JP2003242733A

JP2003242733A - ヘッドサスペンション

Info

Publication number: JP2003242733A
Application number: JP2002038041A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Suzuki; 厚史鈴木; Ryosuke Furuishi; 亮介古石; Daisuke Mizutani; 大輔水谷; Tadashi Ishikawa; 廉石川; Masashi Takada; 正志高田; Yasuhiro Yoneda; 泰博米田
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2002-02-15
Filing date: 2002-02-15
Publication date: 2003-08-29
Also published as: US6992861B2; US20030156346A1

Abstract

(57)【要約】【課題】高共振で耐衝撃性に優れ、剛性を低く抑える
ことができ、磁気ディスク装置開発に役立つヘッドサス
ペンションを提供する。【解決手段】揺動型ヘッドアクチュエータにおける、
データを読み書きするヘッドスライダ１を先端部に備え
たヘッドサスペンション１１のスプリングアーム５を、
その少なくとも一部を、方向によって剛性の異なる異方
性材料２０を用いて構成した。この場合、異方性材料２
０は、その高剛性の配向方向を層によって異ならせた積
層構造とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ヘッドサスペンシ
ョンに関し、特に、コンピュータ用外部記憶装置の一種
である磁気ディスク装置に使用される磁気ヘッドのサス
ペンションの構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁気ディスク装置では記録容量の
増加のために、トラックピッチが小さくなり、これに応
じてトラック上を移動する磁気ヘッドの位置を制御する
周波数帯域も高くなってきている。そして、このような
高帯域の周波数を用いた制御においては、ヘッドを動作
させるヘッドサスペンションの制御周波数に、ヘッドの
機械的な共振周波数が重ならないようにするために、サ
スペンションの機械的な共振点の周波数を高くすること
が必要となる。即ち、高共振のヘッドサスペンションが
要求されている。

【０００３】磁気ヘッドを動作させるためのヘッドサス
ペンションを高共振化するにあたっては、従来はヘッド
サスペンションの板厚を全体的、或いは部分的に増加さ
せたり、２枚の板を溶接して部分的にヘッドサスペンシ
ョンの板厚を増加させたり、または、ヘッドサスペンシ
ョンに部分的にリブを設けたりしていた。即ち、従来
は、ヘッドサスペンションのバネ定数を大きくして共振
点の周波数を上げようとしていた。

【０００４】しかしながら、このような従来の方法で
は、サスペンション全体の質量が増加して、ヘッドサス
ペンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライ
ダの浮上に影響するという問題があった。すなわち、ヘ
ッドサスペンションの上下方向の剛性が過大になってし
まい、浮上ばらつきが大きくなってしまう問題や、サス
ペンション全体の質量が増加して耐衝撃性が悪化する等
の問題があった。また、ヘッドサスペンションの重量が
増加すると、ヘッドサスペンションを駆動する駆動系が
大型化し、その消費電力も増大するという問題点もあっ
た。

【０００５】そこで、ヘッドサスペンションのヘッドス
ライダとその支持体の荷重用ビーム部との間を、異方性
を有する２枚の繊維強化形の複合材料を用いて連結させ
た構造が提案されている（特開平８−２１２７４１号公
報参照）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
８−２１２７４１号公報に記載のヘッドサスペンション
の構造では、繊維の配向度が９０度に交差するように積
層させる構造となっているため、積層構造の最適化がな
されておらず、従来のＳＵＳ材を用いたヘッドサスペン
ションに比べて、ヘッドサスペンションのシーク方向の
共振周波数が低下する可能性が大きく、また、ヘッドサ
スペンションの上下剛性増加の可能性もあるという問題
があった。

【０００７】そこで、本発明は、ヘッドサスペンション
に、面外方向の曲げ剛性が小さく、かつ、面内方向の曲
げ剛性が大きくなるように異方性材料を積層することに
より、耐衝撃性に優れると共に、高共振であり、ヘッド
スライダの浮上に影響するヘッドサスペンションの剛性
を低く抑えることができ、磁気ディスク装置開発の大き
な一助となるヘッドサスペンションを提供することを目
的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明のヘッドサスペンションは、以下に第１から第５の形
態をとることができる。

