JP2003262576A - 微量有機化合物捕集装置及びそれを用いた分析装置 - Google Patents
微量有機化合物捕集装置及びそれを用いた分析装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】容易かつ安価にフォトマスク表面に吸着する微
量有機化合物の捕集分析ができ、角形のフォトマスクに
おいてもパターン形成部全ての微量有機化合物の捕集分
析が効率良くできる微量有機化合物の捕集装置及びそれ
を用いた分析装置を提供することを目的とする。 【解決手段】天板と底板でシール材とフォトマスクを挟
み込むことで形成する捕集エリアと、該フォトマスクの
加熱手段と、該捕集エリアにキャリアガスを供給しつつ
排出するキャリアガス供給排出手段とを備え、キャリア
ガスの成分捕集を行う微量有機化合物捕集装置であっ
て、前記シール材はフォトマスク表面のパターン部を囲
い、少なくともその側面にキャリアガスの供給口及び排
出口を設けたことを特徴とする微量有機化合物捕集装置
及びそれを用いた分析装置を提供する。
量有機化合物の捕集分析ができ、角形のフォトマスクに
おいてもパターン形成部全ての微量有機化合物の捕集分
析が効率良くできる微量有機化合物の捕集装置及びそれ
を用いた分析装置を提供することを目的とする。 【解決手段】天板と底板でシール材とフォトマスクを挟
み込むことで形成する捕集エリアと、該フォトマスクの
加熱手段と、該捕集エリアにキャリアガスを供給しつつ
排出するキャリアガス供給排出手段とを備え、キャリア
ガスの成分捕集を行う微量有機化合物捕集装置であっ
て、前記シール材はフォトマスク表面のパターン部を囲
い、少なくともその側面にキャリアガスの供給口及び排
出口を設けたことを特徴とする微量有機化合物捕集装置
及びそれを用いた分析装置を提供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路の製造工
程で使用されるフォトマスク表面に吸着する微量有機化
合物の捕集装置及びそれを用いた分析装置に関する。
程で使用されるフォトマスク表面に吸着する微量有機化
合物の捕集装置及びそれを用いた分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコンウェハ上に集積回路パターンを
描画するフォトリソグラフィ技術において、近年ＬＳＩ
の高集積化に伴い、より狭い線幅で微細な回路パターン
を描画するための技術が要求されており、これに対応す
るために露光光源の短波長化が進められている。例え
ば、リソグラフィ用ステッパの光源は、従来のｇ線（波
長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）から進んでＫ
ｒＦエキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキ
シマレーザー（波長１９３ｎｍ）、Ｆ2レーザー（波長
１５７ｎｍ）等のより短波長光源に移行されている。
描画するフォトリソグラフィ技術において、近年ＬＳＩ
の高集積化に伴い、より狭い線幅で微細な回路パターン
を描画するための技術が要求されており、これに対応す
るために露光光源の短波長化が進められている。例え
ば、リソグラフィ用ステッパの光源は、従来のｇ線（波
長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）から進んでＫ
ｒＦエキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキ
シマレーザー（波長１９３ｎｍ）、Ｆ2レーザー（波長
１５７ｎｍ）等のより短波長光源に移行されている。
【０００３】露光光源の短波長化に伴い光吸収が大きく
なり、有機化合物が微量でもフォトマスク表面に吸着し
ていると露光光が吸収されフォトマスクに対する露光光
の透過率が低下してしまう。この為、フォトマスク表面
に吸着する微量有機化合物の分析装置及び分析方法が必
要となる。
なり、有機化合物が微量でもフォトマスク表面に吸着し
ていると露光光が吸収されフォトマスクに対する露光光
の透過率が低下してしまう。この為、フォトマスク表面
に吸着する微量有機化合物の分析装置及び分析方法が必
要となる。
【０００４】これまで基板表面に付着する微量有機化合
物の分析装置及び分析方法として、特開平５−２５６８
４２公報、特開平６−２８８８８１公報等に記載されて
いるように、石英等の耐熱性のある材料で作製されたセ
ル内に基板を収容させ、セルを加熱炉中にて高温加熱す
ることにより微量有機化合物を脱着させ、トラップ管に
濃縮させると共に、トラップ管の加熱により微量有機化
合物を脱着させ、サーマル・ディソープション・コール
