JP2003158319A - 固体レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多数の固体レーザ装置が使用される場合で
も、それらの長期安定動作を確保する。 【解決手段】 固体レーザ装置では出力されるレーザ光
の一部をＰＤ２２に導き、ＡＰＣ回路４１を経て駆動回
路４２にフィードバックすることによりレーザ光出力が
一定になるようＬＤ１５の駆動電流を増減する。サーミ
スタ２４〜２６によりＬＤ１５、共振器ブロック３１お
よびエタロン１７の温度を検出し、温度制御回路４３〜
４５によってそれらの温度が設定温度となるように制御
する。これら駆動電流および温度についての情報はＣＰ
Ｕ４６に取り込まれた上、ネットワークインターフェイ
ス回路４７を介してネットワーク上のホストコンピュー
タ４８に送られる。ホストコンピュータ４８はネットワ
ーク上の多数の固体レーザ装置を一括モニターし、駆動
電流などに応じて温度の再調整のための動作指令などを
各固体レーザ装置に送る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光を入射して固
体レーザ結晶を励起し、その励起光を光共振器によって
共振させてレーザ発振させる固体レーザ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】固体レーザ装置は、たとえば励起光源と
して半導体レーザを用い、これからのレーザ光を、レー
ザ媒質であるＮｄ：ＹＡＧ結晶などの固体レーザ結晶に
入射してこれを励起し、その励起光を、出力側ミラー
と、その結晶の入射面ミラーとの間で形成される光共振
器で共振させてレーザ発振を生じさせ、そのレーザ光を
出力側ミラーより取り出すという構成をとる。そして、
波長選択のために光共振器内にエタロンが挿入される。

【０００３】この光共振器の長さは、安定なレーザ光を
得るためにきわめて重要であり、４０ｎｍ以下の変動幅
に抑えることが望まれる。そのため、固体レーザ結晶と
出力側ミラーとを金属ブロックなどに固定し、寸法精度
を高めるようにしている。また、金属ブロックが熱膨張
するためその影響を抑えるよう、温度が一定になるよう
コントロールしている。また、レーザダイオードの発振
波長やエタロンの選択周波数特性も、わずかであるが、
温度でコントロール可能であるため、それらの温度も制
御するようにしている。すなわち、これらの温度をサー
ミスタなどで検知し、その検知温度が設定された所定の
値になるよう、温度コントロールしている。

【０００４】また、レーザ光の出力（振幅）が一定にな
るように励起用半導体レーザの駆動電流を制御する自動
出力制御回路（ Auto Power Control ：ＡＰＣ回路）も
備えられている。出力されるレーザ光の一部を分岐して
モニター用光検出器に導き、この光検出器からのモニタ
ー出力をＡＰＣ回路に送って設定値と比較し、その偏差
がなくなるよう励起用半導体レーザの駆動電流を増減さ
せるというフィードバック制御を行っている。

【０００５】このような固体レーザ装置は民生用として
さまざまな用途で用いられ、一つの大きな装置内で多数
用いられたり、あるいは研究所や工場などの同一施設内
で多数用いられたりすることが多い。そこで、レーザ出
力や波長特性などのレーザパラメータを長期間の使用の
間にも安定させることを、まざまな使用環境下で確保し
なければならず、多数の固体レーザ装置について個々に
動作の監視およびメンテナンスの作業を行う必要があ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
固体レーザ装置はそれぞれ単独で動作状態などが監視さ
れメンテナンスされているため、その作業は非常に煩雑
となっており、結果的に、とくに多数の固体レーザ装置
が種々の環境下で用いられているような場合に、それら
のすべてについて安定した動作を確保することが難しい
という問題があった。

【０００７】この発明は、上記に鑑み、さまざまな環境
下で多数の固体レーザ装置が使用されているような場合
でも長期間にわたりそれらを安定に動作させることが容
易にできるように改善した、固体レーザ装置を提供する
ことを目的とする。

