JP2003315148A - 赤外線センサ素子収納用パッケージおよび赤外線センサ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 受光用の赤外線センサ素子と補償用の赤外線
センサ素子との間の作動出力を正確なものとして、温度
を非接触で極めて正確に測定し得るものとし、また赤外
線センサ装置の製造歩留りを向上させること。 【解決手段】 基体１と、対向する一対の側部に取付部
２ａが形成された枠体２と、赤外線センサ素子５上方の
部位にその赤外線センサ素子５側の周囲の枠体２の上面
に至る遮光膜６ａが被着された透光性蓋体６と、取付部
２ａに嵌着された入出力端子３とを具備し、２つの赤外
線センサ素子４，５の間で遮光膜６ａの端部の下方に位
置するように枠体２の他の対向する一対の側部の内面に
枠体２の上端から下方に向かって所定長さの溝２ｂが形
成されており、各溝２ｂに対向する一対の辺部が嵌め込
まれた、下端と赤外線センサ素子４，５上面との上下方
向での間隔が0.1〜0.3ｍｍである遮光板７が設けられて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、定温放置試験機な
どの高精度の温度調整を必要とする機器に用いられる赤
外線センサ素子を収納するための赤外線センサ素子収納
用パッケージおよび赤外線センサ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の赤外線センサ装置Ａの基本構成を
図３（ａ），（ｂ）に示す（特開平11−14449号公報参
照）。この赤外線センサ装置Ａは、直方体状のシリコン
（Ｓｉ）基板をエッチング加工することにより作製さ
れ、Ｓｉ基板の表面に赤外線感応膜を被着して成る受光
用の赤外線センサ素子14が設けられるとともに、赤外線
センサ素子14が受光する赤外線の量を正確に測定するた
めに、赤外線センサ素子14と同一の材質、形状および製
造方法でもって赤外線センサ素子14に隣接させて横並び
に補償用の赤外線センサ素子15が設けられる。この赤外
線センサ素子15は、赤外線センサ素子14と全く同じ特性
の赤外線感応膜から成り、赤外線センサ素子14と同じ受
光特性および出力特性を有する。そして、赤外線センサ
素子15の表面には赤外線反射膜が被着されており、赤外
線を完全に受光しないものとなっている。

【０００３】そして、赤外線センサ素子15から出力され
る殆ど０レベルの基準信号と、赤外線センサ素子14から
の出力信号との差から、信号処理回路により真の赤外線
量を検出し、その赤外線量から被測定物の温度を精度良
く求めることが行われている。

【０００４】この赤外線センサ装置Ａは、基板材料とし
て例えば単結晶Ｓｉを用い、この単結晶Ｓｉ基板の赤外
線センサ素子14の部位およびこれを支持する架橋支持部
（図示せず）となる部位を除いた部分を空間とした構造
となっている。

【０００５】赤外線センサ素子14，15は、前述のように
赤外線センサ素子15表面の赤外線反射膜以外は同じ構成
であり、単結晶Ｓｉ基板上に例えばゲルマニウム（Ｇ
ｅ）から成る赤外線感応膜が同一の条件下で被着されて
横並びの２つの赤外線センサ素子14,15となり、赤外線
センサ素子15の表面に例えばアルミニウム（Ａｌ）膜等
から成る赤外線反射膜が被着され、これらが一対となっ
て赤外線センサ装置Ａとして機能する。赤外線センサ素
子15は、その全表面に赤外線反射膜が被着されているた
め、乱反射して裏側から廻り込む赤外線も完全に反射す
ることとなり、赤外線による電気信号を全く出力しない
状態となっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の赤外線センサ装置Ａにおいて、赤外線センサ素子15
は赤外線を全て反射し赤外線による出力信号を完全に発
することが無いようにしたことから、赤外線センサ素子
15が赤外線センサ装置Ａの周囲のケース等から発せられ
る赤外線による信号（バックグラウンド信号）を出力す
ることができなくなるという問題があった。

