JP2003270165A - Evaluation/calibration method of inline inspection device - Google Patents

Evaluation/calibration method of inline inspection device

Info

Publication number
JP2003270165A
JP2003270165A JP2002071285A JP2002071285A JP2003270165A JP 2003270165 A JP2003270165 A JP 2003270165A JP 2002071285 A JP2002071285 A JP 2002071285A JP 2002071285 A JP2002071285 A JP 2002071285A JP 2003270165 A JP2003270165 A JP 2003270165A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
line
evaluation
inspection device
inspection apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002071285A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Kawahara
眞博 川原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
Original Assignee
JFE Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JFE Steel Corp filed Critical JFE Steel Corp
Priority to JP2002071285A priority Critical patent/JP2003270165A/en
Publication of JP2003270165A publication Critical patent/JP2003270165A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an evaluation/calibration method of an inline inspection device which measures a physical quantity of quality in a process line for continuously manufacturing steel plates. <P>SOLUTION: Artificially-scratched dummy materials are regularly fed to the line to accumulate the information on changes with time of a signal obtained from a non-defective portion of the dummy material and a signal obtained from the artificial scratch portion thereof. The inspection performance of the inline inspection device is evaluated/calibrated based on the accumulated information on such changes with time. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、連続的に鋼板を製
造するプロセスラインにおいて、品質に関する物理量を
非破壊方式で直接または間接的に測定するインライン検
査装置の評価・較正方法に関する。 【0002】 【従来の技術】品質保証のための検査装置は、従来、破
壊検査による方法が多く用いられてきた。ところが、破
壊検査では、文字通りサンプルを破壊して検査するため
対象の全てを検査することは不可能であった。一方、近
年は、品質への要求が高くなり、対象の全数、全部分検
査が要求されるようになってきている。そのため、従来
の破壊検査に変えて、種々の非破壊検査方法が考案さ
れ、実用化されるようになってきた。 【0003】しかしながら、非破壊検査で実際に測定す
る物理量は、直接品質保証に寄与する物理量ではなく、
それと相関関係を有する物理量であるというのが一般的
である。そのため、測定する物理量と、品質保証に寄与
する物理量の両者を他の方法によって対応づけておき、
両者の関係を明確にしておく必要がある。そして、検査
装置に対しては、その関係が変化することのないように
常に監視を行い、必要に応じて修正を行うことが必要で
あり、検査装置そのものを検査することが重要となる。
すなわち、検査装置の性能を評価し、必要に応じて較正
を行うことが重要である。 【0004】検査装置の評価・較正方法は、検査装置毎
に異なるが、ここでは、連続的に鋼板を製造するプロセ
スラインにおいて、インラインにて非破壊方式により品
質に関する物理量を直接または間接的に測定する検査装
置の一例として、例えば、図2に示すレーザ反射式の表
面疵検査装置について説明する。図2の表面疵検査装置
では、まず、レーザ31からの微細なレーザ光を、ミラー
32を介して回転ミラー33で反射し、ストリップ材である
鋼板10の板幅方向に高速走査を行う。そして、その反射
光をレンズ34、マスク35を介してフォトマル(光電子増
倍管)36で受光する。次に、得られた信号を、微分アン
プ41を介してコンパレータ42に入力し、別に設定する閾
値との比較を行って検査出力を得る。そして、得られた
検査出力を情報処理装置51で処理し、その検査結果を出
力装置52に出力する。 【0005】鋼板10表面では、その表面に何の欠陥がな
い場合も、平均的な表面の粗さに応じて照射されたレー
ザが乱反射し、また、正反射する。この反射強度をノイ
ズレベルとした上で、鋼板の表面に凹凸性の欠陥があっ
た場合に生じる、特定方向に強く反射する成分を、あら
