JP2003229253A - 有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造装置及び製造方法 - Google Patents
有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造装置及び製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高精細の有機エレクトロルミネッセンス表示
パネルの製造装置を提供する。 【解決手段】 各々が一対の電極間に挟持された発光層
を含む少なくとも１つの有機層からなる複数の有機エレ
クトロルミネッセンス素子を基板上に配列した有機エレ
クトロルミネッセンス表示パネルの製造装置であって、
基板上に形成すべき複数の有機エレクトロルミネッセン
ス素子からなる表示領域の少なくとも一部を離間して覆
う加熱領域を有するサーマルヘッドと、一方の主面に蒸
着材料の薄膜が成膜されかつ他方の主面にサーマルヘッ
ドが接触した耐熱シートからなる蒸着材料シートと、蒸
着材料シートの薄膜と基板とを離間して対峙せしめる支
持機構と、を備える。
パネルの製造装置を提供する。 【解決手段】 各々が一対の電極間に挟持された発光層
を含む少なくとも１つの有機層からなる複数の有機エレ
クトロルミネッセンス素子を基板上に配列した有機エレ
クトロルミネッセンス表示パネルの製造装置であって、
基板上に形成すべき複数の有機エレクトロルミネッセン
ス素子からなる表示領域の少なくとも一部を離間して覆
う加熱領域を有するサーマルヘッドと、一方の主面に蒸
着材料の薄膜が成膜されかつ他方の主面にサーマルヘッ
ドが接触した耐熱シートからなる蒸着材料シートと、蒸
着材料シートの薄膜と基板とを離間して対峙せしめる支
持機構と、を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電流の注入によっ
て発光するエレクトロルミネッセンス（以下、ＥＬとも
いう）を呈する有機化合物材料の薄膜からなる発光層
（以下、単に、発光層という）を各々が備えた複数の有
機ＥＬ素子を所定パターンでもって基板上に形成された
有機ＥＬ表示パネルの製造装置及び製造方法に関し、特
にこれらに用いられる真空蒸着装置に関する。
て発光するエレクトロルミネッセンス（以下、ＥＬとも
いう）を呈する有機化合物材料の薄膜からなる発光層
（以下、単に、発光層という）を各々が備えた複数の有
機ＥＬ素子を所定パターンでもって基板上に形成された
有機ＥＬ表示パネルの製造装置及び製造方法に関し、特
にこれらに用いられる真空蒸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】有機ＥＬ素子は、例えば、透明基板上
に、透明電極と、発光層を含む１以上の有機化合物材料
薄膜（以下、有機層という）と、金属電極とが順次積層
されて構成される。例えば、有機層は、発光層の単一
層、あるいは有機正孔輸送層、発光層及び有機電子輸送
層の３層構造、または有機正孔輸送層及び発光層２層構
造、さらにこれらの適切な層間に電子或いは正孔の注入
層を挿入した積層体などである。
に、透明電極と、発光層を含む１以上の有機化合物材料
薄膜（以下、有機層という）と、金属電極とが順次積層
されて構成される。例えば、有機層は、発光層の単一
層、あるいは有機正孔輸送層、発光層及び有機電子輸送
層の３層構造、または有機正孔輸送層及び発光層２層構
造、さらにこれらの適切な層間に電子或いは正孔の注入
層を挿入した積層体などである。
【０００３】有機ＥＬ表示パネル、例えばマトリクス表
示タイプのものは透明電極層を含む行電極と、有機層
と、行電極に交差する金属電極層を含む列電極とが順次
積層されて構成される。行電極は、各々が帯状に形成さ
れるともに、所定の間隔をおいて互いに平行となるよう
に配列されており、列電極も同様である。このように、
マトリクス表示タイプの表示パネルは、複数の行と列の
電極の交差点に形成されマトリクス状に配列された複数
の有機ＥＬ素子（発光画素）からなる表示領域を有して
いる。表示領域における有機ＥＬ素子の複数を透明基板
上にマトリクス状に配置し適宜結線して所定信号で駆動
することにより画像表示ができ、さらに、赤Ｒ、緑Ｇ及
び青Ｂの３原色発光の有機ＥＬ素子からなる表示領域を
形成してフルカラー表示装置を構成することができる。
示タイプのものは透明電極層を含む行電極と、有機層
と、行電極に交差する金属電極層を含む列電極とが順次
積層されて構成される。行電極は、各々が帯状に形成さ
れるともに、所定の間隔をおいて互いに平行となるよう
に配列されており、列電極も同様である。このように、
マトリクス表示タイプの表示パネルは、複数の行と列の
電極の交差点に形成されマトリクス状に配列された複数
の有機ＥＬ素子（発光画素）からなる表示領域を有して
いる。表示領域における有機ＥＬ素子の複数を透明基板
上にマトリクス状に配置し適宜結線して所定信号で駆動
することにより画像表示ができ、さらに、赤Ｒ、緑Ｇ及
び青Ｂの３原色発光の有機ＥＬ素子からなる表示領域を
形成してフルカラー表示装置を構成することができる。
【０００４】この有機ＥＬ表示パネルの製造工程におい
て、透明電極層を透明基板上に形成後、有機層が成膜さ
れる。従来の真空蒸着法では、図１に示すように、真空
蒸着装置１を用い有機材料や電極材料などの蒸着材料２
をボート３に入れて加熱し、その蒸気を数十ｃｍ離れた
所に配置したガラス基板４に堆積させてたり、図１に示
すように、金属マスク５を使って有機材料や電極材料を
選択的に成膜していた。
て、透明電極層を透明基板上に形成後、有機層が成膜さ
れる。従来の真空蒸着法では、図１に示すように、真空
蒸着装置１を用い有機材料や電極材料などの蒸着材料２
をボート３に入れて加熱し、その蒸気を数十ｃｍ離れた
所に配置したガラス基板４に堆積させてたり、図１に示
すように、金属マスク５を使って有機材料や電極材料を
選択的に成膜していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】小型表示パネルを製造
する場合、蒸着法を用いる製造プロセスにおいて、小型
表示パネル用透明基板の複数を１枚の大型の透明基板か
らの多面取りすることにより、製造効率を高めている。
大型化透明基板を用いた場合、蒸着工程において、小型
表示パネルの複数の表示領域に対応して複数の開口から
なるマスク領域を有する大型マスクを用いなければなら
ない。
する場合、蒸着法を用いる製造プロセスにおいて、小型
表示パネル用透明基板の複数を１枚の大型の透明基板か
らの多面取りすることにより、製造効率を高めている。
大型化透明基板を用いた場合、蒸着工程において、小型
表示パネルの複数の表示領域に対応して複数の開口から
なるマスク領域を有する大型マスクを用いなければなら
ない。
【０００６】しかしながら、多面取り用大型マスクによ
って、複数の金属マスク領域のうち１つでも、精度不良
などの欠陥があると、表示パネルの製造歩留まりが低下
するという問題点があった。また、真空蒸着法の真空蒸
着装置において成膜の均一性を確保するために蒸発源と
基板との距離を離す必要があるので、製造装置が大きく
なり製造コストが上昇するという欠点があった。さら
に、蒸発源と基板との距離が離れているため、材料の使
用効率が悪くなる、成膜するまで時間がかかるなどの欠
点もあった。
って、複数の金属マスク領域のうち１つでも、精度不良
などの欠陥があると、表示パネルの製造歩留まりが低下
するという問題点があった。また、真空蒸着法の真空蒸
着装置において成膜の均一性を確保するために蒸発源と
基板との距離を離す必要があるので、製造装置が大きく
なり製造コストが上昇するという欠点があった。さら
に、蒸発源と基板との距離が離れているため、材料の使
用効率が悪くなる、成膜するまで時間がかかるなどの欠
点もあった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる点に鑑
みてなされたものであり、その目的は、製造装置の小型
化と製造コストを低減できる有機ＥＬ表示パネルの製造
装置及び製造方法を提供することにある。
みてなされたものであり、その目的は、製造装置の小型
化と製造コストを低減できる有機ＥＬ表示パネルの製造
