JP2003241107A - ステージ、及び該ステージを備えた顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】観察対象物に応じて、ＸＹ方向へ水平移動する
距離の範囲（ストローク）を変更することができるステ
ージ、及び該ステージを備えた顕微鏡を提供する。 【解決手段】重ねて配置された複数の板状部材１，２，
３を有し、複数の板状部材２，３が相対的に水平移動す
るステージにおいて、板状部材２，３の水平移動する距
離を制限するための複数のストローク制限手段７ａ，７
ｂ，７ｃを有し、複数のストローク制限手段７ａ，７
ｂ，７ｃによって、板状部材２，３の水平移動する距離
の制限を変更する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はステージに関し、特
にＸＹ方向へ水平移動可能なステージに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば顕微鏡に用いられるステー
ジとして、Ｘ方向（顕微鏡の前後方向）及びＹ方向（顕
微鏡の左右方向）への水平移動が可能である構成のもの
が提案されている。半導体ウエハや液晶パネル等のよう
に大きさの異なる観察対象物を顕微鏡等によって観察す
る場合、ステージに必要とされるストロークは観察対象
物の大きさによって異なる。ここで「ストローク」と
は、ステージがＸＹ方向へ水平移動することができる距
離の範囲をいう。しかしながら従来のステージは、観察
対象物に応じてストロークを変更することはできず、大
きな観測対象物を小さなストロークのステージで観察す
ることができないという問題がある。このため、従来観
察対象物に応じたストロークを有するステージが供給さ
れている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、観察対象物に
応じたストロークを有するステージを製造する場合、製
造する製品（ステージ）の種類が多くなり、また製品の
種類毎の製造数量も少ない。このため、製造の効率が悪
化し、製造コストの増大を招いてしまうという問題があ
る。

【０００４】そこで本発明は上記問題点に鑑みてなされ
たものであり、観察対象物に応じて、ＸＹ方向へ水平移
動する距離の範囲（ストローク）を変更することができ
るステージ、及び該ステージを備えた顕微鏡を提供する
ことを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１に記載の発明は、重ねて配置された複数の板
状部材を有し、前記複数の板状部材が相対的に水平移動
するステージにおいて、前記板状部材の水平移動する距
離を制限するための複数のストローク制限手段を有し、
当該複数のストローク制限手段によって、前記板状部材
の水平移動する距離の制限を変更することを特徴とする
ステージを提供する。

【０００６】また、請求項２に記載のステージは、前記
複数の板状部材のうちのいずれか１つの板状部材は、前
記ストローク制限手段を着脱可能な複数の制限手段取付
部を有し、前記ストローク制限手段を前記制限手段取付
部に着脱することによって、前記板状部材の水平移動す
る距離の制限を変更することを特徴とする。

【０００７】また、請求項３に記載のステージは、前記
ストローク制限手段は、大きさの異なるストローク制限
手段と交換可能であり、前記ストローク制御手段の大き
さの差異により、前記板状部材の水平移動する距離の制
限を変更することを特徴とする。

【０００８】また、請求項４に記載の顕微鏡は、請求項
１乃至３のいずれか一項に記載のステージを備えたこと
を特徴とする。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
の実施の形態について詳細に説明する。 （第１実施形態）図１（ａ）は、本発明の第１実施形態
に係るステージを下方から見た図（一部断面図）であ
る。また図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ断面
図である。図１において、本発明の第１実施形態に係る
ステージは、顕微鏡等のステージ設置面に設置される下
板１と、中板２と、観察対象物等を載置するための上板
３とが重ねて配置されている。また本実施形態に係るス
テージは、下板１に対して前後方向（図１中のＹ方向）
へ中板２を水平移動させるためのレースガイド４ａ，４
ｂと、Ｙ方向に対して垂直な方向である左右方向（図１
中のＸ方向）へ上板３を水平移動させるためのレースガ
イド５ａ，５ｂとを有する。

