２０１ａは、生産管理ホスト１０１
ａからの製品測定情報を、測定ユニット情報としてメモ
リ２０７内に格納する（ステップｓｔ５）。そして、そ
の測定ユニット情報をもとに、製品Ａの測定に使用する
測定ユニット３００のみを診断する（ステップｓｔ
６）。診断した測定ユニット３００のすべてについて、
診断パス（ｏｋ）であれば、製品Ａの治具交換を指示す
る（ステップｓｔ７）。この治具交換の後（ステップｓ
ｔ８）、従来と同様に、製品Ａの測定を開始する（ステ
ップｓｔ９）。

【００３８】もし、診断したすべての測定ユニット３０
０のうち、１つでも診断フェイル（ｎｇ）であれば、テ
スタ２０１ａは、製品Ａでｎｇとなった測定ユニット３
００を示す不良ユニット情報（メモリ２０５’内デー
タ）を添えて、生産管理ホスト１０１ａに製品検索要求
を出す（ステップｓｔ１０）。

【００３９】生産管理ホスト１０１ａは、テスタ２０１
ａからの不良ユニット情報をメモリ１１１に格納すると
ともに、その不良ユニット情報によって、メモリ１１０
内の診断結果管理情報を更新する。また、その不良ユニ
ット情報をもとにメモリ１１２内の製品測定情報を参照
し、測定に製品Ａでｎｇとなった測定ユニット３００を
使用しない別製品Ｂを優先度の高い方から検索する（ス
テップｓｔ１１）。そして、検索された製品名をキーに
メモリ１０６内のテスタ割付情報を参照し、測定待ちと
なっているロット（別製品Ｂ）がないかの照合を行う
（ステップｓｔ１２）。この照合により、上記検索の条
件に合うロット（別製品Ｂ）が見付かれば、この別製品
Ｂのテスタ２０１ａへの再割り付けを行うべく、前述の
処理（ステップｓｔ１〜）を繰り返す。

【００４０】なお、上記ステップｓｔ１１での検索およ
び上記ステップｓｔ１２での照合により、テスタ２０１
ａでの測定が可能なロットが見付からない場合には、上
記検索の条件に合うロットがないことを示す製品検索結
果（対象ロット無情報）を、テスタ２０１ａへ通知する
（ステップｓｔ１３）。

【００４１】テスタ２０１ａは、生産管理ホスト１０１
ａからの製品検索結果の通知を受け取ることにより、す
べての測定ユニット３００の診断を行う（ステップｓｔ
１４）。この場合、テスタ２０１ａは、自身が備えるす
べての測定ユニット３００の診断を実施して、診断フェ
イル情報（不良ユニット情報）を作成する。そして、そ
の情報を、生産管理ホスト１０１ａへと送る（ステップ
ｓｔ１５）。

【００４２】生産管理ホスト１０１ａは、テスタ２０１
ａからの診断フェイル情報をメモリ１１１に格納すると
ともに（ステップｓｔ１６）、たとえば、その診断フェ
イル情報をもとにメモリ１０３内の生産管理情報を参照
し、ｎｇとなった測定ユニット３００を使用しない別製
品Ｂを優先度の高い方から検索する（ステップｓｔ１
７）。そして、検索された製品名をキーにメモリ１０６
内のテスタ割付情報を参照し、割り付け前で、測定待ち
のロット（別製品Ｂ）がないかの照合を行う（ステップ
ｓｔ１８）。この照合により、上記検索の条件に合うロ
ット（別製品Ｂ）が見付かれば、この別製品Ｂのテスタ
２０１ａへの割り付けを行った後（ステップｓｔ１
９）、前述の処理（ステップｓｔ２〜）を繰り返す。

【００４３】なお、上記ステップｓｔ１７での検索およ
び上記ステップｓｔ１８での照合により、テスタ２０１
ａでの測定が可能なロットが見付からない場合には、割
り付け不可と判断し（ステップｓｔ２０）、テスタ２０
１ａの修理（測定ユニット３００の修理）を、管理モニ
タ１１３にメッセージなどを表示させることにより指示
する（ステップｓｔ２１）。

【００４４】また、上記の診断結果において、ｎｇとな
った原因（不良個所）が測定信頼性上で問題となる場合
も同じように処理する。つまり、割り付け不可と判断
し、テスタ２０１ａの修理を、管理モニタ１１３にメッ
セージなどを表示させることにより指示する。