【０００９】第１の形態のヘッドサスペンションは、揺
動型ヘッドアクチュエータにおける、データを読み書き
するヘッドを先端部に備えたヘッドサスペンションであ
って、このヘッドサスペンションの少なくとも一部を、
方向によって剛性の異なる異方性材料を用いて構成した
ことを特徴としている。

【００１０】第２の形態のヘッドサスペンションは、第
１の形態のヘッドサスペンションにおいて、異方性材料
を、その高剛性の配向方向を層によって異ならせた積層
構造としたことを特徴としている。

【００１１】第３の形態のヘッドサスペンションは、第
１または第２の形態のヘッドサスペンションにおいて、
ヘッドサスペンションのヘッドの取り付け位置近傍に、
ヘッドをこのヘッドによってデータが読み書きされる記
録媒体方向に加圧するピボットを設けたことを特徴とし
ている。

【００１２】第４の形態のヘッドサスペンションは、第
１から第３の形態の何れか１つの形態項のヘッドサスペ
ンションにおいて、ヘッドサスペンションの一部の板厚
を他の部分の板厚より厚くして、ヘッドサスペンション
に剛体部を形成したことを特徴としている。

【００１３】第５の形態のヘッドサスペンションは、第
４の形態のヘッドサスペンションにおいて、剛体部の板
厚を、異方性材料の積層数を増大させることにより、他
の部分より厚くしたことを特徴としている。

【００１４】以上の形態のヘッドサスペンションでは、
ヘッドサスペンションの面外方向の曲げ剛性を小さく、
面内方向の曲げ剛性を大きくするように異方性材料が積
層されるので、例えば、カーボンファイバ強化プラスチ
ック（ＣＦＲＰ）のような異方性材料を用いた場合、サ
スペンションの長さ方向にカーボンファイバ強化プラス
チック（ＣＦＲＰ）を配向させた層を、サスペンション
の幅方向にカーボンファイバ強化プラスチック（ＣＦＲ
Ｐ）を配向させた層で挟んだ３層構造とすることがで
き、低剛性、高共振、軽量で耐衝撃性にも優れたヘッド
サスペンションが設計可能となる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下添付図面を用いて本発明の実
施形態を具体的な実施例に基づいて詳細に説明するが、
本発明の実施例を説明する前に、本発明のヘッドサスペ
ンションが使用される従来のヘッドアクチュエータの構
成について図１を用いて説明する。

【００１６】図１はディスク装置における従来のヘッド
サスペンション７４を備えたヘッドアクチュエータ６０
の構成を示すものであり、(a) は左側面図、(b) は平面
図、(c) は右側面図である。ヘッドアクチュエータ６０
はピン等の回転軸７６に取り付けられており、この回転
軸７６を中心にして揺動する。回転軸７６の一方の側に
は側面から見ると櫛状に形成されたキャリッジアーム７
２があり、各キャリッジアーム７２の先端部には１つま
たは２つのヘッドサスペンション７４が取り付けられて
いる。ヘッドサスペンション７４の先端部には、ディス
ク媒体とデータの遣り取りを行うヘッドを備えたヘッド
スライダ７１がある。

【００１７】回転軸７６の他方の側には２本の支持アー
ム７３があり、この支持アーム７３に挟まれてフラット
コイル７５が設けられている。フラットコイル７５は図
示しないディスク装置のベース側に設けられた磁気回路
に対向して設けられており、フラットコイル７５に流さ
れる電流の値に応じてヘッドアクチュエータ６０が揺動
するようになっている。

【００１８】各ヘッドサスペンション７４の基部７０
は、キャリッジアーム７２の先端部に接合されている。
各ヘッドサスペンション７４の接合基部７０には、ヘッ
ドアクチュエータ６０の揺動とは独立にヘッドサスペン
ション７４を微小移動させる、ヘッドの微小移動機構が
設けられることもある。また、この従来例のヘッドサス
ペンション７４には、ヘッドサスペンション７４を高共
振化するために、部分的にリブ７７が設けられている。

