JP2003318255A - ガラス基板用カセットの基板支持構造 - Google Patents

ガラス基板用カセットの基板支持構造

Info

Publication number
JP2003318255A
JP2003318255A JP2003064941A JP2003064941A JP2003318255A JP 2003318255 A JP2003318255 A JP 2003318255A JP 2003064941 A JP2003064941 A JP 2003064941A JP 2003064941 A JP2003064941 A JP 2003064941A JP 2003318255 A JP2003318255 A JP 2003318255A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass substrate
substrate
rib
cassette
supporting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003064941A
Other languages
English (en)
Inventor
Choko Tei
鄭朝興
Zokyo Ryu
劉象強
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Gallant Precision Machining Co Ltd
AU Optronics Corp
Original Assignee
Gallant Precision Machining Co Ltd
AU Optronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gallant Precision Machining Co Ltd, AU Optronics Corp filed Critical Gallant Precision Machining Co Ltd
Publication of JP2003318255A publication Critical patent/JP2003318255A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 好ましい強度を有し、ガラス基板に擦り傷、
もしくは破損が発生する率を低減して安全性と信頼度の
得られるガラス基板用カセットの基板支持構造を提供す
る。 【解決手段】立設されるレートと、該プレートの垂直方
向に配設される複数の支持リブとを金属材によって一体
に形成した金属部材と、プラスチック材によって形成さ
れ、該支持リブに嵌着する緩衝部材と、及び該金属部材
の外部表面に形成する防錆層をとによって構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガラス基板用カ
セットの基板支持構造に関し、特に、ガラス基板用カセ
ットの相対する側面内壁に設けられ、ガラス基板を収納
する場合に該ガラス基板を支持するガラス基板用カセッ
トの基板支持構造に関する。
【0002】
【従来の技術】薄膜トランジスタの製造技術が飛躍的に
発展するにつれて、液晶表示装置は、節電効果と、電磁
波輻射が発生しない特性を有する以外に、より薄く、軽
量化され、パーソナル・ディジタル・アシスト(PD
A)、ノートブックタイプ・コンピュータ、ディジタル
カメラ、ビデオカメラ、もしくは携帯電話機などの電子
製品に広く応用されるようになった。また、業界におい
ても、関連技術の研究開発に積極的に取り組み、大型化
された生産設備を採用している。このため、液晶表示装
置の品質は絶え間なく向上し、その反面製品価格が下降
して応用範囲がさらに広がっている。
【0003】また、集積回路デバイスの製造は、レイア
ウトの高密度化に向かって発展している。これは、ガラ
ス基板上の素子のサイズが持続して縮小化していること
を意味する。即ち、関連する回路のレイアウトがさらに
複雑になっている。これに伴い、関連する表示装置の製
造工程もかなりの数の工程によってはじめてガラス基板
上に集積回路と画素エレメントを製造することができ
る。
【0004】よって、特定のロットのガラス基板は、投
入から出荷の検査に至るまで、複数の生産機械の間を反
復して運搬され必要とする製造工程が施される。この場
合、ガラス基板が反復して搬送する過程において損傷を
受けないようにするために、作業員は基板入出用のロボ
ットアームを利用してガラス基板を慎重にカセットに収
納して製造工程の行われる機械に運搬しなければならな
い。
【0005】日本国特許・特開2001−146295
にはカセットの内壁に設けられる基板支承用の構造が開
示される。図1に開示するように、カセットの相対する
一対の側面には、それぞれL字状のリブ(12)を複数
配設する。該リブ(12)の短い一辺はカセット(1
0)の側面内壁に設けられ、長い一辺は側面内壁からカ
ッセト内部側に張り出して設けられる。よって、カセッ
