JP2003300747A - Method for manufacturing porous preform for optical fiber - Google Patents

Method for manufacturing porous preform for optical fiber

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JP2003300747A JP2002100669A JP2002100669A JP2003300747A JP 2003300747 A JP2003300747 A JP 2003300747A JP 2002100669 A JP2002100669 A JP 2002100669A JP 2002100669 A JP2002100669 A JP 2002100669A JP 2003300747 A JP2003300747 A JP 2003300747A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a porous preform for an optical fiber by which a porous glass body for its core portion having uniform bulk density distribution in the radial direction can be manufactured and an optical fiber having stable distribution of the refractive index can be produced. <P>SOLUTION: This method for manufacturing the porous preform 10 for the optical fiber is carried out by supplying combustion gas and a glass source material from a burner 1 for the core to produce glass fine particles and depositing the particles to form the porous glass body 3 for the core portion to be the core of the optical fiber. In the above method, the diameter of the gas outlet of a burner 1 for the core is set in a range of 0.5 to 1.0 time as the outer diameter of the porous glass body 3 for the core part. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ用多孔
質母材の製造方法に関し、さらに詳しくは、コア用バー
ナから燃焼ガス及びガラス原料を吹き出し、燃焼ガスの
燃焼により生じる酸水素火炎中においてガラス原料を加
水分解させ、その結果生成するガラス微粒子を出発材上
に堆積させて、光ファイバのコアとなるべきコア部多孔
質ガラス体を形成する光ファイバ用多孔質母材の製造方
法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a porous preform for optical fibers, and more particularly, in a oxyhydrogen flame produced by burning combustion gas and glass raw material from a burner for core and burning the combustion gas. The present invention relates to a method for producing a porous preform for optical fibers, in which a glass raw material is hydrolyzed and glass particles produced as a result are deposited on a starting material to form a core porous glass body to be the core of the optical fiber.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、コアとクラッドよりなる光ファ
イバは、光ファイバ用の多孔質ガラス母材を加熱して透
明化させた後、線引きして製造される。光ファイバ用多
孔質母材を製造する方法として、例えばVAD法(Va
por phase Axial Depositio
n:気相軸付法)が挙げられる。このVAD法は、複数
のポートを有するバーナから、可燃性ガスと支燃性ガス
からなる燃焼ガス、及びガラス原料を吹き出し、燃焼ガ
スの燃焼により生じる酸水素火炎中においてガラス原料
を加水分解させて、軸状の出発材上にコアとなるべきガ
ラス微粒子を堆積させるとともに、その周囲にクラッド
となるべきガラス微粒子を堆積させる。
2. Description of the Related Art In general, an optical fiber composed of a core and a clad is manufactured by heating a porous glass preform for the optical fiber to make it transparent and then drawing it. As a method for manufacturing a porous preform for optical fibers, for example, the VAD method (Va
por phase Axial Deposition
n: method with vapor phase axis). This VAD method blows out a combustion gas composed of a combustible gas and a combustion-supporting gas and a glass raw material from a burner having a plurality of ports, and hydrolyzes the glass raw material in an oxyhydrogen flame generated by combustion of the combustion gas. The glass particles to be the core are deposited on the axial starting material, and the glass particles to be the clad are deposited around the glass particles.

【0003】図5に示すように、例えば単一モード光フ
ァイバ用の多孔質母材を製造する場合、コア用バーナ5
1により酸水素火炎52を形成し、この火炎52中にガ
ラス原料ガスを吹き出して、火炎加水分解により原料ガ
スをガラス微粒子とし、このガラス微粒子を回転する出
発材55に堆積させて、コア部多孔質ガラス体(コアス
ート)53を形成する。同様に、クラッド用バーナ56
により酸水素火炎57を形成し、この火炎57の中心よ
りガラス原料ガスを吹き出して、コアスート53を取り
囲むようにクラッド部多孔質ガラス体58を形成し、コ
アスート53及びクラッド部多孔質ガラス体58よりな
る光ファイバ用多孔質母材60を得ている。
As shown in FIG. 5, for example, when a porous preform for a single mode optical fiber is manufactured, the core burner 5 is used.
1, an oxyhydrogen flame 52 is formed, a glass raw material gas is blown into the flame 52, the raw material gas is made into glass fine particles by flame hydrolysis, and the glass fine particles are deposited on a rotating starting material 55 to form a core portion porous. A quality glass body (core soot) 53 is formed. Similarly, the clad burner 56
To form an oxyhydrogen flame 57, blow a glass source gas from the center of the flame 57, and form a clad porous glass body 58 so as to surround the core soot 53. From the core soot 53 and the clad porous glass body 58, A porous base material 60 for an optical fiber is obtained.

【0004】この種の光ファイバ用多孔質母材の製造に
関する技術として、特開昭63−123828号公報、
特開昭63−74931号公報、特公昭62−5041
8号公報に記載のものが知られている。
As a technique relating to the production of this type of porous preform for optical fibers, Japanese Patent Laid-Open No. 63-123828,
JP-A-63-74931, JP-B-62-5041
The one described in Japanese Patent No. 8 is known.