【０００８】また、この発明の他の目的は、制御プログ
ラムのバージョンアップなどの更新を容易に行えるよう
にした、固体レーザ装置を提供することにもある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１記載の固体レーザ装置においては、レーザ
光を発生する半導体レーザと、該半導体レーザに駆動電
流を供給する駆動回路と、上記半導体レーザからのレー
ザ光によって励起される、入射面に反射面が形成された
固体レーザ結晶と、該レーザ結晶の反射面との間で光共
振器を形成する反射面を持つ出力側ミラーと、上記固体
レーザ結晶および出力側ミラーが固定される共振器ブロ
ックと、該光共振器内に挿入される波長選択用エタロン
と、上記出力側ミラーから外部に出力されるレーザ光の
分岐光が入力されるモニター用光検出器と、モニター用
光検出器の出力を上記駆動回路へフィードバックするこ
とにより所定出力のレーザ光が外部に出力されるように
駆動電流を制御する自動出力調整回路と、上記共振器ブ
ロックの温度を検出する温度センサを備えその共振器ブ
ロックの温度が設定温度となるように制御する共振器ブ
ロック用温度制御装置と、上記半導体レーザの温度を検
出する温度センサを備えその半導体レーザの温度が設定
温度となるように制御する半導体レーザ用温度制御装置
と、上記エタロンの温度を検出する温度センサを備えそ
のエタロンの温度が設定温度となるように制御するエタ
ロン用温度制御装置と、上記半導体レーザの駆動電流に
ついての情報および上記共振器ブロック、半導体レーザ
およびエタロンの各温度についての情報をネットワーク
へ出力するとともに、ネットワークからの信号を入力す
るためのネットワークインターフェイス回路とが備えら
れることが特徴となっている。

【００１０】固体レーザ装置はネットワークインターフ
ェイス回路を有しているため、これを介してネットワー
クに接続することが可能である。そして、このネットワ
ークインターフェイス回路を介して、半導体レーザの駆
動電流についての情報および上記共振器ブロック、半導
体レーザおよびエタロンの各温度についての情報をネッ
トワークへ出力することが可能になるとともに、ネット
ワークから各温度制御装置への指令を入力することが可
能となる。そのため、ネットワークに接続されたホスト
コンピュータなどに、多数の固体レーザ装置の駆動電流
情報や温度情報などを集めて、このホストコンピュータ
で各固体レーザ装置の監視を一括して行うことができ
る。駆動電流の異常や、検出した温度の異常などを遠隔
モニターすることができる。そして、ホストコンピュー
タにおいて、たとえば駆動電流が明らかに過大になった
ことから故障を検知したりまたは故障ではないまでも温
度制御に問題があることを発見して温度の再調整を行う
よう指令を発したり、あるいは動作時間を個々の固体レ
ーザ装置ごとに累積して一定時間が経過する都度、各固
体レーザ装置ごとに上記のような温度の再調整を行うよ
う指令を発したりすることなどが可能になる。このよう
に多数の固体レーザ装置についての遠隔モニターと遠隔
操作によるメンテナンスを一括して行うことができるた
め、作業負担が軽減され、かつ長期にわたる動作の安定
が容易に確保されることになる。

【００１１】請求項２記載の固体レーザ装置において
は、さらに、交換可能な読取専用メモリが備えられてお
り、この読取専用メモリには、ネットワークインターフ
ェイス回路を経てネットワークから入力される指令に応
じて、共振器ブロック用温度制御装置、半導体レーザ用
温度制御装置およびエタロン用温度制御装置をそれぞれ
制御してブロック、半導体レーザおよびエタロンの温度
を各別に変化させたときの半導体レーザ駆動電流を読み
取り、最も駆動電流が少なくなる温度を各別に求めて、
それらをブロック用温度制御装置、半導体レーザ用温度
制御装置およびエタロン用温度制御装置の各設定温度と
して設定する動作を行わせる制御プログラムが格納され
る。

