JP2003266682A

JP2003266682A - インクジェット式記録ヘッドの駆動方法及びインクジェット式記録装置

Info

Publication number: JP2003266682A
Application number: JP2002070764A
Authority: JP
Inventors: Soichi Moriya; 壮一守谷; Manabu Nishiwaki; 学西脇; Katsuto Shimada; 勝人島田; Masami Murai; 正己村井
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-03-14
Filing date: 2002-03-14
Publication date: 2003-09-24

Abstract

(57)【要約】【課題】安定した印刷品質が得られるインクジェット
式記録ヘッドの駆動方法及びインクジェット式記録装置
を提供する。【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室に付設
された圧電素子を駆動することにより圧力発生室内に圧
力を付与して前記ノズル開口からインク滴を吐出させる
インクジェット式記録ヘッドの駆動方法において、圧電
素子に所定電圧を印加することによりノズル開口からイ
ンク滴を吐出させる印刷動作が実行されていない期間
に、圧電素子を構成する両電極間の電気的接続状態を制
御した状態で圧電素子を保持し、印刷動作時のインク吐
出特性を所定範囲内に維持することにより、安定した印
刷品質を得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インク滴を吐出す
るノズル開口と連通する圧力発生室に供給されたインク
を圧電素子により加圧して、ノズル開口からインク滴を
吐出させるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法及び
インクジェット式記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インク滴を吐出するノズル開口と連通す
る圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧
電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧して
ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式
記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦
振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、た
わみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの
２種類が実用化されている。

【０００３】前者は圧電素子の端面を振動板に当接させ
ることにより圧力発生室の容積を変化させることができ
て、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反
面、圧電素子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛
歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた
圧電素子を圧力発生室に位置決めして固定する作業が必
要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。

【０００４】これに対して後者は、圧電材料のグリーン
シートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼
成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電素子を作
り付けることができるものの、たわみ振動を利用する関
係上、ある程度の面積が必要となり、高密度配列が困難
であるという問題がある。

【０００５】一方、後者の記録ヘッドの不都合を解消す
べく、特開平５−２８６１３１号公報に見られるよう
に、振動板の表面全体に亙って成膜技術により、例え
ば、薄膜ＰＺＴ等の圧電材料層を均一に形成し、この圧
電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する
形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電
素子を形成したものが提案されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな薄膜からなる圧電素子を有するインクジェット式記
録ヘッドでは、圧電素子を連続的に駆動してノズル開口
からインク滴を吐出させると、インク吐出特性が徐々に
低下してしまうという問題がある。このため、連続的に
印刷動作を実行すると、吐出されるインク滴の大きさに
ばらつきが生じ印刷品質が安定しないという問題があ
る。

【０００７】本発明は、このような事情に鑑み、安定し
た印刷品質が得られるインクジェット式記録ヘッドの駆
動方法及びインクジェット式記録装置を提供することを
課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の第１の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室に
付設された圧電素子を駆動することにより前記圧力発生
室内に圧力を付与して前記ノズル開口からインク滴を吐
出させるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法におい
て、前記圧電素子に所定電圧を印加することにより前記
ノズル開口からインク滴を吐出させる印刷動作が実行さ
れていない期間に、前記圧電素子を構成する両電極間の
電気的接続状態を制御した状態で当該圧電素子を保持
し、印刷動作時のインク吐出特性を所定範囲内に維持す
ることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの駆動
方法にある。

【０００９】かかる第１の態様では、圧電素子の駆動に
よるインク吐出特性のばらつきが防止され、安定した印
刷品質を得ることができる。

【００１０】本発明の第２の態様は、第１の態様におい
て、前記圧電素子の両電極間を電気的に切断して絶縁状
態を保持することを特徴とするインクジェット式記録ヘ
ッドの駆動方法にある。

【００１１】かかる第２の態様では、圧電素子を構成す
る圧電体層の残留分極の緩和が抑えられることによっ
て、安定したインク吐出特性が得られる。

【００１２】本発明の第３の態様は、第２の態様におい
て、前記圧電素子に所定電圧を印加しながら前記圧電素
子の両電極間を電気的に切断することを特徴とするイン
クジェット式記録ヘッドの駆動方法にある。

【００１３】かかる第３の態様では、圧電素子を構成す
る圧電体層の残留分極の緩和が効果的に抑えられる。

【００１４】本発明の第４の態様は、第１の態様におい
て、前記圧電素子の両電極間を電気的に接続して導通状
態を保持することを特徴とするインクジェット式記録ヘ
ッドの駆動方法にある。

