JP2003234119A

JP2003234119A - Ｆｃモジュール用パレット

Info

Publication number: JP2003234119A
Application number: JP2002031004A
Authority: JP
Inventors: Yuichi Ito; 友一伊藤
Original assignee: Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp
Priority date: 2002-02-07
Filing date: 2002-02-07
Publication date: 2003-08-22

Abstract

(57)【要約】【課題】全ての工程で使用可能なパレットの提供。【解決手段】（１）接着剤硬化、リークテスト、流路
閉塞テストの全ての工程で使用可能なパレット。（２）
接着剤硬化時は厚さが厚くなり、リークテスト時は厚さ
が薄くなる可変厚セパレータ１１。（３）直動軸受３４
とそれを挿通するガイドシャフト３５。（４）個別に通
じる検査流体供給・排出流路４０〜４７。（５）圧力上
昇測定による流路閉塞検査。（６）可動くさび５２によ
る加圧力保持。（７）バネ５１による予圧変動抑制。
（８）支持キャップ２８。（９）操作シャフト穴を検査
流体供給に兼用。（１０）シャフト１４、１５先端の球
面構造。（１１）シャフト１４、１５を短絡チェック端
子に兼用。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、燃料電池（Fuel C
ell 、以下ＦＣという）モジュールの量産に用いるＦＣ
モジュール量産用パレット（パレットは、治具と呼ぶ場
合もある）に関する。

【０００２】

【従来の技術】固体高分子電解質型燃料電池は、膜−電
極アッセンブリ（ＭＥＡ：Membrane-Electrode Assembl
y ）とセパレータとからなるセルを１層以上重ねてモジ
ュールとし、モジュールを積層して構成される。ＭＥＡ
は、イオン交換膜からなる電解質膜とこの電解質膜の一
面に配置された触媒層からなる電極（アノード）および
電解質膜の他面に配置された触媒層からなる電極（カソ
ード）とからなる。ＭＥＡとセパレータとの間には、通
常、拡散層が設けられる。この拡散層は、触媒層への反
応ガスの拡散をよくするためのものであり、触媒層と協
働して電極を構成すると考えてもよい。セパレータは、
アノードに燃料ガス（水素）を供給する燃料ガス流路お
よびカソードに酸化ガス（酸素、通常は空気）を供給す
るための酸化ガス流路が形成されるとともに、隣接する
セル間の電子の通路を構成している。セル積層体のセル
積層方向両端に、ターミナル（電極板）、インシュレー
タ、エンドプレートを配置し、セル積層体をセル積層方
向に締め付け、セル積層体の外側でセル積層方向に延び
る締結部材（たとえば、テンションプレート）とボルト
にて固定して、スタックが形成される。固体高分子電解
質型燃料電池では、アノード側では、水素を水素イオン
と電子にする反応が行われ、水素イオンは電解質膜中を
カソード側に移動し、カソード側では酸素と水素イオン
および電子（隣りのＭＥＡのアノードで生成した電子が
セパレータを通してくる、または、セル積層体の一端の
セルのアノードで生成した電子が外部回路を通してセル
積層体の他端のセルのカソードにくる）から水を生成す
る反応が行われる。アノード側：Ｈ₂→２Ｈ⁺＋２ｅ^- カソード側：２Ｈ⁺＋２ｅ^-＋（１／２）Ｏ₂→Ｈ₂Ｏ上記反応を行うために、スタックには燃料ガス、酸化ガ
スが供給・排出される。また、セパレータでのジュール
熱とカソードでの水生成反応で熱が出るので、セパレー
タ間には、各セル毎にあるいは複数個のセル毎に、冷媒
（通常は冷却水）が流れる流路が形成されており、そこ
に冷媒が循環され、燃料電池を冷却している。燃料電池
の製造工程には、モジュールが製造された段階で少なく
とも１つのモジュールをパレットに組付けて行われる、
接着剤硬化工程、リークテスト工程、流路閉塞テスト工
程、短絡テスト工程等が含まれる。これらのテストの合
格品のみが積層されてスタックとされる。特開２０００
−２３６６５は、この種の燃料電池モジュールの各種テ
ストの一例を開示している。そこでは、複数のＦＣモジ
ュールの構成部品をパレット上に順番に直接積層して、
ネジ締結により一定時間加圧保持して接着剤を硬化さ
せ、そのままの状態でパレットに設けた供給穴より、積
層したＦＣモジュールの燃料ガス流路、酸化ガス流路、
冷媒流路へそれぞれ検査流体を個々に供給することで、
各流路のリークテストも実施している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、特開２０００
−２３６６５のパレットには、つぎの問題があった。多大な労力と平行度の乱れＦＣモジュールのセパレータ間接着及びセパレータとＭ
ＥＡ間接着に流動性のある接着剤を使用し、モジュール
間シール用ガスケットが予めセパレータに一体で設けら
れている場合、特開２０００−２３６６５の方法では、
接着剤硬化時にガスケット圧縮反力によりセパレータ間
の平行が悪化し、この状態で接着剤が硬化してしまう場
合がある。単純にガスケットの部分を逃がしたスペーサ
をモジュール間にはさんで硬化させ、リークテスト時に
スペーサを取り外すのでは多大な労力を要する。平行度の乱れによるシール性の低下において、多モジュール積層とすると、パレットで平
行を矯正される最上段と最下段のモジュールを除く中間
のモジュールは、セパレータの反りやＭＥＡの圧縮反力
の面内バラツキ等により最上段と最下段のモジュールに
対し平行でなくなるおそれがある。そして、後工程の漏
洩検査で不良モジュールが発生したときに良品と差し替
えた場合、最上段と最下段のモジュールとの平行が悪く
なり、面圧が不均一なことによるセパレータの損傷や、
シール部での漏洩につながるおそれがある。漏洩モジュール特定が困難複数モジュール積層の場合、燃料ガス流路、酸化ガス流
路、冷媒流路が複数モジュールにわたってつながってい
るため、複数モジュール分同時に漏洩検査でき、時間・
装置の数上有利な反面、単モジュール検査より高い検出
力が必要で、かつ、漏洩検査時に漏洩モジュールを特定
できない。接着剤の流路流れ込み検出不可セパレータ間接着及びセパレータとＭＥＡ間接着に流動
性のある接着剤を使用すると、接着剤が各ＭＥＡへのガ
ス供給流路に垂れ込んで流路を閉塞するおそれがある
が、閉塞しても従来の漏洩検査ではこれを検出できな
い。面圧変化接着剤硬化に加熱を要する場合、接着剤硬化時にＦＣモ
ジュールやパレットに比較的大きな寸法変化が生じると
過予圧または予圧不足になるおそれがある。多モジュールの同時短絡チェック不可多モジュールを同時に電気的短絡チェックすることはで
きなかったため、短絡チェックに時間と労力を要する。
本発明の目的は、多大な労力を要することなく、接着剤
硬化、リークテストを行うことができるＦＣモジュール
量産用パレットを提供することにある。本発明の他の目
的は、上記目的に加えて、セパレータ間の平行度の悪
化、平行度の乱れによるシール性の低下、漏洩モジュー
ル特定が困難、接着剤の流路流れ込み検出不可、面圧変
化、多モジュールの同時短絡チェック不可、の少なくと
も１つの問題を解決できるＦＣモジュール量産用パレッ
トを提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】〔上記の課題を解決す
るための手段〕図１に示すように、パレットをＦＣモジ
ュール１０の生産工程における少なくとも接着剤硬化工
程とリークテスト工程で共用可能な構造とする。また、
接着剤硬化工程とリークテスト工程でＦＣモジュール拘
束状態を可変とする手段を有する。ＦＣモジュール１０
のガスケット７の無い部分に対応するパレット部分の厚
さが可変で、かつＦＣモジュールと交互に積層した時に
所定の位置をシールするようにＦＣモジュールと同等の
位置にガスケット２５を設けたスペーサ（可変厚プレー
トともいう）１１を、ＦＣモジュール１０にはさんで積
層する。そして、接着剤６の硬化時は、厚さ可変部をＦ
Ｃモジュール１０およびスペーサ１１に形成されたガス
ケット７、２５が圧縮変形しないように厚くし、接着剤
硬化後のリークテスト時には、厚さ可変部をＦＣモジュ
ール１０およびスペーサ１１に形成されたガスケット
７、２５がシール時の所定の寸法に圧縮変形するように
薄くするように構成する。これによって、接着剤硬化時
のガスケット圧縮反力の影響を避け、かつ接着剤硬化後
にパレットからＦＣモジュール１０を取り外すことなく
リークテストを実施することができる。その結果、ガス
ケットの反力によるセパレータの平行度の乱れがなくな
り、かつＦＣモジュール１０のハンドリングによる多大
な労力を伴うこともなくなる。

