JP2003321233A - Device and method for cutting glass board - Google Patents

Device and method for cutting glass board

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JP2003321233A
JP2003321233A JP2002123851A JP2002123851A JP2003321233A JP 2003321233 A JP2003321233 A JP 2003321233A JP 2002123851 A JP2002123851 A JP 2002123851A JP 2002123851 A JP2002123851 A JP 2002123851A JP 2003321233 A JP2003321233 A JP 2003321233A
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JP
Japan
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crack
glass substrate
cutting
heater
cooling
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JP2002123851A
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Japanese (ja)
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Akira Kamitaki
晃 上滝
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Nippon Electric Kagoshima Ltd
NEC Kagoshima Ltd
Original Assignee
Nippon Electric Kagoshima Ltd
NEC Kagoshima Ltd
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Publication date
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/09Severing cooled glass by thermal shock

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device and a method for cutting a glass board capable of forming a straight cutting line and a cutting surface perpendicular to the glass board without being affected by warps and deflections of the glass board. <P>SOLUTION: The device for cutting the glass board comprises a cutter 2 for forming an initial crack in an end face of the glass board 1, a heater 9 having multiple probes 10 for progressing the crack from the initial crack, a cooled air nozzle 4 for controlling the progressing speed of the crack, and an optical sensor 5 for detecting the front edge of the crack. The device is further provided with a slider 3 capable of moving along the line to be cut 7 and a board holding mechanism 6 for holding the crack ending side of the glass board opposite to the initial crack. The heater 9 is thermally coupled to the rear surface of the board 1 via the multiple probes 10. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はガラス基板切断装置
および切断方法に関し、特にガラス基板を熱応力を用い
て切断するガラス基板切断装置および切断方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glass substrate cutting device and a cutting method, and more particularly to a glass substrate cutting device and a cutting method for cutting a glass substrate using thermal stress.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、カラー液晶ディスプレイなどの表
示画面を形成するガラス基板の切断にあたっては、加熱
手段や冷却手段を用い、発生する熱応力によりガラス基
板の亀裂を進行させて切断する方法が採用されている。
例えば、このような熱応力を用いたガラス基板の割断装
置は、特開2000−281375号公報にも開示され
ている図3(a),(b)はそれぞれ従来のかかる一例
を説明するためのガラス基板切断装置の概略構成を表わ
す上面図および正面図である。図3(a),(b)に示
すように、従来のガラス基板切断装置は、ガラス基板1
の端面(側面)に初期亀裂を導入するためのカッター2
と、亀裂を進展させるためのヒータ9と、ヒータ9を上
下させる機構部を形成したヒータユニット8aと、亀裂
の進展速度を制御するための冷却エアーノズル4と、亀
裂の先端を検知する光学式センサ5と、これらの冷却エ
アーノズル4(冷却機構)や光学式センサ5をガラス基
板1の亀裂の進展に合わせて、すなわち切断予定線7a
に平行に移動させるスライダ部3と、ガラス基板1にお
ける亀裂の終端部を押さえる基板保持機構6とを具備し
ている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a method of cutting a glass substrate for forming a display screen such as a color liquid crystal display by using a heating means or a cooling means and advancing a crack of the glass substrate by the generated thermal stress is adopted. Has been done.
For example, a glass substrate cleaving device using such thermal stress is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-281375, FIGS. 3A and 3B, respectively, for explaining such a conventional example. It is a top view and a front view showing a schematic structure of a glass substrate cutting device. As shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), the conventional glass substrate cutting apparatus has a glass substrate 1
Cutter 2 for introducing initial cracks on the end face (side face) of
A heater 9 for propagating the crack, a heater unit 8a having a mechanism for moving the heater 9 up and down, a cooling air nozzle 4 for controlling the crack growth speed, and an optical type for detecting the tip of the crack. The sensor 5 and these cooling air nozzles 4 (cooling mechanism) and the optical sensor 5 are adjusted according to the progress of cracks in the glass substrate 1, that is, the planned cutting line 7a.
The glass substrate 1 is provided with a slider portion 3 that moves in parallel with the substrate holding mechanism 6, and a substrate holding mechanism 6 that holds down the end portion of the crack in the glass substrate 1.

【0003】このガラス基板切断装置を用いてガラス基
板1を切断する手順は、次のとおりである。
The procedure for cutting the glass substrate 1 using this glass substrate cutting device is as follows.

