JP2003218190A - 回転接続装置およびそれを用いた基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】長寿命で安価な電気的回転接続手段およびロー
タリジョイントを有する回転接続装置およびそれを用い
た基板処理装置を提供する。 【解決手段】この基板処理装置は、ウエハＷを挟持する
ための載置台３ａおよびカソードリング１７と、載置台
３ａに垂設された支軸３ｂとを含んでいる。支軸３ｂの
内部には縦流体供給路３ｃが形成されており、支軸３ｂ
の載置台３ａとは反対側の端部には、ロータリジョイン
ト４が取り付けられている。支軸３ｂの側方には、一端
にスリップリング９が取り付けられた回転軸１６が配さ
れている。支軸３ｂには導電性を有する第１プーリ１４
が取り付けられており、回転軸１６には導電性を有する
第２プーリ１８が取り付けられている。第１プーリ１４
および第２プーリ１８には、導電性を有するベルト１９
が張設されている。第２プーリ１８とスリップリング９
とは、電線２７により電気的に接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回転系と非回転系
との間に、流体の流路および導電経路を形成することが
できる回転接続装置およびそれを用いた基板処理装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、半導体基板（以下、単に「ウ
エハ」という。）を保持してウエハ下面にめっき液を接
触させ、ウエハを回転させながら電解めっき処理を行う
ことができる基板処理装置がある。このような基板処理
装置において、ウエハ上面にめっき液が回り込むのを防
止するために、ウエハ上面周縁部に純水を流すことがで
きるように構成されたものがある。この場合、基板処理
装置は、ウエハを保持して回転するウエハ保持回転部と
非回転系にある電源および純水源との間に、導電経路お
よび純水の流路を形成する回転接続装置を備えている必
要がある。

【０００３】図２は、ウエハ下面にめっき処理を施すこ
とができる従来の基板処理装置の一部を示す図解的な断
面図である。この基板処理装置は、ウエハＷを保持して
回転させるウエハ保持回転部３１と、ウエハ保持回転部
３１の下方に配され、めっき液を収容するめっき槽（図
示せず）とを含んでいる。ウエハ保持回転部３１は、回
転管３７、回転管３７の下端に垂直に設けられた円板状
の支持板３７ａ、支持板３７ａの周縁部から下方に延び
る複数の支柱３５、および支柱３５の先端に取り付けら
れた環状のカソードリング４７を備えている。カソード
リング４７は内方に突出した当接部４７ａを有してい
る。当接部４７ａの内径はウエハＷの径よりわずかに小
さい。

【０００４】回転管３７の内部には、サセプタ３３が配
備されている。サセプタ３３は、支軸３３ｂおよび支軸
３３ｂの下端に取り付けられた円板状の載置台３３ａを
含んでおり、支軸３３ｂは、ボールスプライン４５を介
して回転管３７に支持されている。これにより、サセプ
タ３３は回転管３７の軸に沿って昇降可能になっている
とともに、回転管３７からの回転力が伝達されるように
なっている。載置台３３ａの径は、保持するウエハＷの
径よりわずかに小さい。このような構成により、載置台
３３ａと当接部４７ａとでウエハＷの周縁部を挟持する
ことができる。支軸３３ｂの長さは回転管３７の長さよ
り長く、支軸３３ｂの上端は回転管３７の上端より突出
している。

【０００５】回転管３７はアーム４０を貫通して配され
ており、ベアリング４２を介してアーム４０に回転自在
に支持されている。また、回転管３７は回転駆動機構４
１からの回転駆動力により回転できるようになってい
る。回転駆動機構４１からの回転駆動力は、ボールスプ
ライン４５を介してサセプタ３３へも伝えられる。回転
管３７およびカソードリング４７の肉厚内には、カソー
ド用電線３６が配設されており、カソード用電線３６の
カソードリング４７側の端部には、カソード電極３６ａ
が接続されている。カソード電極３６ａは、カソードリ
ング４７から内方に突出しており、ウエハＷの下面に接
触できるようになっている。

