JP2003181769A - 研磨素材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 研磨素材を使用して出来上がった製品は研磨
作業に十分使用できる状態では、製品の静電防止機能が
失われないような研磨素材を提供する 【解決手段】 研磨素材は、静電防止材が混入されてい
る樹脂性のブラシ素材１２，１４に、ダイヤモンド砥粒
１０、研磨砥粒１１、金属砥粒１２が１種類、又は２種
類以上混入されているものとした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂、金属、硝子
などの加工製品のバリ取りや金型の研磨、塗膜剥離等の
研磨作業に使用される研磨素材に関する。

【０００２】

【従来の技術】電気・電子メーカーの工場では、半導体
ウエハ等のワークの表面に付着しているダストを取り除
く作業や、印刷基板等のワークのバリ取りのための研磨
作業において、研磨による粉塵が被研磨物や搬送装置等
に静電付着することを防止するために、研磨素材を使用
して出来上がった製品の表面に後処理で静電防止材を塗
り付けた研磨素材の製品が使用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来は、研磨素材を使
用して出来上がった製品の表面に後処理で静電防止材を
塗り付けて静電防止機能を付加しているだけなので、製
品の静電防止機能が長続きせず、静電防止機能が失われ
ても、この製品は研磨作業に十分に使用できるため、静
電防止機能が失われた状態で製品が使用されてしまうこ
とがあり、研磨による粉塵が被研磨物や搬送装置等に静
電付着することが避けられず研磨素材の改善が望まれて
いた。

【０００４】本発明は、上記課題を解決するもので、研
磨素材を使用して出来上がった製品は研磨作業に十分使
用できる状態では、製品の静電防止機能が失われないよ
うな研磨素材を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１記載の発明は、静電防止材が混入されている
樹脂性のブラシ素材に、ダイヤモンド砥粒、研磨砥粒、
金属砥粒が１種類、又は２種類以上混入されている研磨
素材である。

【０００６】また、請求項２記載の発明は、上記のブラ
シ素材に生分解材が混入されている研磨素材である。

【０００７】また、請求項３記載の発明は、請求項１又
は２記載のブラシ素材にフッ素が混入され、又はフッ素
がコーティングされている研磨素材である。

【０００８】また、請求項４記載の発明は、上記のブラ
シ素材は線状又はパイプ状である研磨素材である。

【０００９】また、請求項５記載の発明は、上記の線状
又はパイプ状であるブラシ素材の断面形状が丸形、多角
形、クローバ形、十字形、楕円形である研磨素材であ
る。

【００１０】また、請求項６記載の発明は、上記の線状
又はパイプ状であるブラシ素材は一端だけが他の部分よ
り径の大きな球であったり、又は両端が他の部分より径
の大きな球である研磨素材である。

【００１１】また、請求項７記載の発明は、請求項１乃
至３記載のブラシ素材はシート状である研磨素材であ
る。

【００１２】また、請求項８記載の発明は、シート状の
砥石素材又はバフ素材に静電防止材が混入又は表面にコ
ーティングされている研磨素材である。

【００１３】また、請求項９記載の発明は、フェルト素
材又はスポンジ素材に静電防止材が混入又は表面にコー
ティングされている研磨素材である。

【００１４】また、請求項１０記載の発明は、金属線の
金属の中に静電防止材が混入又は上記金属線の表面に静
電防止材がコーティングされている研磨素材である。

【００１５】また、請求項１１記載の発明は、上記金属
線からなる金属繊維により棒状又は筒状又はシート状に
形成されている研磨素材である。

【００１６】また、請求項１２記載の発明は、上記金属
繊維にダイヤモンド砥粒、研磨砥粒、金属砥粒が１種
類、又は２種類以上混入されている研磨素材である。

【００１７】このように静電防止材が混入又は表面に静
電防止材がコーティングされている研磨素材で製作され
た製品は、研磨素材の静電防止機能が長続きするため、
研磨作業に十分使用できる状態では、製品の静電防止機
能は失われず、研磨作業時に、研磨による粉塵が被研磨
物や搬送装置等に静電付着することは防止される。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、実施の形態を示す図面に基
づいて本発明を詳細に説明する。図１の（ａ）乃至
（ｆ）は第１乃至第６の実施の形態の研磨素材の斜視
図、図２は図１の（ａ）、（ｃ）の研磨素材の断面を示
す概略図、図３は図１の（ａ）、（ｃ）の研磨素材の端
部の形状を示す概略図、図４の（ａ）、（ｂ）は第７、
第８の実施の形態の研磨素材の斜視図、図５乃至図１１
は第１例乃至第７例の研磨素材の製品の斜視図である。