かじめ欠陥サンプルにより成形・調整しておいた空間フ
ィルタのマスク35を通し検出することで欠陥の種類と程
度を特定することができるのである。 【0006】しかしながら、上記の表面疵検査装置にお
いては、装置を構成するレーザやレンズ等の光学部品を
中心として各種部品の劣化や汚れが発生し、また、フォ
トマル等の受信側部品の温度や経年劣化による受信感度
の低下等もあり、誤検出や見逃し等の大きな原因となっ
ていた。このようなインライン検査装置では、従来、検
査性能の評価・較正方法として、当該インライン検査装
置をインラインから退避させた状態で行う方法、もしく
は、プロセスラインの操業を停止してライン上に鋼板が
ない状態で行う方法がとられてきている。そして、イン
ライン検査装置を上記の状態として、人工疵を施した鋼
板の切り板サンプルを当該検査装置の検査位置に載置し
て検査を行い、対象とする人工疵の検出性能を評価する
ことで当該検査装置の検査性能の評価を行い、必要に応
じて較正することが行われてきた。 【0007】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
方法は、いずれも検査対象がほぼ静止した状態で実施す
る方法であり、以下の欠点がある。 (1) 検査対象である鋼板が静止した状態と、動いている
状態によって発生する外乱の影響の差を検査性能の評価
に反映することができない。 (2) 検査を行うために、対象とするプロセスラインを停
止させる、または、一時的に検査なしの状態で製造させ
ることが必要となる。 【0008】また、別の方法として、対象とするプロセ
スラインにおけるオンラインの操業において、定期的に
サンプル材を指定して当該非破壊検査装置で測定した後
にサンプル採取を行い、そのサンプルを破壊検査により
測定して検査性能の評価を行う方法もある。しかしなが
ら、この方法では、その都度破壊検査を行必要があるた
め、 (1) 実施に当たっての作業量が増える。 (2) 検査で異常が発見された場合、前回検査までの期間
に製造された製品について品質が保証できない。 という問題があった。 【0009】そのため、検査の周期を短くする必要があ
るが、検査の頻度が増えるとその分だけラインの停止時
間が増えることになってしまう。また、品質保証のた
め、他の方法による別の検査装置を増設する必要が生
じ、あるいは、検査員による検査のために生産能率が低
下する等の弊害を生じていた。本発明は、上記の課題を
解決し、インラインで通常の検査測定状態に近い条件で
の検査装置自体の検査を可能とし、当該検査装置の検査
性能を容易に評価・較正することを可能としたインライ
ン検査装置の評価・較正方法を提供するものである。 【0010】 【課題を解決するための手段】ところで、連続的に鋼板
を製造するプロセスラインにおいては、一般に製造条件
が異なる製品を製造する際に、操業条件を当該製品に合
わせたものとするため、ダミー材と呼ばれる鋼板をプロ
セスラインに通し、所要のライン調整等を行っている。 【0011】本発明者は、このダミー材に、当該プロセ
スラインに設置しているインライン検査装置の検査対象
となる人工疵を施し、この人工疵が該検査装置の検査位
置を通過するタイミングでの人工疵信号を受信して、無
欠陥部の信号と併せて時系列信号として蓄積・保存して
おくことで、蓄積・保存した信号の経時的な変化に基づ
いて当該検査装置の評価・較正を行えることを見出し、
本発明をなすに至ったのである。 【0012】すなわち、本発明は、連続的に鋼板を製造
するプロセスラインにおいて、品質に関する物理量を測
定するインライン検査装置の評価・較正方法であって、
人工疵を施したダミー材を当該ラインに定期的に通板
し、当該ダミー材の無欠陥部より得られる信号と、人工
疵で得られる信号との経時的な変化の情報を蓄積し、蓄
積した経時的な変化の情報から、当該インライン検査装
置の検査性能を評価・較正することを特徴とするインラ
イン検査装置の評価・較正方法によって上記課題を解決
した。 【0013】 【発明の実施の形態】図1に基づき、本発明のインライ
ン検査装置の評価・較正方法の好適な実施の形態を説明
する。本発明では、鋼板の連続製造ライン等のプロセス
ライン1における搬送ロール2上にダミー材4を通板
し、当該ダミー材4を用いてラインの各種調整等を実施
するのに併せて、インライン検査装置3の評価・較正を
行うことを特徴とする。なお、インライン検査装置3と
しては、既に図2にて説明した表面疵検査装置等をあげ
ることができる。 【0014】ここで、ダミー材4には、あらかじめ所定
の人工疵を設けておく。そして、ダミー材4の搬送をト
ラッキング装置5でトラッキングし、当該人工疵がイン
ライン検査装置3を通過するタイミングで、「人工疵通
過タイミング信号」をインライン検査装置3に出力す
る。インライン検査装置3では、検出した当該人工疵の
信号を「人工疵測定信号」として情報保存装置6に送信
し、保存させる。また、同時に、ダミー材の無欠陥部の
信号も同様に送信し、保存させておく。 【0015】そして、以上のように、ダミー材の人工疵
の信号と無欠陥部の信号を経時的に情報保存装置6に蓄
積・保存しておき、蓄積・保存した信号の経時的な変化
から当該検査装置の評価・較正を行う。なお、トラッキ
ング装置5でのトラッキングは、プロセスラインにおい
て通常行われるトラッキングであり、ここでの説明は省
略する。 【0016】 【実施例】本発明のインライン検査装置の評価・較正方
法を、鋼板を連続的に製造するプロセスラインに設置し
たインライン検査装置に適用した。なお、ここでのイン
ライン検査装置は、図2で説明した表面疵検査装置であ
る。図3に、定期的にダミー材の通板を実施してダミー
材の人工疵検出を行い、そのダミー材通板回数に応じて
得られた人工疵の信号レベルの推移をグラフとして示
す。なお、このグラフは、情報保存装置に蓄積した情報
に基づき、容易に作成することができる。 【0017】本発明では、このように人工疵の信号レベ
ルの変化を時系列的に監視するようにし、また、ここで
は図示しない無欠陥部の信号レベルの推移を同様に監視
するようにした。こうすることで、インライン検査装置
の評価・較正を容易に行うことが可能となり、また、ラ
