JP2003297571A - 発光装置の多層ミラーとその製造方法 - Google Patents
発光装置の多層ミラーとその製造方法Info
- Publication number
- JP2003297571A JP2003297571A JP2003089737A JP2003089737A JP2003297571A JP 2003297571 A JP2003297571 A JP 2003297571A JP 2003089737 A JP2003089737 A JP 2003089737A JP 2003089737 A JP2003089737 A JP 2003089737A JP 2003297571 A JP2003297571 A JP 2003297571A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- mirror
- buffer layer
- light emitting
- transparent substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/85—Arrangements for extracting light from the devices
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
- G02B5/0825—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers the reflecting layers comprising dielectric materials only
- G02B5/0833—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers the reflecting layers comprising dielectric materials only comprising inorganic materials only
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/85—Arrangements for extracting light from the devices
- H10K50/852—Arrangements for extracting light from the devices comprising a resonant cavity structure, e.g. Bragg reflector pair
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高透光性のポリマー、或いは高透光性の無機
フィルム等のバッファ層を設けて、多層ミラーと基板と
の間の密着性を向上させ、製造工程を安定させるととも
に、多層ミラーの亀裂と剥離を防止すること。 【解決手段】 発光装置のマイクロキャビティ構造用の
多層ミラーの形成方法であって、発光装置の透明基板上
にバッファ層を形成する工程と、前記バッファ層上に異
なる屈折率の複数の薄膜をスパッタリングし、多層ミラ
ーとする工程とからなることを特徴とする上記方法、及
びマイクロキャビティ構造用の多層ミラー。
フィルム等のバッファ層を設けて、多層ミラーと基板と
の間の密着性を向上させ、製造工程を安定させるととも
に、多層ミラーの亀裂と剥離を防止すること。 【解決手段】 発光装置のマイクロキャビティ構造用の
多層ミラーの形成方法であって、発光装置の透明基板上
にバッファ層を形成する工程と、前記バッファ層上に異
なる屈折率の複数の薄膜をスパッタリングし、多層ミラ
ーとする工程とからなることを特徴とする上記方法、及
びマイクロキャビティ構造用の多層ミラー。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、発光装置のマイク
ロキャビティ構造（micro-cavity structure）用の多層
ミラー（multi-layer mirror）とその製造方法に関する
もので、特に、多層ミラーと基板との間の密着性を向上
させるバッファ層を備える有機発光ダイオード（Organi
c Light Emitting Diode、OLED）に関するもので、製造
工程を安定させ、密着性不足によるミラーの亀裂や剥離
を防止する。
ロキャビティ構造（micro-cavity structure）用の多層
ミラー（multi-layer mirror）とその製造方法に関する
もので、特に、多層ミラーと基板との間の密着性を向上
させるバッファ層を備える有機発光ダイオード（Organi
c Light Emitting Diode、OLED）に関するもので、製造
工程を安定させ、密着性不足によるミラーの亀裂や剥離
を防止する。
【０００２】
【従来の技術】有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）は有機
発光フィルム材により分類される。一つは、有色有機化
合物（chromogenetic organic compound）により、有機
発光フィルムを形成する分子ベースの装置システムで、