【0005】(1)特開昭63−123828号公報に
記載の技術は、多孔質母材の高嵩密度化と合成速度向上
の両立を図るために、光ファイバ用多孔質母材を合成す
る多重管バーナの直径を、多孔質母材の外径の0.2〜
0.5倍の範囲内に設定するというものである。 (2)特開昭63−74931号公報に記載の技術は、
コア部多孔質ガラス体の屈折率分布をステップ状にする
ために、コア部多孔質ガラス体の外周部を、他の部分よ
り高温になるように加熱して、嵩密度を大きくさせると
いうものである。 (3)特公昭62−50418号公報に記載の技術は、
ガラス合成速度を向上させるために、同心円状の多重管
バーナによる内側火炎を外側火炎よりも後退させるとい
うものである。
(1) The technique described in Japanese Patent Laid-Open No. 63-123828 synthesizes a porous preform for an optical fiber in order to achieve both high bulk density and high synthesis rate of the preform. Set the diameter of the multi-tube burner to 0.2 to the outer diameter of the porous base material.
It is set within the range of 0.5 times. (2) The technique described in JP-A-63-74931 is
In order to make the refractive index distribution of the core porous glass body stepwise, the outer peripheral portion of the core porous glass body is heated to a temperature higher than other portions to increase the bulk density. is there. (3) The technique described in Japanese Patent Publication No. 62-50418 is
In order to improve the glass synthesis rate, the inner flame of the multi-concentric multi-tube burner is set back more than the outer flame.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、光ファイバ
の伝送特性の一つである分散特性を向上させるために
は、コア部の屈折率分布の形状をステップ状にすること
が望ましい。図4に屈折率分布の種類を示す。図4
(a)はコア部からクラッド部にかけて屈折率の傾斜が
ある場合を示し、図4(b)はコア部の外周部に局部的
に屈折率が大きくなった部分がある場合を示し、図4
(c)はコア部からクラッド部にかけての屈折率分布が
ステップ状になっている場合を示す。
By the way, in order to improve the dispersion characteristic, which is one of the transmission characteristics of the optical fiber, it is desirable that the shape of the refractive index distribution of the core portion is stepwise. FIG. 4 shows the types of refractive index distribution. Figure 4
4A shows a case where the refractive index is inclined from the core part to the clad part, and FIG. 4B shows a case where a part where the refractive index is locally increased in the outer peripheral part of the core part.
(C) shows the case where the refractive index distribution from the core portion to the cladding portion is stepwise.

【0007】コア部多孔質ガラス体(コアスート)に
は、屈折率を増加させるためにドーパントであるゲルマ
ニウム(Ge)が添加されており、光ファイバの屈折率
分布は、ドーパントの分布に依存して決まる。ところ
が、多孔質母材の合成時にコアスートの嵩密度が低い
と、脱水透明化する際にコア部のドーパントがクラッド
部へ拡散してしまう。その場合、図4(a)に示すよう
に、コア部の屈折率分布がステップ状にならず、クラッ
ド部において屈折率が傾斜を持ったものになってしま
う。
Germanium (Ge), which is a dopant, is added to the core porous glass body (core soot) in order to increase the refractive index, and the refractive index distribution of the optical fiber depends on the distribution of the dopant. Decided. However, if the bulk density of the core soot is low at the time of synthesizing the porous base material, the dopant of the core part will diffuse into the clad part during dehydration and transparency. In that case, as shown in FIG. 4A, the refractive index distribution of the core portion is not stepwise, and the refractive index of the cladding portion has an inclination.

【0008】よって、コア部の屈折率分布を図4(c)
のようなステップ状にするためには、コアスートの嵩密
度を大きくすることが重要となる。しかし、前記(1)
の技術では、割れにくい程度の嵩密度を有する多孔質体
を得ることはできるものの、屈折率の増加のためにドー
パントを添加した多孔質体を合成する場合に、多孔質体
の外周部付近が加熱不足となって低嵩密度となり、図4
(a)に示したように屈折率分布がステップ状にならな
い可能性がある。
Therefore, the refractive index distribution of the core is shown in FIG.
It is important to increase the bulk density of the core soot in order to obtain such a step shape. However, the above (1)
Although it is possible to obtain a porous body having a bulk density that is unlikely to be broken by the technique described above, when synthesizing a porous body to which a dopant is added to increase the refractive index, the vicinity of the outer peripheral portion of the porous body is Insufficient heating resulted in low bulk density, as shown in FIG.
As shown in (a), the refractive index distribution may not be stepwise.

【0009】また、前記(2)の技術では、コアスート
の外周部を加熱することで嵩密度を増加させ、ステップ
状の屈折率分布を得ることができるものの、コアスート
の外周部分が他の部分より高温になるために、ドーパン
トの濃度が大きくなり過ぎて、安定した屈折率分布を得
ることが難しい。つまり、ドーパントは堆積面の温度が
高いほど高濃度にガラス体に添加される性質があり、コ
アスートの外周部分が高温になると、局部的にドーパン
トが高濃度にガラス体に添加されやすくなり、その結
果、図4(b)に示したようにコアスートの外周部分の
屈折率が局部的に大きくなってしまうことがある。局部
的に高濃度のドーパントが添加された場合、ガラスの組
成が急激に変化しているため、線引時に構造欠陥が生じ
やすく好ましくない。
In the technique (2), the bulk density can be increased by heating the outer peripheral portion of the core soot to obtain a stepwise refractive index distribution, but the outer peripheral portion of the core soot is better than other portions. Since the temperature becomes high, the concentration of the dopant becomes too large, and it is difficult to obtain a stable refractive index distribution. That is, the dopant has the property of being added to the glass body in a higher concentration as the temperature of the deposition surface is higher, and when the outer peripheral portion of the core soot becomes high in temperature, the dopant is likely to be locally added to the glass body in a high concentration, As a result, the refractive index of the outer peripheral portion of the core soot may locally increase as shown in FIG. When a high-concentration dopant is locally added, the composition of the glass is drastically changed, which is not preferable because structural defects easily occur during drawing.

