JP2003318655A - Piezoelectric device, and cellular phone unit and electronic equipment utilizing the piezoelectric device - Google Patents

Piezoelectric device, and cellular phone unit and electronic equipment utilizing the piezoelectric device

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JP2003318655A
JP2003318655A JP2002124280A JP2002124280A JP2003318655A JP 2003318655 A JP2003318655 A JP 2003318655A JP 2002124280 A JP2002124280 A JP 2002124280A JP 2002124280 A JP2002124280 A JP 2002124280A JP 2003318655 A JP2003318655 A JP 2003318655A
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piezoelectric
piezoelectric device
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piezoelectric vibrating
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正幸 菊島
Masao Nomura
昌生 野村
Shinji Haba
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  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric device that can make thin an entire thickness for reducing the height and at the same time, will not impair the operating quality, in a piezoelectric device where a piezoelectric vibration reed and other electronic components are accommodated into one package. <P>SOLUTION: In the piezoelectric device 10, a piezoelectric vibration reed 12 and an electronic component 13, connected to the piezoelectric vibration reed, are accommodated in the package 20, so that blocking is made by a lid body. The package has a plurality of internal spaces S3 and S4 provided in parallel, the piezoelectric vibration reed and the electronic component are separately accommodated in the internal spaces, and a support section 27 for maintaining the height of the lid body is provided at a wall section 24 for partitioning off the plurality of internal spaces at intervals. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動片とこの
圧電振動片に接続された電子部品をパッケージに収容し
た圧電デバイスの改良と、このような圧電デバイスを利
用した携帯電話装置及び電子機器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement of a piezoelectric device in which a piezoelectric vibrating reed and an electronic component connected to the piezoelectric vibrating reed are housed in a package, and a portable telephone device and an electronic apparatus using such a piezoelectric device. Regarding

【0002】[0002]

【従来の技術】HDD(ハード・ディスク・ドライ
ブ)、モバイルコンピュータ、あるいはICカード等の
小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはペー
ジングシステム等の移動体通信機器において、パッケー
ジ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスが多用されて
いる。
2. Description of the Related Art Piezoelectric vibration in a package of a compact information device such as an HDD (hard disk drive), a mobile computer, or an IC card, or a mobile communication device such as a mobile phone, a car phone, or a paging system. A piezoelectric device containing a piece is often used.

【0003】このような圧電デバイスにおいては、パッ
ケージに収容される圧電振動片に他の電子部品を接続し
て、発振回路等を形成する場合には、例えば、パッケー
ジ内の空間を多段構成として、各段を利用して、圧電振
動片と、これに接続される電子部品を収容する構成がと
られている。
In such a piezoelectric device, when another electronic component is connected to the piezoelectric vibrating reed housed in the package to form an oscillation circuit or the like, for example, the space inside the package has a multistage structure. The piezoelectric vibrating reed and an electronic component connected to the piezoelectric vibrating reed are housed in each stage.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成の圧電デバイスは、パッケージ内の空間を多段
構成とした分、パッケージの厚み方向の大きさが増大し
てしまう。このため、圧電デバイスが組み込まれる上述
の各種機器の小型化を押し進める上で障害となってしま
う。
However, in the piezoelectric device having such a structure, the size in the thickness direction of the package increases because the space inside the package has a multi-stage structure. For this reason, it becomes an obstacle in promoting miniaturization of the above-mentioned various devices in which the piezoelectric device is incorporated.

【0005】そこで、図6に示すような構造を採用する
ことで、圧電デバイスの低背化がはかられている。図に
おいて、圧電デバイス1は、例えば、セラミック製のパ
ッケージ2の内部に、水平方向に配置され、互いに区分
された内部空間S1と内部空間S2を備えている。内部
空間S1には、圧電振動片5が収容されており、内部空
間S2には、集積回路等の電子部品6,6が収容されて
いて、これは図示しない電極パターンにより接続されて
いる。そして、パッケージ2の上端開口3には、金属製
の蓋体4が、各内部空間S1,S2を覆うように接合さ
れている。
Therefore, by adopting the structure shown in FIG. 6, the height of the piezoelectric device can be reduced. In the figure, the piezoelectric device 1 includes, for example, an internal space S1 and an internal space S2 that are horizontally arranged inside a ceramic package 2 and are separated from each other. The piezoelectric vibrating reed 5 is accommodated in the internal space S1, and the electronic components 6, 6 such as integrated circuits are accommodated in the internal space S2, which are connected by an electrode pattern (not shown). A metallic lid 4 is joined to the upper end opening 3 of the package 2 so as to cover the internal spaces S1 and S2.

【0006】このような圧電デバイス1は、圧電振動片
5と、電子部品6を収容する各内部空間S1,S2が、
パッケージ2内に水平方向に区分されてそれぞれ形成さ
れていることから、圧電デバイス1の全体の厚み方向の
大きさh1を小さくすることができ、圧電デバイスの低
背化を実現することができる利点がある。
In such a piezoelectric device 1, the piezoelectric vibrating piece 5 and the internal spaces S1 and S2 for housing the electronic component 6 are
Since they are formed in the package 2 so as to be divided in the horizontal direction, the size h1 of the entire piezoelectric device 1 in the thickness direction can be reduced, and the height of the piezoelectric device can be reduced. There is.

【0007】しかしながら、パッケージ2においては、
図示されているように、出来るかぎり厚みを薄く形成し
た関係から、金属製の蓋体4と、このパッケージ2に収
容された部品、例えば、電子部品6,6との距離がきわ
めて近接することになる。加えて、回路基板に実装され
た圧電デバイス1は応力変動の影響も受けるため、前記
距離も変動する。このため、蓋体4の静電容量が電子部
品6に悪影響を及ぼし、動作不良等を招くおそれがあっ
た。
However, in the package 2,
As shown in the drawing, since the thickness is made as thin as possible, the distance between the metallic lid 4 and the components housed in the package 2, for example, the electronic components 6 and 6 is extremely close. Become. In addition, since the piezoelectric device 1 mounted on the circuit board is also affected by the stress variation, the distance also varies. For this reason, the capacitance of the lid body 4 may adversely affect the electronic component 6, resulting in malfunction.

【0008】本発明は、圧電振動片と他の電子部品をひ
とつのパッケージに収容した圧電デバイスにおいて、全
体の厚みを薄くして低背化をはかることができると共
に、動作品質を損なうことのない圧電デバイスと、この
圧電デバイスを利用した携帯電話装置及び電子機器を提
供することを目的とする。
According to the present invention, in the piezoelectric device in which the piezoelectric vibrating reed and the other electronic component are housed in one package, the overall thickness can be reduced to reduce the height, and the operation quality is not deteriorated. An object of the present invention is to provide a piezoelectric device and a mobile phone device and electronic equipment using the piezoelectric device.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上述の目的は、請求項1
の発明によれば、パッケージ内に圧電振動片と、この圧
電振動片と接続される電子部品とを収容して、蓋体によ
り塞ぐようにした圧電デバイスであって、前記パッケー
ジが、並列的に設けられた複数の内部空間を有してお
り、これらの内部空間に前記圧電振動片と前記電子部品
とが別々に収容され、かつ、前記複数の内部空間を間で
仕切る壁部には、前記蓋体の高さを保持するための支持
部が設けられている、圧電デバイスにより、達成され
る。
The above-mentioned object is defined in claim 1.
According to another aspect of the invention, there is provided a piezoelectric device in which a piezoelectric vibrating piece and an electronic component connected to the piezoelectric vibrating piece are housed in a package and are closed by a lid, wherein the packages are arranged in parallel. It has a plurality of internal spaces provided, the piezoelectric vibrating piece and the electronic component are separately housed in these internal spaces, and the wall portion partitioning the plurality of internal spaces, the This is achieved by a piezoelectric device, which is provided with a support for holding the height of the lid.

