KR20220133099A - Dcr 가스용 흡광 분석 장치, dcr 가스용 흡광 분석 방법, 및 dcr 가스용 흡광 분석 프로그램이 기록된 프로그램 기록 매체 - Google Patents
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Abstract
흡수 스펙트럼이 중복되는 DCR 가스와 CO 가스로 이루어지는 혼합 가스여도, DCR 가스의 흡광도만을 분리하여 그 농도를 산출할 수 있는 DCR용 흡광 분석 장치를 제공하기 위해서, DCR 가스의 흡수 피크를 포함하는 제1 파수역의 광을 투과시키는 DCR용 필터(31)와, CO 가스의 흡수 파수역이고, 또한 상기 제1 파수역과는 다른 제2 파수역의 광을 투과시키는 CO용 필터(32)와, 상기 DCR용 필터(31)를 투과한 광에 의해 측정된 제1 흡광도 A1와, 상기 CO용 필터(32)를 투과한 광에 의해 측정된 제2 흡광도 AC2에 기초하여, 상기 DCR 가스의 양을 산출하는 DCR 가스량 산출기(4)를 구비했다.
Description
본 발명은 캐리어 가스인 CO 가스와 성분 가스인 DCR 가스로 이루어지는 혼합 가스 중의 DCR 가스의 양을 측정하는 DCR 가스용 흡광 분석 장치에 관한 것이다.
CVD법이나 ALD법 등의 화학 증착법에 의해 루테늄 박막이나 루테늄 화합물 박막을 형성하기 위해서 DCR(Dodecacarbonyl Triruthenium:(Ru3(CO)12)) 가스를 사용하는 것이 검토되고 있다. DCR 가스는 예를 들면 CO 가스를 캐리어 가스로 하여 진공 챔버 내에 소정의 농도나 유량으로 공급된다.
DCR 가스와 CO 가스로 이루어지는 혼합 가스 중에 있어서의 DCR 가스의 농도의 측정에는, NDIR(Non Dispersive infrared) 법을 이용하는 것을 생각할 수 있다.
그런데, DCR의 흡수 스펙트럼의 거의 전체는, CO의 흡수 스펙트럼의 일부에 중복되고 있기 때문에, DCR의 흡수 파장에서 분석을 행하면, DCR 및 CO의 쌍방의 흡수의 영향이 발생해 버린다. 이 때문에, DCR만의 흡광도를 분리할 수 없어, 정확한 DCR 가스의 농도나 유량을 산출할 수 없다.
예를 들면 배기 가스의 성분을 측정하기 위해서 NDIR를 이용하는 경우에는, 특허 문헌 1의 각 가스의 흡수 파장역의 적외선을 거의 전역에서 투과하는 광학 필터를 각각 이용하여, 배기 가스 중의 측정 대상 가스인 CO 농도 또는 CO2 농도를 측정함과 아울러, 측정 대상 가스와 흡수 파장역이 중복되는 간섭 성분인 수분의 농도를 측정한다. 그리고, 제로점 간섭 보정으로서 측정된 측정 대상 가스의 농도로부터 수분의 농도를 빼는 것이 행해지고 있다.
그렇지만, 상기와 같은 방법을 DCR와 CO의 혼합 가스에 단순하게 적용해도 DCR의 농도를 정확하게 측정하는 것은 어렵다.
