JP2003172700A - 赤外線ガス分析方法および装置 - Google Patents

赤外線ガス分析方法および装置

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    • G01N21/3504Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 構成がシンプルでありながらもサンプルガス
中に含まれる水分の影響を補正し、所望の測定対象成分
の濃度を精度よく測定することのできる赤外線ガス分析
方法および装置を提供すること。 【解決手段】 セル14の一端側に赤外光源18を備
え、他端側に検出部20を備えたガス分析部6Aに対し
てサンプルガスSGを供給して、サンプルガスSG中の
測定対象成分の濃度を測定するとともに前記サンプルガ
スSG中に含まれる水分の濃度を測定し、まず、前記測
定対象成分の濃度に対するゼロ点における水分干渉を補
正し、その後、前記測定対象成分の濃度に対する水分共
存影響を補正することにより、水分影響を補正した測定
対象成分の濃度を得るようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、赤外線ガス分析
方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、赤外線ガス分析装置において
は、サンプルガス中に含まれる特定の測定対象成分(測
定対象ガス)の濃度を測定する場合、サンプルガス中に
含まれる水分の影響を可及的に低く抑える必要があると
ころから、図10に示すように、ガス分析部81に対す
るサンプルガスSGの供給ライン82に電子冷却装置な
どの除湿装置83を設けてサンプルガスSGを除湿し、
この除湿されたサンプルガスSGをガス分析部81に供
給していた。
【0003】しかしながら、上記従来の手法において
は、除湿装置83を設けるためそれだけ測定系全体の構
成が複雑になるとともに、水に対する溶解度の大きいガ
スを測定するのが困難である。また、上記構成において
は、サンプルガスSG中の水分を除去した後に測定を行
うため、水分の分圧の割合だけサンプルガスSG中の測
定対象成分の濃度が高くなるため、測定後に水分分圧補
正が必要になる。この場合、図10に示すように、サン
プルガスライン82の除湿装置83よりも上流側におい
てサンプルガスライン82から分岐する流路84を接続
し、この分岐流路84に水分濃度計85を設けて、除湿
前のサンプルガスSG中に含まれる水分濃度を測定した
り、あるいは、水分濃度計85を設けないときは、水分
濃度を推測するなどしなければならない。
【0004】そして、上述のように、水分分圧補正を行
っても、測定対象成分の濃度を必ずしも正確に得ること
はできなかった。
【0005】ところで、近年、走行している自動車など
車両のエンジンから排出されるガスに対する規制問題が
大きくクローズアップされるようになってきており、地
球環境を保全または保護する上で、前記排ガスの量や濃
度を確実に把握する重要性が高まってきている。しか
し、上述のように、除湿装置83を設けた場合、測定系
全体が大きく嵩張るため、限られたスペースしかない車
両に搭載するのは、きわめて困難であり、測定系全体も
それだけコストアップになる。
【0006】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、構成がシンプルでありながらも
サンプルガス中に含まれる水分の影響を補正し、所望の
測定対象成分の濃度を精度よく測定することのできる赤
外線ガス分析方法および装置を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の赤外線ガス分析方法および装置は、セル
の一端側に赤外光源を備え、他端側に検出部を備えたガ
ス分析部に対してサンプルガスを供給して、サンプルガ
ス中の測定対象成分の濃度を測定するとともに前記サン
プルガス中に含まれる水分の濃度を測定し、まず、前記
測定対象成分の濃度に対するゼロ点における水分干渉を
補正し、その後、前記測定対象成分の濃度に対する水分
共存影響を補正することにより、水分影響を補正した測
定対象成分の濃度を得るようにしたことを特徴としてい
る(請求項1,7)。
【0008】上記請求項1,7に記載の赤外線ガス分析
方法および装置においては、水分干渉および水分共存影
響を除去した精度の高い濃度測定を行うことができる。
そして、従来の赤外線ガス分析方法や装置とは異なり、
除湿装置などの前処理装置を設ける必要がないので、分
析の応答速度がそれだけ早くなるとともに、装置全体の
構成がコンパクトになり、省スペース化が図れ、省電
力、低コストで測定を行うことができる。また、高濃度
の水分を含む測定対象ガスを、除湿せずに測定すること
ができる。
【0009】そして、この発明の赤外線ガス分析方法お
よび装置として、サンプルガスが流れる配管に二つの開
口を形成し、一方の開口に臨むように赤外光源を設け、
他方の開口に検出部を設け、前記サンプルガスに赤外光
を照射したときに得られる検出出力に基づいて前記サン
プルガス中の測定対象成分の濃度を測定するとともに前
記サンプルガス中に含まれる水分の濃度を測定し、ま
ず、前記測定対象成分の濃度に対するゼロ点における水
分干渉を補正し、その後、前記測定対象成分の濃度に対
する水分共存影響を補正することにより、水分影響を補
正した測定対象成分の濃度を得るようにてもよい(請求
項2,8)。
【0010】上記請求項2,8に記載の赤外線ガス分析
方法および装置においても、請求項1,7に記載の赤外
線ガス分析方法および装置のものと同様の効果を奏す