もう一つは、共役ポリマー（conjugated polymer）によ
り、有機発光フィルムを形成するポリマーベースの装置
システムである。ＯＬＥＤは、発光ダイオードＬＥＤと
同様の特徴を有するため、分子ベースの装置は、低分子
ＯＬＥＤ（ＳＭＯＬＥＤ）と称され、ポリマーベースの
装置はポリマーＯＬＥＤと称される。
発光フィルム材により分類される。一つは、有色有機化
合物（chromogenetic organic compound）により、有機
発光フィルムを形成する分子ベースの装置システムで、
もう一つは、共役ポリマー（conjugated polymer）によ
り、有機発光フィルムを形成するポリマーベースの装置
システムである。ＯＬＥＤは、発光ダイオードＬＥＤと
同様の特徴を有するため、分子ベースの装置は、低分子
ＯＬＥＤ（ＳＭＯＬＥＤ）と称され、ポリマーベースの
装置はポリマーＯＬＥＤと称される。
【０００３】基本的に、ＯＬＥＤの操作は、公知の半導
体ＬＥＤと同様である。外部電圧がＯＬＥＤに供給され
る時、カソード層から生成される電子と、アノード層か
ら生成されるホールはどちらも移動して、有機発光フィ
ルムに達する。その後、フィルム中で衝突して結合し、
電力を光度に変える。発光色は主に、有機発光フィルム
の蛍光特性に基づき、少量のゲスト発光材をホスト発光
材と混合して、発光効果を向上させ、可視光範囲全体に
わたる発光色が生じる。
体ＬＥＤと同様である。外部電圧がＯＬＥＤに供給され
る時、カソード層から生成される電子と、アノード層か
ら生成されるホールはどちらも移動して、有機発光フィ
ルムに達する。その後、フィルム中で衝突して結合し、
電力を光度に変える。発光色は主に、有機発光フィルム
の蛍光特性に基づき、少量のゲスト発光材をホスト発光
材と混合して、発光効果を向上させ、可視光範囲全体に
わたる発光色が生じる。
【０００４】光は波エネルギーの一形式である。人類に
とって、視神経は赤、緑、青の光に敏感であり、この３
色が混合されて、他の色を発色する。言い換えれば、
赤、緑、青の光の外部信号は、網膜のコーン（corn）に
より結合され、実際には存在しない他の光の色を感じ
る。可視光において、赤い光の波長は約６０００Å、緑
の光の波長は約５５００Å、青い光の波長は約４６５０
Åである。相対的に、赤い光は大きい波長と小さいスカ
ッタ（scatter）を有し、青い光は短い波長を有し、よ
り多くのスカッタを生じる。上記の如く、異なる波長特
性によって、ＯＬＥＤは発光効果が不充分になるという
欠点がある。
とって、視神経は赤、緑、青の光に敏感であり、この３
色が混合されて、他の色を発色する。言い換えれば、
赤、緑、青の光の外部信号は、網膜のコーン（corn）に
より結合され、実際には存在しない他の光の色を感じ
る。可視光において、赤い光の波長は約６０００Å、緑
の光の波長は約５５００Å、青い光の波長は約４６５０
Åである。相対的に、赤い光は大きい波長と小さいスカ
ッタ（scatter）を有し、青い光は短い波長を有し、よ
り多くのスカッタを生じる。上記の如く、異なる波長特
性によって、ＯＬＥＤは発光効果が不充分になるという
欠点がある。
【０００５】発光装置において発光する異方性光の問題
を解決するため、様々な構造の発光装置が設計されてい
る。例えば、マイクロキャビティ構造が発展し、発光装
置の表面方向に所定波長の光波の共振を生じ、それを増
幅する。また、マイクロキャビティ構造において、多層
ミラーは基板と導電層とを有し、位相シフトを達成す
る。これにより、所定色の光波共振が増幅する。
を解決するため、様々な構造の発光装置が設計されてい
る。例えば、マイクロキャビティ構造が発展し、発光装
置の表面方向に所定波長の光波の共振を生じ、それを増
幅する。また、マイクロキャビティ構造において、多層
ミラーは基板と導電層とを有し、位相シフトを達成す
る。これにより、所定色の光波共振が増幅する。
【０００６】生産工程においては、実験室で発見されて
いない様々な技術的問題が度々生じる。例えば、基板と
多層ミラーのコート層との間の密着性不足により、多層
ミラーは、後続の蒸着工程で、基板から容易に亀裂及び
剥離する。
いない様々な技術的問題が度々生じる。例えば、基板と
多層ミラーのコート層との間の密着性不足により、多層
ミラーは、後続の蒸着工程で、基板から容易に亀裂及び
剥離する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、発光装置の
マイクロキャビティ構造用の多層ミラーと、その製造方
法を提供することを目的とし、この製造方法では、高透
光性のポリマー、或いは高透光性の無機フィルム等のバ
ッファ層を設けて、基板と多層ミラーとの間の密着性を
向上させ、それによって製造工程を安定させ、多層ミラ
ーの亀裂及び剥離を防止する。
マイクロキャビティ構造用の多層ミラーと、その製造方
法を提供することを目的とし、この製造方法では、高透
光性のポリマー、或いは高透光性の無機フィルム等のバ
ッファ層を設けて、基板と多層ミラーとの間の密着性を
向上させ、それによって製造工程を安定させ、多層ミラ
ーの亀裂及び剥離を防止する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、本発明は、発光装置のマイクロキャビティ構造用の