【００１０】図１に示すように２本のレースガイド４
ａ，４ｂは、中板２の下面に下板１を挟み込むように取
り付けられている。そして、レースガイド４ａ，４ｂに
設けられたレース溝と下板１に設けられたレース溝との
間には、複数の鋼球（不図示）が転動可能に配置されて
いる。このため、下板１に対して中板２をＹ方向へ水平
移動（スライド）させる際に、レース内の鋼球が転動す
る。斯かるレース構造によって中板２のＹ方向への滑ら
かな水平移動を行うことができる。また、図１に示すよ
うに２本のレースガイド５ａ，５ｂは、上板３の下面に
中板２を挟み込むように取り付けられている。そして、
レースガイド５ａ，５ｂに設けられたレース溝と中板２
に設けられたレース溝との間には、複数の鋼球６が転動
可能に配置されている。このため、中板２に対して上板
３をＸ方向へ水平移動させる際に、レース内の鋼球６が
転動する。斯かるレース構造によって上板３のＸ方向へ
の滑らかな水平移動を行うことができる。

【００１１】次に、本実施形態に係るステージのＸＹ方
向へのストロークについて説明する。まず、ステージの
Ｙ方向へのストロークについて説明する。中板２には、
その下面に溝（ストローク溝）２ａが設けられている。
また下板１には、その中央部に３つのねじ穴１ｄ，１
ｅ，１ｆが設けられている。そしてこれらのねじ穴１
ｄ，１ｅ，１ｆには、３つのピン（突起部）７ａ，７
ｂ，７ｃが中板２の溝２ａに入り込むように配置されて
いる。またこれらのピン７ａ，７ｂ，７ｃは、ねじ穴１
ｄ，１ｅ，１ｆに着脱（取り外し）可能であり、中板２
及び上板３にはそれぞれ、任意にピン７ａ，７ｂ，７ｃ
の取り外しを行うための工具穴２ｃ及び工具穴３ｃが設
けられている。

【００１２】中板２がＹ方向へ水平移動する際に、溝２
ａのピン当接面２ｂが３つのピン７ａ，７ｂ，７ｃのう
ちのいずれかひとつに当接する。これによって、中板２
のＹ方向への移動が制限されることとなる。従って、こ
のようにピン７ａ，７ｂ，７ｃによって制限される範
囲、即ち中板２がＹ方向へ移動することができる範囲
が、ステージ（中板２）のＹ方向のストロークとなる。
以上の構成の下、ねじ穴１ｄ，１ｅ，１ｆに取り付ける
ピンの取り付け位置を変えることによって、ステージの
Ｙ方向のストロークを変更することができる。

【００１３】次に、ステージのＸ方向へのストロークに
ついて説明する。ステージのＸ方向へのストロークは、
基本的に上述のＹ方向へのストロークの構成と同様であ
る。上板３には、その下面に溝３ａが設けられている。
また中板２には、その中央部に３つのねじ穴２ｄ，２
ｅ，２ｆ（２ｅ，２ｆは不図示）が設けられている。そ
してこれらのねじ穴２ｄ，２ｅ，２ｆには、３つのピン
８ａ，８ｂ，８ｃ（８ｂ，８ｃは不図示）が上板３の溝
３ａに入り込むように配置されている。また、これらの
ピン８ａ，８ｂ，８ｃは、ねじ穴２ｄ，２ｅ，２ｆに着
脱可能であり、上述のように上板３には、任意にピン８
ａ，８ｂ，８ｃの取り外しを行うための工具穴３ｃが設
けられている。

【００１４】上板３がＸ方向へ水平移動する際に、溝３
ａのピン当接面３ｂ（不図示）が３つのピン８ａ，８
ｂ，８ｃのうちのいずれかひとつに当接する。これによ
って、上板３のＸ方向への移動が制限されることとな
る。従って、このようにピン８ａ，８ｂ，８ｃによって
制限される範囲、即ち上板３がＸ方向へ移動することが
できる範囲が、ステージ（上板３）のＸ方向のストロー
クとなる。以上の構成の下、ねじ穴２ｄ，２ｅ，２ｆに
取り付けるピンの取り付け位置を変えることによって、
ステージのＸ方向のストロークを変更することができ
る。

【００１５】図２（ａ），（ｂ）は、本実施形態に係る
ステージのＹ方向のストローク（ピン３本配置時）を示
す図である。図２（ａ）において、ピン７ｃはピン当接
面２ｂに当接することによって中板２の移動を制限して
いる。また図２（ｂ）において、ピン７ａはピン当接面
２ｂに当接することによって中板２の移動を制限してい
る。ここで、ピン７ａとピン７ｂとの距離（ピン７ａを
含む）をＰ１、ピン７ｂとピン７ｃ（ピン７ｃを含む）
との距離をＰ２、ストロークをＳ１とする。