る。そして、請求項2,8の赤外線ガス分析方法および
装置において、開口の外部にエアーカーテンが形成され
るようにしてあってもよく(請求項3,9)、このよう
にした場合、開口に光学窓を設ける必要がないととも
に、開口からサンプルガスが外部に流出しても、これが
エアーカーテンによって速やかに排除される。また、上
記請求項2,8の赤外線ガス分析方法および装置におい
て、開口に赤外線透過性の光学窓が設けられていてもよ
く(請求項4,10)、このようにした場合、サンプル
ガスが開口から外部に流出するのが効果的に防止され
る。
【0011】また、この発明の赤外線ガス分析方法およ
び装置として、サンプルガスを横断するように赤外光を
発する赤外光源と、この赤外光源から発せられた赤外光
を受光する検出部とを備え、サンプルガス中の測定対象
成分の濃度を測定するとともに前記サンプルガス中に含
まれる水分の濃度を測定し、まず、前記測定対象成分の
濃度に対するゼロ点における水分干渉を補正し、その
後、前記測定対象成分の濃度に対する水分共存影響を補
正することにより、水分影響を補正した測定対象成分の
濃度を得るようにしてもよい(請求項5,11)。
【0012】上記請求項5,11に記載の赤外線ガス分
析方法および装置においても、請求項1,7に記載の赤
外線ガス分析方法および装置のものと同様の効果を奏す
る。
【0013】そして、上記いずれの赤外線ガス分析方法
および装置においても、測定対象成分の濃度と水分の濃
度を一つのガス分析部によって測定するようにしてもよ
く(請求項6,12)、このようにした場合、補正の時
間遅れがなくなるとともに、構成部材も少なくて済む。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細を、図を参
照しながら説明する。図1〜図5は、この発明の第1の
実施の形態を示すもので、まず、図1〜図3は、この発
明の赤外線ガス分析装置の一例を示している。そして、
図1は、この発明の赤外線ガス分析装置を自動車に搭載
した実施の形態を示し、この図において、1は測定に供
される自動車(例えば使用過程車)で、2は例えばディ
ーゼルエンジン(以下、単にエンジンという)、3はエ
ンジン2に連なる排気管、4,5はこの排気管3に設け
られる触媒装置、マフラーである。
【0015】6は自動車1の車内に搭載される赤外線ガ
ス分析装置(その構成は後述する)で、ガス分析部6A
と演算制御部6Bとからなる。ガス分析部6Aには、排
気管3において適宜の分岐接続部7を有するガスサンプ
リング流路8と、排気管3において適宜の合流接続部9
を有する排出流路10とが接続されている。図示する例
においては、分岐接続部7および合流接続部9は、排気
管3の触媒装置4とマフラー5との間に、この順で設け
られている。そして、分岐接続部7は、排気管3を流れ
てくるエンジン2からの排ガスの一部を採取できるよう
に構成されている。また、ガスサンプリング流路8は、
分岐接続部7を含むその全流路にわたって例えばヒータ
11が巻設してあり、これを流れる排ガス(サンプルガ
ス)が所定の温度に加熱保温されるようにしてある。こ
のように、サンプルガスを除湿しないで加熱されたガス
流路を供給するので、高濃度の水分を含む測定対象ガス
を、除湿せずに測定することができる。さらに、演算制
御部6Bは、自動車1内に搭載されるパソコン12から
の指令によりガス分析部6Aの各部を制御したり、ガス
分析部6Aの検出器(後述する)の出力信号に基づいて
濃度演算を行うように構成されている。
【0016】そして、パソコン12は、演算制御部6B
との間で信号を授受し、赤外線ガス分析装置6全体を制
御したり、演算制御部6Bからの信号に基づいて測定結
果などを表示したり、測定結果などをデータとして格納
する。なお、図1において、13は路面である。
【0017】図2は、赤外線ガス分析装置6のガス分析
部6Aの構成の一例を概略的に示すもので、この図にお
いて、14はセルで、その両端側が赤外透過性のセル窓
15a,15bで封止されるとともに、サンプルガスS
Gの入口16、出口17が形成されている。そして、ガ
ス入口16にはガスサンプリング流路8の下流端が接続
され、ガス出口17には排出流路10の上流端が接続さ
れる。
【0018】18はセル14の一方のセル窓15a側に
設けられ、セル14内に赤外光を照射するための赤外光
源、19は赤外光源18とセル14との間に介装される
光チョッパで、例えばモータ(図示していない)によっ
て回転駆動され、赤外光源18によって発せられる赤外
光を一定周期で断続(チョッピング)するように構成さ
れている。
【0019】20はセル14の他方のセル窓15b側に
設けられる検出部で、複数の赤外線検出器を互いに光学
的に並列的に設けてなるものである。この実施の形態に
おいては、例えばサンプルガスSG中に含まれる測定対
象成分である例えばCO、CO2 をそれぞれ測定するた
めのCO検出器、CO2 検出器およびサンプルガスSG
中に含まれる干渉成分としての水分(H2 O)を測定す
るための水分検出器と、比較検出器として、図3に示す
ように、円周を4等分しかつ同心円上に設けられた4つ
の赤外線検出器(以下、単に検出器という)21,2
2,23,24(図2では、便宜上一直線上に表してい
る)と、これらの検出器21〜24の受光側にそれぞれ
対応して設けられる光学フィルタ25〜28からなる。
【0020】そして、検出器21〜24は、例えば半導
体検出器よりなり、CO検出器および水分検出器21〜
23に対応する光学フィルタ25〜27は、特定の測定
対象成分のみの特性吸収帯域の赤外線を通過させるバン
ドパスフィルタよりなり、CO検出器21に対応する光
