JP2003205452A - 研磨治具、研磨装置および研磨システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 研磨治具を研磨板に接触させることなく、試
料を研磨する。 【解決手段】 押板３の肩に引っ掛けることにより、研
磨治具１１の後端を研磨板４上で吊り上げるための突出
部１１ｂを、研磨治具１１の押面１１ａの上端に設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、研磨治具、研磨装
置および研磨システムに関し、特に、半導体チップなど
の研磨に適用して好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体チップの研磨では、研磨治
具の一部を研磨板上に接触させることにより、研磨治具
を研磨板上で支えるようにしたものがあった。図１３
は、従来の研磨治具の使用状態を示す斜視図、図１４
は、従来の研磨治具の使用状態を示す上面図、図１５
は、従来の研磨治具の構成を示す斜視図、図１６は、従
来の研磨治具の使用状態を示す断面図である。

【０００３】図１３〜１６において、研磨装置１０１に
は、研磨板１０４が設けられるとともに、研磨装置１０
１上には、研磨板１０４の周囲を覆う蓋１０２が設けら
れ、さらに、この蓋１０２上には押板１０３が載置され
ている。ここで、押板１０３には、十字形状の開口部１
０５が設けられるとともに、開口部１０５の側壁には、
研磨治具１１１に形成された縦溝１１１ｃに挿入可能な
突出部１０６が設けられている。

【０００４】一方、研磨治具１１１の底面には、研磨治
具１１１の後端を研磨板１０４上で支えるための突出部
１１１ｂが設けられるとともに、突出部１１１ｂの底面
には、研磨板１０４との摩擦を減らすためのテフロン
（登録商標）層１１５が形成されている。また、研磨治
具１１１の押面１１１ａには、押板１０３に設けられた
突出部１０６を挿入するための縦溝１１１ｃが設けられ
るとともに、研磨治具１１１の前面には、試料台１１２
を挿入するための凹部１１１ｄが設けられている。

【０００５】ここで、凹部１１１ｄ内には、試料台１１
２を支えるための支え板１１１ｅが設けられるととも
に、試料台１１２には、この支え板１１１ｅを挿入可能
な切り込みが形成されている。そして、この凹部１１１
ｄに形成された支え板１１１ｅに試料台１１２を嵌め込
むことにより、試料台１１２を研磨治具１１１で支える
ことができる。また、試料台１１２には凹部１１２ａが
形成され、この凹部１１２ａ内にネジ１１４を挿入し
て、試料台１１２を支え板１１１ｅにネジ止めすること
により、試料台１１２を研磨治具１１１に固定すること
ができる。

【０００６】そして、研磨を行なう場合、ＩＣチップ１
１３の端面が試料台１１２の底面からはみ出すようにし
て、ＩＣチップ１１３を試料台１１２に取り付け、この
試料台１１２を研磨治具１１１に装着する。そして、こ
の試料台１１２が装着された研磨治具１１１を、開口部
１０５を介して研磨板１０４上に載置する。ここで、研
磨治具１１１を研磨板１０４上に載置した場合、研磨治
具１１１は、研磨治具１１１の前面に取り付けられたＩ
Ｃチップ１１３と、研磨治具１１１の底面に設けられた
突出部１１１ｂとで支えることができる。

【０００７】また、研磨治具１１１を研磨板１０４上に
載置する場合、押板１０３に設けられた突出部１０６
が、研磨治具１１１の押面１１１ａに設けられた縦溝１
１１ｃに挿入されようにして、研磨治具１１１の押面１
１１ａを開口部１０５の側壁に押し当てる。これによ
り、研磨治具１１１の横方向の動きを規制することがで
き、研磨板１０４の回転中に、研磨治具１１１の配置位
置がずれることを防止して、研磨を安定して行なうこと
ができる。

【０００８】次に、研磨治具１１１が研磨板１０４上に
載置されると、研磨板１０４を回転させる。ここで、研
磨板１０４を回転させた場合、研磨治具１１１は押面１
１１ａを介して押板１０３の側壁に押し当てられ、この
押板１０３により、研磨板１０４の回転に伴う研磨治具
１１１の動きを妨げることができる。このため、研磨板
１０４を回転させた場合においても、研磨治具１１１を
研磨板１０４上で静止させたままにすることができ、Ｉ
Ｃチップ１１３を研磨することができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
研磨方法では、研磨治具１１１の底面に設けられた突出
部１１１ｂが、テフロン（登録商標）層１１５を介して
研磨板１０４と接触し、ＩＣチップ１１３の研磨時に、
テフロン（登録商標）層１１５も同時に研磨されること
から、テフロン（登録商標）層１１５の研磨屑が発生す
る。このため、このテフロン（登録商標）層１１５の研
磨屑がＩＣチップ１１３の研磨面に付着して、ＩＣチッ
プ１１３の研磨面が不均一になったり、研磨面を汚した
りするという問題があった。

【００１０】そこで、本発明の目的は、研磨治具を研磨
板に接触させることなく、試料を研磨することが可能な
研磨治具、研磨装置および研磨システムを提供すること
である。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、請求項１記載の研磨治具によれば、試料を装着
する試料台と、前記試料台を固定する固定治具と、前記
固定治具の壁面に設けられ、前記固定治具の一端を支え
る支持部材とを備えることを特徴とする。これにより、
研磨治具の一端を持ち上げながら試料を研磨することが
可能となり、試料のみを研磨板に接触させることが可能
となることから、研磨治具が研磨板部で擦られて、研磨
治具から屑が発生することを防止することができる。