【００１２】この制御プログラムにより、ブロック用温
度制御装置、半導体レーザ用温度制御装置およびエタロ
ン用温度制御装置の各々における温度チューニングの動
作を行うことができるとともに、その制御プログラムの
バージョンアップなどの更新は、読取専用メモリ自体を
交換して行うので簡単であり、作業も容易である。

【００１３】請求項３記載の固体レーザ装置において
は、さらに、書き換え可能なメモリが備えられており、
この書き換え可能なメモリには、ネットワークインター
フェイス回路を経てネットワークから入力される指令に
応じて、共振器ブロック用温度制御装置、半導体レーザ
用温度制御装置およびエタロン用温度制御装置をそれぞ
れ制御してブロック、半導体レーザおよびエタロンの温
度を各別に変化させたときの半導体レーザ駆動電流を読
み取り、最も駆動電流が少なくなる温度を各別に求め
て、それらをブロック用温度制御装置、半導体レーザ用
温度制御装置およびエタロン用温度制御装置の各設定温
度として設定する動作を行わせる制御プログラムが格納
される。

【００１４】そのため、この制御プログラムにより、ブ
ロック用温度制御装置、半導体レーザ用温度制御装置お
よびエタロン用温度制御装置の各々における温度チュー
ニングの動作を行うことができるとともに、その制御プ
ログラムのバージョンアップなどの更新は、ネットワー
クインターフェイス回路を経てホストコンピュータなど
がオンラインでこの書き換え可能なメモリを書き換える
ことにより行うことができ、きわめて容易なものとな
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】つぎに、この発明の実施の形態に
ついて図面を参照しながら詳細に説明する。図１はこの
発明の実施形態にかかる固体レーザ装置の信号系統を主
に示すブロック図であり、図２は各部の配置関係を示す
模式図である。図１に示すように固体レーザ装置は各々
ネットワークインターフェイス回路４７を備え、これを
介してネットワークに接続され、ホストコンピュータ４
８などとの間で信号をやり取りを行うことができるよう
に構成されている。

【００１６】さらに図２をも参照しながら説明すると、
固体レーザ結晶１１と、出力側ミラー１２とにより光共
振器１０が形成される。固体レーザ結晶１１は、たとえ
ばＮｄ：ＹＡＧ結晶などからなり、レーザ光の入射によ
り励起されるようになっている。その入射面には反射コ
ート１３が施されて反射面となっている。励起レーザ光
源としてはたとえばレーザダイオード（ＬＤ）１５が用
いられ、そのレーザ光が光学系１６を経て固体レーザ結
晶１１に入射するようになっている。出力側ミラー１２
は、光学ガラスなどからなり、その表面は凹面に研磨さ
れ、反射コート１４が形成されている。

【００１７】固体レーザ結晶１１は、励起光の入射によ
って励起され、発生した光が出力側ミラー１２（の反射
コート１４）と自身の反射コート（ミラー）１３との間
で反射を繰り返して共振することによって増幅されて光
強度が強まりレーザ発振する。基本波に対してのみ波長
選択特性を有するエタロン１７がこの光共振器１０内に
挿入されており、特定波長の基本波のみを透過させるこ
とによってマルチモード光からシングルモード光への変
換を行う。

【００１８】さらにこの例では、光共振器１０内に波長
変換用結晶１８が挿入されている。光共振器１０内で増
幅される基本波の光（赤外光）は、波長変換用結晶１８
により波長変換されて、可視光（グリーンまたはブルー
の光）となる。出力側ミラー１２の反射コート１４は基
本波（赤外光）については全反射し、波長変換した可視
光（グリーン、ブルー）に対しては透過するような波長
特性を有しており、この反射コート１４を透過して波長
変換後の光が出射することになる。

【００１９】その出射するレーザビームの一部がビーム
スプリッタ２１により分岐される。分岐されたレーザビ
ームはＰＤ（フォトダイオード）２２に入射する。この
ＰＤ２２は、出射レーザビームのモニター用である。