学フィルタ25は、COの特性吸収帯域の赤外線のみを
通過させるバンドパスフィルタよりなり、CO2 検出器
22に対応する光学フィルタ26は、CO2 の特性吸収
帯域の赤外線のみを通過させるバンドパスフィルタより
なり、水分検出器23に対応する光学フィルタ27は、
2 Oの特性吸収帯域の赤外線のみを通過させるバンド
パスフィルタよりなる。さらに、比較検出器24に対応
するフィルタ28は、サンプルガスSG中のCO、CO
2 、H2Oのいずれに対しても吸収帯域のないところの
波長の赤外線を通過させるバンドパスフィルタよりな
る。
【0021】29は演算制御部6B内の濃度演算部で、
検出器21〜24の出力に基づいて濃度演算を行うもの
で、30は同期整流回路、31は平滑回路、32は引き
算回路、33は水分干渉並びに水分共存影響補正演算回
路(以下、単に補正演算回路という)であり、検出器2
1〜24の出力に基づいて、測定対象成分としてのC
O、CO2 の濃度および干渉成分としての水分の濃度を
演算し、さらに、これらの濃度を用いて、図4に示すよ
うな手法(後述する)によって水分影響を補正したC
O、CO2 の濃度を得るものである。
【0022】次に、上記構成の赤外線ガス分析装置6の
動作について、図4および図5をも参照しながら説明す
る。赤外線ガス分析装置6およびパソコン12を搭載し
た自動車1を走行させることにより、エンジン2から排
ガスが排出され、これの一部が分岐接続部7を経てガス
サンプリング流路8にサンプルガスSGとして採取さ
れ、赤外線ガス分析装置6のガス分析部6Aのセル14
に供給される。この場合、分岐接続部7およびガスサン
プリング流路8は、ヒータ11によって所定の温度に加
熱・保温されているので、採取されたサンプルガスSG
中に含まれる成分や水分が凝結するのが防止される。
【0023】ガス分析部6Aにおいては、赤外光源18
によって赤外光をセル14に照射し、光チョッパ19が
所定の周期で回転している状態で、ガスサンプリング流
路8を経たサンプルガスSGがセル14に供給されるこ
とにより、検出器21〜24からCO、CO2 およびH
2 Oのそれぞれの濃度に対応した交流信号および比較信
号としての交流信号が出力され、これらが同期整流回路
30に入力される。
【0024】そして、同期整流回路30には、例えば光
チョッパ19の回転周期に基づく整流用同期信号sが入
力されているので、この同期信号sによって、濃度に対
応した測定交流信号が同期整流され、さらに、平滑回路
31において平滑処理される。そして、CO、CO2
2 Oの濃度は、引算回路32において、比較検出器2
4の出力からCO、CO2 、H2 Oに関するそれぞれの
検出器21,22,23の出力をそれぞれ引算すること
によって得ることができる。
【0025】ところで、上記演算によって得られるCO
およびCO2 の濃度は、サンプルガスSG中に含まれる
水分による影響を受けているので、この水分影響を補正
して、真の濃度(水分影響補正後濃度)を得る必要があ
る。以下、この濃度の補正の原理および手順について図
4および図5を参照しながら説明する。
【0026】一般に、非分散型赤外線ガス分析計(ND
IR)において、COやCO2 を測定すると、H2 Oの
赤外吸収帯(領域)とCO、CO2 の赤外吸収帯とが重
なり合っているので、図5(A)に示すように、CO
計、CO2 計のゼロ点における水分干渉が表れる。
【0027】また、スパン点では水分干渉、水分共存影
響があり、このスパンでの水分影響は、図5(B)に示
すようになる。水分共存影響とは、サンプルガスSG中
に水分が共存することにより、CO、CO2 の赤外吸収
の度合い自体が変化するもので、図5(C)に示すよう
に、水分の共存影響は、CO濃度に依存せず、水分濃度
と一定の関係を有していることが分かる。そして、図5
(C)の水分濃度の範囲では、水分共存影響は、水分濃
度にほぼ比例している。この図5(C)は、スパン点に
おける水分影響からゼロ点での水分干渉を差し引いたと
きの水分共存影響を表している。
【0028】そこで、この発明の赤外線ガス分析装置1
においては、図4に示すような手順で、水分濃度と水分
共存影響との一定の関係を用いて、水分影響を補正して
いる。図4は、例えばCO濃度における水分影響の補正
を行う場合を示している。
【0029】まず、段落0024において説明した通り
の手法により、CO検出器21の出力(ステップS1
a)および水分検出器23の出力(ステップS1b)に
それぞれ基づいてCO濃度(ステップS2a)および水
分濃度(ステップS2b)が得られる。なお、これらの
濃度は、図2および図3に示すように、CO検出器21
および水分検出器23が互いに光学的に並列に配置され
ているので、同時に得ることができる。
【0030】そして、ステップS2bにおいて得られた
水分濃度を用いて、ステップS1aにおいて得られたC
O濃度について、ゼロ点における水分干渉を補正する
(ステップS3)。
【0031】ステップS3に次いで、ゼロ点における水
分干渉を補正したCO濃度は、図5(C)において説明
したように、水分濃度に対してほぼ直線的に水分共存影
響を受けているので、ステップS2bにおいて得られた
水分濃度を用いて、ゼロ点における水分干渉を補正した
CO濃度について、水分共存影響を補正する(ステップ
S4)。このように、水分濃度と水分共存影響とがほぼ
直線的な関係を有する場合には、例えば下記(1)式を
用いて水分影響を補正することができる。 (補正後のCO濃度)={(補正前のCO濃度)−F1 (w)}×100/ (100+k・w) ……(1) ここで、w:水分濃度 F1 :図5(A)において計算される関数(例えば4次
