JP2003297735A - 液量判定装置、露光装置、および液量判定方法 - Google Patents
液量判定装置、露光装置、および液量判定方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 マッチングリキッドの液量判定を自動化す
る。 【解決手段】 複数の光学部品（２００，２０２）間を
充填する充填液（２０４）の液量を判定するための液量
判定装置であり、充填液（２０４）を介して対向する一
対の光学部品のうち一方の光学部品（２０２）につい
て、当該光学部品（２０２）の対向面（２０３）に略垂
直に検査光を射出するための検査光射出装置（２６０）
と、対向面上における任意の検査位置に検査光を射出さ
せるために検査光射出装置（２６０）を搬送するための
搬送装置（２６２）と、検査光射出装置（２６０）から
対向面（２３０）に向けて射出された検査光の反射光に
基づいて検査光の反射位置を特定するための反射位置特
定装置（２４０）と、反射位置特定装置（２４０）が特
定した反射位置に基づいて検査位置における充填液の有
無を判定するための判定装置（２６４）と、を備える。
る。 【解決手段】 複数の光学部品（２００，２０２）間を
充填する充填液（２０４）の液量を判定するための液量
判定装置であり、充填液（２０４）を介して対向する一
対の光学部品のうち一方の光学部品（２０２）につい
て、当該光学部品（２０２）の対向面（２０３）に略垂
直に検査光を射出するための検査光射出装置（２６０）
と、対向面上における任意の検査位置に検査光を射出さ
せるために検査光射出装置（２６０）を搬送するための
搬送装置（２６２）と、検査光射出装置（２６０）から
対向面（２３０）に向けて射出された検査光の反射光に
基づいて検査光の反射位置を特定するための反射位置特
定装置（２４０）と、反射位置特定装置（２４０）が特
定した反射位置に基づいて検査位置における充填液の有
無を判定するための判定装置（２６４）と、を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ホログラムを利用
して露光を行うホログラフィック露光装置に係り、特
に、ホログラムマスクをプリズムと密接させるために使
うマッチングリキッド等の充填液の液量を判定し補充す
るために装置に関する。
して露光を行うホログラフィック露光装置に係り、特
に、ホログラムマスクをプリズムと密接させるために使
うマッチングリキッド等の充填液の液量を判定し補充す
るために装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置のパターニングプロセスにお
いて、ＴＩＲ型（Ｔｏｔａｌ Ｉｎｔｅｒｎａｌ Ｒｅ
ｆｌｅｃｔｉｏｎ：全内部反射型）ホログラフィック露
光技術が注目されてきている。この露光技術は、ホログ
ラムマスクに対し所望のパターンを記録する記録工程
と、このホログラムマスクに再生光を照射して半導体パ
ターン用のフォトレジストを感光する露光工程とからな
る。
いて、ＴＩＲ型（Ｔｏｔａｌ Ｉｎｔｅｒｎａｌ Ｒｅ
ｆｌｅｃｔｉｏｎ：全内部反射型）ホログラフィック露
光技術が注目されてきている。この露光技術は、ホログ
ラムマスクに対し所望のパターンを記録する記録工程
と、このホログラムマスクに再生光を照射して半導体パ
ターン用のフォトレジストを感光する露光工程とからな
る。
【０００３】記録工程では、まず半導体装置のパターン
に対応したマスクパターン(元レチクル)にレーザー光の
記録ビームを照射して回折光を生じさせ、ホログラムマ
スクの記録面に射出する。一方、ホログラムマスクの記
録面に対し一定の角度でホログラムマスクの裏側から参
照光を照射し、元レチクルからの回折光と干渉させる。
これによってホログラムマスクの記録面に干渉パターン
を生じさせこれをホログラム記録面に記録させる。
に対応したマスクパターン(元レチクル)にレーザー光の
記録ビームを照射して回折光を生じさせ、ホログラムマ
スクの記録面に射出する。一方、ホログラムマスクの記
録面に対し一定の角度でホログラムマスクの裏側から参
照光を照射し、元レチクルからの回折光と干渉させる。
これによってホログラムマスクの記録面に干渉パターン
を生じさせこれをホログラム記録面に記録させる。
【０００４】露光工程では、元レチクルと同じ位置にホ
ログラムマスクを置いて、記録時と反対方向から再生光
である露光ビームを照射し、フォトレジスト上に元のパ
ターンを再現した回折光を結像させてフォトレジストを
露光する。
ログラムマスクを置いて、記録時と反対方向から再生光
である露光ビームを照射し、フォトレジスト上に元のパ
ターンを再現した回折光を結像させてフォトレジストを
露光する。
【０００５】ホログラムマスクには特定のレチクルパタ
ーンの干渉パターンが記録されるため、露光すべきパタ
ーンが変わるたびにホログラムマスクをプリズムから取
り外し新たなホログラムマスクをプリズムと密着させる
必要がある。従来、ホログラムマスクとプリズムとを屈
折率に影響を与えずに密接させるためにマッチングリキ
ッドという光学的特性を調整した充填液が使われてい
た。
ーンの干渉パターンが記録されるため、露光すべきパタ
ーンが変わるたびにホログラムマスクをプリズムから取
り外し新たなホログラムマスクをプリズムと密着させる
必要がある。従来、ホログラムマスクとプリズムとを屈
折率に影響を与えずに密接させるためにマッチングリキ
ッドという光学的特性を調整した充填液が使われてい
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、マッチ
ングリキッドには揮発性があるため、長時間露光してい
るうちに徐々にマッチングリキッドが揮発し、正しい露
光が行えなくなるという問題があった。このため、適当
なタイミングで露光を中断し、マッチングリキッドの有
無を確かめ、液量が不足している場合には補充するとい
う作業を強いられていた。
ングリキッドには揮発性があるため、長時間露光してい
るうちに徐々にマッチングリキッドが揮発し、正しい露
光が行えなくなるという問題があった。このため、適当
なタイミングで露光を中断し、マッチングリキッドの有
無を確かめ、液量が不足している場合には補充するとい
う作業を強いられていた。
【０００７】特に、一旦ホログラムマスクがプリズムに
取り付けられると、ホログラムマスクはホログラフィッ
ク露光装置の内部に配置されるため、露光の前にマッチ
ングリキッドの液量を肉眼で確かめることには困難が伴
う。
取り付けられると、ホログラムマスクはホログラフィッ
ク露光装置の内部に配置されるため、露光の前にマッチ
ングリキッドの液量を肉眼で確かめることには困難が伴
う。
【０００８】また、マッチングリキッドの液量のチェッ
クのみならず、マッチングリキッドを頻繁に補充するこ
とも大変煩わしいものであった。せめて連続した露光工
程中はマッチングリキッドの補充をしないで済ますこと
が望まれる。
クのみならず、マッチングリキッドを頻繁に補充するこ
とも大変煩わしいものであった。せめて連続した露光工
程中はマッチングリキッドの補充をしないで済ますこと
が望まれる。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そこで上記課題に鑑み、
本発明は、光学部品間の充填液の液量を自動的に判定し
うる液量判定装置、それを用いた露光装置を提供するこ
とを目的とする。
本発明は、光学部品間の充填液の液量を自動的に判定し
うる液量判定装置、それを用いた露光装置を提供するこ
とを目的とする。
【００１０】また本発明は、充填液の補充回数を減らす
ことのできる充填液貯留装置を提供することを目的とす
る。
ことのできる充填液貯留装置を提供することを目的とす
る。
【００１１】本発明は、複数の光学部品間を充填する充
填液の液量を判定するための液量判定装置において、充
填液を介して対向する一対の光学部品のうち一方の光学
部品について、当該光学部品の対向面に略垂直に検査光
を射出するための検査光射出装置と、対向面上における
任意の検査位置に検査光を射出させるために検査光射出
装置を搬送するための搬送装置と、検査光射出装置から
対向面に向けて射出された検査光の反射光に基づいて検
査光の反射位置を特定するための反射位置特定装置と、
反射位置特定装置が特定した反射位置に基づいて検査位
置における充填液の有無を判定するための判定装置と、
を備える。
填液の液量を判定するための液量判定装置において、充
填液を介して対向する一対の光学部品のうち一方の光学
部品について、当該光学部品の対向面に略垂直に検査光
を射出するための検査光射出装置と、対向面上における
任意の検査位置に検査光を射出させるために検査光射出
装置を搬送するための搬送装置と、検査光射出装置から
対向面に向けて射出された検査光の反射光に基づいて検
査光の反射位置を特定するための反射位置特定装置と、
反射位置特定装置が特定した反射位置に基づいて検査位
置における充填液の有無を判定するための判定装置と、
を備える。
【００１２】ここで判定装置は、検査位置を対向面の中
心付近とした場合において特定された反射位置が所定の
条件を満たしていた場合に、対向すべき一方の光学部品
が装着されていないと判定してもよい。
心付近とした場合において特定された反射位置が所定の
条件を満たしていた場合に、対向すべき一方の光学部品
が装着されていないと判定してもよい。
【００１３】また判定装置は、検査位置を対向面の周辺
部とした場合において特定された反射位置が所定の条件
を満たしているか否かに基づいて、充填液の液量が充分
であるか否かを判定してもよい。
部とした場合において特定された反射位置が所定の条件
を満たしているか否かに基づいて、充填液の液量が充分
であるか否かを判定してもよい。
【００１４】本発明の液量判定装置は、充填液を一対の
光学部品間に供給する充填液供給装置をさらに備えても
よい。このとき、充填液供給装置は、判定装置において
充填液の液量が十分でないと判定された場合に、光学部
品間に所定量の充填液を供給する。
光学部品間に供給する充填液供給装置をさらに備えても
よい。このとき、充填液供給装置は、判定装置において
充填液の液量が十分でないと判定された場合に、光学部
品間に所定量の充填液を供給する。
【００１５】ここで判定装置は、対向面内における複数
の検査位置の各々について充填液の液量が十分であるか
否かを判定してもよい。このとき充填液供給装置は、充
填液の液量が十分でないと判定された検査位置の分布に
基づいて供給すべき充填液の液量を決定する。
の検査位置の各々について充填液の液量が十分であるか
否かを判定してもよい。このとき充填液供給装置は、充
填液の液量が十分でないと判定された検査位置の分布に
基づいて供給すべき充填液の液量を決定する。