【００２０】これらレーザ結晶１１、出力側ミラー１
２、エタロン１７、波長変換用結晶１８、ビームスプリ
ッタ２１、ＰＤ２２などは、この例では、一つの一体型
ブロック３１上に形成される。このブロック３1は、熱
膨張係数の小さい金属などから形成されており、温度コ
ントロール用ペルチェ素子３２上に配置されて冷却また
は加熱される。また、レーザダイオード１５もペルチェ
素子３３上に配置されてその温度が制御される（冷却ま
たは加熱される）。そして、これらは一つの筐体３４中
に収められる。この筐体３４には、図では省略している
が、レーザビームを筐体３４外部に出射させるための出
射口が設けられる。

【００２１】ＰＤ２２からの出力はＬＤ１５にフィード
バックされ、ビームスプリッタ２１を介して出力される
レーザ光の安定化がなされる。図１に示すように、ＰＤ
２２の出力はＡＰＣ回路４１を経てＬＤ駆動回路４２に
送られ、ＬＤ１５の駆動電流にフィードバックされる。
ＡＰＣ回路４１において、ＰＤ２２出力の所定の設定値
との比較がなされ、その偏差がなくなるようにＬＤ１５
に与える駆動電流が増減させられる。

【００２２】他方、固体レーザ結晶１１および出力側ミ
ラー１２が固定されたブロック３１の温度がサーミスタ
２５により検出され、その温度が設定温度となるように
温度制御回路４４がペルチェ素子３２を制御している。
このサーミスタ２５は波長変換用結晶１８の近傍に設け
られているので、波長変換用結晶１８の温度の検出とそ
の温度のコントロールもなされていることになる。ま
た、ＬＤ１５についても同様にサーミスタ２４により温
度が検出され、その検出出力が温度制御回路４３に送ら
れ、ＬＤ１５の温度が設定温度となるようにペルチェ素
子３３の制御が行われる。

【００２３】さらに、エタロン１７は、ヒータ２３によ
って加熱され、所定の設定温度となるようにされてい
る。このエタロン１７の温度がサーミスタ２６によって
検出され、その検出出力が温度制御回路４５に送られ
る。これにより、温度制御回路４５が、エタロン１７の
温度が設定値に保たれるようヒータ２３をコントロール
する。

【００２４】ＬＤ１５の駆動電流についての情報は駆動
回路４２からＣＰＵ４６に送られてきており、またサー
ミスタ２５，２４，２６でとらえた共振器ブロック３１
の温度、ＬＤ１５の温度およびエタロン１７の温度につ
いてもＣＰＵ４６に集約されている。ＣＰＵ４６はこれ
らの情報をネットワークインターフェイス回路４７を介
してネットワークに送っている。ネットワーク上のホス
トコンピュータ４８がそれらを受け取り、ネットワーク
上の多数の固体レーザ装置の各々に関して、駆動電流の
モニターおよび各温度についてのモニターを遠隔で行
う。さらに、ホストコンピュータ４８は固体レーザ装置
の各々について動作時間の累積計算なども行う。

【００２５】こうしてホストコンピュータ４８はネット
ワーク上の多数の固体レーザ装置について常時遠隔モニ
ターを行っており、駆動電流や温度についての情報から
異常や故障などがないかどうかの判断を行う。また個々
の固体レーザ装置では、長期にわたる使用の結果、駆動
電流が増大したり、温度がずれてきたりすることもあ
り、そのことも遠隔において検知される。駆動電流が増
大してきたときは、サーミスタ２４〜２６の経年変化な
どが原因で温度制御が不適切になったことや、共振器ブ
ロック３１の機構的な寸法の経年変化などが疑われるた
め、温度の再調整のための動作指令が発せられる。ま
た、累積動作時間が一定時間に達した都度、そのような
動作指令が発せられるようにしてもよい。

