JP2003214896A - 回転角度センサ - Google Patents

回転角度センサ

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JP2003214896A JP2002012220A JP2002012220A JP2003214896A JP 2003214896 A JP2003214896 A JP 2003214896A JP 2002012220 A JP2002012220 A JP 2002012220A JP 2002012220 A JP2002012220 A JP 2002012220A JP 2003214896 A JP2003214896 A JP 2003214896A
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康人 菅野
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 軸ずれによる角度誤差を小さくすることがで
きる回転角度センサを提供する。 【解決手段】 変形ベアリング302の内輪はテーパ状
に形成されている。この内輪に固定された回転軸300
と共に磁石304が回転すると、磁石304の円周直下
に近接させて配置された磁気センサ310から、角度変
化に対応した出力が得られる。図面上方から下方に向か
って重力がかかるように回転角度センサを配置すると、
回転軸300および磁石304の自重により、変形ベア
リング302の内輪が外輪の内側側面に向けて転動体を
押し付ける力が働く。このため、回転軸300が横方向
の力による影響を受けにくくなり、回転軸の横ずれによ
る角度測定の誤差を小さくすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転角度センサに
関し、より詳細には、磁気センサを用いて非接触方式で
角度を検出する回転角度センサに関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、この種の角度センサとして
は、磁気回路を構成するN極とS極の磁石を有する回転
体と、磁気の強さを検出する磁気センサとを組み合せ、
この回転体を磁気センサに対して回転させることにより
回転角度を検出するという構成のものが数多く、例えば
自動車エンジンや、DCモータ等の種々の分野で利用さ
れている。特に、その磁気センサとしてホール素子を使
用し、これに高精度な磁気回路と組み合せることで、回
転体の回転角度に対するアナログ信号を出力できるよう
に構成した非接触方式の角度センサが知られている。例
えば、特開平11−295022号公報、および特開平
8−35809号公報等の文献には、そのような角度セ
ンサが開示されている。
【0003】図1は、従来の回転角度センサの構成を示
す断面図である。図1に示すように、回転角度センサ
は、裏蓋112、回路基板114、磁気センサ110、
ケース本体108、ベアリング102、回転軸100、
磁石104および上蓋106から構成されている。
【0004】円柱型の磁石104は、ベアリング102
により回転可能に支持された回転軸100の端部に固定
されている。ベアリング102は、図2に示すように、
円筒型の内輪118および外輪116との間に複数の玉
122が配置されている。複数の玉122は、所定間隔
が保たれている。このベアリング102は、磁石104
および磁気センサ110を覆うケース本体108に固定
されている。
【0005】磁石104の底面から一定間隔をおいて配
置された回路基板114は、磁気センサ110からの出
力に基づいて磁石104の回転角度を計算するために用
いられる。回路基板114上の回路の構成要素である磁
気センサ110はホール素子からなり、磁気を検出する
ことができる面(以下、「感磁面」という)が円柱型磁
石104の側面に近接している。
【0006】更に、ケース本体108には、図面上側に
上蓋106が、図面下側に裏蓋112が取り付けられて
おり、これにより磁石104,磁気センサ110および
回路基板114が遮蔽されている。
【0007】このようにして、ベアリング102により
支持された回転軸100と共に磁石104が回転する
と、磁石104の側面に近接させて配置された磁気セン
サ110から、磁石104の角度変化に対応した出力が
得られる。回路基板114は、磁気センサ110からの
出力値に基づいて磁石104の回転角度を求めることが
できる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の角度センサは、回転角度センサの回転軸
に横方向の力が加わることにより軸ずれが生じる場合が
ある。そして、この軸ずれにより角度誤差が生じるた
め、回転角度センサの取り付け時に高精度な位置合わせ