イン停止を最小限にすることができた。 【0018】また、インラインで評価・較正を実施可能
であることから、インライン検査装置前後のガイドロー
ルの水平レベルの変化に起因する信号レベルの変化をモ
ニタすることも可能であり、較正作業において、それら
のガイドロールの水平レベルの変化に対して所要の調整
を実施することもできた。一方、従来法である、検査機
器をオフラインとして切り板サンプルを用いて評価・較
正を行う方法では、プロセスラインのライン停止を必要
とし、また、ガイドロールの水平レベルの変化等の異常
をオンライン状態でモニタすること等はできない。 【0019】すなわち、インライン検査装置は、このよ
うに装置自身の性能だけでなく、周囲の測定条件によっ
ても測定性能が変化することもあり、従来のインライン
検査装置の較正だけでは、このような変化に追従するこ
とができず、重大な疵を見逃すことがあったが、本発明
によってこの見逃しを解消できた。 【0020】 【発明の効果】本方法によって、検査装置の性能を、プ
ロセスラインの操業を停止することなく、また、実際の
対象とほぼ同等の条件で検査することができるようにな
り、検査装置の性能を正確に評価することができ、ま
た、検査装置の性能低下等の異常発生による検査トラブ
ルを未然に防止できるようになった。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an in-line inspection apparatus for directly or indirectly measuring a physical quantity relating to quality in a non-destructive manner in a process line for continuously producing steel sheets. The evaluation and calibration method of 2. Description of the Related Art Inspection apparatuses for quality assurance have heretofore often used a destructive inspection method. However, in the destructive inspection, it is impossible to inspect all the objects because the sample is literally destroyed and inspected. On the other hand, in recent years, there has been an increasing demand for quality, and there has been a demand for inspection of all or all of the objects. For this reason, various non-destructive inspection methods have been devised instead of the conventional destructive inspection, and have come into practical use. [0003] However, the physical quantity actually measured by the nondestructive inspection is not a physical quantity that directly contributes to quality assurance.
In general, it is a physical quantity having a correlation with it. Therefore, the physical quantity to be measured and the physical quantity that contributes to quality assurance are associated with each other by another method,
It is necessary to clarify the relationship between the two. Then, it is necessary to constantly monitor the inspection device so that the relationship does not change, and to make corrections as necessary, and it is important to inspect the inspection device itself.
That is, it is important to evaluate the performance of the inspection apparatus and perform calibration as necessary. The method of evaluating and calibrating an inspection device differs from inspection device to inspection device. Here, in a process line for continuously manufacturing steel plates, a physical quantity relating to quality is measured directly or indirectly in a non-destructive manner in an in-line manner. For example, a laser reflection type surface flaw inspection apparatus shown in FIG. In the surface flaw inspection apparatus shown in FIG. 2, first, a fine laser beam from the laser 31 is reflected by a mirror.
