JP2003272257A - Spin coat apparatus for producing optical disk - Google Patents

Spin coat apparatus for producing optical disk

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JP2003272257A
JP2003272257A JP2002070670A JP2002070670A JP2003272257A JP 2003272257 A JP2003272257 A JP 2003272257A JP 2002070670 A JP2002070670 A JP 2002070670A JP 2002070670 A JP2002070670 A JP 2002070670A JP 2003272257 A JP2003272257 A JP 2003272257A
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Japan
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substrate
nozzle
dye solution
recording layer
dye
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Koichi Shiina
浩一 椎名
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Mitsui Chemicals Inc
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Mitsui Chemicals Inc
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spin coat apparatus for producing an optical disk in which defective delivery due to blocking of a nozzle tip part can be prevented even on the occurrence of an operation stop for a long period of time and the continuous productivity of forming a pigment recording layer can stably be maintained. <P>SOLUTION: In the spin coat apparatus employing: a transparent resin disk substrate 1 having a center hole; a spindle 2 holding horizontally the center hole of the substrate 1 and fixed; and a nozzle 3 for dropping a pigment solution from the upper part of the substrate 1 to the substrate 1 the dropped pigment solution is spread uniformly on the surface of the substrate 1 by rotation of the spindle 2 to form a pigment recording layer. The apparatus is additionally provided with an automatic replacement function whereby after the apparatus is stopped for a prescribed time, a prescribed amount of the pigment solution is jetted from the nozzle 3 to replace the pigment solution at the nozzle tip with new pigment solution. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】 本発明は、光ディスクの生
産に用いられるスピンコート装置に関するものである。 【0002】 【従来の技術】従来から光ディスクの記録層の形成は、
容易かつ生産性が優れているという点でスピンコート法
が利用されている。スピンコート法を利用して生産され
る光ディスクの代表的なものとしては、円盤状透明樹脂
基板上に色素記録層、反射層、保護層がこの順に積層さ
れた構造のCD−R型の光ディスクや、円盤状透明樹脂
基板上に色素記録層、反射層、保護層からなる積層体と
円盤状透明樹脂基板とを記録層が内側となるように接着
剤で貼り合わせた構造のDVD−R型の光ディスクがあ
る。 【0003】図2は、従来から一般的に用いられるスピ
ンコート装置の構造を示した概略図である。上記スピン
コート法は、モータ4で基板1を低速回転させ、ノズル
3により色素溶液を基板1の表面に滴下する。その後、
モータ4で該基板を高速回転させ、滴下された色素溶液
を遠心力により薄く拡散、乾燥させて基板上に色素記録
層を形成する。 【0004】ところで、上記スピンコート法による光デ
ィスクは、記録層形成後の膜厚および膜厚分布がディス