装置及び製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の有機エレクトロ
ルミネッセンス表示パネルの製造装置は、各々が一対の
電極間に挟持された発光層を含む少なくとも１つの有機
層からなる複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を
基板上に配列した有機エレクトロルミネッセンス表示パ
ネルの製造装置であって、基板上に形成すべき複数の有
機エレクトロルミネッセンス素子からなる表示領域の少
なくとも一部を離間して覆う加熱領域を有する発熱体
と、一方の主面に蒸着材料の薄膜が成膜されかつ他方の
主面に前記発熱体が接触した耐熱シートからなる蒸着材
料シートと、前記蒸着材料シートの前記薄膜と前記基板
とを離間して対峙せしめる支持機構と、を備えたことを
特徴とする。
ルミネッセンス表示パネルの製造装置は、各々が一対の
電極間に挟持された発光層を含む少なくとも１つの有機
層からなる複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を
基板上に配列した有機エレクトロルミネッセンス表示パ
ネルの製造装置であって、基板上に形成すべき複数の有
機エレクトロルミネッセンス素子からなる表示領域の少
なくとも一部を離間して覆う加熱領域を有する発熱体
と、一方の主面に蒸着材料の薄膜が成膜されかつ他方の
主面に前記発熱体が接触した耐熱シートからなる蒸着材
料シートと、前記蒸着材料シートの前記薄膜と前記基板
とを離間して対峙せしめる支持機構と、を備えたことを
特徴とする。
【０００９】本発明の製造装置においては、前記加熱領
域は前記表示領域を略全体を覆う面積を有することを特
徴とする。本発明の製造装置においては、前記加熱領域
は、前記表示領域の幅よりも狭くかつ前記表示領域の一
部に渡って伸長し、その面積は前記表示領域の面積より
小であることを特徴とする。
域は前記表示領域を略全体を覆う面積を有することを特
徴とする。本発明の製造装置においては、前記加熱領域
は、前記表示領域の幅よりも狭くかつ前記表示領域の一
部に渡って伸長し、その面積は前記表示領域の面積より
小であることを特徴とする。
【００１０】本発明の製造装置においては、前記基板
に、前記有機エレクトロルミネッセンス素子に接続され
る少なくとも１つのアクティブ素子が形成されているこ
とを特徴とする。本発明の製造装置においては、前記加
熱領域は、形成すべき有機エレクトロルミネッセンス素
子に対応する複数の発熱体からなるサーマルヘッドであ
ることを特徴とする。
に、前記有機エレクトロルミネッセンス素子に接続され
る少なくとも１つのアクティブ素子が形成されているこ
とを特徴とする。本発明の製造装置においては、前記加
熱領域は、形成すべき有機エレクトロルミネッセンス素
子に対応する複数の発熱体からなるサーマルヘッドであ
ることを特徴とする。
【００１１】本発明の製造装置においては、前記複数の
発熱体が１次元的に配置されていることを特徴とする。
本発明の製造装置においては、前記複数の発熱体が２次
元的に配置されていることを特徴とする。本発明の製造
装置においては、前記複数の発熱体が、形成すべき有機
エレクトロルミネッセンス素子に一対一に対応すること
を特徴とする。
発熱体が１次元的に配置されていることを特徴とする。
本発明の製造装置においては、前記複数の発熱体が２次
元的に配置されていることを特徴とする。本発明の製造
装置においては、前記複数の発熱体が、形成すべき有機
エレクトロルミネッセンス素子に一対一に対応すること
を特徴とする。
【００１２】本発明の製造装置においては、前記複数の
発熱体及び形成すべき有機エレクトロルミネッセンス素
子の画素ピッチが同一であることを特徴とする。本発明
の製造装置においては、前記複数の発熱体のピッチが、
形成すべき有機エレクトロルミネッセンス素子の画素ピ
ッチの整数倍であることを特徴とする。本発明の製造装
置においては、前記複数の発熱体がそれぞれ突出部に設
けられていることを特徴とする。
発熱体及び形成すべき有機エレクトロルミネッセンス素
子の画素ピッチが同一であることを特徴とする。本発明
の製造装置においては、前記複数の発熱体のピッチが、
形成すべき有機エレクトロルミネッセンス素子の画素ピ
ッチの整数倍であることを特徴とする。本発明の製造装
置においては、前記複数の発熱体がそれぞれ突出部に設
けられていることを特徴とする。
【００１３】本発明の製造装置においては、前記複数の
発熱体に接続されかつ蒸着材料を蒸発させるために前記
発熱体を選択的に通電して加熱できる電力装置を備える
ことを特徴とする。本発明の製造装置においては、前記
発熱体に接続され前記発熱体の温度を制御する温度制御
部を有することを特徴とする。
発熱体に接続されかつ蒸着材料を蒸発させるために前記
発熱体を選択的に通電して加熱できる電力装置を備える
ことを特徴とする。本発明の製造装置においては、前記
発熱体に接続され前記発熱体の温度を制御する温度制御
部を有することを特徴とする。
【００１４】本発明の製造装置においては、前記発熱体
の温度を検出する温度検出部を有し、前記温度制御部は
検出された温度に応じて前記発熱体の温度を制御するこ
とを特徴とする。本発明の製造装置においては、前記温
度制御部は前記複数の発熱体の温度が均一になるように
制御することを特徴とする。
の温度を検出する温度検出部を有し、前記温度制御部は
検出された温度に応じて前記発熱体の温度を制御するこ
とを特徴とする。本発明の製造装置においては、前記温
度制御部は前記複数の発熱体の温度が均一になるように
制御することを特徴とする。
【００１５】本発明の製造装置においては、前記温度制
御部が前記複数の発熱体の温度を個別に異なるように制
御することを特徴とする。本発明の製造装置において
は、前記加熱領域は、形成すべき有機エレクトロルミネ
ッセンス素子に対応する１つの発熱体からなることを特
徴とする。本発明の製造装置においては、前記発熱体に
接続されかつ蒸着材料を蒸発させるために前記発熱体に
通電して加熱できる電力装置を備えることを特徴とす
る。
御部が前記複数の発熱体の温度を個別に異なるように制
御することを特徴とする。本発明の製造装置において
は、前記加熱領域は、形成すべき有機エレクトロルミネ
ッセンス素子に対応する１つの発熱体からなることを特
徴とする。本発明の製造装置においては、前記発熱体に
接続されかつ蒸着材料を蒸発させるために前記発熱体に
通電して加熱できる電力装置を備えることを特徴とす
る。
【００１６】本発明の製造装置においては、前記発熱体
に接続され前記発熱体の温度を制御する温度制御部を有
することを特徴とする。本発明の製造装置においては、
前記発熱体の温度を検出する温度検出部を有し、前記温
度制御部は検出された温度に応じて前記発熱体の温度を
制御することを特徴とする。
に接続され前記発熱体の温度を制御する温度制御部を有
することを特徴とする。本発明の製造装置においては、
前記発熱体の温度を検出する温度検出部を有し、前記温
度制御部は検出された温度に応じて前記発熱体の温度を
制御することを特徴とする。
【００１７】本発明の製造装置においては、前記発熱体
は重力方向において前記基板の下に配置されることを特
徴とする。本発明の製造装置においては、前記発熱体及
び前記基板を相対的に平行に移動せしめる並進駆動装置
を備えることを特徴とする。本発明の製造装置において
は、前記発熱体を複数備えることを特徴とする。
は重力方向において前記基板の下に配置されることを特
徴とする。本発明の製造装置においては、前記発熱体及
び前記基板を相対的に平行に移動せしめる並進駆動装置
を備えることを特徴とする。本発明の製造装置において
は、前記発熱体を複数備えることを特徴とする。
【００１８】本発明の製造装置においては、前記支持機
構が前記基板上に設けられている支持部材を含むことを
特徴とする。本発明の製造装置においては、前記基板と
前記蒸着材料シートとの間に配置されかつ形成すべき有
機エレクトロルミネッセンス素子に対応する複数の開口
が形成された金属マスクを有することを特徴とする。
構が前記基板上に設けられている支持部材を含むことを
特徴とする。本発明の製造装置においては、前記基板と
前記蒸着材料シートとの間に配置されかつ形成すべき有
機エレクトロルミネッセンス素子に対応する複数の開口
が形成された金属マスクを有することを特徴とする。
