JP2003194861A - 様々な負荷条件でｄｕｔの信号ポートにおける測定データを収集する装置 - Google Patents
様々な負荷条件でｄｕｔの信号ポートにおける測定データを収集する装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】整合のとれていない負荷環境において検査対象
デバイスの非線形動作を特徴付け、非直線散乱関数を導
出するための測定を実施するための装置を提供するこ
と。 【解決手段】ＲＦ検査対象デバイスおよびマイクロ波検
査対象デバイスの信号ポート(1,2)においてＲＦ信号測
定データを収集するための装置。本装置は、ＤＵＴ(3)
の信号ポート(1,2)において入射ＲＦ信号および反射Ｒ
Ｆ信号を測定するための手段(6)と、基本周波数のＲＦ
信号および該基本周波数の高調波を生成するための波形
合成手段(10,11,18)と、前記基本周波数および高調波に
ついてＤＵＴ(3)が様々なインピーダンス条件になるよ
うに負荷をかけるように構成された同調手段(24,25)
と、前記波形合成手段(10,11,18)のＲＦ信号をＤＵＴ
(3)の信号ポート(1,2)へ供給するための手段(12-16,19-
23)とを含む。本装置は非線形ネットワーク測定システ
ム（ＮＮＭＳ）(26)の一部として形成することもでき
る。
デバイスの非線形動作を特徴付け、非直線散乱関数を導
出するための測定を実施するための装置を提供するこ
と。 【解決手段】ＲＦ検査対象デバイスおよびマイクロ波検
査対象デバイスの信号ポート(1,2)においてＲＦ信号測
定データを収集するための装置。本装置は、ＤＵＴ(3)
の信号ポート(1,2)において入射ＲＦ信号および反射Ｒ
Ｆ信号を測定するための手段(6)と、基本周波数のＲＦ
信号および該基本周波数の高調波を生成するための波形
合成手段(10,11,18)と、前記基本周波数および高調波に
ついてＤＵＴ(3)が様々なインピーダンス条件になるよ
うに負荷をかけるように構成された同調手段(24,25)
と、前記波形合成手段(10,11,18)のＲＦ信号をＤＵＴ
(3)の信号ポート(1,2)へ供給するための手段(12-16,19-
23)とを含む。本装置は非線形ネットワーク測定システ
ム（ＮＮＭＳ）(26)の一部として形成することもでき
る。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は概して無線周波数
（ＲＦ）およびマイクロ波技術に関し、詳しくは、様々
なインピーダンスの負荷条件下での検査対象デバイスの
信号データの測定および処理に関する。 【０００２】 【従来の技術】携帯電話のような遠隔通信機器が一般大
衆に広く使われている。例えば、ローカル・マルチポイ
ント・ディストリビューション・サービス（ＬＭＤ
Ｓ）、無線ＬＡＮおよび広帯域ＣＤＭＡなどの機器は、
マイクロ波技術に大きく依存し、ミキサ、低雑音増幅
器、電力増幅器などのマイクロ波コンポーネントを含ん
でいる。 【０００３】実際問題として、電力増幅器の設計はもっ
とも困難な解決すべき課題の１つとなっている。通常、
電力増幅器の設計には数回の設計の繰り返しが必要であ
り、その主な理由は、使用するＲＦトランジスタモデル
の精度が限られており、特にその非線形動作の記述につ
いて制限があるからである。 【０００４】現在、電力増幅器設計用のトランジスタモ
デルは、ＤＣ、ＣＶおよび／あるいはＳパラメタの測定
に基づいている。これらは、Ｃｕｒｔｉｃｅ Ｃｕｂｉ
ｃ、Ｍａｔｅｒｋａ、Ｓｔａｔｚ、Ｔａｊｉｍａ、ＢＳ
ＩＭ、ＭＭ９、ＶＢＩＣなどの技術依存型分析モデルで
ある場合もあるし、ＨＰ−Ｒｏｏｔのような測定に基づ
くモデルである場合もある。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
のモデルは、非線形（大信号）の動作に使用されるにも