본 발명은 상술한 것 같은 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 흡수 스펙트럼이 중복되는 DCR 가스와 CO 가스로 이루어지는 혼합 가스여도, DCR 가스의 흡광도만을 분리하여 그 농도를 산출할 수 있는 DCR용 흡광 분석 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
즉, 본 발명은 캐리어 가스인 CO 가스와 성분 가스인 DCR(Ru3(CO)12) 가스로 이루어지는 혼합 가스 중의 DCR 가스의 양을 측정하는 DCR 가스용 흡광 분석 장치로서, 상기 DCR 가스의 흡수 피크를 포함하는 제1 파수역(波數域)의 광을 투과하는 DCR용 필터와, 상기 CO 가스의 흡수 파수역이고, 또한 상기 제1 파수역과는 다른 제2 파수역의 광을 투과시키는 CO용 필터와, 상기 DCR용 필터를 투과한 광에 의해 측정된 제1 흡광도와, 상기 CO용 필터를 투과한 광에 의해 측정된 제2 흡광도에 기초하여, 상기 DCR 가스의 양을 산출하는 DCR 가스량 산출기를 구비하고, 상기 DCR 가스량 산출기가 상기 제2 흡광도에 기초하여, 상기 제1 파수역에 있어서의 상기 CO 가스의 흡광도인 간섭 영향 흡광도를 추정하는 간섭 영향 추정부와, 상기 제1 흡광도로부터 상기 간섭 영향 흡광도를 빼서, 상기 DCR 가스의 흡광도로 보정하는 흡광도 보정부와, 상기 흡광도 보정부에서 보정된 상기 DCR 가스의 흡광도에 기초하여, 혼합 가스 중에 포함되는 상기 DCR 가스의 양으로 환산하는 환산부를 구비한 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명은 캐리어 가스인 CO 가스와 성분 가스인 DCR(Ru3(CO)12) 가스로 이루어지는 혼합 가스 중의 DCR 가스의 양을 측정하는 DCR 가스용 흡광 분석 방법으로서, 상기 DCR 가스의 흡수 피크를 포함하는 제1 파수역의 광을 투과하도록 DCR용 필터를 마련하는 것과, 상기 CO 가스의 흡수 파수역이고, 또한 상기 제1 파수역과는 다른 제2 파수역의 광을 투과시키도록 CO용 필터를 마련하는 것과, 상기 DCR용 필터를 투과한 광에 의해 측정된 제1 흡광도와, 상기 CO용 필터를 투과한 광에 의해 측정된 제2 흡광도에 기초하여, 상기 DCR 가스의 양을 산출하는 것을 구비하고, 상기 DCR 가스의 양의 산출에 있어서, 상기 제2 흡광도에 기초하여, 상기 제1 파수역에 있어서의 상기 CO 가스의 흡광도인 간섭 영향 흡광도를 추정하는 것과, 상기 제1 흡광도로부터 상기 간섭 영향 흡광도를 빼서, 상기 DCR 가스의 흡광도로 보정하는 것과, 상기 흡광도 보정부에서 보정된 상기 DCR 가스의 흡광도에 기초하여, 혼합 가스 중에 포함되는 상기 DCR 가스의 양으로 환산하는 것을 포함한다.
이러한 것이면, 상기 DCR용 필터의 작용에 의해서 상기 DCR 가스와 상기 CO 가스의 각 흡수의 영향을 받은 상기 제1 흡광도와, 상기 CO용 필터의 작용에 의해서 DCR 가스의 흡수의 영향을 거의 받지 않아, CO 가스의 농도가 정확하게 반영되어 있는 제2 흡광도를 얻을 수 있다.
즉, 상기 제2 흡광도에 기초하여, 상기 제1 파수역에 있어서의 상기 CO 가스의 흡광도인 간섭 영향 흡광도를 정확하게 추정할 수 있다. 또한, 상기 제1 흡광도로부터 상기 간섭 영향 흡광도를 뺌으로써 상기 제1 흡광도를 상기 DCR 가스의 흡광도로 보정하고 있으므로, 정확한 DCR 가스의 흡광도를 얻을 수 있다.
상기 제1 흡광도에는 DCR 가스의 흡수 피크에 의한 흡수의 영향이 가장 잘 나타나도록 함과 아울러, 상기 제2 흡광도에는 CO 가스의 흡수 피크에 의한 흡수의 영향이 가장 잘 나타나도록 하여, 보다 정확한 DCR 가스의 양이 얻어지도록 하려면, 상기 제1 파수역이 2067/cm를 포함함과 아울러, 상기 제2 파수역이 2165/cm를 포함하는 것이면 된다.
복잡한 연산을 행할 필요를 없애고, 예를 들면 농도 제어에 필요한 제어 주기로 차례로 상기 DCR 가스의 농도를 정확하게 산출할 수 있도록 하려면, 상기 흡광도 보정부가 상기 제2 흡광도에 소정의 계수를 곱해 상기 간섭 영향 흡광도를 산출하는 것이면 된다.