ト(10)の一対の側面内壁の対応する位置にそれぞれ
設けられたリブ(12)によってガラス基板(13)を
支承することができ、デバイスの製造工程が後工程に至
ると、基板入出用のロボットアームによってガラス基板
(13)を順序にしたがってそれぞれのリブ(12)上
に置いて、ガラス基板(13)をカセット(10)に収
納する目的を達成する。
【0006】図2に、前記のL字状のリブ(12)の構
造を開示する。該リブ(12)は、基部側樹脂体(1
4)と、該基部側樹脂体(14)の先端側から張り出す
ように設けられる長尺の棒状の中間部樹脂体(16)
と、該中間部樹脂体(16)の先端側に設けられている
先端側樹脂体(18)とによってなる。該基部側樹脂体
(14)は横片(14a)と縦片(14b)とを具え、
縦片(14b)には3つの孔部(15)を穿設する。カ
セット(10)の内壁に設ける場合は、プラスチック材
を射出成型して形成し、3つの孔部(15)が穿設され
た基部側樹脂体(14)をカセット(10)の側面に固
定する。基部側樹脂体(14)の先端側から張り出すよ
うに設けられる中間樹脂体(16)は基部側樹脂体(1
4)の横片(14a)に嵌挿して設けられ、カセット内
部側に延伸する。また先端側樹脂体(18)は中間樹脂
体(16)の先端に嵌着する。さらに、リブ(12)を
カセット(10)の内壁に安定して設けるために、補強
部材(20)をカセット(10)の側面内壁に形成した
挿入孔に挿入してリブ(12)の支承力を増強する。
【0007】以上の構造は、リブ(12)が樹脂によっ
て形成される。即ち、軟性の材料特性を有するため、ガ
ラス基板(13)を支承する場合、不当な擦り傷、破損
を防ぐことができる。但し、長期にわたってガラス基板
(13)を支承した場合、リブ(12)は樹脂材料で形
成されるため構造上の強度が高くないため、変形して下
方に傾斜する現象が発生する。これは、ガラス基板(1
3)が落下して破損する危険性を増加させることにな
る。特に、上下に配設するリブは、往々にして密集して
設けられる。よって、変形して湾曲したリブ(12)
は、作業員がガラス基板(12)を積置する場合に不便
であり、同時に隣り合うガラス基板の接触して擦り傷を
発生させる場合がある。
【0008】また、前記リブ(12)は、の基部側樹脂
体(14)3つの貫通孔を穿設し、工程後続において溶
解させたプラスチック材を、該3つの貫通孔を通過させ
てリブ(12)とカセット(10)の側面内壁とをしっ
かり固定して接合強度を強める。さらに基部側樹脂体
(14)上に補強部材(20)を設けてリブをカセット
(10)の側面内壁に固定する。但し、リブ(12)の
樹脂材料であろうと、固定用のプラスチック材であろう
と、いずれも亀裂、もしくは変形が容易に発生し、リブ
(12)の脱落、もしくは切断を招く。このため、好ま
しい強度を有し、ガラス基板の受けるリスクを低減する
ことができ、製造工程における安全性と信頼度の得られ
るカセットの支持構造を提供することが望まれている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、好ましい
強度を有し、ガラス基板に擦り傷、もしくは破損が発生
する率を低減して安全性と信頼度の得られるガラス基板
用カセットの基板支持構造を提供することを課題とす
る。
【0010】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者は従来
の技術に見られる欠点に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、
プレートと、該プレートに一体に形成される複数の支持
リブとを金属材によって形成した金属部材と、プラスチ
ック材によって形成され、該支持リブに嵌着する緩衝部
材と、及び該金属部材の外部表面に形成する防錆層をと
によってなるガラス基板用カセットの基板支持構造によ
って本発明の課題を解決できる点に着眼し、かかる知見
に基づいて本発明を完成させた。
【0011】以下、この発明について具体的に説明す
る。
【0012】請求項1に記載するガラス基板用カセット
の基板支持構造は、立設されるプレートの垂直方向に、
該プレートから水平方向に延伸する支持リブが少なくと
も1以上配設されてなる金属部材と、プラスチック材に
よって形成され、かつ該支持リブに嵌着されて直接ガラ
ス基板に接触する緩衝部材と、該金属部材の表面に形成
され、該金属部材を被覆する防錆層とによってなる。
【0013】請求項2に記載するガラス基板用カセット
の基板支持構造は、請求項1における支持リブの長手方
向に刳り貫き溝を形成するとともに、自由端の端縁部が
コの字状を呈するように切欠き溝を形成し、全体が略H
字状を呈するように形成される。
【0014】請求項3に記載するガラス基板用カセット
の基板支持構造は、請求項2における緩衝部材に水平方
向の両側の下端縁部に折り畳まれた状態を呈する側縁部
を形成し、該側縁部を該支持リブの刳り貫き溝に嵌着し
て固定する・
【0015】請求項4に記載するガラス基板用カセット
の基板支持構造は、請求項3における緩衝部材の先端部