【0010】また、前記(3)の技術では、多重管バー
ナで外側火炎のみをガラス堆積面に近付けることで、ガ
ラス合成速度を上げることができるものの、(2)の技
術と同様に、コアスートの外周部のみ高温になりやす
く、安定した屈折率分布を得ることが難しい。
Further, in the technique (3), the glass synthesis rate can be increased by bringing only the outer flame close to the glass deposition surface with the multi-tube burner, but like the technique (2), the core soot It is difficult to obtain a stable refractive index distribution because only the outer peripheral portion is likely to have high temperature.

【0011】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであり、径方向で均一な嵩密度分布を持つコ
ア部多孔質ガラス体を製造することができ、それにより
安定した屈折率分布を有する光ファイバを作ることので
きる、光ファイバ用多孔質母材の製造方法を提供するこ
とを目的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is possible to manufacture a core porous glass body having a uniform bulk density distribution in the radial direction, thereby providing a stable refractive index. An object of the present invention is to provide a method for producing a porous preform for optical fibers, which is capable of producing an optical fiber having a distribution.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の請求項1に係る光ファイバ用多孔質母材の製
造方法は、コア用バーナから燃焼ガス及びガラス原料を
供給し、ガラス微粒子を生成し、堆積させて、光ファイ
バのコアとなるべきコア部多孔質ガラス体を形成する光
ファイバ用多孔質母材の製造方法において、コア用バー
ナのガス吹出口の直径が、コア部多孔質ガラス体の外径
の0.5〜1.0倍の範囲に設定されていることを特徴
とする。
In order to achieve the above object, a method of manufacturing a porous preform for an optical fiber according to claim 1 of the present invention comprises supplying a combustion gas and a glass raw material from a core burner to obtain a glass. In the method for producing a porous base material for an optical fiber in which fine particles are generated and deposited to form a core porous glass body to be the core of the optical fiber, the diameter of the gas outlet of the burner for the core is the core portion. It is characterized in that it is set to a range of 0.5 to 1.0 times the outer diameter of the porous glass body.

【0013】請求項1に記載の光ファイバ用多孔質母材
の製造方法によれば、コア用バーナのガス吹出口の直径
が、コア部多孔質ガラス体の外径の0.5〜1.0倍の
範囲に設定されている。このように設定されたコア用バ
ーナを使用することによって、径方向で均一な嵩密度分
布を持つコア部多孔質ガラス体を安定して製造すること
ができる。ここで、ガス吹出口の直径とは、燃焼ガスを
構成する可燃性ガス及び支燃性ガスの何れかが噴出され
るポートの直径のうち最大のものを指す。よって、多重
管バーナの最外層ポートから可燃性ガス、支燃性ガス以
外の不活性シールガスを流すような場合は、その最外層
ポートの直径は含まない。また、燃焼ガスとは、水素を
含有する可燃性ガスと、酸素を含有する支燃性ガスとか
ら構成されるものであり、ガラス原料とは、ケイ素を含
有する例えば四塩化ケイ素を指す。
According to the method of manufacturing a porous base material for an optical fiber of claim 1, the diameter of the gas outlet of the core burner is 0.5 to 1. It is set to 0 times the range. By using the core burner set in this way, it is possible to stably manufacture a core porous glass body having a uniform bulk density distribution in the radial direction. Here, the diameter of the gas outlet refers to the maximum diameter of the ports from which any of the combustible gas and the combustion supporting gas forming the combustion gas is ejected. Therefore, when an inert seal gas other than the combustible gas and the combustion-supporting gas flows from the outermost layer port of the multi-tube burner, the diameter of the outermost layer port is not included. The combustion gas is composed of a combustible gas containing hydrogen and a combustion-supporting gas containing oxygen, and the glass raw material is, for example, silicon tetrachloride containing silicon.

【0014】また、請求項2に記載したように、請求項
1に記載の光ファイバ用多孔質母材の製造方法におい
て、コア部多孔質ガラス体と、光ファイバのクラッドと
なるべきクラッド部多孔質ガラス体とを、同時に形成す
ることが望ましい。これにより、本発明の製造方法を、
コア部多孔質ガラス体のみを堆積させる場合に限らず、
併せてコア部多孔質ガラス体を取り囲むようにクラッド
部多孔質ガラス体を堆積させる場合にも適用できる。例
えば、コア用バーナによって、コア部多孔質ガラス体を
形成し、それと同時に、コア用バーナとは別に設けたク
ラッド用バーナから、燃焼ガス及びガラス原料を供給
し、ガラス微粒子を生成し、コア部多孔質ガラス体を取
り囲むように堆積させてクラッド部多孔質ガラス体を形
成する方法が挙げられる。
Further, as described in claim 2, in the method for producing a porous base material for an optical fiber according to claim 1, the core porous glass body and the clad porous part to be the clad of the optical fiber. It is desirable to simultaneously form the quality glass body. Thereby, the manufacturing method of the present invention,
Not only when only the core porous glass body is deposited,
In addition, it can be applied to the case where the clad porous glass body is deposited so as to surround the core porous glass body. For example, a core burner forms a core porous glass body, and at the same time, a combustion gas and a glass raw material are supplied from a clad burner provided separately from the core burner to generate glass fine particles, and a core portion is produced. There is a method of forming a clad portion porous glass body by depositing the porous glass body so as to surround the porous glass body.