ドトラップ・インジェクター（以下、ＴＣＴと呼ぶ。）
に送ってクライオフォーカスさせた後、ガスクロマトグ
ラフに導入して分析する分析装置及び分析方法が知られ
ている。しかしセル内に基板を収容させ、セルを加熱炉
中にて高温加熱するため基板が加熱されにくく、微量有
機化合物が脱着しづらい。また、石英等の耐熱性のある
材料で作製されたセルを用いるため装置が高額となる。
物の分析装置及び分析方法として、特開平５−２５６８
４２公報、特開平６−２８８８８１公報等に記載されて
いるように、石英等の耐熱性のある材料で作製されたセ
ル内に基板を収容させ、セルを加熱炉中にて高温加熱す
ることにより微量有機化合物を脱着させ、トラップ管に
濃縮させると共に、トラップ管の加熱により微量有機化
合物を脱着させ、サーマル・ディソープション・コール
ドトラップ・インジェクター（以下、ＴＣＴと呼ぶ。）
に送ってクライオフォーカスさせた後、ガスクロマトグ
ラフに導入して分析する分析装置及び分析方法が知られ
ている。しかしセル内に基板を収容させ、セルを加熱炉
中にて高温加熱するため基板が加熱されにくく、微量有
機化合物が脱着しづらい。また、石英等の耐熱性のある
材料で作製されたセルを用いるため装置が高額となる。
【０００５】またシリコンウェハ表面の微量有機化合物
を分析する分析装置及び分析方法として図３に示すよう
に、シリコンウェハを底板１となるヒーターとＯリング
（シール材）４及びキャリアガスの供給口５、排出口６
が設けられた天板３で挟み、ヒーターでシリコンウェハ
を高温加熱しながらキャリアガスを供給しつつ排出し微
量有機化合物を脱着させ、トラップ管９に濃縮させると
共に、トラップ管の加熱により微量有機化合物を脱着さ
せ、ＴＣＴに送ってクライオフォーカスさせた後、ガス
クロマトグラフに導入して分析する分析装置及び分析方
法が考案されている。しかし、フォトマスク表面のみの
汚染具合を分析するためには、シリコンウェハ表面を対
象とした微量有機化合物の分析装置及び分析方法では、
捕集可能エリアが丸形である為、角形のフォトマスクに
おいて、パターン形成部全ての微量有機化合物の捕集が
困難となっていた。さらに捕集エリアを角形にした場
合、天板に設けられた供給口及び排出口ではキャリアガ
スが滞留してしまい角形の捕集エリア全体に供給されに
くく、捕集エリア内全ての微量有機化合物を捕集するこ
とが困難であった。
を分析する分析装置及び分析方法として図３に示すよう
に、シリコンウェハを底板１となるヒーターとＯリング
（シール材）４及びキャリアガスの供給口５、排出口６
が設けられた天板３で挟み、ヒーターでシリコンウェハ
を高温加熱しながらキャリアガスを供給しつつ排出し微
量有機化合物を脱着させ、トラップ管９に濃縮させると
共に、トラップ管の加熱により微量有機化合物を脱着さ
せ、ＴＣＴに送ってクライオフォーカスさせた後、ガス
クロマトグラフに導入して分析する分析装置及び分析方
法が考案されている。しかし、フォトマスク表面のみの
汚染具合を分析するためには、シリコンウェハ表面を対
象とした微量有機化合物の分析装置及び分析方法では、
捕集可能エリアが丸形である為、角形のフォトマスクに
おいて、パターン形成部全ての微量有機化合物の捕集が
困難となっていた。さらに捕集エリアを角形にした場
合、天板に設けられた供給口及び排出口ではキャリアガ
スが滞留してしまい角形の捕集エリア全体に供給されに
くく、捕集エリア内全ての微量有機化合物を捕集するこ
とが困難であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、これらの問
題点を解決するためになされたものであり、容易かつ安
価にフォトマスク表面に吸着する微量有機化合物の捕集
分析ができ、角形のフォトマスクにおいてもパターン形
成部全ての微量有機化合物の捕集分析が効率良くできる
微量有機化合物の捕集装置及びそれを用いた分析装置を
提供することを目的とする。
題点を解決するためになされたものであり、容易かつ安
価にフォトマスク表面に吸着する微量有機化合物の捕集
分析ができ、角形のフォトマスクにおいてもパターン形
成部全ての微量有機化合物の捕集分析が効率良くできる
微量有機化合物の捕集装置及びそれを用いた分析装置を
提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明において上記の課
題を解決するために、本発明の第１の発明は、天板と底
板でシール材とフォトマスクを挟み込むことで形成する
捕集エリアと、該フォトマスクの加熱手段と、該捕集エ
リアにキャリアガスを供給しつつ排出するキャリアガス
供給排出手段とを備え、キャリアガスの成分捕集を行う
微量有機化合物捕集装置であって、前記シール材はフォ
トマスク表面のパターン部を囲い、少なくともその側面