【0010】請求項1の構成によれば、パッケージに形
成される内部空間は、パッケージに並列的に区分して配
置される。すなわち、高さ方向に複数の内部空間を重ね
ないことによって、パッケージの厚み方向の大きさを小
さくして低背化を実現する。また、パッケージの各内部
空間に圧電振動片や電子部品を収容した後で、パッケー
ジの開口を塞ぐ蓋体が所定の静電容量を持った状態で、
収容部品に極端に近接すると、収容部品に電気的悪影響
を与える。このため、複数の内部空間を仕切る壁部に
は、支持部を設けて、蓋体の内面を高くするように保持
する。これにより、蓋体と収容部品との距離が支持体を
設けた分だけ大きくなるので、蓋体側の容量が収容部品
に与える影響を排除することができる。ここで、支持体
は、複数の内部空間を仕切る壁部の上端面に別体に設け
てもよいし、あるいは、仕切り壁の高さをパッケージの
他の上端面の高さより高くするようにして、壁部と一体
に設けてもよい。
According to the structure of claim 1, the internal space formed in the package is divided and arranged in parallel with the package. That is, by not overlapping a plurality of internal spaces in the height direction, the size in the thickness direction of the package is reduced and the height is reduced. Further, after accommodating the piezoelectric vibrating piece and the electronic component in each internal space of the package, the lid that closes the opening of the package has a predetermined capacitance,
If it is extremely close to the housing component, it will have an adverse electrical effect on the housing component. For this reason, a support portion is provided on the wall portion that partitions the plurality of internal spaces to hold the lid body so that the inner surface of the lid body is raised. As a result, the distance between the lid and the housing component is increased by the amount of the support provided, so that the influence of the capacity of the lid on the housing component can be eliminated. Here, the support may be separately provided on the upper end surface of the wall portion that partitions the plurality of internal spaces, or the height of the partition wall may be set higher than the height of the other upper end surface of the package. It may be provided integrally with the wall portion.

【0011】請求項2の発明は、請求項1の構成におい
て、前記支持部は、前記仕切り壁の端部に形成した複数
段の金属被覆部により構成されていることを特徴とす
る。請求項2の構成によれば、前記支持部を、前記仕切
り壁の端部に形成した複数段の金属被覆部により構成す
ると、蓋体をパッケージに接合する際に利用される金属
被覆部に僅かな変更を加えるだけで、容易に支持部を形
成することができる。
According to a second aspect of the present invention, in the structure of the first aspect, the supporting portion is constituted by a plurality of metal coating portions formed on the end portion of the partition wall. According to the configuration of claim 2, when the support portion is formed of a plurality of metal coating portions formed at the end portion of the partition wall, the metal coating portion used when the lid body is joined to the package is slightly formed. The supporting portion can be easily formed only by making various changes.

【0012】請求項3の発明は、請求項1または2のい
ずれかの構成において、前記電子部品が、集積回路であ
り、前記複数の内部空間のうち、前記集積回路が収容さ
れる内部空間が、平面視においてほぼ円形もしくは楕円
形になるように形成されていることを特徴とする。請求
項3の構成によれば、集積回路を収容するための内部空
間を平面視においてほぼ円形もしくは楕円形や長円形等
の形状とすることで、この内部空間に集積回路をフリッ
プチップボンディングした後、樹脂を充填して集積回路
を支持固定する場合に、内部空間の内側において、樹脂
の回り込みを良好として作業性が向上する。また、開口
面積を小さくすることができ、その分パッケージの上端
面と蓋体との接触面積を大きくできるので、支持強度が
向上し、また、蓋体が撓んで、当該内部空間に収容され
た部品に、不必要に接近することを防止できる。また、
開口面積を小さくすることができるので、充填に使用す
る樹脂量を最低の必要量とすることができる。
According to a third aspect of the present invention, in the configuration of the first or second aspect, the electronic component is an integrated circuit, and the internal space in which the integrated circuit is housed is a plurality of internal spaces. It is characterized in that it is formed to have a substantially circular or elliptical shape in a plan view. According to the configuration of claim 3, the internal space for accommodating the integrated circuit is formed into a substantially circular shape, an elliptical shape, an oval shape or the like in a plan view, and after the integrated circuit is flip-chip bonded to the internal space. When the resin is filled to support and fix the integrated circuit, the wraparound of the resin is made good inside the internal space, and the workability is improved. Further, the opening area can be reduced, and the contact area between the upper end surface of the package and the lid can be increased accordingly, so that the supporting strength is improved, and the lid flexes to be housed in the internal space. It is possible to prevent unnecessary access to the parts. Also,
Since the opening area can be reduced, the amount of resin used for filling can be the minimum required amount.

【0013】請求項4の発明は、請求項1ないし3のい
ずれかの構成において、前記複数の内部空間のうち、前
記圧電振動片が収容される内部空間には、電極パターン
が設けられており、この電極パターンが、前記圧電振動
片と対向する前記パッケージ内面の領域を避けて形成さ
れていることを特徴とする。請求項4の構成によれば、
パッケージ内面の圧電振動片と対向する領域に電極パタ
ーンを形成しないことで、電気的な容量変動を防止する
ことができる。したがって、この場合、電極パターンの
形成を避ける領域は、必ずしもパッケージ内面の圧電振
動片と対向する全ての領域である必要はなく、特に、圧
電振動片の励振電極と対向する領域に電極パターンの形
成を避けることで、所定の効果を得ることができる。
According to a fourth aspect of the present invention, in the structure according to any one of the first to third aspects, an electrode pattern is provided in the internal space in which the piezoelectric vibrating piece is housed, of the plurality of internal spaces. The electrode pattern is formed so as to avoid an area on the inner surface of the package facing the piezoelectric vibrating piece. According to the configuration of claim 4,
By not forming the electrode pattern in the region on the inner surface of the package that faces the piezoelectric vibrating piece, it is possible to prevent electrical capacitance fluctuation. Therefore, in this case, the area where the formation of the electrode pattern is avoided does not necessarily have to be the entire area of the inner surface of the package that faces the piezoelectric vibrating piece, and in particular, the area where the electrode pattern of the piezoelectric vibrating piece faces the excitation electrode is formed. By avoiding, it is possible to obtain a predetermined effect.