底面に、該支持リブの先端に形成した切欠き溝に対応す
る当止ブロックを形成する。
【0016】請求項5に記載のガラス基板用カセットの
基板支持構造は、請求項1における支持リブが一枚のプ
レート状であって、かつ自由端に切欠き状の凹状部を形
成する。
【0017】請求項6に記載するガラス基板用カセット
の基板支持構造は、請求項5における緩衝部材の先端底
面に、該支持リブの凹状部に係合する係合致ブロックを
一体に形成する。
【0018】請求項7に記載するガラス基板用カセット
の基板支持構造は、請求項1における金属部材のプレー
トに、ガラス基板用カセットの側面内壁に螺着するため
の複数のネジ孔を穿設する。
【0019】
【発明の実施の形態】この発明は、ガラス基板を収納す
るカセットの側面内壁に設けられ、ガラス基板を支持す
る支持構造を提供するものであって、金属材を一体成型
してなり、ガラス基板の安定した支持を得る。さらに、
ガラス基板の表面に擦り傷が発生しないようにプラスチ
ック材によって形成される緩衝部材を支持リブ嵌着する
とともに、金属材に表面処理する、もしくはプラスチッ
ク材でコーティングして防錆処理をする。かかるガラス
基板用カセットの基板支持構造の特徴を詳述するため
に、具体的な実施例を挙げ、図示を参照にして以下に詳
述する。
【0020】
【第1の実施例】る支持 図3Aに第1の実施例を開示
する。第1の実施例は、カセットのハウジング側面内壁
に設けられ、ガラス基板を支持する支持部材を提供する
ものであって、金属部材(30)を含んでなる。該金属
部材(30)は立設されるプレート(32)と、該プレ
ート(32)の表面において垂直方向に配設され、水平
方向に延伸する複数の支持リブ(34)とを有し、該プ
レート(32)と支持リブ(34)とは一体に構成され
る。それぞれの支持リブ(34)は、長手方向に刳り貫
き溝(36)を形成するとともに、自由端の端縁部がコ
の字状を呈するように切欠き溝(37)を形成する。よ
って、実施例における支持リブ(34)は、上面から見
ると略H字状を呈する。また、プレート(32)には、
金属部材(30)をカセットの内壁面に設ける場合固定
ボルトで螺着するためのネジ孔(38)を複数形成す
る。
【0021】上述の金属部材(30)は、鉄、アルミ、
銅、もしくはその他適宜な金属材によって構成する。そ
の製造方法について、図4Aを参考にして以下に説明す
る。先ず、アルミプレス加工で、図面に開示する金属柱
状ワーク(40)を形成する,該金属柱状ワーク(4
0)はプレート部(32)と、該プレート部(32)か
ら突出する突起ブロック部(42)とを有する。
【0022】次いで、機械的加工方式で突起ブロック部
(42)の一部を切り取って図3Aに開示する支持リブ
(34)を形成する。係る方式で製造される金属部材
(30)は、プレート(32)と、該プレート(32)
の表面から水平に延伸する支持リブ(34)が一体に形
成される。よって、安定した支持が得られ、かつ構造上
の高い強度を有する支持部材が得られる。
【0023】
【第2の実施例】図3Bに第2の実施例を開示する。第
2の実施例による支持部材は、金属部材(31)の支持
リブ(33)に刳り貫かない点が第1の実施例と異なる
が、プレート(32)と支持リブ(33)は同様に一体
に構成する。また、第2の実施例における支持リブの自
由端には切欠き状の凹状部(35)を形成する。
【0024】上述の金属部材(31)は、鉄、アルミ、
銅、もしくはその他適宜な金属材によって構成する。そ
の製造方法は実施例1と略同様であって、図4Bを参考
にして以下に説明する。先ず、アルミプレス加工で、図
面に開示する金属柱状ワーク(40)を形成する。該金
属柱状ワーク(40)はプレート部(32)と、該プレ
ート部(32)から突出する突起ブロック部(43)と
を有する。
【0025】次いで、機械的加工方式で突起ブロック部
(43)の一部を切り取って図3Bに開示すリブ(3
3)を形成する。係る方式で製造される金属部材(3
0)は、プレート(32)と、該プレート(32)の表
面から水平に延伸する支持リブ(34)が一体に形成さ
れる。
【0026】この発明においては、金属材による支持リ
ブ(34)がガラス基板に接触する場合、ガラス基板の
表面を傷つけないようにするためには、図5Aに開示す
るようにプラスチック材によって緩衝部材(50)を形
成して図3Aに開示する支持リブ(34)に嵌着する。
該被覆部材(50)は略L字状を呈し、水平方向の両側
の下端縁部には折り畳まれた状態を呈する側縁部(5
2)を形成する。該側縁部(52)は、支持リブ(3
4)の刳り貫き溝(36)に嵌着して、被覆部材(5
0)を固定させる作用を有する。また、緩衝部材(5
0)は先端部底面に当止ブロック(54)を一体に形成
する。該当止ブロック(54)は支持リブ(34)の先
端に形成した切欠き溝(37)に対応して、ほぞの作用
を有する。
【0027】以上の構造による緩衝部材(50)を支持
リブ(34)に嵌着した状態を図6に開示する。図示の
ように緩衝部材(50)は先端が支持リブ(34)の先