にキャリアガスの供給口及び排出口を設けたことを特徴
とする微量有機化合物捕集装置を提供する。
題を解決するために、本発明の第１の発明は、天板と底
板でシール材とフォトマスクを挟み込むことで形成する
捕集エリアと、該フォトマスクの加熱手段と、該捕集エ
リアにキャリアガスを供給しつつ排出するキャリアガス
供給排出手段とを備え、キャリアガスの成分捕集を行う
微量有機化合物捕集装置であって、前記シール材はフォ
トマスク表面のパターン部を囲い、少なくともその側面
にキャリアガスの供給口及び排出口を設けたことを特徴
とする微量有機化合物捕集装置を提供する。
【０００８】また、本発明の第２の発明は、前記シール
材が耐熱性を持ち、かつ脱ガスの少ない材料からなるこ
とを特徴とする請求項１記載の微量有機化合物捕集装置
を提供する。
材が耐熱性を持ち、かつ脱ガスの少ない材料からなるこ
とを特徴とする請求項１記載の微量有機化合物捕集装置
を提供する。
【０００９】また、本発明の第３の発明は、前記耐熱性
を持ち、かつ脱ガスの少ない材料がポリイミドであるこ
とを特徴とする請求項２記載の微量有機化合物捕集装置
を提供する。
を持ち、かつ脱ガスの少ない材料がポリイミドであるこ
とを特徴とする請求項２記載の微量有機化合物捕集装置
を提供する。
【００１０】また、本発明の第４の発明は、前記加熱手
段は天板と底板の両方に設けたことを特徴とする請求項
１〜３の何れかに記載の微量有機化合物捕集装置を提供
する。
段は天板と底板の両方に設けたことを特徴とする請求項
１〜３の何れかに記載の微量有機化合物捕集装置を提供
する。
【００１１】また、本発明の第５の発明は、前記加熱手
段は少なくとも一方が赤外線加熱装置からなることを特
徴とする請求項１〜４の何れかに記載の微量有機化合物
捕集装置を提供する。
段は少なくとも一方が赤外線加熱装置からなることを特
徴とする請求項１〜４の何れかに記載の微量有機化合物
捕集装置を提供する。
【００１２】また、本発明の第６の発明は、請求項１〜
５のいずれかに記載の微量有機化合物捕集装置と定性定
量分析を行う分析部からなることを特徴とする微量有機
化合物分析装置を提供する。
５のいずれかに記載の微量有機化合物捕集装置と定性定
量分析を行う分析部からなることを特徴とする微量有機
化合物分析装置を提供する。
【００１３】また、本発明の第７の発明は、請求項６記
載の微量有機化合物分析装置により分析することを特徴
とした微量有機化合物分析方法を提供する。
載の微量有機化合物分析装置により分析することを特徴
とした微量有機化合物分析方法を提供する。
【００１４】また、本発明の第８の発明は、請求項７の
微量有機化合物分析方法を用いてフォトマスクの良否判
定を行うことを特徴とするフォトマスクの良否判定方法
微量有機化合物分析方法を用いてフォトマスクの良否判
定を行うことを特徴とするフォトマスクの良否判定方法
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の微量有機化合物捕
集装置及びそれを用いた分析装置の一実施の形態につい
て、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の微量
有機化合物分析装置の一例を示す断面図であり、図２
は、本発明におけるシール材の一例を示す斜視図であ
る。
集装置及びそれを用いた分析装置の一実施の形態につい
て、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の微量
有機化合物分析装置の一例を示す断面図であり、図２
は、本発明におけるシール材の一例を示す斜視図であ
る。
【００１６】まず、側面にキャリアガス供給口及び排出
口のある角形のシール材が設けられた天板と底板で、そ
れぞれフォトマスクの表面と裏面を挟む。ここで、前記
フォトマスクの表面をパターニングされた面、前記フォ
トマスクの裏面をパターニングされていない面とする。
口のある角形のシール材が設けられた天板と底板で、そ
れぞれフォトマスクの表面と裏面を挟む。ここで、前記
フォトマスクの表面をパターニングされた面、前記フォ
トマスクの裏面をパターニングされていない面とする。
【００１７】本発明におけるキャリアガス供給口及び排
出口は、捕集エリア内でのキャリアガスの流れを考慮
し、フォトマスク表面の捕集エリア全体の微量有機化合
物を捕集することができるような位置にこれらの口が形
成されており、特にシール材の角にキャリアガス供給口
と排出口が、互いに対向する位置に形成されることが好
ましい。また、図２に示すように捕集エリア全体の微量
有機化合物を捕集するため、キャリアガス供給口が２個
以上形成されていてもよく、キャリアガス排出口が２個