The light is reflected by the rotating mirror 33 via 32, and performs high-speed scanning in the width direction of the steel plate 10 as a strip material. Then, the reflected light is received by a photomultiplier (photomultiplier tube) 36 via a lens 34 and a mask 35. Next, the obtained signal is input to the comparator 42 via the differential amplifier 41, and is compared with a separately set threshold to obtain an inspection output. Then, the obtained inspection output is processed by the information processing device 51, and the inspection result is output to the output device 52. On the surface of the steel plate 10, even if there is no defect on the surface, the irradiated laser is irregularly reflected and regularly reflected according to the average surface roughness. After setting the reflection intensity to the noise level, a component of the spatial filter that is strongly reflected in a specific direction, which is generated when there is an irregularity defect on the surface of the steel sheet, is shaped and adjusted in advance with a defect sample. By detecting through 35, the type and degree of defect can be specified. However, in the above-mentioned surface flaw inspection apparatus, various components such as lasers and lenses constituting the apparatus are deteriorated and stained, and the temperature and the temperature of the receiving side components such as photomultipliers. There has been a decrease in receiving sensitivity due to aging and the like, which has been a major cause of erroneous detection and oversight. In such an in-line inspection apparatus, conventionally, as a method for evaluating and calibrating the inspection performance, a method in which the in-line inspection apparatus is withdrawn from the in-line state, or the operation of the process line is stopped and there is no steel sheet on the line There is a method that is performed in a state. Then, by setting the in-line inspection apparatus to the above state, a cut plate sample of a steel sheet having an artificial flaw is placed at an inspection position of the inspection apparatus, an inspection is performed, and the detection performance of the target artificial flaw is evaluated. Evaluation of the inspection performance of the inspection apparatus has been performed, and calibration has been performed as necessary. [0007] However, all of the above-mentioned methods are carried out in a state where the inspection target is almost stationary, and have the following disadvantages. (1) The difference between the effects of disturbances caused by the stationary state and the moving state of the steel plate to be inspected cannot be reflected in the evaluation of the inspection performance. (2) In order to perform the inspection, it is necessary to stop the target process line or to temporarily manufacture the product without inspection. [0008] As another method, in an online operation in a target process line, a sample material is periodically designated and measured by the nondestructive inspection apparatus, and then a sample is taken. There is also a method of evaluating the inspection performance by measuring. However, this method requires a destructive inspection every time, so (1) the amount of work required for implementation is increased. (2) If an abnormality is found in the inspection, the quality of the product manufactured up to the previous inspection cannot be guaranteed. There was a problem. For this reason, it is necessary to shorten the inspection cycle, but if the frequency of the inspection increases, the line stop time will increase accordingly. In addition, for quality assurance, it is necessary to add another inspection device by another method, or there has been an adverse effect such as a decrease in production efficiency due to inspection by an inspector. The present invention has solved the above-mentioned problems, and has made it possible to inspect an inspection apparatus itself under conditions close to a normal inspection measurement state in-line, and to easily evaluate and calibrate the inspection performance of the inspection apparatus. An object of the present invention is to provide a method for evaluating and calibrating an in-line inspection device. By the way, in a process line for continuously manufacturing steel sheets, when manufacturing products having different manufacturing conditions, the operating conditions are generally adjusted to the products. Then, a steel plate called a dummy material is passed through a process line to perform necessary line adjustments and the like. The present inventor makes an artificial flaw to be inspected by the in-line inspection apparatus installed on the process line on the dummy material, and detects the artificial flaw at a timing when the artificial flaw passes the inspection position of the inspection apparatus. By receiving the artificial flaw signal and storing and storing it as a time-series signal together with the signal of the defect-free part, the evaluation and calibration of the inspection device can be performed based on the time-dependent change of the stored and stored signal. Find out what you can do,