【0015】また、請求項3に記載したように、ガス吹
出口が、同心円状の複数のガス吹出ポートを有すること
が望ましい。具体的には、ガス吹出ポートの全てが同心
円状である多重管バーナや、同心円状の複数のガス吹出
ポートの間に同心円状でない複数のガス吹出ポートを有
するバーナを使用できる。
Further, as described in claim 3, it is desirable that the gas outlet has a plurality of concentric gas outlet ports. Specifically, it is possible to use a multi-tube burner in which all the gas outlet ports are concentric, or a burner having a plurality of non-concentric gas outlet ports between a plurality of concentric gas outlet ports.

【0016】また、請求項4に記載したように、コア用
バーナから吹き出す酸素ガスの流速を4〜16m/秒の
範囲に設定するのが望ましい。火炎の広がりに影響を及
ぼす酸素ガスの流速をこのような範囲に設定することに
より、火炎の広がりを抑えるとともに、ガラス微粒子の
堆積効率を良好に保つことができる。
Further, as described in claim 4, it is desirable to set the flow rate of the oxygen gas blown out from the core burner in the range of 4 to 16 m / sec. By setting the flow velocity of the oxygen gas which influences the spread of the flame in such a range, the spread of the flame can be suppressed and the deposition efficiency of the glass particles can be kept good.

【0017】また、請求項5に記載したように、請求項
3に記載のコア用バーナは、複数のガス吹出ポートの先
端位置のガス流れ方向における相互ずれ量が、30mm
以内に収められていることが望ましい。このようなコア
用バーナを用いることにより、コア部多孔質ガラス体の
一部分が他の部分より高温になってしまうことがなく、
コア部多孔質ガラス体の径方向の嵩密度分布を均一にす
ることができる。
Further, as described in claim 5, in the core burner according to claim 3, the mutual deviation amount in the gas flow direction of the tip positions of the plurality of gas blowout ports is 30 mm.
It is desirable that it is contained within. By using such a core burner, a part of the core porous glass body does not become hotter than other parts,
The bulk density distribution in the radial direction of the core porous glass body can be made uniform.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光ファイバ用
多孔質母材の製造方法の実施の形態を図1〜図4に基づ
いて説明する。図1は本発明の光ファイバ用多孔質母材
の製造方法の実施の形態を示す概略図、図2は図1に示
すコア用バーナの模式図であり、(a)はガス吹出口か
ら見た平面図、(b)は要部断面図である。図3は第2
実施例に用いられたコア用バーナを示す平面図である。
また、図4は屈折率分布の例であり、(a)はクラッド
部にかけて屈折率の傾斜がある場合を示し、(b)はコ
ア部の外周部に局部的に屈折率が大きくなった部分があ
る場合を示し、(c)はコア部からクラッド部にかけて
の屈折率分布がステップ状になっている場合を示す図で
ある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the method for producing a porous preform for optical fibers according to the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of a method for producing a porous preform for optical fibers of the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram of the core burner shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 3B is a plan view, and FIG. Figure 3 is the second
It is a top view which shows the burner for cores used for the Example.
Further, FIG. 4 is an example of the refractive index distribution, where (a) shows a case where the refractive index is inclined toward the clad portion, and (b) is a portion where the refractive index is locally increased in the outer peripheral portion of the core portion. And (c) is a diagram showing a case where the refractive index distribution from the core portion to the clad portion is stepwise.

【0019】図1に示すように、本実施形態の光ファイ
バ用多孔質母材の製造方法は、光ファイバ用多孔質母材
10を構成するコア部多孔質ガラス体(コアスート)3
とクラッド部多孔質ガラス体8を、それぞれ別のコア用
バーナ1とクラッド用バーナ6を用いて同時に形成する
ものである。コア用バーナ1により酸水素火炎2を形成
し、この火炎2中にガラス原料ガスを吹き出して、火炎
加水分解により原料ガスをガラス微粒子とし、このガラ
ス微粒子を回転する軸状の出発材5に堆積させて、コア
スート3を形成する。同様に、クラッド用バーナ6によ
り酸水素火炎7を形成し、この火炎7の中心よりガラス
原料ガスを吹き出して、コア部多孔質ガラス体3を取り
囲むようにクラッド部多孔質ガラス体8を形成し、コア
スート3及びクラッド部多孔質ガラス体8よりなる光フ
ァイバ用多孔質母材10を得る。
As shown in FIG. 1, in the method for manufacturing a porous preform for optical fibers according to the present embodiment, the core porous glass body (core soot) 3 constituting the porous preform for optical fiber 10 is formed.
And the clad portion porous glass body 8 are simultaneously formed by using different core burners 1 and clad burners 6, respectively. An oxyhydrogen flame 2 is formed by the core burner 1, a glass raw material gas is blown into the flame 2, the raw material gas is made into glass fine particles by flame hydrolysis, and the glass fine particles are deposited on a rotating shaft-shaped starting material 5. Then, the core soot 3 is formed. Similarly, an oxyhydrogen flame 7 is formed by the clad burner 6, a glass material gas is blown from the center of the flame 7, and a clad porous glass body 8 is formed so as to surround the core porous glass body 3. A porous preform 10 for an optical fiber, which is composed of the core soot 3 and the porous glass body 8 of the clad portion, is obtained.

