JP2003229455A - Electro-optical panel, electro-optical device, electronic apparatus, and method of manufacturing electro-optical panel - Google Patents

Electro-optical panel, electro-optical device, electronic apparatus, and method of manufacturing electro-optical panel

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JP2003229455A
JP2003229455A JP2002026133A JP2002026133A JP2003229455A JP 2003229455 A JP2003229455 A JP 2003229455A JP 2002026133 A JP2002026133 A JP 2002026133A JP 2002026133 A JP2002026133 A JP 2002026133A JP 2003229455 A JP2003229455 A JP 2003229455A
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JP
Japan
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electro
substrate
liquid crystal
alignment mark
crystal display
Prior art date
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JP2002026133A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshiichi Sato
敏一 佐藤
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate a space and a process for special use for forming an alignment mark, to increase the space usage efficiency of an electro-optical panel, and to simplify manufacturing processes of the electro-optical panel. <P>SOLUTION: In the electro-optical panel such as a liquid crystal display panel (1), interconnections (12) for establishing the continuity with an object to be mounted such as an IC for driving (10) are formed. For alignment when mounting the IC for driving on the electro-optical panel, an alignment mark (27) on the IC side which is formed in the IC for driving and alignment marks (17 and 24) on the substrate side which are formed in the electro-optical panel are used. The alignment marks on the substrate side are formed inside the interconnections formed in the electro-optical panel at the same time with the interconnections. Consequently, there is no necessity of a space for special use for the alignment marks on the electro-optical panel side, and a process for forming only the alignment marks is not necessary, either. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置など
の電気光学装置において、パネルにICを実装する際の
位置決め方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a positioning method for mounting an IC on a panel in an electro-optical device such as a liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【背景技術】液晶表示装置においては、相互に対向する
2枚の透明基板間に液晶を封入してなる液晶表示パネル
に対して、液晶の駆動用ICを実装することが行われ
る。駆動用ICの実装は、例えばCOG(Chip On Glas
s)方式では、2枚の透明基板のうち、一方の透明基板
上にACF(Anisotropic Conductive Film)などを介
して駆動用ICを直接貼りつける。また、FPC(Flex
ible Printed Circuit)基板を利用する場合には、駆動
用ICをFPC基板に取り付けた上で、そのFPC基板
を液晶表示パネルに取り付ける。
2. Description of the Related Art In a liquid crystal display device, a liquid crystal driving IC is mounted on a liquid crystal display panel in which liquid crystal is sealed between two transparent substrates facing each other. For example, COG (Chip On Glas
In the s) method, the driving IC is directly attached to one of the two transparent substrates via an ACF (Anisotropic Conductive Film) or the like. In addition, FPC (Flex
When a flexible printed circuit board is used, the driving IC is attached to the FPC board and then the FPC board is attached to the liquid crystal display panel.

【0003】このように、駆動用ICを液晶表示パネル
基板又はFPC基板に対して取り付ける場合には、両者
を相対的に位置合わせする必要がある。この位置合わせ
は、一般的にアライメントマークと呼ばれるマークを駆
動用ICと液晶表示パネル基板の双方に形成し、対応す
るアライメントマークが重なり合うように、又は、対応
するアライメントマークが予め決められた所定の相対位
置にくるように駆動用ICと液晶表示パネル基板とを配
置することにより行われている。
As described above, when the driving IC is attached to the liquid crystal display panel substrate or the FPC substrate, it is necessary to relatively align the both. This alignment is performed by forming marks, which are generally called alignment marks, on both the driving IC and the liquid crystal display panel substrate so that the corresponding alignment marks may overlap, or the corresponding alignment marks may be predetermined. This is done by arranging the driving IC and the liquid crystal display panel substrate so as to come to the relative position.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の方法で
は、液晶表示装置の製造工程中において、液晶表示パネ
ル基板側にアライメントマークを形成するための工程が
必要となり、工程数が増加するという問題がある。
However, the above method requires a step for forming an alignment mark on the liquid crystal display panel substrate side during the manufacturing process of the liquid crystal display device, which increases the number of steps. There is.

【0005】また、アライメントマークを形成するため
の専用スペースが液晶表示パネル上に必要となり、スペ
ースの利用効率が低下するという問題もある。
There is also a problem that a dedicated space for forming the alignment mark is required on the liquid crystal display panel and the utilization efficiency of the space is lowered.

【0006】本発明は、以上の点に鑑みてなされたもの
であり、アライメントマークを形成する専用のスペース
及び工程の必要性を無くし、電気光学パネルのスペース
利用効率を上げるとともに製造工程を単純化することを
課題とする。
The present invention has been made in view of the above points, eliminates the need for a dedicated space and process for forming alignment marks, improves space utilization efficiency of the electro-optical panel, and simplifies the manufacturing process. The task is to do.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の1つの観点で
は、電気光学パネルにおいて、実装対象物との電気的導
通のための配線と、前記配線内に設けられたアライメン
トマークと、を備える。
According to one aspect of the present invention, an electro-optical panel is provided with a wiring for electrical connection with an object to be mounted and an alignment mark provided in the wiring.

【0008】例えば液晶表示パネルなどの電気光学パネ
ルには、例えば駆動用ICなどの実装対象物との導通の
ために配線が形成される。駆動用ICを電気光学パネル
に実装する際の位置合わせには、駆動用ICに形成され
たIC側アライメントマークと、電気光学パネルに形成
された基板側アライメントマークとが利用される。ここ
で、基板側アライメントマークは、電気光学パネルに形
成される配線内部に形成される。よって、基板側にアラ
イメントマーク専用のスペースが不要となる。
Wirings are formed on an electro-optical panel such as a liquid crystal display panel for electrical connection with an object to be mounted such as a driving IC. The IC-side alignment mark formed on the driving IC and the substrate-side alignment mark formed on the electro-optical panel are used for alignment when mounting the driving IC on the electro-optical panel. Here, the substrate-side alignment mark is formed inside the wiring formed on the electro-optical panel. Therefore, a space dedicated to the alignment mark on the substrate side becomes unnecessary.

【0009】上記の電気光学パネルの一態様では、前記
アライメントマークは、前記配線を構成する金属材料に
より形成することができる。また、その金属材料は反射
膜として使用されるAPCとすることができ、その場
合、前記配線はAPCと、APC上に形成されたITO
とを含むことができる。
In one aspect of the electro-optical panel described above, the alignment mark can be formed of a metal material forming the wiring. Further, the metal material may be APC used as a reflective film, in which case the wiring is APC and ITO formed on the APC.
Can be included.