【０００５】〔上記の課題を解決するための手段〕図
２に示すように、スペーサ１１と天板２７に直動軸受３
４が設けられており、底板２６にガイドシャフト３５が
設けられており、該ガイドシャフト３４は直動軸受３４
に摺動可能に挿通されている。ＦＣモジュール１０とス
ペーサ１１を交互にはさんで積層することにより、全Ｆ
Ｃモジュール間の平行を保証できる。

【０００６】〔上記の課題を解決するための手段〕図
３、図４に示すように、各スペーサ１１に、ＦＣモジュ
ール１０の燃料ガス流路、酸化ガス流路、冷媒流路のそ
れぞれに個別に通じる検査流体供給・排出流路Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆが設けられている。第１のＦＣモジュー
ル１０の燃料（酸化）ガス流路の漏洩検査時、検査流体
供給側流路Ａ、排出側流路Ｂのうち少なくとも１箇所よ
り検査流体を充填（残り流路は漏れ止め）し、第２のＦ
Ｃモジュール１０（第１のＦＣモジュールにセパレータ
をはさんで対向するモジュール）の燃料（酸化）ガス流
路の漏洩検査時は検査流体供給側流路Ｃ、排出側流路Ｄ
のうち少なくとも１箇所より検査流体を充填（残り流路
は漏れ止め）し、流路Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄはそれぞれスペー
サ１１を貫通しないようにすることにより、各ＦＣモジ
ュール間の流路がパレット内で貫通せず各モジュールの
独立した漏洩検査が可能となる。冷媒流路検査時は検査
流体供給・排出流路Ｅ、Ｆおよび隣接するプレートの検
査流体供給・排出流路２箇所を含めた４箇所中の少なく
とも１箇所より検査流体を充填（残り流路は漏れ止め）
することにより、各モジュールの独立した漏洩検査が可
能となる。

【０００７】〔上記の課題を解決するための手段〕図
３、図４に示すように、検査流体供給流路Ａ、Ｂ、Ｃ、
Ｄ、Ｅ、Ｆは、ＦＣモジュール１０の燃料ガス供給・排
出流路１００、１０１、酸化ガス供給・排出流路１０
２、１０３、冷媒供給・排出流路１０４、１０５に、上
流側から通じる流路と、下流側から通じる流路を有して
おり、上流側から通じる流路は圧力計に連通されてお
り、下流側から通じる流路は大気開放とされている。そ
して、大気開放と反対側から検査流体を供給し流して圧
力計で圧力上昇を測定することにより、燃料ガス流路、
酸化ガス流路、冷媒流との流路閉塞検査が可能となる。

【０００８】〔上記の課題を解決するための手段〕図
５に示すように、ＦＣモジュール量産用パレットは、天
板２７の上方に配された荷重プレート５０と、荷重プレ
ートの上方に配されガイドシャフト上部に固定された固
定側くさび支持プレートから垂下する固定側くさび５３
と、荷重プレートの上面で水平に可動とされ固定側くさ
び５３と荷重プレート５０との間に押し込まれる可動く
さび５２と、を更に有する。また、荷重プレート５０と
天板２７との間にバネ５１が配されている。そして、プ
レス装置などの加圧装置で荷重プレート５０の上面を加
圧し、荷重プレート５０、バネ５１、天板２７を介して
ＦＣモジュール１０に所定の荷重を加え、この状態を保
持するように固定側くさび５３と荷重プレート５０間に
可動くさび５２を押し込めば、荷重プレート５０の上面
の加圧装置の荷重を除去しても、ＦＣモジュール１０に
加えた予圧を保持できる。バネ５１力を適切に選ぶこと
により、接着剤のクリープや、加熱硬化型接着剤の場合
はパレットごと炉内で加熱した時のパレットおよびパレ
ットとモジュールの各部の材質違いによる膨張量の違い
による予圧抜けまたは過予圧を回避することができる。