【0004】まず、ガラス基板1の端面(側面部)にカ
ッター2を押当て、初期亀裂をつける。ついで、ヒータ
ユニット8aにおける100〜200℃程度に熱せられ
たヒータ9を上昇させ、そのヒータ9の頂上部をガラス
基板1の裏面に接触させる。この結果、ガラス基板1に
熱応力が生じ、端面に形成した初期亀裂部から亀裂が進
展する。
First, the cutter 2 is pressed against the end surface (side surface portion) of the glass substrate 1 to make an initial crack. Next, the heater 9 heated to about 100 to 200 ° C. in the heater unit 8 a is raised, and the top of the heater 9 is brought into contact with the back surface of the glass substrate 1. As a result, thermal stress is generated in the glass substrate 1, and the crack propagates from the initial crack portion formed on the end face.

【0005】一方、ガラス基板1の裏面側においては、
冷却エアーノズル4が亀裂開口部後方周辺を冷却しなが
らスライダ部3によって移動するため、ガラス基板1に
対し熱応力による亀裂進展を促進できる。また、この亀
裂進展と同時に、亀裂先端の位置を光学式センサ5で検
知し、その亀裂先端位置に合わせて冷却エアーノズル4
の冷却位置を制御する。
On the other hand, on the back side of the glass substrate 1,
Since the cooling air nozzle 4 moves by the slider portion 3 while cooling the periphery of the rear side of the crack opening, it is possible to promote crack growth due to thermal stress on the glass substrate 1. At the same time as the crack progresses, the position of the crack tip is detected by the optical sensor 5, and the cooling air nozzle 4 is aligned with the crack tip position.
Control the cooling position of.

【0006】しかし、ガラス基板1の初期亀裂側から切
断予定線7aに沿って進展した亀裂は、切断の完了寸前
では熱応力による亀裂開口方向の応力が急激に減少する
ため、亀裂はそれ以上進展しない。
However, the crack that has propagated from the initial crack side of the glass substrate 1 along the planned cutting line 7a sharply decreases the stress in the crack opening direction due to the thermal stress immediately before the completion of cutting, so the crack further progresses. do not do.

【0007】最後に、切断の完了寸前までスライダ部3
の冷却エアーノズル4の移動により亀裂が進展した時点
で、亀裂終端側から基板保持機構6によりガラス基板1
を押し付け、外力により亀裂を進展させて切断を完了す
る。
Finally, the slider portion 3 is cut to the end of cutting.
When the crack propagates due to the movement of the cooling air nozzle 4 of the glass substrate 1 from the crack end side by the substrate holding mechanism 6.
Press to push the cracks by external force and complete the cutting.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のガラス
基板切断装置および切断方法によると、ガラス基板に若
干の反りや撓みが存在していた場合、ヒータとガラス基
板間の距離に差が生じ、熱応力による切断面がガラス基
板に垂直でなくなったり、切断線が一直線にならなかっ
たりするという欠点がある。つまり、切断面が斜めにな
ったり、あるいは切断線が曲がったりしてしまう。
According to the above-mentioned conventional glass substrate cutting apparatus and cutting method, when the glass substrate is slightly warped or bent, a difference occurs in the distance between the heater and the glass substrate. There are drawbacks in that the cut surface due to thermal stress is not perpendicular to the glass substrate, or the cutting line is not aligned. In other words, the cut surface becomes oblique, or the cut line is bent.

【0009】本発明の目的は、このようなガラス基板の
反りや撓みに影響なく、切断線を一直線状に形成すると
ともに、切断面をガラス基板に対しほぼ垂直になるよう
にすることのできるガラス基板切断装置および切断方法
を提供することにある。
It is an object of the present invention to form a cutting line in a straight line without affecting such warpage and bending of the glass substrate and to make the cutting surface substantially vertical to the glass substrate. A substrate cutting device and a cutting method are provided.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明のガラス基板切断
装置は、ガラス基板の端面に初期亀裂を形成するための
カッターと、前記初期亀裂に続く亀裂を進展させるため
に、多連プローブを設けたヒータと、前記亀裂の進展速
度を制御するための冷却機構および前記亀裂の先端を検
知する光学式センサを搭載し、切断予定線に合わせて移
動するスライダ部と、前記ガラス基板の前記初期亀裂と
は反対側の亀裂終端側を押さえる基板保持機構とを有し
て構成される。
A glass substrate cutting apparatus of the present invention is provided with a cutter for forming an initial crack on an end face of a glass substrate and a multiple probe for advancing a crack subsequent to the initial crack. Equipped with a heater, a cooling mechanism for controlling the growth rate of the crack, and an optical sensor for detecting the tip of the crack, and a slider part that moves in accordance with a planned cutting line, and the initial crack of the glass substrate And a substrate holding mechanism that presses the crack termination side on the opposite side.