【0010】また、上記の電気光学パネルの一態様で
は、前記アライメントマークは、前記金属材料の層が形
成されない透明部分を含むことができる。その場合、透
明部分内にIC側アライメントマークが位置するように
駆動用ICと電気光学パネルとを配置することとすれ
ば、CCDカメラなどにより容易に位置合わせを行うこ
とができる。さらに、位置合わせ後においても、透明部
分内にIC側アライメントマークが存在することを目視
又は画像制御により確認することにより、位置合わせが
正しく行われているかの確認を容易に行うことができ
る。
In one aspect of the electro-optical panel described above, the alignment mark may include a transparent portion in which the layer of the metal material is not formed. In that case, if the driving IC and the electro-optical panel are arranged such that the IC-side alignment mark is located in the transparent portion, the alignment can be easily performed by a CCD camera or the like. Further, even after the alignment, it is possible to easily confirm whether the alignment is correctly performed by visually or visually confirming that the IC side alignment mark exists in the transparent portion.

【0011】上記の電気光学パネルを利用して電気光学
装置を構成し、さらにその電気光学装置を表示部として
有する電子機器を構成することができる。
An electro-optical device can be constructed by using the electro-optical panel described above, and an electronic device having the electro-optical device as a display section can be constructed.

【0012】本発明の他の観点では、電気光学パネルの
製造方法において、実装対象物との電気的導通のための
配線及びアライメントマークを、基板上に同時に形成す
る工程を有する。
According to another aspect of the present invention, a method of manufacturing an electro-optical panel has a step of simultaneously forming a wiring and an alignment mark for electrical connection with a mounting object on a substrate.

【0013】例えば液晶表示パネルなどの電気光学パネ
ルには、例えば駆動用ICなどの実装対象物との導通の
ために配線が形成される。駆動用ICを電気光学パネル
に実装する際の位置合わせには、駆動用ICに形成され
たIC側アライメントマークと、電気光学パネルに形成
された基板側アライメントマークとが利用される。上記
の方法によれば、配線の形成と同時にアライメントマー
クを電気光学パネル上に形成するので、アライメントマ
ークを形成する専用工程が省略でき、電気光学パネルの
製造工程を簡素化することができる。
Wirings are formed on an electro-optical panel such as a liquid crystal display panel for conduction with a mounting object such as a driving IC. The IC-side alignment mark formed on the driving IC and the substrate-side alignment mark formed on the electro-optical panel are used for alignment when mounting the driving IC on the electro-optical panel. According to the above method, since the alignment mark is formed on the electro-optical panel at the same time as the wiring is formed, the dedicated step of forming the alignment mark can be omitted and the manufacturing process of the electro-optical panel can be simplified.

【0014】上記の製造方法の一態様では、前記配線及
び前記アライメントマークは、同一の金属材料の膜とし
て前記基板上に形成することができる。これにより、配
線とアライメントマークの形成を効率的に行うことがで
きる。
In one aspect of the above manufacturing method, the wiring and the alignment mark can be formed on the substrate as a film of the same metal material. Thereby, the wiring and the alignment mark can be efficiently formed.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
適な実施の形態について説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0016】[第1実施形態]図1に、本発明の第1実
施形態にかかる液晶表示パネルを示す。図1(a)は液
晶表示パネル1の平面図であり、図1(b)は図1
(a)に示す液晶表示パネル1のA−A’における断面
図である。図示のように、液晶表示パネル1は、シール
材5を介して2枚の透明基板2及び3を対向配置し(以
下、それぞれを「下側基板2」、「上側基板3」とも呼
ぶ)、それらによって形成されるセルギャップ内に液晶
7を封入してなる。
[First Embodiment] FIG. 1 shows a liquid crystal display panel according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a plan view of the liquid crystal display panel 1, and FIG.
It is sectional drawing in AA 'of the liquid crystal display panel 1 shown to (a). As shown in the figure, in the liquid crystal display panel 1, two transparent substrates 2 and 3 are arranged to face each other with a sealing material 5 interposed therebetween (hereinafter, also referred to as “lower substrate 2” and “upper substrate 3”), The liquid crystal 7 is enclosed in the cell gap formed by them.

【0017】なお、透明基板2及び3上には、液晶表示
パネルの画素を駆動するための駆動電極、配向膜、カラ
ーフィルタなどが必要に応じて形成されているが、図1
においては便宜上図示を省略する。
Incidentally, drive electrodes for driving the pixels of the liquid crystal display panel, an alignment film, a color filter and the like are formed on the transparent substrates 2 and 3 as required.
In the figure, the illustration is omitted for convenience.

【0018】図1(a)に示すように、下側基板2は上
側基板3よりも広い領域4(以下、「張り出し領域」と
呼ぶ)を有する。張り出し領域4上には、駆動用IC1
0が例えばACFを利用して貼着される。また、下側基
板2には、張り出し領域4内において複数の配線12が
形成されるとともに、張り出し領域4の端部には外部か
らの制御信号を入力するための端子11が形成される。
配線12は、端子11を通じて外部から供給される制御
信号を駆動用IC10に供給する複数の入力側配線12
aと、駆動用IC10からの駆動信号を液晶表示パネル
1の表示領域6内の図示しない駆動電極に供給するため
の出力側配線12bとを含む。
As shown in FIG. 1A, the lower substrate 2 has a region 4 wider than the upper substrate 3 (hereinafter referred to as "overhang region"). On the overhang area 4, the driving IC 1
0 is attached using ACF, for example. Further, on the lower substrate 2, a plurality of wirings 12 are formed in the projecting region 4, and terminals 11 for inputting a control signal from the outside are formed at the end of the projecting region 4.
The wiring 12 is a plurality of input-side wirings 12 for supplying a control signal supplied from the outside through the terminal 11 to the driving IC 10.
a and an output side wiring 12b for supplying a drive signal from the drive IC 10 to a drive electrode (not shown) in the display area 6 of the liquid crystal display panel 1.

