JP2003193979A - ダイヤフラムポンプ - Google Patents
ダイヤフラムポンプInfo
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- JP2003193979A JP2003193979A JP2001392699A JP2001392699A JP2003193979A JP 2003193979 A JP2003193979 A JP 2003193979A JP 2001392699 A JP2001392699 A JP 2001392699A JP 2001392699 A JP2001392699 A JP 2001392699A JP 2003193979 A JP2003193979 A JP 2003193979A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 アクチュエータの能力に依存していたポンプ
特性の任意設定を可能ととする。 【解決手段】 一面がポンプ室３に面したダイヤフラム
２の駆動手段５による往復動でポンプ室３の内容積を変
化させるダイヤフラムポンプである。ダイヤフラム２の
他面に背圧を加える背圧付与手段６を設ける。背圧をダ
イヤフラム２に加えることで、ポンプ特性を変化させ
る。
特性の任意設定を可能ととする。 【解決手段】 一面がポンプ室３に面したダイヤフラム
２の駆動手段５による往復動でポンプ室３の内容積を変
化させるダイヤフラムポンプである。ダイヤフラム２の
他面に背圧を加える背圧付与手段６を設ける。背圧をダ
イヤフラム２に加えることで、ポンプ特性を変化させ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はダイヤフラムポン
プ、殊に圧電素子や電歪ポリマーを利用してダイヤフラ
ムの駆動を行うダイヤフラムポンプに関するものであ
る。に関するものである。
プ、殊に圧電素子や電歪ポリマーを利用してダイヤフラ
ムの駆動を行うダイヤフラムポンプに関するものであ
る。に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ダイヤフラムポンプとして、ダイヤフラ
ムの駆動用アクチュエータに圧電素子や電歪ポリマーを
用いたものが提案されており、電歪ポリマーを用いたも
のは電圧印加時のダイヤフラムのモーション管理が困難
なために未だ実用化されていないものの殊に圧電素子を
用いたユニモルフ型ダイヤフラムポンプ（たとえば特開
昭５９−２０００８１号公報参照）においては既に実用
化されている。
ムの駆動用アクチュエータに圧電素子や電歪ポリマーを
用いたものが提案されており、電歪ポリマーを用いたも
のは電圧印加時のダイヤフラムのモーション管理が困難
なために未だ実用化されていないものの殊に圧電素子を
用いたユニモルフ型ダイヤフラムポンプ（たとえば特開
昭５９−２０００８１号公報参照）においては既に実用
化されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ダイヤフラ
ムポンプにおけるダイヤフラムのストロークと発生力と
は、ダイヤフラムの駆動用のアクチュエータの能力でほ
ぼ決定されてしまう。しかし、圧電素子をアクチュエー
タとするものや、電歪ポリマーをアクチュエータとする
ものにおいては、その能力の向上が容易ではなく、従っ
て該アクチュエータを用いたダイヤフラムポンプの能力
（ポンプ特性）は低レベルなものに留まっている。
ムポンプにおけるダイヤフラムのストロークと発生力と
は、ダイヤフラムの駆動用のアクチュエータの能力でほ
ぼ決定されてしまう。しかし、圧電素子をアクチュエー
タとするものや、電歪ポリマーをアクチュエータとする
ものにおいては、その能力の向上が容易ではなく、従っ
て該アクチュエータを用いたダイヤフラムポンプの能力
（ポンプ特性）は低レベルなものに留まっている。
【０００４】本発明はこのような点に鑑みなされたもの
であって、その目的とするところはアクチュエータの能
力に依存していたポンプ特性の任意設定を可能としたダ
イヤフラムポンプを提供するにある。
であって、その目的とするところはアクチュエータの能
力に依存していたポンプ特性の任意設定を可能としたダ