【0011】また、本発明における多連プローブは、前
記ヒータ上で等間隔に形成することができる。
Further, the multiple probes according to the present invention can be formed on the heater at equal intervals.

【0012】また、本発明における多連プローブは、ス
プリング機構を備え、前記ガラス基板と前記ヒータとを
熱的に結合するように形成される。
Further, the multiple probe according to the present invention includes a spring mechanism and is formed so as to thermally couple the glass substrate and the heater.

【0013】また、本発明における多連プローブは、前
記ヒータの頂上部に形成することができる。
The multiple probe according to the present invention can be formed on the top of the heater.

【0014】また、本発明における冷却機構は、前記切
断予定線を挟んで両側より前記亀裂の先端加熱周辺部を
冷却するためのエアーを噴出する冷却エアノズルを用い
て形成される。
Further, the cooling mechanism in the present invention is formed by using cooling air nozzles for ejecting air for cooling the tip heating peripheral portion of the crack from both sides of the planned cutting line.

【0015】さらに、本発明のガラス基板切断方法は、
ガラス基板の端面にカッターにより初期亀裂を形成する
工程と、多連プローブを配設するとともに、150〜2
00℃程度の熱を発生するヒータを上昇させて前記多連
プローブの先端を前記ガラス基板の裏面に接触させる工
程と、前記ガラス基板に生じさせた熱応力により、前記
初期亀裂部から亀裂を進展させるにあたり、冷却エアー
ノズルで亀裂開口部後方周辺を冷却しながらスライダ部
によって移動させる工程と、前記亀裂進展と同時に、亀
裂先端の位置を光学式センサで検知し、その亀裂先端位
置に合わせて前記冷却エアーノズルの冷却位置を制御す
る工程と、前記ガラス基板の切断の完了寸前まで前記冷
却エアーノズルの移動により亀裂が進展した時点で、亀
裂終端側から基板保持機構によりガラス基板を押し付
け、外力により亀裂を進展させて切断を完了する工程と
を含んで構成される。
Further, the glass substrate cutting method of the present invention is
A step of forming an initial crack on the end surface of the glass substrate with a cutter, and arranging multiple probes,
A step of raising a heater that generates heat of about 00 ° C. to bring the tip of the multiple probes into contact with the back surface of the glass substrate, and a thermal stress generated in the glass substrate cause a crack to propagate from the initial crack portion. In doing so, the step of moving the slider opening while cooling the periphery of the crack opening with a cooling air nozzle, and at the same time as the crack progress, the position of the crack tip is detected by an optical sensor, and the position is adjusted to the crack tip position. A step of controlling the cooling position of the cooling air nozzle, and at the time when the crack progresses by the movement of the cooling air nozzle until just before the completion of the cutting of the glass substrate, the glass substrate is pressed from the crack end side by the substrate holding mechanism, and external force is applied. And a step of advancing a crack to complete cutting.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明のガラス基板切断装置およ
び切断方法は、カラー用PDP(プラズマ・ディスプレ
イ・パネル)の表示画面の面取りなどにあたり、ガラス
基板を分割する製造工程において、そのガラス基板の端
面に初期亀裂を導入し、ガラス基板面上に溝等を形成す
ることなく、プローブ、特に多連のプローブを具備した
ヒータ(以下、プローブヒータと呼ぶ)をガラス基板の
裏面に沿って接触させることにより、初期亀裂から続く
亀裂を進展させ、しかも冷却エアーノズルと光学式セン
サとでその亀裂の進展速度を制御することにより、ガラ
ス基板を正確に一直線に切断するものである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The glass substrate cutting apparatus and the cutting method of the present invention are used for chamfering a display screen of a color PDP (plasma display panel), etc., in the manufacturing process of dividing the glass substrate. A probe, especially a heater equipped with multiple probes (hereinafter referred to as probe heater) is brought into contact along the back surface of the glass substrate without introducing an initial crack in the end face and forming a groove or the like on the glass substrate surface. By so doing, a crack is propagated from the initial crack to a succeeding crack, and the growth rate of the crack is controlled by the cooling air nozzle and the optical sensor, so that the glass substrate is accurately cut in a straight line.