【００１９】図１の（ａ）乃至（ｆ）は第１乃至第６の
実施の形態の研磨素材の例で、（ａ）乃至（ｆ）の各研
磨素材は、静電防止材が混入されている樹脂性のブラシ
素材や、鉄、ステンレス、銅、ピアノ線等の金属線の金
属の中に静電防止材が混入又は上記金属線の表面に静電
防止材がコーティングされている金属線や、又はこの金
属線からなる金属繊維により線状又は棒状又はパイプ状
に形成された線状体又は棒状体又はパイプ状体を単品、
又は複数組合せて形成された研磨素材である。

【００２０】（ａ）の研磨素材は、静電防止材が混入さ
れている樹脂性のブラシ素材に、ダイヤモンド砥粒１０
と研磨砥粒１１が混入されている線状体１２で形成さ
れ、（ｂ）の研磨素材は、静電防止材が混入されている
樹脂性のブラシ素材に、ダイヤモンド砥粒１０、金属砥
粒１３が混入されているパイプ状体１４で形成され、
（ｃ）の研磨素材は、静電防止材が混入されている樹脂
性のブラシ素材に、ダイヤモンド砥粒１０が混入されて
いるパイプ状体１５のパイプ内に静電防止材が混入され
ている樹脂性のブラシ素材からなる線状体１６を嵌め込
んで形成されている。

【００２１】（ｄ）の研磨素材は、静電防止材が混入さ
れている樹脂性のブラシ素材に、金属砥粒１３が混入さ
れている線状体１７を複数本把ね、その外周に鉄、ステ
ンレス、銅、ピアノ線等の金属線の金属の中に静電防止
材が混入又は上記金属線の表面に静電防止材がコーティ
ングされている金属線１８を巻き付けて形成されてい
る。（ｅ）の研磨素材は、鉄、ステンレス、銅、ピアノ
線等の金属線の金属の中に静電防止材が混入又は上記金
属線の表面に静電防止材がコーティングされている金属
線からなる金属繊維で形成した網目シート１９を巻き込
んで棒状に形成されている。この場合、金属繊維にダイ
ヤモンド砥粒、研磨砥粒、金属砥粒が１種類、又は２種
類以上混入されているようにしても良い。（ｆ）の研磨
素材は、鉄、ステンレス、銅、ピアノ線等の金属線の金
属の中に静電防止材が混入又は上記金属線の表面に静電
防止材がコーティングされている金属線２０を撚り合せ
て太い線状に形成されている。

【００２２】これら（ａ）乃至（ｆ）の各研磨素材に生
分解材が混入され、又はフッ素が混入され、又はフッ素
がコーティングされているようにしても良い。また、図
１の（ａ）の実施の形態の線状の研磨素材や図１の
（ｃ）の実施の形態のパイプ状の研磨素材は断面形状が
図２で示す丸形２１のものについて説明したが、この他
にも、線状の研磨素材やパイプ状の研磨素材の断面形状
は、図２で示すように三角形２２、四角形２３、六角形
２４、八角形２５等の多角形、楕円形２６、十字形２
７、瓢箪のようなメガネ形２８、四葉のクローバ形２９
（又は図示しない三つ葉クローバ形）でも良い。また、
図１の（ａ）の実施の形態の線状の研磨素材や図１の
（ｃ）の実施の形態のパイプ状の研磨素材は、両端まで
の断面形状が同一のものについて説明したが、この他に
も線状の研磨素材やパイプ状の研磨素材は、図３の
（ａ）で示すように一端だけが他の部分より径の大きな
球に形成された研磨素材３１であったり、又は図３の
（ｂ）で示すように両端が他の部分より径の大きな球に
形成された研磨素材３２であっても良い。

【００２３】図４の（ａ）、（ｂ）は第７、第８の実施
の形態の研磨素材の例で、図４の（ａ）の研磨素材は、
静電防止材が混入されている樹脂性のブラシ素材に、ダ
イヤモンド砥粒１０が混入されている方形のシート状研
磨素材４１である。図４の（ｂ）の研磨素材は、静電防
止材が混入されている樹脂性のブラシ素材に、ダイヤモ
ンド砥粒１０が混入されている長いシート状（フィルム
状）研磨素材４２である。

【００２４】図５、図６は研磨素材の製品の例で、図５
の第１例の研磨素材の製品は、シャンク５２の先端部に
静電防止材が混入されている樹脂性のブラシ素材にダイ
ヤモンド砥粒、研磨砥粒、金属砥粒が１種類、又は２種
類以上混入されている研磨素材、又は金属の中に静電防
止材が混入又は上記金属線の表面に静電防止材がコーテ
ィングされている金属線でブラシの部分を形成したコイ
ルブラシ５３を設け、このコイルブラシ５２の先端の延
長部分にさらに円筒部材５４を設け、この円筒部材５４
の表面に図４の（ｂ）の長いシート状に形成された研磨
素材４２を固着して複合ブラシ５０に形成したもので、
シャンク５２、円筒部材５４は金属又は硬質の合成樹脂
で形成されている。

