JP3981625B2

JP3981625B2 - Optical recording disk manufacturing method and optical recording disk manufacturing system

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Publication number: JP3981625B2
Application number: JP2002332290A
Authority: JP
Inventors: 智樹丑田; 聖一出沢; 守宇佐美
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2002-11-15
Filing date: 2002-11-15
Publication date: 2007-09-26
Anticipated expiration: 2022-11-15
Also published as: JP2004164801A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光記録ディスクの製造方法および光記録ディスクの製造システムに関するものであり、さらに詳細には、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法および光記録ディスクの製造システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、大容量のデジタルデータを記録するための記録媒体として、ＣＤやＤＶＤに代表される光記録ディスクが広く用いられている。
【０００３】
これらの光記録ディスクは、ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ−ＲＯＭのように、データの追記や書き換えができないタイプのいわゆるＲＯＭ型光記録ディスクと、ＣＤ−ＲやＤＶＤ−Ｒのように、データの追記は可能であるが、データの書き換えができないタイプのいわゆる追記型光記録ディスクと、ＣＤ−ＲＷやＤＶＤ−ＲＷのように、データの書き換えが可能なタイプのいわゆる書き換え型光記録ディスクに大別することができる。
【０００４】
広く知られているように、ＲＯＭ型光記録ディスクにおいては、製造段階で、基板に形成されるプリピットにより、データが記録されるのが一般的であり、書き換え型光記録ディスクにおいては、たとえば、記録層の材料として、相変化材料が用いられ、その相状態の変化に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されるのが一般的である。また、必要に応じ、記録層の上下に、誘電体層や反射層を設けて、全体として、記録層として、機能させることもある。
【０００５】
これに対して、追記型光記録ディスクにおいては、記録層の材料として、シアニン系色素、フタロシアニン系色素、アゾ色素などの有機色素が用いられ、その化学的変化に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されるのが一般的である。
【０００６】
近年、ＤＶＤよりも、さらに長時間にわたって、記録・再生が可能な光記録ディスクの開発が要望されており、記録密度の向上が図られている。
【０００７】
光記録ディスクにおいて、記録密度を高くするためには、光記録ディスクに照射されるレーザ光のビームスポット径を小さくすることが必要であり、レーザ光のビームスポット径は、レーザ光の波長λとレンズの開口数ＮＡとの比に比例するため、波長λの短いレーザ光と、開口数ＮＡの大きいレンズを使用して、光記録ディスクにデータを記録することが要求される。
【０００８】
そのため、記録密度が高い次世代の光記録ディスクにおいては、波長λの短い青色レーザ光と、開口数ＮＡの大きいレンズを使用して、光記録ディスクにデータを記録することが提案されている。
【０００９】
しかしながら、開口数ＮＡの大きいレンズを用いる場合には、焦点距離が短くなり、ＣＤやＤＶＤのように、光透過性基板を介して、レーザ光を記録層に照射することができないため、記録層上に、光透過層を形成し、光透過層を介して、レーザ光を記録層に照射することが必要になる。
【００１０】
一方、レンズの開口数ＮＡを大きくすると、光透過層の厚みムラに対する許容度が小さくなるため、光透過層を均一に設けることが要求される。
【００１１】
記録層上に、光透過層を形成する方法として、信号面に信号ピットが形成された光透過性基板上に形成された記録層上に、紫外線硬化性樹脂を、スピンコーティング法によって、塗布し、形成された塗布膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させる方法が提案されている。
【００１２】
しかしながら、基板上に形成された記録層上に、紫外線硬化性樹脂を、スピンコーティング法によって、塗布する場合には、基板および記録層にはセンターホールが形成され、紫外線硬化性樹脂を、記録層の中心部に吐出することができないため、形成された塗布膜の膜厚が径方向に不均一になりやすく、光記録ディスク全面で、所望の光学特性を得ることができないという問題があった。
【００１３】
そこで、蓋部材を用いて、センターホールを塞ぎ、紫外線硬化性樹脂を、蓋部材の中心部に吐出して、スピンコーティング法により、紫外線硬化性樹脂を展開させて、塗布膜を形成する方法が提案されている。
【００１４】
しかしながら、このように、蓋部材を用い、紫外線硬化性樹脂を、蓋部材の中心部に吐出して、スピンコーティング法により、塗布膜を形成する場合にも、スピンコーティング中に生ずる紫外線硬化性樹脂の温度変化に起因して、紫外線硬化性樹脂の粘度が変化し、その結果、均一な膜厚を有する光透過層を形成することができないという問題があった。
【００１５】
そこで、特開平１１−８６３５９号公報は、基板と、蓋部材と液状の紫外線硬化性樹脂を、あらかじめ同一の所定温度に保持し、液状の紫外線硬化性樹脂を蓋部材上に吐出し、スピンコーティング法により、基板に形成された記録層上に塗布膜を形成し、塗布膜に紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させ、記録層上に、光透過層を形成する方法を提案している。
【００１６】
【特許文献】
特開平１１−８６３５９号公報
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基板と、蓋部材と液状の紫外線硬化性樹脂を、あらかじめ同一の所定温度に保持したとしても、記録層が形成された基板を、スピンコーティング装置に搬送する際に、基板の温度が変化し、液状の紫外線硬化性樹脂を蓋部材上に吐出し、スピンコーティング法により、基板に形成された記録層上に塗布膜を形成する時点で、基板と、蓋部材と液状の紫外線硬化性樹脂が、同一の温度でなくなることは現実には十分にあり得ることであるし、また、液状の紫外線硬化性樹脂を蓋部材上に吐出し、スピンコーティング法により、基板に形成された記録層上に塗布膜を形成し、塗布膜に紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させ、基板に形成された記録層上に、光透過層を形成するまでの間、基板と、蓋部材と液状の紫外線硬化性樹脂を、同一の温度に保持することは、現実には、きわめて困難であり、したがって、基板と、蓋部材と液状の紫外線硬化性樹脂を、あらかじめ同一の所定温度に保持しても、つねに、均一な膜厚を有する光透過層を形成することはできないという問題があった。
【００１７】
また、仮に、液状の紫外線硬化性樹脂を蓋部材上に吐出し、スピンコーティング法により、基板に形成された記録層上に塗布膜を形成し、塗布膜に紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させ、基板に形成された記録層上に、光透過層を形成するまでの間、基板と、蓋部材と液状の紫外線硬化性樹脂を、完全に同一の温度に保持することが可能であるとしても、そのためには、複雑な設備を要し、複雑な操作が必要になり、コストアップの原因になるという問題があった。
【００１８】
したがって、本発明は、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１９】
本発明の別の目的は、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造システムを提供するにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、本発明のかかる目的を達成するため、鋭意研究を重ねた結果、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットの表面上に形成された光透過層の膜厚を測定し、測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、データ記録ユニットの略中央部に固定され、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを、所定の温度ΔＴだけ、上昇させ、あるいは、低下させることによって、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚の光透過層を形成することが可能になることを見出した。
【００２１】
何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも低いときは、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるにしたがって、データ記録ユニットによって冷却され、その粘度が増大するため、光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大し、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であっても、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されるときは、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるにしたがって、その粘度が増大するため、光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大する。
【００２２】
これに対して、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも高いときは、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるにしたがって、データ記録ユニットによって加温され、その粘度が減少するため、光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少し、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であっても、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されるときは、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるにしたがって、その粘度が減少するため、光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少する。
【００２３】
このような光透過層の膜厚の変化は、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂の温度が変化することに起因するものであるから、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開される液状の放射線硬化性樹脂の温度が一定になるように制御することができれば、光透過層の膜厚分布を均一化することが可能になる。
【００２４】
そこで、本発明者は、液状の放射線硬化性樹脂の温度変化が同じであれば、原因の如何にかかわらず、光透過層の膜厚分布のパターンが同一になることに着目し、鋭意研究を重ねた結果、光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを変化させることによって、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開される液状の放射線硬化性樹脂の温度を一定に制御することができ、光透過層の膜厚分布を均一化することが可能になることを見出したものである。
【００２５】
すなわち、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度および光透過層の膜厚分布のパターンごとに、変化させるべき中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを、あらかじめ求めておき、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも低いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になることが見出された。
【００２６】
同様に、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも高いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度が、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気による加温効果と、データ記録ユニットによる冷却効果とが相殺されて、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になることが見出された。
【００２７】
したがって、本発明の前記目的は、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットを、回転可能なステージ上に固定し、前記データ記録ユニットの略中央部に、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材を固定し、前記中央固定部材上に、放射線硬化性樹脂を吐出し、前記ステージを回転させて、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記データ記録ユニットの表面上に展開し、前記データ記録ユニットの表面上に、光透過層を形成する光記録ディスクの製造方法であって、前記光透過層の膜厚分布を測定し、前記光透過層の膜厚分布に応じて、前記中央固定部材の温度Ｔを制御することを特徴とする光記録ディスクの製造方法によって達成される。
【００２８】
本発明によれば、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも低いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００２９】
さらに、本発明によれば、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも高いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度が、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚の光透過層を形成することが可能になる。
【００３０】
本発明の好ましい実施態様においては、前記光透過層を形成した後、前記光透過層の膜厚分布を測定し、前記光透過層の膜厚分布に応じて、前記中央固定部材の温度Ｔを制御し、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットを、前記ステージ上に固定し、前記データ記録ユニットの略中央部に、温度Ｔが制御された前記中央固定部材を固定し、前記中央固定部材上に、放射線硬化性樹脂を吐出し、前記ステージを回転させて、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記データ記録ユニットの表面上に展開し、前記データ記録ユニットの表面上に、光透過層を形成するように構成されている。
【００３１】
本発明の好ましい実施態様によれば、光透過層を形成した後、光透過層の膜厚分布を測定し、光透過層の膜厚分布に応じて、中央固定部材の温度Ｔを制御し、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットを、ステージ上に固定し、データ記録ユニットの略中央部に、温度Ｔが制御された中央固定部材を固定し、中央固定部材上に、放射線硬化性樹脂を吐出し、ステージを回転させて、液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの表面上に展開し、データ記録ユニットの表面上に、光透過層を形成するように構成されているから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを確実に解消して、均一な膜厚の光透過層を確実に形成することが可能になる。
【００３２】
本発明の別の好ましい実施態様においては、前記光透過層を形成するたびに、前記光透過層の膜厚分布を測定し、所定枚数の前記光記録ディスクの前記光記録層の膜厚分布に応じて、前記中央固定部材の温度Ｔを制御するように構成されている。
【００３３】
本発明の別の好ましい実施態様によれば、光透過層を形成するたびに、光透過層の膜厚分布を測定し、所定枚数の光記録ディスクの光記録層の膜厚分布に応じて、中央固定部材の温度Ｔを制御するように構成されているから、突発的な事情で、光透過層の膜厚が不均一になり、中央固定部材の温度Ｔを制御する必要がないにもかかわらず、中央固定部材の温度Ｔを制御し、その後に、形成される光記録ディスクの光透過層の膜厚が不均一になることを効果的に防止することが可能になる。
【００３４】
本発明の別の好ましい実施態様においては、前記光透過層を形成した後、必要に応じて、前記光透過層の膜厚分布を測定し、測定された前記光透過層の膜厚分布に応じて、前記中央固定部材の温度Ｔを制御するように構成されている。
【００３５】
本発明の別の好ましい実施態様において、必要に応じて、光透過層の膜厚分布を測定し、測定された光透過層の膜厚分布に応じて、中央固定部材の温度Ｔを制御するとは、光透過層の膜厚分布を測定した結果、光透過層の膜厚分布が均一でないときに、そのたびごとに、中央固定部材の温度Ｔを制御する場合と、連続して製造されるＮ枚（Ｎは正の整数）の光記録ディスクのうち、（Ｎ−Ｍ）枚（ＭはＮ以下の正の整数）の光記録ディスクにつき、光透過層の膜厚分布を測定し、光透過層の膜厚分布が均一でないときに、（Ｎ−Ｍ）枚の光記録ディスクに形成された光透過層の膜厚分布の平均パターンにしたがって、Ｎ枚の光記録ディスクごとに、中央固定部材の温度Ｔを制御する場合とを包含するものである。
【００３６】
本発明の別の好ましい実施態様によれば、光透過層の膜厚分布の測定に要する時間が、光透過層の形成に要する時間よりも長い場合にも、中央固定部材の温度Ｔを制御して、光記録ディスクに形成される光透過層の膜厚が不均一になることを効果的に防止することが可能になる。
【００３７】
本発明の好ましい実施態様においては、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、前記光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記中央固定部材の温度Ｔが変化するように、前記中央固定部材の温度Ｔを制御するように構成されている。
【００３８】
本発明の好ましい実施態様によれば、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、中央固定部材の温度Ｔが変化するように、中央固定部材の温度Ｔを制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも低いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００３９】
さらに、本発明の好ましい実施態様によれば、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、中央固定部材の温度Ｔが変化するように、中央固定部材の温度Ｔを制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも高いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度が、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚の光透過層を形成することが可能になる。
【００４０】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記光透過層の膜厚が、前記データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す前記基準データに基づき、前記光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記中央固定部材の温度Ｔが低くなるように制御するように構成されている。
【００４１】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、中央固定部材の温度Ｔが低くなるように制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも低いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００４２】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記光透過層の膜厚が、前記データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す前記基準データに基づき、前記光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記中央固定部材の温度Ｔが高くなるように制御するように構成されている。
【００４３】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、中央固定部材の温度Ｔが高くなるように制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも高いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度が、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚の光透過層を形成することが可能になる。
【００４４】
本発明の好ましい実施態様においては、前記データ記録ユニットが、その中央部にセンターホールを有し、前記中央固定部材が、前記センターホールを塞ぐキャップによって形成されている。
【００４５】
本発明の好ましい実施態様によれば、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を、単に、光透過層の膜厚分布のパターンに応じて、制御することによって、光透過層の膜厚のむらを解消することができ、したがって、複雑な設備と特殊な部材を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚の光透過層を形成することが可能になる。
【００４６】
本発明の前記目的はまた、中央部に、センターホールが形成され、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットの表面に、スピンコーティングによって、液状の放射線硬化性樹脂を塗布して、光透過層を形成するスピンコーティング装置と、前記データ記録ユニットの前記センターホールを塞ぎ、その上に放射線硬化性樹脂が吐出されるキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置と、前記スピンコーティング装置によって形成された前記光透過層の膜厚を測定する膜厚測定装置と、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚分布に応じて、前記キャップ温度制御装置の設定温度を制御する設定温度制御手段を備えたことを特徴とする光記録ディスクの製造システムによって達成される。
【００４７】
本発明によれば、光記録ディスクの製造システムは、中央部に、センターホールが形成され、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットの表面に、スピンコーティングによって、液状の放射線硬化性樹脂を塗布して、光透過層を形成するスピンコーティング装置と、データ記録ユニットのセンターホールを塞ぎ、その上に放射線硬化性樹脂が吐出されるキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置と、スピンコーティング装置によって形成された光透過層の膜厚を測定する膜厚測定装置と、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布に応じて、キャップ温度制御装置の設定温度を制御する設定温度制御手段を備えているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇したことに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段によって、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度Ｔに保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、ΔＴだけ、低い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、ΔＴだけ、低い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００４８】
また、本発明によれば、光記録ディスクの製造システムは、中央部に、センターホールが形成され、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットの表面に、スピンコーティングによって、液状の放射線硬化性樹脂を塗布して、光透過層を形成するスピンコーティング装置と、データ記録ユニットのセンターホールを塞ぎ、その上に放射線硬化性樹脂が吐出されるキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置と、スピンコーティング装置によって形成された光透過層の膜厚を測定する膜厚測定装置と、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布に応じて、キャップ温度制御装置の設定温度を制御する設定温度制御手段を備えているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下したことに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段によって、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度Ｔに保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、ΔＴだけ、高い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、ΔＴだけ、高い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００４９】
本発明の好ましい実施態様においては、前記設定温度制御手段が、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データを記憶し、前記基準データに基づき、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚分布にしたがって、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記キャップの温度Ｔが変化するように、前記キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されている。
【００５０】
本発明の好ましい実施態様によれば、設定温度制御手段が、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データを記憶し、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布にしたがって、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、キャップの温度Ｔが変化するように、キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇したことに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段によって、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度Ｔに保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、低い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、低い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００５１】
さらに、本発明の好ましい実施態様によれば、設定温度制御手段が、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データを記憶し、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布にしたがって、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、キャップの温度Ｔが変化するように、キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下したことに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度Ｔに保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、高い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、高い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００５２】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚が、前記データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、前記設定温度制御手段が、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す前記基準データに基づき、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚分布にしたがって、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記キャップの温度Ｔが低くなるように、前記キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されている。
【００５３】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、設定温度制御手段が、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布にしたがって、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、キャップの温度Ｔが低くなるように、キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇したことに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度Ｔに保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、低い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、低い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００５４】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚が、前記データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、前記設定温度制御手段が、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す前記基準データに基づき、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚分布にしたがって、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記キャップの温度Ｔが高くなるように、前記キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されている。
【００５５】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、設定温度制御手段が、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布にしたがって、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、キャップの温度Ｔが高くなるように、キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下したことに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度Ｔに保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、高い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、高い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００５６】
本発明において、放射線硬化性樹脂としては、紫外線硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂などが好ましく使用される。
【００５７】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。
【００５８】
図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスク１の略斜視図であり、図２は、図１のＡで示された部分の略拡大断面図である。
【００５９】
図１に示されるように、本実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスク１は、ポリカーボネートなどによって形成された基板２と、基板２の光が入射すべき側の表面に、スパッタリングなどによって形成された記録層３と、記録層３上に形成された光透過層４を備えている。
【００６０】
図２に示されるように、基板２の光が入射すべき側の表面には、基板２を射出成形によって形成する際に、スタンパによって、グルーブ５が形成されている。
【００６１】
光透過層４は、基板２に形成された記録層３上に、スピンコーティングによって、液状の紫外線硬化性樹脂の塗布膜を形成し、塗布膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させて、形成されている。
【００６２】
図１に示されるように、光記録ディスク１の中央部には、光記録ディスク１を記録・再生機にセットするためのセンターホール６が形成され、センターホール６の外側には、光記録ディスク１を記録・再生機にセットするためのクランプ領域７が形成されており、クランプ領域７には、記録層３および光透過層４が形成されてはいない。
【００６３】
図３は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造システムのブロックダイアグラムである。
【００６４】
図３に示されるように、本実施態様にかかる光記録ディスクの製造システム１０は、ポリカーボネートなどによって形成された基板２と、基板２の表面に形成された記録層３を備えたデータ記録ユニット上に、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂の塗布膜を形成し、形成された塗布膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させ、光透過層４を形成するスピンコーティング装置１１と、スピンコーティング時に、データ記録ユニットのセンターホール６を塞ぐキャップ（図示せず）の温度を制御するキャップ温度制御装置１２と、レーザフォーカス変位計を備え、スピンコーティング装置１１によって形成された光透過層４の膜厚を測定する膜厚測定装置１３と、光記録ディスクの製造システム全体の動作を制御するコントロールユニット１４を備えている。
【００６５】
本実施態様においては、スピンコーティング装置１１、キャップ温度制御装置１２および膜厚測定装置１３は、基板２の射出成形装置（図示せず）および紫外線硬化性樹脂を収容する塗布液タンク（図示せず）とともに、温度が制御された１つの部屋内に、収容されている。
【００６６】
図４は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造システムを構成するスピンコーティング装置１１の略斜視図であり、図５は、図４に示されたスピンコーティング装置１１の略断面図である。
【００６７】
図４および図５に示されるように、本実施態様にかかる光記録ディスク１の製造システムを構成するスピンコーティング装置１１は、径が光記録ディスク１の径とほぼ等しいステージ２１と、ステージ２１の中央部に設けられた第１の突出部２２と、第１の突出部２２の中央部に設けられた第２の突出部２３とを備えている。
【００６８】
ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３は、ステージ回転機構（図示せず）によって、一体的に回転するように構成されている。
【００６９】
図４および図５に示されるように、第１の突出部２２は、基板２と記録層３を備えたデータ記録ユニットのクランプ領域７に相当する領域が載置される部分であり、その表面には、複数の第１の吸気口２４が形成されている。複数の第１の吸気口２４には、第１の吸気機構（図示せず）が接続され、第１の吸気機構を作動することによって、第１の突出部２２に載置されたデータ記録ユニットが、第１の突出部２２の表面に吸引され、ステージ２１上に固定されるように構成されている。
【００７０】
第２の突出部２３は、径が製造されるべき光記録ディスク１のセンターホール６の径に対応しており、第１の突出部２２にデータ記録ユニットを載置したときに、データ記録ユニットのセンターホール６に、第２の突出部２３が挿入されるように構成されている。
【００７１】
図４および図５に示されるように、第２の突出部２３の中央部には、第２の吸気口２５が形成され、第２の吸気口２５には、第２の吸気機構（図示せず）が接続されている。
【００７２】
図４および図５には図示されていないが、スピンコーティング装置１１は、さらに、先端に、柔軟性を有する吸引パッドを備え、データ記録ユニットのクランプ領域７を吸引して、保持し、スピンコーティング装置１１のステージ２１上にセットし、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂の塗布膜が形成されて、生成された光記録ディスク１のクランプ領域７を吸引して、保持し、スピンコーティング装置１１から、膜厚測定装置１３に搬送する第１のアームと、キャップを保持して、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット上の所定の位置に載置するとともに、キャップを、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂の塗布膜が形成されて、生成された光記録ディスク１から取り去る第２のアームと、紫外線硬化性樹脂を、キャップ上に吐出する吐出ノズルを備えている。
【００７３】
図６は、スピンコーティング装置１１の制御系および駆動系のブロックダイアグラムである。
【００７４】
図６に示されるように、スピンコーティング装置１１の制御系は、スピンコーティング装置１１全体の動作を制御するコントローラ３０を備えている。
【００７５】
また、スピンコーティング装置１１の駆動系は、ステージ２１を回転させるステージ回転機構３１と、第１の吸気機構３２と、第２の吸気機構３３と、データ記録ユニットを吸引して、搬送する第１のアーム３４を移動させる第１のアーム移動手段３５と、キャップを把持して、搬送する第２のアーム３６を移動させる第２のアーム移動手段３７と、吐出ノズル３８を、キャップ上に紫外線硬化性樹脂を吐出可能な吐出位置と、ステージ２１から退避した退避位置との間で、移動させるとともに、吐出ノズル３８から、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出するノズル駆動手段３９と、紫外線ランプ４０を備えている。
【００７６】
以上のように構成されたスピンコーティング装置１１によって、光記録ディスク１を製造するにあたっては、まず、コントローラ３０から、第１のアーム移動手段３５に、第１の駆動信号が出力され、基板２と、スパッタリングなどによって、基板２上に形成された記録層３を備えたデータ記録ユニットが、第１のアーム３４の吸引パッド（図示せず）に吸引されて、スピンコーティング装置１１のステージ２１上にセットされる。
【００７７】
データ記録ユニットは、第１のアーム３４によって、そのクランプ領域７が吸引されて、搬送され、記録層３が上方に位置し、センターホール６に、第２の突出部２３が嵌合するように、スピンコーティング装置１１のステージ２１上にセットされる。
【００７８】
データ記録ユニットが、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットされると、コントローラ３０から、第１のアーム移動手段３５に退避信号が出力されて、第１のアーム３４が、ステージ２１上から退避され、同時に、コントローラ３０から、第１の吸気機構３２に作動信号が出力されて、第１の吸気機構３２が作動され、第１の突出部２２に載置されたデータ記録ユニット５０が、第１の突出部２２の表面に吸引され、ステージ２１上に固定される。
【００７９】
図７は、データ記録ユニット５０が、スピンコーティング装置１１のステージ２１上に固定された状態を示す略断面図である。
【００８０】
次いで、コントローラ３０から、第２のアーム移動手段３７に、第１の駆動信号が出力されて、キャップ温度制御装置１２によって、所定の温度に制御されたキャップが、第２のアーム３６によって、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上の所定の位置に載置される。
【００８１】
図８は、キャップの略斜視図であり、図９は、図８に示されたキャップの略中央断面図である。
【００８２】
図８および図９に示されるように、本実施態様において用いられるキャップ５５は、平面形状が略円形で、側面の投影形状が略台形の傘部５６と、傘部５６の頂面に形成され、傘部５６の頂面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる支持軸５７と、傘部５６の底面に形成され、傘部５６の底面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる略円柱状の突起部５８を備えている。
【００８３】
図８および図９に示されるように、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂をデータ記録ユニット５０の表面上に塗布するときに、紫外線硬化性樹脂が、毛管現象によって、キャップ５５の傘部５６の底面と基板２の間に入り込むことを防止するため、キャップ５５の傘部５６の底面には、凹部５６ａが形成されている。
【００８４】
キャップ５５は、金属によって形成されている。
【００８５】
傘部５６の径は、製造すべき光記録ディスク１のセンターホール６の径よりも大きく、かつ、製造すべき光記録ディスク１のクランプ領域７の外径以下に設定される。
【００８６】
また、キャップ５５の突起部５８は、その径は、スピンコーティング装置１１の第２の吸気口２５の内径よりもわずかに小さくなるように形成されている。
【００８７】
キャップ５５は、第２のアーム３６によって、支持軸５７が把持されて、搬送されるように構成され、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上に載置されたときに、突起部５８が、スピンコーティング装置１１の第２の吸気口２５に嵌合し、所定の位置に位置決めされるように構成されている。
【００８８】
図１０は、キャップ５５が、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上の所定の位置にセットされた状態を示す略断面図である。
【００８９】
キャップ５５が、データ記録ユニット５０上にセットされると、コントローラ３０から、第２のアーム移動手段３７に、退避信号が出力されて、第２のアーム３６が、ステージ２１上から退避され、同時に、コントローラ３０から、第２の吸気機構３３に作動信号が出力されて、第２の吸気機構３３が作動され、スピンコーティング装置１１の第２の吸気口２５に嵌合しているキャップ５５の突起部５８が吸引され、キャップ５５が、データ記録ユニット５０上に固定される。
【００９０】
第２の吸気機構３３が作動され、キャップ５５が、データ記録ユニット５０上に固定されると、コントローラ３０から、ステージ回転機構３１に、第１の駆動信号が出力されて、ステージ回転機構３１が作動され、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３が、一体となって、低速で回転される。その結果、ステージ２１に固定されているデータ記録ユニット５０と、データ記録ユニット５０上に固定されているキャップ５５も、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３とともに、一体的に低速で回転される。
【００９１】
次いで、コントローラ３０から、ノズル駆動手段３９に第１の駆動信号が出力され、吐出ノズル３８が、データ記録ユニット５０上に固定されたキャップ５５上に、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出可能な吐出位置に移動され、さらに、コントローラ３０から、ノズル駆動手段３９に吐出信号が出力されて、図１１に示されるように、吐出ノズル３８から、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、支持軸５７の近傍の傘部５６の頂面に吐出される。
【００９２】
液状の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の支持軸５７の近傍の傘部５６の頂面に吐出されると、コントローラ３０から、ステージ回転機構３１に、第２の駆動信号が出力されて、ステージ回転機構３１によって、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３ならびステージ２１に固定されているデータ記録ユニット３０およびデータ記録ユニット３０上に固定されているキャップ３５が、一体として、高速で回転される。
【００９３】
その結果、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、回転によって生じた遠心力によって、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、データ記録ユニット５０の記録層３上を展開され、図１２に示されるように、所定の厚さ、たとえば、１００μｍの膜厚を有する紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成される。
【００９４】
データ記録ユニット５０の記録層３上に、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が形成されると、コントローラ３０から、紫外線ランプ４０に駆動信号が出力される。
【００９５】
その結果、紫外線ランプ４０がオンされて、図１３に示されるように、紫外線４１が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に照射され、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が硬化される。
【００９６】
こうして、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、ある程度、硬化されると、コントローラ３０から、紫外線ランプ４０に駆動停止信号が出力されて、紫外線ランプ４０がオフされるとともに、コントローラ３０から、ステージ回転機構３１に駆動停止信号が出力されて、ステージ回転機構３１の作動が停止され、さらに、コントローラ３０から、第２の吸気機構３３に作動停止信号が出力されて、第２の吸気機構３３の作動が停止される。
【００９７】
次いで、コントローラ３０から、第２のアーム移動手段３７に、第２の駆動信号が出力され、第２のアーム３６により、キャップ５５の支持軸５７が把持されて、キャップ５５がデータ記録ユニット５０上から取り去られる。
【００９８】