が必要であるという問題があった。
【0009】また、同様の理由により、回転角度センサ
の取り付け後に回転軸に横方向の圧力が生じないように
するなど、回転角度センサを使用する機械全体の設計が
困難になるという問題があった。
【0010】更に、上述したような従来の角度センサ
は、磁石および磁気センサの空間的な配置の制約によ
り、全体の小型化が困難である。特に、安定した磁気回
路を構成するには、適度な磁石および磁気回路に一定の
厚みが必要となるため、センサの薄型化に制限があると
いう問題があった。
【0011】本発明は、上記の問題に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、軸ずれによる角度
誤差を小さくすることができる回転角度センサを提供す
ることにある。
【0012】また、本発明の別の目的は、センサ全体の
サイズをより小さくし、かつ性能の安定性が良い回転角
度センサを提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、請求項1に記載の発明は、回転軸の端部に取
り付けられ、前記回転軸と共に回転する磁石と、磁界の
強さを検知して、前記磁石の回転角度に応じた値を出力
する磁気センサとを備えた回転角度センサであって、前
記回転軸は、テーパ状に形成された内輪と、該内輪の外
側面に平行な内側面を有する外輪との間に、複数の転動
体が回転自在に配置された回転支持機構により回転可能
に支持されていることを特徴とする。
【0014】また、請求項2に記載の発明は、請求項1
に記載の回転角度センサにおいて、前記磁気センサは、
前記磁石の底面の円周付近に配置されていることを特徴
とする。
【0015】また、請求項3に記載の発明は、請求項1
または2に記載の回転角度センサにおいて、前記磁石を
基点として前記回転支持機構のない側に、板状に形成さ
れた第1の磁性体が配置されていることを特徴とする。
【0016】また、請求項4に記載の発明は、請求項3
に記載の回転角度センサにおいて、前記磁気センサは、
前記磁石と前記第1の磁性体との間に配置されているこ
とを特徴とする。
【0017】また、請求項5に記載の発明は、請求項3
または4に記載の回転角度センサにおいて、前記内輪は
前記回転軸と一体として形成され、前記磁石および前記
磁気センサは外装部により覆われており、前記外輪は前
記外装部と一体として形成されていることを特徴とす
る。
【0018】また、請求項6に記載の発明は、請求項5
に記載の回転角度センサにおいて、前記前記磁気センサ
は、前記外装部に実装されていることを特徴とする。
【0019】また、請求項7に記載の発明は、請求項3
〜6のいずれかに記載の回転角度センサにおいて、前記
外装部および前記内輪に、前記磁石および前記磁気セン
サを囲む第2の磁性体を更に配置したことを特徴とす
る。
【0020】更に、請求項8に記載の発明は、請求項7
に記載の回転角度センサにおいて、前記第2の磁性体
は、前記第1の磁性体による前記磁石の吸引力を阻害し
ないことを特徴とする。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
【0022】(第1実施形態)図3は、本発明の第1実
施形態に係る回転角度センサの構成を示す断面図であ
る。本図に示すように、回転角度センサは、裏蓋31
2、回路基板314、磁気センサ310、ケース本体3
08、変形ベアリング302、回転軸300、磁石30
4および上蓋306から構成されている。
【0023】円柱型の磁石304は、変形ベアリング3
02により回転可能に支持された回転軸300の端部に
固定されている。
【0024】図4は、図3に示す変形ベアリングおよび
回転軸の断面を示す図である。変形ベアリング302
は、テーパ状に形成された内輪318と、内輪318の
外側面に平行な内側面を有する外輪316との間に、複
数の転動体322が両者に対して回転自在に配置された
回転支持機構である。
【0025】内輪318は、図面上方に向かってテーパ
角度が広がるように配置されている。テーパ角度は、5
〜30度の範囲で、より好ましくは10〜20度の範囲
とする。この内輪318に、回転軸300が固定されて
いる。
【0026】複数の転動体322は、玉、ニードルおよ
びころ等が使用され、保持器320により所定間隔が保
たれている。外輪316は、磁石304と磁気センサ3
10とを覆うケース本体308に固定されている。
【0027】磁石304の底面から一定間隔をおいて配
置された回路基板314は、磁気センサ310からの出
力に基づいて磁石304の回転角度を計算するために用
いられる。回路基板314上の回路の構成要素である磁
気センサ310はホール素子からなり、磁石304の底
面の円周付近に配置されている。ここで、磁気センサ3