かかわらず、いずれも小信号測定に依存している。従っ
て、これらのモデルは、例えばＲＦ電力トランジスタな
どの検査対象デバイスの激しい非線形動作を記述する際
には、必ずしも十分に機能しないことが予想される。こ
の種の用途の場合、いわゆる「非線形散乱関数」、ある
いはＳパラメタ数値表現の非線形動作への拡張と考えら
れるさらに一般的な記述関数を使用することが提案され
ている。記述関数は、線形動作についてのＳパラメタと
同様にデバイスの特性であり、デバイスの測定に使用さ
れる測定系（の種類）には依存しない。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明の目的は、ＲＦ検
査対象デバイスおよびマイクロ波検査対象デバイスの信
号ポートにおけるＲＦ信号測定データを収集するための
新規な装置を提供することであり、概して、整合のとれ
ていない負荷環境において検査対象デバイスの非線型動
作を特徴付け、特に検査対象デバイスの非線形散乱関数
の導出するための測定を実施する装置を提供することで
ある。 【０００７】本発明の他の目的は、本発明に従って検査
対象デバイスの非線形信号データを取得するように構成
された非線形ネットワーク測定システム（ＮＮＭＳ）を
提供することである。 【０００８】本発明によれば、第１の態様として、ＲＦ
検査対象デバイスおよびマイクロ波検査対象デバイスの
信号ポートにおけるＲＦ信号測定データを収集するため
の装置が提供され、該装置には、信号ポートにおいて入
射ＲＦ信号および反射ＲＦ信号を測定するための手段
と、基本周波数および該基本周波数の高調波でＲＦ信号
を生成するための波形合成手段と、前記基本周波数およ
び基本周波数の高調波について様々なインピーダンス条
件で検査対象デバイスに負荷を与える同調手段と、前記
波形合成手段のＲＦ信号を検査対象デバイスの信号ポー
トへ供給するための手段とが含まれる。 【０００９】本発明による装置は、基本周波数と該基本
周波数の高調波との両方について調節可能なインピーダ
ンス整合を行う検査対象デバイスの信号ポートにおける
新規なデータ取得を提供する。そのため、受動的および
能動的な高調波ロードプル測定と１つの装置とを組み合
わせて検査対象デバイスの非線形散乱関数を導出する。 【００１０】本発明の一実施例において、本装置は基本
周波数のＲＦ信号を生成する第１の波形合成手段と高調
波ＲＦ信号を生成する第２の波形合成手段とを備え、第
１および第２の波形合成手段がダイプレクサ手段により
検査対象デバイスの信号ポートに接続される。 【００１１】本発明による装置の他の実施例によれば、
切り替え手段により第２の波形合成手段とダイプレクサ
手段とを接続し、該第２の波形合成手段と検査対象デバ
イスの信号ポートのうちの選択された１つまたはすべて
とを接続するように前記切り替え手段を構成することに
より、前記高調波を検査対象デバイスの１以上の信号ポ
ートに選択的に供給することができる。これによって、
測定の最大限の柔軟性が提供される。 【００１２】本発明の他の実施例において、検査対象デ
バイスの信号ポートにおける波形合成手段のインピーダ
ンス整合状態を変化させるため、第１の波形合成手段は
同調手段によりダイプレクサ手段に接続される。 【００１３】本発明のさらに他の実施例において、第２
の波形合成手段はインピーダンス整合状態でダイプレク
サに接続され、高調波が整合状態で供給されるようにし
ている。これにより、基本周波数の５倍までの高調波を
印加することができるので、測定の精度が良くなる。 【００１４】測定の精度をさらに向上させるため、本発
明の他の実施例において、第１の波形合成手段は、高調
波を終端する手段により同調手段に接続される場合もあ
る。 【００１５】検査対象デバイスをバイアスする手段は、
同調手段およびダイプレクサ手段により検査対象デバイ