キャップ５５がデータ記録ユニット５０上から取り去られると、コントローラ３０から、再び、紫外線ランプ４０に駆動信号が出力されて、紫外線ランプ４０がオンされ、紫外線４１が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に照射される。
【００９９】
データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が完全に硬化され、光透過層４が形成されて、光記録ディスク１が生成されると、コントローラ３０から、紫外線ランプ４０に駆動停止信号が出力されて、紫外線ランプ４０がオフされるとともに、第１の吸気機構３２に駆動停止信号が出力されて、第１の吸気機構３２の作動が停止される。
【０１００】
次いで、コントローラ３０から、第１のアーム移動手段３５に、第２の駆動信号が出力されて、第１のアーム３４の吸引パッド（図示せず）によって、光記録ディスク１のクランプ領域７が吸引され、第１のアーム３４により、光記録ディスク１が、スピンコーティング装置１１から、膜厚測定装置１３に移送され、光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布が測定される。
【０１０１】
図１４は、液状の紫外線硬化性樹脂６０をキャップ５５の頂面に吐出し、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上に、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を形成し、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に紫外線４１を照射して、紫外線硬化性樹脂６０を硬化させ、光透過層４を形成するまでの間、データ記録ユニット５０と、キャップ５５と、液状の紫外線硬化性樹脂６０とが、完全に同一の温度に保持された場合の光透過層４の膜厚分布を示す略断面図である。
【０１０２】
図１４に示されるように、液状の紫外線硬化性樹脂６０をキャップ５５の頂面に吐出し、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上に、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を形成し、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に紫外線４１を照射して、紫外線硬化性樹脂６０を硬化させ、光透過層４を形成するまでの間、データ記録ユニット５０と、キャップ５５と、液状の紫外線硬化性樹脂６０とが、完全に同一の温度に保持された場合においては、光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布は均一である。
【０１０３】
しかしながら、基板２と、キャップ５５と、液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度とが、あらかじめ同一になるように制御する場合にも、液状の紫外線硬化性樹脂６０をキャップ５５の頂面に吐出し、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上に、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を形成し、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に紫外線４１を照射して、紫外線硬化性樹脂６０を硬化させ、光透過層４を形成するまでの間、データ記録ユニット５０と、キャップ５５と、液状の紫外線硬化性樹脂６０とを、完全に同一の温度に保持することは、現実には、きわめて困難であり、データ記録ユニット５０と、データ記録ユニット５０上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が同一でないことに起因して、または、データ記録ユニット５０と、データ記録ユニット５０上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が同一であるにもかかわらず、データ記録ユニット５０上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開される際に、液状の紫外線硬化性樹脂６０が外気によって、冷却もしくは加温されることに起因して、したがって、スピンコーティング装置１１により、光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布が不均一になるということが、しばしば生じる。
【０１０４】
図１５は、スピンコーティング装置１１によって、データ記録ユニット５０上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が、データ記録ユニット５０の温度よりも高い場合、あるいは、データ記録ユニット５０上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度とデータ記録ユニット５０の温度が同一であるにもかかわらず、液状の紫外線硬化性樹脂６０が展開されるときに、外気により、冷却された場合の光透過層４の膜厚分布を示す略断面図である。
【０１０５】
スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上を、液状の紫外線硬化性樹脂６０が展開されるときに、何らかの原因で、データ記録ユニット５０の温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が上昇し、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が、データ記録ユニット５０の温度よりも高い場合には、キャップ５５の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開されるにしたがって、データ記録ユニット５０によって、冷却され、その温度が低下する。
【０１０６】
その結果、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開されるにしたがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度が高くなり、図１５に示されるように、光透過層４の膜厚は、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、増大する。
【０１０７】
また、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上を、液状の紫外線硬化性樹脂６０が展開されるときに、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度と、データ記録ユニット５０の温度が同一に保持されている場合にも、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０上を展開されるときに、外気によって、冷却される場合には、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開されるにしたがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度が高くなり、図１５に示されるように、光透過層４の膜厚は、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、増大する。
【０１０８】
これに対して、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上を、液状の紫外線硬化性樹脂６０が展開されるときに、何らかの原因で、データ記録ユニット５０の温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が低下し、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が、データ記録ユニット５０の温度よりも低い場合には、キャップ５５の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開されるにしたがって、データ記録ユニット５０によって、加温され、その温度が上昇する。
【０１０９】
したがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開されるにしたがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度が低くなり、その結果、図１６に示されるように、光透過層４の膜厚は、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、減少する。
【０１１０】
また、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上を、液状の紫外線硬化性樹脂６０が展開されるときに、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度と、データ記録ユニット５０の温度が同一に保持されている場合にも、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０上を展開されるときに、外気によって、加温される場合には、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開されるにしたがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度が低くなり、図１５に示されるように、光透過層４の膜厚は、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、減少する。
【０１１１】
本発明者の研究によれば、光透過層４の膜厚分布が均一でない場合、基準温度、たとえば、２５℃における紫外線硬化性樹脂６０の粘度が同じであれば、その原因の如何にかかわらず、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、キャップ５５の温度Ｔを、所定の変化分ΔＴだけ、変化させることによって、データ記録ユニット５０を展開される紫外線硬化性樹脂６０の温度を一定に制御して、均一な膜厚分布を有する光透過層４を形成することが可能になることが見出されており、そこで、本実施態様にかかる光記録ディスク１の製造システム１０は、スピンコーティング装置１１によって、形成された光透過層４の膜厚分布を、膜厚測定装置１３によって、測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布のパターンに基づいて、コントロールユニット１４が、キャップ温度制御装置１２によって制御されるキャップ５５の温度Ｔを低下あるいは上昇させ、キャップ５５によって、その頂面に吐出される液状の紫外線硬化性樹脂６０を冷却し、あるいは、加温して、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開させることによって、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開される間、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度が一定に保持されるように制御し、均一な膜厚分布を有する光透過層４を光記録ディスク１に形成するように構成されている。
【０１１２】
すなわち、スピンコーティング装置１１によって、光透過層４が形成された光記録ディスク１は、第１のアーム３４によって、膜厚測定装置１３に移送され、レーザフォーカス変位計（図示せず）によって、光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布が測定される。
【０１１３】
膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布は、コントロールユニット１４に出力される。
【０１１４】
本実施態様においては、あらかじめ、紫外線硬化性樹脂６０の基準温度における粘度、光透過層４の膜厚分布のパターンおよび変化させるべきキャップ５５の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係が実験的に決定されて、テーブルや関係式などの形で、コントロールユニット１４のＲＡＭ（図示せず）に記憶されている。
【０１１５】
そこで、コントロールユニット１４は、膜厚測定装置１３から入力された光透過層４の膜厚分布のパターンに基づき、ＲＡＭにアクセスし、ＲＡＭに記憶されているテーブルや関係式などに基づいて、キャップ５５の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、キャップ温度設定信号を、キャップ温度制御装置１２に出力する。
【０１１６】
図１５に示されるように、光透過層４の膜厚が、データ記録ユニット５０の周縁部、したがって、光記録ディスク１の周縁部に向けて、増大しているときは、コントロールユニット１４は、ＲＡＭに記憶されているテーブルや関係式などに基づき、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、決定された温度の変化分ΔＴだけ、キャップ温度制御装置１２によって制御されるキャップ５５の設定温度を低くする。
【０１１７】
その結果、キャップ５５の設定温度が、データ記録ユニット５０の温度よりもΔＴだけ、低い温度に調整され、吐出ノズル３８から、キャップ５５の頂部の支持軸５７の近傍に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５によって、冷却された後、データ記録ユニット５０上に展開される。
【０１１８】
したがって、何らかの原因で、データ記録ユニット５０の温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット５０の表面上を展開されるべき紫外線硬化性樹脂６０の温度が上昇して、データ記録ユニット５０の温度が、データ記録ユニット５０の表面上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度よりも低く、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の表面上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開されるにしたがって、データ記録ユニット５０によって冷却されて、その粘度が増大し、光透過層４の膜厚が、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、増大しているときは、キャップ５５により、キャップ５５上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が冷却され、データ記録ユニット５０上に展開されるときに、データ記録ユニット５０と同じ温度になるように、その温度が制御される。
【０１１９】
その結果、データ記録ユニット５０の周縁部、したがって、光記録ディスク１の周縁部に向けて、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜の膜厚が増大することが防止され、均一な膜厚の光透過層４を形成することが可能になる。
【０１２０】
一方、データ記録ユニット５０の温度と、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が同一であるにもかかわらず、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されて、その粘度が増大し、光透過層４の膜厚が、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、増大しているときは、キャップ５５により、キャップ５５上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の温度よりも低い温度に、冷却され、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０の表面上を展開されるにしたがって、データ記録ユニット５０によって、加温されるから、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度は、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０の表面上を展開されても、一定に保持される。
【０１２１】
その結果、データ記録ユニット５０の周縁部、したがって、光記録ディスク１の周縁部に向けて、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜の膜厚が増大することが防止され、均一な膜厚の光透過層４を形成することが可能になる。
【０１２２】
これに対して、図１６に示されるように、光透過層４の膜厚が、データ記録ユニット５０の周縁部、したがって、光記録ディスク１の周縁部に向けて、減少しているときは、コントロールユニット１４は、ＲＡＭに記憶されているテーブルや関係式などに基づき、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、決定された温度の変化分ΔＴだけ、キャップ温度制御装置１２によって制御されるキャップ５５の設定温度を高くする。
【０１２３】
その結果、キャップ５５の設定温度が、データ記録ユニット５０の温度よりもΔＴだけ、高い温度に調整され、吐出ノズル３８から、キャップ５５の頂部の支持軸５７の近傍に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５によって、加温された後、データ記録ユニット５０上に展開される。
【０１２４】
したがって、何らかの原因で、データ記録ユニット５０の温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット５０の表面上を展開されるべき紫外線硬化性樹脂６０の温度が低下して、データ記録ユニット５０の温度が、データ記録ユニット５０の表面上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度よりも高く、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の表面上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開されるにしたがって、データ記録ユニット５０によって加温されて、その粘度が減少し、光透過層４の膜厚が、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、減少しているときは、キャップ５５により、キャップ５５上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が加温されて、データ記録ユニット５０上に展開されるときに、データ記録ユニット５０と同じ温度になるように、その温度が制御される。
【０１２５】
その結果、データ記録ユニット５０の周縁部、したがって、光記録ディスク１の周縁部に向けて、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜の膜厚が減少することが防止され、均一な膜厚の光透過層４を形成することが可能になる。
【０１２６】
一方、データ記録ユニット５０の温度と、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が同一であるにもかかわらず、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されて、その粘度が減少し、光透過層４の膜厚が、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、減少しているときは、キャップ５５により、キャップ５５上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の温度よりも高い温度に、加温され、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０の表面上を展開されるにしたがって、データ記録ユニット５０によって、冷却されるから、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度は、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０の表面上を展開されても、一定に保持される。
【０１２７】
その結果、データ記録ユニット５０の周縁部、したがって、光記録ディスク１の周縁部に向けて、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜の膜厚が減少することが防止され、均一な膜厚の光透過層４を形成することが可能になる。
【０１２８】
一方、膜厚測定装置１３によって、光記録ディスク１に形成された光記録層４の膜厚分布を測定した結果、光記録層４の膜厚の平均値が、所定値、たとえば、１００μｍよりも小さい場合、あるいは、大きい場合には、ステージ２１の回転数や、紫外線硬化性樹脂６０を展開させるために、ステージ２１を回転させる時間あるいは紫外線硬化性樹脂６０の吐出量などを制御して、光記録層４の膜厚の膜厚を調整することができる。
【０１２９】
本実施態様によれば、膜厚測定装置１３によって、光記録ディスク１に形成された光記録層４の膜厚分布を測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、あらかじめ実験的に決定され、ＲＡＭに記憶されている紫外線硬化性樹脂６０の基準温度における粘度、光透過層４の膜厚分布のパターンおよび変化させるべきキャップ５５の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示すテーブルや関係式などにしたがって、単に、キャップ５５の温度Ｔを、ΔＴだけ、上昇させ、あるいは、低下させるだけで、光記録ディスク１に、均一な膜厚分布を有する光透過層４を形成することができ、したがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０をキャップ５５の頂面に吐出し、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上に、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を形成し、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に紫外線４１を照射して、紫外線硬化性樹脂６０を硬化させ、光透過層４を形成するまでの間、データ記録ユニット５０と、キャップ５５と、液状の紫外線硬化性樹脂６０とを、完全に同一の温度に保持するために、特別の設備を設ける必要がなく、さらに、光透過層４を形成するまでの間、データ記録ユニット５０と、キャップ５５と、液状の紫外線硬化性樹脂６０とを、完全に同一の温度に保持するために、厳密な温度管理操作をする必要がないから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚を有する光透過層を、光記録ディスク１に形成することが可能になる。
【０１３０】
本発明は、以上の実施態様に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【０１３１】
たとえば、前記実施態様においては、スピンコーティング装置１１によって、光記録ディスク１が製造されるたびに、光記録ディスク１の光透過層４の膜厚分布を、膜厚測定装置１３によって測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布が均一でないときは、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整して、キャップ５５の温度Ｔを制御するように構成されているが、スピンコーティング装置１１によって、光記録ディスク１が製造されるたびに、光記録ディスク１の光透過層４の膜厚分布を、膜厚測定装置１３によって測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布が均一でないときは、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整して、キャップ５５の温度Ｔを制御することは必ずしも必要でなく、スピンコーティング装置１１によって連続して製造される所定枚数の光記録ディスク１の光透過層４の膜厚分布を測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布が均一でないときは、所定枚数の光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布の平均パターンにしたがって、所定枚数の光記録ディスク１ごとに、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整して、キャップ５５の温度Ｔを制御するように構成することもできるし、必要に応じて、膜厚測定装置１３により、光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布を測定して、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布が均一でないときは、そのたびごとに、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整し、キャップ５５の温度Ｔを制御することもでき、さらには、スピンコーティング装置１１によって連続して製造されるＮ枚（Ｎは正の整数）の光記録ディスク１のうち、（Ｎ−Ｍ）枚（ＭはＮ以下の正の整数）の光記録ディスク１につき、光透過層４の膜厚分布を測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布が均一でないときは、（Ｎ−Ｍ）枚の光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布の平均パターンにしたがって、Ｎ枚の光記録ディスク１ごとに、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整して、キャップ５５の温度Ｔを制御するように構成することもできる。
【０１３２】
さらに、前記実施態様においては、スピンコーティング装置１１によって、光記録ディスク１が製造されるたびに、光記録ディスク１の光透過層４の膜厚分布を、膜厚測定装置１３によって測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布が均一でないときは、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整して、キャップ５５の温度Ｔを制御するように構成されているが、形成されるべき光透過層４の膜厚と、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚の最大値あるいは最小値との差の絶対値がしきい値を越えた場合にだけ、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整して、キャップ５５の温度Ｔを制御するように構成することもできる。
【０１３３】
また、前記実施態様においては、平面形状が略円形で、側面の投影形状が略台形の傘部５６と、傘部５６の頂面に形成され、傘部５６の頂面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる支持軸５７と、傘部５６の底面に形成され、傘部５６の底面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる略円柱状の突起部５８を備えたキャップ５５が用いられているが、キャップ５５の傘部５６の側面の投影形状が略台形であることは必ずしも必要でなく、側面の投影形状が図１７（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示されるような形状をなした傘部５６を備えたキャップ５５を用いることもできる。
【０１３４】
さらに、前記実施態様においては、データ記録ユニット５０のセンターホール６を塞ぐキャップ５５の温度を制御することによって、光透過層４の膜厚分布が均一になるように制御しているが、本発明は、センターホール６が形成されていないデータ記録ユニット５０に、光透過層４を形成する場合にも適用することができ、そのような場合には、センターホール６を塞ぐキャップ５５に代えて、データ記録ユニット５０の中央部近傍に、マグネットなどを用いて、液状の紫外線硬化性樹脂６０が吐出される部材を固定し、液状の紫外線硬化性樹脂６０が吐出される部材の温度を制御して、その上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０を冷却または加温し、データ記録ユニット５０上に展開することによって、均一な光透過層４を形成することようにすればよい。
【０１３５】
また、前記実施態様においては、スピンコーティング装置１１の回転可能なステージ２１上に、データ記録ユニット５０が保持された状態で、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に、紫外線４１が照射されているが、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が形成された後、データ記録ユニット５０を、スピンコーティング装置１１の回転可能なステージ２１から、別のステージ上に移送し、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に、紫外線４１を照射して、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を硬化させるようにしてもよい。
【０１３６】
さらに、前記実施態様においては、光記録ディスク１は、基板２と、基板２上に形成された記録層３と、記録層３上に形成された光透過層４を備えているが、基板２と記録層３の間に、反射層が形成されていてもよく、また、光透過層４上に、ハードコート層が形成されていてもよい。
【０１３７】
また、前記実施態様においては、紫外線硬化性樹脂６０によって、光透過層４を形成しているが、紫外線硬化性樹脂６０によって、光透過層４を形成することは必ずしも必要でなく、紫外線硬化性樹脂に代えて、電子線硬化性樹脂を用いて、光透過層４を形成することもできる。
【０１３８】
【発明の効果】
本発明によれば、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法を提供することが可能になる。
【０１３９】
また、本発明によれば、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造システムを提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスクの略斜視図である。
【図２】図２は、図１のＡで示された部分の略拡大断面図である。
【図３】図３は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造システムのブロックダイアグラムである。
【図４】図４は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造システムを構成するスピンコーティング装置の略斜視図である。
【図５】図５は、図４に示されたスピンコーティング装置の略断面図である。
【図６】図６は、スピンコーティング装置の制御系および駆動系のブロックダイアグラムである。
【図７】図７は、データ記録ユニットが、スピンコーティング装置のステージ上に固定された状態を示す略断面図である。
【図８】図８は、キャップの略斜視図である。
【図９】図９は、図８に示されたキャップの略中央断面図である。
【図１０】図１０は、キャップが、ステージ上にセットされたデータ記録ユニット上の所定の位置にセットされた状態を示す略断面図である。
【図１１】図１１は、紫外線硬化性樹脂が、吐出ノズルから、キャップの傘部の頂面に吐出された状態を示す略断面図である。
【図１２】図１２は、所定の膜厚を有する紫外線硬化性樹脂の薄膜が、データ記録ユニットの記録層上に形成された状態を示す略断面図である。
【図１３】図１３は、データ記録ユニットの記録層上に形成された紫外線硬化性樹脂の薄膜に、紫外線が照射されている状態を示す略断面図である。
【図１４】図１４は、液状の紫外線硬化性樹脂をキャップの頂面に吐出し、スピンコーティング装置により、データ記録ユニット上に、紫外線硬化性樹脂の薄膜を形成し、紫外線硬化性樹脂の薄膜に紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させ、光透過層を形成するまでの間、データ記録ユニットと、キャップと、液状の紫外線硬化性樹脂が、完全に同一の温度に保持された場合の光透過層の膜厚分布を示す略断面図である。
【図１５】図１５は、スピンコーティング装置によって、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂の温度が、データ記録ユニットの温度よりも高い場合、あるいは、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂の温度とデータ記録ユニットの温度が同一であるにもかかわらず、液状の紫外線硬化性樹脂が展開されるときに、外気により、冷却された場合の光透過層の膜厚分布を示す略断面図である。
【図１６】図１６は、スピンコーティング装置によって、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂の温度が、データ記録ユニットの温度よりも低い場合、あるいは、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂の温度とデータ記録ユニットの温度が同一であるにもかかわらず、液状の紫外線硬化性樹脂が展開されるときに、外気により、加温された場合の光透過層の膜厚分布を示す略断面図である。
【図１７】図１７は、キャップの他の例を示すキャップの側面の略投影図である。
【符号の説明】
１光記録ディスク
２基板
３記録層
４光透過層
５プリグルーブ
６センターホール
７クランプ領域
１０光記録ディスクの製造システム
１１スピンコーティング装置
１２キャップ温度制御装置
１３膜厚測定装置
１４コントロールユニット
２１ステージ
２２第１の突出部
２３第２の突出部
２４第１の吸気口
２５第２の吸気口
３０コントローラ
３１ステージ回転機構
３２第１の吸気機構
３３第２の吸気機構
３４第１のアーム
３５第１のアーム移動手段
３６第２のアーム
３７第２のアーム移動手段
３８吐出ノズル
３９ノズル駆動手段
４０紫外線ランプ
４１紫外線
５０データ記録ユニット
５５キャップ
５６傘部
５６ａ凹部
５７支持軸
５８突起部
６０紫外線硬化性樹脂[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an optical recording disk manufacturing method and an optical recording disk manufacturing system, and more particularly, a light transmission layer having a uniform film thickness distribution by a simple operation without requiring complicated equipment. The present invention relates to an optical recording disk manufacturing method and an optical recording disk manufacturing system.
[0002]
[Prior art]
In recent years, optical recording disks represented by CDs and DVDs are widely used as recording media for recording large volumes of digital data.
[0003]
These optical recording discs are so-called ROM type optical recording discs of a type in which data cannot be added or rewritten, such as CD-ROMs or DVD-ROMs, and data can be additionally written, such as CD-R or DVD-R. It is possible to divide it into a so-called write-once type optical recording disk that can be rewritten but a so-called rewritable type optical recording disk that can rewrite data, such as CD-RW and DVD-RW. Can do.
[0004]
As is widely known, in a ROM type optical recording disk, data is generally recorded by pre-pits formed on a substrate at the manufacturing stage. In a rewritable optical recording disk, for example, As a material for the recording layer, a phase change material is used, and data is generally recorded by utilizing a change in optical characteristics based on a change in the phase state. If necessary, dielectric layers and reflective layers may be provided above and below the recording layer to function as a recording layer as a whole.
[0005]
In contrast, write-once optical recording discs use organic dyes such as cyanine dyes, phthalocyanine dyes, and azo dyes as recording layer materials, and use changes in optical properties based on their chemical changes. In general, data is recorded.
[0006]
In recent years, there has been a demand for the development of an optical recording disk capable of recording / reproducing for a longer time than DVD, and the recording density has been improved.
[0007]
In the optical recording disk, in order to increase the recording density, it is necessary to reduce the beam spot diameter of the laser light irradiated to the optical recording disk. The laser beam spot diameter is equal to the wavelength λ of the laser light. Since it is proportional to the ratio of the numerical aperture NA of the lens, it is required to record data on the optical recording disk using a laser beam having a short wavelength λ and a lens having a large numerical aperture NA.
[0008]
For this reason, it has been proposed to record data on an optical recording disk using a blue laser beam having a short wavelength λ and a lens having a large numerical aperture NA in a next-generation optical recording disk having a high recording density.
[0009]
However, when a lens having a large numerical aperture NA is used, the focal length becomes short, and the recording layer cannot be irradiated with a laser beam via a light-transmitting substrate like a CD or DVD. It is necessary to form a light transmission layer on top and irradiate the recording layer with laser light through the light transmission layer.
[0010]
On the other hand, when the numerical aperture NA of the lens is increased, the tolerance for uneven thickness of the light transmission layer is reduced, and therefore it is required to provide the light transmission layer uniformly.
[0011]
As a method of forming a light transmissive layer on the recording layer, an ultraviolet curable resin is applied by spin coating onto a recording layer formed on a light transmissive substrate having signal pits formed on the signal surface. A method has been proposed in which the formed coating film is irradiated with ultraviolet rays to cure the ultraviolet curable resin.
[0012]
However, when an ultraviolet curable resin is applied on the recording layer formed on the substrate by spin coating, a center hole is formed in the substrate and the recording layer, and the ultraviolet curable resin is applied to the recording layer. Therefore, there is a problem that the thickness of the formed coating film tends to be non-uniform in the radial direction, and desired optical characteristics cannot be obtained over the entire surface of the optical recording disk.
[0013]
Therefore, a method of forming a coating film by closing a center hole using a lid member, discharging an ultraviolet curable resin to the center of the lid member, and developing the ultraviolet curable resin by a spin coating method. Proposed.
[0014]
However, even when a coating film is formed by spin coating, using a lid member and discharging an ultraviolet curable resin to the center of the lid member, the ultraviolet curable resin generated during spin coating is used. Due to this temperature change, the viscosity of the ultraviolet curable resin changes, and as a result, there is a problem that a light transmission layer having a uniform film thickness cannot be formed.
[0015]
Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-86359 discloses that a substrate, a lid member, and a liquid ultraviolet curable resin are held at the same predetermined temperature in advance, and the liquid ultraviolet curable resin is discharged onto the lid member, thereby spin coating. Proposed a method of forming a light-transmitting layer on a recording layer by forming a coating film on the recording layer formed on the substrate, irradiating the coating film with ultraviolet rays, curing the ultraviolet curable resin, and ing.
[0016]
[Patent Literature]
JP 11-86359 A
[Problems to be solved by the invention]
However, even if the substrate, the lid member, and the liquid UV curable resin are held at the same predetermined temperature in advance, the substrate temperature changes when the substrate on which the recording layer is formed is transported to the spin coating apparatus. When the liquid UV curable resin is discharged onto the lid member and a coating film is formed on the recording layer formed on the substrate by spin coating, the substrate, the lid member, and the liquid UV curable resin are formed. However, in reality, it is possible that the temperature will not be the same, and a liquid UV curable resin is discharged onto the lid member, and the recording layer formed on the substrate by spin coating is used. The substrate, the lid member, and the coating film are formed until the coating film is formed, the coating film is irradiated with ultraviolet rays, the ultraviolet curable resin is cured, and the light transmission layer is formed on the recording layer formed on the substrate. Liquid UV hardness In practice, it is extremely difficult to keep the curable resin at the same temperature. Therefore, even if the substrate, the lid member, and the liquid ultraviolet curable resin are kept at the same predetermined temperature in advance, it is always possible. There is a problem that a light transmission layer having a uniform film thickness cannot be formed.