多層ミラーの製造方法であって、発光装置の透明基板上
にバッファ層を形成する工程と、前記バッファ層上に異
なる屈折率の複数の薄膜をスパッタリングし、多層ミラ
ーとする工程とからなることを特徴とする上記方法を提
供する。
め、本発明は、発光装置のマイクロキャビティ構造用の
多層ミラーの製造方法であって、発光装置の透明基板上
にバッファ層を形成する工程と、前記バッファ層上に異
なる屈折率の複数の薄膜をスパッタリングし、多層ミラ
ーとする工程とからなることを特徴とする上記方法を提
供する。
【０００９】また、本発明は、発光装置のマイクロキャ
ビティ構造用の多層ミラーであって、透明基板と、前記
透明基板上のバッファ層と、前記バッファ層上の多層ミ
ラーとからなり、前記バッファ層が前記多層ミラーと前
記透明基板との間の密着性を向上させることを特徴とす
る多層ミラーを提供する。
ビティ構造用の多層ミラーであって、透明基板と、前記
透明基板上のバッファ層と、前記バッファ層上の多層ミ
ラーとからなり、前記バッファ層が前記多層ミラーと前
記透明基板との間の密着性を向上させることを特徴とす
る多層ミラーを提供する。
【００１０】
【発明の実施の形態】上述した本発明の目的、特徴、及
び長所を一層明瞭にするため、以下に本発明の好ましい
実施の形態を挙げ、図を参照にしながら更に詳しく説明
する。図１は、公知のＯＬＥＤの断面図である。公知の
ＯＬＥＤは、透明基板１０とマイクロキャビティ構造２
０とからなり、マイクロキャビティ構造２０は、多層ミ
ラー２２と、透明電極層２３と、発光材層２４と、頂部
電極層２５とを連続的に透明基板１０に積層して構成さ
れている。
び長所を一層明瞭にするため、以下に本発明の好ましい
実施の形態を挙げ、図を参照にしながら更に詳しく説明
する。図１は、公知のＯＬＥＤの断面図である。公知の
ＯＬＥＤは、透明基板１０とマイクロキャビティ構造２
０とからなり、マイクロキャビティ構造２０は、多層ミ
ラー２２と、透明電極層２３と、発光材層２４と、頂部
電極層２５とを連続的に透明基板１０に積層して構成さ
れている。
【００１１】バイアス電圧が透明電極層２３と頂部電極
層２５との間に供給される時、カソードから生成される
電子と、アノードから生成されるホールは、どちらも移
動して、発光材層２４に達し、その後、発光材層２４中
で衝突して結合し、電気を光度に転換する。発光色は主
に、少量のゲスト発光材がホスト発光材と混合されてな
る有機発光フィルムの蛍光特性に基づいて変化し、上記
少量のゲスト発光材とホスト発光材とを混合によって、
発光効果を向上させ、可視光範囲全体にわたって発光色
が生じる。
層２５との間に供給される時、カソードから生成される
電子と、アノードから生成されるホールは、どちらも移
動して、発光材層２４に達し、その後、発光材層２４中
で衝突して結合し、電気を光度に転換する。発光色は主
に、少量のゲスト発光材がホスト発光材と混合されてな
る有機発光フィルムの蛍光特性に基づいて変化し、上記
少量のゲスト発光材とホスト発光材とを混合によって、
発光効果を向上させ、可視光範囲全体にわたって発光色
が生じる。
【００１２】透明基板１０と透明電極層２３との間に位
置する多層ミラー２２は、異なる屈折率の複数の薄膜か
らなり、該薄膜は、化学蒸着により、透明基板１０上に
直接積層される。薄膜の厚さと屈折率（ｎ）により、所
定波長の光が薄膜を通過する時、位相シフトが生成され
て共振が二重になる。これにより、ＯＬＥＤからの赤、
緑及び青の光の強度が向上する。
置する多層ミラー２２は、異なる屈折率の複数の薄膜か
らなり、該薄膜は、化学蒸着により、透明基板１０上に
直接積層される。薄膜の厚さと屈折率（ｎ）により、所
定波長の光が薄膜を通過する時、位相シフトが生成され
て共振が二重になる。これにより、ＯＬＥＤからの赤、
緑及び青の光の強度が向上する。
【００１３】理論上は、多層ミラー２２の薄膜数が増加
するにつれて、光強度が比例して向上する。しかしなが
ら、量産においては、多層ミラー２２中の薄膜数が増加
するにつれて、生産難度は高くなり、多層ミラー２２は
透明基板１０から剥がれやすくなる。更に、化学蒸着は
生産速度が低く、設備も高いという欠点があるため、量
産拡大には不向きである。多層ミラー２２を積層する
時、スパッタリング法が化学蒸着に代わって用いられる
場合、生産コストが減少し、生産速度が向上する。
するにつれて、光強度が比例して向上する。しかしなが
ら、量産においては、多層ミラー２２中の薄膜数が増加
するにつれて、生産難度は高くなり、多層ミラー２２は
透明基板１０から剥がれやすくなる。更に、化学蒸着は
生産速度が低く、設備も高いという欠点があるため、量
産拡大には不向きである。多層ミラー２２を積層する
時、スパッタリング法が化学蒸着に代わって用いられる
場合、生産コストが減少し、生産速度が向上する。
【００１４】本発明の好ましい具体例は図２で示され
る。図１の公知のＯＬＥＤと比較すると、本発明は更
に、透明基板１０とマイクロキャビティ構造２０の多層
ミラー２２との間にバッファ層２１を備える。以下は、
本発明による、マイクロキャビティ構造２０の多層ミラ
ー２２の形成方法を記述する。