10の感磁面は磁石304の底面と平行になっている。
【0028】更に、ケース本体308には、図面上側に
上蓋306が、図面下側に裏蓋312が取り付けられて
おり、これにより磁石304,磁気センサ310および
回路基板314が遮蔽されている。
【0029】このようにして、変形ベアリング302に
より支持された回転軸300と共に磁石304が回転す
ると、磁石304の底面の円周付近に配置された磁気セ
ンサ310から、磁石304の角度変化に対応した出力
が得られる。回路基板314は、磁気センサ310から
の出力値に基づいて磁石304の回転角度を求める。
【0030】図4に示す変形ベアリングの場合、図面上
方から下方に向かって重力がかかるように回転角度セン
サを配置すると、回転軸300および磁石304の自重
により、内輪318が外輪316の内側側面に向けて転
動体322を押し付ける力が働く。このため、回転軸3
00が横方向の力による影響を受けにくくなるので、回
転軸の横ずれによる角度測定の誤差を小さくすることが
できる。
【0031】また、磁気センサ310を、その感磁面が
磁石304の底面と平行となるように、かつ磁石304
の底面の円周付近に配置したので、円柱型磁石304の
厚みhは回転角度の測定精度と無関係になり、より薄い
磁石を用いることができる。
【0032】なお、内輪318のテーパ角度の大きさお
よび向きは必ずしも図3に示すものに限定されるもので
はなく、例えば、テーパ角度を逆向き、すなわちテーパ
角度が図面下方に広がるように配置してもよい。この場
合、図面下方から上方に向かって重力がかかるように回
転角度センサを配置して回転角度を測定することによ
り、上述と同様の効果を得ることができる。
【0033】また、内輪318が外輪316を押し付け
る力は、磁石304および回転軸300の自重以外に、
上蓋306と回転軸300との間にバネ等を挿入して生
じさせてもよく、磁石304と磁性体との間の吸引力、
あるいは磁石同士の反発力を用いてもよい。
【0034】(第2実施形態)図5は、本発明の第2実
施形態に係る回転角度センサの構成を示す断面図であ
る。全体的な構成は上述の第1実施形態とほぼ同様であ
り、変形ベアリング302の構成も図4に示したものと
同一である。但し、本図に示す例では、円板状の磁性体
315が配置されている点において、上述の実施形態と
異なっている。
【0035】磁性体315は、回路基板314上に、す
なわち磁石304を基点として、変形ベアリング302
のない側に配置されている。磁気センサ310は磁石3
04と磁性体315との間に設けられて、磁石304の
底面の円周付近に配置されている。
【0036】このような構成により、磁性体315の吸
引力により磁石304を引き付けられ、内輪318が外
輪316の内側側面に向けて転動体322を押し付ける
力は図3に示す場合よりも大きく働く。このため、回転
軸300が横方向の力による影響をより受けにくくな
り、横ずれに対して強い回転角の測定が実現される。ま
た、本実施形態による回転角度センサは、第1実施形態
と異なり、どのような向きに配置しても横ずれに強い回
転角度測定を実現することができる。
【0037】更に、磁石304の底面側に磁気センサを
挟んで磁性体を配置することで、磁気収束効果により磁
気センサ周辺部の磁束密度が高くなる。これにより、磁
気センサ310の出力が大きくなり、センサ出力のS/
N比が向上する。結果として、測定精度の高い回転角度
測定が実現できる。
【0038】なお、本実施形態では、磁性体315が回
路基板314と磁石304との間に配置されている場合
を例に挙げて説明したが、磁性体315の位置は回路基
板314を基点として磁石304のない側に配置しても
よいことはいうまでもない。
【0039】(第3実施形態)図6は、本発明の第3実
施形態に係る回転角度センサの構成を示す断面図であ
る。本図に示す例では、ベアリングの内輪が回転軸60
0と一体として形成されており、磁石604がベアリン
グの内輪に固定されている。また、ベアリングの外輪
が、磁石604および磁気センサ610を覆う外装部で
あるケース本体608と一体として形成されている。
【0040】そして、テーパ状に形成された回転軸60
0端部と、内側側面が該端部の側面に平行なケース本体
との間に、複数の転動体622が配置されて構成されて
いる。複数の転動体622は、保持器622により所定
間隔が保たれている。
【0041】回路基板614の磁石604側には、円板
状の磁性体615が設置されている。磁気センサ610
は、この磁性体615上であって、磁石604の底面の
円周付近に配置されている。また、磁気センサ310の
感磁面は磁石304の底面と平行である。
【0042】磁石604の底面から所定間隔をおいて配
置された回路基板614は、磁気センサ610からの出