スの信号ポートに接続されることが好ましい。 【００１６】測定データを収集および処理するため、Ａ
ｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓによって提供
されるような市場で入手可能な非線形ネットワーク測定
システム（ＮＮＭＳ）を用いてデータ収集、すなわち検
査対象デバイスの非線形ＲＦ信号動作を特徴付けるため
の非線形散乱関数を導出するためのデータ取得および処
理を行う。 【００１７】本発明はさらに、基本周波数および該基本
周波数の高調波でＲＦ信号を生成するための波形合成手
段と、該基本周波数および高調波について様々なインピ
ーダンス条件で検査対象デバイスに負荷を与えるための
同調手段と、前記波形合成手段のＲＦ信号を検査対象デ
バイスの信号ポートに供給するための手段とを含む装置
にも関する。 【００１８】本発明はさらに、上記の構成により拡張さ
れた変形非線形ネットワーク測定システム（ＮＮＭＳ）
を提供し、可能な限り自動化されたやり方で本発明によ
る測定を実施するための単一の集積された装置を提供す
る。 【００１９】本発明の上記その他の特徴および利点は、
添付の図面と共に以下の詳細な説明に例示する。 【００２０】 【発明の実施の形態】図１は、本発明による一般的な実
施例を示すもので、それぞれ第１と第２の信号ポート
１、２を備えた検査対象デバイス（ＤＵＴ）３の信号デ
ータを収集するためのものである。 【００２１】ＤＵＴ３は、カプラ４、５により信号ポー
ト１、２のそれぞれにおいてネットワークアナライザ
（ＮＡ）などのデータ測定装置６に接続される。本発明
の目的のために、Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇ
ｉｅｓから市販されている非線形ネットワーク測定シス
テム（ＮＮＭＳ）が、効果的に使える。 【００２２】データ測定装置６はさらに、ＤＵＴ３のＤ
Ｃバイアスを行うバイアス電圧およびバイアス電流を供
給するためのバイアス供給およびモニタ手段７を備えて
いる。バイアス信号は、バイアスティ８、９を介してＤ
ＵＴの信号ポート１、２にそれぞれ供給される。このバ
イアスティ８、９のそれぞれには、バイアス電圧および
バイアス電流を供給するためのキャパシタおよびインダ
クタンスが含まれ、例えばコイルが含まれる。 【００２３】キャパシタで終端されたそれぞれのバイア
スティ８、９の入力部には、第１の波形合成手段１０、
１１が接続される。これらの第１の波形合成手段１０、
１１は、ＤＵＴ３の基本周波数のＲＦ信号を供給するよ
うに構成される。 【００２４】第１の波形合成手段１０、１１と直列に、
増幅手段１２、１３および終端負荷１６、１７が接続さ
れたサーキュレータなどの電波終端手段１４、１５が接
続される。 【００２５】第２の波形合成手段１８は、負荷２０によ
り負荷をかけられた増幅手段１９を介して切り替え手段
２１に接続される。第２の波形合成手段１８は、基本周
波数の５倍またはそれ以上の高調波を生成するように構
成されている。負荷２０は、ダイプレクサ２２、２３を
適切に終端するために整合された負荷である。 【００２６】切り替え手段２１は、ダイプレクサ手段２
２、２３それぞれの第１のポートに接続される。ダイプ
レクサ手段２２、２３の第２のポートは、同調器２４、
２５によりバイアスティ８、９それぞれの出力に接続さ
れている。高調波は、切り替え手段２１および対応する
ダイプレクサ手段２２、２３を介して、ＤＵＴ３の信号
ポート１、２のいずれか一方にも両方にも印加可能であ
る。これにより、極めて柔軟性のある測定機構が提供さ
れる。 【００２７】ダイプレクサ２２、２３は、基本波の電力
を「●」印のポートへ導き、すべての高調波の電力を
「＃」印のポートへ導くように構成されている。使用の
際には、ＤＵＴ３の非線形動作を記述するためのパラメ
タを導出するための測定データを取得するため、同調器