【００１６】ここで判定装置は、対向面内における所定
の領域の周囲における複数の検査位置の各々について充
填液の液量が充分であるか否かを判定してもよい。この
とき充填液供給装置は、いずれかの検査位置について充
填液の液量が十分でないと判断された場合に充填液を供
給する。
の領域の周囲における複数の検査位置の各々について充
填液の液量が充分であるか否かを判定してもよい。この
とき充填液供給装置は、いずれかの検査位置について充
填液の液量が十分でないと判断された場合に充填液を供
給する。
【００１７】また本発明は、複数の光学部品間を充填す
る充填液を供給するための充填液貯留装置において、複
数の光学部品が側面をそろえて充填液が充填されるべき
間隙を介して隣接している部分に設けられ、充填液を溜
める貯留部を有し、当該貯留部が当該部分における間隙
の端部に向けて開口している、充填液を供給するための
タンクを備える。
る充填液を供給するための充填液貯留装置において、複
数の光学部品が側面をそろえて充填液が充填されるべき
間隙を介して隣接している部分に設けられ、充填液を溜
める貯留部を有し、当該貯留部が当該部分における間隙
の端部に向けて開口している、充填液を供給するための
タンクを備える。
【００１８】また本発明は、複数の光学部品間を充填す
る充填液を供給するための充填液貯留装置において、複
数の光学部品の側面が段違いに、かつ、充填液が充填さ
れるべき間隙を介して隣接している部分に設けられ、一
方の光学部品の側面から当該段違いになっている部分に
張り出して設けられる延長板を備え、延長板と一方の光
学部品の底部と他方の光学部品の側面とによって囲まれ
る空間内に、充填液を溜めることが可能に構成されてい
る。
る充填液を供給するための充填液貯留装置において、複
数の光学部品の側面が段違いに、かつ、充填液が充填さ
れるべき間隙を介して隣接している部分に設けられ、一
方の光学部品の側面から当該段違いになっている部分に
張り出して設けられる延長板を備え、延長板と一方の光
学部品の底部と他方の光学部品の側面とによって囲まれ
る空間内に、充填液を溜めることが可能に構成されてい
る。
【００１９】また本発明は、複数の光学部品間を充填す
る充填液を供給するための充填液貯留装置において、複
数の光学部品のうち下側に配置される光学部品の方が棚
部においてせり出すように、充填液が充填されるべき間
隙を介して段違いに設けられ、棚部の側面に充填液の流
出防止柵を備え、棚部と流出防止柵とで囲まれる空間に
貯留される充填液を当該空間に開口している間隙の端部
から供給可能に構成されている。
る充填液を供給するための充填液貯留装置において、複
数の光学部品のうち下側に配置される光学部品の方が棚
部においてせり出すように、充填液が充填されるべき間
隙を介して段違いに設けられ、棚部の側面に充填液の流
出防止柵を備え、棚部と流出防止柵とで囲まれる空間に
貯留される充填液を当該空間に開口している間隙の端部
から供給可能に構成されている。
【００２０】本発明の液量判定装置は、さらに本発明の
充填液貯留装置を備えていてもよい。このとき充填液貯
留装置に充填液供給装置から充填液を供給するように構
成されている。
充填液貯留装置を備えていてもよい。このとき充填液貯
留装置に充填液供給装置から充填液を供給するように構
成されている。
【００２１】また本発明は、本発明の液量判定装置と、
一方の光学部品としてのホログラムマスクと、ホログラ
ムマスクに露光ビームを照射して露光領域を露光する照
射手段と、を備える露光装置であってもよい。
一方の光学部品としてのホログラムマスクと、ホログラ
ムマスクに露光ビームを照射して露光領域を露光する照
射手段と、を備える露光装置であってもよい。
【００２２】本発明は、上記液量判定装置において実施
するのに適する液量判定方法でもある。すなわち、本発
明は、複数の光学部品間を充填する充填液の液量を判定
するための液量判定方法において、充填液を介して対向
する一対の光学部品のうち一方の光学部品について、当
該光学部品の対向面に略垂直に検査光を射出するステッ
プと、対向面上における任意の検査位置に検査光を射出
させるステップと、対向面に向けて射出された検査光の
反射光に基づいて検査光の反射位置を特定するステップ
と、特定した反射位置に基づいて検査位置における充填
液の有無を判定するステップと、を備える。
するのに適する液量判定方法でもある。すなわち、本発
明は、複数の光学部品間を充填する充填液の液量を判定
するための液量判定方法において、充填液を介して対向
する一対の光学部品のうち一方の光学部品について、当
該光学部品の対向面に略垂直に検査光を射出するステッ
プと、対向面上における任意の検査位置に検査光を射出
させるステップと、対向面に向けて射出された検査光の
反射光に基づいて検査光の反射位置を特定するステップ
と、特定した反射位置に基づいて検査位置における充填
液の有無を判定するステップと、を備える。
【００２３】ここで判定するステップは、検査位置を対
向面の中心付近とした場合において特定された反射位置
が所定の条件を満たしていた場合に、対向すべき一方の
光学部品が装着されていないと判定してもよい。
向面の中心付近とした場合において特定された反射位置
が所定の条件を満たしていた場合に、対向すべき一方の
光学部品が装着されていないと判定してもよい。
【００２４】また判定するステップは、検査位置を対向
面の周辺部とした場合において特定された反射位置が所
定の条件を満たしているか否かに基づいて、充填液の液
量が充分であるか否かを判定してもよい。
面の周辺部とした場合において特定された反射位置が所
定の条件を満たしているか否かに基づいて、充填液の液
量が充分であるか否かを判定してもよい。
【００２５】また本発明の液量判定方法は、充填液を一
対の光学部品間に供給するステップをさらに備えていて
もよい。このとき、判定するステップにおいて充填液の
液量が十分でないと判定された場合に、光学部品間に所
定量の充填液を供給するステップをさらに備える。
対の光学部品間に供給するステップをさらに備えていて
もよい。このとき、判定するステップにおいて充填液の
液量が十分でないと判定された場合に、光学部品間に所
定量の充填液を供給するステップをさらに備える。
【００２６】ここで判定するステップは、対向面内にお
ける複数の検査位置の各々について充填液の液量が十分
であるか否かを判定してもよい。このとき、充填液を供
給するステップは、充填液の液量が十分でないと判定さ
れた検査位置の分布に基づいて供給すべき充填液の液量
を決定する。
ける複数の検査位置の各々について充填液の液量が十分
であるか否かを判定してもよい。このとき、充填液を供
給するステップは、充填液の液量が十分でないと判定さ
れた検査位置の分布に基づいて供給すべき充填液の液量
を決定する。
【００２７】また判定するステップは、対向面内におけ
る所定の領域の周囲における複数の検査位置の各々につ
いて充填液の液量が充分であるか否かを判定してもよ
い。このとき、充填液を供給するステップは、いずれか
の検査位置について充填液の液量が十分でないと判断さ
れた場合に充填液を供給する。
る所定の領域の周囲における複数の検査位置の各々につ
いて充填液の液量が充分であるか否かを判定してもよ
い。このとき、充填液を供給するステップは、いずれか
の検査位置について充填液の液量が十分でないと判断さ
れた場合に充填液を供給する。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を、
図面を参照しながら説明する。 （実施形態１）本発明の実施形態１は、本発明の液量判
定装置を備えたＴＩＲ型ホログラフィック露光装置に係
り、充填液の液量の検査位置をホログラムマスク面の周
辺部とした露光装置に関する。
図面を参照しながら説明する。 （実施形態１）本発明の実施形態１は、本発明の液量判
定装置を備えたＴＩＲ型ホログラフィック露光装置に係
り、充填液の液量の検査位置をホログラムマスク面の周
辺部とした露光装置に関する。
【００２９】図１に、本実施形態１におけるＴＩＲ型ホ
ログラフィック露光装置の全体構成図を示す。
ログラフィック露光装置の全体構成図を示す。
【００３０】図１に示すように、露光装置は、プリズム
２０２、ステージ２２２を備えるステージ装置２２４、
第１情報処理装置２２６、距離測定光学系２４０、膜厚
測定光学系２５０、光源２６０、搬送装置２６２、第２
情報処理装置２７０、露光光源２８０、露光光源駆動装
置２８２、第３情報処理装置２６４、充填液供給装置２
３０を備えて構成される。プリズム２０２にはホログラ
ムマスク２００が充填液であるマッチングリキッド２０
４を介して密着されている。
２０２、ステージ２２２を備えるステージ装置２２４、
第１情報処理装置２２６、距離測定光学系２４０、膜厚
測定光学系２５０、光源２６０、搬送装置２６２、第２
情報処理装置２７０、露光光源２８０、露光光源駆動装
置２８２、第３情報処理装置２６４、充填液供給装置２
３０を備えて構成される。プリズム２０２にはホログラ
ムマスク２００が充填液であるマッチングリキッド２０
４を介して密着されている。
【００３１】光源２６０は、本発明の検査光射出装置に
係り、距離測定光学系２４０および膜厚測定光学系２５
０のための検査光を射出可能に構成されている。
係り、距離測定光学系２４０および膜厚測定光学系２５
０のための検査光を射出可能に構成されている。
【００３２】搬送装置２６２は、本発明の搬送装置に係
り、マッチングリキッド２０４を介してホログラムマス
ク２００と対向するプリズム２０２の対向面２０３上に
おける任意の検査位置に検査光が射出できるように光源
２６０を搬送するようになっている。すなわち搬送装置
２６２は、第３情報処理装置２６４の制御によって、前
記対向面２０３に対応する任意の位置（Ｐ１やＰ２や図
面の垂直方向）に搬送可能になっており、プリズム２０
２の反射によってホログラムマスク２００に射出される
検査光が対向面２０３の任意の位置に当該面に垂直に供
給可能になっている。
り、マッチングリキッド２０４を介してホログラムマス
ク２００と対向するプリズム２０２の対向面２０３上に
おける任意の検査位置に検査光が射出できるように光源
２６０を搬送するようになっている。すなわち搬送装置
２６２は、第３情報処理装置２６４の制御によって、前
記対向面２０３に対応する任意の位置（Ｐ１やＰ２や図
面の垂直方向）に搬送可能になっており、プリズム２０
２の反射によってホログラムマスク２００に射出される
検査光が対向面２０３の任意の位置に当該面に垂直に供
給可能になっている。
【００３３】距離測定光学系２４０は、本発明の反射位
置特定装置の一部に係り、ビームスプリッタ２４２、シ
リンドリカルレンズ２４４、光センサ２４６、誤差信号
検出器２４８を備え、ホログラムマスク２００の記録面