力に基づいて磁石604の回転角度を計算するために用
いられる。更に、ケース本体608には、図面下側に裏
蓋612が取り付けられている。
【0043】このような構成とすることにより、回転軸
600と共に磁石604が回転すると、磁石604の円
周直下に配置された磁気センサ610から、磁石604
の角度変化に対応した出力が得られる。回路基板614
は、磁気センサ610からの出力値に基づいて磁石60
4の回転角度を求める。
【0044】したがって、回転角度センサを構成する際
の部品点数を削減することができ、低コスト化を図るこ
とが可能となる。
【0045】(第4実施形態)図7は、本発明の第4実
施形態に係る回転角度センサの構成を示す断面図であ
る。本図の例に示す回転角度センサの構成は、図6に示
すものとほぼ同様であるが、ケース本体609が裏蓋と
一体として形成されている点、およびケース本体609
に磁気センサ610を含む回路基板614および円板状
の磁性体615が実装されている点において異なってい
る。このように、ケース本体および裏蓋を一体として形
成し、このケース本体に磁気センサおよび磁性体を実装
することにより、さらなる部品点数の削減、低コスト化
を図ることが可能となる。
【0046】(第5実施形態)図8は、本発明の第5実
施形態に係る回転角度センサの構成を示す断面図であ
る。本図の例に示す回転角度センサの構成は、図7に示
すものとほぼ同様である。但し、磁性体が磁石および磁
気センサを囲んでいる点において異なっている。すなわ
ち、板状の磁性体615aが回路基板614上に実装さ
れるほか、磁石604および磁気センサ610を、円筒
形状の磁性体615bがケース本体609に埋め込まれ
ている。更に、円板状の磁性体615cが、回転軸60
0の端部に形成されたベアリング内輪に埋め込まれてい
る。
【0047】ここで、磁性体615bおよび615c
は、磁性体615aによる磁石604の吸引力を阻害し
ないように配置される。具体的には、磁石604と磁性
体615aとの距離L1、磁石604と円筒状の磁性体
615bとの距離L2、および磁石604と磁性体61
5cとの距離L3の間には、L1<L2,L3の関係が
成立している。これにより、軸ずれによる角度誤差を小
さくすることができると共に、磁石604の底面の円周
付近に配置された磁性体615aによる磁気収束効果が
高められている。なお、距離L2は、距離L1の2倍以
上のできるだけ大きな値とすることが必要であり、この
値の上限は個々の回転角度センサの外形寸法の制限から
決められる。
【0048】このような構成をとることにより、磁性体
615a、615bおよび615cにより、磁石604
および磁気センサ610が囲まれるので、回転角度の測
定における外部磁場からの影響を低減することが可能と
なる。
【0049】以下、本発明の実施例について説明する。
【0050】
【実施例】(実施例1)図9は、本実施例において使用
した回転角度測定装置の構成図である。矢印R方向に移
動可能なXステージ上に、回転角度センサ906を配置
した。この回転角度センサとして、第2実施形態で示し
た構成のものを使用した。ここで、磁石には直径10m
m、厚さ2mmのネオジム磁石を用い、磁気センサには
パッケージ外形が2.7mm×2.35mm(リード含
まず)、厚さ0.95mmのホール素子を用いた。ま
た、磁石と磁気センサとを、0.5mm離して配置し
た。また、磁性体には厚さ1mmの鉄板を用い、ホール
素子のパッケージの裏面と磁性体とを接着した。
【0051】このように構成された回転角度センサ90
6の回転軸910と、モータ902の回転軸908と
を、ジョイント904により固定した。そして、回転軸
910と908との中心をずらしてモータ902を駆動
することにより、回転角度センサ906の位置ずれに基
づく角度誤差を測定した。
【0052】ここで、図10を用いて角度誤差の定義を
説明する。図10は、測定角度の理想値、回転角度セン
サによる実際の測定角度および角度誤差を示すグラフ
で、横軸は回転角度を、縦軸は測定角度を示す。回転角
度センサにおいて磁石が理想的に配置された場合、すな
わち回転軸の中心と円柱型磁石の中心とが一致している
場合、磁気センサからの出力に基づいて測定される測定
角度は回転角度と等しくなり、破線1002で示した値
になる。しかし、磁石の中心と回転軸の中心がずれた場
合、測定角度は曲線1006で示した値になる。角度誤
差は、曲線1006に接し、破線1002に平行な2つ
の接線1008および1010間の幅1004として表
される。
【0053】従来技術において図1および図2を用いて
示した構成の回転角度センサ、および本実施例に係る回
転角度センサの、位置ずれ量に対する角度誤差の測定結
果を表1に示す。
【0054】
【表1】
【0055】この表から明らかなように、本実施例に示