【０００７】例えば、赤外線センサ装置Ａを恒温保管装
置の温度測定器などの密閉された空間の温度を求める非
接触温度計として用いた場合、赤外線センサ素子14が受
ける赤外線量による信号と、赤外線センサ素子15から発
せられる基準信号とでは、赤外線センサ素子14が受光す
る赤外線量が、周囲の物体から放射された成分や外部よ
り侵入してきた成分を含むバックグランドの分だけ若干
多くなる。その結果、これらの素子間の作動出力が真の
作動出力ではなくなり、温度を精度良く測定することが
困難になるという不具合が発生していた。

【０００８】また、赤外線センサ素子15の表裏面に赤外
線反射膜を被着するには、赤外線センサ素子14と赤外線
センサ素子15とが作り込まれた単結晶Ｓｉ基板の全体
に、赤外線反射膜としてのアルミニウム（Ａｌ）膜を成
膜温度が低いプラズマＣＶＤ（Plasma Chemical Vapor
Deposition）法により成膜し、次に赤外線センサ素子15
を除く部分の赤外線反射膜をエッチングにより除去する
ことが行なわれる。このエッチング処理に先立って耐エ
ッチング膜を赤外線センサ素子15表面に成膜しなければ
ならず、またエッチング処理後に耐エッチング膜を除去
する工程が必要となる。これらの一連の工程において、
赤外線センサ素子14，15が支持される架橋支持部Ｂ，Ｃ
が破壊されて、製造歩留りが低下し易いという問題があ
った。

【０００９】従って、本発明は上記問題点に鑑み完成さ
れたものであり、その目的は、赤外線センサ装置の受光
用の赤外線センサ素子と補償用の赤外線センサ素子との
間の作動出力を正確なものとして、体温などを非接触で
極めて正確に測定し得るものとし、また赤外線センサ装
置の製造歩留りを向上させることにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の赤外線センサ素
子収納用パッケージは、上面に２つの赤外線センサ素子
が並んで載置される載置部を有する基体と、該基体の上
面に前記載置部を囲繞するように接合され、対向する一
対の側部に貫通孔または切欠き部から成る入出力端子の
取付部がそれぞれ形成された枠体と、該枠体の上面に取
着されるとともに一方の前記赤外線センサ素子の上方の
部位にその赤外線センサ素子側の周囲の前記枠体の上面
に至る遮光膜が被着された透光性蓋体と、前記取付部に
嵌着された入出力端子とを具備する赤外線センサ素子収
納用パッケージにおいて、前記２つの赤外線センサ素子
の間で前記遮光膜の端部の下方に位置するように前記枠
体の他の対向する一対の側部の内面に前記枠体の上端か
ら下方に向かって所定長さの溝がそれぞれ形成されてお
り、該各溝に対向する一対の辺部がそれぞれ嵌め込まれ
た、下端と前記赤外線センサ素子の上面との上下方向に
おける間隔が0.1〜0.3ｍｍである遮光板が設けられてい
ることを特徴とする。

【００１１】本発明の赤外線センサ素子収納用パッケー
ジは、上記の構成により、補償用の赤外線センサ素子の
表裏面に赤外線反射膜を被着する工程や赤外線反射膜の
エッチング処理工程等が不要となるため、製造歩留りが
大幅に向上し、ほぼ100％近くにまで向上させることが
できる。また、赤外線センサ素子収納用パッケージを用
いて赤外線センサ装置と成した場合、遮光膜が設けられ
た透光性蓋体と遮光板とにより、補償用の赤外線センサ
素子が赤外線センサ装置外部からの赤外線を殆ど受光す
ることはないが、赤外線センサ素子収納用パッケージの
内面から発せられる微弱な赤外線を、受光用の赤外線セ
ンサ素子が受光するのと同様に受光することができる。
その結果、受光用の赤外線センサ素子と補償用の赤外線
センサ素子との間の出力差を極めて精度良く得ることが
でき、よって従来の赤外線センサ装置では得られない高
精度の温度測定が可能になる。

【００１２】本発明の赤外線センサ装置は、本発明の赤
外線センサ素子収納用パッケージと、前記基体の載置部
に載置固定されるとともに前記入出力端子にそれぞれ電
気的に接続された２つの前記赤外線センサ素子と、前記
枠体の上面に取着された前記透光性蓋体とを具備したこ
とを特徴とする。