る。図１の公知のＯＬＥＤと比較すると、本発明は更
に、透明基板１０とマイクロキャビティ構造２０の多層
ミラー２２との間にバッファ層２１を備える。以下は、
本発明による、マイクロキャビティ構造２０の多層ミラ
ー２２の形成方法を記述する。
【００１５】先ず、コーティング或いはスパッタリング
により、少なくとも一層のバッファ層２１が透明基板１
０上に積層される。バッファ層２１は高透光率のポリマ
ーか、或いは、高透光率の無機フィルムである。その
後、スパッタリングにより、異なる屈折率の薄膜からな
る複数の層がバッファ層２１上に積層され、多層ミラー
２２となる。
により、少なくとも一層のバッファ層２１が透明基板１
０上に積層される。バッファ層２１は高透光率のポリマ
ーか、或いは、高透光率の無機フィルムである。その
後、スパッタリングにより、異なる屈折率の薄膜からな
る複数の層がバッファ層２１上に積層され、多層ミラー
２２となる。
【００１６】次に、透明電極層２３、発光材層２４及び
金属反射層２５が連続して多層ミラー２２に積層され、
ＯＬＥＤなどの発光装置の主構造を完成する。多層ミラ
ー２２に関する材料と製造工程は、米国特許５，４０
５，７１０号明細書、同５，８１４，４１６号明細書及
び同６，２７８，２３６号明細書で開示されているが、
本発明のねらいとキーポイントは記述されていない。
金属反射層２５が連続して多層ミラー２２に積層され、
ＯＬＥＤなどの発光装置の主構造を完成する。多層ミラ
ー２２に関する材料と製造工程は、米国特許５，４０
５，７１０号明細書、同５，８１４，４１６号明細書及
び同６，２７８，２３６号明細書で開示されているが、
本発明のねらいとキーポイントは記述されていない。
【００１７】透明基板１０はガラスか透明プラスチック
である。好ましくは、透明基板１０は、ポリカーボネー
トで、バッファ層２１はスピンコートかスパッタリング
により、その上に積層される。バッファ層２１は高透光
率のポリマーか、或いは、高透光率の無機フィルムであ
る。特に、日本のＤＩＣ社により製造されるＳＤ−１０
１型、ＳＤ−７１５型のラッカーがテストされ、本発明
で開示されるバッファ層２１の効果を証明している。
である。好ましくは、透明基板１０は、ポリカーボネー
トで、バッファ層２１はスピンコートかスパッタリング
により、その上に積層される。バッファ層２１は高透光
率のポリマーか、或いは、高透光率の無機フィルムであ
る。特に、日本のＤＩＣ社により製造されるＳＤ−１０
１型、ＳＤ−７１５型のラッカーがテストされ、本発明
で開示されるバッファ層２１の効果を証明している。
【００１８】多層ミラー２２は、異なる屈折率の複数の
薄膜を、バッファ層２１上に繰り返し蒸着、或いはスパ
ッタリングすることにより形成される。好ましくは、積
層順序が奇数である薄膜（Ａ）がＳｉxＮyで、偶数であ
る薄膜（Ｂ）がＳｉＯ2である。或いは奇数である薄膜
（Ａ）がＳｉＯ2で、偶数である薄膜（Ｂ）がＳｉxＮ y
でもよい（ｘ、ｙ＝Ｎであり、Ｎは自然数である）。各
材料からなる薄膜の厚さは約λ／４ｎであり、λは光の
波長を示し、ｎは薄膜フィルムの屈折率を示す。
薄膜を、バッファ層２１上に繰り返し蒸着、或いはスパ
ッタリングすることにより形成される。好ましくは、積
層順序が奇数である薄膜（Ａ）がＳｉxＮyで、偶数であ
る薄膜（Ｂ）がＳｉＯ2である。或いは奇数である薄膜
（Ａ）がＳｉＯ2で、偶数である薄膜（Ｂ）がＳｉxＮ y
でもよい（ｘ、ｙ＝Ｎであり、Ｎは自然数である）。各
材料からなる薄膜の厚さは約λ／４ｎであり、λは光の
波長を示し、ｎは薄膜フィルムの屈折率を示す。
【００１９】上述の薄膜（Ａ）或いは（Ｂ）は、他の材
料、例えば、ＺｎＳ−ＳｉＯ2混合物、或いはＡｌＴｉ
Ｎで置き換えることができる（波長４６５ｎｍの時、Ｚ
ｎＳ−ＳｉＯ2／ＡｌＴｉＮの屈折率は、２．３／２．
０である）。
料、例えば、ＺｎＳ−ＳｉＯ2混合物、或いはＡｌＴｉ
Ｎで置き換えることができる（波長４６５ｎｍの時、Ｚ
ｎＳ−ＳｉＯ2／ＡｌＴｉＮの屈折率は、２．３／２．
０である）。
【００２０】
【実施例】以下の実施例の結果から、透明基板１０と多
層ミラー２２との間にバッファ層２１を設けることで、
透明基板１０と多層ミラー２２との間の密着性が向上
し、製造工程が安定する。バッファ層を備えない第一サ
ンプルとバッファ層を備える第二サンプルを用いた比較
実験において、４０ｏｚ／ｉｎｃｈ2の粘着性のテープ
を、第一サンプルと第二サンプルの多層ミラー２２にそ
れぞれ適用し、次いで、そのテープを剥がして、密着性
テスト行った。その結果は下記表１の通りである。
層ミラー２２との間にバッファ層２１を設けることで、
透明基板１０と多層ミラー２２との間の密着性が向上
し、製造工程が安定する。バッファ層を備えない第一サ
ンプルとバッファ層を備える第二サンプルを用いた比較
実験において、４０ｏｚ／ｉｎｃｈ2の粘着性のテープ
を、第一サンプルと第二サンプルの多層ミラー２２にそ
れぞれ適用し、次いで、そのテープを剥がして、密着性
テスト行った。その結果は下記表１の通りである。
【００２１】
上記表１において、ＡはＳｉxＮy膜、ＢはＳｉＯ2膜を
示し、各層の厚さが約λ／４ｎで、λは光波長を示し、
ｎは薄膜の屈折率を示す。
示し、各層の厚さが約λ／４ｎで、λは光波長を示し、