式) k:図5(C)における直線の傾き とする。これにより、ゼロ点における水分干渉およびス
パン点における水分干渉(水分共存影響)の両方を除去
した補正後のCO濃度を得ることができる(ステップS
5)。
【0032】なお、CO2 の濃度補正も、図4に示した
手順によって行うことができるのはいうまでもない。
【0033】上述のように、この発明の赤外線ガス分析
装置6においては、測定対象成分であるCOおよびCO
2 についてゼロ点における水分干渉を除いた後、水分濃
度と水分共存影響の直線的な関係に基づいて水分共存影
響を除去した精度の高い濃度測定を行うことができる。
そして、従来の方法や装置とは異なり、除湿装置などの
前処理装置を設ける必要がないので、分析の応答速度が
それだけ早くなるとともに、装置全体の構成がコンパク
トになり、省スペース化が図れ、省電力、低コストで測
定を行うことができる。また、サンプルガスSGを所定
の温度以上になるように加熱保温した状態で測定してい
るので、水分分圧補正が不要になる。
【0034】そして、前記赤外線ガス分析装置6におい
ては、測定対象成分であるCOおよびCO2 と干渉成分
である水分を一つのガス分析部6Aによって測定するよ
うにしているので、水分濃度を別途測定するように構成
した場合に比べて、補正の時間遅れがなくなるととも
に、構成部材も少なくて済む。
【0035】また、前記赤外線ガス分析装置6において
は、構成自体がコンパクトであるので、自動車1に搭載
することができる所謂車載型となるので、自動車1を走
行させた状態において排ガス測定を連続的リアルタイム
に行うことができる。
【0036】なお、上記実施の形態においては、濃度算
出や濃度補正などの演算を赤外線ガス分析装置6におい
て行うようにしているが、これらの演算をパソコン12
において行うようにしてもよい。
【0037】なお、上述の実施の形態においては、測定
対象成分であるCOおよびCO2 と干渉成分である水分
を一つのガス分析部6Aによって測定するようにしてい
たが、図6に示す第2の実施の形態のように、ガスサン
プリング流路8に分岐流路34を接続し、この分岐流路
34に水分濃度測定装置35を設け、この水分濃度測定
装置35の下流側の流路36を排出流路10に接続する
ようにして、サンプルガスSG中に含まれるCO、CO
2 などの測定対象成分と水分とを別々の測定装置を用い
て個別に測定するようにしてもよい。
【0038】また、ガス分析部6Aにおける検出部20
は、上述したCO、CO2 のほかに、HCを測定するた
めの検出器など複数種の特定成分を測定できるようにし
てあってもよく、また、単一の特定成分のみを測定する
ようにしてあってもよい。
【0039】上述の第1および第2の実施の形態におい
ては、エンジン2に連なる排気管3に、排気管3内を流
れる排ガスの一部を採取する分岐流路(流路8,10か
らなる)を設け、この分岐流路に、セル14、赤外光源
18および検出部20を備えたガス分析部6Aを設けた
ものであったが、排気管3そのものをセルとし、この排
気管3に赤外光源18および検出部20の互いに対向す
るように設けてもよい。以下、このような赤外線ガス分
析装置の構成例を、第3の実施の形態として、図7およ
び図8を参照しながら説明する。
【0040】まず、図7において、2Aは自動車(図示
していない)のエンジンで、3Aはこのエンジン2Aに
連なる例えば断面視円形の排気管(配管の一例)であ
る。41,42は排気管3Aの適宜位置(図示例では下
流側)の管壁3aに形成される開口である。より詳しく
は、これらの開口41,42は、管壁3aの一つの直径
上に互いに対向するようにして形成されている。そし
て、一方の開口41の外側(排気管3Aの外部)には開
口41に臨むようにして赤外光源18Aが設けられ、他
方の開口42の外側には開口42に臨むようにして検出
部20Aが設けられている。これらの赤外光源18Aお
よび検出部20Aは、第1の実施の形態における赤外光
源18および検出部20と同様に構成されているので、
対応する部材に図2における符号と同一の符号を付し、
その説明は省略する。
【0041】また、43,44は開口41,42の上流
側(エンジン2A側)の管壁3aに位置するように設け
られるファンで、これらのファン43,44は、管壁3
aと赤外光源18Aおよび検出部20Aとの間にエアー
カーテン45,46を形成するためのものである。
【0042】上記図7に示す第3の実施の形態の赤外線
ガス分析装置においては、エンジン2Aからの排ガスが
流れる排気管3Aに互いに対向して形成された開口4
1,42の間の空間3bそのものがセルとなり、このセ
ル3bの一端側に赤外光源18Aが設けられ、他端側に
検出部20Aが設けられることにより、ガス分析部6A
が形成されている。なお、図7において、29Aは検出
部20Aの出力に基づいて濃度演算を行う濃度演算部
で、第1の実施の形態における濃度演算部29と同様の
動作を行う。
【0043】このように構成された赤外線ガス分析装置
においては、エンジン2Aからの排ガスがサンプルガス
SGとしてセル3bを流れ、このサンプルガスSGを横
断するようにして赤外光源18Aからの赤外光がサンプ
ルガスSGに一定周期でチョッピングされながら照射さ
れる。このサンプルガスSGを照射した赤外光は検出部
20Aの検出器21〜24に入射し、それぞれの検出器
21〜24からの出力が濃度演算部29Aに入力し、こ
の濃度演算部29Aにおいて、第1の実施の形態と同様
の演算処理を受ける。したがって、第2の実施の形態の
赤外線ガス分析装置においても、第1の実施の形態にお
ける赤外線ガス分析装置と同様の作用効果、すなわち、
段落0033〜0035において述べたような作用効果