イヤフラムポンプを提供するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】しかして本発明は、一面
がポンプ室に面したダイヤフラムの駆動手段による往復
動でポンプ室の内容積を変化させるダイヤフラムポンプ
において、ダイヤフラムの他面に背圧を加える背圧付与
手段を設けていることに特徴を有している。背圧をダイ
ヤフラムに加えることで、ポンプ特性を変化させること
ができるようにしたものである。
がポンプ室に面したダイヤフラムの駆動手段による往復
動でポンプ室の内容積を変化させるダイヤフラムポンプ
において、ダイヤフラムの他面に背圧を加える背圧付与
手段を設けていることに特徴を有している。背圧をダイ
ヤフラムに加えることで、ポンプ特性を変化させること
ができるようにしたものである。
【０００６】上記駆動手段には、圧電素子を備えてダイ
ヤフラムである金属薄板に張り合わされた圧電アクチュ
エータや、電歪ポリマーを用いたアクチュエータを好適
に用いることができる。
ヤフラムである金属薄板に張り合わされた圧電アクチュ
エータや、電歪ポリマーを用いたアクチュエータを好適
に用いることができる。
【０００７】また、背圧付与手段には正圧の背圧をダイ
ヤフラムに加えるもの、負圧の背圧をダイヤフラムに加
えるもののいずれであってもよい。
ヤフラムに加えるもの、負圧の背圧をダイヤフラムに加
えるもののいずれであってもよい。
【０００８】また、背圧付与手段にはダイヤフラムの他
面に面する気密空間と該気密空間に充填した圧縮性流体
を好適に用いることができる。
面に面する気密空間と該気密空間に充填した圧縮性流体
を好適に用いることができる。
【０００９】さらに背圧付与手段にはダイヤフラムの動
きに同期して正圧の背圧と負圧の背圧とを交互に加える
ものを用いてもよく、この場合、ダイヤフラムの他面に
面する気密空間と該気密空間に充填した流体と、流体の
圧力調整手段とからなるものを好適に用いることができ
る。また、この場合の流体は圧縮性流体であっても非圧
縮性流体であってもよい。
きに同期して正圧の背圧と負圧の背圧とを交互に加える
ものを用いてもよく、この場合、ダイヤフラムの他面に
面する気密空間と該気密空間に充填した流体と、流体の
圧力調整手段とからなるものを好適に用いることができ
る。また、この場合の流体は圧縮性流体であっても非圧
縮性流体であってもよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下本発明を実施の形態の一例に
基づいて詳述すると、図１において、吸気口１１と排気
口１２とを備えるとともにこれら吸気口１１及び排気口
１２に逆止弁１３，１４を組み付けたベース１に、固着
手段４によってダイヤフラム２の周縁を固定すること
で、ダイヤフラム２とベース１とで囲まれたポンプ室３
を形成しており、ダイヤフラム２の外面にはその往復駆
動用の駆動手段（図示例ではスライダクランク機構）５
と背圧付与手段６とを連結してある。
基づいて詳述すると、図１において、吸気口１１と排気
口１２とを備えるとともにこれら吸気口１１及び排気口
１２に逆止弁１３，１４を組み付けたベース１に、固着
手段４によってダイヤフラム２の周縁を固定すること
で、ダイヤフラム２とベース１とで囲まれたポンプ室３
を形成しており、ダイヤフラム２の外面にはその往復駆
動用の駆動手段（図示例ではスライダクランク機構）５
と背圧付与手段６とを連結してある。
【００１１】上記背圧付与手段６は、ダイヤフラム２に
対して正圧、つまりポンプ室３の内容積を小さくする方
向の圧力を加えるものであっても、負圧、つまりポンプ
室３の内容積を大きくする方向の圧力を加えるものであ
ってもよい。また、図では配設付与手段６をシリンダー
で示しているが、これに限定するものではない。
対して正圧、つまりポンプ室３の内容積を小さくする方
向の圧力を加えるものであっても、負圧、つまりポンプ
室３の内容積を大きくする方向の圧力を加えるものであ
ってもよい。また、図では配設付与手段６をシリンダー
で示しているが、これに限定するものではない。
【００１２】そして、上記シリンダーからなる背圧付与
手段６によって正圧を加えた場合、ポンプの最大到達圧
力を向上させることができ、負圧を加えた場合、ポンプ
の最大流量を向上させることができる。
手段６によって正圧を加えた場合、ポンプの最大到達圧
力を向上させることができ、負圧を加えた場合、ポンプ