【００１６】図３（ａ）は、本実施形態に係るステージ
において、ピン７ｃを取り外す様子を示す図である。
尚、ピン７ａ，７ｂ，７ｃの着脱は、着脱したいピンの
位置に工具穴２ｃ，３ｃの位置が合うように中板２と上
板３とを移動させた後に行う。図３（ｂ），（ｃ）は、
本実施形態に係るステージにおいて、ピン７ａ，７ｃを
取り外し、ピン７ｂのみを取り付けた場合のＹ方向のス
トロークを示す図である。図３（ｂ），（ｃ）におい
て、ピン７ｂはピン当接面２ｂに当接することによって
中板２の移動を制限している。ここで、ストロークをＳ
２として上述のＳ１と比較する場合、Ｓ２はＰ１とＰ２
とを合わせた長さ分だけＳ１よりも長くなる。

【００１７】以上より本実施形態に係るステージは、顕
微鏡等に当該ステージを用いる場合に、ねじ穴に取り付
けるピンの数を変えることによって、観察対象物に応じ
てストロークを変更することができる。従って、ステー
ジに異なるストロークを要求する複数の観察対象物に対
して、１つのステージによって対応することが可能とな
る。このため、観察対象物に応じたストローク毎にステ
ージを製造する必要がなくなり、１種類のステージの製
造数量が増える。よって、製造の効率が向上、及び製造
コストの低下を達成することができる。

【００１８】（第２実施形態）図４（ａ）は、本発明の
第２実施形態に係るステージを下方から見た図（一部断
面図）である。また図４（ｂ）は、図４（ａ）における
Ａ−Ａ断面図である。以下、図４において、本発明の第
２実施形態に係るステージについて上記第１実施形態と
同様の構成である部分には同じ符号を付して重複する説
明を省略し、特徴的な部分について詳細に説明する。上
述のように第１実施形態に係るステージは、ねじ穴に着
脱するピンの取り付け位置を変えることによってストロ
ークの変更を行う構成のものである。これに対して本実
施形態に係るステージは、取り付けるピンの数よりもね
じ穴の数を多く有し、ピンの数を変えずにピンを取り付
けるねじ穴を変えることによってストロークの変更を行
う構成のものである。

【００１９】まず、ステージのＹ方向へのストロークに
ついて説明する。中板２には、その下面に溝２ａが設け
られている。また下板１には、その中央部に４つのねじ
穴１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇが設けられている。そしてね
じ穴１ｅ，１ｆには、２つのピン７ａ，７ｂが中板２の
溝２ａに入り込むように配置されている。また、これら
のピン７ａ，７ｂは、ねじ穴１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇに
着脱可能であり、中板２及び上板３にはそれぞれ、任意
にピン７ａ，７ｂの取り外しを行うための工具穴２ｃ及
び工具穴３ｃが設けられている。

【００２０】中板２がＹ方向へ水平移動する際に、溝２
ａのピン当接面２ｂが２つのピン７ａ，７ｂのいずれか
に当接する。これによって、中板２のＹ方向への移動が
制限されることとなる。従って、このようにピン７ａ，
７ｂによって制限される範囲、即ち中板２がＹ方向へ移
動することができる範囲が、ステージ（中板２）のＹ方
向のストロークとなる。以上の構成の下、ピンの数は変
えずに、ピンを取り付けるねじ穴を変えることによっ
て、ステージのＹ方向のストロークを変更することがで
きる。

【００２１】次に、ステージのＸ方向へのストロークに
ついて説明する。ステージのＸ方向へのストロークは、
基本的に上述のＹ方向へのストロークの構成と同様であ
る。上板３には、その下面に溝３ａが設けられている。
また中板２には、その中央部に４つのねじ穴２ｄ，２
ｅ，２ｆ，２ｇ（２ｅ，２ｆ，２ｇは不図示）が設けら
れている。そしてねじ穴２ｅ，２ｆには、上板３の溝３
ａに入り込むように２つのピン８ａ，８ｂ（８ｂは不図
示）が配置されている。また、これらのピン８ａ，８ｂ
は、ねじ穴２ｄ，２ｅ，２ｆ，２ｇに着脱可能であり、
上板３には、任意にピン８ａ，８ｂの取り外しを行うた
めの工具穴３ｃが設けられている。