した回転角度センサの角度誤差が、全体として従来例の
角度誤差より小さいことがわかる。
【0056】(実施例2)本実施例では、第1実施形態
において示した磁性体のない回転角度センサを比較例と
して、第2実施形態の構成による磁性体の配置された回
転角度センサのセンサ出力を測定した。ここで、2つの
回転角度センサは共に、磁石には直径10mm、厚さ2
mmのネオジム磁石を用い、磁気センサにはパッケージ
外形が2.7mm×2.35mm(リード含まず)、厚
さ0.95mmのホール素子を用いた。また、磁石と磁
気センサとを、0.5mm離して配置した。また、磁性
体には厚さ1mmの鉄板を用い、ホール素子のパッケー
ジの裏面と磁性体とを接着した。
【0057】これらの回転角度センサを用いて測定され
た磁気センサからの出力値を以下の表に示す。ここで、
回転角度センサの回転軸の位置は、磁気センサの出力値
が最大となる位置とした。
【0058】
【表2】
【0059】このように、回路基板上に磁性体板を配置
したことで、磁気収束効果により磁気センサ近傍の磁束
密度が高くなり、より大きなセンサ出力が得られた。
【0060】(実施例3)本実施例では、第2実施形態
において示した構成の回転角度センサを比較例として、
磁石および磁気センサを磁性体で遮蔽した第5実施形態
の構成による回転角度センサのセンサ出力を測定した。
ここで、2つの回転角度センサは共に、磁石には直径1
0mm、厚さ2mmのネオジム磁石を用い、磁気センサ
にはパッケージ外形が2.7mm×2.35mm(リー
ド含まず)、厚さ0.95mmのホール素子を用いた。
また、磁石と磁気センサとを、0.5mm離して配置し
た。また、磁性体には厚さ1mmの鉄板を用い、ホール
素子のパッケージの裏面と磁性体とを接着した。
【0061】更に、本実施例の構成による回転角度セン
サにおいて、磁性体はプレス加工によって茶筒状、すな
わち底面付き円筒状に製作されたものを用いた。また、
磁石と磁性体との距離は、L1=1.5mm、L2=
4.5mmとした。
【0062】このような回転角度センサを用いて、0m
T、25mT、50mTおよび100mTの外部磁場中
で磁気センサからの出力を測定したところ、以下の表3
に示す値が得られた。
【0063】
【表3】
【0064】上記の表から明らかなように、回転角度セ
ンサに磁性体シールド板を用いることで、外部磁界によ
る影響を低減できることがわかる。
【0065】以上、本発明の好適な実施の形態について
説明したが、本発明は上述の実施形態に限らず、他の種
々の形態で実施できることは言うまでもない。例えば、
本発明を適用した回転角度センサを構成する磁気センサ
としては、ホール素子の他に、MR(Magnetic Resista
nce)素子、MI(Magnetic Impedance)素子、および
フラックスゲート等を使用することができる。
【0066】また、磁石の底面の円周付近に配置する磁
気センサは、その感磁面が必ずしも磁石の底面に平行に
配置されている必要はない。
【0067】また、上述の実施形態では1個の磁気セン
サを配置する例について説明したが、複数の磁気センサ
を配置することとしても良い。この場合、同一の温度特
性を有する複数の磁気センサからの出力値を用いて回転
角度を測定することにより、温度特性を考慮した測定値
の補償を行うことができる。更に、上述の実施形態では
1箇所に1個の磁気センサを配置する例について説明し
たが、1箇所に複数の磁気センサを配置することとして
も良い。この場合、当該複数の磁気センサからの出力値
を平均して、その位置での出力値とすることにより、よ
り精度の高い出力値を得ることができる。
【0068】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
テーパ状に形成された内輪を有するベアリングが磁石の
回転軸の横ずれを修正しようとするため、軸ずれの生じ
にくい回転角度センサを実現することができる。
【0069】また、磁気センサを円柱型磁石の底面の円
周直下に配置したので、全体のサイズがより小さい磁気
センサを低コストで実現することができる。
【0070】また、磁石と磁性体とが磁気センサを挟む
ように該磁性体を配置することで、磁気収束効果により
磁石周縁部の磁束密度が高くなるため、センサ出力のS
/N比が向上する。また、軸ずれ応力がさらに吸収され
る。
【0071】また、回転軸と内輪とを一体化し、ベアリ
ングの外輪と外装部とを一体化することにより、回転角
度センサの構成時における部品点数を削減することがで
きる。結果として、低コスト化を図ることが可能とな
る。
【0072】また、外装部に磁気センサおよび磁性体を
実装することで、さらなる部品点数の削減が可能とな
る。結果として、さらなる低コスト化を図ることができ
る。