【００１３】本発明の赤外線センサ装置は、上記の構成
により、受光用の赤外線センサ素子と補償用の赤外線セ
ンサ素子との間の出力差を極めて精度良く得ることがで
き、高精度の温度測定が可能になるとともに、高い製造
歩留りが得られるものとなる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の赤外線センサ素子収納用
パッケージ（以下、赤外線センサパッケージともいう）
および赤外線センサ装置について以下に詳細に説明す
る。図１は本発明の赤外線センサパッケージについて実
施の形態の一例を示す上面図であり、図２は図１のＸ−
Ｘ’線における断面図である。

【００１５】これらの図において、１は基体、１ａは基
体１と枠体２によって形成された凹部、１ｂは赤外線セ
ンサ素子４，５の載置部、２は枠体、２ａは入出力端子
３の取付部、２ｂは溝、３は入出力端子、４は受光用の
赤外線センサ素子、５は補償用の赤外線センサ素子、Ａ
１は赤外線センサ素子４，５が形成された単結晶Ｓｉか
ら成る基板、Ｂ１は受光用の赤外線センサ素子部、Ｃ１
は補償用の赤外線センサ素子部、６は透光性蓋体、６ａ
は遮光膜、７は遮光板である。これら基体１，枠体２，
透光性蓋体６および遮光板７とで赤外線センサ素子４，
５を内部に収容する容器が基本的に構成される。

【００１６】本発明の赤外線センサパッケージは、上面
に２つの赤外線センサ素子４，５が並んで載置される載
置部１ｂを有する基体１と、基体１の上面に載置部１ｂ
を囲繞するように接合され、対向する一対の側部に貫通
孔または切欠き部から成る入出力端子３の取付部２ａが
それぞれ形成された枠体２と、枠体２の上面に取着され
るとともに一方の赤外線センサ素子５の上方の部位にそ
の赤外線センサ素子５側の周囲の枠体２の上面に至る遮
光膜６ａが被着された透光性蓋体６と、取付部２ａに嵌
着された入出力端子３とを具備し、２つの赤外線センサ
素子４，５の間を通る線Ｌ（図１）上に位置するととも
に遮光膜６ａの端部の下方に位置するように枠体２の他
の対向する一対の側部の内面に枠体２の上端から下方に
向かって所定長さの溝２ｂがそれぞれ形成されており、
各溝２ｂに対向する一対の辺部がそれぞれ嵌め込まれ
た、下端と赤外線センサ素子４，５の上面との上下方向
における間隔が0.1〜0.3ｍｍである遮光板７が設けられ
ている。

【００１７】本発明の基板Ａ１の大きさは、非接触式温
度計に用いられる場合１ｍｍ×３ｍｍ程度の大きさであ
り、厚さは0.5ｍｍ程度である。そして、この基板Ａ１
を収納する赤外線センサパッケージの大きさは４×６ｍ
ｍ程度であり、気密性を考慮して、例えば鉄（Ｆｅ）−
ニッケル（Ｎｉ）−コバルト（Ｃｏ）合金などの金属か
ら成る。この基体１は、例えばＮｉメッキが施されたＦ
ｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金からなる略四角形の板状体から成
り、その上面に、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金からなるととも
に取付部２ａが予め形成されＮｉメッキが施された枠体
２が、例えば銀（Ａｇ）ロウなどの接合材を用いて接合
される。

【００１８】取付部２ａには、例えばアルミナセラミッ
クス等の電気絶縁材料からなり、信号を外部に導出する
ためのメタライズ配線層が形成された入出力端子３が、
枠体２の接合と同時にＡｇロウにより接合され、赤外線
センサ素子４，５から導出されるボンディングワイヤ８
がこのメタライズ配線層に接合される。かくして、測定
対象物が発する赤外線が赤外線センサ素子４に入射し、
赤外線センサ素子４からの出力信号が外部の増幅回路や
信号処理回路に送られ、測定対象物の温度が測定され
る。

