JP2003320329A - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置Info
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- JP2003320329A JP2003320329A JP2002131324A JP2002131324A JP2003320329A JP 2003320329 A JP2003320329 A JP 2003320329A JP 2002131324 A JP2002131324 A JP 2002131324A JP 2002131324 A JP2002131324 A JP 2002131324A JP 2003320329 A JP2003320329 A JP 2003320329A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 流水ホーンを常時動作したり、被洗浄物の大
きさに合わせてセンサを設置して洗浄装置を動作する方
法では、効率が悪いという問題があった。 【解決手段】 制御装置１にパルス発振器２ａ及び連続
発振器２ｂを設けた発振装置２が接続され、発振装置２
の出力と流水ホーン３の超音波振動子４に接続されると
ともに、超音波振動子４の出力は受信装置５を介して制
御装置１に接続され、又、制御装置１の出力は給水装置
６に接続され、給水装置６からの流水は流水ホーン３に
供給され、流水ホーン３からの流水３ａはライン７に供
給され、流水３ａの流出位置にセンサ８が装着され、セ
ンサ８の出力は制御装置１に入力されている。
きさに合わせてセンサを設置して洗浄装置を動作する方
法では、効率が悪いという問題があった。 【解決手段】 制御装置１にパルス発振器２ａ及び連続
発振器２ｂを設けた発振装置２が接続され、発振装置２
の出力と流水ホーン３の超音波振動子４に接続されると
ともに、超音波振動子４の出力は受信装置５を介して制
御装置１に接続され、又、制御装置１の出力は給水装置
６に接続され、給水装置６からの流水は流水ホーン３に
供給され、流水ホーン３からの流水３ａはライン７に供
給され、流水３ａの流出位置にセンサ８が装着され、セ
ンサ８の出力は制御装置１に入力されている。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、流水式超音波洗浄
において、流水ホーンで被洗浄物の検知と洗浄とを行う
ようにした超音波洗浄装置に関するものである。
において、流水ホーンで被洗浄物の検知と洗浄とを行う
ようにした超音波洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の流水式洗浄装置では、流
水ホーンは常時動作しているか、被洗浄物を検出するた
めのセンサを取り付け、被洗浄物を検出した時のみ流水
式超音波洗浄装置を動作すように構成されている。
水ホーンは常時動作しているか、被洗浄物を検出するた
めのセンサを取り付け、被洗浄物を検出した時のみ流水
式超音波洗浄装置を動作すように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな流水式超音波洗浄装置では、流水ホーンを常時動作
したり、被洗浄物の大きさに合わせてセンサを設置して
洗浄装置を動作する方法では、効率が悪いという問題が
あった。
うな流水式超音波洗浄装置では、流水ホーンを常時動作
したり、被洗浄物の大きさに合わせてセンサを設置して
洗浄装置を動作する方法では、効率が悪いという問題が
あった。
【０００４】
【課題を解決しようとする手段】本発明は、ライン上を
被洗浄物が順次移動され、超音波振動子を内部に装着し
た流水ホーンに給水装置から洗浄水を供給して、前記流
水ホーンから前記被洗浄物に流水と超音波を供給して前
記被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、前記流
水ホーンから流水が落下する位置にセンサを装着してセ
ンサの出力は制御装置に入力され、前記流水ホーンの前
記超音波振動子にパルス発振器と連続発振器とを装着し
た発振装置と受信装置が接続され、前記超音波振動子に
受信装置を介して制御装置が接続され、前記発振装置及
び前記給水装置に制御装置が接続されてなり、前記パル
ス発振器からパルス信号を出力して、前記被洗浄物から
のパルス信号の反射波を前記超音波振動子で受信して受
信装置で増幅し、制御装置で検出した後、前記発振装置
の連続発振器から連続信号を前記流水ホーンの前記超音
波振動子に印加して発生した超音波で前記被洗浄物を洗
浄し、前記被洗浄物の洗浄が終了して前記流水によって
前記センサからの検出信号を前記制御装置で検出した
後、前記発振装置の前記連続発振器から前記パルス発振
器へ切り替えるものであり、又、前記流水ホーンと前記
センサが同期してライン幅内を移動するものである。
被洗浄物が順次移動され、超音波振動子を内部に装着し
た流水ホーンに給水装置から洗浄水を供給して、前記流
水ホーンから前記被洗浄物に流水と超音波を供給して前
記被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、前記流
水ホーンから流水が落下する位置にセンサを装着してセ
ンサの出力は制御装置に入力され、前記流水ホーンの前
記超音波振動子にパルス発振器と連続発振器とを装着し
た発振装置と受信装置が接続され、前記超音波振動子に
受信装置を介して制御装置が接続され、前記発振装置及