【０００６】回転管３７には、電気的回転接続手段とし
てスリップリング３９が嵌められていて、カソード用電
線３６のカソード電極３６ａ側とは反対側の端部は、ス
リップリング３９を介してめっき電源３２に接続されて
いる。これにより、回転管３７が回転していても、カソ
ード用電線３６と静止した（非回転系にある）めっき電
源３２との間に、導電経路を形成することができるよう
になっている。めっき電源３２は、めっき槽内に配置さ
れたアノード電極（図示せず。）にも接続されている。

【０００７】支軸３３ｂの中心軸に沿って縦流体供給路
３３ｃが形成されている。また、載置台３３ａの内部に
は、縦流体供給路３３ｃに連通し放射状に延びる複数の
横流体供給路３３ｄが形成されている。横流体供給路３
３ｄは、載置台３３ａの側面に開口している。支軸３３
ｂの上端は、ロータリジョイント３４を介して流体配管
３８に連通接続されている。流体配管３８には純水と窒
素ガスとを選択的に切り換えて供給できるようになって
いる。これにより、支軸３３ｂが回転管３７とともに回
転されても、縦流体供給路３３ｃと回転しない流体配管
３８との間に、純水または窒素ガスを流すことができる
ようになっている。

【０００８】載置台３３ａとカソードリング４７とに挟
持されたウエハＷを下降させてめっき槽に満たされため
っき液に接液して回転させ、カソード電極３６ａとめっ
き槽内のアノード電極との間に通電することにより、ウ
エハＷ下面に均一に電解めっきをすることができる。こ
のとき、流体配管３８から純水を供給すると、載置台３
３ａの側面の開口から純水が吐出され、ウエハＷ上面周
縁部を流れる。これにより、めっき液のウエハＷ上面へ
の回り込みを防止することができる。また、流体配管３
８から窒素ガスを供給して、純水で濡れたウエハＷ上面
周縁部を乾燥させることができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上の構成では、支軸
３３ｂの端部から純水および窒素ガスを導入するため
に、ロータリジョイント３４は支軸３３ｂの上端（載置
台３３ａ側とは逆側の端部）に取り付けられている。し
たがって、スリップリング３９は、貫通型のものを用い
て回転管３７（支軸３３ｂの途中）に取り付けなければ
ならない。回転管３７の内部には、ボールスプライン４
５を介して支軸３３ｂが配されているため、回転管３７
の径は大きくなり、それに応じてスリップリング３９の
内径も大きく（たとえば、３０ｍｍ）なる。

【００１０】ところが、スリップリング３９が摺動部を
有する摺動タイプの場合、スリップリング３９の内径が
大きくなると摺動部における周速が大きくなり、それに
伴って摩耗や発熱が大きくなりスリップリング３９の寿
命は短くなる。水銀等を介して回転部と非回転部との間
で電気的導通を得る無摺動タイプのスリップリングを用
いることが考えられるが、シールの困難さのために、貫
通型のものは入手が困難である。

【００１１】また、摺動タイプの場合でも、貫通型のス
リップリングは、特定の内径を有するものしか市販され
ておらず、これら特定の内径以外の内径を有するものを
入手しようとすると、特注となり高価格、長納期とな
る。また、貫通型のスリップリング３９を交換する際に
は、スリップリング３９より上方にあるすべての干渉部
材（たとえば、ロータリジョイント３４）を取り外さな
ければならなかった。このため、スリップリング３９の
交換が容易ではなかった。

【００１２】さらに、スリップリング３９とロータリジ
ョイント３４とは回転管３７（支軸３３ｂ）の軸方向に
沿って配されているので、回転管３７や支軸３３ｂが長
尺化してしまう。スリップリング３９を軸端部に取り付
けるタイプのものとし、ロータリジョイント３４を軸途
中に取り付けるタイプのものとしても同様の問題が生ず
る。そこで、この発明の目的は、長寿命で安価な電気的
回転接続手段およびロータリジョイントを有する回転接
続装置を提供することである。