【００１９】本発明の製造装置においては、前記蒸着材
料が有機材料又は電極材料であることを特徴とする。本
発明の有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造
方法は、各々が一対の電極間に挟持された発光層を含む
少なくとも１つの有機層からなる複数の有機エレクトロ
ルミネッセンス素子を基板上に配列した有機エレクトロ
ルミネッセンス表示パネルの製造方法であって、一方の
主面に蒸着材料の薄膜が成膜された耐熱シートからなる
蒸着材料シートの他方の主面を、基板上に形成すべき複
数の有機エレクトロルミネッセンス素子からなる表示領
域の少なくとも一部に対応する加熱領域を有する発熱体
に、接触させるとともに、前記蒸着材料シートの前記薄
膜と前記基板とを離間して対峙せしめ、前記加熱領域に
通電し加熱して、前記蒸着材料を蒸発させ前記基板に成
膜することを特徴とする。
料が有機材料又は電極材料であることを特徴とする。本
発明の有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造
方法は、各々が一対の電極間に挟持された発光層を含む
少なくとも１つの有機層からなる複数の有機エレクトロ
ルミネッセンス素子を基板上に配列した有機エレクトロ
ルミネッセンス表示パネルの製造方法であって、一方の
主面に蒸着材料の薄膜が成膜された耐熱シートからなる
蒸着材料シートの他方の主面を、基板上に形成すべき複
数の有機エレクトロルミネッセンス素子からなる表示領
域の少なくとも一部に対応する加熱領域を有する発熱体
に、接触させるとともに、前記蒸着材料シートの前記薄
膜と前記基板とを離間して対峙せしめ、前記加熱領域に
通電し加熱して、前記蒸着材料を蒸発させ前記基板に成
膜することを特徴とする。
【００２０】本発明の製造方法においては、前記加熱領
域は前記表示領域を略全体を覆う面積を有することを特
徴とする。本発明の製造方法においては、前記加熱領域
は前記表示領域の幅よりも狭くかつ前記表示領域の一部
に渡って伸長し、その面積が前記表示領域の面積より小
であり、前記基板に前記蒸着材料を部分的に成膜する工
程を繰り返すことを特徴とする。
域は前記表示領域を略全体を覆う面積を有することを特
徴とする。本発明の製造方法においては、前記加熱領域
は前記表示領域の幅よりも狭くかつ前記表示領域の一部
に渡って伸長し、その面積が前記表示領域の面積より小
であり、前記基板に前記蒸着材料を部分的に成膜する工
程を繰り返すことを特徴とする。
【００２１】本発明の製造方法においては、前記加熱領
域は、形成すべき有機エレクトロルミネッセンス素子に
対応する複数の発熱体からなることを特徴とする。本発
明の製造方法においては、前記発熱体が１次元的に配置
されていることを特徴とする。本発明の製造方法におい
ては、前記発熱体が２次元的に配置されていることを特
徴とする。
域は、形成すべき有機エレクトロルミネッセンス素子に
対応する複数の発熱体からなることを特徴とする。本発
明の製造方法においては、前記発熱体が１次元的に配置
されていることを特徴とする。本発明の製造方法におい
ては、前記発熱体が２次元的に配置されていることを特
徴とする。
【００２２】本発明の製造方法においては、前記発熱体
が、形成すべき有機エレクトロルミネッセンス素子に一
対一に対応することを特徴とする。本発明の製造方法に
おいては、前記発熱体及び形成すべき有機エレクトロル
ミネッセンス素子の画素ピッチが同一であることを特徴
とする。本発明の製造方法においては、前記発熱体のピ
ッチが、形成すべき有機エレクトロルミネッセンス素子
の画素ピッチの整数倍であることを特徴とする。
が、形成すべき有機エレクトロルミネッセンス素子に一
対一に対応することを特徴とする。本発明の製造方法に
おいては、前記発熱体及び形成すべき有機エレクトロル
ミネッセンス素子の画素ピッチが同一であることを特徴
とする。本発明の製造方法においては、前記発熱体のピ
ッチが、形成すべき有機エレクトロルミネッセンス素子
の画素ピッチの整数倍であることを特徴とする。
【００２３】本発明の製造方法においては、前記発熱体
が突出部に設けられていることを特徴とする。本発明の
製造方法においては、蒸着材料を蒸発させるために前記
発熱体を選択的に通電して加熱することを特徴とする。
本発明の製造方法においては、前記発熱体の温度を検出
し、検出された温度に応じて前記発熱体の温度を制御す
ることを特徴とする。
が突出部に設けられていることを特徴とする。本発明の
製造方法においては、蒸着材料を蒸発させるために前記
発熱体を選択的に通電して加熱することを特徴とする。
本発明の製造方法においては、前記発熱体の温度を検出
し、検出された温度に応じて前記発熱体の温度を制御す
ることを特徴とする。
【００２４】本発明の製造方法においては、前記発熱体
の温度を均一になるように制御することを特徴とする。
本発明の製造方法においては、前記発熱体の温度を個別
に異なるように制御することを特徴とする。本発明の製
造方法においては、前記加熱領域は、形成すべき有機エ
レクトロルミネッセンス素子に対応する１つの発熱体か
らなることを特徴とする。
の温度を均一になるように制御することを特徴とする。
本発明の製造方法においては、前記発熱体の温度を個別
に異なるように制御することを特徴とする。本発明の製
造方法においては、前記加熱領域は、形成すべき有機エ
レクトロルミネッセンス素子に対応する１つの発熱体か
らなることを特徴とする。
【００２５】本発明の製造方法においては、蒸着材料を
蒸発させるために前記発熱体に通電して加熱することを
特徴とする。本発明の製造方法においては、前記発熱体
の温度を検出し、検出された温度に応じて前記発熱体の
温度を制御することを特徴とする。本発明の製造方法に
おいては、前記発熱体は重力方向において前記基板の下
に配置されることを特徴とする。
蒸発させるために前記発熱体に通電して加熱することを
特徴とする。本発明の製造方法においては、前記発熱体
の温度を検出し、検出された温度に応じて前記発熱体の
温度を制御することを特徴とする。本発明の製造方法に
おいては、前記発熱体は重力方向において前記基板の下
に配置されることを特徴とする。
【００２６】本発明の製造方法においては、前記発熱体
及び前記基板を相対的に平行に移動せしめることを特徴
とする。本発明の製造方法においては、前記発熱体を複
数備え、前記基板に前記蒸着材料を部分的に成膜するこ
とを特徴とする。本発明の製造方法においては、前記薄
膜と前記基板とを離間せしめる支持部材を前記基板上に
設けることを特徴とする。
及び前記基板を相対的に平行に移動せしめることを特徴
とする。本発明の製造方法においては、前記発熱体を複
数備え、前記基板に前記蒸着材料を部分的に成膜するこ
とを特徴とする。本発明の製造方法においては、前記薄
膜と前記基板とを離間せしめる支持部材を前記基板上に
設けることを特徴とする。
【００２７】本発明の製造方法においては、形成すべき
有機エレクトロルミネッセンス素子に対応する複数の開
口が形成された金属マスクを前記基板と前記蒸着材料シ
ートとの間に配置することを特徴とする。本発明の製造
方法においては、前記蒸着材料が有機材料又は電極材料
であることを特徴とする。
有機エレクトロルミネッセンス素子に対応する複数の開
口が形成された金属マスクを前記基板と前記蒸着材料シ
ートとの間に配置することを特徴とする。本発明の製造
方法においては、前記蒸着材料が有機材料又は電極材料
であることを特徴とする。
【００２８】本発明の製造方法においては、前記蒸着材
料を蒸発させ前記基板に成膜する工程は、各発光色に共
通した層厚の有機層を一括して蒸着する工程と、発光色
毎に異なる層厚の有機層を蒸着する工程と、を含むこと
を特徴とする。本発明の製造方法においては、前記蒸着
材料を蒸発させ前記基板に成膜する工程は、各発光色に
共通した同一の有機材料からなる有機層を一括して蒸着
する工程と、発光色毎に異なる有機材料からなる有機層
を蒸着する工程と、を含むことを特徴とする。
料を蒸発させ前記基板に成膜する工程は、各発光色に共
通した層厚の有機層を一括して蒸着する工程と、発光色
毎に異なる層厚の有機層を蒸着する工程と、を含むこと
を特徴とする。本発明の製造方法においては、前記蒸着
材料を蒸発させ前記基板に成膜する工程は、各発光色に