【0014】上述の目的は、請求項5の発明によれば、
パッケージ内に圧電振動片と、この圧電振動片と接続さ
れる電子部品とを収容して、蓋体により塞ぐようにした
圧電デバイスであって、前記パッケージは、並列的に設
けられた複数の内部空間を有しており、これらの内部空
間に前記圧電振動片と前記電子部品とが別々に収容さ
れ、かつ、前記パッケージを塞ぐ前記蓋体の、少なくと
も一部の内部空間と対応する領域が、当該内部空間の容
積を拡大するように、変形されている、圧電デバイスに
より、達成される。請求項5の構成によれば、パッケー
ジに形成される内部空間は、パッケージに並列的に区分
して配置される。すなわち、高さ方向に複数の内部空間
を重ねないことによって、パッケージの厚み方向の大き
さを小さくして低背化を実現する。また、パッケージの
各内部空間に圧電振動片や電子部品を収容した後で、パ
ッケージの開口を塞ぐ蓋体が所定の静電容量を持った状
態で、収容部品に極端に近接すると、収容部品に電気的
悪影響を与える。このため、複数の内部空間のうち、少
なくとも一部の内部空間に対応する領域で、蓋体の形状
を、収容された部品と対向する面が外側にオフセットさ
れるように変形させれば、蓋体と収容部品との距離が離
れて、蓋体側の容量が収容部品に与える影響を排除する
ことができる。
According to the invention of claim 5, the above object is to:
A piezoelectric device in which a piezoelectric vibrating piece and an electronic component connected to the piezoelectric vibrating piece are housed in a package and are closed by a lid body, wherein the package includes a plurality of internal parts arranged in parallel. Having a space, the piezoelectric vibrating piece and the electronic component are separately housed in these internal spaces, and a region corresponding to at least a part of the internal space of the lid that closes the package, This is achieved by the piezoelectric device being deformed so as to expand the volume of the internal space. According to the structure of claim 5, the internal space formed in the package is divided and arranged in parallel with the package. That is, by not overlapping a plurality of internal spaces in the height direction, the size in the thickness direction of the package is reduced and the height is reduced. After accommodating the piezoelectric vibrating piece or the electronic component in each internal space of the package, when the lid that closes the opening of the package has a predetermined electrostatic capacity and is extremely close to the accommodating component, the accommodating component may be damaged. It has an adverse electrical effect. Therefore, if the shape of the lid body is deformed such that the surface facing the housed component is offset to the outside in a region corresponding to at least a part of the internal spaces among the plurality of internal spaces, the lid Since the distance between the body and the housing component is increased, the influence of the capacity of the lid body on the housing component can be eliminated.

【0015】請求項6の発明は、請求項5の構成におい
て、前記電子部品が、集積回路であり、前記複数の内部
空間のうち、前記集積回路が収容される内部空間が、平
面視においてほぼ円形もしくは楕円形になるように形成
されていることを特徴とする。請求項6の構成によれ
ば、請求項3において説明したのと同様の作用を発揮す
ることができる。
According to a sixth aspect of the present invention, in the configuration of the fifth aspect, the electronic component is an integrated circuit, and an internal space for accommodating the integrated circuit among the plurality of internal spaces is substantially planar view. It is characterized in that it is formed in a circular or elliptical shape. According to the configuration of claim 6, it is possible to exhibit the same operation as described in claim 3.

【0016】請求項7の発明は、請求項5または6のい
ずれかの構成において、前記複数の内部空間のうち、前
記圧電振動片が収容される内部空間には、電極パターン
が設けられており、この電極パターンが、前記圧電振動
片と対向する前記パッケージ内面の領域を避けて形成さ
れていることを特徴とする。請求項7の構成によれば、
請求項4において説明したのと同様の作用を発揮するこ
とができる。
According to a seventh aspect of the present invention, in the structure of the fifth or sixth aspect, an electrode pattern is provided in the internal space in which the piezoelectric vibrating piece is housed, of the plurality of internal spaces. The electrode pattern is formed so as to avoid an area on the inner surface of the package facing the piezoelectric vibrating piece. According to the configuration of claim 7,
The same effect as described in claim 4 can be exerted.

【0017】上述の目的は、請求項8の発明によれば、
パッケージ内に圧電振動片と、この圧電振動片と接続さ
れる電子部品とを収容して、蓋体により塞ぐようにした
圧電デバイスを利用した携帯電話装置であって、前記パ
ッケージが、並列的に設けられた複数の内部空間を有し
ており、これらの内部空間に前記圧電振動片と前記電子
部品とが別々に収容され、かつ、前記複数の内部空間を
間で仕切る壁部には、前記蓋体の高さを保持するための
支持部が設けられている圧電デバイスにより、制御用の
クロック信号を得るようにした、携帯電話装置により、
達成される。
The above object is according to the invention of claim 8
What is claimed is: 1. A mobile phone device using a piezoelectric device in which a piezoelectric vibrating reed and an electronic component connected to the piezoelectric vibrating reed are housed in a package and are closed by a lid, wherein the packages are arranged in parallel. It has a plurality of internal spaces provided, the piezoelectric vibrating piece and the electronic component are separately housed in these internal spaces, and the wall portion partitioning the plurality of internal spaces, the By the mobile phone device, which is configured to obtain a control clock signal by the piezoelectric device provided with the support portion for holding the height of the lid,
To be achieved.

【0018】上述の目的は、請求項9の発明によれば、
パッケージ内に圧電振動片と、この圧電振動片と接続さ
れる電子部品とを収容して、蓋体により塞ぐようにした
圧電デバイスを利用した電子機器であって、前記パッケ
ージが、並列的に設けられた複数の内部空間を有してお
り、これらの内部空間に前記圧電振動片と前記電子部品
とが別々に収容され、かつ、前記複数の内部空間を間で
仕切る壁部には、前記蓋体の高さを保持するための支持
部が設けられている圧電デバイスにより、制御用のクロ
ック信号を得るようにした、電子機器により、達成され
る。
According to the invention of claim 9, the above object is to:
An electronic device using a piezoelectric device in which a piezoelectric vibrating piece and an electronic component connected to the piezoelectric vibrating piece are housed in a package and closed by a lid, wherein the packages are provided in parallel. Has a plurality of internal spaces in which the piezoelectric vibrating reed and the electronic component are separately housed, and the wall portion separating the plurality of internal spaces is provided with the lid. This is achieved by an electronic device that obtains a clock signal for control by a piezoelectric device provided with a support portion for holding the body height.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】図1及び図2は、本発明の圧電デ
バイスの第1の実施の形態を示しており、図1は、圧電
デバイス10の蓋体を透明にして示した概略平面図、図
2は、図1のA−A線切断端面図である。これらの図に
おいて、圧電デバイス10は、圧電発振器を構成した例
を示しており、圧電デバイス10は、パッケージ20内
に圧電振動片12を収容している。パッケージ20は、
例えば、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシー
トを成形して形成した複数の基板を積層した後、焼成し
て形成されている。
1 and 2 show a first embodiment of a piezoelectric device of the present invention. FIG. 1 is a schematic plan view showing a transparent cover of a piezoelectric device 10. 2 is a sectional end view taken along the line AA of FIG. In these drawings, the piezoelectric device 10 shows an example in which a piezoelectric oscillator is configured, and the piezoelectric device 10 contains a piezoelectric vibrating piece 12 in a package 20. Package 20 is
For example, it is formed by stacking a plurality of substrates formed by molding aluminum oxide ceramic green sheets and then firing them.

