JP2003245885A - Carrier apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハやガ
ラス基板などのワークを保持して搬送する搬送装置に関
し、特に、ワークの着脱確認を負圧の変化によって検知
する圧力センサを搭載した非接触型の搬送装置に適用し
て有効な技術に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device for holding and transferring a work such as a semiconductor wafer or a glass substrate, and more particularly to a non-contact device equipped with a pressure sensor for detecting attachment / detachment confirmation of a work based on a change in negative pressure. The present invention relates to a technique effective when applied to a die-type carrier device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体ウエハやフレキシブルディスクな
どの製造過程では、圧痕を残すことなく板状のワークを
搬送するため、特開平10-181879号公報のような非接触
型の搬送装置が使用されている。図４は、このような従
来の搬送装置の構成を示す説明図である。当該搬送装置
は、ロボットアーム５２に装着され、円形の搬送ヘッド
５１の先端面に、ワーク保持面５３が形成されている。
ワーク保持面５３の内側は凹部５４となっており、その
中心部には気体吐出部５５が設けられている。気体吐出
部５５とワーク保持面５３との間には気体案内面５６が
湾曲形成されている。2. Description of the Related Art In the process of manufacturing semiconductor wafers, flexible disks, etc., a plate-like work is conveyed without leaving an indentation. Therefore, a non-contact type conveyance device such as that disclosed in JP-A-10-181879 is used. There is. FIG. 4 is an explanatory diagram showing a configuration of such a conventional transport device. The transfer device is mounted on a robot arm 52, and a work holding surface 53 is formed on the tip end surface of a circular transfer head 51.
A concave portion 54 is formed inside the work holding surface 53, and a gas discharge portion 55 is provided at the center thereof. A gas guide surface 56 is curved between the gas discharge part 55 and the work holding surface 53.
【０００３】気体吐出部５５にはノズル５７が設けられ
ており、その頭部５８の基部に形成されたスリット６１
から気体案内面５６に向けて空気が吐出される。ノズル
５７から吐出した空気は、気体吐出部５５から気体案内
面５６に沿ってワーク保持面５３へと流れ、これにより
搬送ヘッド５１の前面が負圧状態となりワークＷが吸引
保持される。The gas discharge part 55 is provided with a nozzle 57, and a slit 61 formed at the base of a head part 58 thereof.
The air is discharged from the air toward the gas guide surface 56. The air discharged from the nozzle 57 flows from the gas discharge part 55 to the work holding surface 53 along the gas guide surface 56, whereby the front surface of the transfer head 51 is in a negative pressure state and the work W is suction-held.
【０００４】一方、搬送ヘッド５１の気体案内面５６に
は、発生する負圧値を検出するための負圧導入ポート６
２が設けられている。この場合、ワークＷが吸引される
と、気体案内面５６に沿った気流の流量が変化し負圧が
変動する。すなわち、負圧値をモニタすることにより、
ワークＷの着脱を判断することができる。そこで、当該
搬送装置では、負圧導入ポート６２を気体案内面５６に
開口形成して負圧値を圧力センサにて検知し、その変化
をコントローラにて解析することによりワークＷの着脱
を判断していた。On the other hand, on the gas guide surface 56 of the transfer head 51, the negative pressure introducing port 6 for detecting the generated negative pressure value.
Two are provided. In this case, when the work W is sucked, the flow rate of the air flow along the gas guide surface 56 changes and the negative pressure changes. That is, by monitoring the negative pressure value,
The attachment / detachment of the work W can be determined. Therefore, in the transfer apparatus, the negative pressure introducing port 62 is formed in the gas guide surface 56, the negative pressure value is detected by the pressure sensor, and the change is analyzed by the controller to determine the attachment / detachment of the work W. Was there.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ような搬送装置では、気体案内面５６に負圧導入ポート
６２が設けられているため、常に気流中にて負圧測定が
行われ、ワークＷが無い場合にも負圧が検知されること
になる。したがって、コントローラ側のプログラムに、
初期値Ｐ0として「ワーク無し時の負圧値」を設定する
とともに、ワーク有りの判断のため、圧力変動値ΔＰ0
をさらに入力する必要があった。このため、コントロー
ラ側におけるプログラム設定が複雑化するとともに、コ
ントローラの処理負担も増大するという問題があった。However, in the above-described transfer device, since the negative pressure introducing port 62 is provided in the gas guide surface 56, the negative pressure is always measured in the air flow and the work W Even when there is no negative pressure, the negative pressure is detected. Therefore, in the program on the controller side,
As the initial value P 0 , the “negative pressure value without work” is set, and the pressure fluctuation value ΔP 0 is used to judge the presence of work.