び前記給水装置に制御装置が接続されてなり、前記パル
ス発振器からパルス信号を出力して、前記被洗浄物から
のパルス信号の反射波を前記超音波振動子で受信して受
信装置で増幅し、制御装置で検出した後、前記発振装置
の連続発振器から連続信号を前記流水ホーンの前記超音
波振動子に印加して発生した超音波で前記被洗浄物を洗
浄し、前記被洗浄物の洗浄が終了して前記流水によって
前記センサからの検出信号を前記制御装置で検出した
後、前記発振装置の前記連続発振器から前記パルス発振
器へ切り替えるものであり、又、前記流水ホーンと前記
センサが同期してライン幅内を移動するものである。
【０００５】
【実施の態様】本発明では、被洗浄物を検出するまで
は、発振装置のパルス発振器を作動して、流水ホーンか
らパルス信号を出力し、パルス信号の反射信号を受信装
置で受信して増幅し、制御装置に入力することにより、
被洗浄物と流水ホーンの超音波振動子との距離を計測し
て被洗浄物の有無を検出し、被洗浄物が検出されると、
制御装置は発振装置のパルス発振器から連続発振器に切
り替えて、流水ホーンから連続超音波を出力して被洗浄
物を洗浄し、被洗浄物が通り過ぎると、流水ホーンから
の流水がセンサに当たってセンサから検出信号が制御装
置に入力され、それによって、制御装置から発振装置に
切り替え信号が出力されて、連続発振器からパルス発振
器に切り替えられ、被洗浄物が検出されるまでパルス発
振器を作動する。
は、発振装置のパルス発振器を作動して、流水ホーンか
らパルス信号を出力し、パルス信号の反射信号を受信装
置で受信して増幅し、制御装置に入力することにより、
被洗浄物と流水ホーンの超音波振動子との距離を計測し
て被洗浄物の有無を検出し、被洗浄物が検出されると、
制御装置は発振装置のパルス発振器から連続発振器に切
り替えて、流水ホーンから連続超音波を出力して被洗浄
物を洗浄し、被洗浄物が通り過ぎると、流水ホーンから
の流水がセンサに当たってセンサから検出信号が制御装
置に入力され、それによって、制御装置から発振装置に
切り替え信号が出力されて、連続発振器からパルス発振
器に切り替えられ、被洗浄物が検出されるまでパルス発
振器を作動する。
【０００６】
【実施例】図１は本発明の実施例の超音波洗浄装置のブ
ロック図で、制御装置１にパルス発振器２ａ及び連続発
振器２ｂを設けた発振装置２が接続され、発振装置２の
出力と流水ホーン３の超音波振動子４に接続されるとと
もに、超音波振動子４の出力は受信装置５を介して制御
装置１に接続され、又、制御装置１の出力は給水装置６
に接続され、給水装置６からの流水は流水ホーン３に供
給され、流水ホーン３からの流水３ａはライン７に供給
され、流水３ａの流出位置にセンサ８が装着され、セン
サ８の出力は制御装置１に入力されている。
ロック図で、制御装置１にパルス発振器２ａ及び連続発
振器２ｂを設けた発振装置２が接続され、発振装置２の
出力と流水ホーン３の超音波振動子４に接続されるとと
もに、超音波振動子４の出力は受信装置５を介して制御
装置１に接続され、又、制御装置１の出力は給水装置６
に接続され、給水装置６からの流水は流水ホーン３に供
給され、流水ホーン３からの流水３ａはライン７に供給
され、流水３ａの流出位置にセンサ８が装着され、セン
サ８の出力は制御装置１に入力されている。
【０００７】このように構成した本実施例の超音波洗浄
装置の動作を図２のフローチャーにより説明すると、ま
ず、制御装置１は給水装置６から流水ホーン３に流水が
供給されていることを確認することにより（ステップ
１）、制御装置１から発振装置２に信号を印加して、発
振装置２のパルス発振器２ａからパルス出力が流水ホー
ン３の超音波振動子４に印加されるようにし（ステップ
２）、これによって、超音波振動子４からパルス超音波
を流水ホーン３から照射した時からその反射信号が超音
波振動子４で検出されるまでの時間を受信装置５で増幅
された反射波パルスによって制御装置で検出し、この反
射パルスによってライン７上の被洗浄物９があることを
検出すると（ステップ３）、制御装置１は発振装置２に
切り替え信号を出力し、発振装置２のパルス発振器２ａ
から連続発振器２ｂに切り替える（ステップ４）。
装置の動作を図２のフローチャーにより説明すると、ま
ず、制御装置１は給水装置６から流水ホーン３に流水が
供給されていることを確認することにより（ステップ
１）、制御装置１から発振装置２に信号を印加して、発
振装置２のパルス発振器２ａからパルス出力が流水ホー
ン３の超音波振動子４に印加されるようにし（ステップ
２）、これによって、超音波振動子４からパルス超音波
を流水ホーン３から照射した時からその反射信号が超音
波振動子４で検出されるまでの時間を受信装置５で増幅
された反射波パルスによって制御装置で検出し、この反
射パルスによってライン７上の被洗浄物９があることを
検出すると（ステップ３）、制御装置１は発振装置２に
切り替え信号を出力し、発振装置２のパルス発振器２ａ
から連続発振器２ｂに切り替える（ステップ４）。
【０００８】これによって、被洗浄物９に連続した超音
波と流水が照射されて被洗浄物９が洗浄され、その間に
制御装置１はライン７のセンサ８からの信号を待つよう
に待機し（ステップ５）、被洗浄物９が通過して、流水
３ａがライン７のセンサ８に当たると、センサ８が動作
してセンサ８から制御装置１に検出信号を出力するの
で、図２のステップ２に戻って、制御装置１は発振装置
２に切り替え信号を出力し、発振装置２のパルス発振器
２ａからパルス信号が出力されて被洗浄物９を検出する
まで待機する。