【００１３】この発明の他の目的は、電気的回転接続手
段およびロータリジョイントの交換が容易な回転接続装
置を提供することである。この発明のさらに他の目的
は、回転軸に沿う方向に関して短尺化できる回転接続装
置を提供することである。この発明のさらに他の目的
は、長寿命で安価な電気的回転接続手段およびロータリ
ジョイントを有する回転接続装置を備えた基板処理装置
を提供することである。

【００１４】この発明のさらに他の目的は、電気的回転
接続手段およびロータリジョイントの交換が容易な回転
接続装置を備えた基板処理装置を提供することである。
この発明のさらに他の目的は、回転軸に沿う方向に関し
て短尺化できる回転接続装置を備えた基板処理装置を提
供することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段および発明の効果】上記の
課題を解決するための請求項１記載の発明は、軸方向に
延びる第１の導電経路（６）を有し、流体を流すことが
できる流体流路（３ｃ）が内部に形成された第１の回転
軸（３ｂ，７）と、軸方向に延びる第２の導電経路（２
７）を有する第２の回転軸（１６）と、上記第１の回転
軸と上記第２の回転軸との間で回転駆動力を伝え、か
つ、上記第１および第２の回転軸の間に導電経路を形成
する回転力伝達手段（１４，１８，１９）と、上記第１
の回転軸の一端に取り付けられたロータリジョイント
（４）と、上記第２の回転軸の一端に取り付けられ、上
記第２の導電経路に電気的に接続された電気的回転接続
手段（９）とを含むことを特徴とする回転接続装置であ
る。

【００１６】なお、括弧内の英数字は後述の実施形態に
おける対応構成要素等を表す。以下、この項において同
じ。この発明によれば、スリップリングなどの電気的回
転接続手段から、第２の導電経路および回転力伝達手段
を経て第１の導電経路に至る導電経路が形成される。こ
れにより、電気的回転接続手段に接続された非回転系に
ある電源等と第１の回転軸との間に導電経路を形成する
ことができる。また、ロータリジョイントを介して、非
回転系にある流体供給源などと第１の回転軸の流体流路
との間に流体を流すことができる。第１の回転軸は、た
とえば、回転駆動手段を直接第１の回転軸に接続して回
転させるように構成することができる。

【００１７】ロータリジョイントおよび電気的回転接続
手段は、ともに軸の端部に取り付けられている。このた
め、ロータリジョイントおよび電気的回転接続手段は、
ともに干渉物に阻害されることなく取り外しできるの
で、交換が容易である。また、電気的回転接続手段は貫
通型のものを用いる必要がなく、市販品として容易に入
手可能な摺動タイプのもの（スリップリング）または無
摺動タイプのもの（ロータリ・コネクタ）を用いること
ができる。したがって、ロータリジョイントのみなら
ず、電気的回転接続手段も長寿命で安価なものを用いる
ことができる。

【００１８】ロータリジョイントと電気的回転接続手段
とは、それぞれ、第１および第２の回転軸に配されてい
るので、各々の回転軸を短くすることができる。したが
って、このような回転接続装置は、回転軸に沿う方向に
関して短尺化できる。第１および第２の回転軸は、全体
が導電性を有して、それぞれ第１および第２の導電経路
を形成していてもよい。また、第１および第２の回転軸
は、非導電性の材料で構成された部分に、第１および第
２の導電経路をそれぞれ形成する導電性の材料で構成さ
れた部分が組み合わされたものであってもよい。回転力
伝達手段も、全体が導電性を有する必要はなく、非導電
性の部分を含んでいてもよい。

【００１９】第１の回転軸は単一の部材である必要はな
く、たとえば、径の大きい管の内部に径の小さな管が挿
通されているものであってもよく、内部の管が流体流路
を形成するものであってもよい。回転力伝達手段は、た
とえば、請求項２記載のように、上記第１の回転軸に取
り付けられ少なくとも一部が導電性を有する第１のプー
リ（１４）と、上記第２の回転軸に取り付けられ少なく
とも一部が導電性を有する第２のプーリ（１８）と、上
記第１および第２のプーリの間に張設され少なくとも一
部が導電性を有するベルト（１９）とを含むものとする
ことができる。