기존의 흡광 분석 장치의 프로그램을 갱신함으로써, 본 발명에 따른 DCR용 흡광 분석 장치와 거의 같은 효과를 달성할 수 있도록 하려면, 캐리어 가스인 CO 가스와 성분 가스인 DCR(Ru3(CO)12) 가스로 이루어지는 혼합 가스 중의 DCR 가스의 양을 측정하는 것으로, 상기 DCR 가스의 흡수 피크를 포함하는 제1 파수역의 광을 투과시키는 DCR용 필터와, 상기 CO 가스의 흡수 파수역이고, 또한 상기 제1 파수역과는 다른 제2 파수역의 광을 투과시키는 CO용 필터를 구비한 DCR 가스용 흡광 분석 장치에 이용되는 DCR 가스용 흡광 분석 프로그램으로서, 상기 DCR 가스용 흡광 분석 프로그램이 상기 DCR용 필터를 투과한 광에 의해 측정된 제1 흡광도와, 상기 CO용 필터를 투과한 광에 의해 측정된 제2 흡광도에 기초하여, 상기 DCR 가스의 양을 산출하는 DCR 가스량 산출기로서의 기능을 컴퓨터에 발휘시키는 것으로, 상기 DCR 가스량 산출기가 상기 제2 흡광도에 기초하여, 상기 제1 파수역에 있어서의 상기 CO 가스의 흡광도인 간섭 영향 흡광도를 추정하는 간섭 영향 추정부와, 상기 제1 흡광도로부터 상기 간섭 영향 흡광도를 빼서, 상기 DCR 가스의 흡광도로 보정하는 흡광도 보정부와, 상기 흡광도 보정부에서 보정된 상기 DCR 가스의 흡광도에 기초하여, 혼합 가스 중에 포함되는 상기 DCR 가스의 양으로 환산하는 환산부를 구비한 것을 특징으로 하는 DCR 가스용 흡광 분석 프로그램을 이용하면 된다.
덧붙여, DCR 가스용 흡광 분석 프로그램은 전자적으로 배포되는 것이어도 되고, CD, DVD, 플래쉬 메모리 등의 프로그램 기록 매체에 기록된 것이어도 된다.
이와 같이 본 발명에 따른 DCR 가스용 흡광 분석 장치에 의하면, CO 가스의 농도를 반영한 제2 흡광도로부터 제1 흡광도에 포함되는 CO 가스의 흡수에 의한 간섭 영향 흡광도를 정확하게 추정하고, 해당 간섭 영향 흡광도에 기초하여 제1 흡광도를 보정함으로써, DCR 가스만의 흡수에 의한 흡광도를 얻을 수 있다. 따라서, DCR 가스의 농도, 분압과 같은 양을 정확하게 산출하는 것이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 DCR 가스용 흡광 분석 장치를 나타내는 모식도이다.
도 2는 동 실시 형태에 있어서의 DCR 가스와 CO 가스의 흡수 스펙트럼, 및 각 필터의 투과 설정을 나타내는 그래프이다.
도 3은 동 실시 형태에 있어서의 DCR 가스량 산출기의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 2는 동 실시 형태에 있어서의 DCR 가스와 CO 가스의 흡수 스펙트럼, 및 각 필터의 투과 설정을 나타내는 그래프이다.
도 3은 동 실시 형태에 있어서의 DCR 가스량 산출기의 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 DCR 가스용 흡광 분석 장치(100)에 대해 각 도면을 참조하면서 설명한다.
이 DCR 가스용 흡광 분석 장치(100)는, 예를 들면 CVD법이나 ALD법 등의 화학적 증착법에 따르는 반도체 제조 프로세스에 있어서, 챔버 내에 공급되는 DCR 가스의 농도를 NDIR법에 의해 측정하는 것이다. 챔버 내로는 캐리어 가스인 CO 가스와 성분 가스인 DCR 가스의 혼합 가스가 공급된다. 이것은 DCR의 CO기(基)가 챔버에 공급될 때까지의 동안에 분리되어, DCR의 분해가 생기는 것을 방지하기 위함이다.