【００２２】上板３がＸ方向へ水平移動する際に、溝３
ａのピン当接面３ｂ（不図示）が２つのピン８ａ，８ｂ
のいずれかに当接する。これによって、上板３のＸ方向
への移動が制限されることとなる。従って、このように
ピン８ａ，８ｂによって制限される範囲、即ち上板３が
Ｘ方向へ移動することができる範囲が、ステージ（上板
３）のＸ方向のストロークとなる。以上の構成の下、ピ
ンの数は変えずに、ピンを取り付けるねじ穴を変えるこ
とによって、ステージのＸ方向のストロークを変更する
ことができる。

【００２３】図４（ｂ）は、上述のように図４（ａ）の
Ａ−Ａ断面図であり、本実施形態に係るステージにおい
てピン７ａ，７ｂをそれぞれねじ穴１ｅ，１ｆへ配置し
た状態を示す図である。図４（ｃ）は、図４（ａ）のＡ
−Ａ断面図であり、本実施形態に係るステージにおいて
ピン７ａ，７ｂをそれぞれねじ穴１ｄ，１ｇへ付け替え
た状態を示す図である。尚、第１実施形態と同様、ピン
７ａ，７ｂの着脱は、着脱したいピンの位置に工具穴２
ｃ，３ｃの位置が合うように中板２と上板３とを移動さ
せた後に行う。ここで、図４（ｂ）のストロークと図４
（ｃ）のストロークとを比較する場合、図４（ｃ）のス
トロークは、ピン７ａ，７ｂを付け替えることにより該
ピン同士の距離を変えた分だけ図４（ｂ）のストローク
よりも短くなる。

【００２４】以上より本実施形態に係るステージは、顕
微鏡等に当該ステージを用いる場合に、ピンの数は変え
ずにピンを取り付けるねじ穴を変えることによって、観
察対象物に応じてストロークを変更することができる。
従って本実施形態に係るステージは、上記第１実施形態
に係るステージが奏する効果と同様の効果を奏すること
ができる。

【００２５】（第３実施形態）図５（ａ）は、本発明の
第３実施形態に係るステージを下方から見た図（一部断
面図）である。また図５（ｂ）は、図５（ａ）における
Ａ−Ａ断面図である。以下、図５において、本発明の第
３実施形態に係るステージについて上記第１実施形態と
同様の構成である部分には同じ符号を付して重複する説
明を省略し、特徴的な部分について詳細に説明する。本
実施形態に係るステージは、ねじ穴に取り付けているピ
ンを、該ピンと形状の異なる別なピンに付け替えること
によってストロークの変更を行う構成のものである。

【００２６】まず、ステージのＹ方向へのストロークに
ついて説明する。中板２には、その下面に溝２ａが設け
られている。また下板１には、その中央部に２つのねじ
穴１ｄ，１ｅが設けられている。そしてねじ穴１ｄ，１
ｅには、ピン９の雄ねじ９ａ，９ｂがそれぞれねじ込ま
れており、ピン９の先端部分９ｃが中板２の溝２ａに入
り込むようになっている。またピン９の先端部分９ｃ
は、溝２ａの長手方向に沿った長さがＬ１の部材であ
る。また、ピン９の雄ねじ９ａ，９ｂは、ねじ穴１ｄ，
１ｅに着脱可能である。さらにピン９は、該ピン９の先
端部分９ｃと大きさの異なる部材を先端部分として有す
る他のピンと付け替えることが可能である。本実施形態
においてピン９は、溝２ａの長手方向に沿った長さがＬ
２である部材を先端部分１０ｃとして有するピン１０
（図中、点線にて示す。）と付け替えることができる構
成としている。さらに、中板２及び上板３にはそれぞ
れ、任意にピン９，１０の取り外しを行うための工具穴
２ｃ及び工具穴３ｃが設けられている。