【0019】本発明の1つの実施形態は、図1(a)に
示す駆動用IC10を液晶表示パネルの張り出し領域4
上に位置決めする方法に関する。図2(a)は、液晶表
示パネル1の、図1(a)における楕円20の部分を図
1の右側から見た拡大図であり、説明の便宜上、その上
に配置される駆動用IC10の位置を同時に示してい
る。駆動用IC10は、図1(a)において楕円20内
に含まれる1つのコーナーが示されており、その下側、
即ち対応する位置の張り出し領域4上には、複数の配線
12aが形成されている。配線12aは、その先端部に
面積の広い先端部16を有しており、この先端部16が
駆動用IC10の下側面に形成されたバンプと接触する
ように駆動用IC10が張り出し領域4に貼着される。
In one embodiment of the present invention, the driving IC 10 shown in FIG.
On the method of positioning on. 2A is an enlarged view of the ellipse 20 in FIG. 1A of the liquid crystal display panel 1 as viewed from the right side of FIG. 1, and for convenience of description, the driving IC 10 arranged thereon is shown. The position is shown at the same time. In the driving IC 10, one corner included in the ellipse 20 is shown in FIG.
That is, a plurality of wirings 12a are formed on the projecting region 4 at the corresponding positions. The wiring 12a has a tip portion 16 having a large area at its tip portion, and the driving IC 10 is attached to the overhang area 4 so that the tip portion 16 comes into contact with a bump formed on the lower surface of the driving IC 10. Be worn.

【0020】配線12aは、その内部にAPC(銀・パ
ラジウム・銅合金:Ag−Pd−Cu)が形成されてい
る。APCは、アルミニウムより反射率が高いため、半
透過反射型液晶装置の反射膜として従来のアルミニウム
に代わるものとして使用される。なお、APCは製造プ
ロセス中において耐水性が弱く、エレクトロマイグレー
ションやそれによる電食の原因となりうるため、APC
の上層にITOを積層して使用している。
APC (silver-palladium-copper alloy: Ag-Pd-Cu) is formed inside the wiring 12a. Since APC has a higher reflectance than aluminum, it is used as a reflective film of a transflective liquid crystal device as an alternative to conventional aluminum. APC has a weak water resistance during the manufacturing process, which may cause electromigration and electrolytic corrosion.
ITO is laminated on the upper layer and used.

【0021】ここで、第1実施形態においては、配線1
2aの先端部16内にAPCによりアライメントマーク
17(以下、「基板側アライメントマーク」とも呼
ぶ。)を形成していることに特徴を有する。なお、図2
(a)の例では、1つの先端部16内に2つのアライメ
ントマーク17が形成された例を示しているが、1つの
先端部16内に1つのみのアライメントマーク17を形
成してもよい。
Here, in the first embodiment, the wiring 1
The feature is that an alignment mark 17 (hereinafter, also referred to as “substrate-side alignment mark”) is formed by APC in the tip portion 16 of 2a. Note that FIG.
Although the example of (a) shows an example in which two alignment marks 17 are formed in one tip portion 16, only one alignment mark 17 may be formed in one tip portion 16. .

【0022】また、本例では、図2(a)における最も
左側の配線12aにのみアライメントマーク17が形成
されている。1つの一般的な方法では、駆動用IC10
の長さ方向における両端近傍に一組のIC側アライメン
トマークが形成されるとともに、液晶表示パネルの張り
出し領域の長さ方向に離隔した位置において、対応する
1組の基板側アライメントマークが形成され、対応する
1組のIC側アライメントマークと基板側アライメント
マークとが所定の相対位置関係となるように駆動用IC
の位置決めがなされる。よって、本例では、駆動用IC
の長さ方向における最も外側の配線12aに基板側アラ
イメントマーク17を形成している。但し、基板側アラ
イメントマーク17は、これに限らず、駆動用IC10
に接続されるべき複数の配線12のうち、どの位置の配
線12に形成することも可能である。
Further, in this example, the alignment mark 17 is formed only on the leftmost wiring 12a in FIG. 2 (a). In one common method, the driving IC 10
A pair of IC-side alignment marks are formed in the vicinity of both ends in the length direction, and a corresponding pair of substrate-side alignment marks are formed at positions separated in the length direction of the overhang region of the liquid crystal display panel. A driving IC so that a corresponding set of IC-side alignment marks and substrate-side alignment marks have a predetermined relative positional relationship.
Is positioned. Therefore, in this example, the driving IC
The substrate-side alignment mark 17 is formed on the outermost wiring 12a in the length direction. However, the substrate-side alignment mark 17 is not limited to this, and the driving IC 10
It is possible to form the wiring 12 at any position among the plurality of wirings 12 to be connected to.

【0023】図2(b)は、図2(a)におけるB−
B’に沿った断面図である。基板側アライメントマーク
17が形成される配線12a(図2(a)の最も左の配
線)については、図示のように液晶表示パネル1の下側
基板2上には、まずITO、SiO、Cr又はTaな
どの導電膜18が形成され、その上にAPC15が形成
され、さらにその上にITOの導電膜19が形成され
る。一方、基板側アライメントマークが形成されない配
線12a(図2(a)の右側2つ配線)については、下
側基板2上にITO、SiO、Cr又はTaなどの導
電膜18が形成され、その上にITOの導電膜19が形
成される。なお、導電膜18及び19は導電性を有する
とともに、APCの保護膜としての機能も有する。
FIG. 2B shows B- in FIG. 2A.
It is sectional drawing along B '. Regarding the wiring 12a (the leftmost wiring in FIG. 2A) on which the substrate-side alignment mark 17 is formed, firstly ITO, SiO 2 , Cr is formed on the lower substrate 2 of the liquid crystal display panel 1 as shown in the figure. Alternatively, the conductive film 18 of Ta or the like is formed, the APC 15 is formed thereon, and the ITO conductive film 19 is further formed thereon. On the other hand, for the wiring 12a (two wirings on the right side of FIG. 2A) in which the substrate-side alignment mark is not formed, the conductive film 18 of ITO, SiO 2 , Cr, or Ta is formed on the lower substrate 2, and A conductive film 19 of ITO is formed on the top. The conductive films 18 and 19 have conductivity and also have a function as a protective film for APC.