【００２６】このとき、その指令を受けた固体レーザ装
置においては、ＣＰＵ４６で駆動電流を監視しながら、
ＣＰＵ４６が温度制御回路４３〜４５に与える設定温度
を変化させて共振器ブロック３１、ＬＤ１５およびエタ
ロン１７の温度を個別に変化させる。駆動電流が最も少
なくなる温度が最適温度であるから、このような温度ス
ウィープにより最適温度のサーチが可能である。最適温
度が探知できたら、その温度を設定温度としてセットす
る。これによりサーミスタ２４〜２６の経年変化や共振
器ブロック３１の機構的な寸法の経年変化などがあって
もそれらを補償して最適温度に保つことできるようにな
る。

【００２７】すなわち、共振器ブロック３１の機構的な
経年変化によってその寸法が変化し、共振器長が変化す
ると、各部の波長のずれによりレーザ出力が低下してく
るので、これを補償するようＡＰＣ回路４１が働き、結
果的にＬＤ１５の駆動電流が増大する。また、サーミス
タ２４〜２６の特性の経年変化などにより温度コントロ
ールが適切に行われない場合も同様にＡＰＣ回路４１の
働きにより結果的にＬＤ１５の駆動電流が増大する。逆
に、共振器長が所定のものとなっており、かつ各部の波
長特性が設定値に保たれていれば、ＬＤ１５の駆動電流
は最小値になる。このことは、ＬＤ１５の駆動電流が最
小値になるように各部の温度を調整すれば、共振器長が
所定のものとなり、かつ各部の波長特性が設定値になる
ことを意味する。

【００２８】そこで、ＬＤ１５に与える駆動電流に関す
る情報をＣＰＵ４６に取り込むようにした上で、ＣＰＵ
４６の制御の下、温度制御回路４４がペルチェ素子３２
を制御してブロック３１の温度を順次変化させていき、
ＬＤ１５の駆動電流が最も少なくなる温度をサーミスタ
２５から得る。ＬＤ１５の駆動電流が最も少なくなる温
度が探索できたとき、その温度は、共振器長を所定のも
のとするような、ブロック３１の最適な温度ということ
になる。こうしてＣＰＵ４６において最適温度が求めら
れたら、これを温度制御回路４４が定めるべき設定温度
としてセットする。これにより、ブロック３１における
機構的・寸法的な経年変化やサーミスタ２５の経年変化
などが補償されたことになる。

【００２９】さらに、上記のように波長変換用結晶１８
の温度のコントロールがなされていることも、ブロック
３１の機構的・寸法的な経年変化の補償に役立ってい
る。波長変換用結晶１８の屈折率は温度依存性があり、
そのことは温度によって屈折率を変化させ、等価的な光
路長を変化させることができることを意味するからであ
る。ブロック３１の機構的・寸法的な経年変化による共
振器長の変化を、波長変換用結晶１８内の光路長変化に
よって補償することができるからである。

【００３０】ＬＤ１５の温度についても同様にチューニ
ングを行う。ＣＰＵ４６により温度制御回路４３を制御
し、ペルチェ素子３３によって冷却されるＬＤ１５の温
度を変化させる。このときの各温度（サーミスタ２４に
よって検出したもの）でのＬＤ１５の駆動電流を駆動回
路４２からＣＰＵ４６に取り込むと、ＬＤ１５の温度に
対する駆動電流の関係がＣＰＵ４６において求められる
ことになる。ＬＤ１５の発振波長は温度によって変化
し、所定の発振波長となるような温度となったとき、固
体レーザ装置として外部に出力するレーザ出力は最大と
なる。すなわち、駆動電流が最も小さい温度が最適温度
となる。こうしてＣＰＵ４６において最適温度が求めら
れたら、これを温度制御回路４３が定めるべき設定温度
としてセットする。これにより、サーミスタ２４の経年
変化などが補償されたことになる。