【０００９】〔上記の課題を解決するための手段〕図
６に示すように、各セパレータに独立して電気的に導通
する端子（たとえば、ストッパープレート操作シャフト
を端子に兼用）１５と、各モジュール間に絶縁機能をも
つ絶縁プレート２４（たとえば、ガスケットを絶縁プレ
ートに兼用）を設ける。そして、ＦＣモジュールに実際
の使用状態と同じ面圧を加えた状態で、抵抗を測定する
ことにより、パレットに多モジュールを積層した状態で
各ＦＣモジュールの短絡チェックを同時に実施できる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下に、本発明のＦＣモジュール
量産用パレットを図７〜図２６を参照して説明する。Ｆ
Ｃモジュール１０は固体高分子電解質型燃料電池のモジ
ュールである。燃料電池は、モジュールを積層したスタ
ックから構成され、燃料電池自動車等に搭載される。た
だし、自動車以外に搭載、配置されてもよい。そして、
ＦＣモジュール量産用パレットは、モジュール１０を量
産する段階で使用され、モジュールの接着剤の硬化、リ
ークテスト、接着剤による流路閉塞の有無のテスト、短
絡の有無のテストに、ワークをパレットから外すことな
く、共通に用いられる。

【００１１】まず、ＦＣモジュール１０を説明する。図
７に示すように、固体高分子電解質型燃料電池１０は、
セパレータ１、２の間に、固体高分子電解質膜（両面に
白金系触媒を塗布）３とその両側に配置されるカーボン
クロス４とからなるＭＥＡ５を挟んだものからなる。

【００１２】セパレータ１、２間およびセパレータとＭ
ＥＡ間のシールとして熱硬化性接着剤６が使用されてい
る。セパレータ２には予めゴムガスケット７が焼付など
により一体で形成されている。ガス流路９、冷媒流路８
のガスケットは一体化しているためまとめて「ガスケッ
ト」７と表現したが、独立した互いに異なるガスケット
であってもよく、また、たとえば冷媒ガスケットはセパ
レータ１側、ガスガスケットはセパレータ２側など、分
かれて構成されていてもよい。

【００１３】セパレータ１、２の双方には冷媒流路８が
形成されている。ただし、セパレータ１、２の一方のみ
に冷媒流路８が形成され、他方のセパレータは冷媒流路
用の凹凸をもたない構造としてもよい。２つのセパレー
タと１つのＭＥＡで１モジュールを構成している。ただ
し、３セパレータと２ＭＥＡで１モジュール、あるい
は、Ｎ（Ｎは４以上）セパレータとＮ−１ＭＥＡで１モ
ジュールとしてもよい。実際のスタック組み付け状態で
はＦＣモジュール１０を多数積層して使用されるが、図
７では、２モジュール分のみを示している。隣接モジュ
ール間のセパレータ面同士が密着時、ガスケット７は隣
接モジュールのセパレータ１により所定の厚みまで圧縮
されてシール力を発揮するように構成されている。

【００１４】パレットを説明する。パレットの説明にお
いて、スペーサ１１の可変厚構造を構成１とし、作用を
作用１とする。スペーサ１１の天板２７との平行構造を
構成２とし、作用を作用２とする。複数モジュール同時
リークテスト構成を構成３とし、作用を作用３とする。
接着剤の流路閉塞防止構成を構成４とし、作用を作用４
とする。過予圧または予圧不足の防止構成を構成５と
し、作用を作用５とする。複数モジュール同時短絡チェ
ック構成を構成６とし、作用を作用６とする。

【００１５】〔構成１〕図８、図１５〜１７に示すよう
に、パレット（治具）は、可変厚スペーサ１１と、天板
２７と、底板２６と、ガイドシャフト３５を有する。パ
レットは、さらに、荷重プレート５０、固定側くさび５
３、可動くさび５２、バネ５１を有していてもよい。ス
ペーサ１１は可変厚構造を有する。図８に示すように、
可変厚スペーサ（可変厚プレートともいう）１１は、接
着剤６硬化時に全厚が厚く、接着剤硬化後のリークテス
ト時に全厚が薄くなるように操作可能な可変厚プレート
からなる。可変厚スペーサ１１をＦＣモジュール１０巻
に挟んで積層する。図８に示すように、可変厚スペーサ
１１は、面圧付加プレート１２とストッパープレート１
３を有し、押さえプレート２２により、面圧付加プレー
ト１２は上下方向にガイドされ、ストッパープレート１
３は水平方向にガイドされる。面圧付加プレート１２は
接着剤硬化時にセパレータ２の面圧付加必要部分に面圧
を加えるのに十分な面積をもち、かつ、ガスケット７を
横切らない面形状をもつ。ストッパープレート１３の両
端にはストッパープレート操作シャフト１４、１５が取
り付けられており、該シャフト１４、１５を介して外部
からストッパープレート１３を押し、右進・左進操作す
る。

【００１６】面圧付加プレート１２、ストッパープレー
ト１３には、プレート１３左進時にリブ（凸部）１８、
１９同士が合い、プレート１３右進時にリブ（凸部）１
８と谷部（凹部）２１、リブ（凸部）１９と谷（凹部）
２０が合うように、リブ、谷を配置し、かつ、リブの一
部には斜面１６、１７が設けてある。斜面の配置、幅
は、プレート１３が右進端から左進端へ移動すると斜面
１６、１７が接触して滑り、プレート１２が下降端から
上昇端へ持ち上げられるように、また、プレート１２が
接触剤硬化時やリークテスト時に加わる面圧に対し十分
な剛性を有するように定められている。したがって、シ
ャフト１４を右から左に押し込むとプレート１２が上昇
して可変厚スペーサ１１の全厚が厚くなり、シャフト１
５を左から右に押し込むとプレート１２が下降して可変
厚スペーサ１１の全厚が薄くなる。

【００１７】以上のプレート１２、１３、シャフト１
４、１５、押さえプレート２２より成る構造は、ガスケ
ット２４の上面側だけでなく下面側にも対称に配置して
あり、機能は同様である。下側の押さえプレート２３に
は、セパレータ２のガスケット７に対応する位置にダミ
ーのガスケット２５が設けられている。押さえプレート
２２、２３と面圧付加プレート１２、１２’の段差は、
接着剤硬化時はガスケット７、２５が圧縮されない寸法
になるように、また、リークテスト時はガスケット７、
２５を圧縮してシール力が発揮される寸法になるように
適切に選んである。また、搬送パレットである底板２６
には、可変厚プレート１１のガスケット２４を境とした
上半分の部品（ガスケット２４を含む）を取付け、天板
２７には、可変厚プレート１１のガスケット２４を境と
した下半分の部品（ガスケット２４を含む）を取付けて
あり、可変厚プレート１１と同様の機能を果たすように
してある。