【００１９】入出力端子３は以下のように作製される。
まず、例えばＡｌ₂Ｏ₃セラミックスからなる場合、Ａｌ
₂Ｏ₃，酸化珪素（ＳｉＯ₂），酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ），酸化カルシウム（ＣａＯ）などの原料粉末に適当
なバインダー、溶剤等を添加混合してスラリーとなす。
このスラリーを用いて、ドクターブレード法やカレンダ
ーロール法によって入出力端子３の本体部分となるセラ
ミックグリーンシートを作製する。次に、セラミックグ
リーンシートに適当な打ち抜き加工を施し、Ｍｏ−Ｍ
ｎ，Ｗ等を含む金属ペーストを印刷塗布することにより
メタライズ配線層となる金属層を形成する。このセラミ
ックグリーンシートを複数枚積層し、約1600℃の温度で
焼成することによって、断面形状が凸型（図２）の入出
力端子３が作製される。

【００２０】このようにして入出力端子３は、メタライ
ズ配線層がセラミック積層体である凸型の本体部分に埋
設されるように形成され、メタライズ配線層の枠体２の
内側に位置する部位には、基板Ａ１の各電極がボンディ
ングワイヤ８を介して電気的に接続され、メタライズ配
線層の枠体２の外側に位置する部位には、外部装置と接
続される外部リード端子（図示せず）が銀ロウなどのロ
ウ材を介し取着されてる。このメタライズ配線層は、基
板Ａ１の各電極を外部装置に接続するための導電路であ
り、Ｗ，Ｍｏ，Ｍｎなどの高融点金属粉末により形成さ
れている。例えばメタライズ配線層は、上記高融点金属
粉末に適当な有機バインダー、溶剤などを添加混合して
得た金属ペーストを、入出力端子３となるセラミックグ
リーンシートに予め従来周知のスクリーン印刷法により
所定パターンに印刷塗布し焼成することによって形成さ
れる。

【００２１】なお、メタライズ配線層は、その露出表面
にＮｉ，金（Ａｕ）などの耐食性に優れかつロウ材との
濡れ性に優れる金属を１〜20μｍの厚さでメッキ法によ
り被着させておくのがよく、メタライズ配線層の酸化腐
食を有効に防止することができ、またメタライズ配線層
への外部リード端子のロウ付けを強固にすることができ
る。

【００２２】次に、枠体２の内面に形成される溝２ｂ、
遮光膜６ａ、遮光板７について詳細に説明する。溝２ｂ
は、略四角形の遮光板７の対向する辺部を嵌め込むため
に設けられ、例えばエッチングなどにより容易に形成す
ることができる。そして、枠体２が基体１上にＡｇロウ
を介して接合された後、例えばＡｕ−Ｓｎ合金等のロウ
材によって遮光板７の辺部が溝２ｂに嵌め込まれて接合
され、赤外線センサ素子部Ｂ１と赤外線センサ素子部Ｃ
１とを光学的に区分する。

【００２３】遮光板７は略四角形であり、例えば基体１
の材料と同様にＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金やＦｅ−Ｎｉ合金
などの金属からなり、その高さは基板Ａ１の上面付近か
ら枠体２の上端まであれば良く、遮光板７の下端と基板
Ａ１の上面との上下方向における間隔７ａは0.1〜0.3ｍ
ｍである。間隔７ａが0.1ｍｍ未満の場合、基板Ａ１と
遮光板７とが接触する場合があり、この場合温度測定の
精度が劣化してしまう。また、0.3ｍｍを超えると、赤
外線センサ素子部Ｂ１から赤外線センサ素子部Ｃ１への
赤外線の漏れが発生し易くなり、精度の良い温度測定が
困難になる。この間隔７ａの大きさは、溝２ｂの所定長
さ、即ちその下端の位置によって変化させて調整するこ
とができる。