【００２０】充分高い張力でベルトを張設して、プーリ
とベルトとの間が滑らないようにすることにより、電気
的回転接続手段と第１の回転軸との間を流れる電流にノ
イズが入らないようにすることができる。また、回転力
伝達手段は、たとえば請求項３記載のように、上記第１
および第２の回転軸にそれぞれ取り付けられ少なくとも
一部が導電性を有する歯車を含むものとすることができ
る。

【００２１】第１の回転軸に取り付けられた歯車と第２
の回転軸に取り付けられた歯車とを噛合させることによ
り、第１および第２の回転軸の間で、回転駆動力を伝
え、かつ、導電経路を形成することができる。歯車は、
平歯車やはすば歯車であってもよい。これらの場合、第
１の回転軸と第２の回転軸とは、平行にすることができ
る。歯車はかさ歯車であってもよい。この場合、第１の
回転軸と第２の回転軸とは、直交または斜行するように
することができる。また、歯車の一方はシザーズギアで
あってもよい。この場合、他方の歯車とシザーズギアと
は回転中に確実に接触するので、歯車を介して流れる電
流にノイズが入らないようにすることができる。

【００２２】第１の回転軸に取り付けられた歯車と第２
の回転軸に取り付けられた歯車との間に、１つまたは複
数の歯車が介されていてもよい。請求項４記載の発明
は、請求項１ないし３のいずれかに記載の回転接続装置
と、上記第１の回転軸の上記一端とは反対側の端部に取
り付けられ、基板を保持することができる基板保持部
（３ａ，１７）とを含むことを特徴とする基板処理装置
である。

【００２３】基板保持部材には、第１の導電経路と電気
的に接続され、保持された基板に接触可能な第１の電極
（たとえば、カソード電極）が設けられていてもよい。
この基板処理装置は、めっき液を収容することができ内
部に第２の電極（たとえば、アノード電極）が配された
めっき槽をさらに含んでいてもよい。この場合、基板の
下面にめっき液を接液して、基板を回転させながら第１
および第２の電極の間に通電することにより、基板下面
に電解めっきを施すことができる。このとき、第１の回
転軸の流体流路を介して基板上面周縁部に純水を供給す
ることにより、めっき液が基板上面に回り込むことを防
止することができる。さらに、第１の回転軸の流体流路
を介して窒素ガスなどを供給して、水に濡れた基板周縁
部を乾燥させることもできる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下では、添付図面を参照して、
本発明の実施の形態について詳細に説明する。図１は、
本発明の一実施形態に係る基板処理装置の構成を示す図
解的な断面図である。この基板処理装置は、電解めっき
によりウエハＷの下面にめっきするためのもので、ウエ
ハＷを保持して回転させるウエハ保持回転部１と、ウエ
ハＷにめっき処理を施すめっき処理部２１とを含んでい
る。

【００２５】ウエハ保持回転部１は、回転管７、回転管
７の一方端に垂直に固定された円板状の支持板７ａ、支
持板７ａの周縁部から回転管７側とは反対側に延びた複
数の支柱５、および支柱５の先端に取り付けられた環状
のカソードリング１７を備えている。回転管７はアーム
１０を貫通して配されており、ベアリング１０ａを介し
てアーム１０に回転自在に支持されている。また、回転
管７は回転駆動機構１１から回転駆動力を伝えられて回
転できるようになっている。