【００１８】１つのパレットに取り付けられている複数
のシャフト１４、１５を同時に操作し易くするために、
ストッパープレート操作シャフト１４、１５の先端部は
球面状に形成されている。すなわち、１枚のプレートを
複数のシャフト１５に垂直に当てて同時に押し込むこと
によって、複数のシャフト１４、１５を同時に操作する
ことができる。この時、可変厚スペーサの厚さ変化に伴
い、底板２６のシャフト１５を除き、各シャフト１５は
上下方向に移動する。通常、省スペースのために可変厚
スペーサ１１は可能な限り薄く、それに伴って各シャフ
ト１５の径も細くなる。そのため、シャフト１５にかか
る横荷重は可能な限り小さくしてシャフト１５が曲がっ
たりしないようにすることが望ましい。

【００１９】そのためには、つぎのイ、ロの構造をとる
ことが望ましい。イ．シャフトの上下方向移動時の引っ
掛かりによる横荷重を避けるため、シャフトに当てるプ
レートは滑らかな平面をもち、シャフト１５の端面は滑
らかな曲面（たとえば、球面）または鈍角の面取りを施
してあることが望ましい。更には、これに加えて焼入
れ、表面処理を施すことが望ましい。または、硬球をシ
ャフト先端にカシメて保持させてもよい。ロ．シャフト
１５の端面とシャフト１５の垂直が悪いとシャフトに横
荷重がかかりやすいため、シャフト１５の、流路４７を
通る部分の断面積より、シャフト１５先端部の押し込み
プレートの接触する部分の面積（端面の面積）を小さく
することが望ましい。

【００２０】図９〜図１２に示すように、モジュールが
開くのを抑えるために、支持キャップ２８が、ガスケッ
ト７、２５と干渉せず面圧付加プレート１２、１２’か
ら離れた位置に、可変厚スペーサ１１の上下両方に設け
てある。また、穴３７は、パレット底板２６に取付けら
れて上方に延びるワークガイド３０（モジュールの位置
を上下方向に合わせるガイド）の逃がし穴であり、可変
厚スペーサ１１、天板２７、荷重プレート５０を貫通し
ている。

【００２１】図１３、図１４に示すように、面圧付加プ
レート１２、１２’には、４隅に脱落防止爪３１が設け
てある。脱落防止爪３１は押さえプレート２３の窪み３
２に引っ掛かる。また、面圧付加プレート１２、１２’
内に小型のヒートパイプを組み込んでおけば、接着剤硬
化時にパレットを炉内に搬入した時、ワークの均等、高
速加熱が可能となる。

【００２２】図１４に示すように、押さえプレート２
２、２３のガスケット２４対向面に設けた窪み３２に脱
落防止爪３１が引っ掛かるため、可変厚スペーサ１１か
らの面厚付加プレート１２、１２’の脱落が防止されて
いる。また、押さえプレート２２、２３のガスケット２
４対向面に設けた溝３３により、ストッパープレート１
３は上下方向に動作できないように、また水平面内で回
転しないようにガイドされている。図１４のストッパー
プレートは、図８の側面方向から見た状態を図示してい
る。

【００２３】また、支持キャップ２８は、接着剤硬化時
のセパレータ１、２の面圧付加必要範囲以外の周縁部の
平行度確保用であり、押さえプレート２２、２３のガス
ケット２４対向面に設けたザグリ穴の肩３４に引っ掛か
った状態で、セパレータの、初期反りおよび接着剤硬化
時面圧付加により生じる反りを矯正できる程度の強さの
バネ２９を内蔵している。このときキャップ２８の頂面
と面圧付加プレート１２の面圧付加面との段差が相手の
セパレータの寸法と対応するよう、支持キャップ２８の
形状、寸法が適切に管理されている。また、接着剤硬化
後のリークテスト時の荷重に対し、バネ２９は容易に撓
む程度の荷重である。

【００２４】〔作用１〕接着剤硬化時は、ガスケット７
を圧縮せずに加熱・加圧が必要で、接着剤硬化後のリー
クテスト時は、ガスケット７の圧縮が必要という相反す
る課題を、可変厚スペーサ１１の採用により両立させ
て、工程間でのワーク脱着を不要にするとともに、工程
間でワークを脱着することなくパレットを共用化でき
る。

【００２５】〔構成２〕図９〜図１２、図１５〜図１７
に示すように、底板２６に上方に延びるガイドシャフト
３５を設け、押さえプレート２２、天板２７および荷重
プレート５０に直動軸受３４を設ける。〔作用２〕底板２６に対して可変厚スペーサ１１、天板
２７が平行を保ちながら上下動可能にガイドされる。そ
の結果、接着剤硬化時の各ＦＣモジュール１０間の平行
が確保される。

【００２６】〔構成３〕図９、図１０に示すように、押
さえプレート２２に設けられた検査流体供給・排出用流
路４０、４１、４２、４３は可変厚スペーサ１１の上側
に置かれたモジュール１０の燃料ガス供給流路１００、
燃料ガス排出流路１０１、酸化ガス供給流路１０２、酸
化ガス排出流路１０３にそれぞれつながるように一端が
押さえプレート２２の上面に開口している。各ＦＣモジ
ュールごとに検査を実施するには可変厚スペーサ１１の
下側に置かれたＦＣモジュール１０のガス流路と前記流
路４０、４１、４２、４３との気密が保たれていなけれ
ばならず、実施例のように流路４０、４１、４２、４３
を押さえプレート２２の板厚内で構成すればよいが、押
さえプレート２２を貫通する場合でも、ガスケット２４
により気密を保つように構成できる。なお、図示例で
は、押さえプレート２２にのみ検査流体供給・排出用流
路４０、４１、４２、４３を設けたが、押さえプレート
２３にのみ流路４０、４１、４２、４３を設けてもよ
く、あるいは押さえプレート２２と押さえプレート２３
の両方に流路４０、４１、４２、４３を設けてもよい。