【００３１】エタロン１７についても同様で、ヒータ２
３により加熱されるエタロン１７の温度を変化させ、選
択波長を変化させる。そして各温度（サーミスタ２６に
よって検出したもの）でのＬＤ１５の駆動電流を求め、
最も駆動電流が少なくなる温度を求め、その温度を設定
温度として温度制御回路４５に与える。このような動作
がＣＰＵ４６によってなされる。ＬＤ１５の駆動電流が
最も少なくなる場合は、エタロン１７の波長選択特性が
設計値に一致したときであるから、サーミスタ２６の特
性の経年変化などを補償したことになる。このようなチ
ューニングが終了したとき、温度制御回路４５はエタロ
ン１７の温度を最適な温度へと制御することになる。

【００３２】これらの温度チューニング動作を制御する
制御プログラムはＣＰＵ４６に接続されたＲＯＭ（読取
専用メモリ）４９に格納されている。このＲＯＭ４９は
交換可能に取付けられており、プログラムの更新・バー
ジョンアップなどが生じた際に、巡回してきた作業員な
どによって随時交換できるようにされている。

【００３３】したがって、ネットワーク上の多数の固体
レーザ装置が一つのホストコンピュータ４８により一括
で、遠隔モニターされ、適切な指令を受けるようにされ
ているため、多数の固体レーザ装置についての管理・メ
ンテナンスの作業が自動でなされることになって、長期
間にわたり、レーザパラメータの安定化など、動作の安
定化が確保される。

【００３４】なお、上の説明はこの発明の一つの実施形
態に関するものであり、この発明が上で説明した構成に
限定される趣旨でないことはもちろんである。たとえ
ば、上記では光共振器１０の内部に波長変換用結晶１８
を配置しているが、可視光ではなく基本波たる赤外光を
出力させる場合には、この波長変換用結晶１８は不要で
ある。また、ピンホールないしアパーチャなどの開口を
有する光遮蔽板を光共振器１０内あるいは出力側ミラー
１２の直後などに配置して不要な光ビームを除去するよ
うにしてもよい。

【００３５】さらに、上記では制御プログラムなどを交
換可能なＲＯＭ４９に格納しておくよう構成したが、書
き換え可能なメモリ（ＲＡＭなど）に制御プログラムを
格納し、ネットワーク上のホストコンピュータ４８がそ
のＲＡＭなどを書き換えることによりバージョンアップ
時などでのプログラムの更新を行うように構成すること
もできる。これによりＲＯＭ４９の交換作業などが不要
となり、作業負担を一層軽減できる。

【００３６】また、温度の再調整のための動作を個々の
固体レーザ装置に備えられているＣＰＵ４６が行うとし
たが、ＣＰＵ４６は単に信号の収集および信号の送受の
制御のみを行い、上で説明したような温度調整の主たる
動作制御はホストコンピュータ４８が直接行うよう構成
することも可能である。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の固体レ
ーザ装置によれば、多数の固体レーザ装置が使用される
ような場合でも、それらの動作状態のモニタリング・メ
ンテナンスを一括で行うことができて、それら多数の固
体レーザ装置についてレーザパラメータの安定化や動作
の安定化を長期の使用にわたって確保することができ
る。また、制御プログラムの更新は交換可能な読取専用
メモリを交換したり、書き換え可能なメモリを書き換え
たりすればよいので、制御プログラムのバージョンアッ
プなどの更新は容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施形態を示すブロック図。

【図２】同実施形態における各部の配置関係を示す模式
図。

【符号の説明】

１０ 光共振器 １１ 固体レーザ結晶 １２ 出力側ミラー １３、１４ 反射コート １５ レーザダイオード（ＬＤ） １６ 光学系 １７ エタロン １８ 波長変換用結晶 ２１ ビームスプリッタ ２２ モニター用ＰＤ ２３ ヒータ ２４〜２６ サーミスタ ３１ 共振器ブロック ３２、３３ ペルチェ素子 ３４ 筐体 ４１ ＡＰＣ回路 ４２ ＬＤ１５の駆動回路 ４３〜４５ 温度制御回路 ４６ ＣＰＵ ４７ ネットワークインターフェイ
ス回路 ４８ ホストコンピュータ ４９ ＲＯＭ