【0020】図示の場合、パッケージ20は、図2に示
されているように、第1の積層基板21の上に第2の積
層基板22を重ね、その上に第3の積層基板23を重ね
て形成されている。これらの積層基板のうち、第1の積
層基板21には、孔を形成していないが、第2の積層基
板22と、第3の積層基板23には、図1に示す内部空
間S3,S4に対応した孔を形成するようにその材料を
除去したものを重ねている。
In the illustrated case, as shown in FIG. 2, the package 20 has a second laminated substrate 22 laminated on a first laminated substrate 21 and a third laminated substrate 23 laminated thereon. Is formed. Of these laminated substrates, the first laminated substrate 21 has no holes, but the second laminated substrate 22 and the third laminated substrate 23 have internal spaces S3 and S4 shown in FIG. The material is removed so as to form holes corresponding to.

【0021】これにより、図2において、パッケージ2
0には、積層基板22,23の一部で構成された壁部2
4により区分された2つの内部空間S3,S4が並列的
に、設けられている。つまり、パッケージ20に設けら
れる内部空間S3,S4は、図2において、縦方向に重
なることなく、水平方向に並ぶように設けられている。
これにより、圧電デバイス10の厚み方向の大きさh2
が可能な限り小さくされて低背化が実現されている。
尚、積層基板22と積層基板23は、これらを合わせた
厚みの一枚の基板で構成してもよい。
As a result, in FIG.
0 is a wall portion 2 formed of a part of the laminated substrates 22 and 23.
Two internal spaces S3 and S4 divided by 4 are provided in parallel. That is, the internal spaces S3 and S4 provided in the package 20 are arranged in the horizontal direction in FIG. 2 without overlapping in the vertical direction.
As a result, the size h2 of the piezoelectric device 10 in the thickness direction is
Has been made as small as possible to achieve a low profile.
The laminated substrate 22 and the laminated substrate 23 may be formed of a single substrate having a combined thickness.

【0022】パッケージ20の内部空間S3内の、この
内部空間S3に露出して底部を構成するベースとなる積
層基板21には、例えば、タングステン(W)、モリブ
デン(Mo)等の金属配線材料をスクリーン印刷し、か
つその上にニッケル(Ni)、金(Au)をメッキした
電極部31,31が設けられている。この電極部31,
31は、外部と接続されて、駆動電圧を供給するもので
ある。この各電極部31,31の上に導電性接着剤3
2,32が塗布され、この導電性接着剤32,32の上
に圧電振動片12の基部である一端部が載置され、導電
性接着剤32,32が硬化されて接合されている。ま
た、圧電振動片12の先端側に対応する積層基板21の
表面にも電極部33を形成することができる。そして、
電極部33上に接着剤34を適用して、圧電振動片12
の先端部の下面に固定してもよい。
A metal wiring material such as tungsten (W) or molybdenum (Mo) is used for the laminated substrate 21 in the internal space S3 of the package 20, which is a base exposed at the internal space S3 and forming the bottom. Electrode portions 31 and 31 which are screen-printed and plated with nickel (Ni) and gold (Au) are provided thereon. This electrode part 31,
Reference numeral 31 is connected to the outside and supplies a drive voltage. A conductive adhesive 3 is formed on each of the electrode portions 31, 31.
2, 32 are applied, one end which is the base of the piezoelectric vibrating reed 12 is placed on the conductive adhesives 32, 32, and the conductive adhesives 32, 32 are cured and joined. Further, the electrode portion 33 can be formed on the surface of the laminated substrate 21 corresponding to the tip side of the piezoelectric vibrating piece 12. And
By applying the adhesive 34 on the electrode portion 33, the piezoelectric vibrating reed 12
You may fix to the lower surface of the front-end | tip part of this.

【0023】圧電振動片12は、例えば水晶で形成され
ており、水晶以外にもタンタル酸リチウム,ニオブ酸リ
チウム等の圧電材料を利用することができる。本実施形
態の場合、圧電振動片12は、小型に形成して、必要な
性能を得るために、例えば、水晶材料を矩形の薄板状に
形成したATカット水晶片とされている。この圧電振動
片12の表面及び裏面には、同形の励振電極12aがそ
れぞれ形成されている。励振電極12aは、上述したパ
ッケージ側電極部31,31と対応した箇所に形成した
引出し電極(図示せず)と一体に接続されて、パッケー
ジ側電極部31,31から駆動電圧が印加されること
で、圧電振動片12が所定の振動周波数で振動されるよ
うになっている。
The piezoelectric vibrating reed 12 is made of, for example, quartz, and piezoelectric materials such as lithium tantalate and lithium niobate can be used in addition to quartz. In the case of the present embodiment, the piezoelectric vibrating reed 12 is formed into a small size, and in order to obtain the required performance, for example, is an AT-cut crystal reed formed by forming a crystal material into a rectangular thin plate shape. Exciting electrodes 12a having the same shape are formed on the front surface and the back surface of the piezoelectric vibrating piece 12, respectively. The excitation electrode 12a is integrally connected to a lead-out electrode (not shown) formed at a location corresponding to the package-side electrode portions 31 and 31 described above, and a drive voltage is applied from the package-side electrode portions 31 and 31. Thus, the piezoelectric vibrating reed 12 is vibrated at a predetermined vibration frequency.

【0024】パッケージ20の他の内部空間S4は、こ
の実施形態では、図1に示すように、平面視において、
ほぼ円形もしくは楕円形や長円形等の形状とされてい
る。この内部空間S4には、圧電振動片12と接続され
る電子部品が収容される。この場合、圧電デバイス10
は、圧電発振器を構成するようにされており、後述する
電極パターンを介して、圧電振動片12と接続される集
積回路13が収容される。集積回路13は、図2に示す
ように、例えば、第1の積層基板21上に形成した電極
パターン35に対して、集積回路13に予め形成したバ
ンプを利用して、フリップチップボンディングにより実
装される。その後、内部空間S4内に樹脂13aを充填
して支持固定される。
In the present embodiment, the other internal space S4 of the package 20, as shown in FIG.
The shape is almost circular, oval, or oval. Electronic components connected to the piezoelectric vibrating reed 12 are housed in the internal space S4. In this case, the piezoelectric device 10
Are configured to form a piezoelectric oscillator, and accommodate an integrated circuit 13 connected to the piezoelectric vibrating reed 12 via an electrode pattern described later. As shown in FIG. 2, the integrated circuit 13 is mounted on the electrode pattern 35 formed on the first laminated substrate 21 by flip-chip bonding using bumps formed in advance on the integrated circuit 13, for example. It After that, the internal space S4 is filled with the resin 13a and supported and fixed.