の最大流量を向上させることができる。
【００１３】図２は駆動手段５として圧電素子からなる
アクチュエータを用いたものを示している。図３(a)中
の矢印Ｘ方向が分極方向である円盤状の圧電素子５０の
場合、印加する方向の電圧によって径方向に延びたり縮
んだりするものであり、金属薄板からなるダイヤフラム
２の一面に上記圧電素子５０を貼り付けた場合、圧電素
子５０の伸縮に伴い、ダイヤフラム２は図３(b)に示す
ように湾曲する。
アクチュエータを用いたものを示している。図３(a)中
の矢印Ｘ方向が分極方向である円盤状の圧電素子５０の
場合、印加する方向の電圧によって径方向に延びたり縮
んだりするものであり、金属薄板からなるダイヤフラム
２の一面に上記圧電素子５０を貼り付けた場合、圧電素
子５０の伸縮に伴い、ダイヤフラム２は図３(b)に示す
ように湾曲する。
【００１４】また、図４は駆動手段５として電歪ポリマ
ーからなるアクチュエータを用いたものを示しており、
図５に示すように絶縁伸縮材料からなる伸縮部５１の両
面に導電性伸縮材料からなる電極５２，５２を設けて、
両電極５２，５２間に電圧を印加すれば、このアクチュ
エータは厚み方向（電極間の方向）に縮み、直交する方
向に延びる。この動きを利用してダイヤフラム２の駆動
を行うのであるが、図示例では該アクチュエータそのも
のをダイヤフラム２として利用している。
ーからなるアクチュエータを用いたものを示しており、
図５に示すように絶縁伸縮材料からなる伸縮部５１の両
面に導電性伸縮材料からなる電極５２，５２を設けて、
両電極５２，５２間に電圧を印加すれば、このアクチュ
エータは厚み方向（電極間の方向）に縮み、直交する方
向に延びる。この動きを利用してダイヤフラム２の駆動
を行うのであるが、図示例では該アクチュエータそのも
のをダイヤフラム２として利用している。
【００１５】スライダクランク機構のような駆動手段５
では、ダイヤフラム２のストロークが駆動手段５によっ
て決定されてしまうのに対して、圧電素子や電歪ポリマ
ーを駆動手段５に用いた場合、背圧付与手段６による付
勢でストロークを変化させることができる。また背圧付
与手段６による付勢で発生力のアシストを行うことがで
きる。
では、ダイヤフラム２のストロークが駆動手段５によっ
て決定されてしまうのに対して、圧電素子や電歪ポリマ
ーを駆動手段５に用いた場合、背圧付与手段６による付
勢でストロークを変化させることができる。また背圧付
与手段６による付勢で発生力のアシストを行うことがで
きる。
【００１６】図６は駆動手段５として圧電素子アクチュ
エータを用い、背圧付与手段６として圧縮コイルばねを
用いてダイヤフラム２に正圧を加えたものを示してお
り、図７は駆動手段５として圧電素子アクチュエータを
用い、背圧付与手段６として引っ張りコイルばねを用い
てダイヤフラム２に負圧を加えたものを示している。
エータを用い、背圧付与手段６として圧縮コイルばねを
用いてダイヤフラム２に正圧を加えたものを示してお
り、図７は駆動手段５として圧電素子アクチュエータを
用い、背圧付与手段６として引っ張りコイルばねを用い
てダイヤフラム２に負圧を加えたものを示している。
【００１７】また背圧付与手段６は、流体圧を利用する
ものであってもよい。図８はこの場合の一例を示してお
り、一面がポンプ室３に面しているダイヤフラム２の他
面側にケーシング７で覆った気密空間８を設けて、該気
密空間８の内圧を大気圧以上もしくは大気圧以下にして
おくのである。前者であれば正圧を、後者であれば負圧
をダイヤフラム２に加えたことになる。なお、気密空間
８の圧力設定は、ケーシング７に設けた栓７０を外して
別途ポンプに接続することで行えばよい。必要に応じて
正圧にするか、負圧にするか、その圧力値はいくらにす
るかを調整することができる。また、ダイヤフラム２に
対して面で背圧を加えることから、ダイヤフラム２の破
損が生じる虞を無くすことができる。
ものであってもよい。図８はこの場合の一例を示してお
り、一面がポンプ室３に面しているダイヤフラム２の他
面側にケーシング７で覆った気密空間８を設けて、該気
密空間８の内圧を大気圧以上もしくは大気圧以下にして
おくのである。前者であれば正圧を、後者であれば負圧
をダイヤフラム２に加えたことになる。なお、気密空間
８の圧力設定は、ケーシング７に設けた栓７０を外して