【００２４】溝２ｂは、枠体２の厚さ方向の深さは0.3
〜0.7ｍｍがよく、0.3ｍｍ未満では、遮光板７を挿入す
るに際しての余裕代が無く、遮光板７を滑り込ませるこ
とができなくなる場合があるという点で不適であり、0.
7ｍｍを超えると、ロウ付けの際に、枠体２が外力が働
くと容易に変形してしまうという点で不適である。ま
た、溝２ｂの幅は遮光板７の厚さよりも若干（0.2ｍｍ
程度）大きければよい。

【００２５】また、溝２ｂの断面形状は、凹型、Ｕ字
型、Ｖ字型等の種々の形状とし得るが、凹型であって、
枠体２の厚さ方向の深さ方向において深くなるにつれて
幅広になっている形状が好ましい。この場合、溝２ｂの
浅い部分で遮光板７の辺部を両主面側から挟み込むとと
もに、溝２ｂ部から外部の赤外線が侵入するのを有効に
防ぐことができる。また、遮光板７の辺部を溝２ｂ部で
ロウ付けしてもよく、溝２ｂ部から外部の赤外線が侵入
するのをさらに有効に防ぐことができる。

【００２６】このようにして区画された２つの区画のう
ち補償用の赤外線センサ素子部Ｃ１側は、遮光板７によ
り側方から赤外線が入射せず、枠体２の上面に接合され
る透光性蓋体６の一部に形成されている遮光膜６ａの遮
光効果により赤外線が上方から完全に入射しない構造と
なる。これにより、赤外線センサ素子５が赤外線センサ
パッケージの内面から発せられる赤外線のみを出力する
こととなり、バックグラウンドを含む基準信号を出力す
る赤外線センサ素子５として有効に機能する。

【００２７】また、遮光板７の厚さは0.06〜0.3ｍｍで
あれば良く、0.06ｍｍ未満であれば加工が困難となり、
0.3ｍｍを超えると、その分基板Ａ１の長さを長くしな
ければならなくなり、加工前の単結晶Ｓｉから成る基板
１の面方向の特性バラツキが赤外線センサ５の特性をば
らつかせる可能性が生じ、これにより２つの赤外線セン
サ素子４，５の特性に差が生じる場合がある。

【００２８】遮光板７は、予めＮｉメッキ層などの金属
メッキ層を表面に被着させておくと、赤外線の反射率が
高まるので、遮光板７としての機能が向上する。また、
遮光膜６ａはチタン（Ｔｉ）等からなり、取着前の透光
性蓋体６の所定部位に例えばスパッタリング法により被
着させておくと良い。

【００２９】赤外線センサ素子５は、従来とは異なり、
表面にＡｌなどの赤外線反射膜が被着されていないこと
から、赤外線センサパッケージの内面から発せられる微
弱な赤外線を信号に変えて出力することができ、受光用
の赤外線センサ素子４と同等の条件で信号を出力するこ
とができる。よって、赤外線センサ素子４と赤外線セン
サ素子５との出力の差をとることにより、バックグラウ
ンドが除去され測定対象物の温度を正確に求めることが
できる。これにより、極めて精度の高い温度測定が可能
になる。

【００３０】本発明の赤外線センサパッケージは、基板
Ａ１を基体１上面の載置部１ｂで遮光板７の下方に滑り
込ませるようにして載置固定し、次に基板Ａ１上の電極
（図示せず）と入出力端子３のメタライズ配線層とをボ
ンディングワイヤ８で電気的に接続し、最後に透光性蓋
体６を枠体２の上面に接合するとともに赤外線センサパ
ッケージ内部を真空にすることにより、赤外線センサ装
置が作製される。この赤外線センサ装置を用いることに
より、非接触かつ精度の高い温度測定が実現される。

【００３１】

【実施例】本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージ
および赤外線センサ装置の実施例を以下に説明する。