２４および２５を調節することにより、基本波周波数と
高調波周波数との両方についてＤＵＴ３を様々な負荷条
件で動作させることができる。 【００２８】ＤＵＴ３は、入力ポートと出力ポートのよ
うに、２つの信号ポートしか持たないデバイスに限定さ
れる必要はないことに注意してほしい。本発明による装
置は、複数の信号ポートを備えたＤＵＴと共に使用する
ように設計することもできる。 【００２９】本発明による装置は、ＮＮＭＳなどのネッ
トワークアナライザと共に使用する個別の装置として提
供することもできるし、ＤＵＴ３を除けば破線２６で概
略を示す部分をＮＮＭＳに一体化させることもできる。
記述関数を導出するための測定データの処理は、適当な
処理手段を有するＮＮＭＳ２６によって実施することが
好ましい。 【００３０】本発明は、例示の構成に限定されるのでは
ない。当業者であれば、様々な負荷条件で検査対象デバ
イスを測定するため、本発明の新規で進歩性のある示唆
から外れることなく多くの変形を施せることが分かるで
あろう。 【００３１】以下においては、本発明の種々の構成要件
の組み合わせからなる例示的な実施態様を示す。 １．ＲＦ検査対象デバイスおよびマイクロ波検査対象デ
バイスの信号ポートにおいてＲＦ信号測定データを収集
するための装置であって、前記信号ポートの入射ＲＦ信
号および反射ＲＦ信号を測定するための手段と、基本周
波数のＲＦ信号および該基本周波数の高調波を生成する
ための波形合成手段と、前記基本周波数および高調波に
ついて様々な負荷条件で前記検査対象デバイスに負荷を
かけるように構成された同調手段と、前記波形合成手段
のＲＦ信号を前記検査対象デバイスの信号ポートへ供給
するための手段と、からなる装置。 ２．前記基本周波数のＲＦ信号を生成するための第１の
波形合成手段と前記高調波ＲＦ信号を生成するための第
２の波形合成手段とを含み、該第１および第２の波形合
成手段がダイプレクサ手段により前記検査対象デバイス
に接続されている、項番１の装置。 ３．前記第２の波形合成手段が切り替え手段により前記
ダイプレクサ手段に接続され、該切り替え手段が前記第
２の波形合成手段と前記検査対象デバイスの信号ポート
のうちの選択された１つまたはすべてとを接続するよう
に構成される、項番２の装置。 ４．前記第１の波形合成手段が前記同調手段により前記
ダイプレクサ手段と接続される、項番３の装置。 ５．前記第２の波形合成手段がインピーダンス整合状態
で前記ダイプレクサ手段と接続される、項番３または４
の装置。 ６．前記第１の波形合成手段が前記高調波を終端するた
めの手段により前記同調手段と接続される、項番４また
は５の装置。 ７．前記検査対象デバイスをバイアスするためのバイア
ス手段を含み、該バイアス手段が前記同調手段および前
記ダイプレクサ手段により前記検査対象デバイスの信号
ポートに接続される、項番４〜６のうちのいずれか１項
に記載の装置。 ８．前記測定データを収集するための手段が非線形ネッ
トワーク測定システム（ＮＮＭＳ）である、項番１〜７
のうちのいずれか１項に記載の装置。 ９．ＲＦ検査対象デバイスおよびマイクロ波検査対象デ
バイスのＲＦ信号測定データを収集するための手段と共
に用いる装置であって、基本周波数のＲＦ信号および該
基本周波数の高調波を生成するための波形合成手段と、
前記基本周波数および高調波について様々なインピーダ
ンス条件で前記検査対象デバイスに負荷をかけるように
構成された同調手段と、前記波形合成手段のＲＦ信号を
前記検査対象デバイスの信号ポートへ供給するための手
段と、からなる装置。 １０．前記波形合成手段、前記同調手段および前記ＲＦ
信号を供給するための手段が項番２〜８に規定された手
段のうちのいずれかを含む、項番９の装置。 １１．検査対象デバイスの非線形ＲＦ信号動作を特徴付
けるため、検査対象装置の入射測定データおよび反射測
定データを収集および処理するように構成された非線形