Had to enter further. Therefore, there is a problem that the program setting on the controller side becomes complicated and the processing load on the controller also increases.
【０００６】また、負圧導入ポート６２における検出圧
力は、供給する空気の圧力や流量、搬送ヘッド５１の径
などによって変化する。このため、初期値Ｐ0や圧力変
動値ΔＰ0もこれらの条件によって変動し、一定の設定
値では正確なワーク検出を行うことができないという問
題もあった。この場合、正確なワーク検出のためには、
条件が変動するたびに設定値を変更させなければなら
ず、極めて煩雑な作業が求められ、その改善が望まれて
いた。Further, the pressure detected at the negative pressure introducing port 62 changes depending on the pressure and flow rate of the supplied air, the diameter of the transport head 51, and the like. For this reason, the initial value P 0 and the pressure fluctuation value ΔP 0 also fluctuate according to these conditions, and there is a problem that accurate work detection cannot be performed with a fixed set value. In this case, for accurate work detection,
The set value must be changed every time the condition changes, and extremely complicated work is required, and its improvement has been desired.
【０００７】本発明の目的は、圧力値の変化によりワー
ク着脱の判断を行う非接触型の搬送装置におけるコント
ローラ側のプログラム設定を簡易化するとともに、ワー
ク検出精度の向上を図ることにある。An object of the present invention is to simplify the program setting on the controller side in a non-contact type transfer device which judges whether a work is attached or detached based on a change in pressure value, and to improve the work detection accuracy.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の搬送装置は、移
動部材に装着される搬送ヘッドの先端に、ワークを保持
する環状の保持面と、前記搬送ヘッド中央部の前記保持
面よりも後退した位置に設けられた気体吐出部と、この
気体吐出部と前記保持面とを結ぶ気体案内面とを形成
し、前記気体吐出部から前記気体案内面に沿って空気を
供給することにより前記搬送ヘッド前面に負圧を発生さ
せて前記ワークを保持する搬送装置であって、前記気体
吐出部に前記搬送ヘッド前面側に向けて開口形成され、
圧力検出手段に連通されて前記搬送ヘッド前面の気圧を
検出し、前記ワークを保持しない状態では大気圧となる
圧力検出ポートを有することを特徴とする。According to another aspect of the present invention, there is provided a transporting device, wherein an end of a transporting head mounted on a moving member is retracted from an annular holding surface for holding a work and the holding surface at a central portion of the transporting head. Forming a gas discharge part provided at the above position and a gas guide surface connecting the gas discharge part and the holding surface, and supplying air from the gas discharge part along the gas guide surface to carry the carrier. A carrier device for holding a work by generating a negative pressure on the front surface of the head, wherein an opening is formed in the gas discharge portion toward the front surface side of the carrier head.
It is characterized in that it has a pressure detection port which is connected to a pressure detection means to detect the atmospheric pressure on the front surface of the transport head and which becomes the atmospheric pressure when the work is not held.
【０００９】本発明の搬送装置は、前記気体吐出部は、
前記気体案内面に向かって開口し前記気体案内面に沿っ
て空気を吐出するスリットを有するノズルと、前記ノズ
ルに前記スリットと連通することなく形成された前記圧
力検出ポートを有することを特徴とする。In the transfer device of the present invention, the gas discharge part is
A nozzle having a slit that opens toward the gas guide surface and discharges air along the gas guide surface; and the pressure detection port that is formed in the nozzle without communicating with the slit. .
【００１０】本発明の搬送装置は、前記搬送ヘッドが前
記圧力検出手段として、前記圧力検出ポートと接続され
た圧力センサを搭載してなることを特徴とする。The carrying device of the present invention is characterized in that the carrying head is equipped with a pressure sensor connected to the pressure detecting port as the pressure detecting means.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形
態である搬送装置を装置前面側から見た斜視図、図２は
図１の搬送装置における搬送ヘッドの平面図、図３は図
２のＡ−Ａ線に沿った搬送ヘッドの部分断面図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. 1 is a perspective view of a carrying device according to an embodiment of the present invention seen from the front side of the device, FIG. 2 is a plan view of a carrying head in the carrying device of FIG. 1, and FIG. 3 is a line AA of FIG. FIG. 7 is a partial cross-sectional view of the transport head along the line.