【００２７】中板２がＹ方向へ水平移動する際に、溝２
ａのピン当接面２ｂがピン９の先端部分９ｃに当接す
る。これによって、中板２のＹ方向への移動が制限され
ることとなる。従って、このようにピン９の先端部分９
ｃによって制限される範囲、即ち中板２がＹ方向へ移動
することができる範囲が、ステージ（中板２）のＹ方向
のストロークとなる。以上の構成の下、ねじ穴に取り付
けているピンを、該ピンの先端部分と大きさの異なる先
端部分を有する他のピンと付け替えることによって、ス
テージのＹ方向のストロークを変更することができる。

【００２８】次に、ステージのＸ方向へのストロークに
ついて説明する。基本的に上述のＹ方向へのストローク
の構成と同様である。上板３には、その下面に溝３ａが
設けられている。また中板２には、その中央部に２つの
ねじ穴２ｄ，２ｅ（２ｅは不図示）が設けられている。
そしてねじ穴２ｄ，２ｅには、ピン１１の雄ねじ１１
ａ，１１ｂ（１１ｂは不図示）がそれぞれねじ込まれて
おり、ピン１１の先端部分１１ｃが上板３の溝３ａに入
り込むようになっている。またピン１１の先端部分１１
ｃは、ピン９の先端部分９ｃと同じ形状である。また、
ピン１１の雄ねじ１１ａ，１１ｂは、ねじ穴２ｄ，２ｅ
に着脱可能である。さらにピン１１は、該ピン１１の先
端部分１１ｃと大きさの異なる部材を先端部分として有
する他のピンと付け替えることが可能である。本実施形
態においてピン１１は、ピン１０の先端部分１０ｃと同
じ形状の部材を先端部分１２ｃとして有するピン１２
（不図示）と付け替えることができる構成としている。
さらに、上述のように上板３には、任意にピン１１の取
り外しを行うための工具穴３ｃが設けられている。

【００２９】上板３がＸ方向へ水平移動する際に、溝３
ａのピン当接面３ｂ（不図示）がピン１１の先端部分１
１ｃに当接する。これによって、下板３のＸ方向への移
動が制限されることとなる。従って、このようにピン１
１の先端部分１１ｃによって制限される範囲、即ち下板
３がＸ方向へ移動することができる範囲が、ステージ
（下板３）のＸ方向のストロークとなる。以上の構成の
下、ねじ穴に取り付けているピンを、該ピンの先端部分
と大きさの異なる先端部分を有する他のピンと付け替え
ることによって、ステージのＸ方向のストロークを変更
することができる。

【００３０】図５（ｂ）は、上述のように図５（ａ）に
おけるＡ−Ａ断面図であり、本実施形態に係るステージ
において、ピン９をねじ穴へ配置した状態と、ピン９に
替えてピン１０をねじ穴へ配置した状態とを示す図であ
る。尚、第１実施形態と同様、ピン９，１０の着脱は、
ピンの位置に工具穴２ｃ，３ｃの位置が合うように中板
２と上板３とを移動させた後に行う。ここで、ピン９を
ねじ穴へ配置したときのストロークと、ピン９に替えて
ピン１０をねじ穴へ配置したときのストロークとを比較
する場合、ピン９に替えてピン１０をねじ穴へ配置した
ときのストロークは、先端部分の長さが大きい分だけピ
ン９をねじ穴へ配置したときのストロークよりも短くな
る。

【００３１】以上より本実施形態に係るステージは、顕
微鏡等に当該ステージを用いる場合に、ねじ穴に取り付
けているピンを該ピンの先端部分と大きさの異なる先端
部分を有する他のピンと付け替えることによって、観察
対象物に応じてストロークを変更することができる。従
って本実施形態に係るステージは、上記各実施形態に係
るステージが奏する効果と同様の効果を奏することがで
きる。

【００３２】尚、上記各実施形態に係るステージは、共
通してピンをねじ穴に着脱する構成である。しかし本発
明はこれに限られず、溝２a（３a）へ繰り出し可能なピ
ンを下板１（中板２）内部に有し、該ピンを出し入れす
ることによってストロークを変更する構成とすることも
できる。またこのピンの出し入れは、所望のストローク
に応じて使用者が直接行う構成や、ピンの出し入れのた
めの駆動部を備えて該駆動部によって自動で行う構成と
することができる。