【００１２】また、請求項２記載の研磨治具によれば、
前記支持部材は、前記固定治具の押面上端に設けられた
突出部であることを備えることを特徴とする。これによ
り、研磨治具を押える押板上に突出部を乗せるだけで、
研磨治具を後方から押えつつ、研磨治具の後端を持ち上
げることが可能となる。このため、研磨装置の改造を行
なうことなく、研磨治具に簡単な加工を施すだけで、研
磨時に研磨治具が研磨板に接触することを防止すること
が可能となり、新たな研磨装置を導入することなく、研
磨治具から研磨屑が発生することを防止することができ
る。

【００１３】また、請求項３記載の研磨治具によれば、
前記押面に形成された縦溝をさらに備えることを特徴と
する。これにより、縦溝に押板を挿入するすることで、
研磨治具の横方向の動きを規制することができ、研磨時
に研磨治具を一定位置に固定して、研磨を安定して行な
うことが可能となる。また、請求項４記載の研磨治具に
よれば、前記突出部の下面は楔形であることを特徴とす
る。

【００１４】これにより、押板のＶ溝上に突出部を乗せ
るだけで、研磨治具の一端を持ち上げながら、研磨治具
の前後の動きを規制することができ、研磨時に研磨治具
を一定位置に固定して、研磨をさらに安定して行なうこ
とが可能となる。また、請求項５記載の研磨治具によれ
ば前記固定治具の底面には段差が形成されていることを
特徴とする。これにより、固定治具を研磨板に接触させ
ることなく、固定治具と研磨板との間隔を広げることが
可能となり、研磨治具下の水はけを向上させて、研磨の
均一性を向上させることが可能となる。

【００１５】また、請求項６記載の研磨装置によれば、
研磨板と、前記研磨板を回転させる回転手段と、前記研
磨板の回転中に、前記研磨板上に置かれた研磨治具を押
える押板と、前記研磨治具の端部を下から支える支持手
段とを備えることを特徴とする。これにより、押板の改
造を行なうだけで、研磨時に研磨治具が研磨板に接触す
ることを防止することが可能となり、研磨治具が研磨板
に接触することを防止するために、研磨治具を改造する
必要がなくなることから、研磨治具が多数ある場合にお
いても、研磨治具の接触防止に容易に対応することが可
能となる。

【００１６】また、請求項７記載の研磨装置によれば、
研磨板と、前記研磨板を回転させる回転手段と、前記研
磨板の回転中に、前記研磨板上に置かれた研磨治具を押
える押板と、前記研磨治具の端部を吊り上げる吊上手段
とを備えることを特徴とする。これにより、研磨装置の
改造を行なうだけで、研磨時に研磨治具が研磨板に接触
することを防止することが可能となり、研磨治具が研磨
板に接触することを防止するために、研磨治具を改造す
る必要がなくなることから、研磨治具が多数ある場合に
おいても、研磨治具の接触防止に容易に対応することが
可能となる。

【００１７】また、請求項８記載の研磨装置によれば、
研磨板と、前記研磨板を回転させる回転手段と、研磨治
具に装着された試料が、前記研磨板の回転中心を通る直
線上にくるように、前記研磨治具を押える押板とを備え
ることを特徴とする。これにより、試料の研磨方向をほ
ぼ一定に揃えることが可能となり、研磨のばらつきを減
らして、研磨の均一性を向上させることが可能となる。
また、請求項９記載の研磨装置によれば、前記押板は、
研磨治具を側壁に当接させた際に、前記研磨治具に装着
された試料が、前記研磨板の回転中心を通る直線上にく
るように形成された開口部を備えることを特徴とする。

【００１８】これにより、押板に形成される開口部の位
置を単に変更するだけで、研磨治具に装着された試料
が、研磨板の回転中心を通る直線上にくるように配置す
ることが可能となり、研磨装置の構成を複雑化すること
なく、研磨の均一性を容易に向上させることが可能とな
る。また、請求項１０記載の研磨システムによれば、研
磨治具と研磨装置とが設けられた研磨システムにおい
て、前記研磨治具は、試料を装着する試料台と、前記試
料台を固定する固定治具と、前記固定治具の押面上端に
設けられた第１突出部と、前記固定治具の押面に設けら
れた縦溝を備え、前記研磨装置は、研磨板と、前記研磨
板を回転させる回転手段と、前記研磨板の回転中に、前
記研磨板上に置かれた前記研磨治具を押える押板と、前
記押板に設けられ、前記押面の縦溝に挿入可能な第２突
出部とを備えることを特徴とする。

【００１９】これにより、固定治具の第１突出部を押板
上に乗せた状態で、押板の第２突出部を固定治具の縦溝
に挿入するするだけで、研磨治具の一端を持ち上げなが
ら、研磨治具の横方向の動きを規制することができ、研
磨時に研磨治具を一定位置に固定して、研磨を安定して
行なうことが可能となるとともに、研磨治具が研磨板に
接触することを防止して、研磨治具から研磨屑が発生す
ることを防止することができる。