【0020】ところで、本発明者は、径方向で均一な嵩
密度分布を持つコアスート3を作製するために、図1に
示すコア用バーナ1の大きさとコアスート3の大きさの
関係に着目して検討した。その結果、コアスート3の全
体を均一な嵩密度とする方法として、コア用バーナ1の
大きさには適正範囲があることを見出した。
By the way, the present inventor pays attention to the relationship between the size of the core burner 1 and the size of the core soot 3 shown in FIG. 1 in order to manufacture the core soot 3 having a uniform bulk density distribution in the radial direction. investigated. As a result, they have found that the size of the core burner 1 has an appropriate range as a method of making the entire core soot 3 have a uniform bulk density.

【0021】即ち、コア用バーナ1の直径がコアスート
3の外径より大きくなると、コア用バーナ1の火炎がコ
アスート3の側面まで加熱することになり、コアスート
の外周部分の嵩密度が増加することになる。また、コア
用バーナ1の直径がコアスート3の外径の0.5倍以下
となると、コアスート3の外周部付近の加熱が弱くな
り、コアスート3の外周部の嵩密度が低下することにな
ることが分かった。
That is, when the diameter of the core burner 1 becomes larger than the outer diameter of the core soot 3, the flame of the core burner 1 heats up to the side surface of the core soot 3, and the bulk density of the outer peripheral portion of the core soot increases. become. Further, if the diameter of the core burner 1 becomes 0.5 times or less of the outer diameter of the core soot 3, heating near the outer peripheral portion of the core soot 3 becomes weak, and the bulk density of the outer peripheral portion of the core soot 3 decreases. I understood.

【0022】従って、コア用バーナ1の直径は、コアス
ート3の外径に対して0.5〜1.0倍の範囲が望まし
い。その場合、火炎の広がりを抑えるために、酸素ガス
の流速を適正範囲内とするのが望ましい。即ち、コア用
バーナ1の直径が適正であっても、火炎が広がってしま
うと均一な嵩密度が得にくくなるため、火炎の広がりを
抑える必要があり、そのために酸素ガスの流速をある程
度大きくする必要がある。
Therefore, the diameter of the core burner 1 is preferably in the range of 0.5 to 1.0 times the outer diameter of the core soot 3. In that case, in order to suppress the spread of the flame, it is desirable to set the flow velocity of the oxygen gas within an appropriate range. That is, even if the diameter of the core burner 1 is proper, it is difficult to obtain a uniform bulk density when the flame spreads. Therefore, it is necessary to suppress the spread of the flame. Therefore, the flow velocity of oxygen gas is increased to some extent. There is a need.

【0023】具体的には、図2に示すような構造を有す
る同心円状の多重管バーナをコア用バーナ1として使用
した場合、中心の第1ポートP1に四塩化ケイ素(Si
Cl 4)と四塩化ゲルマニウム(GeCl4)と水素(H
2)を、第2,第6ポートP2,P6に水素(H2)を供
給し、第4,第8ポートP4,P8に酸素(O2)を供
給し、第3,第5,第7ポートP3,P5,P7にシー
ル用の不活性ガスであるアルゴン(Ar)ガスを供給す
る。そして、その際に、第4ポートP4の酸素ガスの流
速を4m/秒以上にする。そうすることで、火炎の広が
りを抑えることができて、コアスート3の径方向の嵩密
度分布を均一にすることができる。ここで、酸素ガスの
流速を4m/秒未満にした場合は、火炎が必要以上に広
がってしまい、コアスート3の外周部分の嵩密度が低く
なってしまう。なお、酸素ガスの流速が16m/秒を超
えると、コアスート3の加熱効率が低下することから、
酸素ガスの流速は4〜16m/秒に設定するのが好まし
い。
Specifically, it has a structure as shown in FIG.
Use concentric multi-tube burner as core burner 1
In the case of doing, silicon tetrachloride (Si
Cl Four) And germanium tetrachloride (GeClFour) And hydrogen (H
2) To the second and sixth ports P2 and P6.2)
Supply oxygen to the fourth and eighth ports P4 and P8 (O2)
Supply to the third, fifth and seventh ports P3, P5, P7
Supply the inert gas argon (Ar) gas
It And at that time, the flow of the oxygen gas in the fourth port P4
Speed up to 4m / sec or more. By doing so, the flame spread
Can be suppressed, and the core soot 3 is dense in the radial direction.
The degree distribution can be made uniform. Where the oxygen gas
If the flow velocity is less than 4 m / sec, the flame will spread wider than necessary.
And the bulk density of the outer peripheral portion of the core soot 3 is low.
turn into. In addition, the flow velocity of oxygen gas exceeds 16 m / sec.
As a result, the heating efficiency of the core soot 3 decreases,
It is preferable to set the flow rate of oxygen gas to 4 to 16 m / sec.
Yes.