別途ポンプに接続することで行えばよい。必要に応じて
正圧にするか、負圧にするか、その圧力値はいくらにす
るかを調整することができる。また、ダイヤフラム２に
対して面で背圧を加えることから、ダイヤフラム２の破
損が生じる虞を無くすことができる。
【００１８】発生力のアシスト及びストロークの増大と
いう点においては、ダイヤフラム２の駆動に合わせて背
圧付与手段６が正圧と負圧を交互に加えるようにしてお
くとよい。つまり、ポンプ室３の内容積を増大させる吸
引時には図９(a)に示すように負圧を加え、ポンプ室３
の内容積を減少させる吐出時には図９(b)に示すように
正圧を加えるのである。これは背圧付与手段６としてシ
リンダーを用いることで簡単に行うことができる。
いう点においては、ダイヤフラム２の駆動に合わせて背
圧付与手段６が正圧と負圧を交互に加えるようにしてお
くとよい。つまり、ポンプ室３の内容積を増大させる吸
引時には図９(a)に示すように負圧を加え、ポンプ室３
の内容積を減少させる吐出時には図９(b)に示すように
正圧を加えるのである。これは背圧付与手段６としてシ
リンダーを用いることで簡単に行うことができる。
【００１９】また、図１０(a)(b)に示すように、上記気
密空間８を利用した背圧付与手段６を用いた場合にも、
気密空間８に別途ポンプなどからなる流体圧制御手段９
を接続することで発生力のアシスト及びストロークの増
大を行うことができる。この場合、気密空間８を満たす
流体には圧縮性流体だけでなく、非圧縮性流体も用いる
ことができる。また、圧縮性流体を用いる場合、ダイヤ
フラム２との同期ずれを許容することができ、非圧縮性
流体を用いた場合、ダイヤフラム２のモーションアシス
トをダイヤフラム２との同期により確実に行うことがで
きる。
密空間８を利用した背圧付与手段６を用いた場合にも、
気密空間８に別途ポンプなどからなる流体圧制御手段９
を接続することで発生力のアシスト及びストロークの増
大を行うことができる。この場合、気密空間８を満たす
流体には圧縮性流体だけでなく、非圧縮性流体も用いる
ことができる。また、圧縮性流体を用いる場合、ダイヤ
フラム２との同期ずれを許容することができ、非圧縮性
流体を用いた場合、ダイヤフラム２のモーションアシス
トをダイヤフラム２との同期により確実に行うことがで
きる。
【００２０】図１１及び図１２は図８にかかる実施例の
具体例を示しており、ベース１及びケーシング７に透明
アクリル樹脂を用いるとともに、ダイヤフラム２には直
径２０．２ｍｍ、厚み０．０５０ｍｍの真鍮製金属薄板
を用い、該ダイヤフラム２に貼り付ける駆動手段５とし
て、直径２０．０ｍｍ、厚み０．２５０ｍｍの圧電素子
（Ｃ９１）の両面に直径１８．０ｍｍ、厚み０．００８
ｍｍの銀焼き付けによる電極を設けたものを用いてい
る。なお、図１３に示すように、逆止弁１３，１４には
厚み０．００２ｍｍのポリカーボネートフィルム２５を
リング状部材２３，２４間に挟み込むとともにポリカー
ボネートフィルム２５にスリット２７を入れたものを用
いている。図中１７はＯリングである。このものにおい
て、駆動手段５である圧電素子の正極に＋４００Ｖ、負
極に−１００Ｖの電圧を駆動周波数１００Ｈｚ，矩形波
デューティ４０で印加したところ、気密空間８を開放し
た状態（大気圧状態）では最大圧力３１８ｍｍＨｇ、流
量６２ｍｌ／ｍｉｎであったものが、気密空間８を加圧
して大気圧に対して９０ｍｍＨｇの正圧を加えたとこ
ろ、最大圧力３２４ｍｍＨｇ、流量４０．８ｍｌ／ｍｉ
ｎに変更することができ、気密空間８を減圧して大気圧
に対して−９０ｍｍＨｇの負圧を加えたところ、最大圧
力３１０ｍｍＨｇ、流量７６．３ｍｌ／ｍｉｎに変更す
ることができた。
具体例を示しており、ベース１及びケーシング７に透明
アクリル樹脂を用いるとともに、ダイヤフラム２には直
径２０．２ｍｍ、厚み０．０５０ｍｍの真鍮製金属薄板
を用い、該ダイヤフラム２に貼り付ける駆動手段５とし
て、直径２０．０ｍｍ、厚み０．２５０ｍｍの圧電素子
（Ｃ９１）の両面に直径１８．０ｍｍ、厚み０．００８
ｍｍの銀焼き付けによる電極を設けたものを用いてい
る。なお、図１３に示すように、逆止弁１３，１４には
厚み０．００２ｍｍのポリカーボネートフィルム２５を
リング状部材２３，２４間に挟み込むとともにポリカー
ボネートフィルム２５にスリット２７を入れたものを用