【0073】また、磁石および磁気センサを磁性体板で
遮蔽することにより、外部磁場からの影響を低減するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の回転角度センサの構成を示す断面図であ
る。
【図2】従来の回転角度センサに用いられるベアリング
の構成を示す断面図である。
【図3】本発明の一実施形態に係る回転角度センサの構
成を示す断面図である。
【図4】本発明の一実施形態に係る回転角度センサに用
いられる変形ベアリングの構成を示す断面図である。
【図5】本発明の一実施形態に係る回転角度センサの構
成を示す断面図である。
【図6】本発明の一実施形態に係る回転角度センサの構
成を示す断面図である。
【図7】本発明の一実施形態に係る回転角度センサの構
成を示す断面図である。
【図8】本発明の一実施形態に係る回転角度センサの構
成を示す断面図である。
【図9】本発明の一実施例において用いた回転角度測定
装置の構成を示す図である。
【図10】測定角度の理想値、回転角度センサによる実
際の測定角度、および角度誤差を示すグラフである。
【符号の説明】
100 回転軸 102 ベアリング 104 磁石 106 上蓋 108 ケース本体 110 磁気センサ 112 裏蓋 114 回路基板 116 外輪 118 内輪 120 保持器 122 転動体 300 回転軸 302 変形ベアリング 304 磁石 306 上蓋 308 ケース本体 310 磁気センサ 312 裏蓋 314 回路基板 315 磁性体 316 外輪 318 内輪 320 保持器 322 転動体 600 回転軸 604 磁石 608、609 ケース本体 610 磁気センサ 612 裏蓋 614 回路基板 615、615a、615b、615c 磁性体 620 保持器 622 転動体 902 モータ 904 ジョイント 906 回転角度センサ 908 モータの回転軸 910 回転角度センサの回転軸 912 Xステージ 1002 破線 1004 幅 1006 曲線 1008、1010 接線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F077 AA43 CC02 JJ01 JJ08 JJ23 NN02 NN17 NN24 PP12 VV02 VV13

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転軸の端部に取り付けられ、前記回転
    軸と共に回転する磁石と、磁界の強さを検知して、前記
    磁石の回転角度に応じた値を出力する磁気センサとを備
    えた回転角度センサであって、前記回転軸は、テーパ状
    に形成された内輪と、該内輪の外側面に平行な内側面を
    有する外輪との間に、複数の転動体が回転自在に配置さ
    れた回転支持機構により回転可能に支持されていること
    を特徴とする回転角度センサ。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の回転角度センサにおい
    て、前記磁気センサは、前記磁石の底面の円周付近に配
    置されていることを特徴とする回転角度センサ。
  3. 【請求項3】 請求項1または2に記載の回転角度セン
    サにおいて、前記磁石を基点として前記回転支持機構の
    ない側に、板状に形成された第1の磁性体が配置されて
    いることを特徴とする回転角度センサ。
  4. 【請求項4】 請求項3に記載の回転角度センサにおい
    て、前記磁気センサは、前記磁石と前記第1の磁性体と
    の間に配置されていることを特徴とする回転角度セン
    サ。
  5. 【請求項5】 請求項3または4に記載の回転角度セン
    サにおいて、前記内輪は前記回転軸と一体として形成さ
    れ、前記磁石および前記磁気センサは外装部により覆わ
    れており、前記外輪は前記外装部と一体として形成され
    ていることを特徴とする回転角度センサ。
  6. 【請求項6】 請求項5に記載の回転角度センサにおい
    て、前記磁気センサは、前記外装部に実装されているこ
    とを特徴とする回転角度センサ。
  7. 【請求項7】 請求項3〜6のいずれかに記載の回転角
    度センサにおいて、前記外装部および前記内輪に、前記
    磁石および前記磁気センサを囲む第2の磁性体を更に配
    置したことを特徴とする回転角度センサ。
  8. 【請求項8】 請求項7に記載の回転角度センサにおい
    て、前記第2の磁性体は、前記第1の磁性体による前記
    磁石の吸引力を阻害しないことを特徴とする回転角度セ
    ンサ。
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