【００２７】図９〜図１２、図１４に示すように、押さ
えプレート２２に設けられた検査流体供給・排出用流路
４４、４５はストッパープレート操作シャフト１４、１
５より大きな穴である。ストッパープレート操作シャフ
ト１４、１５は流路４４、４５を貫通してストッパープ
レート１３に接続されている。検査流体供給・排出用流
路４４、４５は押さえプレート２２と面圧付加プレート
１２とのすきま４８経由で可変厚スペーサ１１の上側に
置かれたＦＣモジュール１０の冷媒流路８につながって
いる。すきま４８は後述する冷媒流路閉塞検査のために
は大きいほうがよく、面圧付加プレート１２の周縁部に
切欠きを設けたり、貫通穴を設けてもよい。一方、押さ
えプレート２３も同様の構造であり、こちらの検査流体
供給・排出用流路４６、４７は可変厚スペーサ１１の下
側に置かれたＦＣモジュール１０の冷媒流路８とつなが
っており、押さえプレート２２との間のガスケット２４
により検査流体供給・排出用流路４４、４５から独立し
て気密が保たれている。押さえプレート２３、ガスケッ
ト２４はボルト３８で押さえプレート２２に対し締結固
定されている。ボルト３８はガスケット２４のシール性
能を発揮させるために十分な本数、ピッチで設ける必要
がある。シールワッシャ３９は押さえプレート２２にネ
ジ穴やその下穴等の貫通穴のシールであるが、板厚とネ
ジサイズの関係で、押さえプレート２２に貫通穴が設け
られない場合や、ボルト３８の位置がガスケット７、２
５のシール範囲外にある場合は省いてもよい。また、支
持キャップ２８も押さえプレート２２、２３を貫通する
ので、ガスケット２４でシールされている。

【００２８】〔作用３〕可変厚スペーサ１１に各ＦＣモ
ジュール１０の燃料ガス流路、酸化ガス流路、冷媒流路
それぞれに個別に検査流体を供給可能な流路を設けたた
め、各ＦＣモジュールごとに燃料ガス流路、酸化ガス流
路、冷媒流路のリークテストを実施できる。たとえばあ
る１つのＦＣモジュールのリークテストを実施する場
合、燃料ガス流路についてはモジュール下側の可変厚ス
ペーサ１１の検査流体供給・排出用流路４０、４１の２
箇所から検査流体を流入して（１箇所は単に漏れ止めで
もよい）実施することができる。また、酸化ガス流路に
ついてはモジュール下側の可変厚スペーサ１１の検査流
体供給・排出用流路４２、４３の２箇所から検査流体を
流入して（１箇所は単に漏れ止めでもよい）実施するこ
とができる。また、冷媒流路についてはモジュール上側
の可変厚スペーサ１１の検査流体供給・排出用流路４
４、４５、４６、４７の４箇所から検査流体を流入して
（１〜３箇所は単に漏れ止めでもよい）実施することが
できる。

【００２９】〔構成４〕構成３と同じである。〔作用４〕可変厚スペーサ１１に各ＦＣモジュール１０
の燃料ガス流路、酸化ガス流路、冷媒流路それぞれの流
路の下流側流路を大気開放にしておいて、上流側流路に
圧力計を設け十分な流量の検査流体を流すことにより、
閉塞による圧力上昇を測定する方法を適用できる。かく
して各ＦＣモジュール１０ごとに燃料ガス流路、酸化ガ
ス流路、冷媒流路の閉塞検査を実施できる。

【００３０】たとえばある１つのＦＣモジュールの閉塞
検査を実施する場合、燃料ガス流路についてはモジュー
ル下側の可変厚スペーサ１１の検査流体供給・排出用流
路４０、４１の１箇所から検査流体を流入し、他方は大
気開放にして、実施することができる。また、酸化ガス
流路についてはモジュール下側の可変厚スペーサ１１の
検査流体供給・排出用流路４２、４３の１箇所から検査
流体を流入し、他方は大気開放にして、実施することが
できる。また、冷媒流路については、（イ）モジュール上側の可変厚スペーサ１１の検査流体
供給・排出用流路４４、４５の１箇所から検査流体を流
入し、他方は漏れ止めし、下側の可変厚スペーサ１１の
検査流体供給・排出用流路４６、４７を大気開放する
か、あるいは（ロ）モジュール下側の可変厚スペーサ１１の検査流体
供給・排出用流路４６、４７の１箇所から検査流体を流
入し、他方は漏れ止めし、上側の可変厚スペーサ１１の
検査流体供給・排出用流路４４、４５を大気開放して、
実施することができる。

【００３１】〔構成５〕図１５〜図１７に示すように、
加圧装置４９で荷重プレート５０上面を加圧し、荷重プ
レート５０、バネ５１、天板２７を介してＦＣモジュー
ル１０に所定の荷重を加え、この状態を保持するように
固定側くさび５３と荷重プレート５０間に可動くさび５
２を押し込み、かつ各部が十分な剛性をもつよう構成す
ることにより、加圧装置４９の荷重を除去しても、ＦＣ
モジュール１０に加えた予圧を保持できる。バネ５１を
適切に選ぶことにより、この状態から接着剤を硬化させ
るためにパレットごと炉内で加熱した時のパレットおよ
びワーク各部の材質違いに起因する膨張度合いの違いに
よる予圧抜けまたは過予圧を回避できる。

【００３２】図１８〜図２０に示すように、リークテス
トは常温で実施するため、接着剤加熱硬化後ワークやパ
レットが常温にもどるまで十分に強制冷却または自然冷
却する必要がある。もともと加圧力をパレットで保持す
る必要性は、主に長時間の接着剤硬化時間の間加圧装置
が占領されて生産効率が落ちるのを避けるためであり、
リークテストの所要時間は接着剤加熱硬化および冷却に
くらべてかなり短時間であり、リークテスト中に加圧装
置５４が占領されても特に問題とならないため、実施例
では、リークテスト中のパレット加圧保持機構は特に設
けなかった。しかし、必要があれば加圧保持機構を設け
てもよい。たとえば、各部の剛性が十分なら、固定側く
さび５３（または可動くさび５２）、片側は接着剤硬化
時の寸法に、他方はリークテスト時の寸法に合わせてお
けばよく、別の例としては、固定側くさび５３（または
可動くさび５２）を２段くさびまたは単に斜面の長さの
長いくさびとし、可動くさびのスライドするストローク
で接着剤硬化時の寸法とリークテスト時の寸法の差を吸
収させてもよい。固定においてねじ締結を用いないでく
さびを用いた理由は、特に自動設備の場合、可動時信
頼性が高い、消耗箇所が少ない、設備の構成を単純
化しやすい、等のためである。

【００３３】図２１に示すように、ガイドシャフト３
５、直動軸受３４を設けているため、各可変厚プレート
１１、天板２７、底板２６の間隔が自由に変更可能であ
る。また、可動くさび５２のフリー位置では固定側くさ
び５３が長穴３６に入り込むため、ガイドシャフト３
５、固定側くさび５３等各部の寸法を長めにとればワー
ク脱着時は各可変厚プレート１１、天板２７、荷重プレ
ート５０を持ち上げて脱着作業が可能である。また、固
定側くさび５３が抜け止めになり可変厚プレート１１、
天板２７、荷重プレート５０がガイドシャフト３５から
脱落しないようになっている。各プレートをパレットか
ら取り外すことなく持ち上げてワーク脱着を行う構造の
ため、省スペースであり、また、自動化した場合設備の
信頼性を高くできる。

