JP2003307638A - 多モード干渉光カプラ - Google Patents

多モード干渉光カプラ

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勝就 岡本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 構造が簡単でレイアウトも容易な非等分岐型
の多モード干渉光カプラを提供すること。 【解決手段】 入力光導波路12a,12bと出力光導
波路14a,14bとの間に配置された多モード光導波
路13の領域16と領域17の間で、領域16の光強度
が集中している部分に、光の進行方向に対してほぼ垂直
かつ等幅な屈折率の異なる領域(屈折率変化部)15を
設けることにより、等価的にマッハツェンダ型干渉計あ
るいは拡張されたマッハツェンダ型干渉計を構成して任
意の分岐比を実現する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信の分野にお
いて光信号を分岐あるいは結合するために用いられる多
モード干渉光カプラに関するものである。
【0002】
【従来の技術】光通信の進展に伴い、平面基板上の光導
波路を基本とする導波路型光部品の重要性が増してい
る。導波路型光部品がフォトリソグラフィ技術及び微細
加工技術により、光波長以下の精度で再現性良く一括大
量生産できる利点を持つからである。アレイ格子型光フ
ィルタ、マトリクス型光スイッチ、ラティス型光フィル
タ、光加入者端末等は、導波路型光部品としての特徴を
生かして優れた性能を実現しており、一部、実システム
への導入が始まっている。
【0003】導波路型光カプラは高機能な導波路型光部
品を実現する上で基本となる要素回路である。高機能、
高性能な導波路型光部品を構成するためには、導波路型
光カプラ等の要素回路の高機能化、高性能化が必須であ
る。
【0004】光通信において光信号の一部を取り出して
モニタする場合や、ラティス型フィルタを構成する場
合、リングレーザ等の光共振器を構成する場合には、
1:9や2:8のような非等分岐型のカプラが要求され
る。
【0005】従来、非等分岐型の用途には、非対称Y分
岐、方向性結合器、方向性結合器あるいは多モード干渉
光カプラを用いたマッハツェンダ型干渉計、変形導波路
を用いた多モード干渉光カプラが提案されている。中で
も変形導波路を用いた多モード干渉光カプラは、他の手
法と比べて、作製誤差に強く、波長依存性及び偏波依存
性が小さく、小型であり、多入力多出力の構成が可能で
ある、といった優れた特徴を有する。
【0006】図1に従来の変形導波路を用いた任意分岐
比の二入力二出力の多モード干渉光カプラの一例を示
す。図1に示すように、従来の変形導波路を用いた二入
力二出力の多モード干渉光カプラ100は、基板101
(但し、図面上では背景として表している。)上に入力
光導波路102a,102b、多モード光導波路103
及び出力光導波路104a,104bを配置して構成さ
れている。ここで、多モード光導波路103において、
領域105及び106の長さは、それぞれの領域が二入
力二出力の光カプラを構成するように設定されている。
【0007】この従来の変形導波路を用いた二入力二出
力の多モード干渉光カプラ100の原理を説明する。
【0008】多モード光導波路103において、領域1
05及び106の長さは、それぞれの領域が二入力二出
力の光カプラを構成するように設定されている。従っ
て、入力光導波路102aに信号光が入力された場合、
多モード光導波路103の領域105を伝搬することで
光信号は二分岐し、領域106を伝搬することで光信号
は再び結合する。但し、多モード光導波路103は領域
105と領域106の境界で折れ曲がる構造をしている
ので、分岐された光信号は位相差をつけられて結合され
る。
【0009】この時、折れ曲がり構造による位相差Xが
πならば、光信号は全て出力光導波路104aから出力
する(分岐比100%)。逆に、折れ曲がり構造が無く
位相差Xが0ならば、光信号は全て出力光導波路104
bから出力する(分岐比0%)。
【0010】一般に、折れ曲がり構造による位相差Xの
時の分岐比kは、近似的に k=sin2(X)×100[%] (1) と書けるので、折れ曲がり構造による位相差Xを調整す
ることで分岐比kを変化することができる。
【0011】図2に従来の変形導波路を用いた任意分岐
比の多入力多出力の多モード干渉光カプラの一例を示
す。図2に示すように、従来の変形導波路を用いた多入
力多出力の多モード干渉光カプラ200は、基板201