クの記録特性に影響することから、連続生産時に所望の
膜厚および膜厚分布の再現性が要求され、連続生産時の
ディスク間の膜厚変動を抑えることが重要となってい
る。 【0005】 【発明が解決しようとする課題】図2に示すような従来
のスピンコート装置が例えば、生産ラインの故障等によ
り停止を余儀なくされてしまった場合、あるいは色素溶
液の補給など計画的な作業のように、継続的に稼動して
いた状態から比較的長時間にわたってスピンコート装置
を停止させた後で運転再開させると、ノズル先端部分が
色素溶液の乾燥により閉塞してしまい、色素溶液をノズ
ルからスムーズに滴下しにくくなり、所望の膜厚および
膜厚分布を有する記録層の形成に支障が生じていた。ま
た、ノズルが閉塞しないまでも、ノズル先端部から僅か
にはみ出した色素溶液の液溜りが乾燥し、徐々に析出、
堆積する。その結果、記録層の形成中にその堆積物が膜
上に落下し、記録層に欠陥を生じさせていた。このよう
な問題に対して、従来はオペレータが一旦装置を停止さ
せ、ノズル本体を新品に交換するなどで対処していた
が、このような対処法では、吐出不良による記録層の膜
厚変動を完全に防止できず、また、生産効率がさらに低
下するなどの問題があった。 【0006】本発明の目的は、如何なる長時間の運転停
止が発生したとしても、ノズル先端部分の閉塞による吐
出不良を完全に防止して、色素記録層形成の連続生産性
を安定に維持させることが可能な光ディスク生産用のス
ピンコート装置を提供することである。 【0007】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は中心孔を有する円盤状透明樹脂基板と、該
基板の中心孔部を水平に保持して固定したスピンドル
と、前記基板上部から基板に色素溶液を滴下するための
ノズルとによって、滴下した色素溶液をスピンドルの回
転によって前記基板の表面に一様に拡げて色素記録層を
形成するスピンコート装置において、前記ノズルから基
板への色素溶液の滴下完了後、該装置が所定時間以上停
止した後に、ノズルから所定量の色素溶液を吐出させ、
ノズル先端部における色素溶液を新たなものに置換させ
る自動置換機能を有することを特徴とする光ディスク生
産用のスピンコート装置である。 【0008】このように、ノズルから基板への色素溶液
の吐出および記録層形成を完了後に、該装置が所定時間
以上停止して待機状態が続くと、該装置の再起動の際
に、ノズルから所定量の色素溶液が好ましくは1回だけ
吐出され、ノズル先端部における色素溶液が新たなもの
に置換されるので、ノズル先端部における色素溶液の乾
燥による閉塞を確実に防止することができる。つまり、
スピンコート装置が例えば、生産ラインの故障等の何ら
かの原因により停止を余儀なくされてしまった場合や、
色素溶液の補給など計画的な作業のように、継続的に稼
動していた状態から比較的長時間にわたって該装置が停
止しても、ノズル先端部分の閉塞による吐出不良を防止
することができ、所望の膜厚を有する記録層の形成を確
実に再開させることができる。これにより、記録層形成
の連続生産性を安定に維持できるスピンコート装置とす
ることができる。 【0009】 【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明の実施
の形態について説明する。図1は本発明におけるスピン
コート装置の概略図である。 【0010】図1のスピンドル2に中心孔部を固定され
た円盤状透明樹脂基板1は、モータ4によって低速で回
転される。そして色素溶液はノズル3より所定量が基板
1の表面に滴下される。その後、モータ4で基板1を高
速回転させ、滴下された色素溶液を遠心力により薄く拡
散、乾燥させて基板1上に色素記録層を形成する。 【0011】ここで、スピンコート装置が何等かの原因
(例えば、生産ラインの故障等によるメンテナンス)に
より停止を余儀なくされてしまった場合、あるいは色素
溶液の補給など計画的な作業のように、継続的に稼動し
ていた状態から比較的長い時間にわたって停止すると、
タイマー7により該装置の停止時間が計測される。そし
て、この停止時間が所定時間を経過すると、再び該装置
が起動する際に、本発明の置換機能が自動的に作動し、
ノズルから所定量の色素溶液が1回だけ吐出されて、ノ
ズル先端部の色素溶液が新たなものに置換される。これ
により、ノズル先端部の閉塞が除去され、基板1の表面
にノズル3によってスムーズに色素溶液が滴下されて、
モータ4の回転により基板1上に所望の膜厚の記録層が
形成される。 【0012】次に、前記のように自動置換機能を備えた
スピンコート装置を用いて光ディスクを生産する方法に
ついて説明する。光ディスクとしては、円盤状透明樹脂
基板上に色素記録層、反射層、保護層がこの順に積層さ
れた構造のCD−R型の光ディスクや、円盤状透明樹脂
基板上に色素記録層、反射層、保護層からなる積層体と
円盤状透明樹脂基板とを記録層が内側となるように接着
剤で貼り合わせた構造のDVD−R型の光ディスクがあ
る。 【0013】基板材料としては、例えばアクリル樹脂、
ポリカーボネート樹脂、ポリエチレン樹脂等のプラスチ
ックあるいはガラス等があり、特に好ましい基板として
は、耐湿熱性、量産性、価格などの点から射出成形ポリ
カーボネート樹脂基板が挙げられる。なお、基板上に
は、トラッキング用のグルーブがスパイラル状に形成さ
れている。 【0014】色素記録層の材料としては、記録レーザー
光を吸収して熱に変換するものであればよく、特に限定
されるものではないが、一般的な例としては、シアニン
色素、フタロシアニン色素、アゾ色素、ピロメテン色