[0017]
Also, suppose that a liquid ultraviolet curable resin is discharged onto the lid member, and a coating film is formed on the recording layer formed on the substrate by a spin coating method, and the coating film is irradiated with ultraviolet rays to thereby cure the ultraviolet curable resin. Until the resin is cured and the light transmission layer is formed on the recording layer formed on the substrate, the substrate, the lid member, and the liquid UV curable resin can be kept at the same temperature. However, for this purpose, there is a problem in that complicated equipment is required, complicated operations are required, and costs are increased.
[0018]
Therefore, an object of the present invention is to provide an optical recording disk manufacturing method capable of forming a light transmission layer having a uniform film thickness distribution by a simple operation without requiring complicated equipment. It is.
[0019]
Another object of the present invention is to provide an optical recording disk manufacturing system capable of forming a light transmission layer having a uniform film thickness distribution by a simple operation without requiring complicated equipment.
[0020]
[Means for Solving the Problems]
As a result of extensive research, the present inventor has measured the film thickness of the light transmission layer formed on the surface of the data recording unit including the substrate and the recording layer. In accordance with the thickness distribution pattern of the light transmitting layer, the temperature T of the central fixing member fixed to the substantially central portion of the data recording unit and discharged with the liquid radiation curable resin is increased by a predetermined temperature ΔT. By reducing or reducing the thickness of the light transmission layer, it is possible to eliminate the uneven thickness of the light transmission layer and to form a uniform film thickness with a simple operation without requiring complicated equipment. I found out.
[0021]
For some reason, the temperature of the data recording unit decreases, or the temperature of the radiation curable resin to be developed on the data recording unit increases, and the temperature of the data recording unit should be developed on the data recording unit. When the temperature is lower than the temperature of the liquid radiation curable resin, the liquid radiation curable resin is cooled by the data recording unit as it is developed on the data recording unit toward the periphery of the data recording unit. As the viscosity increases, the film thickness of the light transmission layer increases toward the periphery of the data recording unit, while the temperature of the data recording unit and the liquid radiation to be developed on the data recording unit Even if the temperature of the curable resin is the same, as the liquid radiation curable resin is developed on the surface of the data recording unit, When cooled by air, the viscosity of the liquid radiation curable resin increases as the liquid radiation curable resin is spread on the data recording unit toward the peripheral edge of the data recording unit. The film thickness increases toward the periphery of the data recording unit.
[0022]
On the other hand, for some reason, the temperature of the data recording unit increases, or the temperature of the radiation curable resin to be developed on the data recording unit decreases, and the temperature of the data recording unit increases on the data recording unit. When the temperature of the liquid radiation curable resin is higher than the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed, the liquid radiation curable resin is developed on the data recording unit toward the peripheral portion of the data recording unit. Since the viscosity is reduced by heating by the recording unit, the film thickness of the light transmission layer decreases toward the periphery of the data recording unit, while the temperature of the data recording unit and the data recording unit are developed. Even if the temperature of the liquid radiation curable resin to be applied is the same, the liquid radiation curable resin is spread on the surface of the data recording unit. Therefore, when heated by the outside air, the liquid radiation curable resin decreases in viscosity as it is developed on the data recording unit toward the peripheral edge of the data recording unit. The film thickness of the transmission layer decreases toward the peripheral edge of the data recording unit.
[0023]
Such a change in the thickness of the light transmission layer is caused by the change in the temperature of the liquid radiation curable resin as it is developed toward the peripheral portion of the data recording unit. If the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed can be controlled to be constant toward the peripheral portion of the recording unit, the film thickness distribution of the light transmission layer can be made uniform.
[0024]
Therefore, the present inventor focused on the fact that the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer becomes the same regardless of the cause if the temperature change of the liquid radiation curable resin is the same, and conducted intensive research. As a result of the overlapping, the temperature of the central fixing member to which the liquid radiation curable resin is discharged is changed according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer, thereby developing the data recording unit toward the peripheral portion. It has been found that the temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled to be constant, and the film thickness distribution of the light transmission layer can be made uniform.
[0025]
That is, the change ΔT in the temperature T of the central fixing member to be changed is obtained in advance for each pattern of the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin and the film thickness distribution of the light transmission layer, and data recording is performed for some reason. The temperature of the radiation curable resin to be developed on the data recording unit is lowered or the temperature of the radiation curable resin to be developed on the data recording unit is increased so that the temperature of the data recording unit is a liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit. If the film thickness of the light transmission layer increases toward the peripheral edge of the data recording unit according to a certain pattern due to being lower than the temperature, the film thickness distribution of the light transmission layer On the central fixing member, the temperature T of the central fixing member to which the liquid radiation curable resin is discharged is decreased by a predetermined temperature ΔT corresponding to the pattern of It is possible to control the temperature of the liquid radiation curable resin discharged to the same as the temperature of the data recording unit, and thus it is possible to form a light transmission layer having a uniform film thickness distribution. On the other hand, even though the temperature of the data recording unit and the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit are the same, the liquid radiation curable resin is not exposed to the surface of the data recording unit. When the film thickness of the light transmission layer increases toward the peripheral edge of the data recording unit according to a certain pattern due to being cooled by the outside air as it is expanded above By reducing the temperature T of the central fixing member to which the liquid radiation curable resin is discharged by a predetermined temperature ΔT corresponding to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer, As the liquid radiation curable resin discharged on the central fixing member is cooled to a temperature lower than the temperature of the data recording unit and developed on the surface of the data recording unit, the liquid radiation curable resin becomes The temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled to be warmed by the data recording unit, so that as the liquid radiation curable resin is developed on the surface of the data recording unit, its It has been found that since it is possible to effectively prevent the viscosity from changing, it is possible to form a light transmission layer having a uniform film thickness distribution.
[0026]
Similarly, for some reason, the temperature of the data recording unit increases, or the temperature of the radiation curable resin to be developed on the data recording unit decreases, and the temperature of the data recording unit develops on the data recording unit. When the film thickness of the light transmission layer decreases toward the peripheral edge of the data recording unit according to a certain pattern due to being higher than the temperature of the liquid radiation curable resin to be The temperature of the central fixing member from which the liquid radiation curable resin is discharged is increased by a predetermined temperature ΔT corresponding to the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer, thereby being discharged onto the central fixing member. The temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled to be the same as the temperature of the data recording unit, thus forming a light transmission layer having a uniform film thickness distribution. On the other hand, even though the temperature of the data recording unit and the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit are the same, the liquid radiation curable resin As it is spread on the surface of the data recording unit, the film thickness of the light transmission layer decreases toward the peripheral edge of the data recording unit according to a certain pattern due to heating by the outside air. If it is, the central fixing is performed by increasing the temperature T of the central fixing member to which the liquid radiation curable resin is discharged by a predetermined temperature ΔT corresponding to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer. As the liquid radiation curable resin discharged on the member is heated to a temperature higher than the temperature of the data recording unit and developed on the surface of the data recording unit, The temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled so that the liquid radiation curable resin is cooled by the data recording unit, so that the liquid radiation curable resin is spread on the surface of the data recording unit As a result, the heating effect due to the outside air and the cooling effect due to the data recording unit are offset, and the viscosity can be effectively prevented from changing. It has been found that a light transmissive layer can be formed.
[0027]
Accordingly, the object of the present invention is to fix a data recording unit having a substrate and a recording layer on a rotatable stage, and to discharge a liquid radiation curable resin in a substantially central portion of the data recording unit. A central fixing member is fixed, a radiation curable resin is discharged onto the central fixing member, the stage is rotated, and the liquid radiation curable resin is spread on the surface of the data recording unit, A method of manufacturing an optical recording disk, wherein a light transmission layer is formed on a surface of a data recording unit, the film thickness distribution of the light transmission layer being measured, and the center of the light transmission layer being measured according to the film thickness distribution of the light transmission layer This is achieved by a method for manufacturing an optical recording disk, wherein the temperature T of the fixing member is controlled.
[0028]
According to the present invention, for some reason, the temperature of the data recording unit decreases, or the temperature of the radiation curable resin to be developed on the data recording unit increases, and the temperature of the data recording unit Due to the temperature lower than the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed, the thickness of the light transmission layer increases toward the peripheral edge of the data recording unit according to a certain pattern. In this case, the central fixing member is simply reduced by lowering the temperature T of the central fixing member to which the liquid radiation curable resin is discharged by a predetermined temperature ΔT corresponding to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer. The temperature of the liquid radiation curable resin discharged on the top can be controlled to be the same as the temperature of the data recording unit, and thus has a uniform film thickness distribution It is possible to form a light-transmitting layer, while the temperature of the data recording unit and the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit are the same. As the curable resin is spread on the surface of the data recording unit, it is cooled by the outside air, so that the film thickness of the light transmission layer follows the pattern at the peripheral portion of the data recording unit. If it increases, the temperature T of the central fixing member to which the liquid radiation curable resin is discharged is simply lowered by a predetermined temperature ΔT corresponding to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer. The liquid radiation curable resin discharged on the central fixing member is cooled to a temperature lower than the temperature of the data recording unit and developed on the surface of the data recording unit. As the liquid radiation curable resin is heated by the data recording unit, the temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled. Since it is possible to effectively prevent the viscosity from changing as it is spread on the surface of the film, it is possible to reduce unevenness in the thickness of the light transmission layer with a simple operation without requiring complicated equipment. This eliminates the possibility of forming a light transmission layer having a uniform film thickness distribution.
[0029]
Furthermore, according to the present invention, for some reason, the temperature of the data recording unit increases, or the temperature of the radiation curable resin to be developed on the data recording unit decreases, and the temperature of the data recording unit is Due to the fact that the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the recording unit is higher, the film thickness of the light transmission layer decreases according to a certain pattern toward the periphery of the data recording unit. The temperature of the central fixing member to which the liquid radiation curable resin is discharged is increased by a predetermined temperature ΔT corresponding to the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer. The temperature of the liquid radiation curable resin discharged on the fixing member can be controlled to be the same as the temperature of the data recording unit. On the other hand, although the temperature of the data recording unit and the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit are the same, the liquid transmission layer can be formed. As the radiation curable resin is spread on the surface of the data recording unit, it is heated by the outside air, so that the film thickness of the light transmission layer follows the pattern of the data recording unit. If it decreases toward the peripheral edge, the temperature of the central fixing member to which the liquid radiation curable resin is discharged is simply a predetermined temperature ΔT corresponding to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer. By raising T, the liquid radiation curable resin discharged onto the central fixing member is heated to a temperature higher than the temperature of the data recording unit, and the surface of the data recording unit As the liquid radiation curable resin is cooled by the data recording unit, the temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled so that the liquid radiation curable resin Since it is possible to effectively prevent the viscosity of the recording unit from changing as it is developed on the surface of the recording unit, the thickness of the light transmission layer can be reduced by simple operation without requiring complicated equipment. It is possible to eliminate the unevenness and form a light transmission layer with a uniform film thickness.
[0030]
In a preferred embodiment of the present invention, after forming the light transmission layer, the film thickness distribution of the light transmission layer is measured, and the temperature T of the central fixing member is set according to the film thickness distribution of the light transmission layer. A data recording unit having a substrate and a recording layer is fixed on the stage, and the central fixing member having a controlled temperature T is fixed to a substantially central portion of the data recording unit; A radiation curable resin is discharged on the surface, the stage is rotated, the liquid radiation curable resin is spread on the surface of the data recording unit, and a light transmission layer is formed on the surface of the data recording unit. Is formed.
[0031]
According to a preferred embodiment of the present invention, after forming the light transmission layer, the thickness distribution of the light transmission layer is measured, and the temperature T of the central fixing member is controlled according to the film thickness distribution of the light transmission layer, A data recording unit having a substrate and a recording layer is fixed on a stage, a central fixing member having a temperature T controlled is fixed at a substantially central portion of the data recording unit, and a radiation curable resin is fixed on the central fixing member. The liquid radiation curable resin is spread on the surface of the data recording unit by rotating the stage, and a light transmission layer is formed on the surface of the data recording unit. Without requiring complicated equipment, it is possible to surely eliminate the unevenness of the thickness of the light transmission layer by a simple operation and to reliably form the light transmission layer with a uniform thickness.
[0032]
In another preferred embodiment of the present invention, each time the light transmission layer is formed, the thickness distribution of the light transmission layer is measured, and the film thickness distribution of the optical recording layer of the predetermined number of optical recording disks is obtained. Accordingly, the temperature T of the central fixing member is controlled.
[0033]
According to another preferred embodiment of the present invention, each time the light transmission layer is formed, the thickness distribution of the light transmission layer is measured, and according to the film thickness distribution of the optical recording layer of a predetermined number of optical recording disks, Since it is configured to control the temperature T of the central fixing member, the film thickness of the light transmission layer becomes non-uniform due to sudden circumstances, but it is not necessary to control the temperature T of the central fixing member. Accordingly, it is possible to effectively prevent the film thickness of the light transmission layer of the optical recording disk to be formed from becoming uneven after the temperature T of the central fixing member is controlled.
[0034]
In another preferred embodiment of the present invention, after forming the light transmission layer, if necessary, the film thickness distribution of the light transmission layer is measured, and the measured film thickness distribution of the light transmission layer is determined. Thus, the temperature T of the central fixing member is controlled.
[0035]
In another preferred embodiment of the present invention, if necessary, the thickness distribution of the light transmission layer is measured, and the temperature T of the central fixing member is controlled according to the measured thickness distribution of the light transmission layer. As a result of measuring the film thickness distribution of the light transmitting layer, when the film thickness distribution of the light transmitting layer is not uniform, the temperature T of the central fixing member is controlled each time, and N is manufactured continuously. Among the optical recording disks (N is a positive integer), (NM) optical recording disks (M is a positive integer equal to or less than N), the thickness distribution of the light transmission layer is measured, and the light transmission is measured. When the layer thickness distribution is not uniform, a central fixing member is provided for each of the N optical recording discs according to the average pattern of the thickness distribution of the light transmission layers formed on the (NM) optical recording discs. And the case where the temperature T is controlled.
[0036]
According to another preferred embodiment of the present invention, the temperature T of the central fixing member is controlled even when the time required for measuring the thickness distribution of the light transmissive layer is longer than the time required for forming the light transmissive layer. Thus, it is possible to effectively prevent the light transmission layer formed on the optical recording disk from becoming nonuniform.
[0037]
In a preferred embodiment of the present invention, a reference showing a relationship between the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin, the film thickness distribution pattern of the light transmission layer, and the change ΔT in the temperature T of the central fixing member. Based on the data, the change ΔT in the temperature T of the central fixing member is determined according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer, and the temperature T of the central fixing member is determined by the determined change ΔT in the temperature T. The temperature T of the central fixing member is controlled so as to change.