【0024】図2(c)は、図2(a)におけるC−
C’に沿った断面図である。C−C’の位置において
は、全ての配線12aは、同一の構成を有している。即
ち、下側基板2上にまずITO、SiO、Cr又はT
aなどの導電膜18が形成され、その上にAPC15が
形成され、さらにその上にITOの導電膜19が形成さ
れる。
FIG. 2C shows C- in FIG. 2A.
It is sectional drawing along C '. At the position C-C ', all the wirings 12a have the same configuration. That is, first, ITO, SiO 2 , Cr or T is formed on the lower substrate 2.
A conductive film 18 such as a is formed, an APC 15 is formed thereon, and an ITO conductive film 19 is further formed thereon.

【0025】図2(a)〜(c)に示す構成において、
下側基板2はガラスやプラスチックなどの透明基板であ
り、ITOなどの導電膜も透明であるので、下側基板の
下方からCCDカメラなどにより撮影すれば、APC1
5の部分は不透明であるため、その形状を検出すること
ができる。よって、基板側アライメントマーク17を検
出し、IC側アライメントマークとの位置決めを行うこ
とができる。
In the structure shown in FIGS. 2 (a) to 2 (c),
The lower substrate 2 is a transparent substrate such as glass or plastic, and the conductive film such as ITO is also transparent. Therefore, if an image is taken from below the lower substrate with a CCD camera or the like, the APC 1
Since the portion 5 is opaque, its shape can be detected. Therefore, it is possible to detect the substrate side alignment mark 17 and perform positioning with the IC side alignment mark.

【0026】位置決め方法としては、具体的には、まず
同一の座標系上に液晶表示パネル1と駆動用IC10と
を置き、CCDカメラなどによる画像撮影によりIC側
アライメントマークの座標と基板側アライメントマーク
の座標とを検出する。そして、検出された座標に基づ
き、IC側アライメントマークと基板側アライメントマ
ークとが所定の位置関係となるように、搬送ロボットな
どにより駆動用ICを移動し、液晶表示パネルの張り出
し領域上の適切な位置に配置する。液晶表示パネルの張
り出し領域には予めACFなどが貼付されており、熱圧
着により駆動用ICを液晶表示パネルに貼付して実装作
業を終了する。
As a positioning method, specifically, first, the liquid crystal display panel 1 and the driving IC 10 are placed on the same coordinate system, and the coordinates of the IC side alignment mark and the substrate side alignment mark are picked up by a CCD camera or the like. And the coordinates of. Then, based on the detected coordinates, the driving IC is moved by a transfer robot or the like so that the IC-side alignment mark and the substrate-side alignment mark have a predetermined positional relationship, and an appropriate position on the overhang area of the liquid crystal display panel. Place in position. ACF or the like is attached in advance to the projecting area of the liquid crystal display panel, and the driving IC is attached to the liquid crystal display panel by thermocompression bonding, and the mounting work is completed.

【0027】このように、本発明では、下側基板2上に
配線12を形成する際に、同時にAPCにより基板側ア
ライメントマーク17を形成することができる。よっ
て、液晶表示パネルの基板上にアライメントマークのみ
を形成する専用の工程が不要となり、液晶表示パネル基
板の製造工程を簡略化することができる。
As described above, according to the present invention, when the wiring 12 is formed on the lower substrate 2, the substrate side alignment mark 17 can be simultaneously formed by APC. Therefore, a dedicated process for forming only the alignment mark on the substrate of the liquid crystal display panel is unnecessary, and the manufacturing process of the liquid crystal display panel substrate can be simplified.

【0028】また、液晶表示パネルの基板側アライメン
トマークを配線内に形成することができるので、液晶表
示パネルの張り出し領域内に、アライメントマークを形
成するための専用のスペースを確保する必要がなくな
る。よって、張り出し領域における配線の引き廻しに使
用できるスペースを大きくし、又は、張り出し領域のス
ペースを効率的に利用することにより表示領域を拡大す
る(広額縁化)ことができる。
Further, since the substrate side alignment mark of the liquid crystal display panel can be formed in the wiring, it is not necessary to secure a dedicated space for forming the alignment mark in the projecting region of the liquid crystal display panel. Therefore, it is possible to enlarge the display area (widen the frame) by increasing the space that can be used for routing the wiring in the overhang area or by efficiently utilizing the space in the overhang area.

【0029】[第2実施形態]次に、本発明の第2実施
形態について図3を参照して説明する。第2実施形態
は、液晶表示パネルの下側基板2上の配線内に基板側ア
ライメントマークを形成するという点では第1実施形態
と同様であるが、基板側アライメントマークの形状が異
なる。図3(a)に、本実施形態の基板側アライメント
マーク24が形成された液晶表示パネル2の下側基板2
の配線部分を示す。なお、図3(a)は、第1実施形態
の場合と同様に、図1(a)に示す楕円20の部分の拡
大図であり、説明の便宜上、駆動用IC10の一部をと
もに示している。
[Second Embodiment] Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The second embodiment is similar to the first embodiment in that the substrate side alignment mark is formed in the wiring on the lower substrate 2 of the liquid crystal display panel, but the shape of the substrate side alignment mark is different. In FIG. 3A, the lower substrate 2 of the liquid crystal display panel 2 on which the substrate-side alignment marks 24 of this embodiment are formed.
The wiring part of is shown. Note that FIG. 3A is an enlarged view of a portion of the ellipse 20 shown in FIG. 1A, as in the case of the first embodiment, and shows a part of the driving IC 10 together for convenience of description. There is.

【0030】図3(a)に示すように、本実施形態で
は、基板側アライメントマーク24は、2つの円形の透
明部分25を有している。基板側アライメントマーク2
4は第1実施形態と同様にAPCにより形成される。一
方、駆動用IC10には、基板側アライメントマーク2
4の透明部分25に対応する位置にIC側アライメント
マーク27が形成される。
As shown in FIG. 3A, in this embodiment, the substrate side alignment mark 24 has two circular transparent portions 25. Substrate side alignment mark 2
4 is formed by APC as in the first embodiment. On the other hand, the driving IC 10 has a substrate-side alignment mark 2
An IC side alignment mark 27 is formed at a position corresponding to the transparent portion 25 of No. 4.