【0017】以下、本発明の実施の形態について図面を
参照して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0018】図1(a),(b)はそれぞれ本発明の一
実施の形態を説明するためのガラス基板切断装置の概略
を表わす上面図および正面図である。図1(a),
(b)に示すように、本実施の形態におけるプローブヒ
ータ式ガラス基板切断装置は、ガラス基板1の端面(側
面)に初期亀裂を導入するためのカッター2と、初期亀
裂に続く亀裂を進展させるための多連プローブ10およ
び直線状のヒータ9と、これらのプローブ10およびヒ
ータ9を組み合わせたヒータユニット8と、このヒータ
ユニット8を上下させる機構部(図示省略)と、亀裂の
進展速度を制御するための冷却機構、すなわち亀裂の先
端を検知する光学式センサ5および冷却エアーノズル4
と、これらの冷却エアーノズル4,光学式センサ5を亀
裂の進展、つまり切断予定線7に合わせて移動させるス
ライダ部3と、亀裂終端を押さえる基板保持機構6とを
具備している。なお、冷却エアノズル4は、切断予定線
7を挟んで両側より亀裂の先端加熱周辺部を冷却するた
めのエアーを噴出し、光学式センサ5とともにスライダ
部3によって初期亀裂側から亀裂終端側に移動し、切断
が完了すると再び初期亀裂側に戻るように制御される。
1 (a) and 1 (b) are a top view and a front view, respectively, showing the outline of a glass substrate cutting apparatus for explaining an embodiment of the present invention. Figure 1 (a),
As shown in (b), the probe heater type glass substrate cutting device according to the present embodiment advances a cutter 2 for introducing an initial crack into the end surface (side surface) of the glass substrate 1 and a crack subsequent to the initial crack. For multiple probes 10 and linear heaters 9, a heater unit 8 in which these probes 10 and heaters 9 are combined, a mechanism section (not shown) for moving the heater unit 8 up and down, and a crack growth rate. Cooling mechanism, that is, an optical sensor 5 and a cooling air nozzle 4 for detecting the tip of a crack
And a slider portion 3 for moving the cooling air nozzle 4 and the optical sensor 5 in accordance with the progress of cracks, that is, the planned cutting line 7, and a substrate holding mechanism 6 for holding the end of the cracks. The cooling air nozzle 4 ejects air for cooling the tip heating peripheral portion of the crack from both sides across the planned cutting line 7, and moves from the initial crack side to the crack end side by the slider portion 3 together with the optical sensor 5. Then, when the cutting is completed, it is controlled to return to the initial crack side again.

【0019】図2は図1に示すヒータユニットの一部を
表わす斜視図である。図2に示すように、この多連プロ
ーブ10は、ガラス基板1およびヒータ9間の接触を確
実にするとともに、熱的に結合するためにヒータ9の頂
上部に等間隔に設けたものであり、しかもスプリング機
構により先端をガラス基板1の裏面に押しあてる構造と
なっている。このプローブ10におけるスプリング機構
は、ガラス基板1の面に反りなどが存在していても、ガ
ラス基板1と、プローブ10の先端、つまりヒータ9と
の距離(間隔)を無くすことができる。
FIG. 2 is a perspective view showing a part of the heater unit shown in FIG. As shown in FIG. 2, this multiple probe 10 is provided at equal intervals on the top of the heater 9 for ensuring the contact between the glass substrate 1 and the heater 9 and for thermal coupling. Moreover, the structure is such that the tip end is pressed against the back surface of the glass substrate 1 by the spring mechanism. The spring mechanism in the probe 10 can eliminate the distance (interval) between the glass substrate 1 and the tip of the probe 10, that is, the heater 9, even if the surface of the glass substrate 1 is warped.

【0020】このガラス基板切断装置を用いてガラス基
板1を切断する手順は、次のとおりである。
The procedure for cutting the glass substrate 1 using this glass substrate cutting device is as follows.

