JP2003212823A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200503988A (en) * 2003-06-09 2005-02-01 Idemitsu Petrochemical Co Adamantyl vinyl ether compound and production process for the same
JP5588396B2 (ja) * 2004-02-20 2014-09-10 東京応化工業株式会社 高分子化合物、該高分子化合物を含有するフォトレジスト組成物、およびレジストパターン形成方法
WO2005111097A1 (ja) * 2004-05-18 2005-11-24 Idemitsu Kosan Co., Ltd. アダマンタン誘導体、その製造方法及びフォトレジスト用感光材料
JP4539250B2 (ja) * 2004-09-14 2010-09-08 東亞合成株式会社 芳香族エステル化合物の製造方法
JP4191150B2 (ja) * 2005-02-16 2008-12-03 東京応化工業株式会社 ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法
JP4754265B2 (ja) * 2005-05-17 2011-08-24 東京応化工業株式会社 ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法
EP1950190A1 (en) * 2005-08-17 2008-07-30 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Fluorine-containing adamantane derivative, fluorine-containing adamantane derivative having polymerizable group, and resin composition containing same
JP4927568B2 (ja) * 2007-01-10 2012-05-09 ユニマテック株式会社 カルボン酸誘導体組成物の製造方法
JP4635031B2 (ja) * 2007-08-06 2011-02-16 三菱レイヨン株式会社 アダマンタン誘導体の製造方法
JP5586898B2 (ja) * 2009-08-24 2014-09-10 株式会社ダイセル 不飽和カルボン酸ヘミアセタールエステル、高分子化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物
JP6739733B2 (ja) * 2015-03-10 2020-08-12 国立研究開発法人産業技術総合研究所 アシロキシシラン類の製造方法、それにより得られるアシロキシシラン類、およびその用途

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