[0038]
According to a preferred embodiment of the present invention, the reference data indicating the relationship between the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin, the film thickness distribution pattern of the light transmission layer, and the change ΔT in the temperature T of the central fixing member. Based on the pattern of the thickness distribution of the light transmission layer, a change amount ΔT of the central fixing member T is determined, and the temperature T of the central fixing member changes by the determined change amount ΔT. Since it is configured to control the temperature T of the central fixing member, for some reason, the temperature of the data recording unit decreases or the temperature of the radiation curable resin to be developed on the data recording unit increases. The film thickness of the light transmission layer is set to a certain pattern because the temperature of the data recording unit is lower than the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit. Thus, when it increases toward the peripheral edge of the data recording unit, the liquid radiation curable resin is simply liquid by a predetermined change ΔT corresponding to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer. By reducing the temperature T of the discharged central fixing member, the temperature of the liquid radiation curable resin discharged on the central fixing member can be controlled to be the same as the temperature of the data recording unit, Accordingly, it is possible to form a light transmission layer having a uniform film thickness distribution, while the temperature of the data recording unit and the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit are the same. In spite of this, the film thickness of the light transmission layer is reduced because the liquid radiation curable resin is cooled by the outside air as it is spread on the surface of the data recording unit. In the case of increasing toward the peripheral edge of the data recording unit according to a certain pattern, the liquid radiation curing is simply performed by a predetermined change ΔT corresponding to the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer. By reducing the temperature T of the central fixing member to which the conductive resin is discharged, the liquid radiation curable resin discharged on the central fixing member is cooled to a temperature lower than the temperature of the data recording unit, and data recording is performed. The temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled so that the liquid radiation curable resin is warmed by the data recording unit as it is deployed on the surface of the unit, and thus the liquid radiation curable resin Since it is possible to effectively prevent the viscosity of the resin from changing as the resin is spread on the surface of the data recording unit, Without requiring equipment, by a simple operation, to eliminate the unevenness of thickness of the light transmitting layer, it is possible to form the light transmitting layer having a uniform film thickness distribution.
[0039]
Furthermore, according to a preferred embodiment of the present invention, a reference indicating the relationship between the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin, the pattern of the thickness distribution of the light transmission layer, and the change ΔT in the temperature T of the central fixing member. Based on the data, a change ΔT in the temperature T of the central fixing member is determined according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer, and the temperature T of the central fixing member changes by the determined change ΔT in the temperature T. As described above, since the temperature T of the central fixing member is controlled, the temperature of the data recording unit rises for some reason, or the temperature of the radiation curable resin to be developed on the data recording unit. Due to the fact that the temperature of the data recording unit is higher than the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit. Accordingly, when the data recording unit decreases toward the peripheral edge of the data recording unit, the liquid radiation curable resin is simply changed by a predetermined change ΔT corresponding to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer. By increasing the temperature T of the discharged central fixing member, the temperature of the liquid radiation curable resin discharged on the central fixing member can be controlled to be the same as the temperature of the data recording unit, Accordingly, it is possible to form a light transmission layer having a uniform film thickness distribution, while the temperature of the data recording unit and the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit are the same. In spite of the fact that the liquid radiation curable resin is heated by the outside air as it is spread on the surface of the data recording unit, the light transmission layer Is reduced toward the peripheral edge of the data recording unit according to a certain pattern, simply by a predetermined change ΔT corresponding to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer, By increasing the temperature T of the central fixing member to which the liquid radiation curable resin is discharged, the liquid radiation curable resin discharged on the central fixing member is heated to a temperature higher than the temperature of the data recording unit. Thus, the temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled so that the liquid radiation curable resin is cooled by the data recording unit as it is deployed on the surface of the data recording unit, and thus Is it possible to effectively prevent the liquid radiation curable resin from changing its viscosity as it is spread on the surface of the data recording unit? , Without requiring complex equipment, a simple operation, to eliminate the unevenness of thickness of the light transmitting layer, it is possible to form the light transmission layer of uniform thickness.
[0040]
In a further preferred embodiment of the present invention, when the film thickness of the light transmission layer increases toward the peripheral edge of the data recording unit, the viscosity at a reference temperature of the radiation curable resin, Based on the reference data indicating the relationship between the film thickness distribution pattern of the light transmission layer and the change ΔT in the temperature T of the center fixing member, the center fixing member according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer. The variation ΔT of the temperature T is determined, and the temperature T of the central fixing member is controlled to be lowered by the determined variation ΔT of the temperature T.
[0041]
According to a further preferred embodiment of the present invention, when the film thickness of the light transmission layer increases toward the periphery of the data recording unit, the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin and the light transmission layer Based on the reference data indicating the relationship between the pattern of the film thickness distribution and the variation ΔT of the temperature T of the central fixing member, the variation ΔT of the temperature T of the central fixing member according to the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer. Is determined so that the temperature T of the central fixing member is lowered by the determined change amount ΔT of the temperature T. For some reason, the temperature of the data recording unit decreases, or The temperature of the radiation curable resin to be developed on the data recording unit rises, and the temperature of the data recording unit is higher than the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit. When the film thickness of the light transmission layer increases toward the peripheral edge of the data recording unit according to a certain pattern due to the low, simply the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer The temperature of the liquid radiation curable resin discharged on the central fixing member is decreased by reducing the temperature T of the central fixing member to which the liquid radiation curable resin is discharged by a predetermined change ΔT corresponding to The temperature of the data recording unit can be controlled to be the same as that of the data recording unit. Therefore, it is possible to form a light transmission layer having a uniform film thickness distribution. Even though the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the top is the same, as the liquid radiation curable resin is developed on the surface of the data recording unit When the film thickness of the light transmission layer increases toward the peripheral edge of the data recording unit according to a certain pattern due to being cooled by the outside air, the light transmission layer is simply The liquid radiation cured on the central fixing member is reduced by lowering the temperature T of the central fixing member to which the liquid radiation curable resin is ejected by a predetermined change ΔT corresponding to the pattern of the film thickness distribution. The liquid crystalline resin is cooled to a temperature lower than that of the data recording unit, and the liquid radiation curable resin is heated by the data recording unit as it is developed on the surface of the data recording unit. The temperature of the radiation curable resin can be controlled, so that its viscosity as the liquid radiation curable resin is developed on the surface of the data recording unit Since it is possible to effectively prevent the change, light transmission with a uniform film thickness distribution can be achieved by eliminating the uneven thickness of the light transmission layer with a simple operation without requiring complicated equipment. Layers can be formed.
[0042]
In a further preferred embodiment of the present invention, when the film thickness of the light transmission layer decreases toward the peripheral edge of the data recording unit, the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin, Based on the reference data indicating the relationship between the film thickness distribution pattern of the light transmission layer and the change ΔT in the temperature T of the center fixing member, the center fixing member according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer. The change ΔT of the temperature T is determined, and the temperature T of the central fixing member is controlled to be increased by the determined change ΔT of the temperature T.
[0043]
According to a further preferred embodiment of the present invention, when the film thickness of the light transmission layer decreases toward the periphery of the data recording unit, the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin and the light transmission layer Based on the reference data indicating the relationship between the pattern of the film thickness distribution and the variation ΔT of the temperature T of the central fixing member, the variation ΔT of the temperature T of the central fixing member according to the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer. Is determined so that the temperature T of the central fixing member is increased by the determined change amount ΔT of the temperature T. For some reason, the temperature of the data recording unit increases, or The temperature of the radiation curable resin to be developed on the data recording unit is lowered, and the temperature of the data recording unit is lower than the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit. If the film thickness of the light transmission layer decreases toward the peripheral edge of the data recording unit according to a certain pattern due to its highness, it is simply a pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer. The temperature of the liquid radiation curable resin discharged on the central fixing member is increased by increasing the temperature T of the central fixing member to which the liquid radiation curable resin is discharged by a predetermined change ΔT corresponding to The temperature of the data recording unit can be controlled to be the same as that of the data recording unit. Therefore, it is possible to form a light transmission layer having a uniform film thickness distribution. Even though the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the top is the same, as the liquid radiation curable resin is developed on the surface of the data recording unit When the film thickness of the light transmission layer decreases toward the peripheral edge of the data recording unit according to a certain pattern due to heating by the outside air, the light transmission layer is simply transmitted. By increasing the temperature T of the central fixing member to which the liquid radiation curable resin is discharged by a predetermined change ΔT corresponding to the pattern of the layer thickness distribution, the liquid radiation discharged onto the central fixing member As the curable resin is heated to a temperature higher than that of the data recording unit and developed on the surface of the data recording unit, the liquid radiation curable resin is cooled by the data recording unit. The temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled, so its viscosity as the liquid radiation curable resin is developed on the surface of the data recording unit. Since it is possible to effectively prevent the change, the light transmission layer having a uniform thickness can be obtained by eliminating the uneven thickness of the light transmission layer with a simple operation without requiring complicated equipment. It becomes possible to form.
[0044]
In a preferred embodiment of the present invention, the data recording unit has a center hole at the center thereof, and the center fixing member is formed by a cap that closes the center hole.
[0045]
According to a preferred embodiment of the present invention, the temperature of the cap that closes the center hole used to prevent the non-uniform thickness of the light transmissive layer formed by spin coating is simply set to the temperature of the light transmissive layer. By controlling according to the pattern of the film thickness distribution, unevenness in the film thickness of the light transmission layer can be eliminated. Therefore, a uniform film can be obtained by a simple operation without requiring complicated equipment and special members. A thick light transmission layer can be formed.
[0046]
The object of the present invention is also to apply a liquid radiation curable resin by spin coating on the surface of a data recording unit having a center hole formed in the central portion and having a substrate and a recording layer, and to form a light transmission layer. A spin coating apparatus for forming the cap, a cap temperature control apparatus for closing the center hole of the data recording unit, and maintaining a temperature of a cap on which the radiation curable resin is discharged at a set temperature, and the spin coating apparatus. A film thickness measuring device for measuring the film thickness of the formed light transmission layer, and controlling the set temperature of the cap temperature control device according to the film thickness distribution of the light transmission layer measured by the film thickness measurement device This is achieved by an optical recording disk manufacturing system comprising a preset temperature control means.
[0047]
According to the present invention, the optical recording disk manufacturing system applies a liquid radiation curable resin by spin coating to the surface of a data recording unit having a center hole formed in the center and having a substrate and a recording layer. A spin coating device for forming a light transmission layer, a cap temperature control device for closing the center hole of the data recording unit and holding the temperature of the cap on which the radiation curable resin is discharged on the set temperature, and a spin A film thickness measuring device for measuring the film thickness of the light transmissive layer formed by the coating device, and the set temperature of the cap temperature control device is controlled according to the film thickness distribution of the light transmissive layer measured by the film thickness measuring device. Because it has a set temperature control means, the temperature of the data recording unit drops for some reason, or on the data recording unit When the film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device increases toward the peripheral edge of the data recording unit due to the increase in the temperature of the radiation curable resin to be developed. In accordance with the film thickness distribution pattern of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device, the temperature control means simply prevents the film thickness of the light transmission layer formed by spin coating from becoming uneven. By setting the set temperature T of the cap temperature control device that keeps the temperature of the cap that closes the center hole used for the setting temperature T to a low temperature by ΔT, liquid radiation discharged on the cap is cured. The temperature of the photosensitive resin can be controlled to be the same as the temperature of the data recording unit, thus forming a light transmission layer having a uniform film thickness distribution. While the temperature of the data recording unit and the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit are the same, the liquid radiation curable resin The thickness of the light-transmitting layer measured by the film thickness measuring device increases toward the peripheral edge of the data recording unit due to being cooled by the outside air as it is developed on the surface of the data recording unit. When the thickness of the light transmission layer is increased, the film thickness distribution of the light transmission layer measured by the film thickness measurement device is simply set by the set temperature control means so that the film thickness of the light transmission layer formed by spin coating is The set temperature T of the cap temperature control device that keeps the temperature of the cap that closes the center hole used to prevent it from becoming uniform at the set temperature is set to ΔT, The liquid radiation curable resin discharged on the cap is cooled to a temperature lower than the temperature of the data recording unit, and the liquid is developed as it is developed on the surface of the data recording unit. The temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled so that the radiation curable resin is heated by the data recording unit, so that the liquid radiation curable resin is spread on the surface of the data recording unit As it becomes possible, it is possible to effectively prevent the viscosity from changing, so that the unevenness of the thickness of the light-transmitting layer can be eliminated by a simple operation without requiring complicated equipment. It is possible to form a light transmission layer having a uniform thickness distribution.
[0048]
Further, according to the present invention, the optical recording disk manufacturing system includes a liquid radiation curable resin formed by spin coating on the surface of a data recording unit having a center hole formed in the center and having a substrate and a recording layer. A spin coating device for forming a light transmission layer by coating the cap, and a cap temperature control device for closing the center hole of the data recording unit and holding the temperature of the cap on which the radiation curable resin is discharged on the set temperature. The film thickness measuring device for measuring the thickness of the light transmitting layer formed by the spin coating device and the set temperature of the cap temperature control device according to the film thickness distribution of the light transmitting layer measured by the film thickness measuring device Since the temperature control means for controlling is provided, the temperature of the data recording unit rises for some reason, or the data recording unit The film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device decreases toward the peripheral edge of the data recording unit due to the decrease in the temperature of the radiation curable resin to be developed on the substrate. The film thickness distribution of the light transmission layer formed by spin coating is simply non-uniform by the set temperature control means according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer measured by the film thickness measurement device. By setting the set temperature T of the cap temperature control device that keeps the temperature of the cap that closes the center hole used to prevent this to the set temperature T, the liquid is discharged onto the cap by setting the set temperature T higher by ΔT. The temperature of the radiation curable resin can be controlled to be the same as the temperature of the data recording unit, and thus the light transmission layer having a uniform film thickness distribution can be obtained. While the temperature of the data recording unit and the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit are the same, the liquid radiation curable resin As the film is developed on the surface of the data recording unit, the film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device is increased at the peripheral portion of the data recording unit due to heating by the outside air. When it is decreasing, the film thickness of the light transmission layer formed simply by spin coating is set by the set temperature control means according to the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer measured by the film thickness measurement device. The set temperature T of the cap temperature control device that holds the temperature of the cap that closes the center hole used to prevent non-uniformity at the set temperature is ΔT By setting the temperature higher, the liquid radiation curable resin discharged on the cap is heated to a temperature higher than the temperature of the data recording unit and developed on the surface of the data recording unit. Therefore, the temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled so that the liquid radiation curable resin is cooled by the data recording unit, and therefore the liquid radiation curable resin is placed on the surface of the data recording unit. Therefore, it is possible to effectively prevent the viscosity from changing as the film is developed, thus eliminating unevenness in the thickness of the light-transmitting layer with a simple operation without requiring complicated equipment. It is possible to form a light transmission layer having a uniform film thickness distribution.