波と流水が照射されて被洗浄物９が洗浄され、その間に
制御装置１はライン７のセンサ８からの信号を待つよう
に待機し（ステップ５）、被洗浄物９が通過して、流水
３ａがライン７のセンサ８に当たると、センサ８が動作
してセンサ８から制御装置１に検出信号を出力するの
で、図２のステップ２に戻って、制御装置１は発振装置
２に切り替え信号を出力し、発振装置２のパルス発振器
２ａからパルス信号が出力されて被洗浄物９を検出する
まで待機する。
【０００９】本発明は、このように、被洗浄物９の検出
を流水ホーン３の超音波振動子４を利用したので、装置
の構成が簡単になり、洗浄液が節約でき、又、発振器及
び超音波振動子に負担がかからず、発熱が防止され、耐
久性が延びるという効果がある。
を流水ホーン３の超音波振動子４を利用したので、装置
の構成が簡単になり、洗浄液が節約でき、又、発振器及
び超音波振動子に負担がかからず、発熱が防止され、耐
久性が延びるという効果がある。
【００１０】なお、上記実施例では、発振装置２の連続
発振器２ｂを動作して、被洗浄物９を洗浄している時
に、被洗浄物９の洗浄が終わったことをセンサ８に流水
３ａが当たることによって確認しているが、ライン７の
被洗浄物９を洗浄する場合、流水ホーン３は被洗浄物９
の全体を洗浄するために、流水ホーン３はライン７に対
して直交方向に移動するため、被洗浄物９が通過した
時、流水ホーン３からの流水がセンサ８に当たらない場
合があるので、図３に示すように、流水ホーン３の移動
とセンサ８の移動を駆動装置１０で同期を取るようにす
る。
発振器２ｂを動作して、被洗浄物９を洗浄している時
に、被洗浄物９の洗浄が終わったことをセンサ８に流水
３ａが当たることによって確認しているが、ライン７の
被洗浄物９を洗浄する場合、流水ホーン３は被洗浄物９
の全体を洗浄するために、流水ホーン３はライン７に対
して直交方向に移動するため、被洗浄物９が通過した
時、流水ホーン３からの流水がセンサ８に当たらない場
合があるので、図３に示すように、流水ホーン３の移動
とセンサ８の移動を駆動装置１０で同期を取るようにす
る。
【００１１】それによって、流水ホーン３からの流水は
被洗浄物９が通過した時に、常にセンサ８に当たるの
で、流水をセンサ８で確実に検出することができ、被洗
浄物９の通過を確実に検出することができる。
被洗浄物９が通過した時に、常にセンサ８に当たるの
で、流水をセンサ８で確実に検出することができ、被洗
浄物９の通過を確実に検出することができる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の超音波洗
浄装置では、被洗浄物を検出するまでは、発振装置のパ
ルス発振器を作動して、流水ホーンからパルス信号を出
力し、パルス信号の反射信号から距離を計測して被洗浄
物の有無を検出し、被洗浄物が検出されると、制御装置
は発振装置を連続発振器に切り替えて、流水ホーンから
超音波を出力して被洗浄物を洗浄し、被洗浄物が通り過
ぎると、流水がセンサに当たってセンサからの検出信号
が制御装置に入力されると、制御装置から発振装置に切
り替え信号から出力されて連続発振器からパルス発振器
に切り替えられ、被洗浄物が検出されるまでパルス発振
器を作動するので、装置の構成が簡単になり、洗浄液が
節約でき、又、発振器及び超音波振動子に負担がかから
ず、発熱が防止され、耐久性が延びるという利点があ
る。
浄装置では、被洗浄物を検出するまでは、発振装置のパ
ルス発振器を作動して、流水ホーンからパルス信号を出
力し、パルス信号の反射信号から距離を計測して被洗浄
物の有無を検出し、被洗浄物が検出されると、制御装置
は発振装置を連続発振器に切り替えて、流水ホーンから
超音波を出力して被洗浄物を洗浄し、被洗浄物が通り過
ぎると、流水がセンサに当たってセンサからの検出信号
が制御装置に入力されると、制御装置から発振装置に切
り替え信号から出力されて連続発振器からパルス発振器
に切り替えられ、被洗浄物が検出されるまでパルス発振
器を作動するので、装置の構成が簡単になり、洗浄液が
節約でき、又、発振器及び超音波振動子に負担がかから
ず、発熱が防止され、耐久性が延びるという利点があ
る。
【図１】本発明の実施例の超音波洗浄装置のブロック図
である。
である。
【図２】図１の超音波洗浄装置のフローチャートであ
る。
る。
【図３】本発明の他の実施例の超音波洗浄装置のブロッ
ク図である。
ク図である。
１ 制御装置
２ 発振装置
３ 流水ホーン
４ 超音波振動子
５ 受信装置
６ 給水装置
７ ライン
８ センサ
９ 被洗浄物
１０ 駆動装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3B201 AA01 AB14 BB02 BB22 BB42
BB83 BB92 CD41 CD43
4D074 AA09 BB03 DD04 DD09 DD21
DD48
Claims (2)
- 【請求項１】 ライン上を被洗浄物が順次移動され、超
音波振動子を内部に装着した流水ホーンに給水装置から
洗浄水を供給して、前記流水ホーンから前記被洗浄物に
流水と超音波を供給して前記被洗浄物を洗浄する超音波
洗浄装置において、前記流水ホーンから流水が落下する
位置にセンサを装着してセンサの出力は制御装置に入力
され、前記流水ホーンの前記超音波振動子にパルス発振
器と連続発振器とを装着した発振装置と受信装置が接続
され、前記超音波振動子に受信装置を介して制御装置が
接続され、前記発振装置及び前記給水装置に制御装置が