도 1에 나타내는 것처럼 DCR 가스용 흡광 분석 장치(100)는, 혼합 가스가 흐르는 유로에 대해서 장착되는 투광성을 가진 개략 원통 모양의 셀(2)과, 셀(2)의 일단면측으로부터 셀(2) 내에 소정의 스펙트럼을 가지는 적외선을 입사시키는 광원(1)과, 셀(2)의 타단면측으로부터 사출(射出)되는 적외광을 검출하는 광 검출 기구(3)와, 광 검출 기구(3)의 출력에 기초하여 DCR 가스의 농도를 산출하는 DCR 가스량 산출기(4)를 구비하고 있다.
각부에 대해서 상술한다.
광원(1)은 적어도 DCR 가스의 흡수 피크와 CO 가스의 흡수 피크의 파수를 포함하는 파수역의 적외광을 사출하도록 구성되어 있다.
셀(2)은 광원(1)측의 측면부로 개구되는 혼합 가스 입구와, 검출 기구측의 측면부로 개구되는 혼합 가스 출구를 구비하고 있고, 셀(2) 내에 혼합 가스가 유통되도록 구성된 이른바 플로우 셀이다.
광 검출 기구(3)는 셀(2)의 타단면측과 대향하도록 마련된, 3세트의 필터 및 검출기를 구비하고 있다. 이 실시 형태에서는, 3세트의 필터 및 검출기는, DCR 가스와 CO 가스의 흡수에 의한 제1 흡광도 A1를 측정하기 위한 DCR용 필터(31) 및 DCR용 검출기(31D)와, CO 가스 단독의 흡수에 의한 제2 흡광도 AC2를 측정하기 위한 CO용 필터(32) 및 CO용 검출기(32D)와, 비교 신호를 출력하는 기준 필터(33) 및 기준 검출기(33D)이다. 각 필터는 밴드 패스 필터로서, 각각 투과시키는 광의 파수역이 상이하게 되어 있다. 각 검출기에 대해서는 예를 들면 초전형(焦電型)의 적외선 센서여도 동형(同型)의 것을 이용하고 있다.
각 필터의 상세한 것에 대하여 설명한다.
DCR용 필터(31)는 DCR 가스의 흡수 피크를 포함하는 제1 파수역의 광을 투과하도록 구성되어 있다. DCR 가스의 흡수 스펙트럼의 피크는 2067/cm에 있기 때문에, 제1 파수역은 흡수 피크 및 그 근방의 파수(波數)를 포함하도록 구성되어 있다.
한편, CO용 필터(32)는 CO 가스의 흡수 파수역이고, 또한 제1 파수역과는 다른 제2 파수역의 광을 투과시키도록 구성되어 있다. 본 실시 형태는 제2 파수역에는 DCR 가스의 흡수 스펙트럼이 실질적으로 존재하지 않는, 혹은, CO 가스의 흡수에 대해서 DCR 가스의 흡수를 거의 무시할 수 있는 파수역이 되도록 구성되어 있다. 보다 구체적으로는 CO 가스의 흡수 피크이며, DCR 가스의 흡광을 거의 무시할 수 있는 2165/cm 및 그 근방의 파수를 포함하도록 제2 파수역은 설정해 둔다.
기준 필터(33)에 대해서는, DCR 가스 및 CO 가스의 흡수가 거의 존재하지 않는 파수역의 적외광을 투과시키도록 구성되어 있다. 즉, 비교 신호는 흡수가 실질적으로 존재하지 않는 경우의 적외선의 강도가 반영된다.