が得られる。そして、この実施の形態においては、さら
に、以下のような優れた作用効果をも奏する。
【0044】すなわち、排ガスが流れる排気管3Aの一
部を赤外線ガス分析装置のセル3bとしているので、サ
ンプルガスSGをサンプリングするための装置や流路な
どガスサンプリング系が全く不要であり、それだけ構成
が簡略化される。そして、ガスサンプリング系が不要と
なったことにより、分析計指示に遅れが生ずることがな
く、分析計指示の立ち上がり速度の低下がなくなる。そ
して、サンプルガスSG中の水分濃度を従来の手法で測
定する際、水はガスサンプリング系の配管の壁面で吸脱
着を繰り返しながらガス分析部まで到達するため、分析
計指示の立ち上がり速度が遅くならざるを得なかった
が、この実施の形態においては、ガスサンプリングを行
っていないので、このような影響は全くなくなる。
【0045】また、サンプルガスSG中に水分が含まれ
る場合、直挿型の赤外線ガス分析装置では水分除去がで
きないために水分影響が問題となるが、この実施の形態
においては、検出部20Aに水分検出器23を設けてい
るので、水分影響をリアルタイムに補正することができ
る。さらに、ファン43,44によって、管壁3aと赤
外光源18Aおよび検出部20Aとの間にエアーカーテ
ン45,46を形成するようにしているので、赤外光源
18Aの窓や検出部20Aにおける光学フィルタ25〜
28や検出器21〜24の窓にサンプルガスSGが直接
接触するのが効果的に防止され、所望の濃度検出出力を
長期にわたって安定して得ることができる。
【0046】上記図7に示した赤外線ガス分析装置にお
いては、排気管3Aに開口41,42を設け、一方の開
口41に臨むように赤外光源18Aを設け、他方の開口
42に臨むように検出部20Aを設けたものであったた
め、前記開放された開口41,42に沿うようにエアー
カーテン45,46を形成するためのファン43,44
を設けていたが、図8に示すように、開口41,42に
赤外線透過性素材よりなる光学窓47,48を適宜のシ
ール部材49,50によって設け、開口41,42を封
止するようにしてもよい。この場合、赤外光源18Aお
よび検出部20Aを、光学窓47,48に密着させるよ
うにしてもよい。
【0047】前記図8に示した赤外線ガス分析装置にお
いても、図7における赤外線ガス分析装置と同様の効果
を奏することは言うまでもない。そして、この図8に示
したものにおいては、排気管3Aの途中に形成した開口
41,42から排ガスが流出するおそれがなく、したが
って、ガス分析部6Aの設置位置は任意である。
【0048】そして、上述の図7および図8にそれぞれ
示す実施の形態のものにおいては、ガス分析部6Aがエ
ンジン2Aに直結された排気管3Aに形成されていた
が、排気管3Aにさらに別の配管を直列接続し、この配
管にガス分析部6Aを設けるようにしてもよい。
【0049】なお、上記3つの実施の形態においては、
濃度算出や濃度補正などの演算を赤外線ガス分析装置6
において行うようにしているが、これらの演算をパソコ
ンなど適宜の演算装置(図示していない)において行う
ようにしてもよい。また、これらの実施の形態における
エンジン2,2Aは、路面を走行している自動車に搭載
されているものであっても、あるいは、シャシダイナモ
上に載置された自動車に搭載されたものであってもよ
く、さらには、エンジンダイナモ上に載置されたエンジ
ン単体であってもよい。
【0050】上述した実施の形態においては、サンプル
ガスSGが排気管3と並列的な流路に設けられるセル1
4に導入されたものであったり、排気管3A内を通過す
るものであり、これらのサンプルガスSGにおける特定
成分の測定に際して影響を与える水分の干渉影響を補正
して、所望の測定対象成分の濃度を精度よく測定するも
のであったが、この発明はこれらに限られるものではな
く、ある特定の領域や空間において特定成分の測定を行
う所謂リーモートセンシングにも利用することができ
る。
【0051】すなわち、図9は、前記リーモートセンシ
ングの一例を示すもので、この図において、51は自動
車などの車両が通行する道路、52,53はその両側の
歩道である。そして、これらの歩道52,53のうち、
一方52には例えば赤外光源18Bが設けられ、他方5
3には検出部20Bおよび濃度演算部29Bが設けられ
ている。赤外光源18B、検出部20Bおよび濃度演算
部29Bは、図2に示された赤外光源18、検出部20
Bおよび濃度演算部29Bと同様の構成を備えている。
この場合、赤外光源18Bと検出部20Bとは互いに対
向するように設けられ、これらの赤外光源18Bと検出
部20Bとの間の道路51の上方の空間部分51aがセ
ルとなる。なお、赤外光源18Bと検出部20Bは、路
面に対してあまり高くなく、また、人等の通行の妨げに
ならないように設けるのが好ましい。
【0052】上記構成においては、例えば自動車が道路
上を走行したときに排出される排ガスが前記空間部分5
1aに存在すると、この排ガスがサンプルガスとなり、
このサンプルガスを横断するようにして赤外光源18B
からの赤外光が一定周期でチョッピングされながら照射
される。このサンプルガスを照射した赤外光は検出部2
0Bの検出器(図示していない)に入射し、それぞれの
検出器からの出力が濃度演算部29Bに入力し、この濃
度演算部29Bにおいて、第1の実施の形態と同様の演
算処理を受ける。
【0053】前記図9に示した第4の実施の形態におい
ても、サンプルガス中に含まれる水分の影響を補正し、
所望の測定対象成分の濃度を精度よく測定することがで
き、所謂リモートセンシングが好適に行われる。