[0049]
In a preferred embodiment of the present invention, the set temperature control means includes a viscosity at a reference temperature of the radiation curable resin, a film thickness distribution pattern of the light transmission layer, and a change ΔT in the temperature T of the cap. The reference data indicating the relationship between the cap temperature T and the change amount ΔT of the cap temperature T is determined according to the thickness distribution of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device based on the reference data. The set temperature T of the cap temperature control device is controlled so that the temperature T of the cap changes by the change ΔT of the temperature T.
[0050]
According to a preferred embodiment of the present invention, the set temperature control means determines the relationship between the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin, the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer, and the change ΔT in the temperature T of the cap. The reference data to be stored is stored, and based on the reference data, the change ΔT in the temperature T of the cap is determined according to the film thickness distribution of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device, and the change ΔT in the determined temperature T is determined. However, since the temperature T of the cap temperature control device is controlled so that the temperature T of the cap changes, the temperature of the data recording unit decreases for some reason, or on the data recording unit. The film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device is directed toward the peripheral portion of the data recording unit due to the rise in the temperature of the radiation curable resin to be developed. In the case of increasing, based on the reference data, the light transmission formed simply by spin coating is performed by the set temperature control means according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device. Light measured by the film thickness measuring device for the set temperature T of the cap temperature control device that maintains the temperature of the cap that closes the center hole used to prevent the layer thickness from becoming nonuniform. By setting the temperature as low as the change ΔT corresponding to the film thickness distribution pattern of the transmission layer, the temperature of the liquid radiation curable resin discharged onto the cap becomes the same as the temperature of the data recording unit. Therefore, it is possible to form a light transmission layer having a uniform film thickness distribution, while the temperature of the data recording unit And the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit is the same as the temperature of the liquid radiation curable resin being developed on the surface of the data recording unit. When the film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device increases toward the peripheral edge of the data recording unit due to being cooled by the film based on the reference data, In order to prevent the non-uniform thickness of the light transmissive layer formed by spin coating simply by the set temperature control means according to the pattern of the film thickness distribution of the light transmissive layer measured by the thickness measuring device. The set temperature T of the cap temperature control device that keeps the temperature of the cap that closes the used center hole at the set temperature is measured by the film thickness measuring device. By setting the temperature as low as the change ΔT corresponding to the thickness distribution pattern, the liquid radiation curable resin discharged on the cap is cooled to a temperature lower than the temperature of the data recording unit, and data recording is performed. The temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled so that the liquid radiation curable resin is warmed by the data recording unit as it is deployed on the surface of the unit, and thus the liquid radiation curable resin As the functional resin is developed on the surface of the data recording unit, it is possible to effectively prevent the viscosity from changing, so that light can be easily operated without requiring complicated equipment. It is possible to eliminate the uneven thickness of the transmission layer and form a light transmission layer having a uniform thickness distribution.
[0051]
Furthermore, according to a preferred embodiment of the present invention, the set temperature control means includes the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin, the film thickness distribution pattern of the light transmission layer, and the change ΔT in the temperature T of the cap. Reference data indicating the relationship is stored, and based on the reference data, the change ΔT in the cap temperature T is determined in accordance with the film thickness distribution of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device, and the change in the determined temperature T is determined. Since it is configured to control the set temperature T of the cap temperature control device so that the temperature T of the cap changes by the amount ΔT, the temperature of the data recording unit rises for some reason, or the data recording The film thickness of the light transmissive layer measured by the film thickness measuring device due to the decrease in the temperature of the radiation curable resin to be developed on the unit is the periphery of the data recording unit. When it is decreasing, it is simply formed by spin coating by the set temperature control means according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device based on the reference data. The set temperature T of the cap temperature control device that holds the temperature of the cap that closes the center hole used to prevent the non-uniform thickness of the light transmitting layer at the set temperature T is measured by the film thickness measuring device. The temperature of the liquid radiation curable resin discharged on the cap is set to be the same as the temperature of the data recording unit by setting the temperature higher by a change ΔT corresponding to the pattern of the thickness distribution of the light transmitting layer. Therefore, it becomes possible to form a light transmission layer having a uniform film thickness distribution, while the data recording unit And the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit is the same as the temperature of the liquid radiation curable resin is developed on the surface of the data recording unit. When the film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device decreases toward the peripheral edge of the data recording unit due to heating by the outside air, the reference data Based on the film thickness distribution pattern of the light transmission layer measured by the film thickness measurement device, the set temperature control means simply prevents the film thickness of the light transmission layer formed by spin coating from becoming uneven. The set temperature T of the cap temperature control device that keeps the temperature of the cap that closes the center hole used for the control is the light transmission measured by the film thickness measuring device. By setting the temperature high by the change ΔT corresponding to the pattern of the layer thickness distribution, the liquid radiation curable resin discharged on the cap is heated to a temperature higher than the temperature of the data recording unit. The temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled so that the liquid radiation curable resin is cooled by the data recording unit as it is developed on the surface of the data recording unit. As the radiation curable resin can be effectively prevented from changing its viscosity as it is spread on the surface of the data recording unit, it is easy to operate without requiring complicated equipment. Thus, it is possible to eliminate the uneven thickness of the light transmitting layer and form a light transmitting layer having a uniform thickness distribution.
[0052]
In a further preferred embodiment of the present invention, when the film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device increases toward the peripheral part of the data recording unit, the set temperature control is performed. The means is based on the reference data indicating the relationship between the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin, the film thickness distribution pattern of the light transmission layer, and the change ΔT in the temperature T of the cap. A change ΔT in the cap temperature T is determined according to the film thickness distribution of the light transmission layer measured by a measuring device, and the cap temperature T is lowered by the determined change ΔT in the temperature T. The cap temperature control device is configured to control a set temperature T.
[0053]
According to a further preferred embodiment of the present invention, when the film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device increases toward the peripheral portion of the data recording unit, the set temperature control means is Light transmission measured by a film thickness measurement device based on reference data indicating the relationship between the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin, the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer, and the change ΔT in the temperature T of the cap. A change amount ΔT of the cap temperature T is determined according to the layer thickness distribution, and the set temperature T of the cap temperature control device is controlled so that the cap temperature T is lowered by the determined change amount T of the temperature T. The temperature of the data recording unit has decreased for some reason, or the temperature of the radiation curable resin to be developed on the data recording unit has increased. As a result, when the film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device increases toward the peripheral portion of the data recording unit, it was measured by the film thickness measuring device based on the reference data. According to the thickness distribution pattern of the light transmission layer, a cap that plugs the center hole used to prevent the film thickness of the light transmission layer formed simply by spin coating from becoming non-uniform by the set temperature control means. The set temperature T of the cap temperature control device that keeps the temperature at the set temperature T is set to a low temperature by a change ΔT corresponding to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device. The temperature of the liquid radiation curable resin discharged on the cap can be controlled to be the same as the temperature of the data recording unit, and therefore It is possible to form a light transmission layer having a uniform film thickness distribution, while the temperature of the data recording unit and the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit are the same. Nevertheless, the liquid radiation curable resin is cooled by the outside air as it is spread on the surface of the data recording unit, and thus the light transmission layer measured by the film thickness measuring device is used. When the film thickness increases toward the peripheral edge of the data recording unit, the set temperature control means according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device based on the reference data By simply setting the temperature of the cap that closes the center hole used to prevent the non-uniform thickness of the light transmissive layer formed by spin coating By setting the set temperature T of the cap temperature control device to be kept at a low temperature by a change ΔT corresponding to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device, As the discharged liquid radiation curable resin is cooled to a temperature lower than the temperature of the data recording unit and spread on the surface of the data recording unit, the liquid radiation curable resin is added by the data recording unit. The temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled as it is warmed, so that its viscosity changes as the liquid radiation curable resin is spread on the surface of the data recording unit. Therefore, it is possible to prevent the unevenness of the thickness of the light-transmitting layer with a simple operation without requiring complicated equipment. A light transmission layer having a thickness distribution can be formed.
[0054]
In a further preferred aspect of the present invention, when the film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device decreases toward the peripheral edge of the data recording unit, the set temperature control is performed. The means is based on the reference data indicating the relationship between the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin, the film thickness distribution pattern of the light transmission layer, and the change ΔT in the temperature T of the cap. In accordance with the film thickness distribution of the light transmission layer measured by the measuring device, a change amount ΔT of the cap temperature T is determined, and the temperature T of the cap is increased by the determined change amount ΔT of the temperature T. The cap temperature control device is configured to control a set temperature T.
[0055]
According to a further preferred embodiment of the present invention, when the film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device decreases toward the peripheral edge of the data recording unit, the set temperature control means is Light transmission measured by a film thickness measurement device based on reference data indicating the relationship between the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin, the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer, and the change ΔT in the temperature T of the cap. The change amount ΔT of the cap temperature T is determined according to the layer thickness distribution, and the set temperature T of the cap temperature control device is controlled so that the cap temperature T is increased by the determined change amount ΔT of the temperature T. The temperature of the data recording unit has increased for some reason, or the temperature of the radiation curable resin to be developed on the data recording unit has decreased. As a result, when the film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device decreases toward the peripheral edge of the data recording unit, it was measured by the film thickness measuring device based on the reference data. According to the thickness distribution pattern of the light transmission layer, a cap that plugs the center hole used to prevent the film thickness of the light transmission layer formed simply by spin coating from becoming non-uniform by the set temperature control means. The set temperature T of the cap temperature control device that keeps the temperature at the set temperature T is set to a high temperature by a change ΔT corresponding to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device. The temperature of the liquid radiation curable resin discharged on the cap can be controlled to be the same as the temperature of the data recording unit, and therefore It is possible to form a light transmission layer having a uniform film thickness distribution, while the temperature of the data recording unit and the temperature of the liquid radiation curable resin to be developed on the data recording unit are the same. Nevertheless, the light transmission layer measured by the film thickness measuring device due to the liquid radiation curable resin being heated by the outside air as it is spread on the surface of the data recording unit. When the film thickness decreases toward the periphery of the data recording unit, set temperature control is performed according to the pattern of the light transmission layer film thickness distribution measured by the film thickness measuring device based on the reference data. By simply setting the temperature of the cap that closes the center hole used to prevent the non-uniform thickness of the light transmissive layer formed by spin coating By setting the set temperature T of the cap temperature control device to be kept at a high temperature by a change ΔT corresponding to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device, As the discharged liquid radiation curable resin is heated to a temperature higher than the temperature of the data recording unit and developed on the surface of the data recording unit, the liquid radiation curable resin is absorbed by the data recording unit. The temperature of the liquid radiation curable resin can be controlled so that it cools, so that its viscosity changes as the liquid radiation curable resin is spread on the surface of the data recording unit. Therefore, it is possible to prevent the unevenness of the thickness of the light-transmitting layer with a simple operation without requiring complicated equipment. A light transmission layer having a thickness distribution can be formed.
[0056]
In the present invention, as the radiation curable resin, an ultraviolet curable resin, an electron beam curable resin, or the like is preferably used.
[0057]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[0058]
FIG. 1 is a schematic perspective view of an optical recording disk 1 to be manufactured by an optical recording disk manufacturing method according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic enlarged view of a portion indicated by A in FIG. It is sectional drawing.
[0059]
As shown in FIG. 1, an optical recording disk 1 to be manufactured by the method of manufacturing an optical recording disk according to this embodiment includes a substrate 2 formed of polycarbonate or the like, and a side of the substrate 2 on which light should be incident. A recording layer 3 formed by sputtering or the like and a light transmission layer 4 formed on the recording layer 3 are provided on the surface.
[0060]
As shown in FIG. 2, a groove 5 is formed on the surface of the substrate 2 on the light incident side by a stamper when the substrate 2 is formed by injection molding.
[0061]
The light transmissive layer 4 is formed by forming a coating film of a liquid ultraviolet curable resin on the recording layer 3 formed on the substrate 2 by spin coating, and irradiating the coating film with ultraviolet rays to form an ultraviolet curable resin. It is formed by curing.
[0062]
As shown in FIG. 1, a center hole 6 for setting the optical recording disk 1 in a recording / reproducing device is formed at the center of the optical recording disk 1, and the optical recording disk is disposed outside the center hole 6. 1 is formed in the recording / reproducing apparatus, and the recording layer 3 and the light transmission layer 4 are not formed in the clamping region 7.
[0063]
FIG. 3 is a block diagram of an optical recording disk manufacturing system according to a preferred embodiment of the present invention.
[0064]
As shown in FIG. 3, the optical recording disk manufacturing system 10 according to this embodiment includes a substrate 2 formed of polycarbonate or the like and a data recording unit including a recording layer 3 formed on the surface of the substrate 2. In addition, a spin coating apparatus 11 for forming a light transmissive layer 4 by forming a coating film of an ultraviolet curable resin by spin coating, irradiating the formed coating film with ultraviolet rays, curing the ultraviolet curable resin, and A light transmission layer formed by the spin coating device 11, which includes a cap temperature control device 12 that controls the temperature of a cap (not shown) that closes the center hole 6 of the data recording unit during spin coating, and a laser focus displacement meter. 4 for controlling the operation of the entire optical recording disk manufacturing system. It is equipped with a Control Unit 14.
[0065]
In this embodiment, the spin coating device 11, the cap temperature control device 12, and the film thickness measuring device 13 are an injection molding device (not shown) for the substrate 2 and a coating liquid tank (not shown) that contains an ultraviolet curable resin. ) And is housed in one room where the temperature is controlled.
[0066]
4 is a schematic perspective view of a spin coating apparatus 11 constituting an optical recording disk manufacturing system according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of the spin coating apparatus 11 shown in FIG. It is.
[0067]
As shown in FIGS. 4 and 5, the spin coating apparatus 11 constituting the optical recording disk 1 manufacturing system according to this embodiment includes a stage 21 having a diameter substantially equal to the diameter of the optical recording disk 1, A first protrusion 22 provided at the center and a second protrusion 23 provided at the center of the first protrusion 22 are provided.
[0068]
The stage 21, the first projecting portion 22, and the second projecting portion 23 are configured to rotate integrally by a stage rotating mechanism (not shown).
[0069]
As shown in FIGS. 4 and 5, the first protrusion 22 is a portion on which a region corresponding to the clamp region 7 of the data recording unit including the substrate 2 and the recording layer 3 is placed, and its surface A plurality of first air inlets 24 are formed. A first air intake mechanism (not shown) is connected to the plurality of first air intake ports 24, and the data recording unit placed on the first protrusion 22 by operating the first air intake mechanism. Is sucked by the surface of the first protrusion 22 and fixed on the stage 21.