と被露光基板上に塗布された感光性材料膜表面２１４と
の距離を調整して露光時のフォーカスを制御することが
可能に構成されている。
置特定装置の一部に係り、ビームスプリッタ２４２、シ
リンドリカルレンズ２４４、光センサ２４６、誤差信号
検出器２４８を備え、ホログラムマスク２００の記録面
と被露光基板上に塗布された感光性材料膜表面２１４と
の距離を調整して露光時のフォーカスを制御することが
可能に構成されている。
【００３４】ビームスプリッタ２４２は、光源２６０か
ら射出された検査光がプリズム２０２で反射された後、
ホログラムマスク２００との対向面２０３または被露光
基板２１０の感光性材料膜表面２１４で反射された反射
光の光路を垂直な方向に変更するようになっている。
ら射出された検査光がプリズム２０２で反射された後、
ホログラムマスク２００との対向面２０３または被露光
基板２１０の感光性材料膜表面２１４で反射された反射
光の光路を垂直な方向に変更するようになっている。
【００３５】シリンドリカルレンズ２４４は、光軸に垂
直な二方向のうち一方のみにレンズとして作用し他方に
は光学的な作用を及ぼさないように構成されており、入
射する光の射出点からの距離に応じて、二方向に対称的
な集光形状が得られる焦点距離が変化するようになって
いる。このため光源２６０からの検査光がどの反射位置
で反射されたかに応じて光センサ２４４上に集光する反
射光の形状の対称性が変化するようになっている。
直な二方向のうち一方のみにレンズとして作用し他方に
は光学的な作用を及ぼさないように構成されており、入
射する光の射出点からの距離に応じて、二方向に対称的
な集光形状が得られる焦点距離が変化するようになって
いる。このため光源２６０からの検査光がどの反射位置
で反射されたかに応じて光センサ２４４上に集光する反
射光の形状の対称性が変化するようになっている。
【００３６】光センサ２４４は光軸を中心として４分割
されたフォトデテクタであり、それぞれのフォトデテク
タに入射する検査光の光量に応じた電気信号を出力する
ようになっている。
されたフォトデテクタであり、それぞれのフォトデテク
タに入射する検査光の光量に応じた電気信号を出力する
ようになっている。
【００３７】誤差信号検出器２４８は、光センサ２４４
のフォトデテクタからそれぞれ出力された電気信号の差
分を演算し誤差信号を出力するようになっている。
のフォトデテクタからそれぞれ出力された電気信号の差
分を演算し誤差信号を出力するようになっている。
【００３８】第３情報処理装置２６４は、本発明の反射
位置特定装置および判定装置に係り、前記誤差信号に基
づいて本発明の反射位置の特定と液量判定とを実施する
ようになっている。
位置特定装置および判定装置に係り、前記誤差信号に基
づいて本発明の反射位置の特定と液量判定とを実施する
ようになっている。
【００３９】充填液供給装置２３０は、駆動装置２３
２、タンク２３４、流路ポンプ２３６、および供給パイ
プ２３８を備え、第３情報処理装置２６４においてマッ
チングリキッドの液量が十分でないと判定された場合
に、所定量のマッチングリキッド２０４をプリズム２０
２とホログラムマスク２００との間隙に充填液を供給す
るように構成されている。
２、タンク２３４、流路ポンプ２３６、および供給パイ
プ２３８を備え、第３情報処理装置２６４においてマッ
チングリキッドの液量が十分でないと判定された場合
に、所定量のマッチングリキッド２０４をプリズム２０
２とホログラムマスク２００との間隙に充填液を供給す
るように構成されている。
【００４０】具体的には、駆動装置２３２は、第３情報
処理装置２６４の制御信号に基づいて所定の時間駆動信
号を出力するようになっている。流路ポンプ２３６は、
この駆動信号が出力されている期間中、タンク２３４に
貯留されている補充用のマッチングリキッド２０４を供
給パイプ２３８に供給するようになっている。供給パイ
プ２３８に出力されたマッチングリキッドはプリズム２
０２とホログラムマスク２００との間隙に直接供給され
るようになっているが、この間隙へのマッチングリキッ
ドの供給部分に後述する充填液貯留装置３００を介して
供給するように構成してもよい。
処理装置２６４の制御信号に基づいて所定の時間駆動信
号を出力するようになっている。流路ポンプ２３６は、
この駆動信号が出力されている期間中、タンク２３４に
貯留されている補充用のマッチングリキッド２０４を供
給パイプ２３８に供給するようになっている。供給パイ
プ２３８に出力されたマッチングリキッドはプリズム２
０２とホログラムマスク２００との間隙に直接供給され
るようになっているが、この間隙へのマッチングリキッ
ドの供給部分に後述する充填液貯留装置３００を介して
供給するように構成してもよい。
【００４１】その他の構成の説明に移る。ステージ装置
２２４は、感光性材料膜２１２が形成された被露光基板
２１０を真空チャック等でステージ２２２上に保持し
て、少なくとも上下方向（Ｚ方向）へのステージ２２２
の位置調整が可能に構成されている。第１情報処理装置
２２６は距離測定光学系２４０から出力された誤差信号
に基づいて、ホログラム記録面２０１と被露光基板上に
形成された感光性材料膜表面２１４との距離に基づいて
フォーカスが適正となるようにステージ２２０の位置を
設定するように構成されている。膜厚測定光学系２５０
は、ビームスプリッタ、フォトデテクタ、増幅器、Ａ／
Ｄ変換器等を備え、被露光基板２１０上に形成された感
光性材料膜２１２の膜厚を測定するための構成を備えて
いる。第２情報処理装置２７０は、膜厚測定光学系２５
０により出力された感光性材料膜２１２の膜厚の相対値
に基づいて露光の光量を制御するように構成されてい
る。露光光源２８０は、ホログラムマスク２００のホロ
グラム記録面２０２に露光ビームを照射可能に構成され
ている。露光光源駆動装置２８２は、露光光源２８０を
移動して被露光基板２１０上の所望の露光領域を走査し
て露光するように構成されている。
２２４は、感光性材料膜２１２が形成された被露光基板
２１０を真空チャック等でステージ２２２上に保持し
て、少なくとも上下方向（Ｚ方向）へのステージ２２２
の位置調整が可能に構成されている。第１情報処理装置
２２６は距離測定光学系２４０から出力された誤差信号
に基づいて、ホログラム記録面２０１と被露光基板上に
形成された感光性材料膜表面２１４との距離に基づいて
フォーカスが適正となるようにステージ２２０の位置を
設定するように構成されている。膜厚測定光学系２５０
は、ビームスプリッタ、フォトデテクタ、増幅器、Ａ／
Ｄ変換器等を備え、被露光基板２１０上に形成された感
光性材料膜２１２の膜厚を測定するための構成を備えて
いる。第２情報処理装置２７０は、膜厚測定光学系２５
０により出力された感光性材料膜２１２の膜厚の相対値
に基づいて露光の光量を制御するように構成されてい
る。露光光源２８０は、ホログラムマスク２００のホロ
グラム記録面２０２に露光ビームを照射可能に構成され
ている。露光光源駆動装置２８２は、露光光源２８０を
移動して被露光基板２１０上の所望の露光領域を走査し
て露光するように構成されている。
【００４２】図２の対向面２０３の平面図を参照して、
本実施形態における検出位置を説明する。本実施形態１
では、対向面２０３上に検査光を射出する検査位置を、
図２に示すように、対向面２０３の周辺部としている点
に特徴がある。
本実施形態における検出位置を説明する。本実施形態１
では、対向面２０３上に検査光を射出する検査位置を、
図２に示すように、対向面２０３の周辺部としている点
に特徴がある。
【００４３】図２において、レチクルパターンが再生さ
れる露光領域ＤＡ２に対し、マージンをとった有効領域
ＤＡ１が任意に定められている。マッチングリキッドは
Ｅの部分から供給可能である。破線で示すように、揮発
するにつれてプリズムとホログラムマスクとの密着面
（間隙）の周囲からマッチングリキッド２０４が揮発
し、充填液領域ＬＡ１が縮小していく。本実施形態では
この有効領域ＤＡ１よりも充填液領域ＬＡ１が縮小した
か否かを判定する。すなわち、図２に示すように、検査
光による検出位置ＭＰ１１ａおよびｂを対向面２０３の
周辺部に設定する。これら複数の検出位置のうち、いず
れか一つのみについて検出してもいいし、幾つかについ
て検出してもよいし、総てについて検出してもよい。例
えば、対向面２０３における対角線上にある検出位置Ｍ
Ｐ１１ａでは、中心点ＭＰＣからの距離が遠いために早
めにマッチングリキッドが蒸発すると考えられる。この
ため、比較的早期に、すなわち、マッチングリキッドの
揮発量が少ないうちにマッチングリキッドの液量不足を
検出可能である。一方、対向面２０３における辺の中央
部分では対角線における液量不足より若干遅く液量不足
が検出されると考えられる。
れる露光領域ＤＡ２に対し、マージンをとった有効領域
ＤＡ１が任意に定められている。マッチングリキッドは
Ｅの部分から供給可能である。破線で示すように、揮発
するにつれてプリズムとホログラムマスクとの密着面
（間隙）の周囲からマッチングリキッド２０４が揮発
し、充填液領域ＬＡ１が縮小していく。本実施形態では
この有効領域ＤＡ１よりも充填液領域ＬＡ１が縮小した
か否かを判定する。すなわち、図２に示すように、検査
光による検出位置ＭＰ１１ａおよびｂを対向面２０３の
周辺部に設定する。これら複数の検出位置のうち、いず
れか一つのみについて検出してもいいし、幾つかについ
て検出してもよいし、総てについて検出してもよい。例
えば、対向面２０３における対角線上にある検出位置Ｍ
Ｐ１１ａでは、中心点ＭＰＣからの距離が遠いために早
めにマッチングリキッドが蒸発すると考えられる。この
ため、比較的早期に、すなわち、マッチングリキッドの
揮発量が少ないうちにマッチングリキッドの液量不足を
検出可能である。一方、対向面２０３における辺の中央
部分では対角線における液量不足より若干遅く液量不足
が検出されると考えられる。
【００４４】次に図３のフローチャートを参照しながら
本実施形態１の液量判定処理動作を説明する。当該液量
判定処理は、本ホログラフィック露光装置における露光
工程の最初に行うように設定してもよいし、露光工程と
は独立して定期的に行ってマッチングリキッドが未使用
時に無くならないようにしてもよい。
本実施形態１の液量判定処理動作を説明する。当該液量
判定処理は、本ホログラフィック露光装置における露光
工程の最初に行うように設定してもよいし、露光工程と
は独立して定期的に行ってマッチングリキッドが未使用
時に無くならないようにしてもよい。
【００４５】まず、検査に先立って第３情報処理装置２
６４は、搬送装置２６２を制御して光源２６０を移動さ
せ、プリズム２０２の対向面２０３の中心点ＭＰＣに検
査光が射出できるようにする（Ｓ１０）。もしホログラ