ｎは薄膜の屈折率を示す。
【００２２】本発明では好ましい実施例を前述の通り開
示したが、これらは決して本発明を限定するものではな
く、当該技術を熟知する者なら誰でも、本発明の精神と
領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えること
ができ、従って本発明の保護範囲は、特許請求の範囲で
指定した内容を基準とする。
示したが、これらは決して本発明を限定するものではな
く、当該技術を熟知する者なら誰でも、本発明の精神と
領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えること
ができ、従って本発明の保護範囲は、特許請求の範囲で
指定した内容を基準とする。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、発光装置の多層ミラー
において、透明基板上にバッファ層を形成することによ
り、製造工程を安定させ、多層ミラーの密着不足による
亀裂や剥離を防止する。
において、透明基板上にバッファ層を形成することによ
り、製造工程を安定させ、多層ミラーの密着不足による
亀裂や剥離を防止する。
【図１】 公知のＯＬＥＤを示す図。
【図２】 本発明による発光装置のマイクロキャビティ
構造の多層ミラーを示す図。
構造の多層ミラーを示す図。
１０…透明基板
２０…マイクロキャビティ構造
２１…バッファ層
２２…多層ミラー
２３…透明電極層
２４…発光材層
２５…頂部電極層（金属反射層）
Claims (20)
- 【請求項１】 発光装置のマイクロキャビティ構造用の
多層ミラーの製造方法であって、 発光装置の透明基板上にバッファ層を形成する工程と、 前記バッファ層上に異なる屈折率の複数の薄膜をスパッ
タリングし、多層ミラーとする工程と、 からなることを特徴とする上記方法。 - 【請求項２】 前記バッファ層は、コーティング、或い
はスパッタリングにより、前記透明基板上に形成され、
前記多層ミラーと前記透明基板との間の密着性を向上さ
せることを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】 前記バッファ層は、高透光性のポリマー
で、前記多層ミラーと前記透明基板との間の密着性を向
上させることを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項４】 前記バッファ層は、高透光性の無機フィ
ルムで、前記多層ミラーと前記透明基板との間の密着性
を向上させることを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項５】 前記多層ミラーを形成する前記工程は、
前記バッファ層上にＳｉＯ2層をスパッタリングする工
程を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項６】 前記多層ミラーを形成する前記工程は、
前記バッファ層上にＳｉxＮy層をスパッタリングする工
程を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項７】 前記多層ミラーを形成する前記工程は、
前記バッファ層上にＺｎＳ−ＳｉＯ2混合物をスパッタ
リングする工程を含むことを特徴とする請求項１に記載
の方法。 - 【請求項８】 前記多層ミラーを形成する前記工程は、
前記バッファ層上にＡｌＴｉＮ合金をスパッタリングす
る工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項９】 前記発光装置は、有機発光ダイオードで
あることを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項１０】 発光装置のマイクロキャビティ構造用
の多層ミラーであって、 透明基板と、 前記透明基板上のバッファ層と、 前記バッファ層上の多層ミラーと、からなり、前記バッ
ファ層が前記多層ミラーと前記透明基板との間の密着性
を向上させることを特徴とする多層ミラー。 - 【請求項１１】 前記バッファ層は、高透光性のポリマ
ーであることを特徴とする請求項１０に記載の多層ミラ
ー。 - 【請求項１２】 前記バッファ層は、高透光性の無機フ
ィルムであることを特徴とする請求項１０に記載の多層
ミラー。 - 【請求項１３】 前記多層ミラーは、少なくとも２つの
異なる屈折率の薄膜からなることを特徴とする請求項１
０に記載の多層ミラー。 - 【請求項１４】 前記多層ミラーはＳｉＯ2層を含むこ
とを特徴とする請求項１０に記載の多層ミラー。 - 【請求項１５】 前記多層ミラーはＳｉxＮy層を含むこ
とを特徴とする請求項１０に記載の多層ミラー。 - 【請求項１６】 前記多層ミラーはＺｎＳ−ＳｉＯ2混
合物を含むことを特徴とする請求項１０に記載の多層ミ
ラー。 - 【請求項１７】 前記多層ミラーはＡｌＴｉＮ合金を含
むことを特徴とする請求項１０に記載の多層ミラー。 - 【請求項１８】 前記透明基板はガラスであることを特
徴とする請求項１０に記載の多層ミラー。 - 【請求項１９】 前記透明基板はポリカーボネートであ
ることを特徴とする請求項１０に記載の多層ミラー。 - 【請求項２０】 前記発光装置は、有機発光ダイオード