【００１５】かかる第４の態様では、圧電素子を構成す
る圧電体層の残留分極が効果的に緩和されることによっ
て、安定したインク吐出特性が得られる。

【００１６】本発明の第５の態様は、第４の態様におい
て、前記圧電素子の両電極間を電気的に接続すると共
に、両電極間に所定電圧を連続的に印加することを特徴
とするインクジェット式記録ヘッドの駆動方法にある。

【００１７】かかる第５の態様では、圧電素子に電圧を
印加しておくことで、圧電体層の残留分極の緩和が防止
されるため、安定したインク吐出特性が得られる。

【００１８】本発明の第６の態様は、第１〜５の何れか
の態様において、前記圧電素子の各層が成膜及びリソグ
ラフィ法により形成されたものであることを特徴とする
インクジェット式記録ヘッドの駆動方法にある。

【００１９】かかる第６の態様では、圧電素子を高密度
に配列でき、高品質印刷を実現できる。

【００２０】本発明の第７の態様は、第６の態様におい
て、前記圧電素子を構成する圧電体層の膜厚が、０．５
μｍ以上３μｍ以下であることを特徴とするインクジェ
ット式記録ヘッドの駆動方法にある。

【００２１】かかる第７の態様では、圧電素子を高密度
に配列でき、高品質印刷を実現できると共に、高周波数
駆動が可能となり高速印刷を実現できる。

【００２２】本発明の第８の態様は、前記圧電素子に所
定電圧を印加することにより前記ノズル開口からインク
滴を吐出させる印刷動作が実行されていない期間に、前
記圧電素子を構成する両電極間の電気的接続状態を制御
した状態で当該圧電素子を保持して印刷動作時のインク
吐出特性を所定範囲に維持する維持手段を具備すること
を特徴とするインクジェット式記録装置にある。

【００２３】かかる第８の態様では、圧電素子の駆動に
よるインク吐出特性のばらつきが防止され、安定した印
刷品質が得られる。

【００２４】本発明の第９の態様は、第８の態様におい
て、前記維持手段が、前記圧電素子の両電極間を電気的
に切断して絶縁状態を保持することを特徴とするインク
ジェット式記録装置にある。

【００２５】かかる第９の態様では、圧電素子を構成す
る圧電体層の残留分極の緩和が抑えられることによっ
て、安定したインク吐出特性が得られる。

【００２６】本発明の第１０の態様は、第９の態様にお
いて、前記維持手段が、前記圧電素子に所定電圧を印加
しながら前記圧電素子の両電極間を電気的に切断するこ
とを特徴とするインクジェット式記録装置にある。

【００２７】かかる第１０の態様では、圧電素子を構成
する圧電体層の残留分極の緩和が効果的に抑えられる。

【００２８】本発明の第１１の態様は、第８の態様にお
いて、前記維持手段が、前記圧電素子の両電極間を電気
的に接続して導通状態を保持することを特徴とするイン
クジェット式記録装置にある。

【００２９】かかる第１１の態様では、圧電素子を構成
する圧電体層の残留分極が効果的に緩和されることによ
って、安定したインク吐出特性が得られる。

【００３０】本発明の第１２の態様は、第１１の態様に
おいて、前記維持手段が、前記圧電素子の両電極間を電
気的に接続すると共に、これら両電極間に所定電圧を連
続的に印加することを特徴とするインクジェット式記録
装置にある。

【００３１】かかる第１２の態様では、圧電素子に電圧
を印加しておくことで、圧電体層の残留分極の緩和が防
止されるため、確実に安定したインク吐出特性が得られ
る。

【００３２】本発明の第１３の態様は、第１２の態様に
おいて、前記圧電素子に前記所定電圧を印加可能な予備
電源を有し、前記維持手段は、主電源が切断された後も
前記予備電源によって前記圧電素子の両電極間に所定電
圧を印加し続けることを特徴とするインクジェット式記
録装置にある。

【００３３】かかる第１３の態様では、圧電素子を構成
する圧電体層の残留分極が常に一定の状態で保持される
ため、インク吐出特性が確実に安定する。

【００３４】本発明の第１４の態様は、第８〜１３の何
れかの態様において、前記維持手段が、セレクタＩＣを
制御して前記圧電素子の両電極間の電気的接続状態を変
更することを特徴とするインクジェット式記録装置にあ
る。