【００２０】また、請求項１１記載の研磨システムによ
れば、研磨治具と研磨装置とが設けられた研磨システム
において、前記研磨治具は、試料を装着する試料台と、
前記試料台を固定する固定治具と、前記固定治具の押面
上端に設けられ、下面が楔形の突出部とを備え、前記研
磨装置は、研磨板と、前記研磨板を回転させる回転手段
と、前記研磨板の回転中に、前記研磨板上に置かれた前
記研磨治具を押える押板と、前記押板の上面に形成さ
れ、前記楔形と嵌め合わせ可能なＶ溝とを備えることを
特徴とする。

【００２１】これにより、押板のＶ溝上に突出部を乗せ
るだけで、研磨治具の一端を持ち上げながら、研磨治具
の前後の動きを規制することができ、研磨時に研磨治具
を一定位置に固定して、研磨を効率よく行なうことが可
能となるとともに、研磨治具が研磨板に接触することを
防止して、研磨治具から研磨屑が発生することを防止す
ることができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態に係る研
磨治具および研磨装置について、図面を参照しながら説
明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る研磨治具
の使用状態を示す斜視図、図２は、図１の研磨治具の使
用状態を示す上面図、図３は、本発明の第１実施形態に
係る研磨治具の構成を示す斜視図、図４は、本発明の第
１実施形態に係る研磨治具の使用状態を示す断面図、図
５は、本発明の第１実施形態に係る研磨装置の概略構成
を示す断面図である。

【００２３】図１〜５において、研磨装置１には、回転
軸７を中心として回転可能なターンテーブル６が設けら
れ、このターンテーブル６上には研磨板４が載置されて
いる。また、研磨装置１上には、研磨板４の周囲を覆う
蓋２が設けられ、この蓋２上には押板３が載置されてい
る。ここで、押板３には、研磨治具１１を研磨板４上に
載置するための十字形状の開口部５が形成されている。

【００２４】一方、研磨治具１１の押面１１ａの上端に
は、開口部５の肩に引っ掛けることにより、研磨治具１
１の後端を研磨板４上で吊り上げるための突出部１１ｂ
が設けられている。また、研磨治具１１の前面には、試
料台１２を挿入するための凹部１１ｃが設けられ、この
凹部１１ｃ内には、試料台１２を支えるための支え板１
１ｄが設けられている。

【００２５】一方、試料台１２には、この支え板１１ｄ
を挿入可能な切り込みが形成されている。そして、試料
台１２を凹部１１ｃに形成された支え板１１ｄに嵌め込
むことにより、試料台１２を研磨治具１１で支えること
ができる。また、試料台１２には凹部１２ａが形成さ
れ、この凹部１２ａ内にネジ１４を挿入して、試料台１
２を支え板１１ｄにネジ止めすることにより、試料台１
２を研磨治具１１に固定することができる。

【００２６】そして、研磨を行なう場合、ＩＣチップ１
３の端面が試料台１２の底面からはみ出すようにして、
ＩＣチップ１３を試料台１２に取り付け、この試料台１
２を研磨治具１１に装着する。ここで、ＩＣチップ１３
を試料台１２に取り付ける方法としては、ロウ付けや接
着剤などを用いて接着することができる。そして、研磨
治具１１の突出部１１ｂを開口部５の肩に引っ掛かける
ようにして、研磨治具１１を研磨板４上に載置する。

【００２７】これにより、研磨治具１１の前面に取り付
けられたＩＣチップ１３と、研磨治具１１の押面１１ａ
に設けられた突出部１１ｂとで、研磨治具１１を支える
ことができ、研磨治具１１自体を研磨板４に接触させる
ことなく、研磨治具１１を研磨板４上で支持することが
できる。次に、研磨治具１１が研磨板４上に載置される
と、ターンテーブル６を駆動して、研磨板４を回転させ
る。

【００２８】ここで、研磨板４を回転させた場合、突出
部１１ｂが押板３上に乗ったままの状態で、研磨治具１
１は押面１１ａを介して押板３の側壁に押し当てられ、
この押板３により、研磨板４の回転につられて研磨治具
１１が移動することを妨げることができる。この結果、
研磨板４を回転させた場合においても、研磨板４と接触
させることなく、研磨治具１１を研磨板４上で静止させ
ることができ、研磨治具１１が研磨されることを防止し
つつ、ＩＣチップ１３を研磨することができる。

【００２９】このため、研磨治具１１からの研磨屑がＩ
Ｃチップ１３の研磨面に付着することを防止して、研磨
面を汚すことなく、ＩＣチップ１３を均一性よく研磨す
ることが可能となる。図６は、本発明の第２実施形態に
係る研磨治具を斜め下から見た場合の斜視図、図７
（ａ）は、本発明の第２実施形態に係る研磨治具の構成
を示す上面図、図７（ｂ）は、本発明の第２実施形態に
係る研磨治具の構成を示す下面図、図７（ｃ）は、本発
明の第２実施形態に係る研磨治具の構成を示す側面図で
ある。

【００３０】図６、７において、研磨治具２１の押面２
１ａの上端には、押板２５の肩に引っ掛けることによ
り、研磨治具２１の後端を研磨板２６上で吊り上げるた
めの突出部２１ｂが設けられている。また、研磨治具２
１の押面２１ａには、押板２５に設けられた突出部２５
ａを挿入するための縦溝２１ｃが設けられるとともに、
研磨治具２１の前面には、試料台２２を挿入するための
凹部２１ｄが設けられ、この凹部２１ｃには、試料台２
２を支えるための支え板２１ｅが設けられている。