(但し、図面上では背景として表している。)上に入力
光導波路202a,202b,……202x、多モード
光導波路203及び出力光導波路204a,204b,
……204xを配置して構成されている。ここで、多モ
ード光導波路203は多段の変形導波路を組み合わせた
形状となる。
【0012】このような構成でも前記二入力二出力の場
合と同じように、変形導波路の組み合わせの部分で位相
差が生じるので、出力の分岐比を変化させることが可能
である(例えば“Arbitrary ratio p
ower splitters using angl
ed silica on silicon mult
imode interference couple
r”Electronics Letters,vo
l.32,pp.1576−1577,1996参
照)。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】前記のように、非等分
岐型のカプラとして変形導波路を用いた多モード干渉光
カプラが提案されている。
【0014】しかし、変形導波路を用いた多入力多出力
の多モード干渉光カプラ200では、導波路の変形によ
り光位相を調整して分岐比を変化させるので、構造が複
雑であるという問題があった。また、二入力二出力の多
モード干渉カプラ100では、図1に示したように導波
路を曲げる必要があり、入力光導波路と出力光導波路の
方向が傾くため、レイアウトも煩雑となる問題があっ
た。
【0015】本発明の目的は、構造が簡単でレイアウト
も容易な非等分岐型の多モード干渉光カプラを提供する
ことにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、請求項1の発明の多モード干渉光カプラは、基板上
に形成された、少なくとも一つの入力光導波路と、第1
の多モード光導波路及び屈折率変化部よりなる組と、第
2の多モード光導波路と、少なくとも一つの出力光導波
路とから構成される多モード干渉光カプラにおいて、前
記屈折率変化部は、前記第1の多モード光導波路端の光
強度が集中している部分に設置されており、光の進行方
向に対してほぼ垂直かつ等幅でコアとは屈折率の異なる
領域であることを特徴とするものである。
【0017】請求項2の発明の多モード干渉光カプラ
は、前記第1の多モード光導波路及び屈折率変化部より
なる組を複数設置することを特徴とするものである。
【0018】また、請求項3の発明の多モード干渉光カ
プラは、前記屈折率の異なる領域がクラッド層であるこ
とを特徴とするものである。
【0019】また、請求項4の発明の多モード干渉光カ
プラは、前記屈折率の異なる領域が光の進行方向に沿っ
て分割されていることを特徴とするものである。
【0020】また、請求項5の発明の多モード干渉光カ
プラは、前記光導波路及び多モード干渉光カプラがガラ
ス光導波路であることを特徴とするものである。
【0021】本発明の光カプラでは、多モード光導波路
の比較的光強度が集中している部分の屈折率を変化させ
ることで、マッハツェンダ型干渉計、あるいは拡張され
たマッハツェンダ型干渉計を等価的に構成する。これに
より、偏波依存性及び波長依存性が小さく、作製誤差に
強い、分岐比を任意に設計可能な光カプラを実現するこ
とができる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
【0023】図3に本発明の第1の実施の形態に係る二
入力二出力の多モード干渉光カプラの構成、図4に本実
施の形態の多モード干渉光カプラと機能的に等価なマッ
ハツェンダ型干渉計の構成、図5に本実施の形態の多モ
ード干渉光カプラにおける損失及び分岐比と屈折率変化
部の長さとの関係を表すグラフ、をそれぞれ示す。
【0024】なお、以下に説明する第1の実施の形態で
は、光導波路としてシリコン基板上に形成した石英系単
一モード光導波路を使用した多モード干渉光カプラにつ
いて説明する。これは、この組み合わせが単一モード光
ファイバとの接続性に優れた多モード干渉光カプラを提
供できるからである。さらに説明を簡単にするために二
入力二出力の導波型多モード干渉光カプラについて説明
する。しかしながら、本発明はこの例に限定されるもの
ではない。
【0025】図3に示すように、第1の実施の形態の多
モード干渉光カプラ10において、シリコン基板11
(但し、図面上では背景として表している。)上には、
一対の石英系ガラス光導波路が入力光導波路12a,1
2bとして配置され、石英系ガラス光導波路が多モード