【0024】また、適正な酸素ガス流速(4〜16m/
秒)の設定は、第4ポートP4から噴出させる場合に限
られるわけではなく、上記の例では第8ポートP8から
噴出させる場合に適用しても良く、さらに酸素を別のポ
ートから噴出させる場合にも適用することができる。
Further, an appropriate oxygen gas flow rate (4 to 16 m /
The setting of (sec) is not limited to the case of ejecting from the fourth port P4, but may be applied to the case of ejecting from the eighth port P8 in the above example, and the case of ejecting oxygen from another port. Can also be applied to.

【0025】また、好ましくは、コア用バーナ1のガス
吹出し口からガラス微粒子の堆積面までの距離を、5〜
30cmに設定すると良い。これにより、火炎の広がり
を適正な範囲に抑えることができて、コアスート3の径
方向の嵩密度分布を均一にすることができる。
Further, preferably, the distance from the gas outlet of the core burner 1 to the deposition surface of the glass particles is 5 to 5.
It is good to set it to 30 cm. Thereby, the spread of the flame can be suppressed within an appropriate range, and the bulk density distribution of the core soot 3 in the radial direction can be made uniform.

【0026】また、本発明に用いる可燃性ガスとして
は、水素以外に、CH4、C26、C38などの炭化水
素も採用できる。また、原料ポートには水素ではなく酸
素を混入して供給することも可能である。さらに、好ま
しい形態として、コア用バーナ1の複数のガス噴出ポー
トの先端位置を、ガス流れ方向にほぼ一致させておくの
が良い。すなわち、ガラス合成速度向上のために、二重
火炎バーナの場合に外側火炎の噴出ポートの先端を内側
火炎の噴出ポートよりも突き出させる形態とする方法が
あるが、このような場合は外側火炎のみ堆積面に近付く
ことになり、コアスート外周部分が他の部分より加熱さ
れてしまう欠点があるためである。そこで本発明者は、
検討の結果、コアスートの径方向の嵩密度分布を均一に
するために、図2(b)に示すように、多重管バーナ
(コア用バーナ1)の突き出し長さLを、30mm以内
に収めるべきであることを確認した。この長さLが30
mmを超えると、コアスート3の外周部分が他の部分よ
り高温になり、高温となった部分の嵩密度が他の部分よ
り高くなってしまう。
As the flammable gas used in the present invention, hydrocarbons such as CH 4 , C 2 H 6 and C 3 H 8 can be used in addition to hydrogen. It is also possible to mix oxygen and supply it to the raw material port instead of hydrogen. Furthermore, as a preferred mode, it is preferable that the tip positions of the plurality of gas ejection ports of the core burner 1 are substantially aligned with the gas flow direction. That is, in order to improve the glass synthesis rate, there is a method in which in the case of a double flame burner, the tip of the ejection port of the outer flame is made to protrude more than the ejection port of the inner flame, but in such a case only the outer flame is used. This is because the core soot is brought closer to the deposition surface and the outer peripheral portion of the core soot is heated more than other portions. Therefore, the inventor
As a result of the examination, in order to make the bulk density distribution in the radial direction of the core soot uniform, as shown in FIG. Was confirmed. This length L is 30
If it exceeds mm, the outer peripheral portion of the core soot 3 has a higher temperature than the other portions, and the bulk density of the heated portion becomes higher than that of the other portions.

【0027】(第1実施例)次に、本発明に係る第1実
施例について説明する。本実施例では、上述した実施の
形態のように、図1に示した態様で光ファイバ用多孔質
母材を製造した。コア用バーナ1として、図2に示した
同心円状の多重管バーナを使用し、中心の第1ポートP
1に四塩化ケイ素(SiCl4)と四塩化ゲルマニウム
(GeCl4)と水素(H2)を供給し、第2,第6ポー
トP2,P6に水素(H2)を供給し、第4,第8ポー
トP4,P8に酸素(O2)を供給し、第3,第5,第
7ポートP3,P5,P7にシール用の不活性ガスであ
るアルゴン(Ar)ガスを供給しながら、コアスート3
を製造した。これと同時に、クラッド用バーナ6によっ
てコアスート3を取り囲むようにクラッド部多孔質ガラ
ス体8を形成し、コアスート3及びクラッド部多孔質ガ
ラス体8よりなる光ファイバ用多孔質母材10を得た。
(First Embodiment) Next, a first embodiment according to the present invention will be described. In this example, as in the above-described embodiment, the porous preform for optical fibers was manufactured in the mode shown in FIG. The concentric multi-tube burner shown in FIG. 2 is used as the core burner 1, and the first port P at the center is used.
Supplied with 1 to silicon tetrachloride (SiCl 4) and germanium tetrachloride (GeCl 4) and hydrogen (H 2), supplying a hydrogen (H 2) in the second, sixth port P2, P6, fourth, While supplying oxygen (O 2 ) to the eight ports P4 and P8 and supplying argon (Ar) gas, which is an inert gas for sealing, to the third, fifth and seventh ports P3, P5 and P7, the core soot 3
Was manufactured. At the same time, the clad burner 6 formed the clad porous glass body 8 so as to surround the core soot 3 to obtain an optical fiber porous preform 10 composed of the core soot 3 and the clad porous glass 8.