【0021】まず、ガラス基板1の端面(側面部)にカ
ッター2を押当て、初期亀裂をつける。ついで、5mm
程度の等間隔に多連のプローブ10を配設し且つ150
〜200℃程度に熱したヒータ9を上昇させ、そのプロ
ーブ10ガラス基板1の裏面に接触させる。この結果、
ガラス基板1に熱応力が生じ、端面に形成した初期亀裂
部から亀裂が進展する。
First, the cutter 2 is pressed against the end surface (side surface portion) of the glass substrate 1 to make an initial crack. Then 5 mm
Multiple probes 10 are arranged at equal intervals and
The heater 9, which has been heated to about 200 ° C., is raised to bring the probe 10 into contact with the back surface of the glass substrate 1. As a result,
Thermal stress is generated in the glass substrate 1, and the crack propagates from the initial crack portion formed on the end face.

【0022】一方、ガラス基板1の裏面側においては、
冷却エアーノズル4が亀裂開口部後方周辺を冷却しなが
らスライダ部3によって移動するため、ガラス基板1に
対し熱応力による亀裂進展を促進できる。また、この亀
裂進展と同時に、亀裂先端の位置を光学式センサ5で検
知し、その亀裂先端位置に合わせて冷却エアーノズル4
の冷却位置を制御する。
On the other hand, on the back side of the glass substrate 1,
Since the cooling air nozzle 4 moves by the slider portion 3 while cooling the periphery of the rear side of the crack opening, it is possible to promote crack growth due to thermal stress on the glass substrate 1. At the same time as the crack progresses, the position of the crack tip is detected by the optical sensor 5, and the cooling air nozzle 4 is aligned with the crack tip position.
Control the cooling position of.

【0023】しかし、ガラス基板1の初期亀裂側から切
断予定線7に沿って進展した亀裂は、切断の完了寸前で
は熱応力による亀裂開口方向の応力が急激に減少するた
め、亀裂はそれ以上進展しない。
However, the crack that has propagated from the initial crack side of the glass substrate 1 along the planned cutting line 7 sharply decreases the stress in the crack opening direction due to thermal stress immediately before the completion of cutting, and therefore the crack further progresses. do not do.

【0024】最後に、切断の完了寸前までスライダ部3
の冷却エアーノズル4の移動により亀裂が進展した時点
で、亀裂終端側から基板保持機構6によりガラス基板1
を押し付け、外力により亀裂を進展させて切断を完了す
る。
Finally, the slider portion 3 is cut to the completion of cutting.
When the crack propagates due to the movement of the cooling air nozzle 4 of the glass substrate 1 from the crack end side by the substrate holding mechanism 6.
Press to push the cracks by external force and complete the cutting.

【0025】従って、本実施の形態によれば、ヒータ9
上にプローブ10を配設したことにより、ガラス基板1
に反り、撓み等が存在していても、それらに影響される
ことなく、ガラス裏面に対しプローブ10、つまりヒー
タ9を均等に接触できるので、機械的な外力を加えない
で、亀裂を垂直に且つ一直線上に形成でき、正確に切断
することができる。
Therefore, according to the present embodiment, the heater 9
By disposing the probe 10 on the glass substrate 1,
Even if there is a warp, a bend, etc., the probe 10, that is, the heater 9 can be evenly contacted with the glass back surface without being affected by them, so that the crack can be made vertical without applying a mechanical external force. Moreover, it can be formed in a straight line and can be cut accurately.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のガラス基
板切断装置は、ヒータ上に多連プローブを配設したこと
により、ガラス基板に反り、撓み等が存在していても、
それらに影響されることなく、ヒータを均等に接触でき
るので、機械的な外力を加えないで、初期亀裂に続く亀
裂をガラス基板に垂直に且つ一直線上に形成でき、正確
に切断することができるという効果がある。
As described above, in the glass substrate cutting apparatus of the present invention, by disposing the multiple probes on the heater, even if the glass substrate is warped or bent,
Since the heaters can be evenly contacted without being affected by them, the cracks following the initial cracks can be formed vertically and in a straight line on the glass substrate without applying external mechanical force, and the cutting can be accurately cut. There is an effect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施の形態を説明するためのガラス
基板切断装置の上面および正面から見た概略図である。
FIG. 1 is a schematic view of a glass substrate cutting device for explaining an embodiment of the present invention as seen from a top surface and a front surface.

【図2】図1に示すヒータユニットの一部を表わす斜視
図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a part of the heater unit shown in FIG.