【００４５】上記したように、テスタで実施される診断
において、一部の測定ユニットが異常でフェイルした場
合でも、そのフェイルとなった測定ユニットを使用しな
い製品のロットを検索して、自動的に再割り付けできる
ようにしている。これにより、診断フェイルの内容によ
っては、テスタを停止させずに稼動させ続けることが可
能となる。したがって、テスタの無稼働時間を減少で
き、製品の管理を高効率化することが容易に可能となる
ものである。

【００４６】しかも、本実施形態においては、診断結果
管理情報を参照することによって、テスタの号機ごとの
使用可能な測定ユニット情報を管理モニタ上に表示させ
ることも可能である。

【００４７】特に、上記実施形態で説明した再割り付け
処理は、製品Ｘの測定が終了し、次に測定する製品Ａへ
の切り替え時間（ロットの切れ目）を利用することで容
易に実現できる。そのため、現状の生産性を大きく損う
ことはなく、総合的に時長となることもない。

【００４８】また、製品Ａの測定が不能となったテスタ
２０１ａに対して別製品Ｂを割り付け直す再割り付け処
理の場合に限らず、テスタ２０１ａでの測定が不能とな
った製品Ａの、この製品Ａに対する測定が可能な他のテ
スタへの再割り付けを行うことも容易に可能である。

【００４９】また、上述の実施形態においては、ロット
の切れ目を利用して再割り付け処理を行うようにした場
合を例に説明したが、これに限らず、たとえば定期的に
実施されるテスタでの診断結果をもとに再割り付け処理
を行うようにすることも可能である。

【００５０】図５は、定期的に実施されるテスタ２０１
ａでの診断結果をもとに、ロットの再割り付けを行うよ
うにした場合の処理の流れを示すものである。

【００５１】一連の処理の流れについて順を追って説明
すると、まず、テスタ２０１ａは、一定時間の経過によ
り、すべての測定ユニット３００の診断を行う（ステッ
プｓｔ３１）。この場合、テスタ２０１ａは、自身が備
えるすべての測定ユニット３００の診断を実施して、そ
の診断結果情報（不良ユニット情報）を、生産管理ホス
ト１０１ａへと送る（ステップｓｔ３２）。

【００５２】生産管理ホスト１０１ａは、テスタ２０１
ａからの診断結果情報をメモリ１１１に格納するととも
に（ステップｓｔ３３）、たとえば、その診断結果情報
によってメモリ１１０内の診断結果管理情報を更新する
（ステップｓｔ３４）。

【００５３】また、その診断結果情報をもとにメモリ１
１２内の製品測定情報を参照し、ｎｇとなった測定ユニ
ット３００を使用しない製品を優先度の高い方から検索
する（ステップｓｔ３５）。そして、検索された製品名
をキーにメモリ１０６内のテスタ割付情報を参照し、測
定待ちのロット（この場合、製品Ａ）がないかの照合を
行う（ステップｓｔ３６）。この照合により、上記検索
の条件に合うロットが見付かれば、この製品Ａのテスタ
２０１ａへの割り付けを行う（ステップｓｔ３７）。

【００５４】この測定の対象となった製品Ａに関する測
定ユニット情報などは、生産管理ホスト１０１ａよりテ
スタ２０１ａへと通知される（ステップｓｔ３８）。そ
して、メモリ２０７内に格納される。

【００５５】また、テスタ２０１ａは、従来と同様に、
製品Ａの測定を開始する（ステップｓｔ３９）。

【００５６】一方、上記ステップｓｔ３５での検索およ
び上記ステップｓｔ３６での照合により、テスタ２０１
ａでの測定が可能なロットが見付からない場合には、割
り付け不可と判断し（ステップｓｔ４０）、テスタ２０
１ａの修理（測定ユニット３００の修理）を、管理モニ
タ１１３にメッセージなどを表示させることにより指示
する（ステップｓｔ４１）。

【００５７】なお、上記の診断結果において、ｎｇとな
った原因（不良個所）が測定信頼性上で問題となる場合
にも、同様に、割り付け不可と判断し、テスタ２０１ａ
の修理を、管理モニタ１１３にメッセージなどを表示さ
せることにより指示する。

【００５８】この実施形態の場合のように、テスタで定
期的に実施される診断において、一部の測定ユニットが
異常でフェイルした場合にも、そのフェイルとなった測
定ユニットを使用しない製品のロットを検索して、自動
的に再割り付けできるようになる結果、テスタを停止さ
せずに稼動させ続けることが可能となり、テスタの無稼
働時間を減少できるものである。