であることを特徴とする請求項１０に記載の多層ミラ
ー。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW091106448 | 2002-03-29 | ||
| TW91106448 | 2002-03-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003297571A true JP2003297571A (ja) | 2003-10-17 |
Family
ID=28451389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003089737A Pending JP2003297571A (ja) | 2002-03-29 | 2003-03-28 | 発光装置の多層ミラーとその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20030184892A1 (ja) |
| JP (1) | JP2003297571A (ja) |
| DE (1) | DE10310341A1 (ja) |
| NL (1) | NL1022900C2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006040889A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Lg Electron Inc | 有機電界発光素子 |
| KR100715500B1 (ko) | 2004-11-30 | 2007-05-07 | (주)케이디티 | 미세공동 유기 발광 소자와 광 여기 발광층을 이용한 광원 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW200402012A (en) * | 2002-07-23 | 2004-02-01 | Eastman Kodak Co | OLED displays with fiber-optic faceplates |
| GB2439356A (en) * | 2005-05-25 | 2007-12-27 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic electroluminescent devices |
| US7417627B2 (en) * | 2004-10-27 | 2008-08-26 | Eastman Kodak Company | Sensing display |
| CN103824969B (zh) * | 2014-03-10 | 2016-03-23 | 太原理工大学 | 具有多层金属复合电极的有机电致发光器件 |
| DE102016101710A1 (de) * | 2016-02-01 | 2017-08-03 | Osram Oled Gmbh | OLED und Verfahren zur Herstellung einer OLED |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3818341C2 (de) * | 1987-06-04 | 1993-10-28 | Olympus Optical Co | Teildurchlässiger Spiegel aus Kunststoff |
| US5339198A (en) * | 1992-10-16 | 1994-08-16 | The Dow Chemical Company | All-polymeric cold mirror |
| US5846649A (en) * | 1994-03-03 | 1998-12-08 | Monsanto Company | Highly durable and abrasion-resistant dielectric coatings for lenses |
| US5478658A (en) * | 1994-05-20 | 1995-12-26 | At&T Corp. | Article comprising a microcavity light source |
| US5780174A (en) * | 1995-10-27 | 1998-07-14 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Micro-optical resonator type organic electroluminescent device |
| US6114088A (en) * | 1999-01-15 | 2000-09-05 | 3M Innovative Properties Company | Thermal transfer element for forming multilayer devices |
| JP2001267074A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 有機発光素子 |
-
2003