ネットワーク測定システム（ＮＮＭＳ）であって、項番
９〜１０に規定された装置をさらに含む、非線形ネット
ワーク測定システム（ＮＮＭＳ）。 【００３２】 【発明の効果】本発明は、上記のように構成することに
より、整合のとれていない負荷環境において検査対象デ
バイスの非線形動作を特徴付け、非直線散乱関数を導出
するための測定を実施するための装置を提供することが
できる。
（ＲＦ）およびマイクロ波技術に関し、詳しくは、様々
なインピーダンスの負荷条件下での検査対象デバイスの
信号データの測定および処理に関する。 【０００２】 【従来の技術】携帯電話のような遠隔通信機器が一般大
衆に広く使われている。例えば、ローカル・マルチポイ
ント・ディストリビューション・サービス（ＬＭＤ
Ｓ）、無線ＬＡＮおよび広帯域ＣＤＭＡなどの機器は、
マイクロ波技術に大きく依存し、ミキサ、低雑音増幅
器、電力増幅器などのマイクロ波コンポーネントを含ん
でいる。 【０００３】実際問題として、電力増幅器の設計はもっ
とも困難な解決すべき課題の１つとなっている。通常、
電力増幅器の設計には数回の設計の繰り返しが必要であ
り、その主な理由は、使用するＲＦトランジスタモデル
の精度が限られており、特にその非線形動作の記述につ
いて制限があるからである。 【０００４】現在、電力増幅器設計用のトランジスタモ
デルは、ＤＣ、ＣＶおよび／あるいはＳパラメタの測定
に基づいている。これらは、Ｃｕｒｔｉｃｅ Ｃｕｂｉ
ｃ、Ｍａｔｅｒｋａ、Ｓｔａｔｚ、Ｔａｊｉｍａ、ＢＳ
ＩＭ、ＭＭ９、ＶＢＩＣなどの技術依存型分析モデルで
ある場合もあるし、ＨＰ−Ｒｏｏｔのような測定に基づ
くモデルである場合もある。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
のモデルは、非線形（大信号）の動作に使用されるにも
かかわらず、いずれも小信号測定に依存している。従っ
て、これらのモデルは、例えばＲＦ電力トランジスタな
どの検査対象デバイスの激しい非線形動作を記述する際
には、必ずしも十分に機能しないことが予想される。こ
の種の用途の場合、いわゆる「非線形散乱関数」、ある
いはＳパラメタ数値表現の非線形動作への拡張と考えら
れるさらに一般的な記述関数を使用することが提案され
ている。記述関数は、線形動作についてのＳパラメタと
同様にデバイスの特性であり、デバイスの測定に使用さ
れる測定系（の種類）には依存しない。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明の目的は、ＲＦ検
査対象デバイスおよびマイクロ波検査対象デバイスの信
号ポートにおけるＲＦ信号測定データを収集するための
新規な装置を提供することであり、概して、整合のとれ
ていない負荷環境において検査対象デバイスの非線型動
作を特徴付け、特に検査対象デバイスの非線形散乱関数
の導出するための測定を実施する装置を提供することで
ある。 【０００７】本発明の他の目的は、本発明に従って検査
対象デバイスの非線形信号データを取得するように構成
された非線形ネットワーク測定システム（ＮＮＭＳ）を
提供することである。 【０００８】本発明によれば、第１の態様として、ＲＦ
検査対象デバイスおよびマイクロ波検査対象デバイスの
信号ポートにおけるＲＦ信号測定データを収集するため
の装置が提供され、該装置には、信号ポートにおいて入
射ＲＦ信号および反射ＲＦ信号を測定するための手段
と、基本周波数および該基本周波数の高調波でＲＦ信号
を生成するための波形合成手段と、前記基本周波数およ
び基本周波数の高調波について様々なインピーダンス条
件で検査対象デバイスに負荷を与える同調手段と、前記
波形合成手段のＲＦ信号を検査対象デバイスの信号ポー
トへ供給するための手段とが含まれる。 【０００９】本発明による装置は、基本周波数と該基本
周波数の高調波との両方について調節可能なインピーダ