以上形成されていてもよい。口の大きさは、特に限定さ
れないが、微量有機化合物の捕集効率の観点と口開けに
よるシール材の強度低下を防止する観点とを考慮する
と、口径は０．１〜２．０ｍｍ程度が好ましい。また、
ガスの圧力損失を最小限にするためには、口形状は丸形
が好ましいが、特に丸形に限定するものではない。
出口は、捕集エリア内でのキャリアガスの流れを考慮
し、フォトマスク表面の捕集エリア全体の微量有機化合
物を捕集することができるような位置にこれらの口が形
成されており、特にシール材の角にキャリアガス供給口
と排出口が、互いに対向する位置に形成されることが好
ましい。また、図２に示すように捕集エリア全体の微量
有機化合物を捕集するため、キャリアガス供給口が２個
以上形成されていてもよく、キャリアガス排出口が２個
以上形成されていてもよい。口の大きさは、特に限定さ
れないが、微量有機化合物の捕集効率の観点と口開けに
よるシール材の強度低下を防止する観点とを考慮する
と、口径は０．１〜２．０ｍｍ程度が好ましい。また、
ガスの圧力損失を最小限にするためには、口形状は丸形
が好ましいが、特に丸形に限定するものではない。
【００１８】本発明における前記シール材として、ビニ
リデンフロライド−ヘキサフロロプロピレン（ＶＤＦ−
ＨＦＰ）系、ビニリデンフロライド−テトラフロロエチ
レン−パーフロロメチルビニルエーテル（ＶＤＦ−ＴＦ
Ｅ−ＰＭＶＥ）系、テトラフロロエチレン−パーフロロ
メチルビニルエーテル（ＴＦＥ−ＰＭＶＥ）系などのフ
ッ素ゴム、全芳族液晶ポリマー、セラブリック、アルミ
ニウム、Ａｕ、Ａｇ等の耐熱性があり脱ガスの少ない材
料からなるガスケットを用いることができる。特に、セ
ラブリック、アルミニウム、Ａｕ、Ａｇよりフォトマス
ク表面へキズをつけにくく、フッ素ゴムより耐熱温度が
高く（フッ素ゴム：常時約２００℃，ポリイミド：常時
約２５０℃）、高温使用時でも化学的に安定している、
ポリイミドからなるガスケットを用いることが好まし
い。また、セラミック、ステンレス等の熱膨張率の少な
い材料からなるガスケットに、前述したフッ素ゴム、全
芳族液晶ポリマー、ポリイミド等の耐熱性があり脱ガス
の少ない高分子材料によりコーティングを施しても良
い。
リデンフロライド−ヘキサフロロプロピレン（ＶＤＦ−
ＨＦＰ）系、ビニリデンフロライド−テトラフロロエチ
レン−パーフロロメチルビニルエーテル（ＶＤＦ−ＴＦ
Ｅ−ＰＭＶＥ）系、テトラフロロエチレン−パーフロロ
メチルビニルエーテル（ＴＦＥ−ＰＭＶＥ）系などのフ
ッ素ゴム、全芳族液晶ポリマー、セラブリック、アルミ
ニウム、Ａｕ、Ａｇ等の耐熱性があり脱ガスの少ない材
料からなるガスケットを用いることができる。特に、セ
ラブリック、アルミニウム、Ａｕ、Ａｇよりフォトマス
ク表面へキズをつけにくく、フッ素ゴムより耐熱温度が
高く（フッ素ゴム：常時約２００℃，ポリイミド：常時
約２５０℃）、高温使用時でも化学的に安定している、
ポリイミドからなるガスケットを用いることが好まし
い。また、セラミック、ステンレス等の熱膨張率の少な
い材料からなるガスケットに、前述したフッ素ゴム、全
芳族液晶ポリマー、ポリイミド等の耐熱性があり脱ガス
の少ない高分子材料によりコーティングを施しても良
い。
【００１９】次にフォトマスクを加熱し、フォトマスク
表面に吸着した捕集エリア内の微量有機化合物を熱脱着
させ、キャリアガスをキャリアガス供給管に接続された
キャリアガス供給口より供給しつつ、キャリアガス排出
口より排出し、排出されたキャリアガスがキャリアガス
排出管を通ってトラップ管へ導入されることにより、ト
ラップ管へ微量有機化合物が捕集される。
表面に吸着した捕集エリア内の微量有機化合物を熱脱着
させ、キャリアガスをキャリアガス供給管に接続された
キャリアガス供給口より供給しつつ、キャリアガス排出
口より排出し、排出されたキャリアガスがキャリアガス
排出管を通ってトラップ管へ導入されることにより、ト
ラップ管へ微量有機化合物が捕集される。
【００２０】本発明におけるキャリアガスとしてＮ2ガ
ス又はＡｒやＨｅ等の希ガスを用いることが出来るが、
入手が容易で安価な点からＮ2ガスを用いることが好ま
しい。
ス又はＡｒやＨｅ等の希ガスを用いることが出来るが、
入手が容易で安価な点からＮ2ガスを用いることが好ま
しい。
【００２１】本発明におけるキャリアガス供給管には、
必要に応じて流量コントローラー、流量計、前処理用ト
ラップ管を設けることができる。前記流量コントローラ
ー、流量計を設けることによりキャリアガスの流量を正
確に調整することができる。また前記前処理用トラップ
管を設けることによりキャリアガス内に混入されている
有機化合物を除去することができる。その為、キャリア
ガス供給管に前記流量コントローラー、流量計、前処理