端からやや突出する。よって、ガラス基板の搬出入の過
程において、ガラス基板が支持リブ(34)の前端に接
触することを防ぐことができる。
【0028】前記緩衝部材(50)は、図5Bに開示す
るように、前端部(53)と基部(55)とに分けた緩
衝部材(51)としてもよい。即ち、中間部を省略する
ことによって材料を節約し、製造コストを低減すること
ができる。
【0029】また、図5Cに開示するように、図3Bに
開示する第2の実施例による支持リブ(31)について
は、図5Bに開示する緩衝部材(53)を用いる。該緩
衝部材(53)は、支持リブ(31)に形成した凹状部
(35)に対応する係合ブロック(57)を前端底面に
形成する。
【0030】金属部材(30)が長期にわたって空気と
接触すると、容易に錆が発生し、剥離して微粒の汚染が
発生する。このため、緩衝部材(50)を支持リブ(3
4)に嵌着した後、金属部材(30)の表面に保護層を
コーティングして、金属部材表面に錆が発生することを
防ぐ。図7には、金属部材(30)の表面にプラスチッ
ク材をコーティングしてなる防錆層(60)を形成した
状態を開示する。但し、当然のことながら、金属部材
(30)にプラスチック材とコーティングする防錆方法
以外に、陽極処理、或いは塗装などの被覆処理によって
防錆層を形成してもよい。即ち、金属部材(30)の外
部表面に適宜な表面処理を施すことによって、金属部材
(30)に錆が発生しないようにする。
【0031】以上の金属部材(30)は、図8に開示す
るように、カセット(70)の相対する側面内壁にそれ
ぞれ配設してガラス基板(72)の支持構造を構成す
る。即ち、プレート(34)に一体に形成され、かつ該
プレート(34)の垂直方向に複数配設された支持リブ
(34)がカセット(70)の内側方向に延伸してガラ
ス基板(72)の支持に供される。該支持リブ(34)
には緩衝部材(53)を嵌着するとともに、該金属部材
(30)の表面に防錆層(60)を形成することによっ
て、ガラス基板(72)に擦り傷や汚染が発生すること
を防ぐことができる。
【0032】以上はこの発明の好ましい実施例であっ
て、この発明の実施の範囲を限定するものではない。よ
って、当業者のなし得る修正、もしくは変更であって、
この発明の精神の下においてなされ、かつこの発明に対
して均等の効果を有するものは、いずれもこの発明の特
許請求の範囲に属するものとする。
【0033】
【発明の効果】この発明によるガラス基板用カカセット
の支持構造は、金属材によるプレートと支持リブを一体
に形成するため、構造上好ましい強度を有し、ガラス基
板を支持する場合安定した支持が得られるとともに、外
部から受ける力によって変形することなく長期にわたっ
てガラス基板を支持することができる。
【0034】また、この発明によるガラス基板用カセッ
トの基板支持構造は、製造工程が容易で、製品の歩留ま
りが高く、大幅に製造コストを節減する効果を具える。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来のガラス基板用カッセトの使用態様を
表わす断面図である。
【図2】 図1に開示するガラス基板用カセットのリ
ブを表わす側面図である。
【図3A】 この発明の第1の実施例による金属部材の
斜視図である。
【図3B】 この発明の第2の実施例による金属部材の
斜視図である。
【図4A】 第1の実施例の金属柱状ワーク部を表わす
斜視図である。
【図4B】 第2の実施例の金属柱状ワーク部を表わす
斜視図である。
【図5A】 図3Aに開示する金属部材の支持リブに嵌着
する緩衝部材の斜視図である。
【図5B】 図5Aに開示する緩衝部材の他の形態を表
わす斜視図である。
【図5C】 図3Bに開示する金属部材の支持リブに嵌着
する緩衝部材の斜視図である。
【図6】 この発明における緩衝部材を嵌着した状態を
表わす斜視図である。
【図7】 防錆層を形成した金属部材を表わす斜視図で
ある。
【図8】 この発明による金属部材を設けたガラス基板
用カセットの使用態様を表わす断面図である。
【符号の説明】
10 カセット 12 リブ 13 ガラス基板 14 基部側樹脂体(20) 14a 横片 14b 縦片 15 孔部 16 中間部樹脂体 18 先端側樹脂体 20 補強部材 30 金属部材 32 プレート 33 支持リブ 34 支持リブ 35 凹状部 36 刳り貫き溝 37 切欠き溝 38 ネジ孔 40 金属柱状ワーク 42、43 突起ブロック部 50 緩衝部材 51 緩衝部材 52 側縁部 53 前端部 54 当止ブロック 55 基部 56 緩衝部材 57 当止ブロック 60 防錆層 70 カセット 72 ガラス基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H088 FA17 FA28 FA30 HA01 3E068 AA33 AB04 AC05 BB11 CC01 CE03 DD14 DE10 EE01 5F031 CA05 DA17 EA01 EA18 EA19 PA26 PA30