여기서, 도 2에 혼합 가스를 흘렸을 경우와, CO 가스만을 흘렸을 경우의 흡수 스펙트럼의 측정 결과를 나타낸다. 어느 측정 결과에서도 CO 가스의 유량은 같은 값으로 설정해 둔다. 도 2의 측정 결과로부터 알 수 있듯이 2165/cm의 근방에서는 혼합 가스를 흘렸을 경우와 CO 가스를 단독으로 흘렸을 경우에서 흡광도에 변화는 거의 생기지 않은 것을 알 수 있다. 즉, CO 필터를 이용하여 제2 파장역의 흡광도를 측정함으로써, 혼합 가스를 흘리고 있는 경우에서도 CO 검출기의 출력으로부터 혼합 가스 중의 CO 가스 단독의 영향이 나타난 흡광도를 얻을 수 있는 것을 알 수 있다. 한편, 2067/cm의 근방에서는 CO 가스 단독에서도 흡수가 생겨 있기 때문에, 혼합 가스를 흘렸을 경우에 제1 파장역에서 측정되는 흡광도는 DCR 가스의 흡광도뿐만이 아니라, CO 가스의 흡광도의 영향이 발생하고 있음을 알 수 있다
다음에 DCR 가스량 산출기(4)의 구성에 대해 도 3의 기능 블록도를 참조하면서 설명한다.
DCR 가스량 산출기(4)는 광 검출 기구(3)로부터 얻어지는 제1 파수역에서의 측정 결과인 제1 흡광도 A1와, 제2 파수역에서의 측정 결과인 제2 흡광도 AC2에 기초하여, 혼합 가스 중에 있어서의 DCR 가스의 농도를 산출하는 것이다. 이 DCR 가스량 산출기(4)는 예를 들면 CPU, 메모리, A/D 컨버터, D/A 컨버터, 각종 입출력 수단을 구비한 이른바 컴퓨터에 있어서, 메모리에 격납되어 있는 DCR 가스용 흡광 분석 프로그램이 실행됨으로써, 그 기능이 실현된다. 구체적으로는 DCR 가스량 산출기(4)는 적어도 제1 흡광도 산출부(41), 제2 흡광도 산출부(42), 간섭 영향 추정부(43), 흡광도 보정부(44), 환산부(45)로서의 기능이 각 기기의 협업에 의해 실현된다.
제1 흡광도 산출부(41)는 DCR용 검출기(31D)로부터 출력되는 DCR＋CO 신호(제1 출력 신호)와, 기준 검출기(33D)로부터 출력되는 비교 신호가 입력되고, 그러한 신호가 나타내는 값에 기초하여, 제1 파수역에 있어서의 DCR 가스의 흡광도 AD1와 CO 가스의 흡광도 AC1의 합인 제1 흡광도 A1를 산출한다. 즉, A1=AD1＋AC1로 나타낼 수 있다. 덧붙여, 흡광도의 산출 방법에 대해서는 기존의 방법을 이용할 수 있다.
제2 흡광도 산출부(42)는 CO용 검출기(32D)로부터 출력되는 CO 신호(제2 출력 신호)와, 기준 검출기(33D)로부터 출력되는 비교 신호가 입력되고, 그러한 신호가 나타내는 값에 기초하여, 제2 파수역에 있어서의 CO 가스의 흡광도 AC2인 제2 흡광도 AC2를 산출한다.
간섭 영향 추정부(43)는 제2 흡광도에 기초하여, 제1 파수역에 있어서의 CO 가스의 흡광도인 간섭 영향 흡광도 AC1를 추정하는 것이다. 간섭 영향 추정부(43)는, 예를 들면 제2 흡광도 AC2에 적당한 계수 K를 곱하여 AC1를 산출한다. 또한 AC1는 AC2를 입력 변수, AC1를 출력 변수로 하는 관계식에 의해 구해도 된다.
흡광도 보정부(44)는 제1 흡광도 A1로부터 간섭 영향 흡광도 AC1를 빼서, DCR 가스의 흡광도 AD1로 보정한다. 즉, AD1=A1－AC1=A1－K×AC2로 나타낼 수 있다.
환산부(45)는 흡광도 보정부(44)에서 보정된 DCR 가스의 흡광도 AD1와 람베르트·비어의 법칙에 기초하여, 혼합 가스 중에 포함되는 DCR 가스의 농도로 환산한다. 이 환산된 DCR 가스의 농도가 외부에 출력되어 표시되거나, 농도 제어를 위해서 이용되거나 한다.
이와 같이 구성된 본 실시 형태의 DCR 가스용 흡광 분석 장치(100)에 의하면, CO용 필터(32)를 이용하여 혼합 가스가 흐르고 있는 경우에도 CO 가스 단독의 흡수가 발생하고 있는 제2 흡광도 AC2를 얻을 수 있으므로, 그 값으로부터 제1 흡광도 A1 내에 포함되어 있는 CO 가스의 흡수의 영향인 간섭 영향 흡광도 AC1를 추정할 수 있다.