【0028】コア用バーナ1の構造として、第8ポート
P8の直径は30mmであり、外側火炎の噴出ポート
(P5〜P8)を内側火炎の噴出ポート(P1〜P4)
より5mmだけ前方に突き出させている。また、第4ポ
ートP4の酸素の流速を14m/秒に設定した。さら
に、内側火炎の噴出ポート(P1〜P4)からコアスー
ト3の堆積面までの距離が20cmとなるように設定し
た。
As the structure of the core burner 1, the eighth port P8 has a diameter of 30 mm, and the outer flame ejection ports (P5 to P8) are connected to the inner flame ejection ports (P1 to P4).
It is projected forward by 5 mm. Further, the flow rate of oxygen in the fourth port P4 was set to 14 m / sec. Further, the distance from the inner flame ejection ports (P1 to P4) to the deposition surface of the core soot 3 was set to 20 cm.

【0029】以上の条件により製造したコアスート3の
直径は35mmであった。その結果、コアスート3の径
方向の嵩密度は0.15〜0.18g/cm3の範囲内
となり、光ファイバの屈折率分布は、図4(c)に示し
たようにステップ状のものとなった。
The core soot 3 produced under the above conditions had a diameter of 35 mm. As a result, the bulk density of the core soot 3 in the radial direction is within the range of 0.15 to 0.18 g / cm 3 , and the refractive index distribution of the optical fiber is stepwise as shown in FIG. 4 (c). became.

【0030】(第2実施例)次に、本発明に係る第2実
施例について説明する。本実施例では、上述した実施の
形態のように、図1に示した態様で光ファイバ用多孔質
母材を製造した。但し、本実施例が上記の第1実施例と
異なる点は、使用したコア用バーナの形態である。図3
に示すように、コア用バーナ11として、同心円状のポ
ートの間に小径のポートであるノズルQが複数配置され
たものを用いた。コア用バーナ11の中心の第1ポート
P1に四塩化ケイ素(SiCl4)と四塩化ゲルマニウ
ム(GeCl4)と水素(H2)を供給し、第3ポートP
3に水素(H2)を供給し、小径のノズルQと第5ポー
トP5に酸素(O2)を供給し、第2,第4ポートP
2,P4にシール用の不活性ガスであるアルゴン(A
r)ガスを供給しながら、コアスート3を製造した。
(Second Embodiment) Next, a second embodiment according to the present invention will be described. In this example, as in the above-described embodiment, the porous preform for optical fibers was manufactured in the mode shown in FIG. However, the difference between this embodiment and the first embodiment is the form of the core burner used. Figure 3
As shown in (1), the core burner 11 used is one in which a plurality of nozzles Q, which are small-diameter ports, are arranged between concentric ports. Silicon tetrachloride (SiCl 4 ), germanium tetrachloride (GeCl 4 ), and hydrogen (H 2 ) are supplied to the first port P1 at the center of the core burner 11, and the third port P1 is supplied.
3 is supplied with hydrogen (H 2 ), small-diameter nozzle Q and fifth port P 5 are supplied with oxygen (O 2 ), and second and fourth ports P are supplied.
2, P4 is an inert gas for sealing argon (A
r) The core soot 3 was manufactured while supplying gas.

【0031】コア用バーナ11の構造として、第5ポー
トP5の外周の直径は30mmであり、全てのポート及
びノズルの先端面を一致させた。また、第5ポートP5
の酸素の流速を9m/秒に設定した。さらに、噴出ポー
トからコアスート3の堆積面までの距離が10cmとな
るように設定した。
As the structure of the core burner 11, the outer diameter of the fifth port P5 was 30 mm, and all the ports and the tip surfaces of the nozzles were aligned. Also, the fifth port P5
The oxygen flow rate was set to 9 m / sec. Furthermore, the distance from the ejection port to the deposition surface of the core soot 3 was set to be 10 cm.

【0032】以上の条件により製造したコアスート3の
直径は30mmであった。その結果、コアスート3の径
方向の嵩密度は0.20〜0.22g/cm3の範囲内
となり、光ファイバの屈折率分布は、図4(c)に示し
たようにステップ状のものとなった。
The core soot 3 produced under the above conditions had a diameter of 30 mm. As a result, the bulk density of the core soot 3 in the radial direction is within the range of 0.20 to 0.22 g / cm 3 , and the refractive index distribution of the optical fiber is stepwise as shown in FIG. 4 (c). became.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光ファイ
バ用多孔質母材の製造方法によれば、コア用バーナとし
て、ガス吹出口の直径がコア部多孔質ガラス体の外径の
0.5〜1.0倍の範囲に設定されたものを使用する。
このように設定されたコア用バーナを使用することによ
って、径方向で均一な嵩密度分布を持つコア部多孔質ガ
ラス体を安定して製造することができる。また、コア用
バーナから吹き出す酸素ガスの流速を4〜16m/秒の
範囲に設定することにより、火炎の広がりを抑えるとと
もに、ガラス微粒子の堆積効率を良好に保つことができ
る。さらに、コア用バーナとして、複数のガス吹出ポー
トの先端位置のガス流れ方向における相互ずれ量を30
mm以内に収めたものを用いることにより、コア部多孔
質ガラス体の一部分が他の部分より高温になってしまう
ことがなく、コア部多孔質ガラス体の径方向の嵩密度分
布を均一にすることができる。
As described above, according to the method for producing a porous base material for an optical fiber of the present invention, as a burner for a core, the diameter of the gas outlet is 0 of the outer diameter of the porous glass body of the core portion. Use the one set in the range of 0.5 to 1.0 times.
By using the core burner set in this way, it is possible to stably manufacture a core porous glass body having a uniform bulk density distribution in the radial direction. Further, by setting the flow rate of the oxygen gas blown out from the core burner within the range of 4 to 16 m / sec, it is possible to suppress the spread of the flame and keep the deposition efficiency of the glass particles good. Further, as the core burner, the mutual deviation amount of the tip positions of the plurality of gas blowout ports in the gas flow direction is set to 30.
By using the glass having a diameter of less than mm, a part of the core porous glass body does not become hotter than the other part, and the bulk density distribution in the radial direction of the core porous glass body is made uniform. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造方法の
実施の形態を示す概略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of a method for producing a porous preform for optical fibers of the present invention.