共通した同一の有機材料からなる有機層を一括して蒸着
する工程と、発光色毎に異なる有機材料からなる有機層
を蒸着する工程と、を含むことを特徴とする。
【００２９】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態を図面を参照し
つつ説明する。本発明の有機ＥＬ表示パネルの製造装置
の一例を図２に示す。減圧された有機ＥＬ表示パネルの
製造装置の成長室１０内において、表示パネル用基板４
と蒸着材料シート１１に接したサーマルヘッド２１とは
支持機構１２によって離間して対峙されている。また、
支持機構１２には、サーマルヘッド２１及び表示パネル
用基板４を相対的に平行に移動せしめる並進駆動装置１
２ａが備えられている。サーマルヘッド２１は表示パネ
ル用基板４上に形成すべき複数の有機ＥＬ素子からなる
表示領域の略全体を覆う発熱体の加熱領域を有するの
で、図２に示すように、蒸着材料シート１１をサーマル
ヘッド２１に接触させ、蒸着材料シート１１から表示パ
ネル用基板４を離間させた状態で、サーマルヘッド２１
に通電し加熱して、蒸着材料を蒸発させガラスなどの透
明基板４に成膜する。通電加熱のために、かかる製造装
置は、サーマルヘッドの発熱体に接続されかつ蒸着材料
を蒸発させるために発熱体を選択的に通電して加熱させ
る電力装置３０を備えている。さらに、かかる製造装置
は、発熱体に接続されその温度を検出する温度検出部３
１と、電力装置３０に接続されかつ検出された温度に応
じて発熱体の温度を制御する温度制御部３２を備えてい
る。温度制御部３２は例えば複数の発熱体の場合それら
の温度が均一になるように制御する。また、温度制御部
３２は例えば複数の発熱体の場合それらの温度を個別に
異なるように制御することもできる。
つつ説明する。本発明の有機ＥＬ表示パネルの製造装置
の一例を図２に示す。減圧された有機ＥＬ表示パネルの
製造装置の成長室１０内において、表示パネル用基板４
と蒸着材料シート１１に接したサーマルヘッド２１とは
支持機構１２によって離間して対峙されている。また、
支持機構１２には、サーマルヘッド２１及び表示パネル
用基板４を相対的に平行に移動せしめる並進駆動装置１
２ａが備えられている。サーマルヘッド２１は表示パネ
ル用基板４上に形成すべき複数の有機ＥＬ素子からなる
表示領域の略全体を覆う発熱体の加熱領域を有するの
で、図２に示すように、蒸着材料シート１１をサーマル
ヘッド２１に接触させ、蒸着材料シート１１から表示パ
ネル用基板４を離間させた状態で、サーマルヘッド２１
に通電し加熱して、蒸着材料を蒸発させガラスなどの透
明基板４に成膜する。通電加熱のために、かかる製造装
置は、サーマルヘッドの発熱体に接続されかつ蒸着材料
を蒸発させるために発熱体を選択的に通電して加熱させ
る電力装置３０を備えている。さらに、かかる製造装置
は、発熱体に接続されその温度を検出する温度検出部３
１と、電力装置３０に接続されかつ検出された温度に応
じて発熱体の温度を制御する温度制御部３２を備えてい
る。温度制御部３２は例えば複数の発熱体の場合それら
の温度が均一になるように制御する。また、温度制御部
３２は例えば複数の発熱体の場合それらの温度を個別に
異なるように制御することもできる。
【００３０】図３に蒸着材料シート１１の一例の断面図
を示す。蒸着材料シート１１は、数十μｍ膜厚程度の銅
などの金属又はプラスチックからなる耐熱シート１１ａ
の一主面に上に、例えば、発光性有機化合物１１ｂ、例
えば、トリス（８−キノリノラト）アルミニウムを所定
膜厚で真空蒸着して成膜したものである。蒸着材料シー
ト１１の他方の主面にサーマルヘッド２１が接触する。
を示す。蒸着材料シート１１は、数十μｍ膜厚程度の銅
などの金属又はプラスチックからなる耐熱シート１１ａ
の一主面に上に、例えば、発光性有機化合物１１ｂ、例
えば、トリス（８−キノリノラト）アルミニウムを所定
膜厚で真空蒸着して成膜したものである。蒸着材料シー
ト１１の他方の主面にサーマルヘッド２１が接触する。
【００３１】図４にサーマルヘッド２１の一例の断面図
を示す。サーマルヘッド２１は有機ＥＬ表示パネルの形
成すべき有機ＥＬ素子に対応する複数の発熱体２２の突
出部を有する。図４に示すような発熱体２２の部分が盛
り上がっているサーマルヘッドを使うことにより蒸着し
たい部位に熱がより集中して加えられるので、より確実
に選択的に蒸着することができる。なお、図５に示すよ
うに、サーマルヘッド２１は複数の発熱体２２を埋設し
て構成することもできる。
を示す。サーマルヘッド２１は有機ＥＬ表示パネルの形
成すべき有機ＥＬ素子に対応する複数の発熱体２２の突
出部を有する。図４に示すような発熱体２２の部分が盛
り上がっているサーマルヘッドを使うことにより蒸着し
たい部位に熱がより集中して加えられるので、より確実
に選択的に蒸着することができる。なお、図５に示すよ
うに、サーマルヘッド２１は複数の発熱体２２を埋設し
て構成することもできる。
【００３２】図６は、複数の発熱体２２が２次元的に例
えばマトリクス状に配置されている２次元サーマルヘッ
ド２１の平面図を示す。２次元サーマルヘッド２１を使
えば短時間で簡単に効率よく蒸着することができる。加
熱領域２１ａは、基板上に形成すべき複数の有機ＥＬ素
子の表示領域を略全体を覆う面積を有し、当該有機ＥＬ
素子に対応する複数の発熱体２２から構成されている。
えばマトリクス状に配置されている２次元サーマルヘッ
ド２１の平面図を示す。２次元サーマルヘッド２１を使
えば短時間で簡単に効率よく蒸着することができる。加
熱領域２１ａは、基板上に形成すべき複数の有機ＥＬ素
子の表示領域を略全体を覆う面積を有し、当該有機ＥＬ
素子に対応する複数の発熱体２２から構成されている。
【００３３】図７は、２次元サーマルヘッド２１の発熱
体２２に対応する発光部１６の配列を有する有機ＥＬ表
示パネル４０を示す平面図である。有機ＥＬ表示パネル
４０は、ガラス基板４上にマトリクス状に所定周期で配
置された赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、及び青（Ｂ）の発光部１
６（有機ＥＬ素子）によってフルカラー画像表示可能と
なる。サーマルヘッド２１の発熱体２２は、形成すべき
有機ＥＬ素子１６に一対一に対応している。
体２２に対応する発光部１６の配列を有する有機ＥＬ表
示パネル４０を示す平面図である。有機ＥＬ表示パネル
４０は、ガラス基板４上にマトリクス状に所定周期で配
置された赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、及び青（Ｂ）の発光部１
６（有機ＥＬ素子）によってフルカラー画像表示可能と
なる。サーマルヘッド２１の発熱体２２は、形成すべき
有機ＥＬ素子１６に一対一に対応している。
【００３４】図８は、かかる有機ＥＬ表示パネル４０の
一部を模式的に示す斜視図である。有機ＥＬ表示パネル
４０の透明基板４上には、インジウム錫酸化物（以下、
ＩＴＯと称する）などからなる透明電極１３がストライ
プ状に成膜されている。透明電極１３は、互いに平行な
複数のストライプ状に配列されている。例えば、隔壁１
７が透明電極１３に直交するように基板４及び透明電極
１３上にわたって形成されている。また、隔壁１７は、
基板４から突出するように設けられていて、透明電極１
３の一部分を露出せしめるように形成されている。隔壁
１７は、蒸着材料シート１１と基板４とを離間して対峙
せしめる支持機構、すなわち、基板上に設けられている
支持部材として機能する。なお、ここではストライプ状
透明電極を基板に設け、有機層を積層し、透明電極に交
差するストライプ状金属電極を設ける単純マトリクス有
機ＥＬ表示パネルを説明するが、その他に、本発明は、
例えば複数の有機ＥＬ素子にそれぞれ接続されるＴＦＴ
などのアクティブ素子が形成された基板を用いて、アク
ティブマトリクス表示タイプの有機ＥＬ表示パネルの製
造にも適用できる。
一部を模式的に示す斜視図である。有機ＥＬ表示パネル
４０の透明基板４上には、インジウム錫酸化物（以下、
ＩＴＯと称する）などからなる透明電極１３がストライ
プ状に成膜されている。透明電極１３は、互いに平行な
複数のストライプ状に配列されている。例えば、隔壁１
７が透明電極１３に直交するように基板４及び透明電極
１３上にわたって形成されている。また、隔壁１７は、