[0070]
The second protrusion 23 corresponds to the diameter of the center hole 6 of the optical recording disk 1 to be manufactured, and when the data recording unit is placed on the first protrusion 22, the data recording unit The second protrusion 23 is inserted into the center hole 6.
[0071]
As shown in FIGS. 4 and 5, a second intake port 25 is formed at the center of the second protrusion 23, and a second intake mechanism (not shown) is formed in the second intake port 25. Connected).
[0072]
Although not shown in FIGS. 4 and 5, the spin coating apparatus 11 further includes a flexible suction pad at the tip, and sucks and holds the clamp area 7 of the data recording unit. An ultraviolet curable resin coating film is formed by spin coating on the stage 21 of the apparatus 11, and the clamp area 7 of the generated optical recording disk 1 is sucked and held, from the spin coating apparatus 11. The first arm transported to the film thickness measuring device 13 and the cap are held and placed at a predetermined position on the data recording unit set on the stage 21, and the cap is subjected to ultraviolet light by spin coating. A second arm that is removed from the optical recording disk 1 formed with a coating film of a curable resin, and an ultraviolet hard Sex resin, and a discharge nozzle for discharging onto the cap.
[0073]
FIG. 6 is a block diagram of a control system and a drive system of the spin coating apparatus 11.
[0074]
As shown in FIG. 6, the control system of the spin coating apparatus 11 includes a controller 30 that controls the operation of the entire spin coating apparatus 11.
[0075]
Further, the drive system of the spin coating apparatus 11 sucks and conveys the stage rotating mechanism 31 that rotates the stage 21, the first intake mechanism 32, the second intake mechanism 33, and the data recording unit. The first arm moving means 35 for moving the arm 34, the second arm moving means 37 for moving the second arm 36 that holds the cap and conveys it, and the discharge nozzle 38 are UV-cured on the cap. The nozzle driving means 39 for discharging the liquid ultraviolet curable resin from the discharge nozzle 38, and the ultraviolet lamp 40 are moved between a discharge position where the photosensitive resin can be discharged and a retreat position retracted from the stage 21. I have.
[0076]
When the optical recording disk 1 is manufactured by the spin coating apparatus 11 configured as described above, first, a first drive signal is output from the controller 30 to the first arm moving means 35, The data recording unit including the recording layer 3 formed on the substrate 2 by sputtering or the like is sucked by a suction pad (not shown) of the first arm 34 and is placed on the stage 21 of the spin coating apparatus 11. Set.
[0077]
In the data recording unit, the clamp area 7 is sucked and conveyed by the first arm 34, the recording layer 3 is positioned above, and the second protrusion 23 is fitted into the center hole 6. , And set on the stage 21 of the spin coating apparatus 11.
[0078]
When the data recording unit is set on the stage 21 of the spin coating apparatus 10, a retreat signal is output from the controller 30 to the first arm moving means 35, and the first arm 34 is retreated from the stage 21. At the same time, an operation signal is output from the controller 30 to the first intake mechanism 32, the first intake mechanism 32 is operated, and the data recording unit 50 placed on the first protrusion 22 is 1 is sucked to the surface of the protruding portion 22 and fixed on the stage 21.
[0079]
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing a state in which the data recording unit 50 is fixed on the stage 21 of the spin coating apparatus 11.
[0080]
Next, a first drive signal is output from the controller 30 to the second arm moving means 37, and the cap controlled to a predetermined temperature by the cap temperature control device 12 is moved to the stage by the second arm 36. 21 is placed at a predetermined position on the data recording unit 50 set on 21.
[0081]
FIG. 8 is a schematic perspective view of the cap, and FIG. 9 is a schematic central sectional view of the cap shown in FIG.
[0082]
As shown in FIGS. 8 and 9, the cap 55 used in the present embodiment is formed on an umbrella portion 56 having a substantially circular planar shape and a substantially trapezoidal side projection, and a top surface of the umbrella portion 56. The support shaft 57 extending in the axial direction of the umbrella portion 56 from the center of the top surface of the umbrella portion 56 and the bottom surface of the umbrella portion 56 and extending in the axial direction of the umbrella portion 56 from the center of the bottom surface of the umbrella portion 56. A substantially cylindrical protrusion 58 is provided.
[0083]
As shown in FIGS. 8 and 9, when the ultraviolet curable resin is applied on the surface of the data recording unit 50 by spin coating, the ultraviolet curable resin is caused by the capillarity of the umbrella portion 56 of the cap 55. In order to prevent entry between the bottom surface and the substrate 2, a recess 56 a is formed on the bottom surface of the umbrella portion 56 of the cap 55.
[0084]
The cap 55 is made of metal.
[0085]
The diameter of the umbrella portion 56 is set to be larger than the diameter of the center hole 6 of the optical recording disk 1 to be manufactured and equal to or smaller than the outer diameter of the clamp region 7 of the optical recording disk 1 to be manufactured.
[0086]
Further, the protrusion 58 of the cap 55 is formed so that its diameter is slightly smaller than the inner diameter of the second air inlet 25 of the spin coating apparatus 11.
[0087]
The cap 55 is configured so that the support shaft 57 is gripped and transported by the second arm 36, and when the cap 55 is placed on the data recording unit 50 set on the stage 21, the protrusion 58. Is configured to fit into the second air inlet 25 of the spin coating apparatus 11 and be positioned at a predetermined position.
[0088]
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing a state in which the cap 55 is set at a predetermined position on the data recording unit 50 set on the stage 21.
[0089]
When the cap 55 is set on the data recording unit 50, a retraction signal is output from the controller 30 to the second arm moving means 37, and the second arm 36 is retreated from the stage 21, and at the same time. Then, an operation signal is output from the controller 30 to the second intake mechanism 33, the second intake mechanism 33 is operated, and the protrusion of the cap 55 that is fitted to the second intake port 25 of the spin coating apparatus 11 The portion 58 is sucked and the cap 55 is fixed on the data recording unit 50.
[0090]
When the second intake mechanism 33 is activated and the cap 55 is fixed on the data recording unit 50, the controller 30 outputs a first drive signal to the stage rotation mechanism 31, and the stage rotation mechanism 31 is Actuated, the stage 21, the first protrusion 22 and the second protrusion 23 are integrally rotated at a low speed. As a result, the data recording unit 50 fixed to the stage 21 and the cap 55 fixed on the data recording unit 50 are also integrated with the stage 21, the first protrusion 22, and the second protrusion 23. Is rotated at low speed.
[0091]
Next, a first drive signal is output from the controller 30 to the nozzle drive means 39, and the discharge nozzle 38 is capable of discharging liquid ultraviolet curable resin onto the cap 55 fixed on the data recording unit 50. Then, the controller 30 outputs a discharge signal to the nozzle drive means 39, and the liquid UV curable resin 60 is supplied from the discharge nozzle 38 to the vicinity of the support shaft 57 as shown in FIG. Is discharged onto the top surface of the umbrella portion 56.
[0092]
When the liquid ultraviolet curable resin 60 is discharged to the top surface of the umbrella portion 56 near the support shaft 57 of the cap 55, a second drive signal is output from the controller 30 to the stage rotating mechanism 31, By the stage rotating mechanism 31, the stage 21, the first protrusion 22 and the second protrusion 23, the data recording unit 30 fixed to the stage 21, and the cap 35 fixed on the data recording unit 30 are integrated. As it is rotated at high speed.
[0093]
As a result, the liquid ultraviolet curable resin 60 discharged to the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 is recorded in the data recording unit 50 toward the peripheral portion of the data recording unit 50 by the centrifugal force generated by the rotation. As shown in FIG. 12, a thin film of ultraviolet curable resin 60 having a predetermined thickness, for example, 100 μm, is formed on the recording layer 3 of the data recording unit 50. .
[0094]
When a thin film of the ultraviolet curable resin 60 is formed on the recording layer 3 of the data recording unit 50, a drive signal is output from the controller 30 to the ultraviolet lamp 40.
[0095]
As a result, the ultraviolet lamp 40 is turned on, and as shown in FIG. 13, the ultraviolet ray 41 is irradiated to the thin film of the ultraviolet curable resin 60 formed on the recording layer 3 of the data recording unit 50, and the data recording unit. The thin film of the ultraviolet curable resin 60 formed on the 50 recording layers 3 is cured.
[0096]
Thus, when the thin film of the ultraviolet curable resin 60 is cured to some extent, a drive stop signal is output from the controller 30 to the ultraviolet lamp 40, the ultraviolet lamp 40 is turned off, and the stage rotation mechanism from the controller 30. A drive stop signal is output to 31 and the operation of the stage rotating mechanism 31 is stopped. Further, an operation stop signal is output from the controller 30 to the second intake mechanism 33, and the operation of the second intake mechanism 33 is performed. Stopped.
[0097]
Next, a second drive signal is output from the controller 30 to the second arm moving means 37, the support shaft 57 of the cap 55 is gripped by the second arm 36, and the cap 55 is placed on the data recording unit 50. Removed from.
[0098]
When the cap 55 is removed from the data recording unit 50, the controller 30 again outputs a drive signal to the ultraviolet lamp 40, the ultraviolet lamp 40 is turned on, and the ultraviolet light 41 is applied to the recording layer 3 of the data recording unit 50. The thin film of the ultraviolet curable resin 60 formed on is irradiated.
[0099]
When the thin film of the ultraviolet curable resin 60 formed on the recording layer 3 of the data recording unit 50 is completely cured, the light transmission layer 4 is formed, and the optical recording disk 1 is generated, the controller 30 generates an ultraviolet ray. A drive stop signal is output to the lamp 40, the ultraviolet lamp 40 is turned off, and a drive stop signal is output to the first intake mechanism 32, so that the operation of the first intake mechanism 32 is stopped.
[0100]
Next, the controller 30 outputs a second drive signal to the first arm moving means 35, and the clamp area 7 of the optical recording disk 1 is sucked by the suction pad (not shown) of the first arm 34. Then, the optical recording disk 1 is transferred from the spin coating apparatus 11 to the film thickness measuring apparatus 13 by the first arm 34, and the film thickness distribution of the light transmission layer 4 formed on the optical recording disk 1 is measured. .
[0101]
In FIG. 14, a liquid ultraviolet curable resin 60 is discharged onto the top surface of the cap 55, and a thin film of the ultraviolet curable resin 60 is formed on the data recording unit 50 by the spin coating device 11. The data recording unit 50, the cap 55, and the liquid ultraviolet curable resin 60 are used until the ultraviolet curable resin 60 is cured by irradiating the thin film with the ultraviolet ray 41 to form the light transmission layer 4. It is a schematic sectional view showing the film thickness distribution of the light transmission layer 4 when kept at the completely same temperature.
[0102]
As shown in FIG. 14, a liquid ultraviolet curable resin 60 is discharged onto the top surface of the cap 55, and a thin film of the ultraviolet curable resin 60 is formed on the data recording unit 50 by the spin coating device 11. The data recording unit 50, the cap 55, and the liquid ultraviolet curable resin are used until the thin film of the curable resin 60 is irradiated with the ultraviolet rays 41 to cure the ultraviolet curable resin 60 and form the light transmission layer 4. 60 is kept at the same temperature, the thickness distribution of the light transmission layer 4 formed on the optical recording disk 1 is uniform.
[0103]
However, even when the temperatures of the substrate 2, the cap 55, and the liquid ultraviolet curable resin 60 are controlled to be the same in advance, the liquid ultraviolet curable resin 60 is discharged onto the top surface of the cap 55. The thin film of the ultraviolet curable resin 60 is formed on the data recording unit 50 by the spin coating device 11, and the ultraviolet curable resin 60 is cured by irradiating the thin film of the ultraviolet curable resin 60 with the ultraviolet light 41. In practice, it is extremely difficult to keep the data recording unit 50, the cap 55, and the liquid UV curable resin 60 at the same temperature until the transmission layer 4 is formed. The temperature of the liquid UV curable resin 60 to be developed with the data recording unit 50 and the data recording unit 50 facing the periphery of the data recording unit 50 The temperature of the liquid ultraviolet curable resin 60 to be developed is the same due to the fact that they are not the same, or on the data recording unit 50 and the data recording unit 50 toward the peripheral edge of the data recording unit 50. Despite being present, the liquid ultraviolet curable resin 60 is cooled or heated by the outside air when the data recording unit 50 is expanded toward the peripheral edge of the data recording unit 50. Therefore, it often occurs that the film thickness distribution of the light transmission layer 4 formed on the optical recording disk 1 becomes non-uniform by the spin coating apparatus 11.
[0104]
In FIG. 15, the temperature of the liquid ultraviolet curable resin 60 to be developed by the spin coating apparatus 11 toward the peripheral portion of the data recording unit 50 on the data recording unit 50 is higher than the temperature of the data recording unit 50. Or the temperature of the liquid UV curable resin 60 to be developed and the temperature of the data recording unit 50 are the same with the data recording unit 50 facing the periphery of the data recording unit 50. Regardless, it is a schematic cross-sectional view showing the film thickness distribution of the light transmission layer 4 when it is cooled by outside air when the liquid ultraviolet curable resin 60 is developed.
[0105]
When the liquid UV curable resin 60 is developed on the data recording unit 50 by the spin coating apparatus 11, the temperature of the data recording unit 50 decreases for some reason, or the data recording unit 50 is developed. When the temperature of the liquid ultraviolet curable resin 60 to be applied rises and the temperature of the liquid ultraviolet curable resin 60 to be developed on the data recording unit 50 is higher than the temperature of the data recording unit 50, The liquid ultraviolet curable resin 60 discharged to the top surface of the cap 55 is cooled by the data recording unit 50 as it is developed on the data recording unit 50 toward the peripheral portion of the data recording unit 50, That temperature drops.
[0106]
As a result, as the liquid ultraviolet curable resin 60 is developed on the data recording unit 50 toward the peripheral portion of the data recording unit 50, the viscosity of the liquid ultraviolet curable resin 60 increases. As shown, the thickness of the light transmission layer 4 increases toward the peripheral edge of the data recording unit 50.
[0107]
In addition, when the liquid ultraviolet curable resin 60 is developed on the data recording unit 50 by the spin coating apparatus 11, the temperature of the liquid ultraviolet curable resin 60 to be developed on the data recording unit 50; Even when the temperature of the data recording unit 50 is kept the same, when the liquid ultraviolet curable resin 60 is cooled by the outside air when it is developed on the data recording unit 50, the liquid recording medium 50 is liquid. As the ultraviolet curable resin 60 is developed on the data recording unit 50 toward the peripheral edge of the data recording unit 50, the viscosity of the liquid ultraviolet curable resin 60 increases, as shown in FIG. The film thickness of the light transmission layer 4 increases toward the peripheral edge of the data recording unit 50.
[0108]
On the other hand, when the liquid ultraviolet curable resin 60 is developed on the data recording unit 50 by the spin coating apparatus 11, the temperature of the data recording unit 50 rises for some reason, or the data recording unit 50 The temperature of the liquid UV curable resin 60 to be developed on the unit 50 is lowered, and the temperature of the liquid UV curable resin 60 to be developed on the data recording unit 50 is lower than the temperature of the data recording unit 50. When it is low, the liquid ultraviolet curable resin 60 discharged to the top surface of the cap 55 is developed on the data recording unit 50 toward the peripheral edge of the data recording unit 50, and the data recording unit 50. To increase the temperature.
[0109]
Therefore, as the liquid ultraviolet curable resin 60 is developed on the data recording unit 50 toward the peripheral portion of the data recording unit 50, the viscosity of the liquid ultraviolet curable resin 60 becomes lower. As shown in FIG. 16, the film thickness of the light transmission layer 4 decreases toward the periphery of the data recording unit 50.
[0110]
In addition, when the liquid ultraviolet curable resin 60 is developed on the data recording unit 50 by the spin coating apparatus 11, the temperature of the liquid ultraviolet curable resin 60 to be developed on the data recording unit 50; Even when the temperature of the data recording unit 50 is kept the same, when the liquid ultraviolet curable resin 60 is heated by the outside air when it is developed on the data recording unit 50, it is liquid. As the ultraviolet curable resin 60 is developed on the data recording unit 50 toward the peripheral edge of the data recording unit 50, the viscosity of the liquid ultraviolet curable resin 60 decreases, as shown in FIG. Furthermore, the film thickness of the light transmission layer 4 decreases toward the peripheral edge of the data recording unit 50.
[0111]
According to the research of the present inventor, when the film thickness distribution of the light transmission layer 4 is not uniform, if the viscosity of the ultraviolet curable resin 60 at the reference temperature, for example, 25 ° C. is the same, regardless of the cause. By changing the temperature T of the cap 55 by a predetermined change ΔT according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer 4, the temperature of the ultraviolet curable resin 60 in which the data recording unit 50 is developed is kept constant. It is found that the light transmission layer 4 having a uniform film thickness distribution can be formed by controlling the optical recording disk 1 according to the present embodiment. The film thickness distribution of the light transmission layer 4 formed by the coating apparatus 11 is measured by the film thickness measurement apparatus 13, and the film thickness distribution pattern of the light transmission layer 4 measured by the film thickness measurement apparatus 13 is measured. The control unit 14 lowers or raises the temperature T of the cap 55 controlled by the cap temperature control device 12 based on the temperature, and cools the liquid ultraviolet curable resin 60 discharged to the top surface by the cap 55. Alternatively, the liquid ultraviolet curable resin 60 is directed toward the peripheral portion of the data recording unit 50 by heating and expanding the data recording unit 50 toward the peripheral portion of the data recording unit 50. The liquid UV curable resin 60 is controlled so that the viscosity of the liquid UV curable resin 60 is kept constant while the data recording unit 50 is developed, and the light transmission layer 4 having a uniform film thickness distribution is formed on the optical recording disk 1. Is configured to do.
[0112]
That is, the optical recording disk 1 on which the light transmission layer 4 is formed by the spin coating device 11 is transferred to the film thickness measuring device 13 by the first arm 34, and the optical focus is measured by a laser focus displacement meter (not shown). The film thickness distribution of the light transmission layer 4 formed on the recording disk 1 is measured.
[0113]
The film thickness distribution of the light transmission layer 4 measured by the film thickness measuring device 13 is output to the control unit 14.
[0114]
In this embodiment, the relationship between the viscosity at the reference temperature of the ultraviolet curable resin 60, the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer 4 and the change ΔT of the temperature T of the cap 55 to be changed is experimentally determined in advance. Then, it is stored in a RAM (not shown) of the control unit 14 in the form of a table or a relational expression.
[0115]
Therefore, the control unit 14 accesses the RAM based on the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer 4 input from the film thickness measuring device 13, and caps the cap based on the table or relational expression stored in the RAM. A change amount ΔT of the temperature T of 55 is determined, and a cap temperature setting signal is output to the cap temperature control device 12.
[0116]