The present invention has been accomplished. That is, the present invention is a method for evaluating and calibrating an in-line inspection apparatus for measuring a physical quantity relating to quality in a process line for continuously producing steel sheets,
The dummy material provided with artificial flaws is periodically passed through the line, and information on a temporal change between a signal obtained from a defect-free portion of the dummy material and a signal obtained from the artificial flaw is accumulated and accumulated. The above problem has been solved by a method for evaluating and calibrating an in-line inspection device, which is characterized by evaluating and calibrating the inspection performance of the in-line inspection device from the information on the change with time. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A preferred embodiment of the method for evaluating and calibrating an in-line inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. In the present invention, the dummy material 4 is passed over the transport roll 2 in the process line 1 such as a continuous steel sheet manufacturing line, and various adjustments and the like of the line are performed using the dummy material 4. It is characterized in that the device 3 is evaluated and calibrated. In addition, as the in-line inspection device 3, the surface flaw inspection device already described with reference to FIG. 2 can be used. Here, the dummy material 4 is provided with a predetermined artificial flaw in advance. Then, the conveyance of the dummy material 4 is tracked by the tracking device 5, and an “artificial flaw passing timing signal” is output to the in-line inspection device 3 at the timing when the artificial flaw passes through the in-line inspection device 3. The in-line inspection device 3 transmits the detected signal of the artificial flaw to the information storage device 6 as an “artificial flaw measurement signal” and stores it. At the same time, the signal of the non-defective portion of the dummy material is transmitted and stored in the same manner. As described above, the signal of the artificial flaw of the dummy material and the signal of the non-defective portion are stored and stored in the information storage device 6 with time, and the change of the stored and stored signal with time is determined. Evaluate and calibrate the inspection device. Note that the tracking by the tracking device 5 is a tracking that is normally performed in a process line, and a description thereof will be omitted. The method for evaluating and calibrating an in-line inspection apparatus according to the present invention was applied to an in-line inspection apparatus installed in a process line for continuously manufacturing steel sheets. Note that the in-line inspection device here is the surface flaw inspection device described with reference to FIG. FIG. 3 is a graph showing the transition of the signal level of the artificial flaw obtained according to the number of times the dummy material is passed through by periodically passing the dummy material and detecting the artificial flaw of the dummy material. This graph can be easily created based on the information stored in the information storage device. In the present invention, the change in the signal level of the artificial flaw is monitored in a time-series manner, and the change in the signal level of a non-defective portion (not shown) is similarly monitored. In this way, the evaluation and calibration of the in-line inspection device can be easily performed, and the stop of the line can be minimized. Further, since the evaluation and calibration can be performed in-line, it is also possible to monitor a change in the signal level caused by a change in the horizontal level of the guide roll before and after the in-line inspection apparatus. Necessary adjustments could be made to changes in the horizontal level of those guide rolls. On the other hand, the conventional method, in which the inspection equipment is taken offline and the evaluation / calibration is performed using the cut sample, requires a stop of the process line, and an abnormality such as a change in the horizontal level of the guide roll is brought online. Can not be monitored by That is, in the in-line inspection apparatus, the measurement performance may be changed not only by the performance of the apparatus itself but also by the surrounding measurement conditions. In some cases, serious flaws were overlooked, but this oversight was resolved by the present invention. According to the present invention, the performance of the inspection apparatus can be inspected without stopping the operation of the process line and under almost the same conditions as the actual object. Of the inspection apparatus can be accurately evaluated, and inspection troubles due to occurrence of abnormalities such as performance deterioration of the inspection apparatus can be prevented.