【００３１】一方、試料台２２には、凹部２１ｄに設け
られた支え板２１ｅを挿入可能な切り込みが形成されて
いる。そして、試料台２２を凹部２１ｄに形成された支
え板２１ｅに嵌め込むことにより、試料台２２を研磨治
具２１で支えることができる。また、試料台２２には凹
部２２ａが形成され、この凹部２２ａ内にネジ２４を挿
入して、試料台２２を支え板２１ｅにネジ止めすること
により、試料台２２を研磨治具２１に固定することがで
きる。

【００３２】さらに、押板２５の側壁には、研磨治具２
１に形成された縦溝２１ｃに挿入可能な突出部２５ａが
設けられている。そして、研磨を行なう場合、ＩＣチッ
プ２３の端面が試料台２２の底面からはみ出すようにし
て、ＩＣチップ２３を試料台２２に取り付け、この試料
台２２を研磨治具２１に装着する。ここで、ＩＣチップ
２３を試料台２２に取り付ける方法としては、ロウ付け
や接着剤などを用いて接着することができる。

【００３３】そして、試料台２２を研磨治具２１に装着
すると、研磨治具２１の突出部２１ｂを押板２５の肩に
引っ掛かけるようにして、研磨治具２１を研磨板２６上
に載置する。これにより、研磨治具２１の前面に取り付
けられたＩＣチップ２３と、研磨治具２１の押面２１ａ
に設けられた突出部２１ｂとで、研磨治具２１を支える
ことができ、研磨治具２１自体を研磨板２６に接触させ
ることなく、研磨治具２１を研磨板２６上で支持するこ
とができる。

【００３４】また、研磨治具２１を研磨板２６上に載置
する場合、押板２５に設けられた突出部２５ａが、研磨
治具２１の押面２１ａに設けられた縦溝２１ｃに挿入さ
れようにして、研磨治具２１の押面２１ａを押板２５の
側壁に押し当てる。これにより、研磨治具２１の後端を
押板２５で支えつつ、研磨治具２１の横方向の動きを規
制することができ、研磨治具２１を研磨板２６に接触さ
せることなく、ＩＣチップ２３の研磨を安定して行なう
ことができる。

【００３５】次に、研磨治具２１が研磨板２６上に載置
されると、研磨板２６を回転させる。ここで、研磨板２
６を回転させた場合、突出部２１ｂが押板２５上に乗っ
たままの状態で、研磨治具２１は押面２１ａを介して押
板２５の側壁に押し当てられ、研磨治具２１の回転方向
の動きおよび横方向の動きを妨げることができる。この
ため、研磨板２６を回転させた場合においても、研磨板
２６と接触させることなく、研磨治具２１を研磨板２６
上で静止させることができ、研磨治具２１が研磨される
ことを防止しつつ、ＩＣチップ２３を安定して研磨する
ことができる。

【００３６】図８（ａ）は、本発明の第３実施形態に係
る研磨治具の構成を示す上面図、図８（ｂ）は、本発明
の第３実施形態に係る研磨治具の構成を示す下面図、図
８（ｃ）は、本発明の第３実施形態に係る研磨治具の構
成を示す側面図である。図８において、研磨治具３１の
押面３１ａの上端には、押板３５の肩に引っ掛けること
により、研磨治具３１の後端を研磨板３６上で吊り上げ
るための突出部３１ｂが設けられている。

【００３７】また、研磨治具３１の押面３１ａには、押
板３５に形成された凹部３５ａを挿入するための突出部
３１ｃが設けられるとともに、研磨治具３１の前面に
は、試料台３２を挿入するための凹部３１ｄが設けら
れ、この凹部３１ｄには、試料台３２を支えるための支
え板３１ｅが設けられている。一方、試料台３２には、
凹部３１ｄに設けられた支え板３１ｅを挿入可能な切り
込みが形成されている。

【００３８】そして、試料台３２を凹部３１ｄに形成さ
れた支え板３１ｅに嵌め込むことにより、試料台３２を
研磨治具３１で支えることができる。また、試料台３２
には凹部３２ａが形成され、この凹部３２ａ内にネジ３
４を挿入して、試料台３２を支え板３１ｅにネジ止めす
ることにより、試料台３２を研磨治具３１に固定するこ
とができる。さらに、押板３５の側壁には、研磨治具３
１に形成された突出部３１ｃを挿入可能な凹部３５ａが
形成されている。

【００３９】そして、研磨を行なう場合、ＩＣチップ３
３の端面が試料台３２の底面からはみ出すようにして、
ＩＣチップ３３を試料台３２に取り付け、この試料台３
２を研磨治具３１に装着する。ここで、ＩＣチップ３３
を試料台３２に取り付ける方法としては、ロウ付けや接
着剤などを用いて接着することができる。そして、試料
台３２を研磨治具３１に装着すると、研磨治具３１の突
出部３１ｂを押板３５の肩に引っ掛かけるようにして、
研磨治具３１を研磨板３６上に載置する。