【００１２】図１に示すように、搬送ヘッド１は移動部
材としてのロボットアーム２に装着され、ロボットアー
ム２によって所定の軌跡で移動するようになっている。
搬送ヘッド１は図示するように、外周面が円形となって
おり、上端側には３個の取付ねじ孔１２が設けられ、ロ
ボットアーム２にねじ止め固定されるようになってい
る。As shown in FIG. 1, the transfer head 1 is mounted on a robot arm 2 as a moving member, and is moved by the robot arm 2 along a predetermined locus.
As shown in the figure, the transfer head 1 has a circular outer peripheral surface, is provided with three mounting screw holes 12 on the upper end side, and is screwed and fixed to the robot arm 2.
【００１３】搬送ヘッド１の先端面にはワークＷを保持
する環状のワーク保持面３が形成されている。このワー
ク保持面３は平坦となっており、その内側には凹部４が
形成されている。凹部４の中心部には気体吐出部５が設
けられており、この気体吐出部５はワーク保持面３より
も後退した位置に配されている。凹部４の中心に設けら
れた気体吐出部５と環状のワーク保持面３との間には、
これらを流線形状に緩やかに結ぶ気体案内面６が湾曲し
て形成されている。ワーク保持面３は図示する場合には
円形となっているが、ループ状に連なった形状であれ
ば、多角形状や楕円形状などとしても良い。An annular work holding surface 3 for holding the work W is formed on the front end surface of the carrying head 1. The work holding surface 3 is flat, and a concave portion 4 is formed inside thereof. A gas discharge part 5 is provided at the center of the recess 4, and the gas discharge part 5 is arranged at a position retracted from the work holding surface 3. Between the gas discharge part 5 provided at the center of the recess 4 and the annular work holding surface 3,
A gas guide surface 6 that gently connects these in a streamlined shape is formed to be curved. Although the work holding surface 3 has a circular shape in the illustrated case, it may have a polygonal shape or an elliptic shape as long as it has a looped shape.
【００１４】気体吐出部５にはノズル７が設けられてい
る。このノズル７は、凹部４内に形成されたノズル取付
孔１３に圧入固定されて前方に突出した頭部８を有し、
搬送ヘッド１に形成された４本の空気通路９から供給さ
れた圧縮空気は頭部８の背面に吹き付けられることにな
る。空気通路９の上端側は、搬送ヘッド１の側方から形
成された連通孔１４に開口している。連通孔１４は搬送
ヘッド１の中央部にて交差し、上端面に開口する配管ポ
ート１５と連通している。配管ポート１５には、図示し
ないコンプレッサとエアホース１６にて接続され、これ
により連通孔１４を介して空気通路９に圧縮空気が供給
される。なお、連通孔１４の開口部には、パッキン１７
を介装したプラグ１８がねじ込まれており、気密状態で
封じられている。また、ノズル取付孔１３に雌ねじを形
成し、ノズル７を搬送ヘッド１にねじ止めするようにし
ても良い。A nozzle 7 is provided in the gas discharge part 5. The nozzle 7 has a head portion 8 which is press-fitted and fixed in a nozzle mounting hole 13 formed in the concave portion 4 and protrudes forward,
The compressed air supplied from the four air passages 9 formed in the transport head 1 is blown to the back surface of the head 8. The upper end side of the air passage 9 opens into a communication hole 14 formed from the side of the transport head 1. The communication hole 14 intersects with the central portion of the transport head 1 and communicates with a piping port 15 that opens at the upper end surface. A compressor (not shown) and an air hose 16 are connected to the piping port 15, so that compressed air is supplied to the air passage 9 through the communication hole 14. In addition, the packing 17 is provided at the opening of the communication hole 14.
The plug 18 with the insert is screwed in and sealed in an airtight state. Alternatively, a female screw may be formed in the nozzle mounting hole 13 so that the nozzle 7 is screwed to the transport head 1.