ムマスク２００がプリズム２０２にマッチングリキッド
を介して装着されているならば、検出光は対向面２０３
で反射されることなくホログラム記録面２０１に達し、
そこで一部が反射され、大部分が被露光基板２１０の感
光性材料膜面２１４で反射される。もしもホログラムマ
スクがプリズムに装着されているならば、少なくとの対
向面の中心付近にはマッチングリキッドが存在していな
ければならないはずである。そこで、第３情報処理装置
２６４は、距離測定光学系２４０から出力された誤差信
号が、検出光が総て対向面２０３で反射されたことを示
している場合にはマッチングリキッド無し、つまりホロ
グラムマスクが装着されていないと判定し（Ｓ１１：
Ｎ）、図示しない表示装置やランプにその旨の表示をさ
せる（Ｓ１２）。
６４は、搬送装置２６２を制御して光源２６０を移動さ
せ、プリズム２０２の対向面２０３の中心点ＭＰＣに検
査光が射出できるようにする（Ｓ１０）。もしホログラ
ムマスク２００がプリズム２０２にマッチングリキッド
を介して装着されているならば、検出光は対向面２０３
で反射されることなくホログラム記録面２０１に達し、
そこで一部が反射され、大部分が被露光基板２１０の感
光性材料膜面２１４で反射される。もしもホログラムマ
スクがプリズムに装着されているならば、少なくとの対
向面の中心付近にはマッチングリキッドが存在していな
ければならないはずである。そこで、第３情報処理装置
２６４は、距離測定光学系２４０から出力された誤差信
号が、検出光が総て対向面２０３で反射されたことを示
している場合にはマッチングリキッド無し、つまりホロ
グラムマスクが装着されていないと判定し（Ｓ１１：
Ｎ）、図示しない表示装置やランプにその旨の表示をさ
せる（Ｓ１２）。
【００４６】ホログラムマスクが装着されていると判定
された場合（Ｓ１１：Ｙ）、第３情報処理装置２６４は
予めメモリに記憶されているか入力されるかした検出レ
ベルを特定する（Ｓ１３）。検出レベルとは、どの程度
マッチングリキッドの充填液境界ＬＡ１が縮小していた
らアラームを出すかを定めるレベルをいう。例えば図２
で説明したように、比較的早めにアラームを出すなら、
対向面２０３の対角線周辺部に検出位置ＭＰ１１ｂを設
定するし、もう少しマッチングリキッドの揮発を許容す
るなら検出位置ＭＰ１１ａなどに設定する。
された場合（Ｓ１１：Ｙ）、第３情報処理装置２６４は
予めメモリに記憶されているか入力されるかした検出レ
ベルを特定する（Ｓ１３）。検出レベルとは、どの程度
マッチングリキッドの充填液境界ＬＡ１が縮小していた
らアラームを出すかを定めるレベルをいう。例えば図２
で説明したように、比較的早めにアラームを出すなら、
対向面２０３の対角線周辺部に検出位置ＭＰ１１ｂを設
定するし、もう少しマッチングリキッドの揮発を許容す
るなら検出位置ＭＰ１１ａなどに設定する。
【００４７】次いで液量判定に移る。まず第３情報処理
装置２６４は、搬送装置２６２を制御し、設定した検出
位置の各々について位置情報を読み出し（Ｓ１４）、そ
の位置情報で特定される対向面２０３上の検出位置に検
出光を出力させる。そして距離測定光学系２４０から出
力された誤差信号に基づいて、上記と同様にマッチング
リキッドの有無を判定する。もしもマッチングリキッド
がその検出位置に存在するなら、検出光はその検出位置
で反射されることなくホログラムマスク２００に達する
が、マッチングリキッドが揮発してその検出位置に存在
しなくなっているなら、検出光はその検出位置で反射さ
れる。誤差信号が検出光の反射位置として対向面以外の
位置を示している場合には（Ｓ１５：Ｙ）、その検出位
置にはマッチングリキッドが存在するため、次の検出位
置の検出に移行する（Ｓ１６：Ｎ）。総ての検出位置に
おけるマッチングリキッドの有無を検査し（Ｓ１４〜Ｓ
１６）、総ての検出位置においてマッチングリキッドが
存在していることを判定できたら（Ｓ１６：Ｙ）、第３
情報処理装置２６４は補充する必要が無い旨の表示を必
要に応じて行い（Ｓ１７）、液量判定処理を終了する。
次いで必要に応じて露光工程に移行する。一方、いずれ
かの検出位置についてマッチングリキッドが存在してい
ないことが検出された場合（Ｓ１５：Ｎ）、必要に応じ
てマッチングリキッドが不足している旨の表示を行う
（Ｓ１８）。
装置２６４は、搬送装置２６２を制御し、設定した検出
位置の各々について位置情報を読み出し（Ｓ１４）、そ
の位置情報で特定される対向面２０３上の検出位置に検
出光を出力させる。そして距離測定光学系２４０から出
力された誤差信号に基づいて、上記と同様にマッチング
リキッドの有無を判定する。もしもマッチングリキッド
がその検出位置に存在するなら、検出光はその検出位置
で反射されることなくホログラムマスク２００に達する
が、マッチングリキッドが揮発してその検出位置に存在
しなくなっているなら、検出光はその検出位置で反射さ
れる。誤差信号が検出光の反射位置として対向面以外の
位置を示している場合には（Ｓ１５：Ｙ）、その検出位
置にはマッチングリキッドが存在するため、次の検出位
置の検出に移行する（Ｓ１６：Ｎ）。総ての検出位置に
おけるマッチングリキッドの有無を検査し（Ｓ１４〜Ｓ
１６）、総ての検出位置においてマッチングリキッドが
存在していることを判定できたら（Ｓ１６：Ｙ）、第３
情報処理装置２６４は補充する必要が無い旨の表示を必
要に応じて行い（Ｓ１７）、液量判定処理を終了する。
次いで必要に応じて露光工程に移行する。一方、いずれ
かの検出位置についてマッチングリキッドが存在してい
ないことが検出された場合（Ｓ１５：Ｎ）、必要に応じ
てマッチングリキッドが不足している旨の表示を行う
（Ｓ１８）。
【００４８】マッチングリキッドが不足していると判定
された場合には（Ｓ１８）その旨の表示を見た操作者が
人手でマッチングリキッドを補充するようにしてもよい
が、本実施形態ではさらに充填液供給装置２３０による
マッチングリキッドの補充を行う（Ｓ１９）。すなわ
ち、第３情報処理装置２６４は検出レベルを参照し、ど
の程度の液量のマッチングリキッドを供給すべきかを決
定し、その液量に応じた期間だけ駆動装置２３２を駆動
して流路ポンプ２３６を動作させる。タンク２３４から
は流路ポンプ２３６の駆動されている期間だけマッチン
グリキッドが、プリズム２０２とホログラムマスク２０
０との間隙に供給される。なお、マッチングリキッドの
供給後に再び同じ検出位置の液量判定を行って十分にマ
ッチングリキッドが供給されたかを確認してもよい。ま
た、流路ポンプ２３６の駆動期間を予め決める代わり
に、この液量判定の結果をフィードバックさせて液量が
回復し次第流路ポンプを停止させるように構成してもよ
い。
された場合には（Ｓ１８）その旨の表示を見た操作者が
人手でマッチングリキッドを補充するようにしてもよい
が、本実施形態ではさらに充填液供給装置２３０による
マッチングリキッドの補充を行う（Ｓ１９）。すなわ
ち、第３情報処理装置２６４は検出レベルを参照し、ど
の程度の液量のマッチングリキッドを供給すべきかを決
定し、その液量に応じた期間だけ駆動装置２３２を駆動
して流路ポンプ２３６を動作させる。タンク２３４から
は流路ポンプ２３６の駆動されている期間だけマッチン
グリキッドが、プリズム２０２とホログラムマスク２０
０との間隙に供給される。なお、マッチングリキッドの
供給後に再び同じ検出位置の液量判定を行って十分にマ
ッチングリキッドが供給されたかを確認してもよい。ま
た、流路ポンプ２３６の駆動期間を予め決める代わり
に、この液量判定の結果をフィードバックさせて液量が
回復し次第流路ポンプを停止させるように構成してもよ
い。
【００４９】以上、実施形態１によれば、検査位置を対
向面の中心付近とした場合において特定された反射位置
が所定の条件を満たしていた場合に、対向すべき一方の
光学部品が装着されていないと判定するので、ホログラ
ムマスクの装着すべき旨の警告を出すことができる。ま
た液量判定に先立ち、ホログラムマスクの存在を確認で
きる。
向面の中心付近とした場合において特定された反射位置
が所定の条件を満たしていた場合に、対向すべき一方の
光学部品が装着されていないと判定するので、ホログラ
ムマスクの装着すべき旨の警告を出すことができる。ま
た液量判定に先立ち、ホログラムマスクの存在を確認で
きる。
【００５０】本実施形態１によれば、対向面の周辺部に
おいて液量判定をするように構成したので、比較的早期
にマッチングリキッドの不足を検出することができる。
おいて液量判定をするように構成したので、比較的早期
にマッチングリキッドの不足を検出することができる。
【００５１】本実施形態１によれば、液量不足が判定さ
れた後に充填液供給装置がマッチングリキッドを適量供
給するので、マッチングリキッドの供給を自動化し、人
手を介しての困難なマッチングリキッドの補充を省くこ
とが可能である。 （実施形態２）本発明の実施形態２は、前記実施形態１
と同様のホログラフィック露光装置に係り、複数の検査
位置について充填液の液量判定を行って液量不足と判定
された検査位置の分布に基づいて供給すべき充填液の液
量を決定する露光装置に関する。
れた後に充填液供給装置がマッチングリキッドを適量供
給するので、マッチングリキッドの供給を自動化し、人
手を介しての困難なマッチングリキッドの補充を省くこ
とが可能である。 （実施形態２）本発明の実施形態２は、前記実施形態１
と同様のホログラフィック露光装置に係り、複数の検査
位置について充填液の液量判定を行って液量不足と判定
された検査位置の分布に基づいて供給すべき充填液の液
量を決定する露光装置に関する。
【００５２】本実施形態２におけるホログラフィック露
光装置の構成は実施形態１と同様であるため説明を省略
する。
光装置の構成は実施形態１と同様であるため説明を省略
する。
【００５３】図４の対向面２０３の平面図を参照して、
本実施形態における検出位置を説明する。本実施形態２
では、対向面２０３上に検査光を射出する検査位置を、
図４に示すように、対向面２０３の内部に複数設けてい
る点に特徴がある。
本実施形態における検出位置を説明する。本実施形態２
では、対向面２０３上に検査光を射出する検査位置を、
図４に示すように、対向面２０３の内部に複数設けてい
る点に特徴がある。
【００５４】図４において、レチクルパターンが再生さ
れる露光領域ＤＡ２に対し、マージンをとった有効領域
ＤＡ１が任意に定められている。この有効領域ＤＡ１に
ほぼ十分にマッチングリキッドを行き渡らせるために
は、少なくともマッチングリキッドは充填液領域ＬＡ１
を占めていなければならない。また露光領域ＤＡ２に対
する露光処理を行うためにはどんなにマッチングリキッ
ドが少なくても充填液領域ＬＡ２の範囲にはマッチング
リキッドが存在しなくてはならない。そこで本実施形態
２では、マッチングリキッドの揮発量に応じた制御が行