【0031】第1実施形態では、基板側アライメントマ
ーク17と、図示しないIC側アライメントマークとが
所定の位置関係となるように駆動用IC10と下側基板
2とが位置決めされた。これに対し、本実施形態では、
基板側アライメントマーク24とIC側アライメントマ
ーク27を利用して位置決めがなされる。即ち、駆動用
IC10と液晶表示パネル1の下側基板2とは、基板側
アライメントマーク24内の透明部分25内に、駆動用
IC10のIC側アライメントマーク27が位置するよ
うに相対的な位置決めがなされる。
In the first embodiment, the driving IC 10 and the lower substrate 2 are positioned so that the substrate-side alignment mark 17 and the IC-side alignment mark (not shown) have a predetermined positional relationship. On the other hand, in the present embodiment,
Positioning is performed using the substrate side alignment mark 24 and the IC side alignment mark 27. That is, the driving IC 10 and the lower substrate 2 of the liquid crystal display panel 1 are relatively positioned so that the IC side alignment mark 27 of the driving IC 10 is located inside the transparent portion 25 of the substrate side alignment mark 24. Done.

【0032】図3(b)は、図3(a)のD−D’にお
ける断面図である。図示のように、基板側アライメント
マーク24が形成される配線12a(図3(a)におけ
る最も左の配線)は、下側基板2上にまずITO、Si
2、Cr又はTaなどの導電膜18が形成され、その
上にAPC15が形成され、さらにその上にITOの導
電膜19が形成される。基板側アライメントマーク24
の透明部分25はITOにより形成される。一方、基板
側アライメントマークが形成されない配線12a(図3
(a)の右側2つ配線)については、下側基板2上にI
TO、SiO2、Cr又はTaなどの導電層18が形成
され、その上にAPC15が形成され、さらにその上に
ITOの導電層19が形成される。
FIG. 3 (b) is a sectional view taken along the line DD 'in FIG. 3 (a). As shown in the figure, the wiring 12a (the leftmost wiring in FIG. 3A) on which the substrate-side alignment mark 24 is formed is first formed on the lower substrate 2 with ITO or Si.
A conductive film 18 of O 2 , Cr, Ta or the like is formed, an APC 15 is formed thereon, and an ITO conductive film 19 is further formed thereon. Substrate side alignment mark 24
The transparent portion 25 of is formed of ITO. On the other hand, the wiring 12a in which the substrate side alignment mark is not formed (see FIG.
Regarding (2 wirings on the right side of (a)), I on the lower substrate 2
A conductive layer 18 made of TO, SiO2, Cr, or Ta is formed, an APC 15 is formed thereon, and an ITO conductive layer 19 is further formed thereon.

【0033】なお、基板側アライメントマーク24が形
成されない配線については、図3(a)〜(c)の右側
2つの配線の構成の代わりに、図2(a)〜(c)の右
側2つの配線の構成とすることもできる。
Regarding the wirings on which the substrate-side alignment marks 24 are not formed, instead of the two wirings on the right side of FIGS. 3A to 3C, the two wirings on the right side of FIGS. 2A to 2C are used. Wiring may be used.

【0034】[変形例]なお、上記の例では、複数の配
線12aのうち最も外側の配線内に基板側アライメント
マークを形成しているが、この配線12aはいわゆるダ
ミー配線であっても構わない。ダミー配線とは、駆動用
ICを液晶表示パネル基板に安定的に取り付けるために
形成され、実際には信号の入出力を行わない配線であ
る。一般的には、そのようなダミー配線は駆動用ICの
長さ方向の両端部付近に形成されることが多く、そのよ
うなダミー配線内に上述の基板側アライメントマークを
形成しても構わない。
[Modification] In the above example, the substrate side alignment mark is formed in the outermost wiring of the plurality of wirings 12a, but this wiring 12a may be a so-called dummy wiring. . The dummy wiring is a wiring that is formed to stably attach the driving IC to the liquid crystal display panel substrate and does not actually input / output a signal. Generally, such dummy wirings are often formed near both ends in the length direction of the driving IC, and the above-mentioned substrate-side alignment mark may be formed in such dummy wirings. .

【0035】また、1組の基板側アライメントマーク
は、矩形の駆動用ICの一辺における両端近傍に対応す
る位置に形成する他、矩形の駆動用ICの対角線上にお
ける角部付近にそれぞれ形成することもできる。これに
より、駆動用ICの長さ方向の辺と液晶表示パネル基板
の対応する辺とのずれ角を小さくし、駆動用ICの長さ
方向を液晶表示パネル基板の縁とできる限り平行となる
ように配置することが容易となる。
The pair of substrate-side alignment marks are formed at positions corresponding to the vicinity of both ends of one side of the rectangular drive IC, and are also formed near corners on the diagonal of the rectangular drive IC. You can also As a result, the shift angle between the side in the length direction of the driving IC and the corresponding side of the liquid crystal display panel substrate is reduced, and the length direction of the driving IC is made as parallel as possible to the edge of the liquid crystal display panel substrate. It is easy to place it in.

【0036】本発明の基板側アライメントマークは、基
本的に入力側配線12aと出力側配線12bのいずれに
形成しても構わない。但し、液晶表示パネルによって
は、出力側配線12bに比べて入力側配線12aの方が
面積が大きく形成される場合がある。そのような場合は
面積の大きい入力側配線内に基板側アライメントマーク
を形成した方が、アライメントマーク自体を大きく形成
することができ、CCDカメラによる位置検出などの精
度を上げることが可能となる。
The substrate side alignment mark of the present invention may be basically formed on either the input side wiring 12a or the output side wiring 12b. However, depending on the liquid crystal display panel, the input side wiring 12a may have a larger area than the output side wiring 12b. In such a case, it is possible to form the alignment mark itself larger by forming the substrate side alignment mark in the input side wiring having a large area, and it is possible to improve the accuracy of position detection by the CCD camera.

【0037】また、上記の例では、配線内にAPCを使
用した場合を示しているが、APC以外の他の金属材料
を反射膜などとして使用することができる。また、配線
内に形成する基板側アライメントマークは上記の例では
円形であるが、例えば正方形、三角形、十字形、Y字形
など、他の各種の形状とすることも可能である。
Further, although the above example shows the case where the APC is used in the wiring, a metal material other than the APC can be used as the reflection film or the like. Although the substrate-side alignment mark formed in the wiring is circular in the above example, it can be formed in various other shapes such as square, triangle, cross, and Y-shape.

【0038】[液晶表示装置の製造方法] 液晶表示装置の製造方法]次に、本発明を適用した1つ
の具体例による液晶表示装置の製造方法について、図4
に示す工程図を参照して説明する。
[Manufacturing Method of Liquid Crystal Display Device] Manufacturing Method of Liquid Crystal Display Device] Next, a manufacturing method of a liquid crystal display device according to one specific example to which the present invention is applied will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to the process chart shown in FIG.