トラップ管を設けることにより再現性よくフォトマスク
表面に吸着した微量有機化合物を捕集分析することがで
きる。
必要に応じて流量コントローラー、流量計、前処理用ト
ラップ管を設けることができる。前記流量コントローラ
ー、流量計を設けることによりキャリアガスの流量を正
確に調整することができる。また前記前処理用トラップ
管を設けることによりキャリアガス内に混入されている
有機化合物を除去することができる。その為、キャリア
ガス供給管に前記流量コントローラー、流量計、前処理
トラップ管を設けることにより再現性よくフォトマスク
表面に吸着した微量有機化合物を捕集分析することがで
きる。
【００２２】フォトマスクを加熱する方法としては、底
板にヒーター等の加熱機能を設けてフォトマスク裏面よ
り加熱する方法がある。また天板に赤外線加熱装置を設
けることによりフォトマスク表面より加熱することがで
きる。遠赤外線加熱装置を用いることによりキャリアガ
スの熱伝導度に影響されず加熱することが可能であり、
また赤外線加熱装置は、瞬時に最高出力に到達するため
フォトマスクの加熱時間が短縮される。さらに、底板に
設けられた加熱機能を用いてフォトマスク裏面より加熱
しつつ、天板に設けられた赤外線加熱装置を用いてフォ
トマスク表面より加熱することができる。赤外線加熱装
置が放射する赤外線の波長としては、１．０μｍ〜２
０．０μｍ程度が望ましく、さらに１．２μｍ〜６．０
μｍ程度が好ましい。加熱温度は、８０℃〜３００℃程
度が望ましく、さらに１８０℃〜２３０℃程度が好まし
い。
板にヒーター等の加熱機能を設けてフォトマスク裏面よ
り加熱する方法がある。また天板に赤外線加熱装置を設
けることによりフォトマスク表面より加熱することがで
きる。遠赤外線加熱装置を用いることによりキャリアガ
スの熱伝導度に影響されず加熱することが可能であり、
また赤外線加熱装置は、瞬時に最高出力に到達するため
フォトマスクの加熱時間が短縮される。さらに、底板に
設けられた加熱機能を用いてフォトマスク裏面より加熱
しつつ、天板に設けられた赤外線加熱装置を用いてフォ
トマスク表面より加熱することができる。赤外線加熱装
置が放射する赤外線の波長としては、１．０μｍ〜２
０．０μｍ程度が望ましく、さらに１．２μｍ〜６．０
μｍ程度が好ましい。加熱温度は、８０℃〜３００℃程
度が望ましく、さらに１８０℃〜２３０℃程度が好まし
い。
【００２３】本発明におけるキャリアガス排出管は、フ
ォトマスクを高温加熱したことにより熱脱着した微量有
機化合物が、キャリアガス排出管に吸着することを防止
するために、加熱器等を用いて加熱し、キャリアガス排
出管内の温度を高温に保つことができる。
ォトマスクを高温加熱したことにより熱脱着した微量有
機化合物が、キャリアガス排出管に吸着することを防止
するために、加熱器等を用いて加熱し、キャリアガス排
出管内の温度を高温に保つことができる。
【００２４】キャリアガスの供給方法としては、キャリ
アガス供給管よりキャリアガスを加圧導入することによ
り行っても良く、キャリアガス排出管からキャリアガス
を吸引し、結果としてキャリアガス供給口からフォトマ
スク表面の捕集エリアにキャリアガスを供給することに
より行っても良い。具体的には、キャリアガス供給管に
接続される場合には、加圧ポンプやガスボンベ等が、キ
ャリアガス排出管に接続する場合は吸引ポンプ等が挙げ
られる。
アガス供給管よりキャリアガスを加圧導入することによ
り行っても良く、キャリアガス排出管からキャリアガス
を吸引し、結果としてキャリアガス供給口からフォトマ
スク表面の捕集エリアにキャリアガスを供給することに
より行っても良い。具体的には、キャリアガス供給管に
接続される場合には、加圧ポンプやガスボンベ等が、キ
ャリアガス排出管に接続する場合は吸引ポンプ等が挙げ
られる。
【００２５】本発明におけるトラップ管には、捕集剤が
充填されている。前記捕集剤は、微量有機化合物を吸着
捕集できるものであって、化学的に不活性でそれ自身が
微量有機化合物を放出しない捕集剤であれば特に限定さ
れるものではない。このような捕集剤として、ＴＥＮＡ
Ｘ（Ｂｕｃｈｅｍ製）、シリコン、活性炭、モレキュラ
ーシーブ等を単独又は組み合わせて用いることができ
る。
充填されている。前記捕集剤は、微量有機化合物を吸着
捕集できるものであって、化学的に不活性でそれ自身が
微量有機化合物を放出しない捕集剤であれば特に限定さ
れるものではない。このような捕集剤として、ＴＥＮＡ
Ｘ（Ｂｕｃｈｅｍ製）、シリコン、活性炭、モレキュラ
ーシーブ等を単独又は組み合わせて用いることができ
る。
【００２６】最後にフォトマスク表面に吸着した捕集エ
リア内の微量有機化合物が捕集されたトラップ管を加熱
し微量有機化合物を熱脱着し、分析部に送り、分析しデ