【００３２】まず、図１，図２に示した本発明の赤外線
センサパッケージを以下のようにして作製した。縦約６
ｍｍ×横約８ｍｍ×厚さ約0.5ｍｍのＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ
合金からなる基体１の上面の外周部に、載置部１ａを囲
むように、外形が縦約４ｍｍ×横約６ｍｍ×高さ約２ｍ
ｍで厚さが約１ｍｍのＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金からなる枠
体２を銀ロウ（ＢＡｇ−８：ＪＩＳＺ3261）を介して接
合した。また、枠体２の対向する一対の側部に、断面形
状が高さ約１ｍｍ×幅約１ｍｍの正方形の入出力端子３
の取付部２ａを形成し、取付部２ａにはアルミナセラミ
ックスから成る入出力端子３を嵌着した。この入出力端
子３は赤外線センサ素子４，５とボンディングワイヤ８
で電気的に接続されて外部に電気信号を出力する中継部
として作用する。

【００３３】また、枠体３の２つの赤外線センサ素子
４，５の間を通る線Ｌ上に位置するとともに遮光膜６ａ
の端部の下方に位置するように、枠体３の対向する一対
の側部の内面に、即ち枠体２の長い側壁部の内面の略中
心位置に、枠体２の上端から下方に向かって溝２ｂを形
成した。溝２ｂは、溝２ｂとなる部位を除く部位に耐エ
ッチング膜を形成した後、エッチングを行って形成し
た。

【００３４】この溝２ｂの幅を0.4ｍｍ、枠体２の厚さ
方向の深さを0.5ｍｍとし、遮光板７の厚さを0.2ｍｍと
した。また、遮光板７の下端と赤外線センサ素子部Ｂ
１，Ｃ１の上面との上下方向の間隔が、それぞれ０ｍ
ｍ，0.05ｍｍ，0.1ｍｍ，0.2ｍｍ，0.3ｍｍ，0.35ｍ
ｍ，0.4ｍｍ，0.5ｍｍとなるように溝２ｂの長さを８種
に調整し、また遮光板７の高さを溝２ｂの長さに合わせ
て調整した。

【００３５】次に、赤外線センサ素子４，５を、遮光板
７がそれらの間に位置するように載置部１ａに載置し接
着した後、ボンディングワイヤ８により受光用の赤外線
センサ素子４および補償用の赤外線センサ素子５と外部
電気回路とを電気的に接続した。

【００３６】次に、溝２ｂに厚さが0.2ｍｍ、幅が2.6ｍ
ｍ、高さが赤外線センサ素子４，５上面からの高さを考
慮して決められた遮光板７を嵌め込み、赤外線センサ素
子部Ｃ１を覆うように遮光膜６ａが形成されたガラスか
ら成る透光性蓋体６を、枠体２の上面にエポキシ樹脂で
接着することにより、上記８種につき各10個づつ赤外線
センサ装置のサンプルを作製した。

【００３７】また、比較例として、図３の構成の従来の
赤外線センサ装置を10個用意した。

【００３８】これらのサンプルを用いて、表面を100．0
℃の定温とした測定対象物の温度を測定し、作動時の測
定精度を評価した。評価結果を表1に示す。表１におい
て、○は測定対象物の表面温度に対して0.5℃以内の誤
差がある場合、△は0.5〜１℃の誤差がある場合、×は
１℃以上の誤差がある場合を示す。

【００３９】

【表１】

【００４０】表１より、遮光板７を用いた本発明の赤外
線センサ装置は、従来の赤外線センサ装置に比べて、遮
光板７の位置を本発明の範囲とすることにより精度の高
い温度測定を実現していることが判明した。

【００４１】なお、本発明は上記実施の形態および実施
例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で
種々の変更を施すことは何等差し支えない。例えば、遮
光板７としてＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金板を例として説明し
たが、これに限らずＦｅ−Ｎｉ合金やステンレスなどで
も良い。