【図2】図1に示すコア用バーナの模式図であり、
(a)はガス吹出口から見た平面図、(b)は要部断面
図である。
FIG. 2 is a schematic diagram of the core burner shown in FIG.
(A) is a plan view seen from the gas outlet, and (b) is a cross-sectional view of a main part.

【図3】第2実施例に用いられたコア用バーナを示す平
面図である。
FIG. 3 is a plan view showing a core burner used in a second embodiment.

【図4】屈折率分布の例であり、(a)はクラッド部に
かけて屈折率の傾斜がある場合を示し、(b)はコア部
の外周部に局部的に屈折率が大きくなった部分がある場
合を示し、(c)はコア部からクラッド部にかけての屈
折率分布がステップ状になっている場合を示す図であ
る。
FIG. 4 is an example of a refractive index distribution, in which (a) shows a case where the refractive index is inclined toward the clad portion, and (b) shows a portion where the refractive index is locally increased in the outer peripheral portion of the core portion. FIG. 6C is a diagram showing a case where there is a stepwise refractive index distribution from the core portion to the cladding portion.

【図5】従来の光ファイバ用多孔質母材の製造方法の実
施の形態を示す概略図である。
FIG. 5 is a schematic view showing an embodiment of a conventional method for producing a porous preform for optical fibers.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 コア用バーナ 2 酸水素火炎 3 コアスート(コア部多孔質ガラス体) 5 出発材 6 クラッド用バーナ 7 酸水素火炎 8 クラッド部多孔質ガラス体 10 光ファイバ用多孔質母材 11 コア用バーナ(第2実施例) P1〜P8 ポート(ガス吹出ポート) Q ノズル Burner for 1 core Dioxygen flame 3 core soot (core porous glass body) 5 starting materials 6 Clad burner 7 oxyhydrogen flame 8 Porous glass body in the clad part 10 Porous preform for optical fiber 11 Core burner (second embodiment) P1 to P8 ports (gas outlet ports) Q nozzle

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 コア用バーナから燃焼ガス及びガラス原
料を供給し、ガラス微粒子を生成し、堆積させて、光フ
ァイバのコアとなるべきコア部多孔質ガラス体を形成す
る光ファイバ用多孔質母材の製造方法において、 前記コア用バーナのガス吹出口の直径が、コア部多孔質
ガラス体の外径の0.5〜1.0倍の範囲に設定されて
いることを特徴とする光ファイバ用多孔質母材の製造方
法。
1. A porous mother for an optical fiber, in which a combustion gas and a glass raw material are supplied from a core burner to generate and deposit fine glass particles to form a core porous glass body to be a core of the optical fiber. In the method for producing a material, the diameter of the gas outlet of the core burner is set to a range of 0.5 to 1.0 times the outer diameter of the core porous glass body. For manufacturing a porous base material for use.
【請求項2】 前記コア部多孔質ガラス体と、光ファイ
バのクラッドとなるべきクラッド部多孔質ガラス体と
を、同時に形成することを特徴とする請求項1に記載の
光ファイバ用多孔質母材の製造方法。
2. The porous mother material for an optical fiber according to claim 1, wherein the core porous glass body and the clad porous glass body to be the cladding of the optical fiber are simultaneously formed. Method of manufacturing wood.
【請求項3】 前記ガス吹出口が、同心円状の複数のガ
ス吹出ポートを有することを特徴とする請求項1に記載
の光ファイバ用多孔質母材の製造方法。
3. The method for producing a porous preform for an optical fiber according to claim 1, wherein the gas outlet has a plurality of concentric gas outlet ports.
【請求項4】 前記燃焼ガスを構成する酸素ガスの流速
を、4〜16m/秒の範囲に設定することを特徴とする
請求項1に記載の光ファイバ用多孔質母材の製造方法。
4. The method for producing a porous preform for an optical fiber according to claim 1, wherein the flow rate of oxygen gas constituting the combustion gas is set in a range of 4 to 16 m / sec.
【請求項5】 前記コア用バーナは、複数の前記ガス吹
出ポートの先端位置のガス流れ方向における相互ずれ量
が、30mm以内に収められていることを特徴とする請
求項3に記載の光ファイバ用多孔質母材の製造方法。
5. The optical fiber according to claim 3, wherein the core burner has a mutual deviation amount of the tip positions of the plurality of gas outlet ports in the gas flow direction within 30 mm. For manufacturing a porous base material for use.
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