【図面の簡単な説明】 【図1】本発明のインライン検査装置の較正方法を説明
する模式図である。 【図2】本発明の較正方法を適用する検査装置の一例で
ある鋼板表面疵検査装置の模式図である。 【図3】ダミー材通過回数に対する人口疵の信号レベル
の推移を例示するグラフである。 【符号の説明】 1 プロセスライン、(鋼板の)連続製造ライン 2 搬送ロール 3 (インライン)検査装置 4 ダミー材(板) 5 トラッキング装置 6 情報保存装置 10 鋼板(ストリップ材) 30 検出部 31 レーザ 32 ミラー 33 回転ミラー 34 レンズ 35 マスク 36 フォトマル(光電子増倍管) 40 信号前処理部 41 微分アンプ 42 コンパレータ 51 情報処理装置 52 出力装置
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a calibration method of an in-line inspection device according to the present invention. FIG. 2 is a schematic diagram of a steel sheet surface flaw inspection apparatus which is an example of an inspection apparatus to which the calibration method of the present invention is applied. FIG. 3 is a graph illustrating a transition of a signal level of an artificial flaw with respect to the number of times of passing a dummy material. [Description of Signs] 1 Process line, continuous production line (of steel plate) 2 Transport roll 3 (inline) inspection device 4 Dummy material (plate) 5 Tracking device 6 Information storage device 10 Steel plate (strip material) 30 Detector 31 Laser 32 Mirror 33 Rotating mirror 34 Lens 35 Mask 36 Photomultiplier (photomultiplier tube) 40 Signal preprocessing unit 41 Differential amplifier 42 Comparator 51 Information processing device 52 Output device

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項1】 連続的に鋼板を製造するプロセスライン
において、品質に関する物理量を測定するインライン検
査装置の評価・較正方法であって、人工疵を施したダミ
ー材を当該ラインに定期的に通板し、当該ダミー材の無
欠陥部より得られる信号と、人工疵で得られる信号との
経時的な変化の情報を蓄積し、蓄積した経時的な変化の
情報から、当該インライン検査装置の検査性能を評価・
較正することを特徴とするインライン検査装置の評価・
較正方法。
Claims: 1. A method for evaluating and calibrating an in-line inspection apparatus for measuring a physical quantity related to quality in a process line for continuously manufacturing steel sheets, comprising: Through the board periodically, and accumulates information on the change over time between the signal obtained from the defect-free portion of the dummy material and the signal obtained from the artificial flaw. Evaluate the inspection performance of in-line inspection equipment
Evaluation and evaluation of in-line inspection equipment characterized by calibration
Calibration method.
JP2002071285A 2002-03-15 2002-03-15 Evaluation/calibration method of inline inspection device Pending JP2003270165A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002071285A JP2003270165A (en) 2002-03-15 2002-03-15 Evaluation/calibration method of inline inspection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002071285A JP2003270165A (en) 2002-03-15 2002-03-15 Evaluation/calibration method of inline inspection device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003270165A true JP2003270165A (en) 2003-09-25

Family

ID=29201607

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002071285A Pending JP2003270165A (en) 2002-03-15 2002-03-15 Evaluation/calibration method of inline inspection device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003270165A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012247314A (en) * 2011-05-27 2012-12-13 Jfe Steel Corp Evaluation apparatus for back ring checking device and evaluation method of back ring checking device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012247314A (en) * 2011-05-27 2012-12-13 Jfe Steel Corp Evaluation apparatus for back ring checking device and evaluation method of back ring checking device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7751036B2 (en) Apparatus of inspecting defect in semiconductor and method of the same
JP6122015B2 (en) Web inspection calibration system and related method
US20090002686A1 (en) Sheet Metal Oxide Detector
JP2011242318A (en) Periodic defect inspection method and device for strip-shaped material
US20070091395A1 (en) Device and method for measuring and determining the quality of holographic image
JP2003270165A (en) Evaluation/calibration method of inline inspection device
JP2827651B2 (en) Defect Hazard Measurement System for Steel Plate
JPH0628690Y2 (en) Metal plate defect detector
JP2008190921A (en) Method and apparatus for detecting surface flaw of thick steel plate
JPH09178667A (en) Inspection apparatus for surface
KR20100026619A (en) Glass inspection apparatus and inspection method thereof
JP3275737B2 (en) Surface inspection device and surface inspection method
JP6597981B2 (en) Method for determining abnormality of surface inspection apparatus and surface inspection apparatus
JP2008180618A (en) Surface defect detector
JP2002090306A (en) Self-diagnostic method for surface inspection device
JPH08271898A (en) Oriented film inspecting device as well as production of liquid crystal display panel and apparatus therefor
JP2007155442A (en) Defect detection method and defect inspection device
JP2001165867A (en) Surface inspection device
JPS649582B2 (en)
TWI718627B (en) Method of detecting material surface defects with surface wave frequency
JPS63243850A (en) Method for detecting sliver defect of rolled plate material
JP2009031094A (en) Method and apparatus for deciding pass/fail of nonmetallic inclusion defect
KR100299453B1 (en) Method of measuring surface cleanness of steel plate
KR100914971B1 (en) Method for inspecting fail on edge of semiconductor wafer
JPH04248451A (en) Method for detecting flaw