【００４２】

【発明の効果】本発明の赤外線センサ素子収納用パッケ
ージは、上面に２つの赤外線センサ素子が並んで載置さ
れる載置部を有する基体と、基体の上面に載置部を囲繞
するように接合され、対向する一対の側部に貫通孔また
は切欠き部から成る入出力端子の取付部がそれぞれ形成
された枠体と、枠体の上面に取着されるとともに一方の
赤外線センサ素子の上方の部位にその赤外線センサ素子
側の周囲の枠体の上面に至る遮光膜が被着された透光性
蓋体と、取付部に嵌着された入出力端子とを具備し、２
つの赤外線センサ素子の間で遮光膜の端部の下方に位置
するように枠体の他の対向する一対の側部の内面に枠体
の上端から下方に向かって所定長さの溝がそれぞれ形成
されており、各溝に対向する一対の辺部がそれぞれ嵌め
込まれた、下端と赤外線センサ素子の上面との上下方向
における間隔が0.1〜0.3ｍｍである遮光板が設けられて
いることにより、補償用の赤外線センサ素子の表裏面に
赤外線反射膜を被着する工程や赤外線反射膜のエッチン
グ処理工程等が不要となるため、製造歩留りが大幅に向
上し、ほぼ100％近くにまで向上させることができる。
また、赤外線センサ素子収納用パッケージを用いて赤外
線センサ装置と成した場合、遮光膜が設けられた透光性
蓋体と遮光板とにより、補償用の赤外線センサ素子が赤
外線センサ装置外部からの赤外線を殆ど受光することは
ないが、赤外線センサ素子収納用パッケージの内面から
発せられる微弱な赤外線（バックグランド信号）を、受
光用の赤外線センサ素子が受光するのと同様に受光する
ことができる。その結果、受光用の赤外線センサ素子と
補償用の赤外線センサ素子との間の出力差を極めて精度
良く得ることができ、よって従来の赤外線センサ装置で
は得られない高精度の温度測定が可能になる。

【００４３】本発明の赤外線センサ装置は、本発明の赤
外線センサ素子収納用パッケージと、基体の載置部に載
置固定されるとともに入出力端子にそれぞれ電気的に接
続された２つの前記赤外線センサ素子と、枠体の上面に
取着された透光性蓋体とを具備したことにより、受光用
の赤外線センサ素子と補償用の赤外線センサ素子との間
の出力差を極めて精度良く得ることができ、高精度の温
度測定が可能になるとともに、高い製造歩留りが得られ
るものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージに
ついて実施の形態の一例を示す平面図である。

【図２】図１の赤外線センサ素子収納用パッケージのＸ
−Ｘ’線における断面図である。

【図３】（ａ）は従来の赤外線センサ装置の平面図、
（ｂ）は（ａ）の断面図である。

【符号の説明】

１：基体 １ｂ：載置部 ２：枠体 ２ａ：取付部 ２ｂ：溝 ３：入出力端子 ４：受光用の赤外線センサ素子 ５：補償用の赤外線センサ素子 ６：透光性蓋体 ６ａ：遮光膜 ７：遮光板 ７ａ：間隔 Ａ１：基板 Ｂ１：受光用の赤外線センサ素子部 Ｃ１：補償用の赤外線センサ素子部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面に２つの赤外線センサ素子が並んで
   載置される載置部を有する基体と、該基体の上面に前記
   載置部を囲繞するように接合され、対向する一対の側部
   に貫通孔または切欠き部から成る入出力端子の取付部が
   それぞれ形成された枠体と、該枠体の上面に取着される
   とともに一方の前記赤外線センサ素子の上方の部位にそ
   の赤外線センサ素子側の周囲の前記枠体の上面に至る遮
   光膜が被着された透光性蓋体と、前記取付部に嵌着され
   た入出力端子とを具備する赤外線センサ素子収納用パッ
   ケージにおいて、前記２つの赤外線センサ素子の間で前
   記遮光膜の端部の下方に位置するように前記枠体の他の
   対向する一対の側部の内面に前記枠体の上端から下方に
   向かって所定長さの溝がそれぞれ形成されており、該各
   溝に対向する一対の辺部がそれぞれ嵌め込まれた、下端
   と前記赤外線センサ素子の上面との上下方向における間
   隔が0.1〜0.3ｍｍである遮光板が設けられていることを
   特徴とする赤外線センサ素子収納用パッケージ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の赤外線センサ素子収納用
   パッケージと、前記基体の載置部に載置固定されるとと
   もに前記入出力端子に電気的に接続された２つの前記赤
   外線センサ素子と、前記枠体の上面に取着された前記透
   光性蓋体とを具備したことを特徴とする赤外線センサ装
   置。