接続されてなり、前記パルス発振器からパルス信号を出
力して、前記被洗浄物からのパルス信号の反射波を前記
超音波振動子で受信して受信装置で増幅し、制御装置で
検出した後、前記発振装置の連続発振器から連続信号を
前記流水ホーンの前記超音波振動子に印加して発生した
超音波で前記被洗浄物を洗浄し、前記被洗浄物の洗浄が
終了して前記流水によって前記センサからの検出信号を
前記制御装置で検出した後、前記発振装置の前記連続発
振器から前記パルス発振器へ切り替えることを特徴とす
る超音波洗浄装置。 - 【請求項２】 前記流水ホーンと前記センサが同期して
ライン幅内を移動することを特徴とする請求項１記載の
超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002131324A JP2003320329A (ja) | 2002-05-07 | 2002-05-07 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002131324A JP2003320329A (ja) | 2002-05-07 | 2002-05-07 | 超音波洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003320329A true JP2003320329A (ja) | 2003-11-11 |
Family
ID=29544000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002131324A Pending JP2003320329A (ja) | 2002-05-07 | 2002-05-07 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003320329A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103394486A (zh) * | 2013-07-30 | 2013-11-20 | 广州甘蔗糖业研究所 | 一种聚焦超声波在线防垢除垢装置 |
| CN111515074A (zh) * | 2020-04-20 | 2020-08-11 | 深圳市满分爱科技有限公司 | 微孔雾化片加工方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1064868A (ja) * | 1996-08-15 | 1998-03-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
| JPH11233402A (ja) * | 1998-02-09 | 1999-08-27 | Nikon Corp | 光学素子光洗浄方法および投影露光装置 |
| JP2000173963A (ja) * | 1998-12-03 | 2000-06-23 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| JP2001029908A (ja) * | 1999-07-23 | 2001-02-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 超音波処理装置および超音波処理装置の動作監視方法 |
-
2002
- 2002-05-07 JP JP2002131324A patent/JP2003320329A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH1064868A (ja) * | 1996-08-15 | 1998-03-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
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| JP2001029908A (ja) * | 1999-07-23 | 2001-02-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 超音波処理装置および超音波処理装置の動作監視方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103394486A (zh) * | 2013-07-30 | 2013-11-20 | 广州甘蔗糖业研究所 | 一种聚焦超声波在线防垢除垢装置 |
| CN103394486B (zh) * | 2013-07-30 | 2015-12-02 | 广州甘蔗糖业研究所 | 一种聚焦超声波在线防垢除垢装置 |
| CN111515074A (zh) * | 2020-04-20 | 2020-08-11 | 深圳市满分爱科技有限公司 | 微孔雾化片加工方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050117 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071015 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071023 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071222 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080205 |