【００１５】ノズル７の頭部と気体吐出部５との間に
は、気体案内面６に向けて空気を吐出するスリット１１
が形成されている。このノズル７のスリット１１から吐
出した空気は、気体吐出部５から気体案内面６を経てワ
ーク保持面３までこれらに沿って流れ、これらの面が緩
やかに変化していることから、気流は凹部４内面に付着
した状態となって放射状にワーク保持面３に流れ出る。
これにより、搬送ヘッド１の先端部には、気体案内面６
およびワーク保持面３に付着された状態となってこれら
に沿って流れる空気層Ｘが形成される。そして、この流
れに引き寄せられるように空気層Ｘへ向かう気流Ｙが形
成され、搬送ヘッド１の前面は負圧状態となる。A slit 11 for ejecting air toward the gas guide surface 6 is provided between the head of the nozzle 7 and the gas ejecting portion 5.
Are formed. The air discharged from the slit 11 of the nozzle 7 flows along the gas discharge part 5 through the gas guide surface 6 to the work holding surface 3 along these surfaces, and since these surfaces are gently changing, the air flow is concave. 4 is attached to the inner surface and radially flows out to the work holding surface 3.
As a result, the gas guide surface 6 is provided at the tip of the transport head 1.
And, an air layer X which is attached to the work holding surface 3 and flows along them is formed. Then, an airflow Y toward the air layer X is formed so as to be attracted to this flow, and the front surface of the transport head 1 is in a negative pressure state.
【００１６】また、ノズル７には中央寄りに搬送ヘッド
１の前面側の気圧を検出するための圧力検出ポート１９
が設けられている。この圧力検出ポート１９は、図１に
示すように搬送ヘッド１の前面側に向けて開口し、搬送
ヘッド１内に形成されたノズル取付孔１３および連通路
２０ａ，２０ｂと連通している。なお、連通路２０ｂの
開口部には鋼球２２が嵌め込まれており、気密状態で封
じられている。Further, the nozzle 7 has a pressure detection port 19 near the center for detecting the atmospheric pressure on the front side of the transport head 1.
Is provided. As shown in FIG. 1, the pressure detection port 19 opens toward the front side of the transport head 1 and communicates with the nozzle mounting hole 13 formed in the transport head 1 and the communication passages 20a and 20b. A steel ball 22 is fitted in the opening of the communication passage 20b and is hermetically sealed.
【００１７】搬送ヘッド１側方には、圧力検出手段とし
て、図示しないコントローラと接続された圧力センサ２
１が、外部からねじにて直付けされている。この圧力セ
ンサ２１は、図２に示すように連通路２０ａに接続され
ており、圧力検出ポート１９は、連通路２０ａおよびノ
ズル取付孔１３を介して圧力センサ２１と接続されてい
る。このように圧力センサ２１を搬送ヘッド１に取り付
けたことにより、省スペース化のみならず、圧力検出ポ
ート１９のより近くにセンサを配置できることから、配
管容量による応答遅れを抑えることも可能となる。な
お、圧力センサ２１を搬送ヘッド１と別体に配置するこ
とも勿論可能である。A pressure sensor 2 connected to a controller (not shown) is provided as a pressure detecting means on the side of the carrying head 1.
1 is directly attached from the outside with a screw. The pressure sensor 21 is connected to the communication passage 20a as shown in FIG. 2, and the pressure detection port 19 is connected to the pressure sensor 21 via the communication passage 20a and the nozzle mounting hole 13. By mounting the pressure sensor 21 on the transport head 1 in this manner, not only space can be saved, but also the sensor can be arranged closer to the pressure detection port 19, so that a response delay due to the pipe capacity can be suppressed. It is of course possible to dispose the pressure sensor 21 separately from the transport head 1.
【００１８】次に、このような搬送装置にてワークＷを
搬送する方法について説明する。まず、図示しないコン
プレッサより、エアホース１６を介して圧縮空気が搬送
ヘッド１の配管ポート１５に供給される。供給された圧
縮空気は、連通孔１４を介して空気通路９に供給され、
空気通路９からスリット１１を介して気体案内面６に沿
って突出される。これにより搬送ヘッド１の前面には、
気流Ｙによって負圧が形成される。Next, a method of transporting the work W with such a transport device will be described. First, compressed air is supplied to the piping port 15 of the transfer head 1 from the compressor (not shown) via the air hose 16. The supplied compressed air is supplied to the air passage 9 through the communication hole 14,
It is projected from the air passage 9 through the slit 11 along the gas guide surface 6. As a result, on the front surface of the transport head 1,
A negative pressure is formed by the airflow Y.
