JP2003178954A5

JP2003178954A5 -

Info

Publication number: JP2003178954A5
Application number: JP2001378376A
Authority: JP
Filing date: 2001-12-12
Publication date: 2005-06-16

Claims

物体面上のパターンを像面上に投影する投影光学系と、互いに同一形状の非球面を有する１対の光学素子を前記非球面が互いに点対称となるように向かい合わせて配置した光学手段とを備え、マスク面上のパターンを像面上に投影する投影系と、
前記光学手段に接続されて光軸と直交する方向に前記一対の光学素子の相対位置を変化させる駆動機構とを有する露光装置。
前記一対の光学素子の相対位置を変化させることにより、前記投影光学系の像面をフォーカス方向に変化させながら前記被処理体を露光する請求項１記載の露光装置。
前記露光装置は、前記マスクのパターンを被処理体に一括で投影する請求項２記載の露光装置。
前記光学素子に施されている非球面の形状をｆ（ｘ，ｙ）としたとき、ｆ（ｘ，ｙ）を微分して得られる関数形が以下に示す数式の項の和で表される請求項２記載の露光装置
ａ_ｎ（ｘ^２＋ｙ^２）^２ｎ（ｎは正の整数）。
前記一対の光学素子の相対位置を変えることにより、該投影光学系の像面が被露光面に対し一定角度傾くように配置せしめた後、前記被処理体を露光する露光装置。
前記露光装置は、前記マスクに対して前記被処理体を連続的に走査させて前記マスクのパターンを前記被処理体に投影する請求項５記載の露光装置。
前記光学素子に施されている非球面の形状ｆ（ｘ，ｙ）が、ａ、ｂを定数としたときに以下に示す式で表される請求項５記載の露光装置
ｆ（ｘ，ｙ）＝ａｙ^２＋２ｂｘｙ。
前記一対の光学素子は、前記非球面を有する面とは異なる面が互いに平面である請求項１記載の露光装置。
前記一対の光学素子は、前記非球面を有する面とは異なる面が互いに線対称となるような前記非球面を有する請求項１記載の露光装置。
前記光学部材は、前記一対の光学素子のうち一方の前記光学素子が各々前記非球面を有するように分割されて、分割された前記一方の光学素子を他方の光学素子に対して前記非球面が互いに線対称となるように向かい合わせて配置される請求項９記載の露光装置。
請求項１乃至１０記載の露光装置を用いて被処理体を投影露光するステップと、
前記投影露光された前記被処理体に所定のプロセスを行うステップとを有するデバイス製造方法。