【００２５】図６の第２例の研磨素材の製品は、シャン
ク５６の先端部に静電防止材が混入されている樹脂性の
ブラシ素材にダイヤモンド砥粒、研磨砥粒、金属砥粒が
１種類、又は２種類以上混入されている研磨素材、又は
金属の中に静電防止材が混入又は上記金属線の表面に静
電防止材がコーティングされている金属線でブラシの部
分を形成したカップブラシ５７を設け、このカップブラ
シ５７の先端の延長部分にさらに円筒部材５８を設け、
この円筒部材５８の表面に図４の（ｂ）の長いシート状
に形成された研磨素材４２を固着して複合ブラシ５１に
形成したもので、シャンク５６、円筒部材５８は金属又
は硬質の合成樹脂で形成されている。

【００２６】図７の第３例の研磨素材の製品は、シート
状の砥石素材に静電防止材が混入又は表面にコーティン
グされて形成されているサンドペーパである。

【００２７】図８の第４例の研磨素材の製品は、ロール
形に形成されたバフ製品の例である。シャンク８０の先
端部に円筒部材８１を形成し、この円筒部材８１の外周
面に図４の（ａ）、又は（ｂ）のシート状に形成された
研磨素材８２複数枚を所定の角度間隔で固着する。そし
て、静電防止材が混入されている樹脂性のブラシ素材に
ダイヤモンド砥粒、研磨砥粒、金属砥粒が１種類、又は
２種類以上混入されている研磨素材により、シート状研
磨素材８２，８２間を海綿状に接合して形成されてい
る。

【００２８】図９の（ａ）の第５例の研磨素材の製品
は、ロール形に形成されたバフ製品の例である。図９の
（ｂ）は静電防止材が混入されている樹脂性のブラシ素
材にダイヤモンド砥粒、研磨砥粒、金属砥粒が１種類、
又は２種類以上混入されている研磨素材から形成され、
中心に孔９０が設けられた厚みのある環状の形状のバフ
素材９１を示す。また、図９の（ｃ）は頭部にワッシャ
ー９２を有するネジ９３と、このネジ９３のネジ穴９４
が頭部に設けられた軸９５からなるシャンク９７であ
る。これらの部材は、図９の（ａ）に示すように厚みの
ある環状の形状のバフ素材９１を複数個重ね合わせて同
軸に配置し、各バフ素材９１の孔９０にネジ９３を挿通
して、軸９５の頭部のネジ穴９４に螺合してロール形に
形成されている。

【００２９】図１０の第６例の研磨素材の製品は、ロー
ル形に形成されたバフ製品の例である。金属又は硬質の
合成樹脂で厚みのある環状の形状の円筒部材１０１の表
面に図４で説明したようなシート状研磨素材１０２、１
０３、１０４を固着して厚みのある環状の形状のバフ素
材１０５、１０６、１０７が形成されている。シート状
研磨素材１０２は静電防止材が混入されている樹脂性の
ブラシ素材に、ダイヤモンド砥粒１０、研磨砥粒１１が
混入され、シート状研磨素材１０３は静電防止材が混入
されている樹脂性のブラシ素材に、ダイヤモンド砥粒１
０が混入され、シート状研磨素材１０４は静電防止材が
混入されている樹脂性のブラシ素材に、研磨砥粒１１が
混入されて形成されている。ロール形のバフ素材１１０
は、厚みのある環状の形状のバフ素材１０５、１０６、
１０７を複数個組合せて形成されているが、金属又は硬
質の合成樹脂で長い円筒部材Ａを形成し、長い円筒部材
Ａの表面に図４で説明したようなシート状研磨素材を固
着してバフ素材１つで形成してもよい。

【００３０】図１１の第７例の研磨素材の製品は、半割
りロール形に形成されたバフ製品の例である。金属又は
硬質の合成樹脂で長い半円筒部材１２０、１２１を形成
し、長い半円筒部材１２０、１２１の表面に図４で説明
したようなシート状研磨素材１２２、１２３を固着して
半割りロール形のバフ素材１２４、１２５が形成されて
いる。シート状研磨素材１２２は静電防止材が混入され
ている樹脂性のブラシ素材に、ダイヤモンド砥粒１０、
研磨砥粒１１が混入され、シート状研磨素材１２３は静
電防止材が混入されている樹脂性のブラシ素材に研磨砥
粒１１が混入されて形成されている。