【００３５】かかる第１４の態様では、圧電素子の両電
極間の電気的接続状態を比較的容易に制御することがで
きる。

【００３６】本発明の第１５の態様は、第８〜１４の何
れかの態様において、前記圧電素子の各層が成膜及びリ
ソグラフィ法により形成されたものであることを特徴と
するインクジェット式記録装置にある。

【００３７】かかる第１５の態様では、圧電素子が高密
度に配列され、高品質印刷が実現される。

【００３８】本発明の第１６の態様は、第１５の態様に
おいて、前記圧電素子を構成する圧電体層の膜厚が、
０．５μｍ以上３μｍ以下であることを特徴とするイン
クジェット式記録装置にある。

【００３９】かかる第１６の態様では、圧電素子が高密
度に配列され、高品質印刷が実現されると共に、高周波
数駆動が可能となり高速印刷が実現される。

【００４０】

【発明の実施の形態】以下、実施形態に基づいて本発明
を詳しく説明する。

【００４１】（実施形態１）図１は、実施形態１に係る
インクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

【００４２】図１に示すように、インクジェット式記録
ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂは、イン
ク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱
可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂを
搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられた
キャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。こ
の記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、それぞれブラッ
クインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するもの
としている。

【００４３】そして、駆動モータ６の駆動力が図示しな
い複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリ
ッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及
び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿っ
て移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ３に沿
ってプラテン８が設けられている。また、このプラテン
８の近傍には排紙ローラ９が設けられ、図示しない紙送
りモータの駆動力により回転できるようになっており、
給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である
記録シートＳが搬送されるようになっている。

【００４４】このようなインクジェット式記録装置１０
では、キャリッジ３がキャリッジ軸５に沿って移動され
ると共にインクジェット式記録ヘッドによってインクが
吐出されて記録シートＳに印刷される。

【００４５】ここで、上述のようなインクジェット式記
録装置に搭載されるインクジェット式記録ヘッドについ
て説明する。図２は、本発明の実施形態１に係るインク
ジェット式記録ヘッドの一例を示す断面図である。

【００４６】本実施形態のインクジェット式記録ヘッド
２０は、いわゆるたわみ振動のインクジェット式記録ヘ
ッドであり、図２に示すように、流路形成基板２１には
圧力発生室２２及び圧力発生室２２とインク供給路２３
を介して連通される連通部２４が形成されている。そし
て、流路形成基板２１の一方面側は振動板２５によって
封止され、他方面はノズル開口２６を有するノズルプレ
ート２７で封止されている。

【００４７】一方、振動板２５の圧力発生室２２とは反
対側には、薄膜からなり、例えば、厚さが１μｍの下電
極膜２８と、厚さが０．５〜５μｍの圧電体層２９と、
厚さが上電極膜３０で構成される圧電素子３１が、例え
ば、成膜及びリソグラフィ法によって形成されている。
また、この圧電素子３１の長手方向一端部近傍から振動
板２５上に亘ってリード電極３２が延設され、その端部
近傍には、例えばフレキシブルケーブル等の外部配線
（図示なし）が接続される。

【００４８】また、流路形成基板２１の圧電素子３１側
には、連通部２４と連通してリザーバ３３を構成するリ
ザーバ部３４が形成されたリザーバ形成基板３５が接合
され、このリザーバ部３４には、図示しないインクタン
クが接続されるようになっている。さらに、リザーバ形
成基板３５には、圧電素子３１を覆う圧電素子保持部３
６が設けられており、圧電素子３１はこの圧電素子保持
部３６内に密封されている。

【００４９】このように構成されたインクジェット式記
録ヘッド２０では、圧電素子３１に電圧が印加される
と、圧電素子３１が撓むことによって振動板２５が変位
し、圧力発生室２２が収縮することによってノズル開口
２６からインク滴が吐出される。

【００５０】次に、このようなインクジェット式記録ヘ
ッドによるインクの吐出を制御する構成を図３に示す。

【００５１】図３のブロック図に示すように、本実施形
態に係るインクジェット式記録ヘッドでは、実際に印刷
を行う機構部となる記録ヘッド２０とこの記録ヘッド２
０の動作を制御する制御部５０とを有する。

【００５２】制御部５０の印刷制御手段５１は、記録ヘ
ッド２０の印刷動作の制御を行うものであり、例えば、
印刷信号の入力に伴って記録ヘッド駆動回路５２を介し
て記録ヘッド２０に印刷動作を実行させる。