【００２６】カソードリング１７は内方に突出した当接
部１７ａを有している。当接部１７ａの内径は、ウエハ
Ｗの径よりわずかに小さい。カソードリング１７には、
カソードリング１７の中心側から外周側に至る複数の流
体排出孔１７ｂが形成されている。流体排出孔１７ｂ
は、回転管７の軸方向に関して当接部１７ａよりわずか
に回転管７側に向かった位置に形成されている。回転管
７の内部には、サセプタ３が配備されている。サセプタ
３は、支軸３ｂおよび支軸３ｂの端部に取り付けられた
円板状の載置台３ａを含んでおり、載置台３ａは複数の
支柱５に取り囲まれるように配置されている。支軸３ｂ
は、ボールスプライン１５を介して回転管７に支持され
ている。これにより、サセプタ３は回転管７の軸に沿っ
て昇降可能になっている。また、回転駆動機構１１から
の回転駆動力は、回転管７およびボールスプライン１５
を介して、サセプタ３へも伝えられる。支軸３ｂの長さ
は回転管７の長さより長く、支軸３ｂは回転管７の端部
から突出している。載置台３ａの径は、ウエハＷの径よ
りわずかに小さい。

【００２７】支軸３ｂはベアリング２ａを介してアーム
２に回転自在に支持されている。アーム２は、支軸３ｂ
に平行な方向に伸縮可能なエアシリンダ１３を介して、
アーム１０に接続されている。エアシリンダ１３を伸縮
させることにより、支軸３ｂが軸方向に移動され、当接
部１７ａに対して載置台３ａを近接させたり離間させた
りすることができる。これにより、載置台３ａと当接部
１７ａとでウエハＷの周縁部を挟持することができる。
載置台３ａと当接部１７ａとに挟持されたウエハＷは、
回転駆動機構１１からの回転駆動力により回転させるこ
とができる。

【００２８】回転管７およびカソードリング１７の肉厚
内には、カソード用電線６が配設されており、カソード
用電線６のカソードリング１７側の端部には、カソード
電極６ａが接続されている。カソード電極６ａは、カソ
ードリング１７から内方に突出しており、載置台３ａと
当接部１７ａとに挟持されたウエハＷの当接部１７ａ側
に接触できるようになっている。支軸３ｂの回転管７か
ら突出した部分（載置台３ａとは反対側の部分）には、
導電性を有する第１プーリ１４が嵌められている。第１
プーリ１４の側面は、側方に膨らむように曲面加工（ク
ラウン加工）されている。カソード用電線６のカソード
電極６ａ側とは反対側の端部は、第１プーリ１４に電気
的に接続されている。

【００２９】支軸３ｂの中心軸に沿って縦流体供給路３
ｃが形成されている。また、載置台３ａの内部には縦流
体供給路３ｃに連通し放射状に延びる複数の横流体供給
路３ｄが形成されている。横流体供給路３ｄは、載置台
３ａの側面に開口している。支軸３ｂの載置台３ａとは
反対側の端部には、ロータリジョイント４を介して流体
配管８が連通接続されている。流体配管８には純水と窒
素ガスとを選択的に切り換えて供給することができるよ
うになっている。これにより、支軸３ｂが回転管７とと
もに回転されていても、縦流体供給路３ｃと回転しない
流体配管８との間に、純水または窒素ガスを流すことが
できるようになっている。

【００３０】支軸３ｂが回転管７から突出している部分
（第１プーリ１４が嵌められている側）の側方には、支
軸３ｂと平行に回転軸１６が配されている。回転軸１６
は、ベアリング２ｂを介してアーム２に回転自在に支持
されており、エアシリンダ１３により支軸３ｂとともに
上下動できる。回転軸１６は、アーム１０を貫通してお
らず、アーム１０の一方側に配置されている。回転軸１
６には、導電性を有する第２プーリ１８が嵌められてい
る。第２プーリ１８の側面も、クラウン加工が施されて
いる。第１プーリ１４と第２プーリ１８との間には、導
電性を有するベルト１９が張設されている。ベルト１９
は、たとえば、ステンレス製のベルトの表面に抵抗値低
減のため銅テープを巻いたものを用いることができる。