【0039】まず、図1の下側基板2の複数個分の大き
さを有する大判の基板素材をガラス、プラスチックなど
によって形成し、工程A1において、その大判基板素材
に対して電極及び配線を形成する。具体的には、ITO
を材料として周知のパターン形成法、例えばフォトリソ
グラフィー法によって、大判基板素材の面に所定パター
ンの電極(図示せず)、配線12及び端子11を形成す
る。この際、配線12の形成と同時に、上述の第1実施
形態又は第2実施形態による基板側アライメントマーク
が基板上に形成される(工程A1)。
First, a large-sized substrate material having a plurality of sizes of the lower substrate 2 shown in FIG. 1 is formed of glass, plastic, or the like, and in step A1, electrodes and wirings are formed on the large-sized substrate material. To do. Specifically, ITO
By using a well-known pattern forming method using, for example, a photolithography method, electrodes (not shown), wirings 12 and terminals 11 having a predetermined pattern are formed on the surface of the large-sized substrate material. At this time, simultaneously with the formation of the wiring 12, the substrate-side alignment mark according to the first embodiment or the second embodiment described above is formed on the substrate (step A1).

【0040】次に、絶縁層を大判基板素材の表面に、例
えば酸化珪素、酸化チタンを材料として例えばオフセッ
ト印刷によって形成する(工程A2)。そしてその上
に、例えばポリイミド系樹脂を材料として例えばオフセ
ット印刷によって配向膜を形成し(工程A3)、その配
向膜に配向性を持たせるためにラビング処理を行う(工
程A4)。さらにその上に、例えばエポキシ樹脂を材料
として例えばスクリーン印刷によってシール材5を枠形
状に形成し(工程A5)、さらにスペーサを分散する
(工程A6)。
Next, an insulating layer is formed on the surface of the large-sized substrate material by offset printing, for example, using silicon oxide or titanium oxide as a material (step A2). Then, an alignment film is formed thereon by, for example, offset printing using a polyimide resin as a material (step A3), and a rubbing treatment is performed to impart orientation to the alignment film (step A4). Further, the sealing material 5 is formed in a frame shape by screen printing using epoxy resin as a material (step A5), and spacers are further dispersed (step A6).

【0041】他方、図1の上側基板3の複数個分の大き
さを有する大判の基板素材をガラス、プラスチックなど
によって形成し、工程B1において、その大判基板素材
に対して電極を形成する。具体的には、ITOを材料と
して周知のパターン形成法、例えばフォトリソグラフィ
ー法によって大判基板素材の表面に所定パターンの電極
を形成する。
On the other hand, a large-sized substrate material having a plurality of sizes of the upper substrate 3 shown in FIG. 1 is formed of glass, plastic, or the like, and in step B1, electrodes are formed on the large-sized substrate material. Specifically, an electrode having a predetermined pattern is formed on the surface of a large-sized substrate material by a well-known pattern forming method using ITO as a material, for example, a photolithography method.

【0042】次に、絶縁層を大判基板素材の表面に、例
えば酸化珪素、酸化チタンを材料としてオフセット印刷
によって形成する(工程B2)。そして、その上に例え
ばポリイミド系樹脂を材料としてオフセット印刷によっ
て配向膜9bを形成し(工程B3)、その配向膜に配向
性を持たせるためにラビング処理を行う(工程B3)。
Next, an insulating layer is formed on the surface of the large-sized substrate material by offset printing using, for example, silicon oxide or titanium oxide as a material (step B2). Then, an alignment film 9b is formed thereon by offset printing using a polyimide resin as a material (step B3), and a rubbing process is performed to impart orientation to the alignment film (step B3).

【0043】以上により、図1に示す液晶表示パネルの
複数個分に相当する2枚の大判基板が製作された後、工
程C1において、それらの大判基板をシール材5を挟ん
で互いに重ね合わせ、さらに圧着すること、すなわち加
熱下で加圧することにより、両基板を互いに貼り合わせ
る。この貼り合わせにより、図1の液晶表示パネル構造
を複数個含む大きさの貼り合わせ基板が形成される。
As described above, after two large-sized substrates corresponding to a plurality of liquid crystal display panels shown in FIG. 1 are manufactured, these large-sized substrates are superposed on each other with the sealing material 5 sandwiched therebetween in step C1. Both substrates are attached to each other by further pressure bonding, that is, by applying pressure under heating. By this bonding, a bonded substrate having a size including a plurality of liquid crystal display panel structures shown in FIG. 1 is formed.

【0044】以上のようにして、貼り合わせ基板が製作
された後、第1分断工程を実施する(工程C2)。具体
的には、貼り合わせ基板を所定の切断線に沿って切断す
る。これにより、液晶注入口が外部へ露出した状態の図
1に示す液晶表示パネル1が複数個含まれる中判のパネ
ル構造、いわゆる短冊状のパネル構造が複数個切り出さ
れる。そしてその後、各液晶注入口を通して各液晶表示
パネル部分の内部に液晶を注入し、注入完了後にその液
晶注入口を紫外線硬化性樹脂によって封止する(工程C
3)。
After the bonded substrate stack is manufactured as described above, the first cutting step is performed (step C2). Specifically, the bonded substrate stack is cut along a predetermined cutting line. As a result, a plurality of medium-sized panel structures including a plurality of liquid crystal display panels 1 shown in FIG. 1 in which the liquid crystal inlet is exposed to the outside, so-called strip-shaped panel structures, are cut out. Then, after that, liquid crystal is injected into each liquid crystal display panel portion through each liquid crystal injection port, and after the injection is completed, the liquid crystal injection port is sealed with an ultraviolet curable resin (step C
3).

【0045】その後、工程C4において短冊状パネル構
造を所定の切断線に沿って切断し、これにより、図1に
示す液晶表示パネル1であって駆動用IC10、位相差
板及び偏光板が付設されていないものが1つずつ分断さ
れる。なお、本発明では、位相差フィルムを装着せず偏
光板のみとすることもできるし、半透過反射型又は透過
型の場合には下偏光板を設けることもあり、位相差フィ
ルムと偏光板を設けることもあり、各種の形態の液晶表
示パネルに対して適用することができる。
Then, in step C4, the strip-shaped panel structure is cut along a predetermined cutting line, whereby the liquid crystal display panel 1 shown in FIG. 1 is provided with the driving IC 10, the retardation plate and the polarizing plate. The ones that have not been cut are divided one by one. In the present invention, it is possible to use only a polarizing plate without mounting a retardation film, and in the case of a semi-transmissive reflective type or a transmissive type, a lower polarizing plate may be provided. It may be provided and can be applied to liquid crystal display panels of various forms.