【００５３】また、維持手段５３は、印刷制御手段５１
が記録ヘッド２０の圧電素子３１を駆動してノズル開口
２６からインク滴を吐出する印刷動作が実行されていな
い期間、すなわち待機期間に、圧電素子３１の両電極
（下電極膜２８及び上電極膜３０）間の電気的接続状態
を制御した状態でこの圧電素子３１を保持し、印刷動作
時のインク吐出特性を所定範囲内に維持する。

【００５４】具体的には、維持手段５３は、印刷動作時
毎のインク吐出特性を所定範囲内に維持すると共に、各
印刷動作時のノズル開口２６毎のインク吐出特性を所定
範囲内に維持する。

【００５５】なお、これら印刷制御手段５１及び維持手
段５３は、それぞれセレクタＩＣ等の切り替え手段５４
を介して記録ヘッド２０に接続されている。

【００５６】そして、このようなインクジェット式記録
装置１０では、図４に示すように、ステップＳ１１で電
源が投入され、印刷信号が入力されると（ステップＳ１
２：Ｙｅｓ）、ステップＳ１３で印刷制御手段５１が、
記録ヘッド駆動回路５２を介して記録ヘッド２０を駆動
して印刷動作を実行する。すなわち、印刷制御手段５１
が、切り替え手段５４を制御して所定のノズル開口に対
応する圧電素子３１に選択的に電圧を印加することによ
って印刷動作を実行する。そして、一連の印刷動作が終
了すると（ステップＳ１４）、ステップＳ１５で維持手
段５３が切り替え手段５４を制御して全てのノズル開口
２６に対応する圧電素子３１の両電極２８，３０間を電
気的に接続して同電位として圧電素子３１を保持する。
そして、再び印刷信号が入力されるまで全ての圧電素子
３１の両電極２８，３０間を導通状態として圧電素子３
１を保持する。

【００５７】このように印刷動作時等の印刷動作が実行
されていない期間に、圧電素子３１の両電極２８，３０
間を導通状態として圧電素子３１を保持することによ
り、各印刷動作時のインク吐出特性、及びノズル開口２
６毎のインク吐出特性が所定範囲内に維持され、常に安
定した印刷品質を得ることができる。

【００５８】ここで、薄膜からなる圧電素子は、連続的
に駆動してインク滴を吐出させると、インク吐出速度及
びインク吐出量等のインク吐出特性が低下する。すなわ
ち、圧電素子に同一電圧を印加した際の実質的な変位量
が徐々に低下してインクの排除体積が小さくなってしま
う。例えば、本実施形態の圧電素子３１を連続的に駆動
してインク滴を吐出させると、図５に示すように、イン
ク吐出量は初期特性の８５％程度まで低下し、インク吐
出速度は７５％程度まで低下して安定する。

【００５９】また、このようなインク吐出特性の低下
は、圧電素子に電圧が印加されることによって生じた圧
電体層の残留分極に起因するものであり、インク吐出特
性は、この圧電体層の残留分極が緩和されることによっ
てある程度回復して安定する。

【００６０】そこで、本実施形態では、印刷動作が実行
されて待機期間に、全ての圧電素子３１の両電極２８，
３０間を電気的に接続して導通状態に保持することによ
って、圧電体層２９の残留分極が比較的短時間で効果的
に緩和されるようにした。例えば、本実施形態の圧電素
子３１では、両電極（下電極膜２８，上電極膜３０）間
を導通状態として圧電素子３１を保持しておくことによ
り、図６に示すように、インク吐出量は、５〜１０時間
程度で、初期特性の９５％程度まで回復し、インク吐出
速度は初期特性の８５％程度まで回復して安定した。

【００６１】これにより、各圧電素子３１は、常に圧電
体層２９の残留分極が緩和された状態にとなり、印刷動
作時のインク吐出特性が所定範囲内、本実施形態では、
５％程度の範囲内に維持されるため、常に良好な印刷品
質を得ることができる。

【００６２】なお、本実施形態では、維持手段５３が、
全ての圧電素子３１の両電極２８，３０間の電気的接続
状態を制御するようにしたが、これに限定されず、勿
論、印刷動作時に駆動された圧電素子の両電極間の電気
的接続状態のみを制御するようにしてもよい。