素、ポルフィリン色素、アザポルフィリン色素などの有
機色素が挙げられる。 【0015】色素記録層を形成する色素溶液の溶媒とし
ては、公知の種々のものが用いられ、基板表面を侵さな
ければ、特に限定されるものではないが、例えば、エチ
ルシクロヘキサン、1,2−ジメチルシクロヘキサン、
メチルシクロヘキサン、オクタンなどが挙げられる。 【0016】反射層の材料としては、Au、Ag、C
u、Alなどの金属が用いられ、これら反射層は、通常
スパッタ法により形成される。また、保護層としては、
特に限定されるものではないが、耐久性、量産汎用性を
考慮すれば、アクリル系の紫外線硬化性樹脂が好まし
い。 【0017】以下に本発明の実施例と比較例を記載す
る。 (実施例)図1は本発明の実施例におけるスピンコート
装置の概略図であり、中心孔を有する円盤状透明樹脂基
板1の中心孔部を水平に保持して固定したスピンドル2
と、スピンドル2に載置された基板1を回転させるため
のモータ4、基板1上部から基板1に色素溶液を滴下す
るための吐出ポンプ5とノズル3及び、これを制御する
吐出制御機構6、該装置の停止時間を計測するためのタ
イマー7で構成される。なお、記録層形成に用いる色素
溶液は、フタロシアニン色素を1,2−ジメチルシクロ
ヘキサンに溶解させたものを使用した。 【0018】次に、本実施例の作用について説明する。
まず、スピンドル2に中心孔を載置固定された基板1は
モータ4により低速回転で回転されると、吐出ポンプ5
の動作により所定量の色素溶液がノズル3から基板1上
に滴下される。次いで、モータ4によりスピンドル2に
載置固定された基板1が高速で回転し、基板1上に滴下
された色素溶液が遠心力によって基板1の表面上で拡
散、乾燥され、基板1の表面全体に色素記録層が形成さ
れるとモータ3の回転が停止される。 【0019】記録層が形成された基板1は、図示しない
搬送機構により取り出され、次工程に搬送される。次い
で、前工程から次の基板が図示しない別の搬送機構によ
りスピンドル2上に載置されると、前記と同様に、スピ
ンドル2の回転とノズルからの色素溶液の滴下により、
基板1の表面全体に記録層が形成され、再び搬送機構に
より基板1が取り出され、次工程に搬送される。このよ
うにして、基板1の表面に色素記録層の形成が連続的に
繰り返される。 【0020】ここで、スピンコート装置が何等かの原因
(例えば、故障等によるメンテナンス)により突発的に
停止したり、色素溶液の補給など計画的な作業のよう
に、継続的に稼動していた状態から比較的長い時間にわ
たって停止すると、該装置は前工程から次の基板が搬送
されるまで待機状態になり、同時にタイマー7が作動し
て該装置の停止時間の計測が開始される。そして、この
計測されるスピンコート装置の停止時間が予め設定した
所定時間を経過すると、吐出制御機構6に置換機能を作
動させるための信号が送信され、この信号は該装置が再
起動するまで記憶保持される。なお、予め設定される所
定時間は、生産のタクトタイムよりも長い時間である。 【0021】そして、スピンコート装置が再起動され、
再び前工程から搬送機構によって次の基板がスピンドル
2上に載置されると、吐出制御機構6から吐出ポンプ5
に置換機能を作動させる信号が送信され、吐出制御機構
6から信号を受信した吐出ポンプ5は、この信号によ
り、ノズル3から所定量の色素溶液を1回だけ吐出させ
る。但し、ノズル3から吐出される所定量としては、ノ
ズル先端部に残留している色素溶液が完全に新たなもの
に入れ替わる程度の量である。これにより、ノズル先端
部の色素溶液が新たなものに置換され、ノズル先端部の
閉塞を確実に除去、防止できるので、吐出不良を発生さ
せることなく、スピンドル2上に載置された基板1の表
面に所望の膜厚を有する色素記録層の形成を再開させる
ことができる。 【0022】(比較例)本発明の自動置換機能を備えて
いない従来のスピンコート装置を用いること以外は同様
にして連続的に記録層を形成した。つまり、該装置が何
等かの原因により停止され、ノズル先端部が閉塞したと
しても、それを除去することなく、継続的に光ディスク
の記録層を形成した。なお、実施例、比較例ともに、連
続的に形成される記録層の膜厚は、該装置付帯の検査機
で吸光度を測定し、その推移を監視した。 【0023】比較例に従って光ディスクの色素記録層を
連続して1000枚生産した場合は、記録層の膜厚は大
きく変動し、生産を安定に維持できなかった。一方、実
施例に従って色素記録層を連続して1000枚生産した
場合には、連続生産における記録層の膜厚変動を抑える
ことができ、所望の膜厚を有する光ディスクの記録層形
成を安定に維持させることができた。 【0024】 【発明の効果】 本発明によれば、スピンコート装置が
何等かの原因により停止を余儀なくされてしまったよう
な場合や色素溶液の補給など計画的な作業のように、継
続的に稼動していた状態から比較的長い時間にわたって
該装置が停止したとしても、ノズル先端部の閉塞による
吐出不良を防止することができるので、所望の膜厚を有
する色素記録層の形成を確実に再開させることができ
る。これにより、記録層形成の連続生産性を安定に維持
することができる。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION [0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a spin coater used for producing an optical disc. 2. Description of the Related Art Conventionally, a recording layer of an optical disk has been formed by:
The spin coating method is used because it is easy and has excellent productivity. Typical optical disks produced using the spin coating method include a CD-R type optical disk having a structure in which a dye recording layer, a reflective layer, and a protective layer are laminated in this order on a disk-shaped transparent resin substrate. A DVD-R type structure having a structure in which a laminate comprising a dye recording layer, a reflective layer, and a protective layer and a disc-shaped transparent resin substrate are adhered on a disc-shaped transparent resin substrate with an adhesive such that the recording layer is on the inside. There is an optical disk. FIG. 2 is a schematic view showing the structure of a spin coating apparatus generally used conventionally. In the spin coating method, the substrate 1 is rotated at a low speed by the motor 4 and the dye solution is dropped on the surface of the substrate 1 by the nozzle 3. afterwards,
The substrate is rotated at a high speed by a motor 4 and the dropped dye solution is diffused and dried thinly by centrifugal force to form a dye recording layer on the substrate. Incidentally, in the optical disk formed by the spin coating method, since the film thickness and the film thickness distribution after the formation of the recording layer affect the recording characteristics of the disk, the desired film thickness and the reproducibility of the film thickness distribution during continuous production are not obtained. It is required and it is important to suppress the film thickness variation between disks during continuous production. [0005] The conventional spin coater as shown in FIG. 2 has to be stopped due to, for example, a failure in a production line or the like, or a systematic supply such as replenishment of a dye solution. If the spin coater is stopped for a relatively long time from the state of continuous operation and then restarted as in the operation, the nozzle tip is blocked by drying of the dye solution, and the dye solution is removed. This makes it difficult to smoothly drop the liquid from the nozzles, which hinders the formation of a recording layer having a desired film thickness and film thickness distribution. In addition, even if the nozzle is not closed, the liquid solution pool that slightly protrudes from the nozzle tip dries and gradually precipitates.