【００１９】このため、従来のヘッドサスペンション７
４では、サスペンション７４全体の質量が増加し、ヘッ
ドサスペンション７４の先端部に取り付けられたヘッド
スライダ７１の浮上に影響を与えたり、ヘッドサスペン
ション７４の上下方向の剛性が過大になってしまい、浮
上ばらつきが大きくなってしまう等の問題が生じていた
のである。

【００２０】図２（ａ）は本発明の第１の実施例に係る
ヘッドサスペンション１１の構成を示すものであり、図
１で説明したヘッドサスペンション７４の位置に取り付
けられるものである。ヘッドサスペンション１１を構成
するバネ性を有するスプリングアーム５の先端部には、
略Ｕ字状の孔２が設けられており、このＵ字状の孔２に
囲まれた部分には、ヒンジ部３とスライダ取付部４とが
形成されている。そして、インダクタンスヘッド或いは
ＭＲヘッドを備えたヘッドスライダ１が、このスライダ
取付部４に取り付けられている。

【００２１】第１の実施例のスプリングアーム５は、図
２（ｂ）に示すように、方向によって剛性（弾性率）の
異なる異方性材料２０が３層に積層されて構成されてい
る。異方性材料２０は、図２（ｃ）に示すように、高弾
性率を示す方向（太い矢印）と低弾性率を示す方向（細
い矢印）とが直交するものである。第１の実施例ではこ
の異方性材料２０が３層に積層されて、スプリングアー
ム５が構成されている。そして、真ん中の層の異方性材
料２０ｃの高弾性率を示す方向が、図２（ａ）に示すヘ
ッドサスペンション１１の中心線Ｃ−Ｃの方向となって
おり、異方性材料２０ｃを挟む上下の層の異方性材料２
０ａ，２０ｂの高弾性率を示す方向が、異方性材料２０
ｃの高弾性率を示す方向に直交する方向（ヘッドサスペ
ンション１１の幅方向）となっている。

【００２２】スプリングアーム５を構成する異方性材料
２０が図２（ｃ）のように積層されていると、スプリン
グアーム５の上下方向の曲げ剛性が小さくなり、ヘッド
スライダ１の浮上に影響する剛性が小さく抑えられる。
更に、スプリングアーム５の面内方向の曲げ剛性が大き
くなり、ヘッドサスペンション１１の共振周波数が増加
する。

【００２３】図３は、図２（ｃ）における異方性材料２
０に、カーボンファイバ強化プラスチック（ＣＦＲＰ）
で構成された異方性材料２０Ａを使用した実施例を示す
ものである。異方性材料２０Ａは、平行に並べられたカ
ーボンファイバ２１を、樹脂等の充填材２２で覆って板
状にしたものであり、カーボンファイバ２１に沿った方
向が高弾性率を示す方向である。従って、この例では、
異方性材料２０ａ〜２０ｃの高弾性率を示す方向にカー
ボンファイバ２１が並ぶように、異方性材料２０Ａが配
向されて積層される。

【００２４】このように、カーボンファーバ２１を上下
の層で直交する方向に配向させた積層構造にしてスプリ
ングアーム５を構成することにより、ヘッドサスペンシ
ョン１１の上下方向の曲げ剛性が小さくなり、ヘッドス
ライダ１の浮上に影響する剛性が小さく抑えられる。更
に、スプリングアーム５の面内方向の曲げ剛性が大きく
なり、ヘッドサスペンション１１の共振周波数が増加す
る。

【００２５】図４に、異方性材料２０Ａを用いて製作し
たヘッドサスペンション１１の諸特性を、従来の材料で
あるステンレス鋼（ＳＵＳ）を使用して製作したヘッド
サスペンションの諸特性と比較して示す。この図４から
分かるように、従来のＳＵＳ３０４（0.08C-18Cr-8Ni)
材料を用いると、共振周波数の増加とともに剛性も増加
してしまう。また、等価質量も増加してしまい、耐衝撃
性が悪化してしまう。一方、異方性材料２０Ａを用いて
図３に示すように積層されたスプリングアーム５を使用
してヘッドサスペンション１１を製作すると、ヘッドサ
スペンション１１の剛性増加を抑えつつ高共振化を実現
でき、等価質量も減少するので、ヘッドサスペンション
１１の耐衝撃性も向上する。