光導波路13として、一対の石英系ガラス光導波路が出
力光導波路14a,14bとして配置されている。多モ
ード光導波路13において、コア部の一部分に幅の縮小
された領域があり、これにより屈折率の異なる領域(屈
折率変化部)15を実現している。
【0026】なお、本実施の形態においては多モード光
導波路13が凹状に欠けた構成になっているが、本発明
はこれに限定されるものではない。さらに、本実施の形
態においては屈折率変化部15としてクラッド層を利用
するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【0027】ここで、多モード光導波路13において、
領域16及び領域17の長さはそれぞれ2×2カプラを
実現するように設定されている。
【0028】この時、多モード干渉光カプラ10と機能
的に等価であるマッハツェンダ型干渉計20を図4に示
す。
【0029】図4に示すように、本実施の形態の多モー
ド干渉光カプラ10と機能的に等価なマッハツェンダ型
干渉計20は、入力光導波路21a及び21b、光カプ
ラ22a及び22b、出力光導波路23a及び23b、
接続導波路24a及び24b、位相調整領域(位相及び
振幅変化部)25を有する。位相調整領域25を除け
ば、マッハツェンダ型干渉計20の接続導波路24a及
び24bの光導波路長は等しい。
【0030】図4において、光カプラ22aが図3の多
モード干渉光カプラ10における領域16に、光カプラ
22bが図3の多モード干渉光カプラ10における領域
17に、位相調整領域25が図3の多モード干渉光カプ
ラ10における屈折率変化部15にそれぞれ対応してい
る。
【0031】多モード干渉光カプラ10における屈折率
変化部15のパラメータ、例えば長さLを変化させれ
ば、屈折率変化部15で光が受ける位相が変化するの
で、マッハツェンダ干渉計20において位相調整領域2
5における位相の調整量を変化させることに相当する。
この時、位相調整領域25における位相調整量に従っ
て、マッハツェンダ干渉計20の分岐比は正弦波的に変
化する。従って、これと機能的に等価な多モード干渉光
カプラ10においても分岐比を変化させることができ
る。
【0032】図3の多モード干渉光カプラにおいて、石
英系光導波路の厚さは6μmであり、比屈折率差は0.
75%、入力光導波路12a,12b及び出力光導波路
14a,14bの光導波路間隔は各導波路12a,12
b及び14a,14bの導波路中心の間隔でそれぞれ1
8μm、入力光導波路12a,12b及び出力光導波路
14a,14bの光導波路幅は6μm、多モード光導波
路13の光導波路幅は25μm、多モード光導波路13
の光導波路長は3.1mm、屈折率変化部15の幅は1
2.5μmであるとする。
【0033】この時、多モード干渉光カプラ10の損失
及び分岐比を屈折率変化部15の長さLの関数として計
算したものを図5に示す。ここで、分岐比は入力光導波
路12aに光を入射した時、 (分岐比)=(出力光導波路14aにおける光パワー)/{(出力光導波 路14aにおける光パワー)+(出力光導波路14bにお ける光パワー)} (2) で定義される値となる。但し、屈折率変化部15の長さ
が負の値になっているのは、多モード光導波路13を上
下に反転して、屈折率変化部15を下側に配置したこと
に対応している。
【0034】図5に示すように、分岐比を0%から10
0%まで変化できる。また、損失は分岐比を大きくする
に従って増大するが、分岐比が100%の時でも2dB
程度に抑えられている。
【0035】前述した屈折率変化部15の形態として
は、図3に第1の実施の形態として多モード干渉光カプ
ラ10で示した凹状の多モード導波路13を有する形態
以外でも、本発明の要旨を逸脱しない限りの変更はもち
ろん可能である。
【0036】図6に本発明の第2の実施の形態に係る二
入力二出力の多モード干渉光カプラの構成を示す。
【0037】図6に示すように、第2の実施の形態の多
モード干渉光カプラ30において、シリコン基板31
(但し、図面上では背景として表している。)上には、
一対の石英系ガラス光導波路が入力光導波路32a,3
2bとして配置され、石英系ガラス光導波路が多モード
光導波路33として、一対の石英系ガラス光導波路が出
力光導波路34a,34bとして配置されている。
【0038】ここで、多モード光導波路33は、二つの
多モード光導波路33a及び33cとそれを接続する一
つの光導波路33bから構成されている。この場合に
は、多モード光導波路33の欠けている部分が屈折率変
化部35となっている。このような構成であっても、機