ータを処理する。
リア内の微量有機化合物が捕集されたトラップ管を加熱
し微量有機化合物を熱脱着し、分析部に送り、分析しデ
ータを処理する。
【００２７】本発明における分析部は、ＴＣＴとガスク
ロマトグラフ、ガスクロマトグラフ／質量分析計、ガス
クロマトグラフ−原子発光検出器、ガスクロマトグラフ
／赤外分光装置などを用いることができる。
ロマトグラフ、ガスクロマトグラフ／質量分析計、ガス
クロマトグラフ−原子発光検出器、ガスクロマトグラフ
／赤外分光装置などを用いることができる。
【００２８】以上、説明してきた微量有機化合物分析装
置において、フォトマスクの良否判定を行う場合、特に
光吸収が問題となる露光波長領域では、分析した付着有
機化合物濃度が、１ｐｐｍ以下であることが望ましい。
置において、フォトマスクの良否判定を行う場合、特に
光吸収が問題となる露光波長領域では、分析した付着有
機化合物濃度が、１ｐｐｍ以下であることが望ましい。
【００２９】次に、図１に示した本発明の微量有機化合
物分析装置と、図３に示した比較例の微量有機化合物分
析装置をそれぞれ実施例、比較例として用いて分析した
結果を示す。 ＜実施例＞まず、予め成分が判明している有機化合物を
付着させたフォトマスク２をヒーターが設けられた底板
１に設置し、底板１に設けられている油圧シリンダ１０
により、側面に直径１ｍｍである丸形のキャリアガス供
給口５及び排出口６が開いたポリイミドからなる角形の
シール材４が設けられた天板３にフォトマスク２表面を
圧着させた。
物分析装置と、図３に示した比較例の微量有機化合物分
析装置をそれぞれ実施例、比較例として用いて分析した
結果を示す。 ＜実施例＞まず、予め成分が判明している有機化合物を
付着させたフォトマスク２をヒーターが設けられた底板
１に設置し、底板１に設けられている油圧シリンダ１０
により、側面に直径１ｍｍである丸形のキャリアガス供
給口５及び排出口６が開いたポリイミドからなる角形の
シール材４が設けられた天板３にフォトマスク２表面を
圧着させた。
【００３０】次に、底板１のヒーターによりフォトマス
ク２を２３０℃に加熱しフォトマスク２表面に吸着した
微量有機化合物を熱脱着させ、キャリアガス供給管７に
設けられた流量コントローラー及び流量計により正確に
流量が調整され、前処理トラップ管により有機化合物が
除去されたＮ2ガスをキャリアガスとして、キャリアガ
ス供給管７に接続された加圧ポンプにより、キャリアガ
ス供給口５からフォトマスク表面の捕集エリア１１に供
給しつつ、キャリアガス排出口６から排出し、排出され
たキャリアガスが、加熱器１２により加熱されたキャリ
アガス排出管８を通って、捕集剤としてＴＥＮＡＸが充
填されたトラップ管９へ導入されることにより、トラッ
プ管９へフォトマスク表面に吸着していた微量有機化合
物が捕集された。
ク２を２３０℃に加熱しフォトマスク２表面に吸着した
微量有機化合物を熱脱着させ、キャリアガス供給管７に
設けられた流量コントローラー及び流量計により正確に
流量が調整され、前処理トラップ管により有機化合物が
除去されたＮ2ガスをキャリアガスとして、キャリアガ
ス供給管７に接続された加圧ポンプにより、キャリアガ
ス供給口５からフォトマスク表面の捕集エリア１１に供
給しつつ、キャリアガス排出口６から排出し、排出され
たキャリアガスが、加熱器１２により加熱されたキャリ
アガス排出管８を通って、捕集剤としてＴＥＮＡＸが充
填されたトラップ管９へ導入されることにより、トラッ
プ管９へフォトマスク表面に吸着していた微量有機化合
物が捕集された。
【００３１】最後にフォトマスク表面に吸着していた微
量有機化合物が捕集されたトラップ管９を加熱し微量有
機化合物を熱脱着し、ＴＣＴとガスクロマトグラフ／質
量分析計からなる分析部に微量有機化合物を送り微量有
機化合物の定性及び定量分析を行った。
量有機化合物が捕集されたトラップ管９を加熱し微量有
機化合物を熱脱着し、ＴＣＴとガスクロマトグラフ／質
量分析計からなる分析部に微量有機化合物を送り微量有
機化合物の定性及び定量分析を行った。
【００３２】この微量有機化合物分析装置で行う分析方
法で得られた微量有機化合物の分析結果は、フォトマス
ク表面に吸着していた環状シロキサン（Ｄ３、Ｄ４、Ｄ
５）、フタル酸ジブチル（ＤＢＰ）、フタル酸ジオクチ
ル（ＤＯＰ）のピークが明確に検出され、予めわかって
いた成分と同じものであった。これは、フォトマスク２
表面の捕集エリア１１内でキャリアガスが滞留すること
なく、捕集エリア１１内で加熱脱着した微量有機化合物
が全てトラップ管９に捕集された結果である。
法で得られた微量有機化合物の分析結果は、フォトマス
ク表面に吸着していた環状シロキサン（Ｄ３、Ｄ４、Ｄ