【0046】その後、ACFを用いて張り出し領域4の
表面に駆動用IC10が実装される(工程C5)。その
際の位置合わせは、上述のIC側アライメントマークと
基板側アライメントマークを利用して行う。即ち、第1
実施形態の場合は、基板側アライメントマーク17が図
示しないIC側アライメントマークに対して所定の相対
位置となるように、駆動用IC10が下側基板2に対し
て配置される。また、第2実施形態の場合は、基板側ア
ライメントマーク25の透明部分25内にIC側アライ
メントマーク27が位置するように、駆動用IC10が
下側基板2に対して配置される。位置決め作業は、CC
Dカメラなどでそれぞれのアライメントマーク位置座標
を検出した後、搬送ロボットなどにより駆動用ICを液
晶表示パネル基板上に配置する。
After that, the driving IC 10 is mounted on the surface of the projecting region 4 by using ACF (step C5). The alignment at that time is performed using the above-mentioned IC side alignment mark and substrate side alignment mark. That is, the first
In the case of the embodiment, the driving IC 10 is arranged on the lower substrate 2 so that the substrate-side alignment mark 17 is at a predetermined relative position with respect to the IC-side alignment mark (not shown). Further, in the case of the second embodiment, the driving IC 10 is arranged with respect to the lower substrate 2 so that the IC side alignment mark 27 is located inside the transparent portion 25 of the substrate side alignment mark 25. Positioning work is CC
After detecting the respective alignment mark position coordinates with a D camera or the like, the driving IC is arranged on the liquid crystal display panel substrate by a transfer robot or the like.

【0047】次に、駆動用IC10を実装した側の下側
基板2と対向する上側基板3に対して位相差板を装着す
る(工程C6)。続いて、上側基板2及び下側基板3に
対して偏光板をそれぞれ装着する(工程C7)。最後
に、下側基板2に反射板を貼付して(工程C8)、液晶
表示装置が完成する。
Next, a retardation plate is attached to the upper substrate 3 facing the lower substrate 2 on which the driving IC 10 is mounted (step C6). Subsequently, polarizing plates are attached to the upper substrate 2 and the lower substrate 3, respectively (step C7). Finally, a reflection plate is attached to the lower substrate 2 (step C8) to complete the liquid crystal display device.

【0048】なお、上記の液晶表示装置の構成は単なる
一例であり、これとは異なる種々の構成の液晶表示装置
に本発明を適用することができる。
The configuration of the liquid crystal display device described above is merely an example, and the present invention can be applied to liquid crystal display devices of various configurations other than this.

【0049】[応用例]上記の実施形態では、COG方
式によって駆動用ICを液晶表示パネル基板に取り付け
る際に本発明を適用した例を示しているが、その他に、
FPC基板を利用した駆動用ICの実装においても本発
明を適用することができる。即ち、FPC基板に対して
駆動用ICを取り付ける際に、FPC基板上に形成する
配線に上述のような基板側アライメントマークを形成
し、FPC基板と駆動用ICとの位置合わせを行うこと
ができる。さらには、FPC基板と液晶表示パネルとを
接続する際にも、FPC基板側に形成される配線内に同
様に基板側アライメントマークを形成し、それと液晶表
示パネル側のアライメントマークとを利用して、FPC
基板と液晶表示パネルとの位置合わせを行うことができ
る。
[Application Example] In the above embodiment, the present invention is applied when the driving IC is mounted on the liquid crystal display panel substrate by the COG method.
The present invention can also be applied to mounting a driving IC using an FPC board. That is, when the drive IC is attached to the FPC board, the board-side alignment mark as described above is formed on the wiring formed on the FPC board, and the FPC board and the drive IC can be aligned with each other. . Further, also when connecting the FPC board and the liquid crystal display panel, a board-side alignment mark is similarly formed in the wiring formed on the FPC board side, and the alignment mark on the liquid crystal display panel side is utilized. , FPC
It is possible to align the substrate and the liquid crystal display panel.

【0050】なお、本発明は、TFD(Thin Film Diod
e)に代表される二端子型スイッチング素子及びTFT
(Thin Film Transistor)に代表される三端子型スイッ
チング素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表
示装置のいずれにも適用できる他、スイッチング素子を
持たないパッシブマトリクス方式の液晶表示装置も適用
することができる。
The present invention is based on TFD (Thin Film Diod).
Two-terminal switching element and TFT represented by e)
The present invention can be applied to any active matrix type liquid crystal display device using a three-terminal type switching element represented by (Thin Film Transistor), and can also be applied to a passive matrix type liquid crystal display device having no switching element. .

【0051】[電子機器]次に、本発明を適用した液晶
表示装置を用いた電子機器について説明する。
[Electronic Equipment] Next, electronic equipment using the liquid crystal display device to which the present invention is applied will be described.

【0052】まず、本発明を適用した液晶表示装置を、
可搬型のパーソナルコンピュータ(いわゆるノート型パ
ソコン)の表示部に適用した例について説明する。図5
(a)は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜
視図である。同図に示すように、パーソナルコンピュー
タは、キーボード411を備えた本体部412と、本発
明に係る液晶表示装置を適用した表示部413とを備え
ている。
First, the liquid crystal display device to which the present invention is applied,
An example applied to a display unit of a portable personal computer (so-called notebook computer) will be described. Figure 5
FIG. 3A is a perspective view showing the configuration of this personal computer. As shown in the figure, the personal computer includes a main body portion 412 having a keyboard 411 and a display portion 413 to which the liquid crystal display device according to the present invention is applied.