【００１９】一方、このとき圧力検出ポート１９の位置
は、ノズル７の中央に搬送ヘッド１前面側に向けて開口
していることから、空気層Ｘや気流Ｙの影響を受けるこ
となく、ノズル７直下の搬送ヘッド前面中央部における
気圧となる。つまり、ワークＷの無い状態では、圧力検
出ポート１９の位置は大気圧となり、圧力センサ２１で
は大気圧が検出される。このときコントローラは、圧力
検出ポート１９が大気圧状態にあり、圧力検出ポート１
９の前面は開放された状態、つまり、搬送ヘッド１にワ
ークＷが保持されていない「ワーク無し」の状態と判断
する。On the other hand, at this time, since the position of the pressure detection port 19 is opened in the center of the nozzle 7 toward the front side of the transport head 1, the nozzle 7 is not affected by the air layer X or the air flow Y. The atmospheric pressure is at the center of the front surface of the transport head immediately below. That is, in the absence of the work W, the position of the pressure detection port 19 is atmospheric pressure, and the pressure sensor 21 detects the atmospheric pressure. At this time, the controller detects that the pressure detection port 19 is in the atmospheric pressure state and the pressure detection port 1
It is determined that the front surface of 9 is in an open state, that is, the state in which the work W is not held by the transport head 1 is “no work”.
【００２０】ロボットアーム２を作動させ、ノズル７か
ら空気を吐出させた状態で搬送ヘッド１をワークＷに接
近させると、搬送ヘッド１の前面が負圧状態となってい
るので、ワークＷは搬送ヘッド１に向けて引き寄せられ
る。その一方、ワーク保持面３にはこれに付着された状
態となってこれに沿って流れる空気層Ｘが形成されてい
るので、ワークＷは搬送ヘッド１に接触することなく非
接触の状態で搬送ヘッド１に保持される。When the transfer head 1 is brought close to the work W in a state where the robot arm 2 is operated and air is ejected from the nozzle 7, the work W is transferred because the front surface of the transfer head 1 is in a negative pressure state. It is drawn toward the head 1. On the other hand, since the air layer X attached to the work holding surface 3 and flowing along the work holding surface 3 is formed, the work W is conveyed in a non-contact state without contacting the conveyance head 1. It is held by the head 1.
【００２１】したがって、搬送ヘッド１にワークＷが保
持された状態のもとで、ロボットアーム２を移動させる
と、ワークＷは搬送ヘッド１に非接触の状態で保持され
て搬送されることになる。これにより、表面に回路が形
成された半導体ウエハのように、表面を高精度に保持す
ることが必要となるワークであっても、表面に圧痕を形
成することなく、確実に搬送することが可能となる。Therefore, when the robot arm 2 is moved while the work W is held by the carrying head 1, the work W is held and carried by the carrying head 1 in a non-contact state. . As a result, even a workpiece that requires high-precision holding of the surface, such as a semiconductor wafer having a circuit formed on the surface, can be reliably transported without forming an indentation on the surface. Becomes
【００２２】また、ワークＷが搬送ヘッド１の前面に保
持されると、圧力検出ポート１９の前面がワークＷによ
って塞がれる形となる。このため、圧力検出ポート１９
も気流Ｙの影響を受け負圧状態となり、圧力センサ２１
にて負圧が検出される。圧力センサ２１からの検出信号
を受けたコントローラは、大気圧と検出された負圧状態
とを比較する。そして、その差が圧力変動値ΔＰ1以上
である場合には、圧力検出ポート１９の前面にワークＷ
が来た状態、つまり、搬送ヘッド１にワークＷが保持さ
れた「ワーク有り」の状態と判断する。When the work W is held on the front surface of the transport head 1, the front surface of the pressure detection port 19 is closed by the work W. Therefore, the pressure detection port 19
Also becomes a negative pressure state under the influence of the air flow Y, and the pressure sensor 21
A negative pressure is detected at. The controller receiving the detection signal from the pressure sensor 21 compares the atmospheric pressure with the detected negative pressure state. When the difference is equal to or greater than the pressure fluctuation value ΔP 1 , the work W is placed in front of the pressure detection port 19.
Is determined, that is, the state where the work W is held by the transport head 1 is “the work is present”.