【図3】従来の一例を説明するためのガラス基板切断装
置の上面および正面から見た概略図である。
FIG. 3 is a schematic view of a glass substrate cutting device for explaining an example of the related art as seen from the top and the front.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 2 カッター 3 スライダ部 4 冷却エアノズル 5 光学式センサ 6 基板保持機構 7 切断予定線 8 ヒータユニット 9 ヒータ 10 プローブ 1 glass substrate 2 cutter 3 Slider section 4 Cooling air nozzle 5 Optical sensor 6 Substrate holding mechanism 7 planned cutting line 8 heater unit 9 heater 10 probes

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ガラス基板の端面に初期亀裂を形成する
ためのカッターと、前記初期亀裂に続く亀裂を進展させ
るために、多連プローブを設けたヒータと、前記亀裂の
進展速度を制御するための冷却機構および前記亀裂の先
端を検知する光学式センサを搭載し、切断予定線に合わ
せて移動するスライダ部と、前記ガラス基板の前記初期
亀裂とは反対側の亀裂終端側を押さえる基板保持機構と
を有することを特徴とするガラス基板切断装置。
1. A cutter for forming an initial crack on an end face of a glass substrate, a heater provided with a multiple probe for expanding a crack subsequent to the initial crack, and a crack growth speed control unit. Of the cooling mechanism and an optical sensor for detecting the tip of the crack, and a substrate holding mechanism for holding a slider part that moves in accordance with a planned cutting line and a crack end side of the glass substrate opposite to the initial crack. An apparatus for cutting a glass substrate, comprising:
【請求項2】 前記多連プローブは、前記ヒータ上で等
間隔に形成されることを特徴とする請求項1記載のガラ
ス基板切断装置。
2. The glass substrate cutting device according to claim 1, wherein the multiple probes are formed on the heater at equal intervals.
【請求項3】 前記多連プローブは、スプリング機構を
備え、前記ガラス基板と前記ヒータとを熱的に結合する
ことを特徴とする請求項1記載のガラス基板切断装置。
3. The glass substrate cutting device according to claim 1, wherein the multiple probe includes a spring mechanism to thermally couple the glass substrate and the heater.
【請求項4】 前記多連プローブは、前記ヒータの頂上
部に形成されることを特徴とする請求項1記載のガラス
基板切断装置。
4. The glass substrate cutting apparatus according to claim 1, wherein the multiple probes are formed on the top of the heater.
【請求項5】 前記冷却機構は、前記切断予定線を挟ん
で両側より前記亀裂の先端加熱周辺部を冷却するための
エアーを噴出する冷却エアノズルを用いたことを特徴と
する請求項1記載のガラス基板切断装置。
5. The cooling mechanism uses a cooling air nozzle for ejecting air for cooling the peripheral portion of the crack tip heated from both sides of the planned cutting line. Glass substrate cutting device.
【請求項6】 ガラス基板の端面にカッターにより初期
亀裂を形成する工程と、多連プローブを配設するととも
に、150〜200℃程度の熱を発生するヒータを上昇
させて前記多連プローブの先端を前記ガラス基板の裏面
に接触させる工程と、前記ガラス基板に生じさせた熱応
力により、前記初期亀裂部から亀裂を進展させるにあた
り、冷却エアーノズルで亀裂開口部後方周辺を冷却しな
がらスライダ部によって移動させる工程と、前記亀裂進
展と同時に、亀裂先端の位置を光学式センサで検知し、
その亀裂先端位置に合わせて前記冷却エアーノズルの冷
却位置を制御する工程と、前記ガラス基板の切断の完了
寸前まで前記冷却エアーノズルの移動により亀裂が進展
した時点で、亀裂終端側から基板保持機構によりガラス
基板を押し付け、外力により亀裂を進展させて切断を完
了する工程とを含むことを特徴とするガラス基板切断方
法。
6. A step of forming an initial crack by a cutter on an end surface of a glass substrate, a multiple probe is disposed, and a heater for generating heat of about 150 to 200 ° C. is raised to raise the tip of the multiple probe. And a step of contacting the back surface of the glass substrate, by the thermal stress generated in the glass substrate, in developing a crack from the initial crack portion, by the slider portion while cooling the rear periphery of the crack opening with a cooling air nozzle. At the same time as the step of moving and the crack growth, the position of the crack tip is detected by an optical sensor,
A step of controlling the cooling position of the cooling air nozzle in accordance with the position of the crack tip, and at the time when the crack propagates due to the movement of the cooling air nozzle until just before the completion of cutting the glass substrate, the substrate holding mechanism from the crack end side. And a step of pressing the glass substrate by the method to develop a crack by an external force to complete the cutting, and the glass substrate cutting method.
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