accumulate. As a result, the deposit fell on the film during the formation of the recording layer, causing defects in the recording layer. Conventionally, such problems have been dealt with by temporarily stopping the apparatus and replacing the nozzle body with a new one. There were problems that it could not be completely prevented and that the production efficiency was further reduced. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to completely prevent a discharge failure due to blockage of a nozzle tip portion and to stably maintain the continuous productivity of forming a dye recording layer, regardless of a long-time operation stoppage. It is to provide a spin coater for optical disk production that can perform the above. [0007] In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a disk-shaped transparent resin substrate having a center hole, a spindle having a center hole portion of the substrate held horizontally and fixed. A spin coating apparatus for forming a dye recording layer by uniformly spreading the dropped dye solution on the surface of the substrate by rotating a spindle with a nozzle for dropping the dye solution onto the substrate from above the substrate; After the completion of the dropping of the dye solution from the substrate, after the apparatus is stopped for a predetermined time or more, a predetermined amount of the dye solution is discharged from the nozzle,
A spin coating apparatus for producing an optical disk, which has an automatic replacement function of replacing a dye solution at a nozzle tip with a new one. [0008] As described above, if the apparatus is stopped for a predetermined time or more and the standby state continues after the discharge of the dye solution from the nozzle to the substrate and the formation of the recording layer are completed, the nozzle is restarted when the apparatus is restarted. Since a predetermined amount of the dye solution is preferably discharged only once and the dye solution at the nozzle tip is replaced with a new one, it is possible to reliably prevent the dye solution from being blocked at the nozzle tip by drying. That is,
For example, if the spin coater has been forced to stop for some reason, such as a production line failure,
Even if the apparatus is stopped for a relatively long time from a state of continuous operation, such as a scheduled work such as a replenishment of a dye solution, it is possible to prevent a discharge failure due to blockage of a nozzle tip portion, The formation of the recording layer having the desired film thickness can be reliably restarted. This makes it possible to provide a spin coater capable of stably maintaining the continuous productivity of forming the recording layer. Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram of a spin coater according to the present invention. A disk-shaped transparent resin substrate 1 having a center hole fixed to a spindle 2 in FIG. 1 is rotated at a low speed by a motor 4. Then, a predetermined amount of the dye solution is dropped from the nozzle 3 onto the surface of the substrate 1. Thereafter, the substrate 1 is rotated at a high speed by the motor 4, and the dropped dye solution is diffused and dried by centrifugal force to form a dye recording layer on the substrate 1. Here, if the spin coater has to be stopped for some reason (for example, maintenance due to a failure of the production line, etc.), or the scheduled operation such as replenishment of the dye solution is continued. If you shut down for a relatively long period of time after it was running,
The timer 7 measures the stop time of the apparatus. When the stop time exceeds a predetermined time, when the device is started again, the replacement function of the present invention is automatically operated,
A predetermined amount of the dye solution is discharged only once from the nozzle, and the dye solution at the nozzle tip is replaced with a new one. Thereby, the blockage of the nozzle tip is removed, and the dye solution is smoothly dropped on the surface of the substrate 1 by the nozzle 3,
By the rotation of the motor 4, a recording layer having a desired film thickness is formed on the substrate 1. Next, a method of producing an optical disk by using the spin coater having the automatic replacement function as described above will be described. As an optical disc, a CD-R type optical disc having a structure in which a dye recording layer, a reflective layer, and a protective layer are laminated in this order on a disc-shaped transparent resin substrate, and a dye recording layer, a reflection layer, There is a DVD-R type optical disk having a structure in which a laminate composed of a protective layer and a disc-shaped transparent resin substrate are bonded together with an adhesive such that the recording layer is on the inside. As a substrate material, for example, acrylic resin,