또, 제1 흡광도 A1로부터 간섭 영향 흡광도 AC1를 뺌으로써 DCR 가스만의 흡수에 의한 흡광도 AD1를 산출할 수 있으므로, 혼합 가스 중에 있어서의 DCR 가스의 농도를 환산부(45)에서 정확하게 산출할 수 있다.
그 외의 실시 형태에 대해 설명한다.
DCR용 필터 및 CO용 필터에 대해서는, 상기 실시 형태에 나타낸 것으로 한정되지 않으며, 투과하는 파수역에 대해서는 적절히 설정해도 된다.
광 검출 기구에 대해서는 상기 실시 형태에 나타낸 것으로 한정되지 않으며, 기존의 NDIR 분석계 등의 구성을 이용해도 된다. 예를 들면 검출기에 대해서는 복수 준비하지 않고, 1개만 준비하고, 셀과 검출기의 사이에 배치되는 필터가 고속으로 전환되도록 해도 된다.
환산부가 출력하는 것은 DCR 가스의 농도가 아니라, 분압이나 유량이어도 된다. 분압에 대해서는 농도의 정의식으로부터 환산할 수 있다.
그 외, 본 발명의 취지에 반하지 않는 한에 있어서 다양한 실시 형태의 변형이나, 각 실시 형태의 일부끼리를 조합해도 상관없다.
100···DCR 가스용 흡광 분석 장치
1···광원
2···셀
3···광 검출 기구
31···DCR용 필터
31D···DCR용 검출기
32···CO용 필터
32D···CO용 검출기
33···기준 필터
33D···기준 검출기
4···DCR 가스량 산출기
41···제1 흡광도 산출부
42···제2 흡광도 산출부
43···간섭 영향 추정부
44···흡광도 보정부
45···환산부
1···광원
2···셀
3···광 검출 기구
31···DCR용 필터
31D···DCR용 검출기
32···CO용 필터
32D···CO용 검출기
33···기준 필터
33D···기준 검출기
4···DCR 가스량 산출기
41···제1 흡광도 산출부
42···제2 흡광도 산출부
43···간섭 영향 추정부
44···흡광도 보정부
45···환산부
Claims (5)
- 캐리어 가스인 CO 가스와 성분 가스인 DCR(Ru3(CO)12) 가스로 이루어지는 혼합 가스 중의 DCR 가스의 양을 측정하는 DCR 가스용 흡광 분석 장치로서,
상기 DCR 가스의 흡수 피크를 포함하는 제1 파수역(波數域)의 광을 투과시키는 DCR용 필터와,
상기 CO 가스의 흡수 파수역이고, 또한 상기 제1 파수역과는 다른 제2 파수역의 광을 투과시키는 CO용 필터와,
상기 DCR용 필터를 투과한 광에 의해 측정된 제1 흡광도와, 상기 CO용 필터를 투과한 광에 의해 측정된 제2 흡광도에 기초하여, 상기 DCR 가스의 양을 산출하는 DCR 가스량 산출기를 구비하고,
상기 DCR 가스량 산출기가
상기 제2 흡광도에 기초하여, 상기 제1 파수역에 있어서의 상기 CO 가스의 흡광도인 간섭 영향 흡광도를 추정하는 간섭 영향 추정부와,
상기 제1 흡광도로부터 상기 간섭 영향 흡광도를 빼서, 상기 DCR 가스의 흡광도로 보정하는 흡광도 보정부와,
상기 흡광도 보정부에서 보정된 상기 DCR 가스의 흡광도에 기초하여, 혼합 가스 중에 포함되는 상기 DCR 가스의 양으로 환산하는 환산부를 구비한 것을 특징으로 하는 DCR 가스용 흡광 분석 장치. - 청구항 1에 있어서,
상기 제1 파수역이 2067/cm를 포함함과 아울러, 상기 제2 파수역이 2165/cm를 포함하는 DCR 가스용 흡광 분석 장치. - 청구항 1에 있어서,
상기 흡광도 보정부가 상기 제2 흡광도에 소정의 계수를 곱해 상기 간섭 영향 흡광도를 산출하는 DCR 가스용 흡광 분석 장치. - 캐리어 가스인 CO 가스와 성분 가스인 DCR(Ru3(CO)12) 가스로 이루어지는 혼합 가스 중의 DCR 가스의 양을 측정하는 DCR 가스용 흡광 분석 방법으로서,