【００３４】〔作用５〕くさびによるロック機構を採用
したこと、およびバネを併用したことにより、接着剤硬
化時の加圧保持が可能であり、加圧保持状態での加熱に
より各部寸法変化が生じても、予圧変化を低減できる。

【００３５】〔構成６〕図２２に示すように、ストッパ
ープレート操作シャフト１５、ストッパープレート１
３、１３’、面圧付加プレート１２、１２’は導電体
（または表面のみ導電性皮膜を付加しても可）で構成し
てある。短絡チェックに使用するため、プレート１２、
１２’、プレート１３、１３’は特に、低電気抵抗、低
接触抵抗かつそれらの経時変化が少ないこと、さらに硬
度・耐摩耗性が要求される。また、加熱時速やかに昇温
し、リークテスト前には速やかに常温に戻る性質が要求
されており、これらから実施例ではジュラルミンの表面
にニッケルボロンメッキを施したものが採用されてい
る。

【００３６】ガスケット２４はシール性と同時にその両
面間を絶縁する機能をもつ。ガスケット２４は薄い金属
板の両面に絶縁ゴムをコーティングしたものを使用し、
シール性と絶縁性を同時に確保している。ガスケット２
４の構造はこれに限るものではなく、たとえば押さえプ
レート２２、２３に挟持される部分のみ金属板の両面に
絶縁ゴムシートを設けて絶縁性とシール性を確保し、プ
レート１３、１３’と接する面はセラミックコート等で
絶縁性のみ確保するようにしてもよく、あるいは金属板
の全面セラミックコートとし、シール部のみゴムシート
を一緒に挟み込むようにしてもよく、絶縁とシール性が
確保できればよい。

【００３７】図２３に示すように、押さえプレート２２
は支持キャップ２８やプレート１２、プレート１３と接
触し、押さえプレート２３は同様に支持キャップ２８や
プレート１２´、プレート１３´と接触する可能性が高
いので、両者は絶縁が必要である。図示例では、ボルト
３８は金属製でありネジ山を介して押さえプレート２２
と導通している。ボルト３８と、押さえプレート２３の
間の絶縁についてはボルト座面のシールワッシャ３９を
ガスケット２４と同様な構造にしてシール性と絶縁性を
同時確保し、またボルト３８が押さえプレート２５を貫
通する取付け穴はボルトに接触しないよう十分に大きな
穴とした。もちろん、例えばボルト３８をセラミック製
や、高強度樹脂性等絶縁材料にしたり絶縁性コーティン
グをしてもよく、要は押さえプレート２２、２３間の絶
縁が確保できればよい。

【００３８】図２４、２５、２６に示すように、短絡チ
ェック時、ＦＣモジュールに車両搭載状態と同等の面圧
を加えた状態で測定する必要があるが、接着剤硬化時の
加圧保持機構としてバネ５１、可動クサビ５２、固定側
クサビ５３をパレットは既に備えており、接着剤硬化後
の短絡チェックを行う際に再度面圧を加える加圧装置４
９が不要である。なお、図示例では、接着剤加熱硬化→
短絡チェック→リークテストとしたが、短絡チェックと
リークテストは逆でもよい。ただし短絡チェックとリー
クテストのステーションが分かれている場合は加圧装置
が１台余分に必要となる。

【００３９】〔作用６〕前工程の接着剤硬化工程で加え
た面圧を保持した状態で、ＦＣモジュールの上下のスト
ッパープレート１５に、例えば定電流電源及び抵抗計を
接続すれば、セパレータ１、２間の接着剤６及びＭＥＡ
５の短絡有無が確認できる。具体的には、測定装置を接
続直後から抵抗計を監視すれば、通常ＭＥＡはコンデン
サー的挙動を示すので充電されるに従い抵抗値が増加す
るが、短絡ＭＥＡの場合は抵抗値は増加しない。このよ
うにして短絡の有無がチェックできる。また、各ＦＣモ
ジュール間はガスケット２４、シールワッシャ３９で絶
縁されているので、各ＦＣモジュールに個々に測定装置
を接続すれば、多モジュール積層した状態で、個々の短
絡チェックが同時に可能となる。また、図示例では定電
流電源と抵抗計を使用したが、もちろんこれに限定され
るものではなく、例えば定電圧を加え、電流の増加がみ
られればＯＫ、電流値が変化しなければＮＧ等の測りか
たでもよい。

【００４０】

【発明の効果】請求項１のＦＣモジュール量産用パレッ
トによれば、パレットを、ＦＣモジュールの生産工程に
おける少なくとも接着剤硬化工程とリークテスト工程で
共用可能な構造としたので、接着剤硬化されたワークを
パレットから取り外すことなくリークテスト工程で漏洩
試験することができ、多大な労力を要することなく、接
着剤硬化、リークテストを行うことができる。請求項２
のＦＣモジュール量産用パレットによれば、接着剤硬化
工程とリークテスト工程でＦＣモジュール拘束状態を可
変とする手段を有するので、接着剤硬化時はガスケット
を圧縮しないで平行度を出す、またリークテスト時はガ
スケットを圧縮してシール性を出すという相反する課題
を、ワークの脱着を行うことなく、達成できる。請求項
３のＦＣモジュール量産用パレットによれば、スペーサ
は、ＦＣモジュールのガスケットと同等の位置にガスケ
ットを有し、かつ、大の厚さと小の厚さとに可変厚とさ
れており、可変厚の該スペーサは、接着剤硬化工程では
大の厚さとされ、接着剤硬化後のリークテスト工程では
小の厚さとされるので、接着剤硬化時のガスケット圧縮
反力によるセパレータ間の平行度の悪化を防止でき、平
行度が悪化したまま接着剤が硬化した場合にリークテス
トで生じるおそれのある、平行度の乱れによるシール性
の低下を防止できる。これにより、接着剤硬化時はガス
ケットを圧縮しないで平行度を出す、またリークテスト
時はガスケットを圧縮してシール性を出すという相反す
る課題を、ワークの脱着を行うことなく、達成できる。