基板４から突出するように設けられていて、透明電極１
３の一部分を露出せしめるように形成されている。隔壁
１７は、蒸着材料シート１１と基板４とを離間して対峙
せしめる支持機構、すなわち、基板上に設けられている
支持部材として機能する。なお、ここではストライプ状
透明電極を基板に設け、有機層を積層し、透明電極に交
差するストライプ状金属電極を設ける単純マトリクス有
機ＥＬ表示パネルを説明するが、その他に、本発明は、
例えば複数の有機ＥＬ素子にそれぞれ接続されるＴＦＴ
などのアクティブ素子が形成された基板を用いて、アク
ティブマトリクス表示タイプの有機ＥＬ表示パネルの製
造にも適用できる。
【００３５】隔壁１７の間に挟まれた領域には、透明電
極１３上に少なくとも１層の有機層１８が形成されてい
る。例えば、有機層１８は、発光層の単一層であるか、
あるいは発光層に加えて正孔輸送層、電子輸送層、又は
電子注入層若しくは正孔注入層を含んでいる。隔壁１７
は透明電極１３と平行に透明電極間に形成されてもよい
し、画素を囲むように形成されてもよい。
極１３上に少なくとも１層の有機層１８が形成されてい
る。例えば、有機層１８は、発光層の単一層であるか、
あるいは発光層に加えて正孔輸送層、電子輸送層、又は
電子注入層若しくは正孔注入層を含んでいる。隔壁１７
は透明電極１３と平行に透明電極間に形成されてもよい
し、画素を囲むように形成されてもよい。
【００３６】図９の断面図に示すように、隔壁１７は例
えば、逆テーパ形状、Ｔ字形状等のオーバーハング形状
となるように形成されてもよい。隔壁１７はセパレータ
として表示パネル用基板上の蒸着に寄与する。すなわ
ち、隔壁１７が存在するので、隣接する画素にはみ出す
ことなく選択的に蒸着することができる。図１０に示す
ように基板４の隔壁１７に、蒸着材料シート１１を介し
てサーマルヘッド２１の発熱体２２を押し付けることに
より、表示パネル用基板４と蒸着材料シート１１との離
間した距離が一定になり安定した蒸着を行なうことがで
きる。
えば、逆テーパ形状、Ｔ字形状等のオーバーハング形状
となるように形成されてもよい。隔壁１７はセパレータ
として表示パネル用基板上の蒸着に寄与する。すなわ
ち、隔壁１７が存在するので、隣接する画素にはみ出す
ことなく選択的に蒸着することができる。図１０に示す
ように基板４の隔壁１７に、蒸着材料シート１１を介し
てサーマルヘッド２１の発熱体２２を押し付けることに
より、表示パネル用基板４と蒸着材料シート１１との離
間した距離が一定になり安定した蒸着を行なうことがで
きる。
【００３７】図１１に示すように、サーマルヘッド２１
の発熱体２２と表示パネル用基板４の画素の透明電極１
３のピッチＰが同一になっている。ピッチＰは２次元サ
ーマルヘッドであればＸＹ方向で同一になっている。２
次元サーマルヘッド２１を使って蒸着する有機ＥＬ多色
ディスプレイの表示パネルの製造工程を説明する。
の発熱体２２と表示パネル用基板４の画素の透明電極１
３のピッチＰが同一になっている。ピッチＰは２次元サ
ーマルヘッドであればＸＹ方向で同一になっている。２
次元サーマルヘッド２１を使って蒸着する有機ＥＬ多色
ディスプレイの表示パネルの製造工程を説明する。
【００３８】まず、図１２に示すように、それぞれＩＴ
ＯからなるＢＧＲ用の透明電極１３（陽極）をガラス基
板４上に平行に伸長させて形成する。透明電極１３のす
べてを、エッチングなどにより一定膜厚で成膜する。さ
らに、感光性ポリイミド等からなる隔壁を透明電極１３
に直交して平行に複数設けてもよし、透明電極１３と平
行に複数設けてもよい。
ＯからなるＢＧＲ用の透明電極１３（陽極）をガラス基
板４上に平行に伸長させて形成する。透明電極１３のす
べてを、エッチングなどにより一定膜厚で成膜する。さ
らに、感光性ポリイミド等からなる隔壁を透明電極１３
に直交して平行に複数設けてもよし、透明電極１３と平
行に複数設けてもよい。
【００３９】次に、図１２に示すように、真空蒸着によ
り共通な正孔輸送層４２を基板４上、透明電極１３にわ
たって全面に成膜する。所定の蒸着材料シート１１を全
ての発熱体２２で加熱することにより有機材料が蒸気化
し、表示パネル用基板に蒸着する。また、選択的に蒸着
したい場合は金属マスクを使って蒸着すればよい。金属
マスクは、形成すべき有機ＥＬ素子に対応する複数の開
口が形成された平板である。
り共通な正孔輸送層４２を基板４上、透明電極１３にわ
たって全面に成膜する。所定の蒸着材料シート１１を全
ての発熱体２２で加熱することにより有機材料が蒸気化
し、表示パネル用基板に蒸着する。また、選択的に蒸着
したい場合は金属マスクを使って蒸着すればよい。金属
マスクは、形成すべき有機ＥＬ素子に対応する複数の開
口が形成された平板である。
【００４０】次に、図１３に示すように、Ｒ用の発光材
料Ｒを蒸着するには、Ｒ用の発光材料が塗布された所定
の蒸着材料シート１１を表示パネル用基板の下に離間し
て配置し、蒸着材料シート１１の下に画素に対応する発
熱体２２を有するサーマルヘッドを接触して配置し、Ｒ
の画素に対応する発熱体２２Ｒを加熱することによりＲ
用の発光材料がＲの画素に蒸着できる。蒸着材料シート
と表示パネル用基板は接近して配置されているので、他
の画素にかからずに選択的に蒸着できる。
料Ｒを蒸着するには、Ｒ用の発光材料が塗布された所定
の蒸着材料シート１１を表示パネル用基板の下に離間し
て配置し、蒸着材料シート１１の下に画素に対応する発
熱体２２を有するサーマルヘッドを接触して配置し、Ｒ
の画素に対応する発熱体２２Ｒを加熱することによりＲ
用の発光材料がＲの画素に蒸着できる。蒸着材料シート
と表示パネル用基板は接近して配置されているので、他
の画素にかからずに選択的に蒸着できる。
【００４１】次に、図１４に示すように、Ｇ用の発光材
料を蒸着するにはＧ用の発光材料が塗布された蒸着材料
シート１１を表示パネル用基板の下に離間して配置し、
その下に画素に対応する発熱体を有するサーマルヘッド
を置き、Ｇの画素に対応する発熱体２２Ｇを加熱するこ
とによりＧ用の発光材料がＧの画素に蒸着できる。次
に、図１５に示すように、Ｂ用の発光材料を蒸着するに
はＢ用の発光材料が塗布された蒸着材料シート１１を表
示パネル用基板の下に置き、その下に画素に対応する発
熱体を有するサーマルヘッドを置き、Ｂの画素に対応す
る発熱体２２Ｂを加熱することによりＢ用の発光材料が
Ｂの画素に蒸着できる。
料を蒸着するにはＧ用の発光材料が塗布された蒸着材料
シート１１を表示パネル用基板の下に離間して配置し、
その下に画素に対応する発熱体を有するサーマルヘッド
を置き、Ｇの画素に対応する発熱体２２Ｇを加熱するこ
とによりＧ用の発光材料がＧの画素に蒸着できる。次
に、図１５に示すように、Ｂ用の発光材料を蒸着するに
はＢ用の発光材料が塗布された蒸着材料シート１１を表
示パネル用基板の下に置き、その下に画素に対応する発
熱体を有するサーマルヘッドを置き、Ｂの画素に対応す
る発熱体２２Ｂを加熱することによりＢ用の発光材料が
Ｂの画素に蒸着できる。
【００４２】他の実施形態としては、図１６に示すよう
に、サーマルヘッド２１の発熱体２２が、形成すべき有
機ＥＬ素子の画素ピッチＰの整数倍（ｎ×Ｐ）例えば３
Ｐで配置されていてもよい。この場合、図６に示す実施
形態ではサーマルヘッド２１の発熱体２２を、形成すべ
き発光部１６（有機ＥＬ素子）に一対一に対応させてい
るが、この実施形態では図１６に示すように、発熱体を
間引いて発熱体固体数を減少している。すなわち、サー
マルヘッドにおいて、選択して蒸着したい画素ピッチで
発熱体を配置できる。
に、サーマルヘッド２１の発熱体２２が、形成すべき有
機ＥＬ素子の画素ピッチＰの整数倍（ｎ×Ｐ）例えば３
Ｐで配置されていてもよい。この場合、図６に示す実施
形態ではサーマルヘッド２１の発熱体２２を、形成すべ
き発光部１６（有機ＥＬ素子）に一対一に対応させてい
るが、この実施形態では図１６に示すように、発熱体を
間引いて発熱体固体数を減少している。すなわち、サー
マルヘッドにおいて、選択して蒸着したい画素ピッチで
発熱体を配置できる。
【００４３】この発熱体固体数を減少したサーマルヘッ
ドを用いても、図１７〜図１９に示すように、Ｒ，Ｇ，
Ｂ用の発光材料を他の画素にかからずに選択的にに蒸着
できる。Ｒ用の発光材料が塗布された蒸着材料シートと
表示パネル用基板は接近して配置されているので、選択