能的には第1の実施の形態の多モード干渉カプラ10と
等価である。
【0039】また、前述した屈折率変化部15及び35
としては、第1の実施の形態及び第2の実施の形態とし
て多モード干渉光カプラ10及び30で示した単一の屈
折率変化部を用いる手法以外にも、複数に分割した屈折
率変化部を用いても良い。
【0040】図7に本発明の第3の実施の形態に係る二
入力二出力の多モード干渉光カプラの構成を示す。
【0041】図7に示すように、第3の実施の形態の多
モード干渉光カプラ40において、シリコン基板41
(但し、図面上では背景として表している。)上には、
一対の石英系ガラス光導波路が入力光導波路42a,4
2bとして配置され、石英系ガラス光導波路が多モード
光導波路43として、一対の石英系ガラス光導波路が出
力光導波路44a,44bとして配置されている。
【0042】ここで、多モード光導波路43は、二つの
多モード光導波路43a及び43cとそれを接続する光
導波路43b並びに屈折率変化部45から構成されてい
る。屈折率変化部45は、周期的にコア部がクラッド層
で置き換えられた構成となっており(コア部45a,4
5b,……45x)、複数に分割された屈折率変化部と
なっている。このような構成とすれば、屈折率変化部4
5で生じる放射損失を低減することができる。
【0043】図7の多モード干渉光カプラにおいて、石
英系光導波路の厚さは6μmであり、比屈折率差は0.
75%、入力光導波路42a,42b及び出力光導波路
44a,44bの光導波路間隔は各導波路42a,42
b及び44a,44bの導波路中心の間隔でそれぞれ1
8μm、入力光導波路42a,42b及び出力光導波路
44a,44bの光導波路幅は6μm、多モード光導波
路43の光導波路幅は25μm、多モード光導波路43
の光導波路長は3.1mm、屈折率変化部45の幅は6
μmであるとする。また、屈折率変化部45の置き換え
られたクラッド層の一つ当たりの長さは5μm、隣り合
う置き換えられたクラッド層の間隔は30μmとする。
【0044】この時、多モード干渉光カプラ40の損失
及び分岐比を屈折率変化部45の全体の長さLの関数と
して計算したものを図8に示す。
【0045】図8に示すように、複数に分割された屈折
率変化部45を用いることで、全体での損失を低減する
ことができる。分岐比100%における損失は、0.7
dB以下に低減されている。
【0046】また、前述した屈折率変化部15、35及
び45としては、第1の実施の形態、第2の実施の形態
及び第3の実施の形態として多モード干渉光カプラ1
0、30及び40で示したクラッド層を用いる手法以外
にも、多モード光導波路13、33及び43の一部に溝
を設ける構造としても、また、多モード光導波路13、
33及び43の一部に樹脂を埋め込む構造としても良
い。
【0047】図9に本発明の第4の実施の形態に係る二
入力二出力の多モード干渉光カプラの構成を示す。
【0048】図9に示すように、第4の実施の形態の多
モード干渉光カプラ50において、シリコン基板51
(但し、図面上では背景として表している。)上には、
一対の石英系ガラス光導波路が入力光導波路52a,5
2bとして配置され、石英系ガラス光導波路が多モード
光導波路53として、一対の石英系ガラス光導波路が出
力光導波路54a,54bとして配置されている。
【0049】ここで、多モード光導波路53の一部には
樹脂が埋め込まれており、これにより屈折率変化部55
を実現している。このような構成であっても、機能的に
は第1の実施の形態の多モード干渉光カプラ10、第2
の実施の形態の多モード干渉光カプラ30及び第3の実
施の形態の多モード干渉光カプラ40と等価である。
【0050】以上のように、本発明の多モード干渉光カ
プラは、図3に示す第1の実施の形態の多モード干渉光
カプラ10に限定されるものでもなく、図6、図7、図
9に示す第2、第3、第4の実施の形態の多モード干渉
光カプラ30、40、50のように、その要旨を逸脱し
ない限りにおいて変更が可能である。
【0051】そして上記の各実施の形態では、シリコン
基板上の石英系ガラス光導波路を基本とする多モード干
渉光カプラ10、30、40、50について、この構成
及び機能を説明したが、多モード干渉光カプラを構成し
得る他の材料を用いて、例えばプラスチック系光導波路
やイオン拡散型ガラス光導波路、あるいはニオブ酸リチ
ウム光導波路や半導体光導波路にも本発明を適用するこ
とができる。
【0052】さらに、前述した各実施の形態では、二入
力二出力の多モード干渉光カプラとして説明したが、少