【0053】続いて、本発明に係る液晶表示装置を、携
帯電話機の表示部に適用した例について説明する。図5
(b)は、この携帯電話機の構成を示す斜視図である。
同図に示すように、携帯電話機は、複数の操作ボタン4
21のほか、受話口422、送話口423とともに、本
発明に係る電気光学装置を適用した表示部424を備え
る。
Next, an example in which the liquid crystal display device according to the present invention is applied to the display portion of a mobile phone will be described. Figure 5
FIG. 3B is a perspective view showing the configuration of this mobile phone.
As shown in the figure, the mobile phone has a plurality of operation buttons 4
In addition to No. 21, an earpiece 422, a mouthpiece 423, and a display unit 424 to which the electro-optical device according to the invention is applied.

【0054】なお、本発明に係る液晶表示装置を適用可
能な電子機器としては、図5(a)に示したパーソナル
コンピュータや図5(b)に示した携帯電話機の他に
も、液晶テレビ、ビューファインダ型・モニタ直視型の
ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ペー
ジャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステ
ーション、テレビ電話、POS端末、ディジタルスチル
カメラなどが挙げられる。
As the electronic equipment to which the liquid crystal display device according to the present invention can be applied, in addition to the personal computer shown in FIG. 5 (a) and the mobile phone shown in FIG. 5 (b), a liquid crystal television, A viewfinder type / monitor direct-viewing type video tape recorder, a car navigation device, a pager, an electronic notebook, a calculator, a word processor, a workstation, a videophone, a POS terminal, a digital still camera and the like can be mentioned.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施形態にかかる液晶表示パネルを示
し、図1(a)は液晶表示パネル1の平面図であり、図
1(b)は図1(a)に示す液晶表示パネル1のA−
A’における断面図である。
1 shows a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention, FIG. 1 (a) is a plan view of the liquid crystal display panel 1, and FIG. 1 (b) is a liquid crystal display panel 1 shown in FIG. 1 (a). A-
It is sectional drawing in A '.

【図2】本発明の第1実施形態に係る液晶表示パネルの
基板側アライメントマークの形成例を示す図であり、図
2(a)は図1(a)に示す液晶表示パネルの下側基板
の一部の拡大図、図2(b)は図2(a)のB−B’に
おける断面図、図2(c)は図2(a)のC−C’にお
ける断面図である。
FIG. 2 is a diagram showing an example of formation of substrate-side alignment marks of the liquid crystal display panel according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 (a) is a lower substrate of the liquid crystal display panel shown in FIG. 1 (a). 2 (b) is a sectional view taken along the line BB ′ of FIG. 2 (a), and FIG. 2 (c) is a sectional view taken along the line CC ′ of FIG. 2 (a).

【図3】本発明の第2実施形態に係る液晶表示パネルの
基板側アライメントマークの形成例を示す図であり、図
3(a)は図1(a)に示す液晶表示パネルの下側基板
の一部の拡大図、図3(b)は図3(a)のD−D’に
おける断面図、図3(c)は図3(a)のE−E’にお
ける断面図である。
FIG. 3 is a diagram showing an example of formation of substrate-side alignment marks of a liquid crystal display panel according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 3 (a) is a lower substrate of the liquid crystal display panel shown in FIG. 1 (a). 3 (b) is a sectional view taken along the line DD 'in FIG. 3 (a), and FIG. 3 (c) is a sectional view taken along the line EE' in FIG. 3 (a).

【図4】本発明を適用した液晶表示装置の一例の製造方
法を示すフローチャートである。
FIG. 4 is a flowchart showing a manufacturing method of an example of a liquid crystal display device to which the present invention is applied.

【図5】本発明の液晶表示装置を適用した電子機器の例
である。
FIG. 5 is an example of an electronic device to which the liquid crystal display device of the present invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 液晶表示パネル 2、3 透明基板 4 張り出し領域 5 シール材 6 表示領域 7 液晶 10 駆動用IC 11 端子 12 配線 15 APC 17、24 基板側アライメントマーク 25 IC側アライメントマーク 1 Liquid crystal display panel A few transparent substrates 4 Overhang area 5 Seal material 6 display area 7 liquid crystal 10 Driving IC 11 terminals 12 wiring 15 APC 17, 24 Substrate side alignment mark 25 IC side alignment mark

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 実装対象物との電気的導通のための配線
と、 前記配線内に設けられたアライメントマークと、を備え
ることを特徴とする電気光学パネル。
1. An electro-optical panel comprising wiring for electrical connection with an object to be mounted, and an alignment mark provided in the wiring.
【請求項2】 前記アライメントマークは、前記配線を
構成する金属材料により形成されることを特徴とする請
求項1に記載の電気光学パネル。
2. The electro-optical panel according to claim 1, wherein the alignment mark is formed of a metal material forming the wiring.
【請求項3】 前記配線は、前記金属材料としてのAP
Cと、前記APC上に形成されたITOとを含むことを
特徴とする請求項2に記載の電気光学パネル。
3. The wiring is AP as the metal material.
The electro-optical panel according to claim 2, comprising C and ITO formed on the APC.
【請求項4】 前記アライメントマークは、前記金属材
料の層が形成されない透明部分を含むことを特徴とする
請求項2又は3に記載の電気光学パネル。
4. The electro-optical panel according to claim 2, wherein the alignment mark includes a transparent portion where the metal material layer is not formed.
【請求項5】 請求項1乃至4のいずれかに記載の電気
光学パネルを有することを特徴とする電気光学装置。
5. An electro-optical device comprising the electro-optical panel according to claim 1. Description:
【請求項6】 請求項5に記載の電気光学装置を表示部
として有することを特徴とする電子機器。
6. An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 5 as a display unit.
【請求項7】 実装対象物との電気的導通のための配線
及びアライメントマークを、基板上に同時に形成する工
程を有することを特徴とする電気光学パネルの製造方
法。
7. A method for manufacturing an electro-optical panel, which comprises the step of simultaneously forming a wiring and an alignment mark for electrical connection with a mounting object on a substrate.
【請求項8】 前記配線及び前記アライメントマーク
は、同一の金属材料の膜として前記基板上に形成される
ことを特徴とする請求項7に記載の電気光学パネルの製
造方法。
8. The method of manufacturing an electro-optical panel according to claim 7, wherein the wiring and the alignment mark are formed as a film of the same metal material on the substrate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006079036A (en) * 2004-09-09 2006-03-23 Samsung Electronics Co Ltd Display device and manufacturing method therefor
JP2007086276A (en) * 2005-09-21 2007-04-05 Seiko Epson Corp Electrooptical device, electronic equipment, and method for manufacturing electrooptical device

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