【0054】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の赤外線
ガス分析方法および装置は、構成がシンプルでありなが
らもサンプルガス中に含まれる水分の影響を補正し、所
望の測定対象成分の濃度を精度よく測定することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施の形態における赤外線ガ
ス分析装置を自動車に搭載した状態を示す図である。
【図2】前記赤外線ガス分析装置におけるガス分析部の
構成の一例を概略的に示す図である。
【図3】前記ガス分析部の検出部における赤外線検出器
の配置をの一例を模式的に示す図である。
【図4】前記赤外線ガス分析装置において行われる水分
干渉影響の補正手順の一例を示すフローチャートであ
る。
【図5】水分の干渉影響を説明するための図である。
【図6】この発明の第2の実施の形態を概略的に示す図
である。
【図7】この発明の第3の実施の形態を概略的に示す図
である。
【図8】この発明の第3の実施の形態の他の変形態様を
概略的に示す図である。
【図9】この発明の第4の実施の形態を概略的に示す図
である。
【図10】従来技術を説明するための図である。
【符号の説明】
3A…配管、6…赤外線ガス分析装置、6A…ガス分析
部、14…セル、18,18A,18B…赤外光源、2
0,20A,20B…検出部、41,42…開口、4
5,46…エアーカーテン、47,48…光学窓、SG
…サンプルガス。
フロントページの続き Fターム(参考) 2G057 AA01 AB02 BA05 BB10 DB05 DC07 2G059 AA01 BB01 CC04 CC09 DD12 DD13 HH01 JJ02 JJ24 KK03 MM01 MM05 MM14 NN01

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 セルの一端側に赤外光源を備え、他端側
    に検出部を備えたガス分析部に対してサンプルガスを供
    給して、サンプルガス中の測定対象成分の濃度を測定す
    るとともに前記サンプルガス中に含まれる水分の濃度を
    測定し、まず、前記測定対象成分の濃度に対するゼロ点
    における水分干渉を補正し、その後、前記測定対象成分
    の濃度に対する水分共存影響を補正することにより、水
    分影響を補正した測定対象成分の濃度を得るようにした
    ことを特徴とする赤外線ガス分析方法。
  2. 【請求項2】 サンプルガスが流れる配管に二つの開口
    を形成し、一方の開口に臨むように赤外光源を設け、他
    方の開口に検出部を設け、前記サンプルガスに赤外光を
    照射したときに得られる検出出力に基づいて前記サンプ
    ルガス中の測定対象成分の濃度を測定するとともに前記
    サンプルガス中に含まれる水分の濃度を測定し、まず、
    前記測定対象成分の濃度に対するゼロ点における水分干
    渉を補正し、その後、前記測定対象成分の濃度に対する
    水分共存影響を補正することにより、水分影響を補正し
    た測定対象成分の濃度を得るようにしたことを特徴とす
    る赤外線ガス分析方法。
  3. 【請求項3】 開口の外部にエアーカーテンが形成され
    るようにしてある請求項2に記載の赤外線ガス分析方
    法。
  4. 【請求項4】 開口に赤外線透過性の光学窓が設けられ
    ている請求項2に記載の赤外線ガス分析方法。
  5. 【請求項5】 サンプルガスを横断するように赤外光を
    発する赤外光源と、この赤外光源から発せられた赤外光
    を受光する検出部とを備え、サンプルガス中の測定対象
    成分の濃度を測定するとともに前記サンプルガス中に含
    まれる水分の濃度を測定し、まず、前記測定対象成分の
    濃度に対するゼロ点における水分干渉を補正し、その
    後、前記測定対象成分の濃度に対する水分共存影響を補
    正することにより、水分影響を補正した測定対象成分の
    濃度を得るようにしたことを特徴とする赤外線ガス分析
    方法。
  6. 【請求項6】 測定対象成分の濃度と水分の濃度を一つ
    のガス分析部によって測定するようにしてある請求項1
    〜5のいずれかに記載の赤外線ガス分析方法。
  7. 【請求項7】 セルの一端側に赤外光源を備え、他端側
    に検出部を備えたガス分析部に対してサンプルガスを供
    給して、サンプルガス中の測定対象成分の濃度を測定す
    るとともに前記サンプルガス中に含まれる水分の濃度を
    測定し、まず、前記測定対象成分の濃度に対するゼロ点
    における水分干渉を補正し、その後、前記測定対象成分
    の濃度に対する水分共存影響を補正することにより、水
    分影響を補正した測定対象成分の濃度を得るようにした
    ことを特徴とする赤外線ガス分析装置。
  8. 【請求項8】 サンプルガスが流れる配管に二つの開口
    を形成し、一方の開口に臨むように赤外光源を設け、他
    方の開口に検出部を設け、前記サンプルガスに赤外光を
    照射したときに得られる検出出力に基づいて前記サンプ
    ルガス中の測定対象成分の濃度を測定するとともに前記
    サンプルガス中に含まれる水分の濃度を測定し、まず、
    前記測定対象成分の濃度に対するゼロ点における水分干
    渉を補正し、その後、前記測定対象成分の濃度に対する
    水分共存影響を補正することにより、水分影響を補正し
    た測定対象成分の濃度を得るようにしたことを特徴とす
    る赤外線ガス分析装置。
  9. 【請求項9】 開口の外部にエアーカーテンが形成され