【００６３】（実施形態２）図７は、実施形態２に係る
インクジェット式記録装置の動作について説明するフロ
ーチャートである。

【００６４】本実施形態は、維持手段５３が、圧電素子
３１の両電極２８，３０間を電気的に切断して絶縁状態
に保持するようにした例である。すなわち、実施形態１
では、維持手段５３が、印刷動作終了後に、圧電素子３
１の両電極２８，３０間を導通状態として圧電素子を保
持するようにしたが（図４：ステップＳ１５）、本実施
形態では、図７に示すように、ステップＳ１３で印刷動
作が終了した後に、ステップＳ２５で、維持手段５３
が、圧電素子３１の両電極２８，３０間を電気的に切断
して絶縁状態で保持するようにした。

【００６５】このように圧電素子３１の両電極間を絶縁
状態に保持することにより、圧電素子３１を構成する圧
電体層２９の残留分極の緩和が抑えられ、各圧電素子３
１は、圧電体層２９の残留分極が常に残った状態で保持
されることになる。したがって、インク吐出特性は初期
特性よりも低下するものの、印刷動作時のインク吐出特
性は所定範囲内に維持される（図５参照）。すなわち、
ノズル開口２６毎のインク吐出特性のばらつきを防止し
て常に良好な印刷品質を得ることができる。

【００６６】なお、維持手段５３は、圧電素子３１の両
電極２８，３０間を電気的に切断する際に、圧電素子３
１にインク滴が吐出されない程度の電圧を印加するよう
にしてもよい。これにより、圧電体層２９の残留分極の
緩和がより効果的に抑えられるため、インク吐出特性を
所定範囲内に確実に維持することができる。

【００６７】（実施形態３）図８は、実施形態３に係る
インクジェット式記録装置の動作について説明するフロ
ーチャートである。

【００６８】実施形態２では、維持手段５３が、圧電素
子３１の両電極間を絶縁状態として圧電体層３１の残留
分極の緩和を抑えるようにしたが、本実施形態では、維
持手段５３が、圧電素子３１の両電極２８，３０間に所
定の電圧を連続的に印加することにより、圧電体層３１
の残留分極の緩和を抑えるようにした例である。

【００６９】すなわち、本実施形態では、図８に示すよ
うに、ステップＳ１４で印刷動作が終了した後に、ステ
ップＳ３５で、維持手段５３が、各圧電素子３１の両電
極２８，３０間を電気的に接続すると共に圧電素子３１
にインク滴が吐出されない程度の電圧、例えば５Ｖ程度
の電圧を連続的に印加するようにした以外、実施形態２
と同様である。

【００７０】このように、圧電素子３１の両電極２８，
３０間に電圧を連続的に印加することによっても圧電体
層２９の残留分極の緩和が抑えられるため、実施形態２
と同様に、インク吐出特性を所定範囲に維持することが
でき、常に良好な印刷品質を得ることができる。

【００７１】なお、本実施形態のように、維持手段５３
が、圧電素子３１に所定電圧を連続的に印加するように
した場合、例えば、図９に示すように、乾電池あるいは
蓄電池等の予備電源６０をさらに設けておき、主電源
（図示なし）が切断された後、この予備電源６０によっ
て圧電素子３１に所定電圧が印加され続けるようにして
もよい。これにより、圧電素子２９の残留分極の緩和が
より確実に抑えられ、インク吐出特性が確実に所定範囲
内に維持されるため、印刷品質をさらに安定させること
ができる。

【００７２】

【発明の効果】以上説明したように本発明では、印刷動
作が実行されていない期間に、圧電素子の両電極間の電
気的接続状態を制御して圧電素子を保持し、インク吐出
特性を所定範囲内に維持するようにした。すなわち、圧
電素子の駆動による排除体積の変動を抑えてインク吐出
特性のばらつきを防止するようにしたので、常に安定し
た印刷品質を得ることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録装置を示す概略図である。