There are plastics such as polycarbonate resin and polyethylene resin, glass, and the like. Particularly preferred substrates include injection-molded polycarbonate resin substrates from the viewpoints of wet heat resistance, mass productivity, and price. Note that a tracking groove is formed in a spiral shape on the substrate. The material of the dye recording layer is not particularly limited as long as it absorbs a recording laser beam and converts it into heat, and general examples include cyanine dyes, phthalocyanine dyes, and the like. Organic dyes such as an azo dye, a pyromethene dye, a porphyrin dye, and an azaporphyrin dye are exemplified. As the solvent for the dye solution for forming the dye recording layer, various known solvents can be used. The solvent is not particularly limited as long as it does not attack the substrate surface. For example, ethylcyclohexane, 1,2- Dimethylcyclohexane,
Methylcyclohexane, octane and the like can be mentioned. Au, Ag, C
Metals such as u and Al are used, and these reflective layers are usually formed by a sputtering method. Also, as the protective layer,
Although not particularly limited, an acrylic ultraviolet curable resin is preferable in consideration of durability and versatility in mass production. Examples of the present invention and comparative examples will be described below. (Embodiment) FIG. 1 is a schematic view of a spin coating apparatus according to an embodiment of the present invention, in which a spindle 2 in which a center hole of a disc-shaped transparent resin substrate 1 having a center hole is horizontally held and fixed.
A motor 4 for rotating the substrate 1 placed on the spindle 2, a discharge pump 5 and a nozzle 3 for dropping a dye solution from above the substrate 1 onto the substrate 1, and a discharge control mechanism 6 for controlling the same. It comprises a timer 7 for measuring the stop time of the device. As the dye solution used for forming the recording layer, a solution obtained by dissolving a phthalocyanine dye in 1,2-dimethylcyclohexane was used. Next, the operation of the present embodiment will be described.
First, when the substrate 1 having the center hole mounted and fixed on the spindle 2 is rotated at a low speed by the motor 4, the discharge pump 5 is rotated.
By the operation described above, a predetermined amount of the dye solution is dropped onto the substrate 1 from the nozzle 3. Next, the substrate 1 mounted and fixed on the spindle 2 is rotated at high speed by the motor 4, and the dye solution dropped on the substrate 1 is diffused and dried on the surface of the substrate 1 by centrifugal force, and the entire surface of the substrate 1 is dried. When the dye recording layer is formed, the rotation of the motor 3 is stopped. The substrate 1 on which the recording layer is formed is taken out by a transport mechanism (not shown) and transported to the next step. Next, when the next substrate is placed on the spindle 2 by another transport mechanism (not shown) from the previous process, the rotation of the spindle 2 and the dropping of the dye solution from the nozzle are performed in the same manner as described above.
A recording layer is formed on the entire surface of the substrate 1, and the substrate 1 is taken out again by the transport mechanism and transported to the next step. In this way, the formation of the dye recording layer on the surface of the substrate 1 is continuously repeated. Here, the spin coater has been continuously operated, for example, suddenly stopped due to some cause (for example, maintenance due to failure or the like) or planned work such as replenishment of the dye solution. When the apparatus is stopped from the state for a relatively long time, the apparatus enters a standby state from the previous process until the next substrate is transported, and at the same time, the timer 7 is operated to start measuring the stop time of the apparatus. Then, when the measured stop time of the spin coating apparatus has passed a predetermined time, a signal for operating the replacement function is transmitted to the ejection control mechanism 6, and this signal is stored until the apparatus is restarted. Will be retained. The predetermined time set in advance is a time longer than the production tact time. Then, the spin coater is restarted,
When the next substrate is placed on the spindle 2 again by the transport mechanism from the previous process, the discharge control mechanism 6 sends the next substrate to the discharge pump 5.