    るようにしてある請求項8に記載の赤外線ガス分析装
    置。
  10. 【請求項10】 開口に赤外線透過性の光学窓が設けら
    れている請求項8に記載の赤外線ガス分析装置。
  11. 【請求項11】 サンプルガスを横断するように赤外光
    を発する赤外光源と、この赤外光源から発せられた赤外
    光を受光する検出部とを備え、サンプルガス中の測定対
    象成分の濃度を測定するとともに前記サンプルガス中に
    含まれる水分の濃度を測定し、まず、前記測定対象成分
    の濃度に対するゼロ点における水分干渉を補正し、その
    後、前記測定対象成分の濃度に対する水分共存影響を補
    正することにより、水分影響を補正した測定対象成分の
    濃度を得るようにしたことを特徴とする赤外線ガス分析
    装置。
  12. 【請求項12】 測定対象成分の濃度と水分の濃度を一
    つのガス分析部によって測定するようにしてある請求項
    7〜11のいずれかに記載の赤外線ガス分析装置。
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006284508A (ja) * 2005-04-04 2006-10-19 Horiba Ltd 車両搭載型排気ガス分析装置
EP2339156A2 (en) 2009-12-25 2011-06-29 HORIBA, Ltd. Exhaust gas reciculation ratio measuring device
JP2014174054A (ja) * 2013-03-11 2014-09-22 Horiba Ltd 排ガス分析装置
JP2015158368A (ja) * 2014-02-21 2015-09-03 三菱電機株式会社 ガス分析装置およびガス分析方法
JP2015232555A (ja) * 2014-05-15 2015-12-24 株式会社堀場製作所 排ガス分析装置
JPWO2016002467A1 (ja) * 2014-07-03 2017-04-27 株式会社村田製作所 ガス濃度測定装置
JP2018072341A (ja) * 2016-10-28 2018-05-10 ドレーゲルヴェルク アクチェンゲゼルシャフト ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト アウフ アクチェンDraegerwerk AG & Co.KGaA 呼吸ガス混合気中の少なくとも1つのガス成分の濃度特定のための装置
JP2018077222A (ja) * 2016-10-28 2018-05-17 ドレーゲルヴェルク アクチェンゲゼルシャフト ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト アウフ アクチェンDraegerwerk AG & Co.KGaA 呼吸ガス混合気中の少なくとも1つのガス成分の濃度特定のための装置
JP2018091827A (ja) * 2016-11-29 2018-06-14 株式会社堀場製作所 ガス分析装置及びガス分析方法
JP2020505599A (ja) * 2017-01-19 2020-02-20 カスケイド テクノロジーズ ホールディングス リミテッド 密結合型分析器
JP2020183925A (ja) * 2019-05-09 2020-11-12 株式会社堀場エステック 吸光分析システム、吸光分析システム用プログラム、吸光分析装置、及び、吸光度測定方法
KR20220133099A (ko) 2021-03-24 2022-10-04 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 Dcr 가스용 흡광 분석 장치, dcr 가스용 흡광 분석 방법, 및 dcr 가스용 흡광 분석 프로그램이 기록된 프로그램 기록 매체

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7977660B2 (en) * 2007-08-14 2011-07-12 General Electric Company Article, device, and method
WO2016141155A1 (en) 2015-03-05 2016-09-09 Honeywell International Inc. Use of selected glass types and glass thicknesses in the optical path to remove cross sensitivity to water absorption peaks
EP3347698A1 (en) 2015-09-10 2018-07-18 Honeywell International Inc. Gas detector with normalized response and improved sensitivity
US10393591B2 (en) 2015-10-09 2019-08-27 Honeywell International Inc. Electromagnetic radiation detector using a planar Golay cell
US10724945B2 (en) 2016-04-19 2020-07-28 Cascade Technologies Holdings Limited Laser detection system and method