【0025】したがって、内部空間S4が、平面視にお
いて、ほぼ円形もしくは楕円形や長円形等の形状とされ
ていると、内部空間S4の内側において、樹脂13aの
回り込みを良好として作業性が向上する。また、内部空
間S4の開口20bの面積を小さくすることができるの
で、充填に使用する樹脂量を最低の必要量とすることが
できる。
Therefore, if the internal space S4 is formed into a substantially circular shape, an elliptical shape, or an oval shape in a plan view, the resin 13a can be favorably wrapped around the internal space S4 to improve workability. . Moreover, since the area of the opening 20b of the internal space S4 can be reduced, the amount of resin used for filling can be set to the minimum required amount.

【0026】パッケージ20の開放された上端には、ロ
ウ材14を介して、蓋体11が接合されることにより、
封止されている。蓋体11は、例えば、パッケージ20
を構成する圧電材料と、線膨張係数が近いものから選ば
れることが好ましく、例えば、金属材料として、コバー
ルや42アロイ等で形成することができる。また、ロウ
材14は、パッケージ20の上端面20aと蓋体11と
の間に介在して、このロウ材14が溶融されることで、
パッケージ20と蓋体11とを接合するものである。こ
のため、蓋体11と、パッケージ20の上端面20aに
設けた金属被覆部(後述)の両方に対して、接合性が良
好なものが適している。すなわち、ロウ材14は、後述
する金属被覆部25と蓋体11との間に介在して、蓋体
11とパッケージ20とを接合するものである。このロ
ウ材14としては、例えば、銀ロウ、Au−Sn、半
田、Auロウ等を使用することができる。
The lid 11 is joined to the open upper end of the package 20 via the brazing material 14,
It is sealed. The lid 11 is, for example, the package 20.
It is preferable to select a piezoelectric material having a linear expansion coefficient close to that of the piezoelectric material constituting the above. For example, the metal material can be formed of Kovar or 42 alloy. Further, the brazing material 14 is interposed between the upper end surface 20 a of the package 20 and the lid body 11, and the brazing material 14 is melted,
The package 20 and the lid 11 are joined together. Therefore, it is suitable that both the lid 11 and the metal coating portion (described later) provided on the upper end surface 20a of the package 20 have good bondability. That is, the brazing material 14 is interposed between the metal coating portion 25 and the lid body 11, which will be described later, and joins the lid body 11 and the package 20. As the brazing material 14, for example, silver brazing, Au—Sn, solder, Au brazing or the like can be used.

【0027】図2の矢印で示す拡大図に表されているよ
うに、パッケージ20の上端面の一部である壁部24の
上端面24aには、支持部としての金属被覆部27が形
成されている。この金属被覆部はロウ材14との接合を
考慮して、上述の電極部31,31と同様のメタライズ
印刷あるいは、メッキや金属蒸着等の手法により薄い金
属層を形成してなるものである。そして、壁部24の上
端面24aを含むパッケージ20の上端面20aの蓋体
11との接合箇所全体に、例えば、第1層25を設け、
壁部24の上端面24aだけは、他の箇所よりも多い複
数層に形成して、この第1層25の上に、第2層26を
設けている。
As shown in the enlarged view of the arrow in FIG. 2, a metal coating portion 27 as a support portion is formed on the upper end surface 24a of the wall portion 24 which is a part of the upper end surface of the package 20. ing. In consideration of joining with the brazing material 14, the metal coating portion is formed by forming a thin metal layer by the same metallization printing as that of the above-mentioned electrode portions 31, 31, or by a method such as plating or metal vapor deposition. Then, for example, the first layer 25 is provided on the entire joint portion of the upper end surface 20a of the package 20 including the upper end surface 24a of the wall portion 24 with the lid 11.
Only the upper end surface 24a of the wall portion 24 is formed in a plurality of layers more than other portions, and the second layer 26 is provided on the first layer 25.

【0028】すなわち、パッケージ20の上端面20a
の蓋体11との接合箇所全体よりも、少なくとも一層多
く金属被覆層を形成することで、この第2層26の上に
位置する蓋体11の部分を図において上に押し上げるこ
とで、金属被覆部27は、蓋体11の高さを、他の領域
より高く保持するための支持部とされている。例えば、
第1層25、第2層26を、タングステンや、モリブデ
ン等の金属配線材料をスクリーン印刷したメタライズ層
とすることができる。また、第1層25をニッケルメッ
キとし、第2層を金メッキとすることができる。また、
パッケージ20の上端面20aの蓋体11との接合箇所
全体に、第1層25として、例えば、タングステンメッ
キとニッケルメッキを重ねて設け、壁部24の上端面2
4aの箇所だけ、その上に、第2層26として金メッキ
を設けるようにしてもよい。すなわち、壁部24の上端
面24aの上に設ける支持部27としては、2層に限ら
ず、それ以上の数の金属層でなる被覆部を設けてもよ
い。
That is, the upper end surface 20a of the package 20.
The metal coating layer is formed by forming at least more metal coating layers than the entire joint with the lid body 11, and the portion of the lid body 11 located above the second layer 26 is pushed upward in the drawing, whereby the metal coating The portion 27 is a support portion for keeping the height of the lid 11 higher than other areas. For example,
The first layer 25 and the second layer 26 can be metallized layers obtained by screen-printing a metal wiring material such as tungsten or molybdenum. Also, the first layer 25 may be nickel plated and the second layer may be gold plated. Also,
The entire upper surface 20a of the package 20 joined to the lid 11 is provided with, for example, tungsten plating and nickel plating as the first layer 25, and the upper surface 2 of the wall portion 24 is formed.
Alternatively, gold plating may be provided as the second layer 26 only on the portion 4a. That is, the support portion 27 provided on the upper end surface 24a of the wall portion 24 is not limited to two layers, and a covering portion made up of more metal layers may be provided.

【0029】これにより、蓋体11とパッケージ20の
内部空間S3及び/またはS4に収容した収容部品との
距離が、支持体27を設けた分だけ大きくなるので、蓋
体11側に存在する静電容量が収容部品、例えば、圧電
振動片12や集積回路13に与える悪影響を排除して、
誤動作を起こすこと等が防止される。ここで、支持体2
7は、壁部24の上端面24aに、上述のように、別体
に設けてもよいし、あるいは、仕切り壁24の高さをパ
ッケージ20の他の上端面20aの高さより高くするよ
うにして、壁部24と一体に設けるようにしても、上述
と同様の作用効果を得ることができる。
As a result, the distance between the lid body 11 and the housing components housed in the internal space S3 and / or S4 of the package 20 is increased by the amount of the support body 27 provided, so that the static electricity existing on the lid body 11 side is reduced. By eliminating the adverse effect of the capacitance on the housing components, for example, the piezoelectric vibrating reed 12 and the integrated circuit 13,
This prevents malfunctions and the like. Here, the support 2
7 may be separately provided on the upper end surface 24a of the wall portion 24 as described above, or the height of the partition wall 24 may be made higher than the height of the other upper end surface 20a of the package 20. Then, even if it is provided integrally with the wall portion 24, it is possible to obtain the same effects as the above.