【００４１】請求項４のＦＣモジュール量産用パレット
によれば、スペーサと天板に直動軸受を設け、底板にガ
イドシャフトが設け、該ガイドシャフトを直動軸受に摺
動可能に挿通したので、各スペーサと天板、底板との平
行を保証でき、全ＦＣモジュール間の平行を保証でき
る。

【００４２】請求項５のＦＣモジュール量産用パレット
によれば、各スペーサに、ＦＣモジュールの燃料ガス流
路、酸化ガス流路、冷媒流路のそれぞれに個別に通じる
検査流体供給・排出流路を設けたので、各ＦＣモジュー
ル毎に、各流路毎に、リークテストを実施でき、容易に
漏洩モジュールを特定できる。請求項６のＦＣモジュー
ル量産用パレットによれば、検査流体供給・排出流路
は、ＦＣモジュールの燃料ガス供給・排出流路、酸化ガ
ス供給・排出流路、冷媒供給・排出流路に、上流側から
通じる流路と、下流側から通じる流路を有しており、上
流側から通じる流路を圧力計に連通し、下流側から通じ
る流路を大気開放としたので、各流路毎の閉塞検査をＦ
Ｃモジュール毎に実施できる。

【００４３】請求項７のＦＣモジュール量産用パレット
によれば、固定側くさびと荷重プレートとの間に可動く
さびを押し込むようにしたので、ＦＣモジュールとスペ
ーサとの積層体にかかる加圧力を保持することができ
る。請求項８のＦＣモジュール量産用パレットによれ
ば、バネを設けたので、固定側くさびと荷重プレートと
の間に可動くさびを押し込んで加圧力を保持した後に、
加熱や接着剤クリープによりＦＣモジュールやパレット
各部の膨張量差が生じた場合でも、予圧抜けや過予圧を
防ぐことができる。請求項９のＦＣモジュール量産用パ
レットによれば、可変圧スペーサに支持キャップを設け
たので、ＦＣモジュール周縁部の平行度を向上させるこ
とができる。

【００４４】請求項１０のＦＣモジュール量産用パレッ
トによれば、ストッパープレート操作シャフトを押さえ
板に通す穴と、検査流体供給・排出流路とを共通の穴に
したので、リークテスト、閉塞検査時のマスキング必要
箇所を減らすことができる。請求項１１のＦＣモジュー
ル量産用パレットによれば、ストッパープレート操作シ
ャフトの先端形状を横荷重がかかりにくい形状としたの
で、１つのパレット中の複数のストッパープレート操作
シャフトを同時に操作することができる。請求項１２の
ＦＣモジュール量産用パレットによれば、パレットから
可変圧スペーサ、天板、荷重プレートを抜き取ることな
く持ち上げてワーク脱着する構造としたので、占有面積
を小さくしかつ自動化時信頼性を高めることができる。
請求項１３のＦＣモジュール量産用パレットによれば、
面圧付加プレートにヒートパイプを仕込んだので、加熱
面均熱化、高速昇降温化をはかることができる。

【００４５】請求項１４のＦＣモジュール量産用パレッ
トによれば、パレットを、接着剤硬化工程とリークテス
ト工程と短絡チェック工程で共用可能な構造としたの
で、各工程間でワークをパレットから取り外すことな
く、したがって多大な労力を要することなく、接着剤硬
化、リークテスト、短絡チェックを行うことができる。
請求項１５のＦＣモジュール量産用パレットによれば、
リークテスト、短絡チェックに必要なシール機能、絶縁
機能を兼用したガスケットとすることで、それぞれの目
的に異なるガスケットを設けた場合に比べて、部品点数
削減、薄肉化が可能となる。請求項１６のＦＣモジュー
ル量産用パレットによれば、可変厚スペーサの操作に必
要なシャフトと、短絡テストに必要な端子を兼用させた
ので、部品点数削減が可能になる。請求項１７のＦＣモ
ジュール量産用パレットによれば、接着剤硬化工程を効
率よく実施するための加圧保持機構を、短絡チェック工
程で必要な面圧保持に兼用したので、短絡チェック工程
における加圧装置を削減できる。請求項１８のＦＣモジ
ュール量産用パレットによれば、面圧付加プレート、ス
トッパープレート、ストッパープレート操作シャフトの
全部または一部の表面処理としてニッケルボロンメッキ
を用いたので、低電気抵抗、低接触抵抗、経時変化省、
硬度・耐摩耗性大の特性を出すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の課題の解決手段を示す、パレットの
接着剤硬化時とリークテスト時における断面図である。