【００２６】図５（ａ），（ｂ）は、図２（ａ）に示し
たヘッドサスペンション１１を、５層構造のスプリング
アーム５で構成した場合の、異方性材料２０の配向方向
の２つの例を説明するものである。（ａ）の例では、図
２（ｃ）に示した異方性材料２０ｃと、異方性材料２０
ｃの上下を挟む異方性材料２０ａ，２０ｂの間に、更に
異方性材料２０ｄ，２０ｅが積層されている。そして、
異方性材料２０ｄ，２０ｅの高弾性率を示す方向は、異
方性材料２０ａ，２０ｂの高弾性率を示す方向に直交す
る方向（異方性材料２０ｃと同一の方向で、ヘッドサス
ペンション１１の中心線に平行な方向）となっている。

【００２７】これに対して、（ｂ）の例では、５層の真
ん中の層に、ヘッドサスペンション１１の幅方向に高弾
性率を有する異方性材料２０ｆが配置されている。そし
て、この異方性材料２０ｆの上下に、高弾性率を有する
方向が異方性材料２０ｆと交互に直交する２層の異方性
材料２０ｇ，２０ｈ，２０ｉ，２０ｊが図示のように配
置されている。（ａ）の例の方が（ｂ）の例に比べて高
共振であるが、用途に応じて（ｂ）の例が良い場合もあ
り得る。

【００２８】図６（ａ）は図２（ｃ）で説明した異方性
材料の配向方向の別の例を示すものである。この例で
は、真ん中の層の異方性材料２０ｃの高弾性率を示す方
向が、図２（ａ）に示すヘッドサスペンション１１の中
心線Ｃ−Ｃの方向となっており、異方性材料２０ｃを挟
む上下の層の異方性材料２０ｋ，２０ｍの高弾性率を示
す方向が、異方性材料２０ｃの高弾性率を示す方向とそ
れぞれ４５°の角度をなす方向であり、異方性材料２０
ｋと異方性材料２０ｍの高弾性率を示す方向が互いに直
交する方向となっている。

【００２９】図６（ｂ）の例では、（ａ）に示した異方
性材料２０ｃの上下を挟む異方性材料２０ｋ，２０ｍの
外側に、更に異方性材料２０ｐ，２０ｑが積層されてい
る。そして、異方性材料２０ｐ，２０ｑの高弾性率を示
す方向は、異方性材料２０ｋ，２０ｍの高弾性率を示す
方向に直交する方向となっている。異方性材料２０ｐと
異方性材料２０ｋ、及び、異方性材料２０ｍと異方性材
料２０ｑとは、それぞれ上下を入れ換えても良い。この
ように、本発明における異方性材料２０の高弾性率を示
す方向は、ヘッドサスペンション１１の中心線の方向と
これに直交する方向に限定されるものではない。

【００３０】図７（ａ）は本発明の第２の実施例に係る
ヘッドサスペンション１２の構成を示すものである。第
２の実施例は、第１の実施例で説明したヘッドサスペン
ション５の先端部に、ヘッドスライダ１を押圧するため
のピボット６が設けられた点で、第１の実施例と異な
る。

【００３１】そして、ヘッドサスペンション５の先端部
にピボット６を形成するために、第１の実施例における
スライダ取付部４のヒンジ部３の反対側の部分が削減さ
れている。また、第１の実施例ではＵ字状であった孔２
が、第２の実施例では、ピボット６が形成されるピボッ
ト保持部７により、略Ｗ字状の孔８になっている。

【００３２】ピボット６は、図７（ｂ）に示すように、
ピボット保持部７からヘッドスライダ１側に突出してお
り、ヘッドスライダ１の背面部を押圧して、ヘッドスラ
イダ１のヘッドが設けられた側を磁気記録媒体側に近づ
けるようになっている。このピボット６により、第２の
実施例のヘッドサスペンション１２は、ヘッドスライダ
１の背面に押し付け荷重を作用させることができる。