【００４０】これにより、研磨治具３１の前面に取り付
けられたＩＣチップ３３と、研磨治具３１の押面３１ａ
に設けられた突出部３１ｂとで、研磨治具３１を支える
ことができ、研磨治具３１自体を研磨板３６に接触させ
ることなく、研磨治具３１を研磨板３６上で支持するこ
とができる。また、研磨治具３１を研磨板３６上に載置
する場合、研磨治具３１の押面３１ａに設けられた突出
部３１ｃが、押板３５に設けられた凹部３５ａに挿入さ
れようにして、研磨治具３１の押面３１ａを押板３５の
側壁に押し当てる。

【００４１】これにより、研磨治具３１の後端を押板３
５で支えつつ、研磨治具３１の横方向の動きを規制する
ことができ、研磨治具３１を研磨板３６に接触させるこ
となく、ＩＣチップ３３の研磨を安定して行なうことが
できる。次に、研磨治具３１が研磨板３６上に載置され
ると、研磨板３６を回転させる。ここで、研磨板３６を
回転させた場合、突出部３１ｂが押板３５上に乗ったま
まの状態で、研磨治具３１は押面３１ａを介して押板３
５の側壁に押し当てられ、研磨治具３１の回転方向の動
きおよび横方向の動きを妨げることができる。

【００４２】このため、研磨板３６を回転させた場合に
おいても、研磨板３６と接触させることなく、研磨治具
３１を研磨板３６上で静止させることができ、研磨治具
３１が研磨されることを防止しつつ、ＩＣチップ３３を
安定して研磨することができる。図９（ａ）は、本発明
の第４実施形態に係る研磨治具の構成を示す上面図、図
９（ｂ）は、本発明の第４実施形態に係る研磨治具の構
成を示す側面図である。

【００４３】図９において、研磨治具４１の押面４１ａ
の上端には、押板４５の肩に引っ掛けることにより、研
磨治具４１の後端を研磨板４６上で吊り上げるための突
出部４１ｂが設けられ、突出部４１ｂの下面は楔形に加
工されている。また、研磨治具４１の押面４１ａには、
押板４５に形成された突出部４５ａを挿入するための縦
溝４１ｃが設けられるとともに、研磨治具４１の前面に
は、試料台４２を挿入するための凹部４１ｄが設けら
れ、この凹部４１ｄには、試料台４２を支えるための支
え板４１ｅが設けられている。

【００４４】一方、試料台４２には、凹部４１ｄに設け
られた支え板４１ｅを挿入可能な切り込みが形成されて
いる。そして、試料台４２を凹部４１ｄに形成された支
え板４１ｅに嵌め込むことにより、試料台４２を研磨治
具４１で支えることができる。また、試料台４２には凹
部４２ａが形成され、この凹部４２ａ内にネジ４４を挿
入して、試料台４２を支え板４１ｅにネジ止めすること
により、試料台４２を研磨治具４１に固定することがで
きる。

【００４５】さらに、押板４５の上面には、突出部４１
ｂの楔形に対応したＶ溝４５ａが形成されるとともに、
押板４５の側壁には、研磨治具４１に形成された縦溝４
１ｃに挿入可能な突出部４５ｂが設けられている。そし
て、研磨を行なう場合、ＩＣチップ４３の端面が試料台
４２の底面からはみ出すようにして、ＩＣチップ４３を
試料台４２に取り付け、この試料台４２を研磨治具４１
に装着する。

【００４６】ここで、ＩＣチップ４３を試料台４２に取
り付ける方法としては、ロウ付けや接着剤などを用いて
接着することができる。そして、試料台４２を研磨治具
４１に装着すると、研磨治具４１の突出部４１ｂの楔を
押板４５のＶ溝に嵌め込むようにして、研磨治具４１を
研磨板４６上に載置する。これにより、研磨治具４１の
前面に取り付けられたＩＣチップ４３と、研磨治具４１
の押面４１ａに設けられた突出部４１ｂとで、研磨治具
４１を支えることができ、研磨治具４１自体を研磨板４
６に接触させることなく、研磨治具４１を研磨板４６上
で支持することが可能となるとともに、突出部４１ｂの
楔と押板４５のＶ溝との噛み合わせにより、試料台４２
の前後の動きを規制することができ、研磨治具４１を安
定して支えることが可能となる。

【００４７】また、研磨治具４１を研磨板４６上に載置
する場合、押板４５に設けられた突出部４５ａが、研磨
治具４１の押面４１ａに設けられた縦溝４１ｃに挿入さ
れようにして、研磨治具４１の押面４１ａを押板４５の
側壁に押し当てる。これにより、研磨治具４１の後端を
押板４５で支えつつ、研磨治具４１の横方向の動きを規
制することができ、研磨治具４１を研磨板４６に接触さ
せることなく、ＩＣチップ４３の研磨を安定して行なう
ことができる。

【００４８】次に、研磨治具４１が研磨板４６上に載置
されると、研磨板４６を回転させる。ここで、研磨板４
６を回転させた場合、突出部４１ｂが押板４５上に乗っ
たままの状態で、研磨治具４１は押面４１ａを介して押
板４５の側壁に押し当てられ、研磨治具４１の回転方向
の動きに加え、横方向の動きおよび前後の動きを妨げる
ことができる。