【図２】本発明の課題の解決手段を示す、ガイド機構
をもつパレットの正面図である。

【図３】本発明の課題、の解決手段を示す、ＦＣモ
ジュールを組付けたパレットの平面図である。

【図４】図３のパレットの断面図である。

【図５】本発明の課題の解決手段を示す、ＦＣモジュ
ールを組付けたパレットの側面図である。

【図６】本発明の課題の解決手段を示す、ＦＣモジュ
ールの短絡テストの断面図である。

【図７】ＦＣモジュールの構成および積層状態を示す断
面図である。

【図８】接着剤硬化時とリークテスト時の動作を示すパ
レットの断面図である。

【図９】可変厚スペーサの平面図である。

【図１０】図９の可変厚スペーサの断面図である。

【図１１】可変厚スペーサの断面図である。

【図１２】図１１の可変厚スペーサの底面図である。

【図１３】面圧付加プレートの斜視図である。

【図１４】可変厚スペーサの拡大断面図である。

【図１５】接着剤硬化時のパレットの平面図である。

【図１６】接着剤硬化時のパレットの側面図である。

【図１７】接着剤硬化時のパレットの正面図である。

【図１８】リークテスト時のパレットの平面図である。

【図１９】リークテスト時のパレットの側面図である。

【図２０】リークテスト時のパレットの正面図である。

【図２１】各工程での各部材の位置を比較するために、
接着剤硬化時、リークテスト時、ワーク脱着時のパレッ
トの側面図を並べて示した図である。

【図２２】短絡チェック時のパレットの平面図である。

【図２３】短絡チェック時とリークテスト時のパレット
の断面図である。

【図２４】接着剤硬化・短絡チェック時とリークテスト
時のパレットの平面図である。

【図２５】図２４のパレットの側面図である。

【図２６】図２４のパレットの正面図である。

【符号の説明】

１、２セパレータ３電解質膜４カーボンクロス（拡散層）５ＭＥＡ６接着剤７ガスケット８冷媒流路９ガス流路１０ＦＣモジュール１２、１２’ 面圧付加プレート１３、１３’ ストッパープレート１４、１５ストッパープレート操作シャフト１６、１７斜面１８、１９リブ２０、２１谷２２、２３押さえプレート２４、２５ガスケット２６底板２７天板２８支持キャップ２９バネ３０ワークガイド３１脱落防止爪３２窪み３３ガイド溝３４直動軸受３５ガイドシャフト３６長穴３７ワークガイド逃がし穴３８ボルト３９シールワッシャ４０、４１、４２、４３、４４、４５、４６、４７検
査流体供給・排出流路４８面圧付加プレートと押さえプレートの隙間４９加圧装置５０荷重プレート５１バネ５２可動くさび５３固定側くわび１００燃料ガス供給流路１０１燃料ガス排出流路１０２酸化ガス供給流路１０３酸化ガス排出流路１０４冷媒供給流路１０５冷媒排出流路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガスケット装着するセパレータを有し流
動性のある接着剤を使用したＦＣモジュールの生産工程
で使用されるＦＣモジュール量産用パレットであって、
該パレットを、前記ＦＣモジュールの生産工程における
少なくとも接着剤硬化工程とリークテスト工程で共用可
能な構造としたＦＣモジュール量産用パレット。
【請求項２】接着剤硬化工程とリークテスト工程でＦ
Ｃモジュール拘束状態を可変とする手段を有する請求項
１記載のＦＣモジュール量産用パレット。
【請求項３】前記パレットは１以上のＦＣモジュール
と積層される１以上のスペーサを有しており、前記スペーサは、ＦＣモジュールのガスケットと同等の
位置にガスケットを有し、かつ、大の厚さと小の厚さと
に可変厚とされており、可変厚の該スペーサは、接着剤硬化工程では大の厚さと
され、接着剤硬化後のリークテスト工程では小の厚さと
される、請求項１記載のＦＣモジュール量産用パレッ
ト。
【請求項４】スペーサの上方に天板を有しスペーサの
下方に底板を有し、各スペーサと天板に直動軸受が設け
られており、底板にガイドシャフトが設けられており、
該ガイドシャフトは前記直動軸受に摺動可能に挿通され
ている、請求項３記載のＦＣモジュール量産用パレッ
ト。
【請求項５】各スペーサに、ＦＣモジュールの燃料ガ
ス流路、酸化ガス流路、冷媒流路のそれぞれに個別に通
じる検査流体供給・排出流路が設けられている、請求項
３記載のＦＣモジュール量産用パレット。
【請求項６】前記検査流体供給・排出流路は、ＦＣモ
ジュールの燃料ガス供給・排出流路、酸化ガス供給・排
出流路、冷媒供給・排出流路に、上流側から通じる流路
と、下流側から通じる流路を有しており、上流側から通
じる流路は圧力計に連通されており、下流側から通じる
流路は大気開放とされている、請求項５記載のＦＣモジ
ュール量産用パレット。
【請求項７】天板の上方に配された荷重プレートと、
荷重プレートの上方に配されガイドシャフト上部に固定
された固定側くさび支持プレートから垂下する固定側く
さびと、荷重プレートの上面で水平に可動とされ固定側
くさびと荷重プレートとの間に押し込まれる可動くさび
と、を更に有し、可動くさびを押し込んでＦＣモジュー
ルとスペーサとの積層体にかかる加圧力を保持した、請
求項４記載のＦＣモジュール量産用パレット。
【請求項８】荷重プレートと天板との間にバネが配さ
れている、請求項７記載のＦＣモジュール量産用パレッ
ト。
【請求項９】スペーサに上下方向に可動な、ＦＣモジ
ュールを支持する支持キャップを設けた請求項３記載の
ＦＣモジュール量産用パレット。
【請求項１０】前記スペーサは面圧付加プレートおよ
びストッパープレートを有しており、面圧付加プレート
とストッパープレートは対向面にリブ、谷部を有しリブ
とリブを当接させた時にスペーサは大の厚さとなりリブ
と谷部を当接させた時にスペーサは小の厚さとなり、前
記パレットは更に押さえプレートを備えており、前記面
圧付加プレートは押さえプレートによって上下方向に可
動にガイドされており、前記ストッパープレートは押さ
えプレートによって水平方向に可動にガイドされてお
り、前記ストッパープレートには水平方向に延びるスト
ッパープレート操作シャフトが取付けられており、前記
押さえプレートにはストッパープレート操作シャフトを
通す穴が形成されており、該穴は検査流体供給流路を兼
ねる、請求項３記載のＦＣモジュール量産用パレット。
【請求項１１】前記ストッパープレート操作シャフト
の先端部の端面形状を検査流体供給流路を通過する部分
の断面積より小とし、かつ、前記ストッパープレート操
作シャフトの先端部の断面形状を滑らかな曲面か鈍角な
面取りを有する形状とした請求項１０記載のＦＣモジュ
ール量産用パレット。
【請求項１２】ガイドシャフトの間隔をＦＣモジュー
ルの対向辺間距離より大にして、スペーサ、天板をガイ
ドシャフトから抜き取ることなく持ち上げてＦＣモジュ
ールをパレットに着脱可能とした請求項４記載のＦＣモ
ジュール量産用パレット。
【請求項１３】前記スペーサは面圧付加プレートおよ
びストッパープレートを有しており、面圧付加プレート
にヒートパイプを仕込んだ請求項３記載のＦＣモジュー
ル量産用パレット。
【請求項１４】前記パレットを、前記ＦＣモジュール
の生産工程における少なくとも接着剤硬化工程とリーク
テスト工程と短絡チェック工程で共用可能な構造とした
請求項２記載のＦＣモジュール量産用パレット。
【請求項１５】スペーサ間、スペーサと天板間、スペ
ーサと底板間にガスケットを配し、該ガスケットにシー
ル性と絶縁性を具備させた請求項４記載のＦＣモジュー
ル量産用パレット。
【請求項１６】ストッパープレート操作シャフトに短
絡テストに必要な端子を兼用させた請求項１０記載のＦ
Ｃモジュール量産用パレット。
【請求項１７】固定側くさび、可動くさび、バネを有
する加圧保持機構を、短絡チェック工程で必要な面圧保
持機構に兼用した請求項８記載のＦＣモジュール量産用
パレット。
【請求項１８】面圧付加プレート、ストッパープレー
ト、ストッパープレート操作シャフトの少なくとも１つ
の部材にニッケルボロンメッキの表面処理を施した請求
項１０記載のＦＣモジュール量産用パレット。