- 2003-03-10 DE DE10310341A patent/DE10310341A1/de not_active Ceased
- 2003-03-10 US US10/385,026 patent/US20030184892A1/en not_active Abandoned
- 2003-03-12 NL NL1022900A patent/NL1022900C2/nl not_active IP Right Cessation
- 2003-03-28 JP JP2003089737A patent/JP2003297571A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006040889A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Lg Electron Inc | 有機電界発光素子 |
| US8044583B2 (en) | 2004-07-27 | 2011-10-25 | Lg Display Co., Ltd. | Organic electroluminescent device without cap and getter |
| KR100715500B1 (ko) | 2004-11-30 | 2007-05-07 | (주)케이디티 | 미세공동 유기 발광 소자와 광 여기 발광층을 이용한 광원 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL1022900A1 (nl) | 2003-09-30 |
| NL1022900C2 (nl) | 2005-11-11 |
| US20030184892A1 (en) | 2003-10-02 |
| DE10310341A1 (de) | 2003-10-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4040850B2 (ja) | 発光素子 | |
| US6781148B2 (en) | Light emitting device | |
| US7595586B2 (en) | Organic electroluminescent display device | |
| JP4951130B2 (ja) | 有機発光素子及びその製造方法 | |
| US7696687B2 (en) | Organic electroluminescent display device with nano-porous layer | |
| JP4769068B2 (ja) | 有機発光素子及びその製造方法 | |
| CN1961613A (zh) | 有机发光器件 | |
| TW201112866A (en) | Organic light emitting device and manufacturing method thereof | |
| JPWO2007055287A1 (ja) | 有機ｅｌ発光ディスプレイ | |
| JPH11260562A (ja) | 有機ｅｌカラーディスプレイ | |
| TW201039684A (en) | Color conversion film and multicolor emission organic EL device including color conversion film | |
| TW200903798A (en) | Organic EL device | |
| JP2007035313A (ja) | 光取出し膜、光取出し膜付き透光体及びエレクトロルミネッセンス素子 | |
| JP2009130064A (ja) | 多色表示装置 | |
| WO2011016312A1 (ja) | 有機ｅｌ素子に用いられるアノード構造体およびその製造方法ならびに有機ｅｌ素子 | |
| JPH11224781A (ja) | 有機ｅｌディスプレイ及びその製造方法 | |
| JP2010027428A (ja) | 面発光体、及びそれを用いる表示装置、照明装置 | |
| JPH10214683A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
| JP4674524B2 (ja) | 有機ｅｌ発光ディスプレイの製造方法 | |
| JP2004014360A (ja) | 有機ｅｌ発光素子 | |
| JP4247016B2 (ja) | 有機ｅｌ表示装置 | |
| JP2017091695A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子、並びに照明装置、面状光源及び表示装置 | |
| JP2003297571A (ja) | 発光装置の多層ミラーとその製造方法 | |
| JPH10162955A (ja) | 有機ｅｌ素子の製造方法 | |
| JP4104339B2 (ja) | 発光素子及びその製造方法、並びに表示装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051227 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061128 |