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 立設されるプレートの垂直方向に、該プ
    レートから水平方向に延伸する支持リブが少なくとも1
    以上配設されてなる金属部材と、 プラスチック材によって形成され、かつ該支持リブに嵌
    着されて直接ガラス基板に接触する緩衝部材と、該金属
    部材の表面に形成され、該金属部材を被覆する防錆層と
    によってなることを特徴とするガラス基板用カセットの
    基板支持構造。
  2. 【請求項2】 前記支持リブは、長手方向に刳り貫き溝
    を形成するとともに、自由端の端縁部がコの字状を呈す
    るように切欠き溝を形成し、全体が略H字状を呈するよ
    うに形成されることを特徴とする請求項1に記載のガラ
    ス基板用カセットの基板支持構造。
  3. 【請求項3】 前記緩衝部材は、水平方向の両側の下端
    縁部に折り畳まれた状態を呈する側縁部を形成し、該側
    縁部を該支持リブの刳り貫き溝に嵌着して固定すること
    を特徴とする請求項2に記載のガラス基板用カセットの
    基板支持構造。
  4. 【請求項4】 前記緩衝部材の先端部底面に、該支持リ
    ブの先端に形成した切欠き溝に対応する当止ブロックを
    形成することを特徴とする請求項3に記載のガラス基板
    用カセットの基板支持構造。
  5. 【請求項5】 前記支持リブが一枚のプレート状であっ
    て、かつ自由端に切欠き状の凹状部を形成することを特
    徴とする請求項1に記載のガラス基板用カセットの基板
    支持構造。
  6. 【請求項6】 前記緩衝部材の先端底面に、該支持リブ
    の凹状部に係合する係合致ブロックを一体に形成するこ
    とを特徴とする請求項5に記載のガラス基板用カセット
    の基板支持構造。
  7. 【請求項7】 前記金属部材のプレートには、ガラス基
    板用カセットの側面内壁に螺着するための複数のネジ孔
    を穿設することを特徴とする請求項1に記載のガラス基
    板用カセットの基板支持構造。
JP2003064941A 2002-03-12 2003-03-11 ガラス基板用カセットの基板支持構造 Pending JP2003318255A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW91202887U TW563680U (en) 2002-03-12 2002-03-12 Cartridge and carrier structure for transmitting glass substrate
TW091202887 2002-03-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003318255A true JP2003318255A (ja) 2003-11-07