なくとも一つの入力光導波路及び少なくとも二つの出力
光導波路を有する多モード干渉光カプラ、あるいは少な
くとも二つの入力光導波路及び少なくとも一つの出力光
導波路を有する多モード干渉光カプラとしても良く、ま
た、多入力多出力の多モード干渉光カプラとしても良
い。
【0053】図10に本発明の第5の実施の形態に係る
多入力多出力の多モード干渉光カプラの構成を示す。
【0054】図10に示すように、第4の実施の形態の
多モード干渉光カプラ60において、シリコン基板61
(但し、図面上では背景として表している。)上に、入
力光導波路62a,62b,……62xと、多モード光
導波路63と、出力光導波路64a,64b,……64
xとが接続されて配置されており、多モード光導波路6
3はその一部に屈折率変化領域65a,65b,……6
5xを有している。
【0055】ここで、入力導波路の本数Niと出力導波
路の本数Noと屈折率変化領域の数N1は、それぞれ異
なっていても構わないことを付記しておく。多モード光
導波路63において、領域66の長さはちょうどNi×
N1カプラを実現するように、領域67の長さはちょう
どN1×Noカプラを実現するように、それぞれ設定さ
れている。
【0056】この時、多モード干渉光カプラ60と機能
的に等価である干渉計を図11に示す。
【0057】図11に示すように、本実施の形態の多モ
ード干渉光カプラ60と機能的に等価な干渉計70は、
入力光導波路71a,71b,……71x、多入力多出
力の光カプラ72a及び72b、出力光導波路73a,
73b,……73x、接続導波路74a,74b,……
74x、位相及び振幅変化部(位相調整領域)75a,
75b,……75xを有する。
【0058】図11において、光カプラ72aが図10
の多モード干渉光カプラ60における領域66に、光カ
プラ72bが図10の多モード干渉光カプラ60におけ
る領域67に、位相調整領域75a,75b,……75
xが図10の多モード干渉光カプラ60における屈折率
変化領域65a,65b,……65xにそれぞれ対応し
ている。
【0059】図11の干渉計70は一般化されたマッハ
ツェンダ型干渉計と呼ばれ、各接続導波路74a,74
b,……74xに設けた位相調整領域75a,75b,
……75xを調整することで、分岐比を変化できること
が知られている。
【0060】このように本発明の多モード干渉光カプラ
は、二入力二出力の多モード干渉光カプラに限らず、多
入力多出力の多モード干渉光カプラにも適用することが
できる。さらに一入力多出力の多モード干渉光カプラ、
多入力一出力の多モード干渉光カプラにも適用すること
ができることは言うまでもない。
【0061】また、前述した各実施の形態では一段の屈
折率変化領域を用いたが、もちろん多段の屈折率変化領
域を用いても良い。
【0062】図12に本発明の第6の実施の形態に係る
多入力多出力の多モード干渉カプラの構成を示す。
【0063】図12に示すように、第6の実施の形態の
多モード干渉光カプラ80において、シリコン基板81
(但し、図面上では背景として表している。)上に、入
力光導波路82a,82b,……82xと、多モード光
導波路83と、出力光導波路84a,84b,……84
xとが接続されて配置されており、多モード光導波路8
3はその一部に第一段の屈折率変化領域85a,85
b,……85x及び第二段の屈折率変化領域86a,8
6b,……86xを有している。
【0064】前述のように入力導波路の本数Ni、出力
導波路の本数No、第一段の屈折率変化領域の数N1、
第二段の屈折率変化領域の数N2は、それぞれ異なって
いても構わない。
【0065】ここで、多モード光導波路83において
は、領域87の長さはちょうどNi×N1カプラを実現
するように、領域88の長さはちょうどN1×N2カプ
ラを実現するように、領域89の長さはちょうどN2×
Noカプラを実現するように、それぞれ設定されてい
る。このような構成であっても第5の実施例の多入力多
出力光カプラと同様の原理により、分岐比可変の多入力
多出力光カプラを実現できる。
【0066】このように多段の屈折率変化領域を用いて
も、本発明の要旨を逸脱しない。
【0067】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項1の
発明の多モード干渉光カプラによれば、基板上に形成さ
れた、少なくとも一つの入力光導波路と、第1の多モー
ド光導波路及び屈折率変化部よりなる組と、第2の多モ
ード光導波路と、少なくとも一つの出力光導波路とで構
成し、屈折率変化部を、前記第1の多モード光導波路端