【００４９】このため、研磨板４６を回転させた場合に
おいても、研磨治具４１の突出部４１ｂを押板４５上に
乗せるだけで、研磨板４６と接触させることなく、研磨
治具４１を研磨板４６上で安定して静止させることがで
き、研磨治具４１が研磨されることを防止しつつ、ＩＣ
チップ４３を精度良く研磨することができる。図１０
（ａ）は、本発明の第５実施形態に係る研磨治具の構成
を示す上面図、図１０（ｂ）は、本発明の第５実施形態
に係る研磨治具の構成を示す下面図、図１０（ｃ）は、
本発明の第５実施形態に係る研磨治具の構成を示す側面
図である。

【００５０】図１０において、研磨治具５１の押面５１
ａの上端には、押板５５の肩に引っ掛けることにより、
研磨治具５１の後端を研磨板５６上で吊り上げるための
突出部５１ｂが設けられている。また、研磨治具５１の
押面５１ａには、押板５５に設けられた突出部５５ａを
挿入するための縦溝５１ｃが設けられるとともに、研磨
治具５１の前面には、試料台５２を挿入するための凹部
５１ｄが設けられ、この凹部５１ｃ内には、試料台５２
を支えるための支え板５１ｆが設けられている。

【００５１】さらに、研磨治具５１の底面には段差５１
ｅが形成され、研磨治具５１の後方の厚みが薄くなるよ
うに加工されている。一方、試料台５２には、凹部５１
ｄ内に設けられた支え板５１ｆを挿入可能な切り込みが
形成されている。そして、試料台５２を凹部５１ｄに形
成された支え板５１ｆに嵌め込むことにより、試料台５
２を研磨治具５１で支えることができる。

【００５２】また、試料台５２には凹部５２ａが形成さ
れ、この凹部５２ａ内にネジ５４を挿入して、試料台５
２を支え板５１ｆにネジ止めすることにより、試料台５
２を研磨治具５１に固定することができる。さらに、押
板５５の側壁には、研磨治具５１に形成された縦溝５１
ｃに挿入可能な突出部５５ａが設けられている。そし
て、研磨を行なう場合、ＩＣチップ５３の端面が試料台
５２の底面からはみ出すようにして、ＩＣチップ５３を
試料台５２に取り付け、この試料台５２を研磨治具５１
に装着する。

【００５３】ここで、ＩＣチップ５３を試料台５２に取
り付ける方法としては、ロウ付けや接着剤などを用いて
接着することができる。そして、試料台５２を研磨治具
５１に装着すると、研磨治具５１の突出部５１ｂを押板
５５の肩に引っ掛かけるようにして、研磨治具５１を研
磨板５６上に載置する。これにより、研磨治具５１の前
面に取り付けられたＩＣチップ５３と、研磨治具５１の
押面５１ａに設けられた突出部５１ｂとで、研磨治具５
１を支えることができ、研磨治具５１自体を研磨板５６
に接触させることなく、研磨治具５１を研磨板５６上で
支持することができる。

【００５４】また、研磨治具５１を研磨板５６上に載置
する場合、押板５５に設けられた突出部５５ａが、研磨
治具５１の押面５１ａに設けられた縦溝５１ｃに挿入さ
れようにして、研磨治具５１の押面５１ａを押板５５の
側壁に押し当てる。これにより、研磨治具５１の後端を
押板５５で支えつつ、研磨治具５１の横方向の動きを規
制することができ、研磨治具５１を研磨板５６に接触さ
せることなく、ＩＣチップ５３の研磨を安定して行なう
ことができる。

【００５５】次に、研磨治具５１が研磨板５６上に載置
されると、研磨板５６を回転させる。ここで、研磨板５
６を回転させた場合、突出部５１ｂが押板５５上に乗っ
たままの状態で、研磨治具５１は押面５１ａを介して押
板５５の側壁に押し当てられ、研磨治具５１の回転方向
の動きおよび横方向の動きを妨げることができる。この
ため、研磨板５６を回転させた場合においても、研磨板
５６と接触させることなく、研磨治具５１を研磨板５６
上で静止させることができ、研磨治具５１が研磨される
ことを防止しつつ、ＩＣチップ５３を安定して研磨する
ことができる。

【００５６】また、研磨治具５１の底面に段差５１ｅを
形成することにより、研磨治具５１の後方の厚みを薄く
することが可能となり、研磨治具５１の下方の水はけを
向上させて、研磨を安定して行なうことができる。図１
１は、本発明の第６実施形態に係る研磨装置の概略構成
を示す上面図である。図１１において、研磨装置には、
研磨板６２が設けられるとともに、研磨板６２の周囲を
覆う蓋上には押板６１が設けられている。

【００５７】ここで、押板６１には、研磨治具７１を研
磨板６２上に載置するための開口部６３が形成され、こ
の開口部６３の形状は、研磨治具７１の押面７１ａを開
口部６３の側壁に当接させた際に、ＩＣチップ７３が、
研磨板６２の回転中心Ｃを通る直線上にくるように形成
されている。一方、研磨治具７１の押面７１ａの上端に
は、開口部６３の肩に引っ掛けることにより、研磨治具
７１の後端を研磨板６２上で吊り上げるための突出部７
１ｂが設けられている。