えるように、充填液領域ＬＡ１およびＬＡ２の内外に検
査位置ＭＰ２１ａおよびｂ、ＭＰ２２ａおよびｂを設け
る。そして液量不足と判定された検査位置の分布に応じ
て補充する液量を変化させる。例えば表１に示すように
検出された液量不足の検出位置に応じたマッチングリキ
ッドの補充量を定めることができる。
れる露光領域ＤＡ２に対し、マージンをとった有効領域
ＤＡ１が任意に定められている。この有効領域ＤＡ１に
ほぼ十分にマッチングリキッドを行き渡らせるために
は、少なくともマッチングリキッドは充填液領域ＬＡ１
を占めていなければならない。また露光領域ＤＡ２に対
する露光処理を行うためにはどんなにマッチングリキッ
ドが少なくても充填液領域ＬＡ２の範囲にはマッチング
リキッドが存在しなくてはならない。そこで本実施形態
２では、マッチングリキッドの揮発量に応じた制御が行
えるように、充填液領域ＬＡ１およびＬＡ２の内外に検
査位置ＭＰ２１ａおよびｂ、ＭＰ２２ａおよびｂを設け
る。そして液量不足と判定された検査位置の分布に応じ
て補充する液量を変化させる。例えば表１に示すように
検出された液量不足の検出位置に応じたマッチングリキ
ッドの補充量を定めることができる。
【００５５】
【表１】
図４に示した検出位置は例示に過ぎず適宜変更が可能で
ある。例えば、これら複数の検出位置のうち、幾つかに
ついて検出してもよいし、総てについて検出してもよ
い。例えば、プリズム底面が中心軸に対して幾何学的に
対称な形状を有している場合、この対向面で幾何学的に
中心軸対称な位置にある検出位置同士は充填液の充填度
がほぼ同じであると考えられるので、一方の検出を省い
てもよい。
ある。例えば、これら複数の検出位置のうち、幾つかに
ついて検出してもよいし、総てについて検出してもよ
い。例えば、プリズム底面が中心軸に対して幾何学的に
対称な形状を有している場合、この対向面で幾何学的に
中心軸対称な位置にある検出位置同士は充填液の充填度
がほぼ同じであると考えられるので、一方の検出を省い
てもよい。
【００５６】次に図５のフローチャートを参照しながら
本実施形態２の液量判定処理動作を説明する。当該液量
判定処理は、本ホログラフィック露光装置における露光
工程の最初に行うように設定してもよいし、露光工程と
は独立して定期的に行ってマッチングリキッドが未使用
時に無くならないようにしてもよい。
本実施形態２の液量判定処理動作を説明する。当該液量
判定処理は、本ホログラフィック露光装置における露光
工程の最初に行うように設定してもよいし、露光工程と
は独立して定期的に行ってマッチングリキッドが未使用
時に無くならないようにしてもよい。
【００５７】まず、検査に先立って第３情報処理装置２
６４は、搬送装置２６２を制御して光源２６０を移動さ
せ、プリズム２０２の対向面２０３の中心点ＭＰＣに検
査光が射出できるようにする（Ｓ２０）。もしホログラ
ムマスク２００がプリズム２０２にマッチングリキッド
を介して装着されているならば、検出光は対向面２０３
で反射されることなくホログラム記録面２０１に達し、
そこで一部が反射され、大部分が被露光基板２１０の感
光性材料膜面２１４で反射される。もしもホログラムマ
スクがプリズムに装着されているならば、少なくとの対
向面の中心付近にはマッチングリキッドが存在していな
ければならないはずである。そこで、第３情報処理装置
２６４は、距離測定光学系２４０から出力された誤差信
号が、検出光が総て対向面２０３で反射されたことを示
している場合にはマッチングリキッド無し、つまりホロ
グラムマスクが装着されていないと判定し（Ｓ２１：
Ｎ）、図示しない表示装置やランプにその旨の表示をさ
せる（Ｓ２２：表１参照）。
６４は、搬送装置２６２を制御して光源２６０を移動さ
せ、プリズム２０２の対向面２０３の中心点ＭＰＣに検
査光が射出できるようにする（Ｓ２０）。もしホログラ
ムマスク２００がプリズム２０２にマッチングリキッド
を介して装着されているならば、検出光は対向面２０３
で反射されることなくホログラム記録面２０１に達し、
そこで一部が反射され、大部分が被露光基板２１０の感
光性材料膜面２１４で反射される。もしもホログラムマ
スクがプリズムに装着されているならば、少なくとの対
向面の中心付近にはマッチングリキッドが存在していな
ければならないはずである。そこで、第３情報処理装置
２６４は、距離測定光学系２４０から出力された誤差信
号が、検出光が総て対向面２０３で反射されたことを示
している場合にはマッチングリキッド無し、つまりホロ
グラムマスクが装着されていないと判定し（Ｓ２１：
Ｎ）、図示しない表示装置やランプにその旨の表示をさ
せる（Ｓ２２：表１参照）。
【００５８】ホログラムマスクが装着されていると判定
された場合（Ｓ２１：Ｙ）、液量判定に移る。まず第３
情報処理装置２６４は、搬送装置２６２を制御し、設定
した検出位置の各々について位置情報を読み出し（Ｓ２
３）、その位置情報で特定される対向面２０３上の検出
位置に検出光を出力させる。そして距離測定光学系２４
０から出力された誤差信号に基づいて、反射位置を検出
し（Ｓ２４）、それに対応させてマッチングリキッドの
有無を判定する（Ｓ２５）。もしもマッチングリキッド
がその検出位置に存在するなら、検出光はその検出位置
で反射されることなくホログラムマスク２００に達する
が、マッチングリキッドが揮発してその検出位置に存在
しなくなっているなら、検出光はその検出位置で反射さ
れる。一つの検出位置の液量判定が終了するとその結果
を記憶し、次の検出位置の液量判定に移行する（Ｓ２
６：Ｎ）。総ての検出位置におけるマッチングリキッド
の有無を検査したら（Ｓ２３〜Ｓ２６）、第３情報処理
装置２６４は液量不足と判定された検出位置の分布に応
じて補充するマッチングリキッドの液量を決定し対応し
たアラーム表示を行う（S２７）。例えば第３情報処理
装置は表１に示すような対応関係を利用する。
された場合（Ｓ２１：Ｙ）、液量判定に移る。まず第３
情報処理装置２６４は、搬送装置２６２を制御し、設定
した検出位置の各々について位置情報を読み出し（Ｓ２
３）、その位置情報で特定される対向面２０３上の検出
位置に検出光を出力させる。そして距離測定光学系２４
０から出力された誤差信号に基づいて、反射位置を検出
し（Ｓ２４）、それに対応させてマッチングリキッドの
有無を判定する（Ｓ２５）。もしもマッチングリキッド
がその検出位置に存在するなら、検出光はその検出位置
で反射されることなくホログラムマスク２００に達する
が、マッチングリキッドが揮発してその検出位置に存在
しなくなっているなら、検出光はその検出位置で反射さ
れる。一つの検出位置の液量判定が終了するとその結果
を記憶し、次の検出位置の液量判定に移行する（Ｓ２
６：Ｎ）。総ての検出位置におけるマッチングリキッド
の有無を検査したら（Ｓ２３〜Ｓ２６）、第３情報処理
装置２６４は液量不足と判定された検出位置の分布に応
じて補充するマッチングリキッドの液量を決定し対応し
たアラーム表示を行う（S２７）。例えば第３情報処理
装置は表１に示すような対応関係を利用する。
【００５９】さて、マッチングリキッドの補充が必要で
あると判定されている場合には、操作者が人手でマッチ
ングリキッドを補充するようにしてもよいが、本実施形
態ではさらに充填液供給装置２３０によるマッチングリ
キッドの補充を行う（Ｓ２８）。すなわち、第３情報処
理装置２６４は表１など、液量不足と判定された検出位
置の分布に基づいた供給すべきマッチングリキッドの液
量を決定し、その液量に応じた期間だけ駆動装置２３２
を駆動して流路ポンプ２３６を動作させる。タンク２３
４からは流路ポンプ２３６の駆動されている期間だけマ
ッチングリキッドが、プリズム２０２とホログラムマス
ク２００との間隙に供給される。なお、マッチングリキ
ッドの供給後に再び同じ検出位置の液量判定を行って十
分にマッチングリキッドが供給されたかを確認してもよ
い。
あると判定されている場合には、操作者が人手でマッチ
ングリキッドを補充するようにしてもよいが、本実施形
態ではさらに充填液供給装置２３０によるマッチングリ
キッドの補充を行う（Ｓ２８）。すなわち、第３情報処
理装置２６４は表１など、液量不足と判定された検出位
置の分布に基づいた供給すべきマッチングリキッドの液
量を決定し、その液量に応じた期間だけ駆動装置２３２
を駆動して流路ポンプ２３６を動作させる。タンク２３
４からは流路ポンプ２３６の駆動されている期間だけマ
ッチングリキッドが、プリズム２０２とホログラムマス
ク２００との間隙に供給される。なお、マッチングリキ
ッドの供給後に再び同じ検出位置の液量判定を行って十
分にマッチングリキッドが供給されたかを確認してもよ
い。
【００６０】以上、実施形態２によれば、検査位置を対
向面の中心付近とした場合において特定された反射位置
が所定の条件を満たしていた場合に、対向すべき一方の
光学部品が装着されていないと判定するので、ホログラ
ムマスクの装着すべき旨の警告を出すことができる。ま
た液量判定に先立ち、ホログラムマスクの存在を確認で
きる。
向面の中心付近とした場合において特定された反射位置
が所定の条件を満たしていた場合に、対向すべき一方の
光学部品が装着されていないと判定するので、ホログラ
ムマスクの装着すべき旨の警告を出すことができる。ま
た液量判定に先立ち、ホログラムマスクの存在を確認で
きる。
【００６１】本実施形態２によれば、液量不足と判定さ
れた検出位置の分布を検出するように構成したので、ど
の程度マッチングリキッドが不足しているか端的に通知
することができ、不足している液量に応じたマッチング
リキッドの補充が行える。
れた検出位置の分布を検出するように構成したので、ど
の程度マッチングリキッドが不足しているか端的に通知
することができ、不足している液量に応じたマッチング
リキッドの補充が行える。
【００６２】このとき、液量不足が判定された後に充填
液供給装置がマッチングリキッドを適量供給するので、
マッチングリキッドの供給を自動化し、人手を介しての
困難なマッチングリキッドの補充を省くことが可能であ
る。 （実施形態３）本発明の実施形態３は、前記実施形態１
と同様のホログラフィック露光装置に係り、露光領域の
周囲における複数の検査位置の各々について充填液の液
量が充分であるか否かを判定する露光装置に関する。
液供給装置がマッチングリキッドを適量供給するので、
マッチングリキッドの供給を自動化し、人手を介しての
困難なマッチングリキッドの補充を省くことが可能であ
る。 （実施形態３）本発明の実施形態３は、前記実施形態１
と同様のホログラフィック露光装置に係り、露光領域の
周囲における複数の検査位置の各々について充填液の液
量が充分であるか否かを判定する露光装置に関する。
【００６３】本実施形態３におけるホログラフィック露