【００２３】このように当該搬送装置にあっては、コン
トローラは、大気圧と負圧状態の２つのデータに基づき
ワークの有無を判断する。この場合、大気圧はほぼ一定
の安定した数値を示すため、コントローラ側には判断基
準となるΔＰ1のみを設定すれば足りる。したがって、
従来の搬送装置のように初期値Ｐ0と圧力変動値ΔＰ0の
両方を入力する必要がなく、コントローラにおけるプロ
グラムを簡易化することができる。また、「ワーク無
し」側の基準値として大気圧を用いていることから、変
動しやすい気流中の気圧を初期値Ｐ0として用いた検出
方式に比して、ワーク検出精度の向上を図ることも可能
となる。As described above, in the carrying device, the controller determines the presence or absence of the work based on the two data of the atmospheric pressure and the negative pressure state. In this case, since the atmospheric pressure shows a substantially constant and stable value, it is sufficient to set only ΔP 1 which is the judgment reference on the controller side. Therefore,
It is not necessary to input both the initial value P 0 and the pressure fluctuation value ΔP 0 as in the conventional transfer device, and the program in the controller can be simplified. Further, since the atmospheric pressure is used as the reference value on the "no work" side, it is possible to improve the work detection accuracy as compared with the detection method using the atmospheric pressure in the air flow that is likely to change as the initial value P 0. Will also be possible.
【００２４】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることは言うまでもない。It is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.
【００２５】たとえば、図示する実施の形態にあって
は、搬送ヘッド１をロボットアーム２によって移動させ
るようにしているが、水平方向および上下方向に移動す
る移動部材に搬送ヘッドを取り付けるようにしても良
い。また、ノズル７から気体案内面６に向けて噴出する
気体としては、実施の形態のように空気のみならず、窒
素ガスなどの他の気体を使用するようにしても良い。さ
らに、搬送し得るワークとしては、孔が形成された基板
であっても良く、不織布などのように通気性を有するも
のでも保持して搬送することができ、さらには板状のワ
ークに限られず、ブロック状のワークを搬送するように
しても良い。そして、ワーク保持面３に付着して形成さ
れる空気層により発生する負圧の大きさなどに応じて
は、ワーク保持面３に放射状に複数の溝を形成するよう
にしても良い。For example, in the illustrated embodiment, the carrying head 1 is moved by the robot arm 2, but the carrying head may be attached to a moving member that moves in the horizontal and vertical directions. good. Further, as the gas ejected from the nozzle 7 toward the gas guide surface 6, not only air as in the embodiment but other gas such as nitrogen gas may be used. Further, the work that can be carried may be a substrate having holes formed therein, and even a material having air permeability such as a nonwoven fabric can be held and carried, and is not limited to a plate-like work. The block-shaped work may be transported. A plurality of grooves may be radially formed on the work holding surface 3 depending on the magnitude of the negative pressure generated by the air layer attached to the work holding surface 3.
【００２６】[0026]
【発明の効果】以上のように、本発明の搬送装置によれ
ば、気体吐出部の中央に搬送ヘッド前面側に向けて開口
した圧力検出ポートを設けたので、搬送ヘッド前面の気
圧を検出する圧力検出ポートが、気体吐出部から供給さ
れる空気やそれによって生じる気流などの影響を受ける
ことなく大気圧となる。したがって、変動しやすい気流
中の気圧に代えて、大気圧をワーク無し状態の圧力値と
して使用することができ、従来の搬送装置のように初期
値Ｐ0と圧力変動値ΔＰ0の両方を入力する必要がなく、
コントローラにおけるプログラムを簡易化することが可
能となる。また、ワーク無し状態の圧力値として大気圧
を使用できるため、変動しやすい気流中の圧力値を用い
た検出方式に比して、ワーク検出精度の向上を図ること
も可能となる。As described above, according to the carrying apparatus of the present invention, since the pressure detecting port opened toward the front side of the carrying head is provided at the center of the gas discharge part, the atmospheric pressure at the front of the carrying head is detected. The pressure detection port becomes atmospheric pressure without being affected by the air supplied from the gas discharge unit or the air flow generated thereby. Therefore, the atmospheric pressure can be used as the pressure value in the no-work state in place of the atmospheric pressure in the air flow, which is likely to fluctuate, and both the initial value P 0 and the pressure fluctuation value ΔP 0 can be input as in the conventional transfer device. You do n’t have to
It is possible to simplify the program in the controller. Further, since the atmospheric pressure can be used as the pressure value in the absence of the work, it is possible to improve the work detection accuracy as compared with the detection method using the pressure value in the air stream, which is likely to fluctuate.