ンス整合を行う検査対象デバイスの信号ポートにおける
新規なデータ取得を提供する。そのため、受動的および
能動的な高調波ロードプル測定と１つの装置とを組み合
わせて検査対象デバイスの非線形散乱関数を導出する。 【００１０】本発明の一実施例において、本装置は基本
周波数のＲＦ信号を生成する第１の波形合成手段と高調
波ＲＦ信号を生成する第２の波形合成手段とを備え、第
１および第２の波形合成手段がダイプレクサ手段により
検査対象デバイスの信号ポートに接続される。 【００１１】本発明による装置の他の実施例によれば、
切り替え手段により第２の波形合成手段とダイプレクサ
手段とを接続し、該第２の波形合成手段と検査対象デバ
イスの信号ポートのうちの選択された１つまたはすべて
とを接続するように前記切り替え手段を構成することに
より、前記高調波を検査対象デバイスの１以上の信号ポ
ートに選択的に供給することができる。これによって、
測定の最大限の柔軟性が提供される。 【００１２】本発明の他の実施例において、検査対象デ
バイスの信号ポートにおける波形合成手段のインピーダ
ンス整合状態を変化させるため、第１の波形合成手段は
同調手段によりダイプレクサ手段に接続される。 【００１３】本発明のさらに他の実施例において、第２
の波形合成手段はインピーダンス整合状態でダイプレク
サに接続され、高調波が整合状態で供給されるようにし
ている。これにより、基本周波数の５倍までの高調波を
印加することができるので、測定の精度が良くなる。 【００１４】測定の精度をさらに向上させるため、本発
明の他の実施例において、第１の波形合成手段は、高調
波を終端する手段により同調手段に接続される場合もあ
る。 【００１５】検査対象デバイスをバイアスする手段は、
同調手段およびダイプレクサ手段により検査対象デバイ
スの信号ポートに接続されることが好ましい。 【００１６】測定データを収集および処理するため、Ａ
ｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓによって提供
されるような市場で入手可能な非線形ネットワーク測定
システム（ＮＮＭＳ）を用いてデータ収集、すなわち検
査対象デバイスの非線形ＲＦ信号動作を特徴付けるため
の非線形散乱関数を導出するためのデータ取得および処
理を行う。 【００１７】本発明はさらに、基本周波数および該基本
周波数の高調波でＲＦ信号を生成するための波形合成手
段と、該基本周波数および高調波について様々なインピ
ーダンス条件で検査対象デバイスに負荷を与えるための
同調手段と、前記波形合成手段のＲＦ信号を検査対象デ
バイスの信号ポートに供給するための手段とを含む装置
にも関する。 【００１８】本発明はさらに、上記の構成により拡張さ
れた変形非線形ネットワーク測定システム（ＮＮＭＳ）
を提供し、可能な限り自動化されたやり方で本発明によ
る測定を実施するための単一の集積された装置を提供す
る。 【００１９】本発明の上記その他の特徴および利点は、
添付の図面と共に以下の詳細な説明に例示する。 【００２０】 【発明の実施の形態】図１は、本発明による一般的な実
施例を示すもので、それぞれ第１と第２の信号ポート
１、２を備えた検査対象デバイス（ＤＵＴ）３の信号デ
ータを収集するためのものである。 【００２１】ＤＵＴ３は、カプラ４、５により信号ポー
ト１、２のそれぞれにおいてネットワークアナライザ
（ＮＡ）などのデータ測定装置６に接続される。本発明
の目的のために、Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇ
ｉｅｓから市販されている非線形ネットワーク測定シス
テム（ＮＮＭＳ）が、効果的に使える。 【００２２】データ測定装置６はさらに、ＤＵＴ３のＤ
Ｃバイアスを行うバイアス電圧およびバイアス電流を供
給するためのバイアス供給およびモニタ手段７を備えて
いる。バイアス信号は、バイアスティ８、９を介してＤ