５）、フタル酸ジブチル（ＤＢＰ）、フタル酸ジオクチ
ル（ＤＯＰ）のピークが明確に検出され、予めわかって
いた成分と同じものであった。これは、フォトマスク２
表面の捕集エリア１１内でキャリアガスが滞留すること
なく、捕集エリア１１内で加熱脱着した微量有機化合物
が全てトラップ管９に捕集された結果である。
【００３３】＜比較例＞キャリアガス供給口５及び排出
口６が、シール材４の側面ではなく天板３に設けられて
いる事以外は実施例１と同様の微量有機化合物分析装置
を用いて、実施例１と同様の方法で微量有機化合物の定
性及び定量分析を行った。
口６が、シール材４の側面ではなく天板３に設けられて
いる事以外は実施例１と同様の微量有機化合物分析装置
を用いて、実施例１と同様の方法で微量有機化合物の定
性及び定量分析を行った。
【００３４】この微量有機化合物分析装置で行う分析方
法で得られた微量有機化合物の分析結果は、フォトマス
ク表面に吸着していた環状シロキサン（Ｄ３、Ｄ４、Ｄ
５）、フタル酸ジブチル（ＤＢＰ）、フタル酸ジオクチ
ル（ＤＯＰ）の検出ピークが小さく、明確に検出するこ
とができなかった。これは、キャリアガス供給口５及び
排出口６が天板に設けられており、キャリアガスが捕集
エリア１１内で滞留してしまう為、フォトマスク２表面
の捕集エリア１１内で加熱脱着した微量有機化合物の一
部がトラップ管９に捕集することができなかった事が原
因である。
法で得られた微量有機化合物の分析結果は、フォトマス
ク表面に吸着していた環状シロキサン（Ｄ３、Ｄ４、Ｄ
５）、フタル酸ジブチル（ＤＢＰ）、フタル酸ジオクチ
ル（ＤＯＰ）の検出ピークが小さく、明確に検出するこ
とができなかった。これは、キャリアガス供給口５及び
排出口６が天板に設けられており、キャリアガスが捕集
エリア１１内で滞留してしまう為、フォトマスク２表面
の捕集エリア１１内で加熱脱着した微量有機化合物の一
部がトラップ管９に捕集することができなかった事が原
因である。
【００３５】
【発明の効果】本発明によれば、側面にキャリアガス供
給口及び排出口のあるフォトマスク表面のパターン部を
囲うシール材が設けられた天板と底板でフォトマスクを
挟み、フォトマスクを加熱しフォトマスク表面に吸着し
た微量有機化合物を熱脱着させ、キャリアガスを供給口
より供給しつつ、排出口より排出することにより、容易
かつ安価にフォトマスク表面に吸着する微量有機化合物
の捕集、分析ができ、角形のフォトマスクにおいてもパ
ターン形成部全ての微量有機化合物の捕集分析が効率良
くできるという効果を奏する。
給口及び排出口のあるフォトマスク表面のパターン部を
囲うシール材が設けられた天板と底板でフォトマスクを
挟み、フォトマスクを加熱しフォトマスク表面に吸着し
た微量有機化合物を熱脱着させ、キャリアガスを供給口
より供給しつつ、排出口より排出することにより、容易
かつ安価にフォトマスク表面に吸着する微量有機化合物
の捕集、分析ができ、角形のフォトマスクにおいてもパ
ターン形成部全ての微量有機化合物の捕集分析が効率良
くできるという効果を奏する。
【図１】本発明の微量有機化合物分析装置の一例を示す
断面図である。
断面図である。
【図２】本発明におけるシール材の一例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図３】比較例１の微量有機化合物分析装置の一例を示
す断面図である。
す断面図である。
１・・・底板
２・・・フォトマスク
３・・・天板
４・・・シール材
５・・・キャリアガス供給口
６・・・キャリアガス排出口
７・・・キャリアガス供給管
８・・・キャリアガス排出管
９・・・トラップ管
１０・・・油圧シリンダ
１１・・・捕集エリア
１２・・・加熱器
１３・・・分析部
１４・・・データ処理部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
// Ｇ０１Ｎ 30/72 Ｇ０１Ｎ 30/72 Ａ
Ｆターム(参考） 2G052 AA13 AB11 AB27 AC21 AD32
AD42 CA04 CA12 CA14 EB01
EB11 GA27 JA07 JA16
Claims (8)
- 【請求項１】天板と底板でシール材とフォトマスクを挟
み込むことで形成する捕集エリアと、該フォトマスクの
加熱手段と、該捕集エリアにキャリアガスを供給しつつ
排出するキャリアガス供給排出手段とを備え、キャリア
ガスの成分捕集を行う微量有機化合物捕集装置であっ
て、 前記シール材はフォトマスク表面のパターン部を囲い、
少なくともその側面にキャリアガスの供給口及び排出口
を設けたことを特徴とする微量有機化合物捕集装置。 - 【請求項２】前記シール材が耐熱性を持ち、かつ脱ガス
の少ない材料からなることを特徴とする請求項１記載の