【００３３】（第４実施形態）図６は、本発明の第４実
施形態に係る顕微鏡の一例を示す概略構成図である。本
実施形態に係る顕微鏡２０は、上記第１実施形態に係る
ステージと同様の構成のステージ２１をステージ設置面
２０ａに備えた顕微鏡である。図６において顕微鏡２０
は、透過照明部２２と接眼観察部２３とを有する。顕微
鏡２０のステージ２１上に配置された不図示の観察対象
物（標本）は、透過照明部２２からの照明光にて照明さ
れる。そして照明された標本からの光が、対物レンズ２
４と不図示の光学系を介して接眼観察部２３または撮像
部２６に導かれる。このようにして観察者は標本を肉眼
観察することができる。尚、ステージ２１については後
述する。図６において顕微鏡２０は、落射照明部２５と
撮像部２６とを有する。顕微鏡２０のステージ２１上に
配置された不図示の標本は、例えば蛍光観察の場合、落
射照明部２５からの励起光にて照明される。これによっ
て標本から発生した蛍光は、不図示の光学系を介して撮
像部２６または接眼観察部２３に導かれる。このように
して観察者は標本を蛍光観察することができる。

【００３４】次に、本実施形態に係る顕微鏡のステージ
２１について説明する。本実施形態に係る顕微鏡２０の
ステージ設置面２０ａには、上記第１実施形態に係るス
テージと同様の構成のステージ２１が設置されている。
ステージ２１は、上述のようにねじ穴に取り付けるピン
の取り付け位置を変えることによって、ＸＹ方向のスト
ロークを変更することができる。

【００３５】本実施形態に係る顕微鏡２０において、ス
テージ２１は上記第１実施形態に係るステージが奏する
効果と同様の効果を奏する。以上より本実施形態に係る
顕微鏡は、観察対象物がステージに要求するストローク
に応じて、ステージのＸＹ方向のストロークを変更する
ことができる。

【００３６】

【発明の効果】本発明によれば、観察対象物に応じて、
ＸＹ方向へ水平移動する距離の範囲（ストローク）を変
更することができるステージ、及び該ステージを備えた
顕微鏡を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係るステージを示す図
である。

【図２】本発明の第１実施形態に係るステージのＹ方向
のストローク（ピン３本配置時）を示す図である。

【図３】図３（ａ）は本実施形態に係るステージにおい
てピン７ｃを取り外す様子を示す図であり、図３
（ｂ），（ｃ）は本発明の第１実施形態に係るステージ
のＹ方向のストローク（ピン１本配置時）を示す図であ
る。

【図４】本発明の第２実施形態に係るステージを示す図
である。

【図５】本発明の第３実施形態に係るステージを示す図
である。

【図６】本発明の第４実施形態に係る顕微鏡の一例を示
す概略構成図である。

【符号の説明】

１ 下板 ２ 中板 ３ 上板 ４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ レースガイド ７ａ，７ｂ，７ｃ，９，１０ ピン １ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ ねじ穴 ２ａ，３ａ ストローク溝 ２ｃ，３ｃ 工具穴

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】重ねて配置された複数の板状部材を有し、 前記複数の板状部材が相対的に水平移動するステージに
   おいて、 前記板状部材の水平移動する距離を制限するための複数
   のストローク制限手段を有し、 当該複数のストローク制限手段によって、前記板状部材
   の水平移動する距離の制限を変更することを特徴とする
   ステージ。
2. 【請求項２】前記複数の板状部材のうちのいずれか１つ
   の板状部材は、 前記ストローク制限手段を着脱可能な複数の制限手段取
   付部を有し、 前記ストローク制限手段を前記制限手段取付部に着脱す
   ることによって、前記板状部材の水平移動する距離の制
   限を変更することを特徴とする請求項１に記載のステー
   ジ。
3. 【請求項３】前記ストローク制限手段は、大きさの異な
   るストローク制限手段と交換可能であり、前記ストロー
   ク制御手段の大きさの差異により、前記板状部材の水平
   移動する距離の制限を変更することを特徴とする請求項
   １に記載のステージ。
4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれか一項に記載のス
   テージを備えたことを特徴とする顕微鏡。