ＵＴの信号ポート１、２にそれぞれ供給される。このバ
イアスティ８、９のそれぞれには、バイアス電圧および
バイアス電流を供給するためのキャパシタおよびインダ
クタンスが含まれ、例えばコイルが含まれる。 【００２３】キャパシタで終端されたそれぞれのバイア
スティ８、９の入力部には、第１の波形合成手段１０、
１１が接続される。これらの第１の波形合成手段１０、
１１は、ＤＵＴ３の基本周波数のＲＦ信号を供給するよ
うに構成される。 【００２４】第１の波形合成手段１０、１１と直列に、
増幅手段１２、１３および終端負荷１６、１７が接続さ
れたサーキュレータなどの電波終端手段１４、１５が接
続される。 【００２５】第２の波形合成手段１８は、負荷２０によ
り負荷をかけられた増幅手段１９を介して切り替え手段
２１に接続される。第２の波形合成手段１８は、基本周
波数の５倍またはそれ以上の高調波を生成するように構
成されている。負荷２０は、ダイプレクサ２２、２３を
適切に終端するために整合された負荷である。 【００２６】切り替え手段２１は、ダイプレクサ手段２
２、２３それぞれの第１のポートに接続される。ダイプ
レクサ手段２２、２３の第２のポートは、同調器２４、
２５によりバイアスティ８、９それぞれの出力に接続さ
れている。高調波は、切り替え手段２１および対応する
ダイプレクサ手段２２、２３を介して、ＤＵＴ３の信号
ポート１、２のいずれか一方にも両方にも印加可能であ
る。これにより、極めて柔軟性のある測定機構が提供さ
れる。 【００２７】ダイプレクサ２２、２３は、基本波の電力
を「●」印のポートへ導き、すべての高調波の電力を
「＃」印のポートへ導くように構成されている。使用の
際には、ＤＵＴ３の非線形動作を記述するためのパラメ
タを導出するための測定データを取得するため、同調器
２４および２５を調節することにより、基本波周波数と
高調波周波数との両方についてＤＵＴ３を様々な負荷条
件で動作させることができる。 【００２８】ＤＵＴ３は、入力ポートと出力ポートのよ
うに、２つの信号ポートしか持たないデバイスに限定さ
れる必要はないことに注意してほしい。本発明による装
置は、複数の信号ポートを備えたＤＵＴと共に使用する
ように設計することもできる。 【００２９】本発明による装置は、ＮＮＭＳなどのネッ
トワークアナライザと共に使用する個別の装置として提
供することもできるし、ＤＵＴ３を除けば破線２６で概
略を示す部分をＮＮＭＳに一体化させることもできる。
記述関数を導出するための測定データの処理は、適当な
処理手段を有するＮＮＭＳ２６によって実施することが
好ましい。 【００３０】本発明は、例示の構成に限定されるのでは
ない。当業者であれば、様々な負荷条件で検査対象デバ
イスを測定するため、本発明の新規で進歩性のある示唆
から外れることなく多くの変形を施せることが分かるで
あろう。 【００３１】以下においては、本発明の種々の構成要件
の組み合わせからなる例示的な実施態様を示す。 １．ＲＦ検査対象デバイスおよびマイクロ波検査対象デ
バイスの信号ポートにおいてＲＦ信号測定データを収集
するための装置であって、前記信号ポートの入射ＲＦ信
号および反射ＲＦ信号を測定するための手段と、基本周
波数のＲＦ信号および該基本周波数の高調波を生成する
ための波形合成手段と、前記基本周波数および高調波に
ついて様々な負荷条件で前記検査対象デバイスに負荷を
かけるように構成された同調手段と、前記波形合成手段
のＲＦ信号を前記検査対象デバイスの信号ポートへ供給
するための手段と、からなる装置。 ２．前記基本周波数のＲＦ信号を生成するための第１の
波形合成手段と前記高調波ＲＦ信号を生成するための第
２の波形合成手段とを含み、該第１および第２の波形合
成手段がダイプレクサ手段により前記検査対象デバイス
に接続されている、項番１の装置。 ３．前記第２の波形合成手段が切り替え手段により前記