【００５９】また、本実施形態の場合も、診断結果管理
情報を参照することによって、テスタの号機ごとの使用
可能な測定ユニット情報を管理モニタ上に表示させるこ
とが可能である。

【００６０】要するに、いずれの実施形態の場合におい
ても、テスタ２０１ａに限らず、すべてのテスタ２０１
ａ，２０１ｂ，…，２０１ｎについて、以下のような効
果が期待できる。

【００６１】（１） テスタが備える測定ユニットの故
障（精度的故障含む）を修理するために、修理部材の入
手などに要する時間ロスを減少できる。

【００６２】たとえば、テスタでの測定の再開を判断す
るまでの時間（別製品の割り付けにより測定を再開する
ことが可能なケース）は、 修理部材の在庫がある場合、数秒〜数分（従来は、２〜
３時間） 修理部材の在庫がない場合、数秒〜数分（従来は、１〜
２日） となる。

【００６３】（２） 使用していない製品にとって測定
保証の面からも問題とならない場合（特定のピンエレク
トニクスの特定ピン，特定電源など）、優先度の高い製
品（ロット）の検索が、人手による手間を掛けることな
しに行える。また、製品ごとに使用している測定ユニッ
トを調査する場合において、特別なスキルを持った人が
不在でも容易に対応することが可能となる。

【００６４】たとえば、テスタでの測定の再開を判断す
るまでの時間（別製品の割り付けにより測定を再開する
ことが可能なケース）は、 スキルを持った人がいる場合、数秒〜数分（従来は、４
〜６時間） スキルを持った人がいない場合、数秒〜数分（従来は、
不可） となる。

【００６５】（３） 無人稼働が可能な半導体試験工程
（設備）を有する測定ラインにおいて、診断の結果がｎ
ｇとなった場合でも他の製品（ロット）の再割り付けを
行うことが可能な場合、人が気付くまでの時間ロスをな
くすことができる。

【００６６】（４） テスタの一部の測定ユニットの故
障による、割り付けられている製品から他の製品（ロッ
ト）への切り替え指示（先の測定ロットの取り外しな
ど）が、製品の交換のための段取り時間（ロットの切れ
目）内に行えるため、テスタの無稼働時間を抑えること
ができる。

【００６７】なお、情報ごとにメモリを設けたが、これ
に限らず、たとえば１つのメモリによって複数の情報を
記憶・管理するように構成することも可能である。

【００６８】その他、本発明は、上記（各）実施形態に
限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱
しない範囲で種々に変形することが可能である。さら
に、上記（各）実施形態には種々の段階の発明が含まれ
ており、開示される複数の構成要件における適宜な組み
合わせにより種々の発明が抽出され得る。たとえば、
（各）実施形態に示される全構成要件からいくつかの構
成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の
欄で述べた課題（の少なくとも１つ）が解決でき、発明
の効果の欄で述べられている効果（の少なくとも１つ）
が得られる場合には、その構成要件が削除された構成が
発明として抽出され得る。

【００６９】

【発明の効果】以上、詳述したようにこの発明によれ
ば、半導体試験装置の無稼働時間を減少でき、半導体製
品の管理を高効率化することが容易に可能な半導体製品
の管理システムを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態にかかる自動割付システム
の構築例を示すブロック図。

【図２】図１に示す自動割付システムの、生産管理ホス
トおよびテスタの構成例を示すブロック図。

【図３】本発明の一実施形態にかかる、自動割り付けの
ための処理の流れを説明するために示すフローチャー
ト。

【図４】同じく、自動割り付けのための処理の流れを説
明するために示すフローチャート。

【図５】本発明の他の実施形態にかかる、自動割り付け
のための処理の流れを説明するために示すフローチャー
ト。

【図６】従来技術とその問題点を説明するために示す、
生産管理ホストおよびテスタのブロック図。

【符号の説明】

１０１ａ…生産管理ホスト １０２…制御装置（生産管理制御ソフト） １０３…生産管理情報メモリ １０４…テスタ稼働情報メモリ １０５…テスタ構成情報メモリ １０６…テスタ割付情報メモリ １０７…製品プログラムメモリ、 １０８…製品プログラム管理情報メモリ １１０…診断結果管理情報メモリ １１１…診断結果情報メモリ １１２…製品測定情報メモリ １１３…管理モニタ ２０１ａ，２０１ｂ，…，２０１ｎ…テスタ ２０２…制御装置（テスタ制御ソフト（テスタＯＳ）） ２０３…テスタ内ディスク ２０３ａ…診断プログラム ２０４…プログラムメモリ ２０５’…診断結果情報メモリ ２０７…測定ユニット情報メモリ ３００…測定ユニット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AA07 AB01 AF06 AH01 2G132 AA00 AE16 AE18 AE23 AE30 AL09 AL11 AL12 AL25 4M106 AA02 AA04 BA01 DD30 DE30 DJ21 DJ40