【００５８】そして、研磨を行なう場合、ＩＣチップ７
３の端面が試料台７２の底面からはみ出すようにして、
ＩＣチップ７３を試料台７２に取り付け、この試料台７
２を研磨治具７１に装着する。そして、研磨治具７１の
突出部７１ｂを開口部６３の肩に引っ掛かけるようにし
て、研磨治具７１を研磨板６２上に載置する。これによ
り、研磨治具７１の前面に取り付けられたＩＣチップ７
３と、研磨治具７１の押面７１ａに設けられた突出部７
１ｂとで、研磨治具７１を支えることができ、研磨治具
７１自体を研磨板６２に接触させることなく、研磨治具
７１を研磨板６２上で支持することができる。

【００５９】次に、研磨治具７１が研磨板６２上に載置
されると、研磨板６２を回転させる。ここで、研磨板６
２を回転させた場合、突出部７１ｂが押板６１上に乗っ
たままの状態で、研磨治具７１は押面７１ａを介して押
板６１の側壁に押し当てられ、研磨治具７１の動きを妨
げることができる。この結果、研磨板６２を回転させた
場合においても、研磨板６２と接触させることなく、研
磨治具７１を研磨板６２上で静止させることができ、研
磨治具７１が研磨されることを防止しつつ、ＩＣチップ
７３を研磨することができる。

【００６０】また、研磨板６２の回転中においても、研
磨板６２の回転中心Ｃを通る直線上にＩＣチップ７３を
静止させることが可能となり、ＩＣチップ７３にかかる
摩擦力の方向を均一化することができる。このため、研
磨のばらつきを減らして、ＩＣチップ７３の研磨の均一
性を向上させることが可能となる。図１２は、本発明の
第７実施形態に係る研磨治具の使用状態を示す断面図で
ある。

【００６１】図１２において、研磨装置には、研磨板８
２が設けられるとともに、この研磨板８２上には、押板
８１が設けられている。ここで、押板８１には、研磨治
具９１の後端を下から支持するための支持部８３が設け
られている。一方、研磨治具９１の前面には、試料台９
２を挿入するための凹部９１ａが設けられ、この凹部９
１ａには、試料台９２を支えるための支え板９１ｂが設
けられるとともに、試料台９２には、この支え板９１ｂ
を挿入可能な切り込みが形成されている。

【００６２】そして、この凹部９１ａに形成された支え
板９１ｂに試料台９２を嵌め込むことにより、試料台９
２を研磨治具９１で支えることができる。また、試料台
９２にネジ９４を挿入して、試料台９２を支え板９１ｂ
にネジ止めすることにより、試料台９２を研磨治具９１
に固定することができる。そして、研磨を行なう場合、
ＩＣチップ９３の端面が試料台９２の底面からはみ出す
ようにして、ＩＣチップ９３を試料台９２に取り付け、
この試料台９２を研磨治具９１に装着する。

【００６３】そして、研磨治具９１の後端の底面を支持
部８３に引っ掛けるようにして、研磨治具９１を研磨板
８２上に載置する。ここで、研磨治具９１を研磨板８２
上に載置した場合、研磨治具９１は、研磨治具９１の前
面に取り付けられたＩＣチップ９３と、押板８１に設け
られた支持部８３とで支えることができ、研磨治具９１
を研磨板８２に接触させることなく、研磨治具９１を研
磨板８２上で支持することができる。

【００６４】次に、研磨治具９１が研磨板８２上に載置
されると、研磨板８２を回転させる。ここで、研磨板８
２を回転させた場合、研磨治具９１はその後面を介して
押板８１の側壁に押し当てられ、この押板８１により、
研磨板８２の回転に伴う研磨治具９１の動きを妨げるこ
とができる。このため、研磨板８２を回転させた場合に
おいても、研磨治具９１を改造することなく、研磨治具
９１を研磨板８２上で静止させることができ、研磨治具
９１が研磨されることを防止しつつ、ＩＣチップ９３を
研磨することができる。

【００６５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
研磨治具の一端を持ち上げながら試料を研磨することが
可能となり、試料のみを研磨板に接触させることが可能
となることから、研磨治具が研磨板部で擦られて、研磨
治具から屑が発生することを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る研磨治具の使用状
態を示す斜視図である。

【図２】図１の研磨治具の使用状態を示す上面図であ
る。

【図３】本発明の第１実施形態に係る研磨治具の構成を
示す斜視図である。

【図４】本発明の第１実施形態に係る研磨治具の使用状
態を示す断面図である。

【図５】本発明の第１実施形態に係る研磨装置の概略構
成を示す断面図である。

【図６】本発明の第２実施形態に係る研磨治具の構成を
示す斜視図である。

【図７】図７（ａ）は、本発明の第２実施形態に係る研
磨治具の構成を示す上面図、図７（ｂ）は、本発明の第
２実施形態に係る研磨治具の構成を示す下面図、図７
（ｃ）は、本発明の第２実施形態に係る研磨治具の構成
を示す側面図である。

【図８】図８（ａ）は、本発明の第３実施形態に係る研
磨治具の構成を示す上面図、図８（ｂ）は、本発明の第
３実施形態に係る研磨治具の構成を示す下面図、図８
（ｃ）は、本発明の第３実施形態に係る研磨治具の構成
を示す側面図である。