微量有機化合物捕集装置。 - 【請求項３】前記耐熱性を持ち、かつ脱ガスの少ない材
料がポリイミドであることを特徴とする請求項２記載の
微量有機化合物捕集装置。 - 【請求項４】前記加熱手段は天板と底板の両方に設けた
ことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の微量有
機化合物捕集装置。 - 【請求項５】前記加熱手段は少なくとも一方が赤外線加
熱装置からなることを特徴とする請求項１〜４の何れか
に記載の微量有機化合物捕集装置。 - 【請求項６】請求項１〜５のいずれかに記載の微量有機
化合物捕集装置と定性定量分析を行う分析部からなるこ
とを特徴とする微量有機化合物分析装置。 - 【請求項７】請求項６記載の微量有機化合物分析装置に
より分析することを特徴とした微量有機化合物分析方
法。 - 【請求項８】請求項７の微量有機化合物分析方法を用い
てフォトマスクの良否判定を行うことを特徴とするフォ
トマスクの良否判定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002063074A JP2003262576A (ja) | 2002-03-08 | 2002-03-08 | 微量有機化合物捕集装置及びそれを用いた分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002063074A JP2003262576A (ja) | 2002-03-08 | 2002-03-08 | 微量有機化合物捕集装置及びそれを用いた分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003262576A true JP2003262576A (ja) | 2003-09-19 |
Family
ID=29196531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002063074A Pending JP2003262576A (ja) | 2002-03-08 | 2002-03-08 | 微量有機化合物捕集装置及びそれを用いた分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003262576A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005274329A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Kyoto Univ | フォトニック結晶を応用したセンサおよび検出対象物質の検出方法 |
| JP2007064647A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Toppan Printing Co Ltd | 気体モニタリングシステム |
-
2002
- 2002-03-08 JP JP2002063074A patent/JP2003262576A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005274329A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Kyoto Univ | フォトニック結晶を応用したセンサおよび検出対象物質の検出方法 |
| JP4511857B2 (ja) * | 2004-03-24 | 2010-07-28 | 国立大学法人京都大学 | フォトニック結晶を応用したセンサおよび検出対象物質の検出方法 |
| US7973924B2 (en) | 2004-03-24 | 2011-07-05 | Kyoto University | Target substance sensor and method thereof using a photonic crystal |
| JP2007064647A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Toppan Printing Co Ltd | 気体モニタリングシステム |
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| A977 | Report on retrieval |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060829 |
|
| A521 | Written amendment |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061212 |