【0030】図3は、パッケージ20を構成する最下段
の基板である積層基板21の上面を示す平面図である。
図示されているように、積層基板21の上面の、内部空
間S4と対応する領域には、電極パターン35が形成さ
れている。この電極パターン35は、集積回路13に設
けられるバンプの位置に対応して、適した形状のパター
ンとなるようにされており、さらに、一部は内部空間S
3側に延びて、圧電振動片12側と接続されるようにな
っている。
FIG. 3 is a plan view showing the upper surface of the laminated substrate 21 which is the lowermost substrate constituting the package 20.
As shown in the figure, an electrode pattern 35 is formed on the upper surface of the laminated substrate 21 in a region corresponding to the internal space S4. The electrode pattern 35 has a shape suitable for the positions of the bumps provided on the integrated circuit 13. Further, a part of the electrode pattern 35 has an internal space S.
It extends to the 3 side and is connected to the piezoelectric vibrating reed 12 side.

【0031】積層基板21の上面の、内部空間S3と対
応する領域には、上述した電極部32,32及び電極部
33と接続された電極パターン36,36,36が設け
られている。特に、この電極パターン36,36,36
は、内部空間S3の周縁に沿って引き回されており、こ
れによって、図1に示す圧電振動片12と対向する領
域、特に、励振電極12aと対向する領域を避けて形成
されている。このため、積層基板21側の電極パターン
36,36,36と、圧電振動片12の特に励振電極1
2aとが、ほとんど対向することがないようにされてい
るから、パッケージ20を低背化した場合に、圧電振動
片12とパッケージ20の内側底面が接近しても、互い
の静電容量により、電気的な容量変動を生じることが有
効に防止される。
Electrode patterns 36, 36, 36 connected to the above-mentioned electrode portions 32, 32 and electrode portion 33 are provided in a region corresponding to the internal space S3 on the upper surface of the laminated substrate 21. In particular, this electrode pattern 36, 36, 36
Are routed along the peripheral edge of the internal space S3, so that they are formed so as to avoid the region facing the piezoelectric vibrating piece 12 shown in FIG. 1, particularly the region facing the excitation electrode 12a. Therefore, the electrode patterns 36, 36, 36 on the laminated substrate 21 side, and particularly the excitation electrode 1 of the piezoelectric vibrating reed 12 are formed.
Since 2a and the inner bottom surface of the package 20 are close to each other when the package 20 has a low profile, the capacitances of the 2a and It is possible to effectively prevent the occurrence of electrical capacity fluctuation.

【0032】したがって、この場合、積層基板21にお
いて、電極パターン36,36,36の形成を避ける領
域は、必ずしも圧電振動片12と対向する全ての領域で
ある必要はなく、特に、圧電振動片12の励振電極12
aと対向する領域に電極パターン36,36,36の形
成を避けることで、上述の効果を得ることができる。
Therefore, in this case, in the laminated substrate 21, the area where the formation of the electrode patterns 36, 36, 36 is avoided does not necessarily have to be the entire area facing the piezoelectric vibrating piece 12, and in particular, the piezoelectric vibrating piece 12 is not necessary. Excitation electrode 12
The above effect can be obtained by avoiding the formation of the electrode patterns 36, 36, 36 in the region facing a.

【0033】図4は、本発明の第2の実施形態を示す中
央縦方向の切断端面図である。図4の圧電デバイス40
において、第1の実施形態の圧電デバイス10と共通の
符号を付した箇所は同一の構成であるから、重複する説
明は省略し、相違点を中心に説明する。
FIG. 4 is a central longitudinal cut end view showing a second embodiment of the present invention. Piezoelectric device 40 of FIG.
In the above description, since the parts denoted by the same reference numerals as those of the piezoelectric device 10 according to the first embodiment have the same configuration, duplicate description will be omitted and different points will be mainly described.

【0034】この第2の実施形態の圧電デバイス40
は、圧電デバイス10のように壁部24に支持部を形成
しないで、蓋体41の構造を変更することで、同様の作
用効果を得るようにしている。すなわち、圧電デバイス
40は、パッケージ20内に圧電振動片12と、この圧
電振動片12と接続される電子部品として、例えば、集
積回路13を収容し、蓋体41により塞ぐようにしてい
る。
The piezoelectric device 40 of the second embodiment
Does not form a support portion on the wall portion 24 like the piezoelectric device 10, but changes the structure of the lid body 41 to obtain the same effect. That is, the piezoelectric device 40 accommodates the piezoelectric vibrating reed 12 and the electronic circuit 13 connected to the piezoelectric vibrating reed 12 in the package 20, for example, the integrated circuit 13, and is closed by the lid 41.

【0035】このパッケージ20は、第1の実施形態と
同様に、並列的に設けられた2つの内部空間S3,S4
を有しており、内部空間S3に圧電振動片12が収容さ
れ、内部空間S4に集積回路13が収容されている。こ
の場合、蓋体41は、内部空間S3と対応する領域42
と、内部空間S4と対応する領域43が変形されてい
る。この変形部42と43は、ともに対応する内部空間
S3,S4の容積を拡大するように、外側に凸になるよ
うに変形されている。
This package 20 has two internal spaces S3 and S4 arranged in parallel, as in the first embodiment.
The piezoelectric vibrating reed 12 is housed in the internal space S3, and the integrated circuit 13 is housed in the internal space S4. In this case, the lid 41 has a region 42 corresponding to the internal space S3.
Then, the region 43 corresponding to the internal space S4 is deformed. The deforming portions 42 and 43 are both deformed to be convex outward so as to expand the volume of the corresponding internal spaces S3, S4.

【0036】これにより、本実施形態においても、パッ
ケージ20に形成される内部空間S3,S4は、パッケ
ージ20に並列的に区分して配置される。このため、高
さ方向に複数の内部空間を重ねないことによって、蓋体
41が外側に変形している分、第1の実施形態よりは大
きくなるものの、パッケージの厚み方向h3の大きさを
小さくして低背化を実現できる。図4においては、蓋体
41は、内部空間S3と対応する領域42と、内部空間
S4と対応する領域43との2箇所が変形されている
が、どちらか一方が変形されていてもよい。
As a result, also in this embodiment, the internal spaces S3 and S4 formed in the package 20 are divided and arranged in parallel with the package 20. Therefore, by not overlapping a plurality of internal spaces in the height direction, the lid body 41 is deformed to the outside, which is larger than that in the first embodiment, but the size in the thickness direction h3 of the package is reduced. And can achieve a low profile. In FIG. 4, the lid 41 is deformed at two places, that is, a region 42 corresponding to the internal space S3 and a region 43 corresponding to the internal space S4, but either one may be deformed.