The discharge pump 5 receives a signal from the discharge control mechanism 6 to activate the replacement function, and discharges a predetermined amount of the dye solution from the nozzle 3 only once based on the signal. However, the predetermined amount discharged from the nozzle 3 is such that the dye solution remaining at the tip of the nozzle is completely replaced with a new one. As a result, the dye solution at the tip of the nozzle is replaced with a new one, and the blockage at the tip of the nozzle can be reliably removed and prevented. Therefore, the ejection of the substrate 1 mounted on the spindle 2 can be prevented without causing a discharge failure. The formation of a dye recording layer having a desired film thickness on the surface can be restarted. Comparative Example A recording layer was continuously formed in the same manner except that a conventional spin coater having no automatic replacement function of the present invention was used. That is, even if the apparatus was stopped for some reason and the tip of the nozzle was closed, the recording layer of the optical disk was continuously formed without removing it. In each of the examples and comparative examples, the thickness of the recording layer formed continuously was measured by measuring the absorbance with an inspection device attached to the apparatus, and the change was monitored. When 1,000 dye recording layers of an optical disk were continuously produced according to the comparative example, the film thickness of the recording layers fluctuated greatly, and the production could not be maintained stably. On the other hand, when 1,000 dye recording layers are continuously produced according to the embodiment, the fluctuation of the film thickness of the recording layer in the continuous production can be suppressed, and the formation of the recording layer of the optical disc having a desired film thickness can be stably maintained. I was able to. According to the present invention, the spin coater is continuously stopped as in a case where the spin coater has to be stopped for some reason or a planned operation such as replenishment of a dye solution. Even if the apparatus is stopped for a relatively long time from the operation state, it is possible to prevent the ejection failure due to the blockage of the nozzle tip, so that the formation of the dye recording layer having the desired film thickness can be reliably restarted. Can be done. Thereby, the continuous productivity of forming the recording layer can be stably maintained.

【図面の簡単な説明】 【図1】 本発明の実施例におけるスピンコート装置を
示す概略図である。 【図2】 従来のスピンコート装置を示す概略図であ
る。 【符号の説明】 1 円盤状透明樹脂基板 2 スピンドル 3 ノズル 4 モータ 5 吐出ポンプ 6 吐出制御機構 7 タイマー
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic view showing a spin coater according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic view showing a conventional spin coater. [Description of Signs] 1 Disc-shaped transparent resin substrate 2 Spindle 3 Nozzle 4 Motor 5 Discharge pump 6 Discharge control mechanism 7 Timer

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項1】 中心孔を有する円盤状透明樹脂基板と、
該基板の中心孔部を水平に保持して固定したスピンドル
と、前記基板上部から基板に色素溶液を滴下するための
ノズルとによって、滴下した色素溶液をスピンドルの回
転によって前記基板の表面に一様に拡げて色素記録層を
形成するスピンコート装置において、前記ノズルから基
板への色素溶液の滴下完了後、該装置が所定時間以上停
止した後に、ノズルから所定量の色素溶液を吐出させ、
ノズル先端部における色素溶液を新たなものに置換させ
る自動置換機能を有することを特徴とする光ディスク生
産用のスピンコート装置。
Claims: 1. A disc-shaped transparent resin substrate having a center hole,
A spindle that horizontally holds and fixes the center hole of the substrate, and a nozzle for dropping the dye solution onto the substrate from above the substrate, uniformly apply the dropped dye solution to the surface of the substrate by rotating the spindle. In a spin coater to form a dye recording layer by spreading the dye solution after completion of the dropping of the dye solution from the nozzle to the substrate, after stopping the device for a predetermined time or more, discharge a predetermined amount of the dye solution from the nozzle,
A spin coater for producing optical disks, having an automatic replacement function for replacing a dye solution at a nozzle tip with a new one.
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