光装置の構成は実施形態１と同様であるため説明を省略
する。
光装置の構成は実施形態１と同様であるため説明を省略
する。
【００６４】図６の対向面２０３の平面図を参照して、
本実施形態における検出位置を説明する。本実施形態３
では、部分露光を行う場合を想定している。すなわちホ
ログラムマスク面の一部の領域に露光すべき露光領域DA
が設定されている。少なくともこの露光領域にマッチン
グリキッドが存在すれば、露光処理が行える。そこで本
実施形態では、対象となる露光領域DAの周囲について液
量不足を判定する点に特徴がある。
本実施形態における検出位置を説明する。本実施形態３
では、部分露光を行う場合を想定している。すなわちホ
ログラムマスク面の一部の領域に露光すべき露光領域DA
が設定されている。少なくともこの露光領域にマッチン
グリキッドが存在すれば、露光処理が行える。そこで本
実施形態では、対象となる露光領域DAの周囲について液
量不足を判定する点に特徴がある。
【００６５】すなわち、図６において、レチクルパター
ンが再生される露光領域ＤＡに対し、その周囲の液量を
判定する。さらに必要に応じて露光領域DAの中心点MPC
や露光領域内の任意の点MP３１，３２，・・・３ｘを検
出位置としてもよい。
ンが再生される露光領域ＤＡに対し、その周囲の液量を
判定する。さらに必要に応じて露光領域DAの中心点MPC
や露光領域内の任意の点MP３１，３２，・・・３ｘを検
出位置としてもよい。
【００６６】次に図７のフローチャートを参照しながら
本実施形態３の液量判定処理動作を説明する。当該液量
判定処理は、本ホログラフィック露光装置における露光
工程の最初に行うように設定してもよいし、露光工程と
は独立して定期的に行ってマッチングリキッドが未使用
時に無くならないようにしてもよい。
本実施形態３の液量判定処理動作を説明する。当該液量
判定処理は、本ホログラフィック露光装置における露光
工程の最初に行うように設定してもよいし、露光工程と
は独立して定期的に行ってマッチングリキッドが未使用
時に無くならないようにしてもよい。
【００６７】まず、検査に先立って第３情報処理装置２
６４は、露光領域DAの中心点の位置情報を読み出して
（S３０）、搬送装置２６２を制御して光源２６０を移
動させ、露光領域DAの中心点ＭＰＣに検査光が射出でき
るようにする（Ｓ３１）。もしホログラムマスク２００
がプリズム２０２にマッチングリキッドを介して装着さ
れているならば、検出光は対向面２０３で反射されるこ
となくホログラム記録面２０１に達し、そこで一部が反
射され、大部分が被露光基板２１０の感光性材料膜面２
１４で反射される。もしもホログラムマスクがプリズム
に装着されているならば、少なくとの対向面の中心付近
にはマッチングリキッドが存在していなければならない
はずである。そこで、第３情報処理装置２６４は、距離
測定光学系２４０から出力された誤差信号が、検出光が
総て対向面２０３で反射されたことを示している場合に
はマッチングリキッド無し、つまりホログラムマスクが
装着されていないと判定し（Ｓ３２：Ｎ）、図示しない
表示装置やランプにその旨の表示をさせる（Ｓ３３）。
６４は、露光領域DAの中心点の位置情報を読み出して
（S３０）、搬送装置２６２を制御して光源２６０を移
動させ、露光領域DAの中心点ＭＰＣに検査光が射出でき
るようにする（Ｓ３１）。もしホログラムマスク２００
がプリズム２０２にマッチングリキッドを介して装着さ
れているならば、検出光は対向面２０３で反射されるこ
となくホログラム記録面２０１に達し、そこで一部が反
射され、大部分が被露光基板２１０の感光性材料膜面２
１４で反射される。もしもホログラムマスクがプリズム
に装着されているならば、少なくとの対向面の中心付近
にはマッチングリキッドが存在していなければならない
はずである。そこで、第３情報処理装置２６４は、距離
測定光学系２４０から出力された誤差信号が、検出光が
総て対向面２０３で反射されたことを示している場合に
はマッチングリキッド無し、つまりホログラムマスクが
装着されていないと判定し（Ｓ３２：Ｎ）、図示しない
表示装置やランプにその旨の表示をさせる（Ｓ３３）。
【００６８】ホログラムマスクが装着されていると判定
された場合（Ｓ３２：Ｙ）、液量判定に移る。まず第３
情報処理装置２６４は、露光領域DAの位置情報を読み出
す（S３４）。そして搬送装置２６２を制御し、露光領
域DAの周囲を検査光が走査していくようにして検査を開
始する（S３５）。液量が確保されている限り（S３６：
Y）、一周するまでは（S３９：N）、連続的に誤差信号
に基づく液量の判定を行う。液量不足が検出されること
なく検出光が露光領域DAの周囲を一周できたら（S３
９：Y）、液量が充分であると考えられるため、補充無
しの表示をして（S４０）処理を終了する。必要に応じ
て露光工程に移行する。
された場合（Ｓ３２：Ｙ）、液量判定に移る。まず第３
情報処理装置２６４は、露光領域DAの位置情報を読み出
す（S３４）。そして搬送装置２６２を制御し、露光領
域DAの周囲を検査光が走査していくようにして検査を開
始する（S３５）。液量が確保されている限り（S３６：
Y）、一周するまでは（S３９：N）、連続的に誤差信号
に基づく液量の判定を行う。液量不足が検出されること
なく検出光が露光領域DAの周囲を一周できたら（S３
９：Y）、液量が充分であると考えられるため、補充無
しの表示をして（S４０）処理を終了する。必要に応じ
て露光工程に移行する。
【００６９】一方、いずれかの位置において液量不足と
判定された場合には（S３６：N）、液量不足の表示を行
う（S３７）。マッチングリキッドの補充が必要である
と判定されている場合には、操作者が人手でマッチング
リキッドを補充するようにしてもよいが、本実施形態で
はさらに充填液供給装置２３０によるマッチングリキッ
ドの補充を行う（Ｓ３８）。すなわち、第３情報処理装
置２６４は所定の液量に応じた期間だけ駆動装置２３２
を駆動して流路ポンプ２３６を動作させる。タンク２３
４からは流路ポンプ２３６の駆動されている期間だけマ
ッチングリキッドが、プリズム２０２とホログラムマス
ク２００との間隙に供給される。なお、マッチングリキ
ッドの供給後に再び同じ検出位置の液量判定を行って十
分にマッチングリキッドが供給されたかを確認してもよ
い。また、流路ポンプ２３６の駆動期間を予め決める代
わりに、この液量判定の結果をフィードバックさせて液
量が回復し次第流路ポンプを停止させるように構成して
もよい。
判定された場合には（S３６：N）、液量不足の表示を行
う（S３７）。マッチングリキッドの補充が必要である
と判定されている場合には、操作者が人手でマッチング
リキッドを補充するようにしてもよいが、本実施形態で
はさらに充填液供給装置２３０によるマッチングリキッ
ドの補充を行う（Ｓ３８）。すなわち、第３情報処理装
置２６４は所定の液量に応じた期間だけ駆動装置２３２
を駆動して流路ポンプ２３６を動作させる。タンク２３
４からは流路ポンプ２３６の駆動されている期間だけマ
ッチングリキッドが、プリズム２０２とホログラムマス
ク２００との間隙に供給される。なお、マッチングリキ
ッドの供給後に再び同じ検出位置の液量判定を行って十
分にマッチングリキッドが供給されたかを確認してもよ
い。また、流路ポンプ２３６の駆動期間を予め決める代
わりに、この液量判定の結果をフィードバックさせて液
量が回復し次第流路ポンプを停止させるように構成して
もよい。
【００７０】以上、実施形態３によれば、検査位置を露
光領域の中心とした場合において特定された反射位置が
所定の条件を満たしていた場合に、対向すべき一方の光
学部品が装着されていないと判定するので、ホログラム
マスクの装着すべき旨の警告を出すことができる。また
液量判定に先立ち、ホログラムマスクの存在を確認でき
る。
光領域の中心とした場合において特定された反射位置が
所定の条件を満たしていた場合に、対向すべき一方の光
学部品が装着されていないと判定するので、ホログラム
マスクの装着すべき旨の警告を出すことができる。また
液量判定に先立ち、ホログラムマスクの存在を確認でき
る。
【００７１】本実施形態３によれば、露光領域の周囲に
おいて液量を判定するように構成したので、最低限必要
なマッチングリキッドの液量を判定できる。
おいて液量を判定するように構成したので、最低限必要
なマッチングリキッドの液量を判定できる。
【００７２】このとき、液量不足が判定された後に充填
液供給装置がマッチングリキッドを適量供給するので、
マッチングリキッドの供給を自動化し、人手を介しての
困難なマッチングリキッドの補充を省くことが可能であ
る。 （実施形態４）本発明の実施形態４は、上記した充填液
供給装置と共に、または、独立して使用すること可能な
補充液貯留装置に関する。
液供給装置がマッチングリキッドを適量供給するので、
マッチングリキッドの供給を自動化し、人手を介しての
困難なマッチングリキッドの補充を省くことが可能であ
る。 （実施形態４）本発明の実施形態４は、上記した充填液
供給装置と共に、または、独立して使用すること可能な
補充液貯留装置に関する。
【００７３】図８に、本実施形態の補充液貯留装置の構
成図を示す。図８に示すように、本補充液貯留装置３０
０は、複数の光学部品であるプリズム２０２とホログラ
ムマスク２００が側面をそろえてマッチングリキッド２
０４が充填されるべき間隙を介して隣接している部分に
設けられる。例えば、ホログラフィック露光装置におい
てはプリズムの背面にそのような部位がある。そして断
面が取っ手形状となるような本体３１０を備えており、
その内部にマッチングリキッドを溜める貯留部３１２を
有し、当該貯留部３１２が当該部分における間隙の端部
に向けて開口している。この本体３１０は例えば接着剤
などで貼りしろ３１６においてプリズム２０２に貼り合
わせられる。本体の長さは、ある程度のマッチングリキ
ッドが貯留できるならば、プリズムの一辺と同じ長さで
もそれ以下でもよい。この中にマッチングリキッド２０
４を充填してから間隙部分に取り付けることにより、マ
ッチングリキッドが貯留部３１２から常に間隙に供給さ
れる。
成図を示す。図８に示すように、本補充液貯留装置３０
０は、複数の光学部品であるプリズム２０２とホログラ
ムマスク２００が側面をそろえてマッチングリキッド２
０４が充填されるべき間隙を介して隣接している部分に
設けられる。例えば、ホログラフィック露光装置におい
てはプリズムの背面にそのような部位がある。そして断
面が取っ手形状となるような本体３１０を備えており、
その内部にマッチングリキッドを溜める貯留部３１２を
有し、当該貯留部３１２が当該部分における間隙の端部
に向けて開口している。この本体３１０は例えば接着剤
などで貼りしろ３１６においてプリズム２０２に貼り合
わせられる。本体の長さは、ある程度のマッチングリキ