【００３３】図７（ｃ）はヘッドスライダ１の背面を示
すものであり、ピボット６によって押圧される部分が符
号Ｘで示してある。このピボット６により、ヘッドスラ
イダ１は、ピボットによって押圧されるＸ点を中心にし
て符号Ｙ，Ｚで示す方向に回転することができる。

【００３４】図８（ａ）は本発明の第３の実施例に係る
ヘッドサスペンション１３の構成を示すものである。第
３の実施例のヘッドサスペンション１３は、第１の実施
例のヘッドサスペンション１１の一部に、剛体部９が設
けられたものである。また、第３の実施例では、スプリ
ングアーム５がＣＦＲＰで構成された４層の異方性材料
２０Ａで構成されている。更に、剛体部９は、スプリン
グアーム５の上下に更に１層の異方性材料２０Ａが積層
されたものである。

【００３５】図８（ｂ）は、（ａ）の剛体部９の端部を
拡大して示すものである。第３の実施例におけるスプリ
ングアーム５は、真ん中の２層の部分に、カーボンファ
イバ２１がヘッドサスペンション１３の長手方向に配向
された異方性材料２０Ｘが使用され、その上下方向に、
カーボンファイバ２１がヘッドサスペンション１３の長
手方向に直交する方向に配向された異方性材料２０Ｙが
使用されて構成されている。そして、剛体部９は、この
スプリングアーム５の上下方向に、更にカーボンファイ
バ２１がヘッドサスペンション１３の長手方向に配向さ
れた異方性材料２０Ｘが積層されて構成されている。即
ち、剛体部９は、スプリングアーム５に対して、上下方
向に対称形に形成されている。

【００３６】図９（ａ）は本発明の第４の実施例に係る
ヘッドサスペンション１４の構成を示すものである。第
４の実施例のヘッドサスペンション１４は、第１の実施
例のヘッドサスペンション１１の一部に、剛体部１０が
設けられたものである。また、第４の実施例では、スプ
リングアーム５がＣＦＲＰで構成された４層の異方性材
料２０Ａで構成されている。更に、剛体部１０は、スプ
リングアーム５の真ん中の２層の間に、更に２層の異方
性材料２０Ａが挟み込まれて積層されたものである。

【００３７】図９（ｂ）は、（ａ）の剛体部１０の端部
を拡大して示すものである。第４の実施例におけるスプ
リングアーム５は、真ん中の２層の部分に、カーボンフ
ァイバ２１がヘッドサスペンション１３の長手方向に配
向された異方性材料２０Ｘが使用され、その上下方向
に、カーボンファイバ２１がヘッドサスペンション１３
の長手方向に直交する方向に配向された異方性材料２０
Ｙが使用されて構成されている。そして、剛体部１０
は、このスプリングアーム５の真ん中の２層の異方性材
料２０Ｘの間に、更にカーボンファイバ２１がヘッドサ
スペンション１３の長手方向に配向された異方性材料２
０Ｘが、挟み込まれて積層されて構成されている。即
ち、剛体部１０は、スプリングアーム５に対して、上下
方向に対称形に形成されている。

【００３８】なお、異方性材料２０Ｘ，２０Ｙの厚さは
非常に薄いので、ヘッドサスペンション１３，１４に、
剛体部９，１０を設けることによるヘッドサスペンショ
ン１３，１４の重量の増加は殆どない。