ダイプレクサ手段に接続され、該切り替え手段が前記第
２の波形合成手段と前記検査対象デバイスの信号ポート
のうちの選択された１つまたはすべてとを接続するよう
に構成される、項番２の装置。 ４．前記第１の波形合成手段が前記同調手段により前記
ダイプレクサ手段と接続される、項番３の装置。 ５．前記第２の波形合成手段がインピーダンス整合状態
で前記ダイプレクサ手段と接続される、項番３または４
の装置。 ６．前記第１の波形合成手段が前記高調波を終端するた
めの手段により前記同調手段と接続される、項番４また
は５の装置。 ７．前記検査対象デバイスをバイアスするためのバイア
ス手段を含み、該バイアス手段が前記同調手段および前
記ダイプレクサ手段により前記検査対象デバイスの信号
ポートに接続される、項番４〜６のうちのいずれか１項
に記載の装置。 ８．前記測定データを収集するための手段が非線形ネッ
トワーク測定システム（ＮＮＭＳ）である、項番１〜７
のうちのいずれか１項に記載の装置。 ９．ＲＦ検査対象デバイスおよびマイクロ波検査対象デ
バイスのＲＦ信号測定データを収集するための手段と共
に用いる装置であって、基本周波数のＲＦ信号および該
基本周波数の高調波を生成するための波形合成手段と、
前記基本周波数および高調波について様々なインピーダ
ンス条件で前記検査対象デバイスに負荷をかけるように
構成された同調手段と、前記波形合成手段のＲＦ信号を
前記検査対象デバイスの信号ポートへ供給するための手
段と、からなる装置。 １０．前記波形合成手段、前記同調手段および前記ＲＦ
信号を供給するための手段が項番２〜８に規定された手
段のうちのいずれかを含む、項番９の装置。 １１．検査対象デバイスの非線形ＲＦ信号動作を特徴付
けるため、検査対象装置の入射測定データおよび反射測
定データを収集および処理するように構成された非線形
ネットワーク測定システム（ＮＮＭＳ）であって、項番
９〜１０に規定された装置をさらに含む、非線形ネット
ワーク測定システム（ＮＮＭＳ）。 【００３２】 【発明の効果】本発明は、上記のように構成することに
より、整合のとれていない負荷環境において検査対象デ
バイスの非線形動作を特徴付け、非直線散乱関数を導出
するための測定を実施するための装置を提供することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による方法を実施するための装置の実施
形態を概略的且つ例示的に示した図である。
形態を概略的且つ例示的に示した図である。
フロントページの続き
(72)発明者 ジャン・ヴェルスペヒト
ベルギー国1840スティーンヒュッフェル,
ゲルトリュデヴェルト・15
(72)発明者 イウォート・ヴァンダメ
ベルギー国ベー−2880ヒンゲネ，ダブリュ
ー・ドゥルセルストラート・８／２
Ｆターム(参考） 2G028 BB11 CG15 DH03 DH11 DH15
2G036 AA28 BA46 CA12
5J091 AA01 AA41 CA00 CA75 FA10
HA29 HA33 HA38 KA00 KA12
KA68 SA13
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】ＲＦ検査対象デバイスおよびマイクロ波検
査対象デバイスの信号ポートにおいてＲＦ信号測定デー
タを収集するための装置であって、 前記信号ポートの入射ＲＦ信号および反射ＲＦ信号を測
定するための手段と、 基本周波数のＲＦ信号および該基本周波数の高調波を生
成するための波形合成手段と、 前記基本周波数および高調波について様々な負荷条件で
前記検査対象デバイスに負荷をかけるように構成された
同調手段と、 前記波形合成手段のＲＦ信号を前記検査対象デバイスの
信号ポートへ供給するための手段と、 からなる装置。
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