상기 DCR 가스의 흡수 피크를 포함하는 제1 파수역의 광을 투과시키도록 DCR용 필터를 마련하는 것과,
상기 CO 가스의 흡수 파수역이고, 또한 상기 제1 파수역과는 다른 제2 파수역의 광을 투과시키도록 CO용 필터를 마련하는 것과,
상기 DCR용 필터를 투과한 광에 의해 측정된 제1 흡광도와, 상기 CO용 필터를 투과한 광에 의해 측정된 제2 흡광도에 기초하여, 상기 DCR 가스의 양을 산출하는 것을 구비하고,
상기 DCR 가스의 양의 산출에 있어서,
상기 제2 흡광도에 기초하여, 상기 제1 파수역에 있어서의 상기 CO 가스의 흡광도인 간섭 영향 흡광도를 추정하는 것과,
상기 제1 흡광도로부터 상기 간섭 영향 흡광도를 빼서, 상기 DCR 가스의 흡광도로 보정하는 것과,
상기 흡광도 보정부에서 보정된 상기 DCR 가스의 흡광도에 기초하여, 혼합 가스 중에 포함되는 상기 DCR 가스의 양으로 환산하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 DCR 가스용 흡광 분석 방법. - 캐리어 가스인 CO 가스와 성분 가스인 DCR(Ru3(CO)12) 가스로 이루어지는 혼합 가스 중의 DCR 가스의 양을 측정하는 것으로, 상기 DCR 가스의 흡수 피크를 포함하는 제1 파수역의 광을 투과시키는 DCR용 필터와, 상기 CO 가스의 흡수 파수역이고, 또한 상기 제1 파수역과는 다른 제2 파수역의 광을 투과시키는 CO용 필터를 구비한 DCR 가스용 흡광 분석 장치에 이용되는 DCR 가스용 흡광 분석 프로그램이 기록된 프로그램 기록 매체로서,
상기 DCR 가스용 흡광 분석 프로그램이
상기 DCR용 필터를 투과한 광에 의해 측정된 제1 흡광도와, 상기 CO용 필터를 투과한 광에 의해 측정된 제2 흡광도에 기초하여, 상기 DCR 가스의 양을 산출하는 DCR 가스량 산출기로서의 기능을 컴퓨터에 발휘시키는 것이고,
상기 DCR 가스량 산출기가
상기 제2 흡광도에 기초하여, 상기 제1 파수역에 있어서의 상기 CO 가스의 흡광도인 간섭 영향 흡광도를 추정하는 간섭 영향 추정부와,
상기 제1 흡광도로부터 상기 간섭 영향 흡광도를 빼서, 상기 DCR 가스의 흡광도로 보정하는 흡광도 보정부와,
상기 흡광도 보정부에서 보정된 상기 DCR 가스의 흡광도에 기초하여, 혼합 가스 중에 포함되는 상기 DCR 가스의 양으로 환산하는 환산부를 구비한 것을 특징으로 하는 DCR 가스용 흡광 분석 프로그램이 기록된 프로그램 기록 매체.
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| JP2022148003A (ja) * | 2021-03-24 | 2022-10-06 | 東京エレクトロン株式会社 | Ｄｃｒガス用吸光分析装置、ｄｃｒガス用吸光分析方法、及び、ｄｃｒガス用吸光分析プログラム |
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|---|---|---|---|---|
| JP2003172700A (ja) | 2001-09-27 | 2003-06-20 | Horiba Ltd | 赤外線ガス分析方法および装置 |
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| Publication number | Publication date |
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| US11796460B2 (en) | 2023-10-24 |
| TW202238103A (zh) | 2022-10-01 |
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