【００３１】

【発明の効果】このように本発明の研磨素材では、静電
防止材が混入又は表面に静電防止材がコーティングされ
ているから、この研磨素材で製作された製品は、研磨素
材の静電防止機能が長続きするため、研磨作業に十分使
用できる状態では、製品の静電防止機能は失われず、研
磨作業時に、研磨による粉塵が被研磨物や搬送装置等に
静電付着することは防止される。さらに使用済になった
製品は、生分解材の作用で土になじみ易い自然物となる
ので、使用済になった研磨素材が環境を害することも無
く、昨今の環境問題にも対応している等優れた効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）乃至（ｆ）は第１乃至第６の実施の形態
の研磨素材の斜視図である。

【図２】図１の（ａ）、（ｃ）の研磨素材の断面を示す
概略図である。

【図３】図１の（ａ）、（ｃ）の研磨素材の端部の形状
を示す概略図である。

【図４】（ａ）は第７の実施の形態の研磨素材の斜視図
である。（ｂ）は第８の実施の形態の研磨素材の斜視図
である。

【図５】第１例の研磨素材の製品の斜視図である。

【図６】第２例の研磨素材の製品の斜視図である。

【図７】第３例の研磨素材の製品の斜視図である。

【図８】第４例の研磨素材の製品の斜視図である。

【図９】第５例の研磨素材の製品の斜視図である。

【図１０】第６例の研磨素材の製品の斜視図である。

【図１１】第７例の研磨素材の製品の斜視図である。

【符号の説明】

１０ ダイヤモンド砥粒 １１ 研磨砥粒 １２，１６，１７ 線状体 １３ 金属砥粒 １４，１５ パイプ状体 １８ 金属線 １９ 網目シート ２０ 金属線 ２１ 丸形 ２２ 三角形 ２３ 四角形 ２４ 六角形 ２５ 八角形 ２６ 楕円形 ２７ 十字形 ２８ メガネ形 ２９ クローバ形 ３１，３２，８２ 研磨素材 ４１，４２，１０２，１０３，１０４，１２２，１２３
シート状研磨素材 ５０，５１ 複合ブラシ ５２，５６，８０ シャンク ５３ コイルブラシ ５４，５８，８１，１０１ 円筒部材 ５７ カップブラシ ９０ 孔 ９１，１０５，１０６，１０７，１１０，１２４，１２
５ バフ素材 ９２ ワッシャー ９３ ネジ ９４ ネジ穴 ９５ 軸 １２０、１２１ 半円筒部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 新崎 優仁人 神奈川県茅ヶ崎市東海岸南４−５−８ Ｆターム(参考） 3C063 AA06 AA07 AB09 BA17 BB02 BD01 BE17 BG01 BG10 EE29 FF30

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 静電防止材が混入されている樹脂性のブ
   ラシ素材に、ダイヤモンド砥粒、研磨砥粒、金属砥粒が
   １種類、又は２種類以上混入されていることを特徴とす
   る研磨素材。
2. 【請求項２】 上記のブラシ素材に生分解材が混入され
   ていることを特徴とする請求項１記載の研磨素材。
3. 【請求項３】 上記のブラシ素材にフッ素が混入され、
   又はフッ素がコーティングされていることを特徴とする
   請求項１又は２記載の研磨素材。
4. 【請求項４】 上記のブラシ素材は線状又はパイプ状で
   あることを特徴とする請求項１乃至３記載の研磨素材。
5. 【請求項５】 上記の線状又はパイプ状であるブラシ素
   材は断面形状が丸形、多角形、クローバ形、十字形、楕
   円形であることを特徴とする請求項４記載の研磨素材。
6. 【請求項６】 上記の線状又はパイプ状であるブラシ素
   材は一端だけが他の部分より径の大きな球であったり、
   又は両端が他の部分より径の大きな球であることを特徴
   とする請求項４又は請求項５記載の研磨素材。
7. 【請求項７】 上記のブラシ素材はシート状であること
   を特徴とする請求項１乃至３記載の研磨素材。
8. 【請求項８】 シート状の砥石素材又はバフ素材に静電
   防止材が混入又は表面にコーティングされていることを
   特徴とする研磨素材。
9. 【請求項９】 フェルト素材又はスポンジ素材に静電防
   止材が混入されていることを特徴とする研磨素材。
10. 【請求項１０】 金属線の金属の中に静電防止材が混入
    又は上記金属線の表面に静電防止材がコーティングされ
    ていることを特徴とする研磨素材。
11. 【請求項１１】 上記金属線からなる金属繊維又は上記
    金属線により棒状又はパイプ状又はシート状に形成され
    ていることを特徴とする請求項１０記載の研磨素材。
12. 【請求項１２】 上記金属繊維にダイヤモンド砥粒、研
    磨砥粒、金属砥粒が１種類、又は２種類以上混入されて
    いることを特徴とする研磨素材。