の光強度が集中している部分に設置し、光の進行方向に
対してほぼ垂直かつ等幅でコアとは屈折率の異なる領域
としたことにより光位相を調整して分岐比を変化させる
ため、従来のように、導波路の変形により光位相を調整
する必要がなく、入力光導波路と出力光導波路の方向が
傾くこともないので、構造が簡単でレイアウトも容易な
任意分岐比の多モード干渉光カプラを実現することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の変形導波路を用いた二入力二出力多モー
ド干渉光カプラの構成図
【図2】従来の変形導波路を用いた多入力多出力多モー
ド干渉光カプラの構成図
【図3】本発明の第1の実施の形態に係る二入力二出力
多モード干渉光カプラの構成図
【図4】第1の実施の形態と機能的に等価なマッハツェ
ンダ型干渉計の構成図
【図5】第1の実施の形態における損失及び分岐比と屈
折率変化部の長さとの関係を表すグラフ
【図6】本発明の第2の実施の形態に係る二入力二出力
多モード干渉光カプラの構成図
【図7】本発明の第3の実施の形態に係る二入力二出力
多モード干渉光カプラの構成図
【図8】第3の実施の形態における損失及び分岐比と屈
折率変化部の長さとの関係を表すグラフ
【図9】本発明の第4の実施の形態に係る二入力二出力
多モード干渉光カプラの構成図
【図10】本発明の第5の実施の形態に係る多入力多出
力多モード干渉光カプラの構成図
【図11】第5の実施の形態と機能的に等価なマッハツ
ェンダ型干渉計の構成図
【図12】本発明の第6の実施の形態に係る多入力多出
力多モード干渉光カプラの構成図
【符号の説明】
11,31,41,51,61,81:基板、12a,
12b,32a,32b,42a,42b,52a,5
2b,62a〜62x,82a〜82x:入力光導波
路、13,33,43,53,63,83:多モード光
導波路、14a,14b,34a,34b,44a,4
4b,54a,54b,64a〜64x,84a〜84
x:出力光導波路、15,35,45,55,65a〜
65x,85a〜85x,86a〜86x:屈折率変化
部(領域)。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥野 将之 東京都千代田区大手町二丁目3番1号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 岡本 勝就 東京都千代田区大手町二丁目3番1号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 金子 明正 東京都千代田区大手町二丁目3番1号 日 本電信電話株式会社内 Fターム(参考) 2H047 KA12 KB04 LA18 QA03 QA04 QA05 TA19 TA43

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に形成された、少なくとも一つの
    入力光導波路と、第1の多モード光導波路及び屈折率変
    化部よりなる組と、第2の多モード光導波路と、少なく
    とも一つの出力光導波路とから構成される多モード干渉
    光カプラにおいて、 前記屈折率変化部は、前記第1の多モード光導波路端の
    光強度が集中している部分に設置されており、光の進行
    方向に対してほぼ垂直かつ等幅でコアとは屈折率の異な
    る領域であることを特徴とする多モード干渉光カプラ。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の多モード干渉光カプラに
    おいて、前記第1の多モード光導波路及び屈折率変化部
    よりなる組を複数設置することを特徴とする請求多モー
    ド干渉光カプラ。
  3. 【請求項3】 請求項1または2記載の多モード干渉光
    カプラにおいて、前記屈折率の異なる領域がクラッド層
    であることを特徴とする多モード干渉光カプラ。
  4. 【請求項4】 請求項1乃至3何れか1項記載の多モー
    ド干渉光カプラにおいて、前記屈折率の異なる領域が光
    の進行方向に沿って分割されていることを特徴とする多
    モード干渉光カプラ。
  5. 【請求項5】 請求項1乃至4何れか1項記載の多モー
    ド干渉光カプラにおいて、前記光導波路及び多モード干
    渉光カプラがガラス光導波路であることを特徴とする多
    モード干渉光カプラ。
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