いている。図中１７はＯリングである。このものにおい
て、駆動手段５である圧電素子の正極に＋４００Ｖ、負
極に−１００Ｖの電圧を駆動周波数１００Ｈｚ，矩形波
デューティ４０で印加したところ、気密空間８を開放し
た状態（大気圧状態）では最大圧力３１８ｍｍＨｇ、流
量６２ｍｌ／ｍｉｎであったものが、気密空間８を加圧
して大気圧に対して９０ｍｍＨｇの正圧を加えたとこ
ろ、最大圧力３２４ｍｍＨｇ、流量４０．８ｍｌ／ｍｉ
ｎに変更することができ、気密空間８を減圧して大気圧
に対して−９０ｍｍＨｇの負圧を加えたところ、最大圧
力３１０ｍｍＨｇ、流量７６．３ｍｌ／ｍｉｎに変更す
ることができた。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明においては、一面が
ポンプ室に面したダイヤフラムの駆動手段による往復動
でポンプ室の内容積を変化させるダイヤフラムポンプに
おいて、ダイヤフラムの他面に背圧を加える背圧付与手
段を設けているために、背圧をダイヤフラムに加えてポ
ンプ特性を変化させることができるものであり、この構
成は上記駆動手段が、圧電素子をダイヤフラムである金
属薄板に張り合わせた圧電アクチュエータや、電歪ポリ
マーを用いたアクチュエータである場合、特に好ましい
結果を得ることができる。
ポンプ室に面したダイヤフラムの駆動手段による往復動
でポンプ室の内容積を変化させるダイヤフラムポンプに
おいて、ダイヤフラムの他面に背圧を加える背圧付与手
段を設けているために、背圧をダイヤフラムに加えてポ
ンプ特性を変化させることができるものであり、この構
成は上記駆動手段が、圧電素子をダイヤフラムである金
属薄板に張り合わせた圧電アクチュエータや、電歪ポリ
マーを用いたアクチュエータである場合、特に好ましい
結果を得ることができる。
【００２２】また、背圧付与手段として正圧の背圧をダ
イヤフラムに加えるものを用いる場合、ポンプの最大到
達圧力を向上させたり、ポンプ室を圧縮する吐出時のダ
イヤフラムのストローク量の増大や発生力をアシストす
ることができる。
イヤフラムに加えるものを用いる場合、ポンプの最大到
達圧力を向上させたり、ポンプ室を圧縮する吐出時のダ
イヤフラムのストローク量の増大や発生力をアシストす
ることができる。
【００２３】背圧付与手段として負圧の背圧をダイヤフ
ラムに加えるものを用いる場合には、ポンプの最大流量
を向上させたり、ポンプ室の容積を増大させる吸引時の
ダイヤフラムのストローク量の増大や発生力をアシスト
することができる。
ラムに加えるものを用いる場合には、ポンプの最大流量
を向上させたり、ポンプ室の容積を増大させる吸引時の
ダイヤフラムのストローク量の増大や発生力をアシスト
することができる。
【００２４】また、背圧付与手段にはダイヤフラムの他
面に面する気密空間と該気密空間に充填した圧縮性流体
を好適に用いることができる。ダイヤフラムに対して面
で背圧を付与することができるために、ダイヤフラムの
一部に背圧が強くかかってしまうことがなく、ダイヤフ
ラムの破損を防止することができる。
面に面する気密空間と該気密空間に充填した圧縮性流体
を好適に用いることができる。ダイヤフラムに対して面
で背圧を付与することができるために、ダイヤフラムの
一部に背圧が強くかかってしまうことがなく、ダイヤフ
ラムの破損を防止することができる。
【００２５】さらに背圧付与手段にはダイヤフラムの動
きに同期して正圧の背圧と負圧の背圧とを交互に加える
ものを用いたならば、ダイヤフラムの往復動の両方向に
ついて、アシストを行うことができる。この時、背圧付
与手段として、ダイヤフラムの他面に面する気密空間と
該気密空間に充填した流体と、流体の圧力調整手段とか
らなるものを用いれば、ダイヤフラムに背圧を面圧とし
て付与することができて、ダイヤフラムの破損を防止す
ることができ、さらにこの場合の流体として圧縮性流体
を用いれば、ダイヤフラムとの同期ずれを許容すること
ができ、流体として非圧縮性流体を用いれば、ダイヤフ
ラムとの同期によりダイヤフラムの動作アシストを確実
に行うことができる。
きに同期して正圧の背圧と負圧の背圧とを交互に加える
ものを用いたならば、ダイヤフラムの往復動の両方向に
ついて、アシストを行うことができる。この時、背圧付
与手段として、ダイヤフラムの他面に面する気密空間と