フロントページの続き (72)発明者 東條 公資 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地株 式会社島津製作所内 (72)発明者 入口 知史 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地株 式会社島津製作所内 (72)発明者 野田 憲秀 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地株 式会社島津製作所内 (72)発明者 渡辺 一馬 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地株 式会社島津製作所内 (72)発明者 井戸 豊 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地株 式会社島津製作所内 Ｆターム(参考） 5F072 AB01 HH02 HH06 JJ02 JJ03 JJ06 JJ09 KK05 KK06 KK08 PP07 QQ01 TT05 TT13 TT14 TT15 TT28 TT29 TT30

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光を発生する半導体レーザと、該
   半導体レーザに駆動電流を供給する駆動回路と、上記半
   導体レーザからのレーザ光によって励起される、入射面
   に反射面が形成された固体レーザ結晶と、該レーザ結晶
   の反射面との間で光共振器を形成する反射面を持つ出力
   側ミラーと、上記固体レーザ結晶および出力側ミラーが
   固定される共振器ブロックと、該光共振器内に挿入され
   る波長選択用エタロンと、上記出力側ミラーから外部に
   出力されるレーザ光の分岐光が入力されるモニター用光
   検出器と、モニター用光検出器の出力を上記駆動回路へ
   フィードバックすることにより所定出力のレーザ光が外
   部に出力されるように駆動電流を制御する自動出力調整
   回路と、上記共振器ブロックの温度を検出する温度セン
   サを備えその共振器ブロックの温度が設定温度となるよ
   うに制御する共振器ブロック用温度制御装置と、上記半
   導体レーザの温度を検出する温度センサを備えその半導
   体レーザの温度が設定温度となるように制御する半導体
   レーザ用温度制御装置と、上記エタロンの温度を検出す
   る温度センサを備えそのエタロンの温度が設定温度とな
   るように制御するエタロン用温度制御装置と、上記半導
   体レーザの駆動電流についての情報および上記共振器ブ
   ロック、半導体レーザおよびエタロンの各温度について
   の情報をネットワークへ出力するとともに、ネットワー
   クからの信号を入力するためのネットワークインターフ
   ェイス回路とを備えることを特徴とする固体レーザ装
   置。
2. 【請求項２】 ネットワークインターフェイス回路を経
   てネットワークから入力される指令に応じて、共振器ブ
   ロック用温度制御装置、半導体レーザ用温度制御装置お
   よびエタロン用温度制御装置をそれぞれ制御してブロッ
   ク、半導体レーザおよびエタロンの温度を各別に変化さ
   せたときの半導体レーザ駆動電流を読み取り、最も駆動
   電流が少なくなる温度を各別に求めて、それらをブロッ
   ク用温度制御装置、半導体レーザ用温度制御装置および
   エタロン用温度制御装置の各設定温度として設定する動
   作を行わせる制御プログラムが格納される、交換可能な
   読取専用メモリをさらに備えることを特徴とする請求項
   １記載の固体レーザ装置。
3. 【請求項３】 ネットワークインターフェイス回路を経
   てネットワークから入力される指令に応じて、共振器ブ
   ロック用温度制御装置、半導体レーザ用温度制御装置お
   よびエタロン用温度制御装置をそれぞれ制御してブロッ
   ク、半導体レーザおよびエタロンの温度を各別に変化さ
   せたときの半導体レーザ駆動電流を読み取り、最も駆動
   電流が少なくなる温度を各別に求めて、それらをブロッ
   ク用温度制御装置、半導体レーザ用温度制御装置および
   エタロン用温度制御装置の各設定温度として設定する動
   作を行わせる制御プログラムが格納される、書き換え可
   能なメモリをさらに備えることを特徴とする請求項１記
   載の固体レーザ装置。