【図１】本発明の一実施の形態である搬送装置を装置前
面側から見た斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a carrying device according to an embodiment of the present invention viewed from the front side of the device.
【図２】図１の搬送装置における搬送ヘッドの平面図で
ある。FIG. 2 is a plan view of a carrying head in the carrying device of FIG.
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った搬送ヘッドの部分断面
図である。FIG. 3 is a partial cross-sectional view of the transport head taken along the line AA of FIG.
【図４】従来の搬送装置の構成を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a configuration of a conventional transfer device.
１ 搬送ヘッド ２ ロボットアーム（移動部材） ３ ワーク保持面 ４ 凹部 ５ 気体吐出部 ６ 気体案内面 ７ ノズル ８ 頭部 ９ 空気通路 １１ スリット １２ 取付ねじ孔 １３ ノズル取付孔 １４ 連通孔 １５ 配管ポート １６ エアホース １７ パッキン １８ プラグ １９ 圧力検出ポート ２０ａ，２０ｂ 連通路 ２１ 圧力センサ（圧力検出手段） ２２ 鋼球 ５１ 搬送ヘッド ５２ ロボットアーム ５３ ワーク保持面 ５４ 凹部 ５５ 気体吐出部 ５６ 気体案内面 ５７ ノズル ５８ 頭部 ６１ スリット ６２ 負圧導入ポート Ｗ ワーク Ｘ 空気層 Ｙ 気流 1 Transport head 2 Robot arm (moving member) 3 Work holding surface 4 recess 5 Gas discharge part 6 Gas guide surface 7 nozzles 8 heads 9 air passages 11 slits 12 mounting screw holes 13 Nozzle mounting hole 14 communication holes 15 Piping port 16 air hose 17 Packing 18 plugs 19 Pressure detection port 20a, 20b communication passage 21 Pressure sensor (pressure detection means) 22 steel balls 51 transport head 52 robot arm 53 Work holding surface 54 recess 55 Gas discharge part 56 Gas guide surface 57 nozzles 58 head 61 slits 62 Negative pressure introduction port W work X air layer Y airflow
Claims (3)
に、ワークを保持する環状の保持面と、前記搬送ヘッド
中央部の前記保持面よりも後退した位置に設けられた気
体吐出部と、この気体吐出部と前記保持面とを結ぶ気体
案内面とを形成し、前記気体吐出部から前記気体案内面
に沿って空気を供給することにより前記搬送ヘッド前面
に負圧を発生させて前記ワークを保持する搬送装置であ
って、 前記気体吐出部に前記搬送ヘッド前面側に向けて開口形
成され、圧力検出手段に連通されて前記搬送ヘッド前面
の気圧を検出し、前記ワークを保持しない状態では大気
圧となる圧力検出ポートを有することを特徴とする搬送
装置。1. A ring-shaped holding surface for holding a work, and a gas discharge section provided at a position retracted from the holding surface in the central portion of the transfer head, at the tip of the transfer head mounted on the moving member. A gas guide surface that connects the gas discharge portion and the holding surface is formed, and by supplying air from the gas discharge portion along the gas guide surface, a negative pressure is generated in the front surface of the transfer head to generate the work. In the state in which the work is not held, an opening is formed in the gas discharge unit toward the front side of the transfer head, the pressure is detected by the pressure detection unit, and the pressure is detected on the front side of the transfer head. A conveyance device having a pressure detection port that becomes atmospheric pressure.
気体吐出部は、前記気体案内面に向かって開口し前記気
体案内面に沿って空気を吐出するスリットを有するノズ
ルと、前記ノズルに前記スリットと連通することなく形
成された前記圧力検出ポートを有することを特徴とする
搬送装置。2. The conveying device according to claim 1, wherein the gas discharge part has a nozzle having a slit that opens toward the gas guide surface and discharges air along the gas guide surface, and the nozzle. And a pressure detecting port formed without communicating with the slit.
て、前記搬送ヘッドは、前記圧力検出手段として、前記
圧力検出ポートと接続された圧力センサを搭載してなる
ことを特徴とする搬送装置。3. The transfer device according to claim 1, wherein the transfer head is equipped with a pressure sensor connected to the pressure detection port as the pressure detection means. apparatus.
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