該気密空間に充填した流体と、流体の圧力調整手段とか
らなるものを用いれば、ダイヤフラムに背圧を面圧とし
て付与することができて、ダイヤフラムの破損を防止す
ることができ、さらにこの場合の流体として圧縮性流体
を用いれば、ダイヤフラムとの同期ずれを許容すること
ができ、流体として非圧縮性流体を用いれば、ダイヤフ
ラムとの同期によりダイヤフラムの動作アシストを確実
に行うことができる。
【図１】本発明の実施の形態の一例の断面図である。
【図２】同上の他例の断面図である。
【図３】同上の動作説明図である。
【図４】同上のさらに他例の断面図である。
【図５】同上の動作説明図である。
【図６】(a)(b)は別の例の断面図である。
【図７】(a)(b)はさらに別の例の断面図である。
【図８】異なる例の断面図である。
【図９】(a)(b)は別の例の断面図である。
【図１０】(a)(b)はさらに別の例の断面図である。
【図１１】具体例を示すもので、(a)は斜視図、(b)は断
面図である。
面図である。
【図１２】同上の分解斜視図である。
【図１３】同上の弁部を示すもので、(a)は分解斜視
図、(b)は拡大斜視図である。
図、(b)は拡大斜視図である。
２ ダイヤフラム
３ ポンプ室
５ 駆動手段
６ 背圧付与手段
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｆ１６Ｊ 3/02 Ｆ０４Ｂ 43/06 Ａ
Ｆターム(参考） 3H075 AA00 BB00 BB04 BB14 BB21
CC25 CC30 CC36 CC40 DA02
DA05 DB02 DB10 DB42
3H077 AA00 BB00 CC02 CC07 DD06
DD09 DD14 DD15 EE01 EE15
EE40 FF02 FF06 FF22 FF36
FF45
3J045 AA06 AA13 BA04 CA03 EA10
Claims (10)
- 【請求項１】 一面がポンプ室に面したダイヤフラムの
駆動手段による往復動でポンプ室の内容積を変化させる
ダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムの他面に背
圧を加える背圧付与手段を設けていることを特徴とする
ダイヤフラムポンプ。 - 【請求項２】 駆動手段が圧電素子を備えてダイヤフラ
ムである金属薄板に張り合わされた圧電アクチュエータ
であることを特徴とする請求項１記載のダイヤフラムポ
ンプ。 - 【請求項３】 駆動手段が電歪ポリマーを用いたアクチ
ュエータであることを特徴とする請求項１記載のダイヤ
フラムポンプ。 - 【請求項４】 背圧付与手段は正圧の背圧をダイヤフラ
ムに加えるものであることを特徴とする請求項１〜３の
いずれかの項に記載のダイヤフラムポンプ。 - 【請求項５】 背圧付与手段は負圧の背圧をダイヤフラ
ムに加えるものであることを特徴とする請求項１〜３の
いずれかの項に記載のダイヤフラムポンプ。 - 【請求項６】 背圧付与手段はダイヤフラムの他面に面
する気密空間と該気密空間に充填した圧縮性流体である
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれかの項に記載の
ダイヤフラムポンプ。 - 【請求項７】 背圧付与手段はダイヤフラムの動きに同
期して正圧の背圧と負圧の背圧とを交互に加えるもので
あることを特徴とする請求項１〜３のいずれかの項に記
載のダイヤフラムポンプ。 - 【請求項８】 背圧付与手段はダイヤフラムの他面に面
する気密空間と該気密空間に充填した流体と、流体の圧
力調整手段であることを特徴とする請求項７記載のダイ
ヤフラムポンプ。 - 【請求項９】 流体が圧縮性流体であることを特徴とす
る請求項８記載のダイヤフラムポンプ。 - 【請求項１０】 流体が非圧縮性流体であることを特徴
とする請求項８記載のダイヤフラムポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001392699A JP3870781B2 (ja) | 2001-12-25 | 2001-12-25 | ダイヤフラムポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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