【００３１】回転軸１６のアーム１０とは反対側の端部
には、スリップリング９が取り付けられている。スリッ
プリング９は無摺動タイプであり、回転部と非回転部と
の間は水銀により電気的に接続されている。回転軸１６
の内部には電線２７が配設されており、第２プーリ１８
とスリップリング９とは電線２７により電気的に接続さ
れている。以上のように、この基板処理装置は、回転系
にあるウエハＷと、非回転系にある電源および純水源ま
たは窒素ガス源との間に、導電経路および流体の流路を
形成する回転接続装置を有している。

【００３２】めっき処理部２１は、中央部に配されため
っき槽２２と、めっき槽２２の周囲に配された第１回収
槽２３、および第１回収槽２３の周囲に配された第２回
収槽２８を含んでいる。めっき槽２２内の底面中央部に
はめっき液供給配管２４が接続されており、第１回収槽
２３の底面にはめっき液排出配管２５が接続されてい
る。めっき液排出配管２５とめっき液供給配管２４とは
ポンプＰを介して接続されており、第１回収槽２３から
のめっき液をめっき槽２２へ供給することができるよう
になっている。めっき槽２２の底部近傍には、環状のア
ノード電極２６が配されている。アノード電極２６は、
めっき電源１２に接続されている。

【００３３】めっき処理時には、ポンプＰを作動させ、
めっき液がめっき槽２２から第１回収槽２３へと溢れ、
めっき液排出配管２５およびめっき液供給配管２４を経
て第１回収槽２３に戻るように循環させる。これによ
り、めっき槽２２にはめっき液が満たされた状態とな
る。そして、載置台３ａとカソードリング１７とに挟持
されたウエハＷを、下降させてめっき槽２２に満たされ
ためっき液に接液して回転させ、カソード電極６ａとア
ノード電極２６との間に通電することにより、ウエハＷ
下面に均一にめっきすることができる。

【００３４】このとき、流体配管８から純水を供給する
と、載置台３ａの側面の開口から純水が吐出され、ウエ
ハＷ上面周縁部を流れる。これにより、めっき液の上面
への回り込みを防止することができる。ウエハＷ上面を
流れた水は、遠心力によりカソードリング１７の流体排
出孔１７ｂより側方へと飛び出し第２回収槽２８へと回
収される。第２回収槽２８に回収された水は、ドレイン
され廃棄される。また、めっき処理終了後、流体配管８
から窒素ガスを供給して、純水で濡れたウエハＷ上面周
縁部を乾燥させることができる。

【００３５】以上の基板処理装置において、ロータリジ
ョイント４およびスリップリング９は、ともに軸３ｂ，
１６の端部に取り付けられている。このため、ロータリ
ジョイント４およびスリップリング９は、干渉物に阻害
されることなく取り外しを行うことができるので、交換
が容易である。また、スリップリング９は貫通型のもの
を用いる必要がなく、上述の実施形態のように市販品と
して容易に入手可能な無摺動タイプのものを用いること
ができる。したがって、ロータリジョイント４のみなら
ず、スリップリング９も長寿命で安価なものを用いるこ
とができる。

【００３６】ロータリジョイント４とスリップリング９
とは、１つの軸上ではなく、それぞれ支軸３ｂおよび回
転軸１６に配されているので、支軸３ｂおよび回転軸１
６を短くすることができる。したがって、ウエハ保持回
転部１は、支軸３ｂに沿う方向に関して短尺化できる。
第１プーリ１４は、回転管７に取り付けられていてもよ
い。この場合、サセプタ３は、ボールスプライン１５を
介して回転管７から回転力を得て回転することができ
る。

【００３７】なお、ベルト１９を廃して、第１プーリ１
４と第２プーリ１８とを直接接触させて、回転駆動力を
伝達し電気的接続を得るようにしてもよい。第１プーリ
１４、第２プーリ１８およびベルト１９を廃して、代わ
りに、支軸３ｂ（回転管７）および回転軸１６に、それ
ぞれ導電性を有する歯車を取り付けてもよい。支軸３ｂ
（回転管７）に取り付けられた歯車と回転軸１６に取り
付けられた歯車とを噛合させることにより、支軸３ｂ
（回転管７）および回転軸１６の間で回転駆動力および
電気を伝えることができる。