ッドが貯留できるならば、プリズムの一辺と同じ長さで
もそれ以下でもよい。この中にマッチングリキッド２０
４を充填してから間隙部分に取り付けることにより、マ
ッチングリキッドが貯留部３１２から常に間隙に供給さ
れる。
【００７４】なお、当該補充液貯留装置を図１に示した
充填液供給装置２３０と併せて使用する場合には、例え
ば本体３１０に開口３１４を設けて充填液供給装置２３
０における供給パイプ２３８を接続するように構成す
る。他方、この開口を開閉自在な蓋として構成し、人手
を介してスポイトなどで充填液を補充可能に構成しても
よい。
充填液供給装置２３０と併せて使用する場合には、例え
ば本体３１０に開口３１４を設けて充填液供給装置２３
０における供給パイプ２３８を接続するように構成す
る。他方、この開口を開閉自在な蓋として構成し、人手
を介してスポイトなどで充填液を補充可能に構成しても
よい。
【００７５】本実施形態の補充液貯留装置によれば、全
体としてのマッチングリキッドの液量を上げることがで
き、マッチングリキッドを補充するための保守周期を長
くすることができ、頻繁に煩わしいマッチングリキッド
の補充をしなくて済むようになる。 （実施形態５）本発明の実施形態５は、前述した充填液
供給装置と共に、または、独立して使用すること可能な
補充液貯留装置に関する。
体としてのマッチングリキッドの液量を上げることがで
き、マッチングリキッドを補充するための保守周期を長
くすることができ、頻繁に煩わしいマッチングリキッド
の補充をしなくて済むようになる。 （実施形態５）本発明の実施形態５は、前述した充填液
供給装置と共に、または、独立して使用すること可能な
補充液貯留装置に関する。
【００７６】図９に、本実施形態の補充液貯留装置の構
成図を示す。図９に示すように、本補充液貯留装置３０
０ｂは、複数の光学部品の側面が段違いに、すなわちプ
リズム２０２に比べホログラムマスク２００ｂが若干小
さく作られその側面が段違いになっている場所に設けら
れる。そしてプリズム２０２側から段違いになっている
部分に張り出して設けられる延長板３２０を備えてい
る。延長板３２０は例えば貼りしろ３２６においてプリ
ズム２０２と貼り合わせられている。延長板の長さは、
ある程度のマッチングリキッドが貯留できるならば、プ
リズムの一辺と同じ長さでもそれ以下でもよい。延長板
３２０とプリズム２０２の底部とホログラムマスクの側
面とによって囲まれる貯留空間３２２内には、マッチン
グリキッドが表面張力およびその粘性によって貯留され
るようになっている。この構成のよって、マッチングリ
キッドが貯留空間３２２から常に間隙に供給される。
成図を示す。図９に示すように、本補充液貯留装置３０
０ｂは、複数の光学部品の側面が段違いに、すなわちプ
リズム２０２に比べホログラムマスク２００ｂが若干小
さく作られその側面が段違いになっている場所に設けら
れる。そしてプリズム２０２側から段違いになっている
部分に張り出して設けられる延長板３２０を備えてい
る。延長板３２０は例えば貼りしろ３２６においてプリ
ズム２０２と貼り合わせられている。延長板の長さは、
ある程度のマッチングリキッドが貯留できるならば、プ
リズムの一辺と同じ長さでもそれ以下でもよい。延長板
３２０とプリズム２０２の底部とホログラムマスクの側
面とによって囲まれる貯留空間３２２内には、マッチン
グリキッドが表面張力およびその粘性によって貯留され
るようになっている。この構成のよって、マッチングリ
キッドが貯留空間３２２から常に間隙に供給される。
【００７７】なお、当該補充液貯留装置を図１に示した
充填液供給装置２３０と併せて使用する場合には、例え
ば延長板３２０に開口３２４を設けて充填液供給装置２
３０における供給パイプ２３８を接続するように構成す
る。他方、この開口を開閉自在な蓋として構成し、人手
を介してスポイトなどで充填液を補充可能に構成しても
よい。
充填液供給装置２３０と併せて使用する場合には、例え
ば延長板３２０に開口３２４を設けて充填液供給装置２
３０における供給パイプ２３８を接続するように構成す
る。他方、この開口を開閉自在な蓋として構成し、人手
を介してスポイトなどで充填液を補充可能に構成しても
よい。
【００７８】本実施形態の補充液貯留装置によれば、全
体としてのマッチングリキッドの液量を上げることがで
き、マッチングリキッドを補充するための保守周期を長
くすることができ、頻繁に煩わしいマッチングリキッド
の補充をしなくて済むようになる。 （実施形態６）本発明の実施形態６は、前述した充填液
供給装置と共に、または、独立して使用すること可能な
補充液貯留装置に関する。
体としてのマッチングリキッドの液量を上げることがで
き、マッチングリキッドを補充するための保守周期を長
くすることができ、頻繁に煩わしいマッチングリキッド
の補充をしなくて済むようになる。 （実施形態６）本発明の実施形態６は、前述した充填液
供給装置と共に、または、独立して使用すること可能な
補充液貯留装置に関する。
【００７９】図１０に、本実施形態の補充液貯留装置の
構成図を示す。図１０に示すように、本補充液貯留装置
３００ｃは、複数の光学部品のうち下側に配置される光
学部品の方、すなわちホログラムマスク２００ｃが棚部
３３２においてせり出しており、棚部の側面に充填液の
流出防止柵３３０を備えている。そして棚部３３２と流
出防止柵３３０とで囲まれる空間３３４に貯留されるマ
ッチングリキッドを間隙の端部から供給可能に構成され
ている。流出防止柵３３０はホログラムマスク２００ｃ
の周囲に貼り合わせられている。この柵はホログラムマ
スクの周囲を覆っている必要はなく、マッチングリキッ
ドを適量貯留可能ならばその一部、例えば一辺のみに設
けるようにしてもよい。
構成図を示す。図１０に示すように、本補充液貯留装置
３００ｃは、複数の光学部品のうち下側に配置される光
学部品の方、すなわちホログラムマスク２００ｃが棚部
３３２においてせり出しており、棚部の側面に充填液の
流出防止柵３３０を備えている。そして棚部３３２と流
出防止柵３３０とで囲まれる空間３３４に貯留されるマ
ッチングリキッドを間隙の端部から供給可能に構成され
ている。流出防止柵３３０はホログラムマスク２００ｃ
の周囲に貼り合わせられている。この柵はホログラムマ
スクの周囲を覆っている必要はなく、マッチングリキッ
ドを適量貯留可能ならばその一部、例えば一辺のみに設
けるようにしてもよい。
【００８０】なお、当該補充液貯留装置を図１に示した
充填液供給装置２３０と併せて使用する場合には、例え
ば棚部３３２上部の空間３３４に対し充填液供給装置２
３０における供給パイプ２３８からマッチングリキッド
が供給されるように構成する。流出防止策の側面に開口
を設けてここからマッチングリキッドを供給してもよ
い。またこの実施形態では空間３３４が上方に向けて開
口しているので、比較的楽に人手を介してスポイトなど
で充填液を補充することもできる。
充填液供給装置２３０と併せて使用する場合には、例え
ば棚部３３２上部の空間３３４に対し充填液供給装置２
３０における供給パイプ２３８からマッチングリキッド
が供給されるように構成する。流出防止策の側面に開口
を設けてここからマッチングリキッドを供給してもよ
い。またこの実施形態では空間３３４が上方に向けて開
口しているので、比較的楽に人手を介してスポイトなど
で充填液を補充することもできる。
【００８１】本実施形態の補充液貯留装置によれば、全
体としてのマッチングリキッドの液量を上げることがで
き、マッチングリキッドを補充するための保守周期を長
くすることができ、頻繁に煩わしいマッチングリキッド
の補充をしなくて済むようになる。 （その他の変形例）本発明は、上記各実施形態に限定さ
れることなく種々に変更して適用することが可能であ
る。
体としてのマッチングリキッドの液量を上げることがで
き、マッチングリキッドを補充するための保守周期を長
くすることができ、頻繁に煩わしいマッチングリキッド
の補充をしなくて済むようになる。 （その他の変形例）本発明は、上記各実施形態に限定さ
れることなく種々に変更して適用することが可能であ
る。
【００８２】例えば、上記実施形態ではホログラフィッ
ク露光装置における応用例を示したが、これに限定され
ることなく本発明は他の露光方法に利用することが可能
である。
ク露光装置における応用例を示したが、これに限定され
ることなく本発明は他の露光方法に利用することが可能
である。
【００８３】また、充填液の液量判定のための構成や充
填液を供給するための構成は実施形態の距離測定方法に
限定されることはなく公知技術を種々適用することが可
能である。
填液を供給するための構成は実施形態の距離測定方法に
限定されることはなく公知技術を種々適用することが可
能である。
【００８４】同様に、充填液貯留装置についても、上記
の実施形態に限定されず種々に変更して適用することが
可能である。
の実施形態に限定されず種々に変更して適用することが
可能である。
【００８５】
【発明の効果】本発明によれば、複数の光学部品間を充
填する充填液の有無を判定する構成を備えたので、人手
による困難な充填液の液量検査を省き、液量が不足して
いることを自動的に判定し、必要に応じて充填液を補充
することができる。
填する充填液の有無を判定する構成を備えたので、人手
による困難な充填液の液量検査を省き、液量が不足して
いることを自動的に判定し、必要に応じて充填液を補充
することができる。
【００８６】また本発明によれば、光学部品の間隙と連
結している部分に充填液を貯留する構造を提供したの
で、充填液の総量を上げ、充填液の補充回数を減らすこ
とができる。
結している部分に充填液を貯留する構造を提供したの
で、充填液の総量を上げ、充填液の補充回数を減らすこ
とができる。
【図１】本実施形態１における液量判定装置および露光
装置の構成図である。
装置の構成図である。
【図２】実施形態１における液量判定のための対向面に
おける検査位置の配置を説明する平面図である。
おける検査位置の配置を説明する平面図である。
【図３】実施形態１における液量判定方法を説明するフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図４】実施形態２における液量判定のための対向面に
おける検査位置の配置を説明する平面図である。
おける検査位置の配置を説明する平面図である。
【図５】実施形態２における液量判定方法を説明するフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図６】実施形態３における液量判定のための対向面に
おける検査位置の配置を説明する平面図である。
おける検査位置の配置を説明する平面図である。