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の半導体製品を、ロット単位で任意
   の半導体試験装置に自動的に割り付ける半導体製品の管
   理システムであって、 前記半導体試験装置で実施された号機ごとの診断結果を
   取り込み、その診断結果にもとづいて、前記半導体製品
   のロット割り付けを行う割付手段を具備したことを特徴
   とする半導体製品の管理システム。
2. 【請求項２】 前記半導体試験装置が備える号機ごとの
   測定ユニット情報を記憶する第１の記憶手段をさらに備
   えることを特徴とする請求項１に記載の半導体製品の管
   理システム。
3. 【請求項３】 前記診断結果より、前記半導体試験装置
   の号機ごとの不良測定ユニット情報を収集し、それを管
   理する管理手段をさらに備えることを特徴とする請求項
   １に記載の半導体製品の管理システム。
4. 【請求項４】 前記不良測定ユニット情報を表示するた
   めのモニタ手段をさらに備えることを特徴とする請求項
   ３に記載の半導体製品の管理システム。
5. 【請求項５】 前記複数の半導体製品に対して施され
   る、ロット単位の測定情報を記憶する第２の記憶手段を
   さらに備えることを特徴とする請求項１に記載の半導体
   製品の管理システム。
6. 【請求項６】 前記割付手段は、前記測定ユニット情
   報、前記不良測定ユニット情報および前記測定情報をも
   とに、所定の半導体試験装置に対して、割り付け可能な
   半導体製品のロットを検索するように構成されているこ
   とを特徴とする請求項１、２、３または５に記載の半導
   体製品の管理システム。
7. 【請求項７】 前記割付手段は、前記検索の結果に応じ
   て、前記ロットの再割り付けを行うように構成されてい
   ることを特徴とする請求項６に記載の半導体製品の管理
   システム。
8. 【請求項８】 前記割付手段は、前記ロットの再割り付
   けを行った半導体試験装置に対して、そのロットの測定
   情報を配信するように構成されていることを特徴とする
   請求項７に記載の半導体製品の管理システム。
9. 【請求項９】 少なくとも１つの管理制御装置と複数の
   半導体試験装置とを含み、 前記管理制御装置の制御により、複数の半導体製品を、
   ロット単位で任意の半導体試験装置に自動的に割り付け
   る半導体製品の管理システムであって、 前記複数の半導体試験装置は、 号機ごとに備えられた少なくとも１つの測定ユニット
   と、 号機ごとに各測定ユニットの診断を行う診断手段と、 前記診断の結果を前記管理制御装置に転送する転送手段
   とを備え、 前記管理制御装置は、 前記複数の半導体試験装置がそれぞれ備える測定ユニッ
   ト情報を号機ごとに記憶する第１の記憶手段と、 前記複数の半導体試験装置でそれぞれ実施された号機ご
   との診断結果を取り込み、その診断結果より、号機ごと
   の不良測定ユニット情報を収集し、それを管理する管理
   手段と、 前記複数の半導体製品に対して施される測定情報を、ロ
   ット単位で記憶する第２の記憶手段と、 前記測定ユニット情報、前記不良測定ユニット情報およ
   び前記測定情報をもとに、所定の半導体試験装置に対し
   て割り付け可能な半導体製品のロットを検索し、その検
   索の結果に応じて、前記ロットの再割り付けを行う割付
   手段とを備えることを特徴とする半導体製品の管理シス
   テム。
10. 【請求項１０】 前記管理制御装置は、前記不良測定ユ
    ニット情報を表示するためのモニタ手段をさらに備える
    ことを特徴とする請求項９に記載の半導体製品の管理シ
    ステム。
11. 【請求項１１】 前記割付手段は、前記ロットの再割り
    付けが行われた半導体試験装置に対して、そのロットの
    測定情報を配信するように構成されていることを特徴と
    する請求項９に記載の半導体製品の管理システム。