【００３８】歯車は、平歯車やはすば歯車であってもよ
い。これらの場合、支軸３ｂ（回転管７）と回転軸１６
とは、平行にすることができる。歯車はかさ歯車であっ
てもよい。この場合、支軸３ｂ（回転管７）と回転軸１
６とは、直交または斜行するようにすることができる。
歯車の一方は、シザーズギアであってもよい。この場
合、他方の歯車とシザーズギアとは回転中に確実に接触
するので、歯車を介して流れる電流にノイズが入らない
ようにすることができる。その他、実質的に摺動部がな
い様々な回転力伝達手段を用いることができる。

【００３９】回転駆動機構１１は、回転管７ではなく回
転軸１６に接続されていてもよい。この場合、回転駆動
機構１１からの回転駆動力は、回転軸１６、第２プーリ
１８、ベルト１９、および第１プーリ１４を介して、支
軸３ｂおよび回転管７に伝えられる。この場合、回転力
伝達手段を歯車とすることにより、回転駆動力を確実に
伝えることができる。支軸３ｂ（回転管７）に取り付け
られた歯車と回転軸１６に取り付けられた歯車との間
に、１つまたは複数のアイドル歯車が介されていてもよ
い。

【００４０】このような回転接続装置は、たとえば、基
板を加熱しながら回転させ、同時に基板に流体を供給す
る基板処理装置にも応用することができる。この場合、
基板を保持して回転する基板保持回転部に基板加熱用の
ヒータを配し、上記の実施形態と同様の方法により、ヒ
ータと非回転系にある電源との間を電気的に接続するこ
とができる。この場合、スリップリング９は２極タイプ
のものを用いることができる。

【００４１】その他、特許請求の範囲に記載された事項
の範囲で種々の変更を施すことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の構成
を示す図解的な断面図である。

【図２】ウエハ下面にめっき処理を施すことができる従
来の基板処理装置の一部を示す図解的な断面図である。

【符号の説明】

３ サセプタ ３ａ 載置台 ３ｂ 支軸 ３ｃ 縦流体供給路 ３ｄ 横流体供給路 ４ ロータリジョイント ６ カソード用電線 ７ 回転管 ９ スリップリング １４ 第１プーリ １６ 回転軸 １７ カソードリング １７ａ 当接部 １８ 第２プーリ １９ ベルト ２７ 電線 Ｗ 半導体基板

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】軸方向に延びる第１の導電経路を有し、流
   体を流すことができる流体流路が内部に形成された第１
   の回転軸と、 軸方向に延びる第２の導電経路を有する第２の回転軸
   と、 上記第１の回転軸と上記第２の回転軸との間で回転駆動
   力を伝え、かつ、上記第１および第２の回転軸の間に導
   電経路を形成する回転力伝達手段と、 上記第１の回転軸の一端に取り付けられたロータリジョ
   イントと、 上記第２の回転軸の一端に取り付けられ、上記第２の導
   電経路に電気的に接続された電気的回転接続手段とを含
   むことを特徴とする回転接続装置。
2. 【請求項２】上記回転力伝達手段が、上記第１の回転軸
   に取り付けられ少なくとも一部が導電性を有する第１の
   プーリと、上記第２の回転軸に取り付けられ少なくとも
   一部が導電性を有する第２のプーリと、上記第１および
   第２のプーリの間に張設され少なくとも一部が導電性を
   有するベルトとを含むことを特徴とする請求項１記載の
   回転接続装置。
3. 【請求項３】上記回転力伝達手段が、上記第１および第
   ２の回転軸にそれぞれ取り付けられ少なくとも一部が導
   電性を有する歯車を含むことを特徴とする請求項１記載
   の回転接続装置。
4. 【請求項４】請求項１ないし３のいずれかに記載の回転
   接続装置と、 上記第１の回転軸の上記一端とは反対側の端部に取り付
   けられ、基板を保持することができる基板保持部とを含
   むことを特徴とする基板処理装置。