的に蒸着できる。この図１７〜図１９の工程は、Ｒ，
Ｇ，Ｂ用発熱体２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂのスイッチング
の代わりにサーマルヘッド２１及び基板４を所定ピッチ
で相対移動させる以外、図１３〜図１５の工程と同一で
ある。
ドを用いても、図１７〜図１９に示すように、Ｒ，Ｇ，
Ｂ用の発光材料を他の画素にかからずに選択的にに蒸着
できる。Ｒ用の発光材料が塗布された蒸着材料シートと
表示パネル用基板は接近して配置されているので、選択
的に蒸着できる。この図１７〜図１９の工程は、Ｒ，
Ｇ，Ｂ用発熱体２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂのスイッチング
の代わりにサーマルヘッド２１及び基板４を所定ピッチ
で相対移動させる以外、図１３〜図１５の工程と同一で
ある。
【００４４】さらに、他の実施形態においては、図２０
に示すように、選択的に蒸着するため、金属マスク２０
を、蒸着材料シート１１と表示パネル用基板４上の隔壁
１７との間に配置する以外、図１０に示す構成と同一の
ものも含む。またさらに、他の実施形態においては、図
２１に示すように、サーマルヘッドを発熱体２２が１次
元的例えば直線状に配置され１次元サーマルヘッド２１
１としてもよい。加熱領域２１ａは、基板４上に形成す
べき複数の有機ＥＬ素子の表示領域の幅よりも狭くかつ
表示領域の一部に渡って伸長し、その面積は表示領域の
面積より小である。加熱領域２１ａは、表示領域の少な
くとも一部を離間して覆うようにすればよい。１次元サ
ーマルヘッド２１１と金属マスクを組み合わせて蒸着し
てもよい。
に示すように、選択的に蒸着するため、金属マスク２０
を、蒸着材料シート１１と表示パネル用基板４上の隔壁
１７との間に配置する以外、図１０に示す構成と同一の
ものも含む。またさらに、他の実施形態においては、図
２１に示すように、サーマルヘッドを発熱体２２が１次
元的例えば直線状に配置され１次元サーマルヘッド２１
１としてもよい。加熱領域２１ａは、基板４上に形成す
べき複数の有機ＥＬ素子の表示領域の幅よりも狭くかつ
表示領域の一部に渡って伸長し、その面積は表示領域の
面積より小である。加熱領域２１ａは、表示領域の少な
くとも一部を離間して覆うようにすればよい。１次元サ
ーマルヘッド２１１と金属マスクを組み合わせて蒸着し
てもよい。
【００４５】２次元サーマルヘッドの場合は図２２に示
すように、蒸着材料シート１１が基板４とサーマルヘッ
ド２１の間に挟持されるが、図２１に示す１次元サーマ
ルヘッド２１１の場合は図２３に示すように、蒸着材料
シート１１が基板４から離間して保持され、蒸着材料シ
ート１１の耐熱シート側の一部を１次元的に配置された
発熱体２２が相対的に走査するような構成となる。
すように、蒸着材料シート１１が基板４とサーマルヘッ
ド２１の間に挟持されるが、図２１に示す１次元サーマ
ルヘッド２１１の場合は図２３に示すように、蒸着材料
シート１１が基板４から離間して保持され、蒸着材料シ
ート１１の耐熱シート側の一部を１次元的に配置された
発熱体２２が相対的に走査するような構成となる。
【００４６】１次元サーマルヘッド２１の蒸着材料シー
ト１１上の或る位置で、蒸着材料シート１１を所望の画
素に対応する発熱体２２で加熱することにより有機材料
が蒸気化し、表示パネル用基板の所望の場所に蒸着す
る。そして、図２３に示すように、基板又はサーマルヘ
ッドを順次、相対移動させ、静止させて蒸着を繰り返し
全面に成膜する。
ト１１上の或る位置で、蒸着材料シート１１を所望の画
素に対応する発熱体２２で加熱することにより有機材料
が蒸気化し、表示パネル用基板の所望の場所に蒸着す
る。そして、図２３に示すように、基板又はサーマルヘ
ッドを順次、相対移動させ、静止させて蒸着を繰り返し
全面に成膜する。
【００４７】図２４に示すように複数個の１次元サーマ
ルヘッド２１１を多面取り用の基板４の表示領域となる
部分に沿って配置して相対移動させ蒸着することにより
効率よく蒸着することができる。また、２次元サーマル
ヘッド２１の場合も図２５に示すように多面取り用の基
板４の表示領域に沿って配置して表示領域ごとに相対移
動させ、順次蒸着することにより効率よく蒸着すること
ができる。このように、発熱体が１次元又は２次元配列
されているサーマルヘッドの面積が基板の面積より小で
ある所定面積を有する発熱体を使って成膜することによ
り、効率よく蒸着することができる。これは、大きな基
板から複数のパネルを切り出す多面取時に有効である。
また、一枚の基板に部分的に成膜することができるの
で、サーマルヘッドや発熱体、金属マスク、蒸着材料シ
ートなどが小型化でき、装置の低価格化、効率化が可能
になる。
ルヘッド２１１を多面取り用の基板４の表示領域となる
部分に沿って配置して相対移動させ蒸着することにより
効率よく蒸着することができる。また、２次元サーマル
ヘッド２１の場合も図２５に示すように多面取り用の基
板４の表示領域に沿って配置して表示領域ごとに相対移
動させ、順次蒸着することにより効率よく蒸着すること
ができる。このように、発熱体が１次元又は２次元配列
されているサーマルヘッドの面積が基板の面積より小で
ある所定面積を有する発熱体を使って成膜することによ
り、効率よく蒸着することができる。これは、大きな基
板から複数のパネルを切り出す多面取時に有効である。
また、一枚の基板に部分的に成膜することができるの
で、サーマルヘッドや発熱体、金属マスク、蒸着材料シ
ートなどが小型化でき、装置の低価格化、効率化が可能
になる。
【００４８】上記実施形態ではサーマルヘッドの加熱領
域が有機ＥＬ素子に対応する複数の発熱体からなる場合
を説明したが、さらなる実施形態では、図２６に示すよ
うに、有機ＥＬ素子の表示領域を略全体を覆う面積を有
するサーマルヘッド１１の加熱領域２１ａは、形成すべ
き有機ＥＬ素子の複数に対して１つの発熱体２２ｂから
なるように、構成できる。この実施形態では図２７に示
すように、蒸着工程において、基板４の全面において、
所定蒸着材料膜を成膜できる。また、この場合も、図２
５に示すように多面取り用の基板４の表示領域に沿って
配置して表示領域ごとにサーマルヘッドを相対移動さ
せ、順次全面蒸着することにより効率よく蒸着すること
ができるまた、１次元サーマルヘッドとする場合は、図
２８に示すように、その加熱領域２１ａは有機ＥＬ素子
の表示領域の幅よりも狭くかつ表示領域の一部に渡って
伸長し、その面積が表示領域の面積より小となるように
構成できる、この実施形態では図２９に示すように、蒸
着工程において、基板又はサーマルヘッド２１１を順
次、相対移動させ、静止させて基板上に蒸着材料を部分
的に蒸着し、これを繰り返し全面に成膜する。また、こ
の実施形態でも図２４に示すように複数個の１次元サー
マルヘッド２１１を多面取り用の基板４の表示領域とな
る部分に沿って配置して相対移動させ蒸着することによ
り効率よく蒸着することができる。
域が有機ＥＬ素子に対応する複数の発熱体からなる場合
を説明したが、さらなる実施形態では、図２６に示すよ
うに、有機ＥＬ素子の表示領域を略全体を覆う面積を有
するサーマルヘッド１１の加熱領域２１ａは、形成すべ
き有機ＥＬ素子の複数に対して１つの発熱体２２ｂから
なるように、構成できる。この実施形態では図２７に示
すように、蒸着工程において、基板４の全面において、
所定蒸着材料膜を成膜できる。また、この場合も、図２
５に示すように多面取り用の基板４の表示領域に沿って
配置して表示領域ごとにサーマルヘッドを相対移動さ
せ、順次全面蒸着することにより効率よく蒸着すること
ができるまた、１次元サーマルヘッドとする場合は、図
２８に示すように、その加熱領域２１ａは有機ＥＬ素子
の表示領域の幅よりも狭くかつ表示領域の一部に渡って
伸長し、その面積が表示領域の面積より小となるように
構成できる、この実施形態では図２９に示すように、蒸
着工程において、基板又はサーマルヘッド２１１を順
次、相対移動させ、静止させて基板上に蒸着材料を部分
的に蒸着し、これを繰り返し全面に成膜する。また、こ
の実施形態でも図２４に示すように複数個の１次元サー
マルヘッド２１１を多面取り用の基板４の表示領域とな
る部分に沿って配置して相対移動させ蒸着することによ
り効率よく蒸着することができる。