As shown in FIG. 15, when the film thickness of the light transmission layer 4 increases toward the peripheral edge of the data recording unit 50, and hence the peripheral edge of the optical recording disk 1, the control unit 14 The setting of the cap 55 controlled by the cap temperature control device 12 by the determined temperature change ΔT according to the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer 4 based on the table or relational expression stored in the RAM. Reduce the temperature.
[0117]
As a result, the set temperature of the cap 55 is adjusted to a temperature that is lower than the temperature of the data recording unit 50 by ΔT, and the liquid ultraviolet ray cured from the ejection nozzle 38 in the vicinity of the support shaft 57 at the top of the cap 55 is cured. The functional resin 60 is cooled by the cap 55 and then developed on the data recording unit 50.
[0118]
Therefore, for some reason, the temperature of the data recording unit 50 decreases, or the temperature of the ultraviolet curable resin 60 to be developed on the surface of the data recording unit 50 increases, and the temperature of the data recording unit 50 becomes The temperature of the liquid ultraviolet curable resin 60 to be developed on the surface of the data recording unit 50 is lower than the temperature of the liquid ultraviolet curable resin 60 to be developed. When the film is cooled by the data recording unit 50, the viscosity increases and the film thickness of the light transmission layer 4 increases toward the peripheral edge of the data recording unit 50. The liquid UV curable resin 60 discharged onto the cap 55 is cooled by the cap 55 and developed on the data recording unit 50. When it is, so that the same temperature as the data recording unit 50, the temperature is controlled.
[0119]
As a result, it is possible to prevent the thin film of the ultraviolet curable resin 60 from increasing toward the peripheral edge of the data recording unit 50, and thus toward the peripheral edge of the optical recording disk 1. 4 can be formed.
[0120]
On the other hand, although the temperature of the data recording unit 50 and the temperature of the liquid ultraviolet curable resin 60 to be developed on the data recording unit 50 are the same, the liquid ultraviolet curable resin 60 is used as the data recording unit. When the viscosity of the light transmission layer 4 is increased by being cooled by outside air as it is developed on the surface of the surface 50, and the film thickness of the light transmission layer 4 increases toward the peripheral edge of the data recording unit 50. The liquid UV curable resin 60 discharged onto the cap 55 is cooled by the cap 55 to a temperature lower than the temperature of the data recording unit 50, and the liquid UV curable resin 60 is cooled in the data recording unit 50. Since it is heated by the data recording unit 50 as it is developed on the surface of the data recording unit 50 toward the periphery, the liquid ultraviolet The viscosity of the curable resin 60 is ultraviolet curable resin 60 in liquid form, toward the periphery of the data recording unit 50, be deployed over the surface of the data recording unit 50 is held constant.
[0121]
As a result, it is possible to prevent the thin film of the ultraviolet curable resin 60 from increasing toward the peripheral edge of the data recording unit 50, and thus toward the peripheral edge of the optical recording disk 1. 4 can be formed.
[0122]
On the other hand, as shown in FIG. 16, when the film thickness of the light transmission layer 4 decreases toward the peripheral edge of the data recording unit 50, and thus toward the peripheral edge of the optical recording disk 1, The control unit 14 is controlled by the cap temperature control device 12 by a determined temperature change ΔT according to the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer 4 based on a table or a relational expression stored in the RAM. The set temperature of the cap 55 is increased.
[0123]
As a result, the set temperature of the cap 55 is adjusted to a temperature that is higher than the temperature of the data recording unit 50 by ΔT, and the liquid ultraviolet ray cured from the ejection nozzle 38 in the vicinity of the support shaft 57 at the top of the cap 55 is cured. The functional resin 60 is heated by the cap 55 and then developed on the data recording unit 50.
[0124]
Therefore, for some reason, the temperature of the data recording unit 50 increases, or the temperature of the ultraviolet curable resin 60 to be developed on the surface of the data recording unit 50 decreases, and the temperature of the data recording unit 50 becomes The temperature of the liquid ultraviolet curable resin 60 to be developed on the surface of the data recording unit 50 is higher than the temperature of the liquid ultraviolet curable resin 60, and the liquid ultraviolet curable resin 60 is formed on the surface of the data recording unit 50 at the periphery of the data recording unit 50. As it is expanded, the viscosity is reduced by the data recording unit 50, and the film thickness of the light transmission layer 4 decreases toward the peripheral edge of the data recording unit 50. When the liquid UV curable resin 60 discharged onto the cap 55 is heated by the cap 55, it is spread on the data recording unit 50. When it is, so that the same temperature as the data recording unit 50, the temperature is controlled.
[0125]
As a result, the film thickness of the thin film of the ultraviolet curable resin 60 is prevented from decreasing toward the peripheral edge of the data recording unit 50, and thus toward the peripheral edge of the optical recording disk 1, and a light transmitting layer having a uniform film thickness. 4 can be formed.
[0126]
On the other hand, although the temperature of the data recording unit 50 and the temperature of the liquid ultraviolet curable resin 60 to be developed on the data recording unit 50 are the same, the liquid ultraviolet curable resin 60 is used as the data recording unit. As it is heated on the surface of 50, it is heated by the outside air, its viscosity decreases, and the film thickness of the light transmission layer 4 decreases toward the peripheral edge of the data recording unit 50. The liquid UV curable resin 60 discharged onto the cap 55 is heated by the cap 55 to a temperature higher than the temperature of the data recording unit 50, and the liquid UV curable resin 60 is heated to the data recording unit. As the surface of the data recording unit 50 is developed toward the peripheral edge of the liquid 50, the data recording unit 50 cools the liquid ultraviolet. The viscosity of the curable resin 60 is ultraviolet curable resin 60 in liquid form, toward the periphery of the data recording unit 50, be deployed over the surface of the data recording unit 50 is held constant.
[0127]
As a result, the film thickness of the thin film of the ultraviolet curable resin 60 is prevented from decreasing toward the peripheral edge of the data recording unit 50, and thus toward the peripheral edge of the optical recording disk 1, and a light transmitting layer having a uniform film thickness. 4 can be formed.
[0128]
On the other hand, as a result of measuring the film thickness distribution of the optical recording layer 4 formed on the optical recording disk 1 by the film thickness measuring device 13, the average value of the film thickness of the optical recording layer 4 is larger than a predetermined value, for example, 100 μm. If it is small or large, the rotational speed of the stage 21 and the time for rotating the stage 21 or the discharge amount of the ultraviolet curable resin 60 to control the ultraviolet curable resin 60 are controlled. The film thickness of the recording layer 4 can be adjusted.
[0129]
According to this embodiment, the film thickness distribution of the optical recording layer 4 formed on the optical recording disk 1 is measured by the film thickness measurement device 13, and the film thickness of the light transmission layer 4 measured by the film thickness measurement device 13 is measured. According to the distribution pattern, the viscosity at the reference temperature of the UV curable resin 60, which is experimentally determined in advance and stored in the RAM, the film thickness distribution pattern of the light transmission layer 4, and the temperature T of the cap 55 to be changed According to a table or a relational expression showing the relationship with the change ΔT, a uniform film thickness distribution can be obtained on the optical recording disk 1 simply by raising or lowering the temperature T of the cap 55 by ΔT. Therefore, the liquid UV curable resin 60 is discharged onto the top surface of the cap 55 and the data is recorded by the spin coating device 11. A thin film of the ultraviolet curable resin 60 is formed on the recording unit 50, and the ultraviolet curable resin 60 is cured by irradiating the thin film of the ultraviolet curable resin 60 with the ultraviolet light 41 to form the light transmission layer 4. In the meantime, in order to keep the data recording unit 50, the cap 55, and the liquid ultraviolet curable resin 60 at the completely same temperature, it is not necessary to provide special equipment, and the light transmission layer 4 is formed. Until the data recording unit 50, the cap 55, and the liquid ultraviolet curable resin 60 are kept at the same temperature, it is not necessary to perform a strict temperature management operation. A light transmission layer having a uniform film thickness can be formed on the optical recording disk 1 by a simple operation without requiring equipment.
[0130]
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope of the invention described in the claims, and these are also included in the scope of the present invention. Needless to say.
[0131]
For example, in the above embodiment, every time the optical recording disk 1 is manufactured by the spin coating apparatus 11, the film thickness distribution of the light transmission layer 4 of the optical recording disk 1 is measured by the film thickness measuring apparatus 13. When the film thickness distribution of the light transmission layer 4 measured by the thickness measurement device 13 is not uniform, the set temperature of the cap temperature control device 12 is adjusted according to the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer 4, and the cap 55 However, every time the optical recording disk 1 is manufactured by the spin coating apparatus 11, the film thickness distribution of the light transmission layer 4 of the optical recording disk 1 is measured. 13 and when the film thickness distribution of the light transmission layer 4 measured by the film thickness measurement device 13 is not uniform, the film thickness distribution pattern of the light transmission layer 4 is It is not always necessary to control the temperature T of the cap 55 by adjusting the set temperature of the temperature controller 12, and the light transmission layer of the predetermined number of optical recording disks 1 manufactured continuously by the spin coating device 11. When the film thickness distribution of the light transmission layer 4 measured by the film thickness measurement device 13 is not uniform, the film thickness of the light transmission layer 4 formed on the predetermined number of optical recording disks 1 is measured. According to the average pattern of distribution, the temperature setting of the cap temperature control device 12 can be adjusted for each predetermined number of optical recording disks 1 to control the temperature T of the cap 55. Thus, the film thickness distribution of the light transmission layer 4 formed on the optical recording disk 1 is measured by the film thickness measurement apparatus 13, and the film thickness distribution of the light transmission layer 4 measured by the film thickness measurement apparatus 13 is uniform. If not, the set temperature of the cap temperature control device 12 is adjusted according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer 4 measured by the film thickness measuring device 13 each time, and the temperature T of the cap 55 is controlled. Furthermore, among N (N is a positive integer) optical recording disks 1 manufactured continuously by the spin coating apparatus 11, (N−M) (M is a positive number less than N). When the film thickness distribution of the light transmission layer 4 is measured for the optical recording disk 1 of (integer) and the film thickness distribution of the light transmission layer 4 measured by the film thickness measurement device 13 is not uniform, (N−M) sheets The temperature of the cap 55 is adjusted by adjusting the set temperature of the cap temperature controller 12 for each of the N optical recording disks 1 in accordance with the average pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer 4 formed on the optical recording disk 1. To control T It can also be configured.
[0132]
Furthermore, in the above embodiment, every time the optical recording disk 1 is manufactured by the spin coating apparatus 11, the film thickness distribution of the light transmission layer 4 of the optical recording disk 1 is measured by the film thickness measuring apparatus 13, and the film When the film thickness distribution of the light transmission layer 4 measured by the thickness measurement device 13 is not uniform, the set temperature of the cap temperature control device 12 is adjusted according to the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer 4, and the cap 55 The temperature T of the light transmissive layer 4 to be formed and the maximum or minimum value of the film thickness of the light transmissive layer 4 measured by the film thickness measuring device 13 The temperature T of the cap 55 is controlled by adjusting the set temperature of the cap temperature control device 12 according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer 4 only when the absolute value of the difference between the two exceeds the threshold value. It can also be configured sea urchin.
[0133]
Moreover, in the said embodiment, the planar shape is substantially circular, the projection shape of the side is formed in the trapezoid part 56, and the top part of the umbrella part 56 is formed on the top surface of the umbrella part 56, and the umbrella part is formed from the center of the top surface. A cap 55 having a support shaft 57 extending in the axial direction of 56 and a substantially cylindrical projection 58 formed on the bottom surface of the umbrella portion 56 and extending in the axial direction of the umbrella portion 56 from the center of the bottom surface of the umbrella portion 56. Although being used, it is not always necessary that the projected shape of the side surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 is substantially trapezoidal, and the projected shape of the side surface is shown in FIGS. 17 (A), (B), and (C). A cap 55 having an umbrella portion 56 having such a shape can also be used.
[0134]
Furthermore, in the embodiment, the film thickness distribution of the light transmission layer 4 is controlled to be uniform by controlling the temperature of the cap 55 that closes the center hole 6 of the data recording unit 50. Can also be applied to the case where the light transmission layer 4 is formed in the data recording unit 50 in which the center hole 6 is not formed. In such a case, instead of the cap 55 that closes the center hole 6, A member for discharging the liquid ultraviolet curable resin 60 is fixed near the center of the data recording unit 50 using a magnet or the like, and the temperature of the member for discharging the liquid ultraviolet curable resin 60 is controlled. Then, the liquid UV curable resin 60 discharged thereon is cooled or heated and developed on the data recording unit 50 to form the uniform light transmission layer 4. It suffices to be.
[0135]
In the embodiment, the thin film of the ultraviolet curable resin 60 is irradiated with the ultraviolet ray 41 while the data recording unit 50 is held on the rotatable stage 21 of the spin coating apparatus 11. After the thin film of the ultraviolet curable resin 60 is formed, the data recording unit 50 is transferred from the rotatable stage 21 of the spin coating apparatus 11 onto another stage, and the ultraviolet light 41 is transferred to the thin film of the ultraviolet curable resin 60. May be applied to cure the thin film of the ultraviolet curable resin 60.
[0136]
Further, in the above embodiment, the optical recording disk 1 includes the substrate 2, the recording layer 3 formed on the substrate 2, and the light transmission layer 4 formed on the recording layer 3. A reflective layer may be formed between the recording layer 3 and the hard coat layer may be formed on the light transmission layer 4.
[0137]
Moreover, in the said embodiment, although the light transmissive layer 4 is formed with the ultraviolet curable resin 60, it is not necessarily required to form the light transmissive layer 4 with the ultraviolet curable resin 60. Instead of the resin, the light transmission layer 4 can be formed using an electron beam curable resin.
[0138]
【The invention's effect】
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to provide the manufacturing method of the optical recording disc which can form the light transmissive layer which has uniform film thickness distribution by simple operation, without requiring complicated installation.
[0139]
Further, according to the present invention, it is possible to provide an optical recording disk manufacturing system capable of forming a light transmission layer having a uniform film thickness distribution by a simple operation without requiring complicated equipment. Become.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic perspective view of an optical recording disk to be manufactured by an optical recording disk manufacturing method according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic enlarged cross-sectional view of the portion indicated by A in FIG.
FIG. 3 is a block diagram of an optical recording disk manufacturing system according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a schematic perspective view of a spin coating apparatus constituting an optical recording disk manufacturing system according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of the spin coating apparatus shown in FIG. 4;
FIG. 6 is a block diagram of a control system and a drive system of the spin coating apparatus.
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing a state in which a data recording unit is fixed on a stage of a spin coating apparatus.
FIG. 8 is a schematic perspective view of a cap.
9 is a schematic central cross-sectional view of the cap shown in FIG. 8. FIG.
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing a state where a cap is set at a predetermined position on a data recording unit set on a stage.
FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing a state in which the ultraviolet curable resin is discharged from the discharge nozzle to the top surface of the umbrella portion of the cap.
FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing a state in which a thin film of an ultraviolet curable resin having a predetermined film thickness is formed on a recording layer of a data recording unit.
FIG. 13 is a schematic cross-sectional view showing a state in which ultraviolet rays are applied to a thin film of an ultraviolet curable resin formed on a recording layer of a data recording unit.
FIG. 14 shows a liquid UV curable resin discharged on the top surface of the cap, and a UV curable resin thin film is formed on the data recording unit by a spin coating apparatus. The data recording unit, the cap, and the liquid UV curable resin were kept at the same temperature until the UV curable resin was irradiated with UV light to cure the UV curable resin to form the light transmission layer. It is a schematic sectional drawing which shows the film thickness distribution of the light transmission layer in the case.
FIG. 15 is a diagram illustrating the temperature of the liquid UV curable resin to be developed on the data recording unit toward the peripheral edge of the data recording unit by the spin coating apparatus, rather than the temperature of the data recording unit; If the temperature is high or the temperature of the liquid ultraviolet curable resin to be developed is the same as the temperature of the data recording unit on the data recording unit toward the periphery of the data recording unit, It is a schematic sectional drawing which shows the film thickness distribution of the light transmission layer at the time of being cooled with external air when an ultraviolet curable resin is expand | deployed.
FIG. 16 shows that the temperature of the liquid ultraviolet curable resin to be developed on the data recording unit toward the peripheral edge of the data recording unit by the spin coating apparatus is higher than the temperature of the data recording unit. If the temperature is low or the temperature of the liquid UV curable resin to be developed is the same as the temperature of the data recording unit on the data recording unit toward the periphery of the data recording unit, It is a schematic sectional drawing which shows the film thickness distribution of the light transmissive layer at the time of heating with external air when an ultraviolet curable resin is expand | deployed.
FIG. 17 is a schematic projection of a side surface of a cap showing another example of the cap.
[Explanation of symbols]
1 Optical recording disc
2 Substrate
3 Recording layer
4 Light transmission layer
5 Pregroove
6 Center Hall
7 Clamping area
10. Optical recording disk manufacturing system
11 Spin coating equipment
12 Cap temperature controller
13 Film thickness measuring device
14 Control unit
21 stages
22 First protrusion
23 Second protrusion
24 First inlet
25 Second inlet
30 controller
31 Stage rotation mechanism
32 First intake mechanism
33 Second intake mechanism
34 First arm
35 First arm moving means
36 Second arm
37 Second arm moving means
38 Discharge nozzle
39 Nozzle drive means
40 UV lamp
41 UV
50 data recording units
55 cap
56 Umbrella
56a recess
57 Support shaft
58 Projection
60 UV curable resin