【図９】図９（ａ）は、本発明の第４実施形態に係る研
磨治具の構成を示す上面図、図９（ｂ）は、本発明の第
４実施形態に係る研磨治具の構成を示す側面図である。

【図１０】図１０（ａ）は、本発明の第５実施形態に係
る研磨治具の構成を示す上面図、図１０（ｂ）は、本発
明の第５実施形態に係る研磨治具の構成を示す下面図、
図１０（ｃ）は、本発明の第５実施形態に係る研磨治具
の構成を示す側面図である。

【図１１】本発明の第６実施形態に係る研磨装置の概略
構成を示す上面図である。

【図１２】本発明の第７実施形態に係る研磨治具の使用
状態を示す断面図である。

【図１３】従来の研磨治具の使用状態を示す斜視図であ
る。

【図１４】従来の研磨治具の使用状態を示す上面図であ
る。

【図１５】従来の研磨治具の構成を示す斜視図である。

【図１６】従来の研磨治具の使用状態を示す断面図であ
る。

【符号の説明】 １ 研磨装置 ２ 蓋 ３、２５、３５、４５、５５、６１、８１ 押板 ４、２６、３６、４６、５６、６２、８２ 研磨板 ５、６３ 開口部 ６ ターンテーブル ７ 回転軸 １１、２１、３１、４１、５１、７１、９１ 研磨治具 １１ａ、２１ａ、３１ａ、４１ａ、５１ａ、７１ａ 押
面 １１ｂ、２１ｂ、２５ａ、３１ｂ、３１ｃ、４１ｂ、４
５ｂ、５１ｂ、５５ａ、７１ｂ 突出部 １１ｃ、１２ａ、２１ｄ、３１ｄ、３５ａ、４１ｃ、４
１ｄ、５１ｃ、５１ｄ、９１ａ 凹部 １１ｄ、２１ｅ、３１ｅ、４１ｅ、５１ｆ、９１ｂ 支
え板 １２、２２、３２、４２、５２、７２、９２ 試料台 １３、２３、３３、４３、５３、７３、９３ ＩＣチッ
プ １４、２４、３４、４４、５４、９４ ネジ ２１ｃ 縦溝 ４５ａ Ｖ溝 ５１ｅ 段差 ８３ 支持部

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料を装着する試料台と、 前記試料台を固定する固定治具と、 前記固定治具の壁面に設けられ、前記固定治具の一端を
   支える支持部材とを備えることを特徴とする研磨治具。
2. 【請求項２】 前記支持部材は、前記固定治具の押面上
   端に設けられた突出部であることを備えることを特徴と
   する請求項１記載の研磨治具。
3. 【請求項３】 前記押面に形成された縦溝をさらに備え
   ることを特徴とする請求項２記載の研磨治具。
4. 【請求項４】 前記突出部の下面は楔形であることを特
   徴とする請求項２または３記載の研磨治具。
5. 【請求項５】 前記固定治具の底面には段差が形成され
   ていることを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項記
   載の研磨治具。
6. 【請求項６】 研磨板と、 前記研磨板を回転させる回転手段と、 前記研磨板の回転中に、前記研磨板上に置かれた研磨治
   具を押える押板と、 前記研磨治具の端部を下から支える支持手段とを備える
   ことを特徴とする研磨装置。
7. 【請求項７】 研磨板と、 前記研磨板を回転させる回転手段と、 前記研磨板の回転中に、前記研磨板上に置かれた研磨治
   具を押える押板と、 前記研磨治具の端部を吊り上げる吊上手段とを備えるこ
   とを特徴とする研磨装置。
8. 【請求項８】 研磨板と、 前記研磨板を回転させる回転手段と、 研磨治具に装着された試料が、前記研磨板の回転中心を
   通る直線上にくるように、前記研磨治具を押える押板と
   を備えることを特徴とする研磨装置。
9. 【請求項９】 前記押板は、研磨治具を側壁に当接させ
   た際に、前記研磨治具に装着された試料が、前記研磨板
   の回転中心を通る直線上にくるように形成された開口部
   を備えることを特徴とする請求項８記載の研磨装置。
10. 【請求項１０】 研磨治具と研磨装置とが設けられた研
    磨システムにおいて、 前記研磨治具は、 試料を装着する試料台と、 前記試料台を固定する固定治具と、 前記固定治具の押面上端に設けられた第１突出部と、 前記固定治具の押面に設けられた縦溝を備え、 前記研磨装置は、 研磨板と、 前記研磨板を回転させる回転手段と、 前記研磨板の回転中に、前記研磨板上に置かれた前記研
    磨治具を押える押板と、 前記押板に設けられ、前記押面の縦溝に挿入可能な第２
    突出部とを備えることを特徴とする研磨システム。
11. 【請求項１１】 研磨治具と研磨装置とが設けられた研
    磨システムにおいて、 前記研磨治具は、 試料を装着する試料台と、 前記試料台を固定する固定治具と、 前記固定治具の押面上端に設けられ、下面が楔形の突出
    部とを備え、 前記研磨装置は、 研磨板と、 前記研磨板を回転させる回転手段と、 前記研磨板の回転中に、前記研磨板上に置かれた前記研
    磨治具を押える押板と、 前記押板の上面に形成され、前記楔形と嵌め合わせ可能
    なＶ溝とを備えることを特徴とする研磨システム。