【００３９】なお、以上の実施例では、異方性材料とし
てカーボンファイバ強化プラスチックを説明したが、異
方性材料の種類は特に限定されるものではない。

【００４０】以上、本発明を特にその好ましい実施の形
態に基づいて詳細に説明したが、本発明の容易な理解の
ために、本発明の具体的な形態を以下に付記する。

【００４１】（付記１）揺動型ヘッドアクチュエータ
における、データを読み書きするヘッドを先端部に備え
たヘッドサスペンションであって、このヘッドサスペン
ションの少なくとも一部を、方向によって剛性の異なる
異方性材料を用いて構成したことを特徴とするヘッドサ
スペンション。（１）（付記２）付記１に記載のヘッドサスペンションであ
って、前記異方性材料を、その高剛性の配向方向を層に
よって異ならせた積層構造としたことを特徴とするヘッ
ドサスペンション。（２）（付記３）付記１又は２に記載のヘッドサスペンショ
ンであって、前記ヘッドサスペンションの前記ヘッドの
取り付け位置近傍に、前記ヘッドをこのヘッドによって
データが読み書きされる記録媒体方向に加圧するピボッ
トを設けたことを特徴とするヘッドサスペンション。
（３）（付記４）付記３に記載のヘッドサスペンションであ
って、先端部に孔が設けられており、前記ヘッドは、前
記先端部側からこの孔内に突出する舌片に取り付けられ
ており、前記ピボットは、前記孔内に前記舌片の反対側
から突出する押圧片の先端部に突設されていることを特
徴とするヘッドサスペンション。

【００４２】（付記５）付記１から４の何れか１つに
記載のヘッドサスペンションであって、前記ヘッドサス
ペンションの一部の板厚を他の部分の板厚より厚くし
て、前記ヘッドサスペンションに剛体部を形成したこと
を特徴とするヘッドサスペンション。（４）（付記６）付記５に記載のヘッドサスペンションであ
って、前記剛体部の板厚を、前記異方性材料の積層数を
増大させることにより、他の部分より厚くしたことを特
徴とする磁気ヘッドサスペンション。（５）（付記７）付記５又は６に記載のヘッドサスペンショ
ンであって、前記剛体部の板厚を、他の部分の板厚に対
して上下対称に厚くしたことを特徴とする磁気ヘッドサ
スペンション。

【００４３】（付記８）付記２に記載のヘッドサスペ
ンションであって、前記ヘッドサスペンションの、前記
ヘッドスライダの浮上に影響する上下方向の曲げ剛性を
小さく、面内方向の曲げ剛性を大きくするように前記異
方性材料を積層して多層構造としたことを特徴とするヘ
ッドサスペンション。

【００４４】（付記９）付記８に記載のヘッドサスペ
ンションであって、前記異方性材料の配向方向を、前記
ヘッドサスペンションの長さ方向と、前記ヘッドサスペ
ンションの幅方向として、前記異方性材料を積層したこ
とを特徴とするヘッドサスペンション。

【００４５】（付記１０）付記９に記載のヘッドサス
ペンションであって、前記異方性材料の配向方向を、交
互に異ならせたことを特徴とするヘッドサスペンショ
ン。

【００４６】（付記１１）付記６又は７に記載のヘッ
ドサスペンションであって、前記剛体部の、前記他の部
分の板厚よりも厚い部分を、前記ヘッドサスペンション
の長さ方向に配向させた層で構成したことを特徴とする
ヘッドサスペンション。

【００４７】（付記１２）付記６又は７に記載のヘッ
ドサスペンションであって、前記剛体部の、前記他の部
分の板厚よりも厚い部分を、内側に芯材として前記ヘッ
ドサスペンションの長さ方向に配向させた層を挟み込む
ことによって構成したことを特徴とする磁気ヘッドサス
ペンション。

【００４８】（付記１３）付記１から１２の何れか１
つに記載のヘッドサスペンションであって、前記異方性
材料として、高剛性の配向方向がカーボンファイバを配
向させた方向となる、カーボンファイバ強化樹脂を使用
したことを特徴とするヘッドサスペンション。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のヘッドサ
スペンションによれば、ヘッドサスペンションの面外方
向の曲げ剛性を小さく、面内方向の曲げ剛性を大きくす
るように異方性材料が積層されるので、例えば、ＣＦＲ
Ｐのような異方性材料を用いた場合、サスペンションの
長さ方向にカーボンファイバを配向させた層を、サスペ
ンションの幅方向にカーボンファイバを配向させた層で
挟んだ３層構造とすることができ、耐衝撃性に優れ、高
共振で浮上に影響する剛性は低い磁気ヘッドサスペンシ
ョンが可能となり、磁気ディスク装置開発の大きな一助
となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ヘッドサスペンションを備えた従来のヘッドア
クチュエータの構成を示すものであり、(a) は左側面
図、(b) は平面図、(c) は右側面図である。