Family

ID=29547181

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003064941A Pending JP2003318255A (ja) 2002-03-12 2003-03-11 ガラス基板用カセットの基板支持構造

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2003318255A (ja)
TW (1) TW563680U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006293257A (ja) * 2005-04-08 2006-10-26 Samsung Electronics Co Ltd 表示パネル用ガラスを積載するためのガラスカセット
JP2013070014A (ja) * 2011-09-20 2013-04-18 Gugeng Precision Industrial Co Ltd 大型前面開閉一体型ウェハポッド
KR101380993B1 (ko) * 2012-10-02 2014-04-04 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 패널탑재용 랙

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006293257A (ja) * 2005-04-08 2006-10-26 Samsung Electronics Co Ltd 表示パネル用ガラスを積載するためのガラスカセット
JP2013070014A (ja) * 2011-09-20 2013-04-18 Gugeng Precision Industrial Co Ltd 大型前面開閉一体型ウェハポッド
KR101380993B1 (ko) * 2012-10-02 2014-04-04 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 패널탑재용 랙

Also Published As

Publication number Publication date
TW563680U (en) 2003-11-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2322975B1 (en) Container member, method of manufacturing the same, and display device having the same
US20060226093A1 (en) Glass cassette for loading glass substrates of display panels
US9310633B2 (en) Display device
JP2788901B2 (ja) 基板用カセット
CN101177183A (zh) 玻璃基板包装盒及其包装组合
JP5398725B2 (ja) 基板収納トレイ
JP2003318255A (ja) ガラス基板用カセットの基板支持構造
US20040090747A1 (en) Adjustable frame structure for carrying a circuit board
KR20060019777A (ko) 기판 적재용 카세트
JP2008032915A (ja) マスクケース
US20080192412A1 (en) Flat display panel frame
US8456817B2 (en) Housing and method for making the same
KR20070104242A (ko) 유리 기판용 반송 상자
US20060139793A1 (en) Method of fabricating a workpiece from a sheet of material
JP4098778B2 (ja) プラズマディスプレイユニット搬送用樹脂製プロテクタ
KR20070024453A (ko) 스페이서 시트, 스페이서 시트를 이용하여 제조한 제품 및판형상물의 수송방법
JP2006528926A (ja) 物品を輸送するための方法および装置
JP2008041355A (ja) プラズマ表面処理装置及び表面処理方法
TWI473202B (zh) 承載裝置及應用其之基材卸載方法
KR20050022540A (ko) 플라즈마 디스플레이 장치 및 플라즈마 디스플레이 장치용섀시 베이스의 보강부재
JP2005223032A (ja) 基板搬送カセット
US20070274809A1 (en) Substrate cassette and transport system thereof
KR101163600B1 (ko) 기판 고정용 플레이트
KR100803106B1 (ko) 액정표시패널 가공 장치
CN100338833C (zh) Lga多针脚插座制造流程及固定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050705

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20051005

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20051014

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051228

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060126

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060208

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060613