Claims

A data recording unit including a substrate and a recording layer is fixed on a rotatable stage, and a central fixing member for discharging a liquid radiation curable resin is fixed to a substantially central portion of the data recording unit. A radiation curable resin is discharged onto the fixing member, the stage is rotated, and the liquid radiation curable resin is spread on the surface of the data recording unit. A method of manufacturing an optical recording disk for forming a transmission layer, wherein the thickness distribution of the light transmission layer is measured, and the temperature T of the central fixing member is controlled according to the thickness distribution of the light transmission layer. An optical recording disk manufacturing method characterized by the above.

After forming the light transmission layer, the film thickness distribution of the light transmission layer is measured, the temperature T of the central fixing member is controlled according to the film thickness distribution of the light transmission layer, and the substrate and the recording layer are provided. The data recording unit is fixed on the stage, the central fixing member whose temperature T is controlled is fixed at a substantially central portion of the data recording unit, and a radiation curable resin is discharged onto the central fixing member. Then, the stage is rotated to spread the liquid radiation curable resin on the surface of the data recording unit, and a light transmission layer is formed on the surface of the data recording unit. Item 2. A method for manufacturing an optical recording disk according to Item 1.

Each time the light transmission layer is formed, the thickness distribution of the light transmission layer is measured, and the temperature T of the central fixing member is set according to the film thickness distribution of the optical recording layer of the predetermined number of optical recording disks. The method of manufacturing an optical recording disk according to claim 1, wherein the optical recording disk is controlled.

After forming the light transmitting layer, if necessary, measure the film thickness distribution of the light transmitting layer, and control the temperature T of the central fixing member according to the measured film thickness distribution of the light transmitting layer. The method of manufacturing an optical recording disk according to claim 1.

Based on the reference data indicating the relationship between the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin, the film thickness distribution pattern of the light transmission layer, and the change ΔT in the temperature T of the central fixing member, In accordance with the film thickness distribution pattern, a change amount ΔT of the center fixing member T is determined, and the center fixing member temperature T is changed by the determined change amount T of the temperature T. 5. The method of manufacturing an optical recording disk according to claim 1, wherein the temperature T of the member is controlled.

When the film thickness of the light transmission layer increases toward the peripheral edge of the data recording unit, the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin and the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer Based on the reference data indicating the relationship with the change ΔT in the temperature T of the central fixing member, the change ΔT in the temperature T of the central fixing member is determined according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer. 6. The method of manufacturing an optical recording disk according to claim 5, wherein the temperature T of the central fixing member is controlled to be lowered by the determined change ΔT of the temperature T.

When the film thickness of the light transmission layer decreases toward the periphery of the data recording unit, the viscosity at the reference temperature of the radiation curable resin and the pattern of the film thickness distribution of the light transmission layer Based on the reference data indicating the relationship with the change ΔT in the temperature T of the central fixing member, the change ΔT in the temperature T of the central fixing member is determined according to the film thickness distribution pattern of the light transmission layer. 7. The method of manufacturing an optical recording disk according to claim 6, wherein the temperature T of the central fixing member is controlled to be increased by the determined change amount ΔT of the temperature T.

8. The data recording unit according to claim 1, wherein the data recording unit has a center hole at a center portion thereof, and the center fixing member is formed by a cap that closes the center hole. 9. Manufacturing method of optical recording disk.

A spin coating apparatus in which a center hole is formed in the center, and a liquid radiation curable resin is applied to the surface of a data recording unit including a substrate and a recording layer by spin coating to form a light transmission layer; A cap temperature control device that closes the center hole of the data recording unit and holds the temperature of the cap onto which the radiation curable resin is discharged at a set temperature T; and the light transmission layer formed by the spin coating device And a set temperature control means for controlling the set temperature T of the cap temperature control device according to the film thickness distribution of the light transmission layer measured by the film thickness measurement device. An optical recording disk manufacturing system comprising:

The set temperature control means stores reference data indicating a relationship between a viscosity at a reference temperature of the radiation curable resin, a film thickness distribution pattern of the light transmission layer, and a change ΔT in the temperature T of the cap. Based on the reference data, the change amount ΔT of the temperature T of the cap is determined according to the thickness distribution of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device, and the change amount ΔT of the determined temperature T is determined, 10. The system for manufacturing an optical recording disk according to claim 9, wherein the system is configured to control a set temperature T of the cap temperature control device so that the temperature T of the cap changes.

When the film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device is increasing toward the peripheral edge of the data recording unit, the set temperature control means is a reference for the radiation curable resin. The light transmission layer measured by the film thickness measurement device based on the reference data indicating the relationship between the viscosity at temperature, the film thickness distribution pattern of the light transmission layer, and the change ΔT in the temperature T of the cap. A change amount ΔT of the cap temperature T is determined according to the thickness distribution of the cap, and the set temperature T of the cap temperature control device is set so that the cap temperature T is lowered by the determined change amount ΔT of the temperature T. The optical recording disk manufacturing system according to claim 10, wherein the optical recording disk manufacturing system is controlled.

When the film thickness of the light transmission layer measured by the film thickness measuring device is decreasing toward the peripheral edge of the data recording unit, the set temperature control means is a reference for the radiation curable resin. The light transmission layer measured by the film thickness measurement device based on the reference data indicating the relationship between the viscosity at temperature, the film thickness distribution pattern of the light transmission layer, and the change ΔT in the temperature T of the cap. A change amount ΔT of the cap temperature T is determined according to the thickness distribution of the cap, and the set temperature T of the cap temperature control device is set so that the cap temperature T is increased by the determined change amount ΔT of the temperature T. The system for manufacturing an optical recording disk according to claim 11, wherein the system is configured to control the recording medium.