【図７】実施形態３における液量判定方法を説明するフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図８】実施形態４における充填液貯留装置の構造を説
明する図である。
明する図である。
【図９】実施形態５における充填液貯留装置の構造を説
明する図である。
明する図である。
【図１０】実施形態６における充填液貯留装置の構造を
説明する図である。
説明する図である。
２００ ホログラムマスク
２０２ プリズム
２０３ 対向面
２０４マッチングリキッド
２３０ 充填液供給装置
２３２ 駆動装置
２３４ タンク
２３６ 流路ポンプ
２３８ 供給パイプ
２４０ 距離測定光学系
２６０ 光源
２６２ 搬送装置
２６４ 第３情報処理装置
３００、３００ｂ、３００ｃ 充填液貯留装置
Claims (19)
- 【請求項１】 複数の光学部品間を充填する充填液の液
量を判定するための液量判定装置において、 前記充填液を介して対向する一対の前記光学部品のうち
一方の光学部品について、当該光学部品の対向面に略垂
直に検査光を射出するための検査光射出装置と、 前記対向面上における任意の前記検査位置に前記検査光
を射出させるために前記検査光射出装置を搬送するため
の搬送装置と、 前記検査光射出装置から前記対向面に向けて射出された
前記検査光の反射光に基づいて前記検査光の反射位置を
特定するための反射位置特定装置と、 前記反射位置特定装置が特定した前記反射位置に基づい
て前記検査位置における前記充填液の有無を判定するた
めの判定装置と、を備える液量判定装置。 - 【請求項２】 前記判定装置は、前記検査位置を前記対
向面の中心付近とした場合において特定された前記反射
位置が所定の条件を満たしていた場合に、対向すべき前
記一方の光学部品が装着されていないと判定する、請求
項１に記載の液量判定装置。 - 【請求項３】 前記判定装置は、前記検査位置を前記対
向面の周辺部とした場合において特定された前記反射位
置が所定の条件を満たしているか否かに基づいて、前記
充填液の液量が充分であるか否かを判定する、請求項１
に記載の液量判定装置。 - 【請求項４】 前記充填液を一対の前記光学部品間に供
給する充填液供給装置をさらに備え、 前記充填液供給装置は、前記判定装置において前記充填
液の液量が十分でないと判定された場合に、前記光学部
品間に所定量の前記充填液を供給する、請求項３に記載
の液量判定装置。 - 【請求項５】 前記判定装置は、前記対向面内における
複数の前記検査位置の各々について前記充填液の液量が
十分であるか否かを判定し、 前記充填液供給装置は、前記充填液の液量が十分でない
と判定された前記検査位置の分布に基づいて供給すべき
前記充填液の液量を決定する、請求項４に記載の液量判
定装置。 - 【請求項６】 前記判定装置は、前記対向面内における
所定の領域の周囲における複数の前記検査位置の各々に
ついて前記充填液の液量が充分であるか否かを判定し、 前記充填液供給装置は、いずれかの前記検査位置につい
て前記充填液の液量が十分でないと判断された場合に前
記充填液を供給する、請求項４に記載の液量判定装置。 - 【請求項７】 複数の光学部品間を充填する充填液を供
給するための充填液貯留装置において、 複数の前記光学部品が側面をそろえて前記充填液が充填
されるべき間隙を介して隣接している部分に設けられ、 前記充填液を溜める貯留部を有し、当該貯留部が当該部
分における前記間隙の端部に向けて開口している、前記
充填液を供給するためのタンクを備える充填液貯留装
置。 - 【請求項８】 複数の光学部品間を充填する充填液を供
給するための充填液貯留装置において、 複数の前記光学部品の側面が段違いに、かつ、前記充填
液が充填されるべき間隙を介して隣接している部分に設
けられ、 一方の前記光学部品の側面から当該段違いになっている
部分に張り出して設けられる延長板を備え、 前記延長板と前記一方の光学部品の底部と前記他方の光
学部品の側面とによって囲まれる空間内に、前記充填液
を溜めることが可能に構成されている、前記充填液を供
給するための充填貯留給装置。 - 【請求項９】 複数の光学部品間を充填する充填液を供
給するための充填液貯留装置において、 複数の前記光学部品のうち下側に配置される光学部品の
方が棚部においてせり出すように、前記充填液が充填さ
れるべき間隙を介して段違いに設けられ、 前記棚部の側面に前記充填液の流出防止柵を備え、 前記棚部と前記流出防止柵とで囲まれる空間に貯留され
る前記充填液を当該空間に開口している前記間隙の端部
から供給可能に構成されている、前記充填液を供給する
ための充填液貯留装置。 - 【請求項１０】 請求項７に記載の充填液貯留装置を備
え、 前記充填液貯留装置に前記充填液供給装置から前記充填
液を供給するように構成されている、請求項４乃至６の
いずれか一項に記載の液量判定装置。 - 【請求項１１】 請求項８に記載の充填液貯留装置を備
え、 前記充填液貯留装置に前記充填液供給装置から前記充填
液を供給するように構成されている、請求項４乃至６の
いずれか一項に記載の液量判定装置。 - 【請求項１２】 請求項９に記載の充填液貯留装置を備
え、 前記充填液貯留装置に前記充填液供給装置から前記充填
液を供給するように構成されている、請求項４乃至６の
いずれか一項に記載の液量判定装置。 - 【請求項１３】 請求項４乃至６および請求項１０乃至
１２のいずれか一項に記載の液量判定装置と、 前記一方の光学部品としてのホログラムマスクと、 前記ホログラムマスクに露光ビームを照射して露光領域
を露光する照射手段と、を備える露光装置。 - 【請求項１４】 複数の光学部品間を充填する充填液の
液量を判定するための液量判定方法において、 前記充填液を介して対向する一対の前記光学部品のうち
一方の光学部品について、当該光学部品の対向面に略垂
直に検査光を射出するステップと、 前記対向面上における任意の前記検査位置に前記検査光
を射出させるステップと、 前記対向面に向けて射出された前記検査光の反射光に基
づいて前記検査光の反射位置を特定するステップと、 特定した前記反射位置に基づいて前記検査位置における
前記充填液の有無を判定するステップと、を備える液量
判定方法。 - 【請求項１５】 前記判定するステップは、前記検査位
置を前記対向面の中心付近とした場合において特定され
た前記反射位置が所定の条件を満たしていた場合に、対
向すべき前記一方の光学部品が装着されていないと判定
する、請求項１４に記載の液量判定方法。 - 【請求項１６】 前記判定するステップは、前記検査位
置を前記対向面の周辺部とした場合において特定された
前記反射位置が所定の条件を満たしているか否かに基づ
いて、前記充填液の液量が充分であるか否かを判定す
る、請求項１４に記載の液量判定方法。 - 【請求項１７】 前記充填液を一対の前記光学部品間に
供給するステップをさらに備え、 前記判定するステップにおいて前記充填液の液量が十分
でないと判定された場合に、前記光学部品間に所定量の
前記充填液を供給するステップをさらに備える、請求項
１６に記載の液量判定方法。 - 【請求項１８】 前記判定するステップは、前記対向面
内における複数の前記検査位置の各々について前記充填
液の液量が十分であるか否かを判定し、 前記充填液を供給するステップは、前記充填液の液量が
十分でないと判定された前記検査位置の分布に基づいて
供給すべき前記充填液の液量を決定する、請求項１７に
記載の液量判定方法。 - 【請求項１９】 前記判定するステップは、前記対向面
内における所定の領域の周囲における複数の前記検査位
置の各々について前記充填液の液量が充分であるか否か
を判定し、 前記充填液を供給するステップは、いずれかの前記検査
位置について前記充填液の液量が十分でないと判断され
た場合に前記充填液を供給する、請求項１７に記載の液
量判定方法。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP2002103064A JP4117530B2 (ja) | 2002-04-04 | 2002-04-04 | 液量判定装置、露光装置、および液量判定方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002103064A JP4117530B2 (ja) | 2002-04-04 | 2002-04-04 | 液量判定装置、露光装置、および液量判定方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008042582A Division JP4811679B2 (ja) | 2008-02-25 | 2008-02-25 | 液量判定装置 |
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|---|---|
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| JP4117530B2 JP4117530B2 (ja) | 2008-07-16 |
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ID=29389136
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR100733124B1 (ko) * | 2003-10-28 | 2007-06-27 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피장치 |
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| US7463330B2 (en) | 2004-07-07 | 2008-12-09 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
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| KR20100088736A (ko) * | 2009-02-02 | 2010-08-11 | 삼성전자주식회사 | 노광장치 |
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-
2002
- 2002-04-04 JP JP2002103064A patent/JP4117530B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-03-24 US US10/394,034 patent/US7073542B2/en not_active Expired - Fee Related
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