【００４９】これら実施形態の場合も、図２に示す構成
と同様に製造装置には、電力装置３０、温度検出部３１
及び温度制御部３２が設けられる。さらに、他の実施形
態においては、図３０に示すように、有機ＥＬ素子の各
々の対応して選択的に蒸着するため、金属マスク２０
を、蒸着材料シート１１と表示パネル用基板４上との間
に配置する以外、図２７に示す構成と同一のものも含
む。この実施形態において金属マスク２０を、相対的に
平行移動せしめることにより、有機ＥＬ素子ごとに塗り
分け可能となる。この場合に、基板４上に上記実施形態
同様の隔壁を設けることもできる。
と同様に製造装置には、電力装置３０、温度検出部３１
及び温度制御部３２が設けられる。さらに、他の実施形
態においては、図３０に示すように、有機ＥＬ素子の各
々の対応して選択的に蒸着するため、金属マスク２０
を、蒸着材料シート１１と表示パネル用基板４上との間
に配置する以外、図２７に示す構成と同一のものも含
む。この実施形態において金属マスク２０を、相対的に
平行移動せしめることにより、有機ＥＬ素子ごとに塗り
分け可能となる。この場合に、基板４上に上記実施形態
同様の隔壁を設けることもできる。
【００５０】
【発明の効果】本発明によれば、高精細な有機ＥＬ表示
パネルを効率よく安価に製造できる。
パネルを効率よく安価に製造できる。
【図１】従来の真空蒸着装置を模式的に示す断面図であ
る。
る。
【図２】本発明の実施形態である有機エレクトロルミネ
ッセンス表示パネルの製造装置を模式的に示す断面図で
ある。
ッセンス表示パネルの製造装置を模式的に示す断面図で
ある。
【図３】本発明の実施形態である蒸着材料シートを模式
的に示す断面図である。
的に示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態であるサーマルヘッドを模式
的に示す断面図である。
的に示す断面図である。
【図５】本発明の他の実施形態であるサーマルヘッドを
模式的に示す断面図である。
模式的に示す断面図である。
【図６】本発明の実施形態であるサーマルヘッドを模式
的に示す平面図である。
的に示す平面図である。
【図７】フルカラー有機ＥＬ表示パネルの発光画素配列
の１例を模式的に示す平面図である。
の１例を模式的に示す平面図である。
【図８】有機ＥＬ表示パネルの一部を模式的に示す斜視
図である。
図である。
【図９】本発明の実施形態である基板を模式的に示す断
面図である。
面図である。
【図１０】本発明の実施形態である有機ＥＬ表示パネル
の製造工程を示す断面図である。
の製造工程を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施形態である有機ＥＬ表示パネル
の製造工程を示す断面図である。
の製造工程を示す断面図である。
【図１２】本発明の実施形態である有機ＥＬ表示パネル
の製造工程を示す断面図である。
の製造工程を示す断面図である。
【図１３】本発明の実施形態である有機ＥＬ表示パネル
の製造工程を示す断面図である。
の製造工程を示す断面図である。
【図１４】本発明の実施形態である有機ＥＬ表示パネル
の製造工程を示す断面図である。
の製造工程を示す断面図である。
【図１５】本発明の実施形態である有機ＥＬ表示パネル
の製造工程を示す断面図である。
の製造工程を示す断面図である。
【図１６】本発明の他の実施形態である有機ＥＬ表示パ
ネルの製造工程を示す断面図である。
ネルの製造工程を示す断面図である。
【図１７】本発明の他の実施形態である有機ＥＬ表示パ
ネルの製造工程を示す断面図である。
ネルの製造工程を示す断面図である。
【図１８】本発明の他の実施形態である有機ＥＬ表示パ
ネルの製造工程を示す断面図である。
ネルの製造工程を示す断面図である。
【図１９】本発明の他の実施形態である有機ＥＬ表示パ
ネルの製造工程を示す断面図である。
ネルの製造工程を示す断面図である。
【図２０】本発明の他の実施形態である有機ＥＬ表示パ
ネルの製造工程を示す断面図である。
ネルの製造工程を示す断面図である。
【図２１】本発明の他の実施形態であるサーマルヘッド
を模式的に示す平面図である。
を模式的に示す平面図である。
【図２２】本発明の実施形態である有機ＥＬ表示パネル
の製造工程を示す斜視図である。
の製造工程を示す斜視図である。
【図２３】本発明の他の実施形態である有機ＥＬ表示パ
ネルの製造工程を示す斜視図である。
ネルの製造工程を示す斜視図である。
【図２４】本発明の他の実施形態である有機ＥＬ表示パ
ネルの製造工程を示す平面図である。
ネルの製造工程を示す平面図である。
【図２５】本発明の他の実施形態である有機ＥＬ表示パ
ネルの製造工程を示す平面図である。
ネルの製造工程を示す平面図である。
【図２６】本発明の他の実施形態であるサーマルヘッド
を模式的に示す平面図である。
を模式的に示す平面図である。
【図２７】本発明の他の実施形態である有機ＥＬ表示パ
ネルの製造工程を示す斜視図である。
ネルの製造工程を示す斜視図である。
【図２８】本発明の他の実施形態であるサーマルヘッド
を模式的に示す平面図である。
を模式的に示す平面図である。
【図２９】本発明の他の実施形態である有機ＥＬ表示パ
ネルの製造工程を示す斜視図である。
ネルの製造工程を示す斜視図である。
【図３０】本発明の他の実施形態である有機ＥＬ表示パ
ネルの製造工程を示す断面図である。
ネルの製造工程を示す断面図である。
４ 基板
１１ 蒸着材料シート
２１ サーマルヘッド
２２ 発熱体
Claims (51)
- 【請求項１】 各々が一対の電極間に挟持された発光層
を含む少なくとも１つの有機層からなる複数の有機エレ
クトロルミネッセンス素子を基板上に配列した有機エレ
クトロルミネッセンス表示パネルの製造装置であって、 基板上に形成すべき複数の有機エレクトロルミネッセン
ス素子からなる表示領域の少なくとも一部を離間して覆
う加熱領域を有する発熱体と、 一方の主面に蒸着材料の薄膜が成膜されかつ他方の主面
に前記発熱体が接触した耐熱シートからなる蒸着材料シ
ートと、 前記蒸着材料シートの前記薄膜と前記基板とを離間して
対峙せしめる支持機構と、を備えたことを特徴とする有
機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造装置。 - 【請求項２】 前記加熱領域は前記表示領域を略全体を
覆う面積を有することを特徴とする請求項１に記載の製
造装置。 - 【請求項３】 前記加熱領域は、前記表示領域の幅より
も狭くかつ前記表示領域の一部に渡って伸長し、その面
積は前記表示領域の面積より小であることを特徴とする
請求項１に記載の製造装置。 - 【請求項４】 前記基板に、前記有機エレクトロルミネ
ッセンス素子に接続される少なくとも１つのアクティブ
素子が形成されていることを特徴とする請求項１〜３の
いずれかに記載の製造装置。 - 【請求項５】 前記加熱領域は、形成すべき有機エレク
トロルミネッセンス素子に対応する複数の発熱体からな
るサーマルヘッドであることを特徴とする請求項２〜４
のいずれかに記載の製造装置。 - 【請求項６】 前記複数の発熱体が１次元的に配置され
ていることを特徴とする請求項５に記載の製造装置。 - 【請求項７】 前記複数の発熱体が２次元的に配置され
ていることを特徴とする請求項５に記載の製造装置。 - 【請求項８】 前記複数の発熱体が、形成すべき有機エ
レクトロルミネッセンス素子に一対一に対応することを
特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載の製造装置。 - 【請求項９】 前記複数の発熱体及び形成すべき有機エ
レクトロルミネッセンス素子の画素ピッチが同一である
ことを特徴とする請求項８に記載の製造装置。 - 【請求項１０】 前記複数の発熱体のピッチが、形成す
べき有機エレクトロルミネッセンス素子の画素ピッチの
整数倍であることを特徴とする請求項８に記載の製造装
置。 - 【請求項１１】 前記複数の発熱体がそれぞれ突出部に
設けられていることを特徴とする請求項５〜１０のいず
れかに記載の製造装置。 - 【請求項１２】 前記複数の発熱体に接続されかつ蒸着
材料を蒸発させるために前記発熱体を選択的に通電して
加熱できる電力装置を備えることを特徴とする請求項５
〜１１のいずれかに記載の製造装置。 - 【請求項１３】 前記発熱体に接続され前記発熱体の温