US10180393B2 (en) 2016-04-20 2019-01-15 Cascade Technologies Holdings Limited Sample cell
GB2567441A (en) * 2017-10-11 2019-04-17 Nyquist Solutions Ltd Exhaust gas analyser
EP3781929B1 (en) * 2018-04-20 2022-06-08 Flo2R Aps Gas analysis system and method

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3979589A (en) * 1973-11-29 1976-09-07 Finn Bergishagen Method and system for the infrared analysis of gases
US5600142A (en) * 1995-05-26 1997-02-04 Uop Measurement of vaporized hydrogen peroxide

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4550645B2 (ja) * 2005-04-04 2010-09-22 株式会社堀場製作所 車両搭載型排気ガス分析装置
JP2006284508A (ja) * 2005-04-04 2006-10-19 Horiba Ltd 車両搭載型排気ガス分析装置
EP2339156A2 (en) 2009-12-25 2011-06-29 HORIBA, Ltd. Exhaust gas reciculation ratio measuring device
US8408056B2 (en) 2009-12-25 2013-04-02 Horiba, Ltd. EGR ratio measuring device
JP2014174054A (ja) * 2013-03-11 2014-09-22 Horiba Ltd 排ガス分析装置
JP2015158368A (ja) * 2014-02-21 2015-09-03 三菱電機株式会社 ガス分析装置およびガス分析方法
JP2015232555A (ja) * 2014-05-15 2015-12-24 株式会社堀場製作所 排ガス分析装置
US10254222B2 (en) 2014-07-03 2019-04-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. Gas concentration measurement device
JPWO2016002467A1 (ja) * 2014-07-03 2017-04-27 株式会社村田製作所 ガス濃度測定装置
JP2018072341A (ja) * 2016-10-28 2018-05-10 ドレーゲルヴェルク アクチェンゲゼルシャフト ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト アウフ アクチェンDraegerwerk AG & Co.KGaA 呼吸ガス混合気中の少なくとも1つのガス成分の濃度特定のための装置
JP2018077222A (ja) * 2016-10-28 2018-05-17 ドレーゲルヴェルク アクチェンゲゼルシャフト ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト アウフ アクチェンDraegerwerk AG & Co.KGaA 呼吸ガス混合気中の少なくとも1つのガス成分の濃度特定のための装置
JP2018091827A (ja) * 2016-11-29 2018-06-14 株式会社堀場製作所 ガス分析装置及びガス分析方法
JP2020505599A (ja) * 2017-01-19 2020-02-20 カスケイド テクノロジーズ ホールディングス リミテッド 密結合型分析器
JP7297186B2 (ja) 2017-01-19 2023-06-26 エマーソン プロセス マネジメント リミテッド レーザ検出システム、及びサンプルガス中の少なくとも1つの物質の存在、非存在、または量を検出する方法
JP2020183925A (ja) * 2019-05-09 2020-11-12 株式会社堀場エステック 吸光分析システム、吸光分析システム用プログラム、吸光分析装置、及び、吸光度測定方法
JP7498545B2 (ja) 2019-05-09 2024-06-12 株式会社堀場エステック 吸光分析システム、吸光分析システム用プログラム、吸光分析装置、及び、吸光度測定方法
KR20220133099A (ko) 2021-03-24 2022-10-04 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 Dcr 가스용 흡광 분석 장치, dcr 가스용 흡광 분석 방법, 및 dcr 가스용 흡광 분석 프로그램이 기록된 프로그램 기록 매체
US11796460B2 (en) 2021-03-24 2023-10-24 Tokyo Electron Limited Absorbance analysis apparatus for DCR gas, absorbance analysis method for DCR gas, and absorbance analysis program recording medium on which program for DCR gas is recorded

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