【0037】さらに、蓋体41の形状が、図4に示され
ているように、収容された部品と対向する部分42,4
3が外側にオフセットされるように変形されているの
で、蓋体41と、収容部品である圧電振動片12及び集
積回路13との距離が離れて、蓋体41側の静電容量が
収容部品に与える悪影響を排除することができる。
Further, as shown in FIG. 4, the shape of the lid 41 is such that the parts 42, 4 facing the housed parts are located.
Since 3 is deformed so as to be offset to the outside, the distance between the lid 41 and the piezoelectric vibrating reed 12 and the integrated circuit 13 which are the housing components is increased, and the electrostatic capacitance on the lid 41 side is stored in the housing component. It is possible to eliminate the adverse effect on.

【0038】図5は、本発明の上述した実施形態に係る
圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタ
ル式携帯電話装置の概略構成を示す図である。図におい
て、送信者の音声を受信するマイクロフォン308及び
受信内容を音声出力とするためのスピーカ309を備え
ており、さらに、送受信信号の変調及び復調部に接続さ
れた制御部としての集積回路等でなるコントローラ30
1を備えている。コントローラ301は、送受信信号の
変調及び復調の他に画像表示部としてのLCDや情報入
力のための操作キー等でなる情報の入出力部302や、
RAM,ROM等でなる情報記憶手段303の制御を行
うようになっている。このため、コントローラ301に
は、圧電デバイス10または圧電デバイス40が取り付
けられて、その出力周波数をコントローラ301に内蔵
された所定の分周回路(図示せず)等により、制御内容
に適合したクロック信号として利用するようにされてい
る。
FIG. 5 is a diagram showing a schematic configuration of a digital mobile phone device as an example of an electronic apparatus using the piezoelectric device according to the above-described embodiment of the present invention. In the figure, a microphone 308 for receiving the voice of the sender and a speaker 309 for outputting the received content as a voice are provided, and further, an integrated circuit or the like as a control unit connected to a modulation and demodulation unit of a transmission / reception signal. Controller 30
1 is provided. The controller 301 includes an information input / output unit 302 including an LCD as an image display unit, operation keys for inputting information, and the like, in addition to modulation and demodulation of transmission / reception signals,
The information storage means 303 including a RAM and a ROM is controlled. Therefore, the piezoelectric device 10 or the piezoelectric device 40 is attached to the controller 301, and the output frequency of the piezoelectric device 10 or the piezoelectric device 40 is adjusted by a predetermined frequency dividing circuit (not shown) or the like built in the controller 301. It is supposed to be used as.

【0039】コントローラ301は、さらに、温度補償
水晶発振器(TCXO)305と接続され、温度補償水
晶発振器305は、送信部307と受信部306に接続
されている。これにより、コントローラ301からの基
本クロックが、環境温度が変化した場合に変動しても、
温度補償水晶発振器305により修正されて、送信部3
07及び受信部306に与えられるようになっている。
The controller 301 is further connected to a temperature-compensated crystal oscillator (TCXO) 305, and the temperature-compensated crystal oscillator 305 is connected to a transmitter 307 and a receiver 306. As a result, even if the basic clock from the controller 301 changes when the environmental temperature changes,
The transmitter 3 is modified by the temperature-compensated crystal oscillator 305.
07 and the receiving unit 306.

【0040】このように、制御部を備えた携帯電話装置
300のような電子機器に、上述した実施形態に係る圧
電デバイス10または圧電デバイス40を利用すること
により、動作品質を損なうことなく、低背化による実装
スペースの削減をはかることができる。
As described above, by using the piezoelectric device 10 or the piezoelectric device 40 according to the above-described embodiment in an electronic apparatus such as the mobile phone device 300 having the control unit, the operation quality is kept low and the low quality is maintained. It is possible to reduce the mounting space by reducing the height.

【0041】本発明は上述の実施形態に限定されない。
各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省
略し、図示しない他の構成と組み合わせることができ
る。この発明の圧電デバイスは、パッケージ内に圧電振
動片と、これに接続される電子部品を含むものであれ
ば、圧電発振器、圧電振動子、フィルタ等その名称を問
わずに適用できるものである。また、上述の各実施形態
において、パッケージ20内には、ふたつの内部空間S
3,S4が形成されている例を説明したが、3つ以上の
内部空間を並列的に形成してもよい。
The present invention is not limited to the above embodiments.
The configurations of the respective embodiments can be appropriately combined or omitted, and can be combined with other configurations not shown. The piezoelectric device of the present invention can be applied regardless of its name, such as a piezoelectric oscillator, a piezoelectric vibrator, and a filter, as long as it includes a piezoelectric vibrating piece and an electronic component connected to the piezoelectric vibrating piece in the package. Further, in each of the above-described embodiments, the package 20 has two internal spaces S.
Although the example in which 3 and S4 are formed has been described, three or more internal spaces may be formed in parallel.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、圧
電振動片と他の電子部品をひとつのパッケージに収容し
た圧電デバイスにおいて、全体の厚みを薄くして低背化
をはかることができると共に、動作品質を損なうことの
ない圧電デバイスと、この圧電デバイスを利用した携帯
電話装置及び電子機器を提供することができる。
As described above, according to the present invention, in a piezoelectric device in which a piezoelectric vibrating reed and another electronic component are housed in one package, the overall thickness can be reduced to achieve a low profile. It is possible to provide a piezoelectric device that does not impair the operation quality, and a mobile phone device and an electronic apparatus that use the piezoelectric device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の圧電デバイスの第1の実施形態を示
しており、その蓋体を透明にして内部の様子を示した概
略平面図。
FIG. 1 is a schematic plan view showing a first embodiment of a piezoelectric device of the present invention, showing a state of the inside with a transparent cover.

【図2】 図1のA−A線切断端面図。2 is a sectional view taken along line AA of FIG.

【図3】 図1の圧電デバイスのパッケージの最下段の
積層基板の概略平面図。
3 is a schematic plan view of a lowermost laminated substrate of the package of the piezoelectric device shown in FIG.

【図4】 本発明の圧電デバイスの第2の実施形態を示
す切断端面図。
FIG. 4 is a cut end view showing a second embodiment of the piezoelectric device of the present invention.

【図5】 本発明の各実施形態に係る圧電デバイスを利
用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置
の概略構成を示す図。
FIG. 5 is a diagram showing a schematic configuration of a digital mobile phone device as an example of an electronic apparatus using the piezoelectric device according to each embodiment of the present invention.