【図２】（ａ）は本発明におけるヘッドサスペンション
の、第１の実施例の構成を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）
のＢ部を拡大して示す部分拡大図、（ｃ）は（ｂ）に示
すように３層に積層された異方性材料の配向方向の一例
を説明する分解斜視図である。

【図３】図２（ｃ）における異方性材料をＣＦＲＰで構
成した場合の、カーボンファイバの配向を説明する、図
２（ｃ）と同じ部位の組立斜視図である。

【図４】本発明のヘッドサスペンションの効果を説明す
る図である。

【図５】（ａ），（ｂ）は図２（ａ）に示したヘッドサ
スペンションが５層構造の場合の、異方性材料の配向方
向の２つの例を説明する組立斜視図である。

【図６】（ａ）は図２（ｃ）で説明した異方性材料の配
向方向の別の例を示す分解斜視図であり、（ｂ）はヘッ
ドサスペンションを５層構造にした場合の、異方性材料
の配向方向の一例を説明する分解斜視図である。

【図７】（ａ）はヘッドサスペンションにヘッドスライ
ダ押圧用のピボットが設けられた本発明の第２の実施例
のヘッドサスペンションの構成を示す斜視図、（ｂ）は
（ａ）に示すヘッドサスペンションの先端部を側面から
見た部分拡大側面図、（ｃ）は（ａ），（ｂ）に示した
ヘッドスライダのピボットによる回転方向を説明する説
明図である。

【図８】（ａ）は本発明におけるヘッドサスペンション
の、第３の実施例の構成を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）
の要部を拡大して示す部分拡大図である。

【図９】（ａ）は本発明におけるヘッドサスペンション
の、第４の実施例の構成を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）
の要部を拡大して示す部分拡大図である。

【符号の説明】

１…ヘッドスライダ２，８…孔３…ヒンジ部４…スライダ取付部５…スプリングアーム６…ピボット７…ピボット保持部９，１０…剛体部１１…第１の実施例のヘッドサスペンション１２…第２の実施例のヘッドサスペンション１３…第３の実施例のヘッドサスペンション１４…第４の実施例のヘッドサスペンション２０…異方性材料２１…カーボンファイバ２２…樹脂等の充填材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者水谷大輔神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内 (72)発明者石川廉神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内 (72)発明者高田正志神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内 (72)発明者米田泰博神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内Ｆターム(参考） 5D059 AA01 BA01 CA11 CA21 CA23 DA26 DA33 EA08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】揺動型ヘッドアクチュエータにおける、
データを読み書きするヘッドを先端部に備えたヘッドサ
スペンションであって、このヘッドサスペンションの少なくとも一部を、方向に
よって剛性の異なる異方性材料を用いて構成したことを
特徴とするヘッドサスペンション。
【請求項２】請求項１に記載のヘッドサスペンション
であって、前記異方性材料を、その高剛性の配向方向を層によって
異ならせた積層構造としたことを特徴とするヘッドサス
ペンション。
【請求項３】請求項１または２に記載のヘッドサスペ
ンションであって、前記ヘッドサスペンションの前記ヘッドの取り付け位置
近傍に、前記ヘッドをこのヘッドによってデータが読み
書きされる記録媒体方向に加圧するピボットを設けたこ
とを特徴とするヘッドサスペンション。
【請求項４】請求項１から３の何れか１項に記載のヘ
ッドサスペンションであって、前記ヘッドサスペンションの一部の板厚を他の部分の板
厚より厚くして、前記ヘッドサスペンションに剛体部を
形成したことを特徴とするヘッドサスペンション。
【請求項５】請求項４に記載のヘッドサスペンション
であって、前記剛体部の板厚を、前記異方性材料の積層数を増大さ
せることにより、他の部分より厚くしたことを特徴とす
る磁気ヘッドサスペンション。