度を制御する温度制御部を有することを特徴とする請求
項１２に記載の製造装置。 - 【請求項１４】 前記発熱体の温度を検出する温度検出
部を有し、前記温度制御部は検出された温度に応じて前
記発熱体の温度を制御することを特徴とする請求項１３
に記載の製造装置。 - 【請求項１５】 前記温度制御部は前記複数の発熱体の
温度が均一になるように制御することを特徴とする請求
項１３又は１４に記載の製造装置。 - 【請求項１６】 前記温度制御部が前記複数の発熱体の
温度を個別に異なるように制御することを特徴とする請
求項１３又は１４に記載の製造装置。 - 【請求項１７】 前記加熱領域は、形成すべき有機エレ
クトロルミネッセンス素子に対応する１つの発熱体から
なることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の
製造装置。 - 【請求項１８】 前記発熱体に接続されかつ蒸着材料を
蒸発させるために前記発熱体に通電して加熱できる電力
装置を備えることを特徴とする請求項１７に記載の製造
装置。 - 【請求項１９】 前記発熱体に接続され前記発熱体の温
度を制御する温度制御部を有することを特徴とする請求
項１８に記載の製造装置。 - 【請求項２０】 前記発熱体の温度を検出する温度検出
部を有し、前記温度制御部は検出された温度に応じて前
記発熱体の温度を制御することを特徴とする請求項１９
に記載の製造装置。 - 【請求項２１】 前記発熱体は重力方向において前記基
板の下に配置されることを特徴とする請求項１〜２０の
いずれかに記載の製造装置。 - 【請求項２２】 前記発熱体及び前記基板を相対的に平
行に移動せしめる並進駆動装置を備えることを特徴とす
る請求項１〜２１のいずれかに記載の製造装置。 - 【請求項２３】 前記発熱体を複数備えることを特徴と
する請求項１〜２２のいずれかに記載の製造装置。 - 【請求項２４】 前記支持機構が前記基板上に設けられ
ている支持部材を含むことを特徴とする請求項１〜２３
のいずれかに記載の製造装置。 - 【請求項２５】 前記基板と前記蒸着材料シートとの間
に配置されかつ形成すべき有機エレクトロルミネッセン
ス素子に対応する複数の開口が形成された金属マスクを
有することを特徴とする請求項１〜２４のいずれかに記
載の製造装置。 - 【請求項２６】 前記蒸着材料が有機材料又は電極材料
であることを特徴とする請求項１〜２５のいずれかに記
載の製造装置。 - 【請求項２７】 各々が一対の電極間に挟持された発光
層を含む少なくとも１つの有機層からなる複数の有機エ
レクトロルミネッセンス素子を基板上に配列した有機エ
レクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法であっ
て、 一方の主面に蒸着材料の薄膜が成膜された耐熱シートか
らなる蒸着材料シートの他方の主面を、基板上に形成す
べき複数の有機エレクトロルミネッセンス素子からなる
表示領域の少なくとも一部に対応する加熱領域を有する
発熱体に、接触させるともに、前記蒸着材料シートの前
記薄膜と前記基板とを離間して対峙せしめ、前記加熱領
域に通電し加熱して、前記蒸着材料を蒸発させ前記基板
に成膜することを特徴とする有機エレクトロルミネッセ
ンス表示パネルの製造方法。 - 【請求項２８】 前記加熱領域は前記表示領域を略全体
を覆う面積を有することを特徴とする請求項２７に記載
の製造方法。 - 【請求項２９】 前記加熱領域は前記表示領域の幅より
も狭くかつ前記表示領域の一部に渡って伸長し、その面
積が前記表示領域の面積より小であり、前記基板に前記
蒸着材料を部分的に成膜する工程を繰り返すことを特徴
とする請求項２７記載の製造方法。 - 【請求項３０】 前記加熱領域は、形成すべき有機エレ
クトロルミネッセンス素子に対応する複数の発熱体から
なることを特徴とする請求項２８又は２９に記載の製造
方法。 - 【請求項３１】 前記発熱体が１次元的に配置されてい
ることを特徴とする請求項３０に記載の製造方法。 - 【請求項３２】 前記発熱体が２次元的に配置されてい
ることを特徴とする請求項３０に記載の製造方法。 - 【請求項３３】 前記発熱体が、形成すべき有機エレク
トロルミネッセンス素子に一対一に対応することを特徴
とする請求項３０〜３２のいずれかに記載の製造方法。 - 【請求項３４】 前記発熱体及び形成すべき有機エレク
トロルミネッセンス素子の画素ピッチが同一であること
を特徴とする請求項３３に記載の製造方法。 - 【請求項３５】 前記発熱体のピッチが、形成すべき有
機エレクトロルミネッセンス素子の画素ピッチの整数倍
であることを特徴とする請求項３３に記載の製造方法。 - 【請求項３６】 前記発熱体が突出部に設けられている
ことを特徴とする請求項３０〜３５のいずれかに記載の
製造方法。 - 【請求項３７】 蒸着材料を蒸発させるために前記発熱
体を選択的に通電して加熱することを特徴とする請求項
３０〜３６のいずれかに記載の製造方法。 - 【請求項３８】 前記発熱体の温度を検出し、検出され
た温度に応じて前記発熱体の温度を制御することを特徴
とする請求項３７に記載の製造方法。 - 【請求項３９】 前記発熱体の温度を均一になるように
制御することを特徴とする請求項３０〜３７のいずれか
に記載の製造方法。 - 【請求項４０】 前記発熱体の温度を個別に異なるよう
に制御することを特徴とする請求項３０〜３７のいずれ
かに記載の製造方法。 - 【請求項４１】 前記加熱領域は、形成すべき有機エレ
クトロルミネッセンス素子に対応する１つの発熱体から
なることを特徴とする請求項２８又は２９に記載の製造
方法。 - 【請求項４２】 蒸着材料を蒸発させるために前記発熱
体に通電して加熱することを特徴とする請求項４１に記
載の製造方法。 - 【請求項４３】 前記発熱体の温度を検出し、検出され
た温度に応じて前記発熱体の温度を制御することを特徴
とする請求項４２に記載の製造方法。 - 【請求項４４】 前記発熱体は重力方向において前記基
板の下に配置されることを特徴とする請求項２７〜４３
のいずれかに記載の製造方法。 - 【請求項４５】 前記発熱体及び前記基板を相対的に平
行に移動せしめることを特徴とする請求項２７〜４４の
いずれかに記載の製造方法。 - 【請求項４６】 前記発熱体を複数備え、前記基板に前
記蒸着材料を部分的に成膜することを特徴とする請求項
２７〜４５のいずれかに記載の製造方法。 - 【請求項４７】 前記薄膜と前記基板とを離間せしめる
支持部材を前記基板上に設けることを特徴とする請求項
２７〜４６のいずれかに記載の製造方法。 - 【請求項４８】 形成すべき有機エレクトロルミネッセ
ンス素子に対応する複数の開口が形成された金属マスク
を前記基板と前記蒸着材料シートとの間に配置すること
を特徴とする請求項２７〜４７のいずれかに記載の製造
方法。 - 【請求項４９】 前記蒸着材料が有機材料又は電極材料
であることを特徴とする請求項２７〜４８のいずれかに
記載の製造方法。 - 【請求項５０】 前記蒸着材料を蒸発させ前記基板に成
膜する工程は、各発光色に共通した層厚の有機層を一括
して蒸着する工程と、発光色毎に異なる層厚の有機層を
蒸着する工程と、を含むことを特徴とする請求項２７〜
４９のいずれかに記載の製造方法。 - 【請求項５１】 前記蒸着材料を蒸発させ前記基板に成
膜する工程は、各発光色に共通した同一の有機材料から
なる有機層を一括して蒸着する工程と、発光色毎に異な
る有機材料からなる有機層を蒸着する工程と、を含むこ
とを特徴とする請求項２７〜５０のいずれかに記載の製
造方法。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP2002025691A JP4053302B2 (ja) | 2002-02-01 | 2002-02-01 | 有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造装置及び製造方法 |
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|---|---|
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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