【図6】 従来の圧電デバイスの一例を示す概略切断端
面図。
FIG. 6 is a schematic cut end view showing an example of a conventional piezoelectric device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10,40・・・圧電デバイス、11・・・蓋体、12
・・・圧電振動片、13・・・集積回路(電子部品)、
24・・・壁部、27・・・支持部、36・・・電極パ
ターン。
10, 40 ... Piezoelectric device, 11 ... Lid, 12
... Piezoelectric vibrating piece, 13 ... Integrated circuit (electronic component),
24 ... Wall part, 27 ... Support part, 36 ... Electrode pattern.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 羽場 慎二 長野県諏訪市大和3丁目3番5号 セイコ ーエプソン株式会社内 Fターム(参考) 5J079 AA04 BA43 BA44 HA06 HA09 HA28 HA29 HA30 5J108 BB01 BB02 DD02 EE03 EE07 EE18 GG03 GG09 GG15 GG16 JJ04    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Shinji Haba             Seiko, 3-3-3 Yamato, Suwa City, Nagano Prefecture             -In Epson Corporation F-term (reference) 5J079 AA04 BA43 BA44 HA06 HA09                       HA28 HA29 HA30                 5J108 BB01 BB02 DD02 EE03 EE07                       EE18 GG03 GG09 GG15 GG16                       JJ04

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 パッケージ内に圧電振動片と、この圧電
振動片と接続される電子部品とを収容して、蓋体により
塞ぐようにした圧電デバイスであって、 前記パッケージが、並列的に設けられた複数の内部空間
を有しており、 これらの内部空間に前記圧電振動片と前記電子部品とが
別々に収容され、 かつ、前記複数の内部空間を間で仕切る壁部には、前記
蓋体の高さを保持するための支持部が設けられているこ
とを特徴とする、圧電デバイス。
1. A piezoelectric device in which a piezoelectric vibrating reed and an electronic component connected to the piezoelectric vibrating reed are housed in a package and are closed by a lid, wherein the packages are provided in parallel. Has a plurality of internal spaces, the piezoelectric vibrating reed and the electronic component are separately housed in these internal spaces, and the wall portion separating the plurality of internal spaces is provided with the lid. A piezoelectric device, comprising a support portion for holding the body height.
【請求項2】 前記支持部は、前記仕切り壁の端部に形
成した複数段の金属被覆部により構成されていることを
特徴とする、請求項1に記載の圧電デバイス。
2. The piezoelectric device according to claim 1, wherein the support portion is formed of a plurality of metal coating portions formed on an end portion of the partition wall.
【請求項3】 前記電子部品が、集積回路であり、前記
複数の内部空間のうち、前記集積回路が収容される内部
空間が、平面視においてほぼ円形もしくは楕円形になる
ように形成されていることを特徴とする、請求項1また
は2のいずれかに記載の圧電デバイス。
3. The electronic component is an integrated circuit, and an internal space for accommodating the integrated circuit among the plurality of internal spaces is formed to be substantially circular or elliptical in a plan view. The piezoelectric device according to claim 1, wherein the piezoelectric device is a piezoelectric device.
【請求項4】 前記複数の内部空間のうち、前記圧電振
動片が収容される内部空間には、電極パターンが設けら
れており、この電極パターンが、前記圧電振動片と対向
する前記パッケージ内面の領域を避けて形成されている
ことを特徴とする、請求項1ないし3のいずれかに記載
の圧電デバイス。
4. An electrode pattern is provided in an internal space in which the piezoelectric vibrating piece is housed, among the plurality of internal spaces, and the electrode pattern is provided on an inner surface of the package facing the piezoelectric vibrating piece. The piezoelectric device according to claim 1, wherein the piezoelectric device is formed so as to avoid the region.
【請求項5】 パッケージ内に圧電振動片と、この圧電
振動片と接続される電子部品とを収容して、蓋体により
塞ぐようにした圧電デバイスであって、 前記パッケージは、並列的に設けられた複数の内部空間
を有しており、 これらの内部空間に前記圧電振動片と前記電子部品とが
別々に収容され、 かつ、前記パッケージを塞ぐ前記蓋体の、少なくとも一
部の内部空間と対応する領域が、当該内部空間の容積を
拡大するように、変形されていることを特徴とする、圧
電デバイス。
5. A piezoelectric device in which a piezoelectric vibrating reed and an electronic component connected to the piezoelectric vibrating reed are housed in a package and closed by a lid, wherein the packages are provided in parallel. And a plurality of internal spaces in which the piezoelectric vibrating piece and the electronic component are separately housed, and at least a part of the internal space of the lid that closes the package. A piezoelectric device, wherein the corresponding region is deformed so as to expand the volume of the internal space.
【請求項6】 前記電子部品が、集積回路であり、前記
複数の内部空間のうち、前記集積回路が収容される内部
空間が、平面視においてほぼ円形もしくは楕円形になる
ように形成されていることを特徴とする、請求項5に記
載の圧電デバイス。
6. The electronic component is an integrated circuit, and of the plurality of internal spaces, the internal space in which the integrated circuit is housed is formed to be substantially circular or elliptical in plan view. The piezoelectric device according to claim 5, wherein:
【請求項7】 前記複数の内部空間のうち、前記圧電振
動片が収容される内部空間には、電極パターンが設けら
れており、この電極パターンが、前記圧電振動片と対向
する前記パッケージ内面の領域を避けて形成されている
ことを特徴とする、請求項5または6のいずれかに記載
の圧電デバイス。
7. An electrode pattern is provided in an internal space for accommodating the piezoelectric vibrating piece among the plurality of internal spaces, and the electrode pattern is provided on an inner surface of the package facing the piezoelectric vibrating piece. The piezoelectric device according to claim 5, wherein the piezoelectric device is formed so as to avoid the region.
【請求項8】 パッケージ内に圧電振動片と、この圧電
振動片と接続される電子部品とを収容して、蓋体により
塞ぐようにした圧電デバイスを利用した携帯電話装置で
あって、 前記パッケージが、並列的に設けられた複数の内部空間
を有しており、 これらの内部空間に前記圧電振動片と前記電子部品とが
別々に収容され、 かつ、前記複数の内部空間を間で仕切る壁部には、前記
蓋体の高さを保持するための支持部が設けられている圧
電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るように
したことを特徴とする、携帯電話装置。
8. A mobile phone device using a piezoelectric device in which a piezoelectric vibrating reed and an electronic component connected to the piezoelectric vibrating reed are housed in a package and closed by a lid. Has a plurality of internal spaces arranged in parallel, the piezoelectric vibrating piece and the electronic component are separately housed in these internal spaces, and the walls partitioning the plurality of internal spaces. The portable telephone device is characterized in that a clock signal for control is obtained by a piezoelectric device provided with a support portion for holding the height of the lid in the portion.
【請求項9】 パッケージ内に圧電振動片と、この圧電
振動片と接続される電子部品とを収容して、蓋体により
塞ぐようにした圧電デバイスを利用した電子機器であっ
て、 前記パッケージが、並列的に設けられた複数の内部空間
を有しており、 これらの内部空間に前記圧電振動片と前記電子部品とが
別々に収容され、 かつ、前記複数の内部空間を間で仕切る壁部には、前記
蓋体の高さを保持するための支持部が設けられている圧
電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るように
したことを特徴とする、電子機器。
9. An electronic apparatus using a piezoelectric device in which a piezoelectric vibrating reed and an electronic component connected to the piezoelectric vibrating reed are housed in a package and closed by a lid, the package comprising: A wall portion that has a plurality of internal spaces that are provided in parallel, in which the piezoelectric vibrating reed and the electronic component are separately housed, and that partitions the plurality of internal spaces. The electronic device is characterized in that a clock signal for control is obtained by a piezoelectric device provided with a support portion for holding the height of the lid.
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