【図２】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドの断面図である。

【図３】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドの電気的構成を示すブロック図である。

【図４】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドの動作を示すフローチャートである。

【図５】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドのインク吐出特性を示すグラフである。

【図６】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドのインク吐出特性を示すグラフである。

【図７】本発明の実施形態２に係るインクジェット式記
録ヘッドの動作を示すフローチャートである。

【図８】本発明の実施形態３に係るインクジェット式記
録ヘッドの動作を示すフローチャートである。

【図９】本発明の実施形態３に係るインクジェット式記
録ヘッドの電気的構成を示すブロック図である。

【符号の説明】

１０インクジェット式記録装置２０記録ヘッド５０制御部５１印刷制御手段５２記録ヘッド駆動回路５３維持手段５４切り替え手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者島田勝人長野県諏訪市大和３丁目３番５号セイコーエプソン株式会社内 (72)発明者村井正己長野県諏訪市大和３丁目３番５号セイコーエプソン株式会社内Ｆターム(参考） 2C057 AF71 AG39 AG47 AM04 AM16 AP51 BA03 BA04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ノズル開口に連通する圧力発生室に付設
された圧電素子を駆動することにより前記圧力発生室内
に圧力を付与して前記ノズル開口からインク滴を吐出さ
せるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法において、前記圧電素子に所定電圧を印加することにより前記ノズ
ル開口からインク滴を吐出させる印刷動作が実行されて
いない期間に、前記圧電素子を構成する両電極間の電気
的接続状態を制御した状態で当該圧電素子を保持し、印
刷動作時のインク吐出特性を所定範囲内に維持すること
を特徴とするインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。
【請求項２】請求項１において、前記圧電素子の両電
極間を電気的に切断して絶縁状態を保持することを特徴
とするインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。
【請求項３】請求項２において、前記圧電素子に所定
電圧を印加しながら前記圧電素子の両電極間を電気的に
切断することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド
の駆動方法。
【請求項４】請求項１において、前記圧電素子の両電
極間を電気的に接続して導通状態を保持することを特徴
とするインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。
【請求項５】請求項４において、前記圧電素子の両電
極間を電気的に接続すると共に、両電極間に所定電圧を
印加した状態を保持することを特徴とするインクジェッ
ト式記録ヘッドの駆動方法。
【請求項６】請求項１〜５の何れかにおいて、前記圧
電素子の各層が成膜及びリソグラフィ法により形成され
たものであることを特徴とするインクジェット式記録ヘ
ッドの駆動方法。
【請求項７】請求項６において、前記圧電素子を構成
する圧電体層の膜厚が、０．５μｍ以上３μｍ以下であ
ることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの駆動
方法。
【請求項８】ノズル開口に連通する圧力発生室に付設
された圧電素子を駆動することにより前記圧力発生室内
に圧力を付与して前記ノズル開口からインク滴を吐出さ
せるインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェ
ット式記録装置において、前記圧電素子に所定電圧を印加することにより前記ノズ
ル開口からインク滴を吐出させる印刷動作が実行されて
いない期間に、前記圧電素子を構成する両電極間の電気
的接続状態を制御した状態で当該圧電素子を保持して印
刷動作時のインク吐出特性を所定範囲内に維持する維持
手段を具備することを特徴とするインクジェット式記録
装置。
【請求項９】請求項８において、前記維持手段が、前
記圧電素子の両電極間を電気的に切断して絶縁状態を保
持することを特徴とするインクジェット式記録装置。
【請求項１０】請求項９において、前記維持手段が、
前記圧電素子に所定電圧を印加しながら前記圧電素子の
両電極間を電気的に切断することを特徴とするインクジ
ェット式記録装置。
【請求項１１】請求項８において、前記維持手段が、
前記圧電素子の両電極間を電気的に接続して導通状態を
保持することを特徴とするインクジェット式記録装置。
【請求項１２】請求項１１において、前記維持手段
が、前記圧電素子の両電極間を電気的に接続すると共
に、これら両電極間に所定電圧を連続的に印加すること
を特徴とするインクジェット式記録装置。
【請求項１３】請求項１２において、前記圧電素子に
前記所定電圧を印加可能な予備電源を有し、前記維持手
段は、主電源が切断された後も前記予備電源によって前
記圧電素子の両電極間に所定電圧を印加し続けることを
特徴とするインクジェット式記録装置。
【請求項１４】請求項８〜１３の何れかにおいて、前
記維持手段が、セレクタＩＣを制御して前記圧電素子の
両電極間の電気的接続状態を変更することを特徴とする
インクジェット式記録装置。
【請求項１５】請求項８〜１４の何れかにおいて、前
記圧電素子の各層が成膜及びリソグラフィ法により形成
されたものであることを特徴とするインクジェット式記
録装置。
【請求項１６】請求項１５において、前記圧電素子を
構成する圧電体層の膜厚が、０．５μｍ以上３μｍ以下
であることを特徴とするインクジェット式記録装置。