JP2003152084A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

Semiconductor integrated circuit

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor device which can reduce loss of a signal caused by a pad of a semiconductor substrate. SOLUTION: The semiconductor device 100 is equipped with the pad 112 formed on the semiconductor substrate 110, an FET 114 which receives a signal inputted to the pad 112, a capacitor 116 which is inserted between the pad 110 and FET 114, and a switching element 122 which is connected in parallel to the capacitor 116. For a test, the switching element 122 is turned on, and the pad 112 and the gate of the FET 114 are short-circuited.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、他の回路と接続さ
れる半導体装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device connected to another circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】各種の装置全体を一つの半導体基板上に
形成することができれば、製造の容易化等の種々の利点
があるが、実際の回路の中には半導体化に適した回路と
適しない回路あるいは半導体化が不可能な回路が存在す
る。このため、半導体基板を用いて構成された一あるい
は複数の半導体装置の他に、多くの外付け部品が必要に
なる。例えば、受信機の場合には、コンデンサやコイル
を用いた同調回路が含まれる高周波回路が別部品として
用意され、後段の回路の全部あるいは一部が半導体基板
上に半導体装置として形成され、これらがプリント基板
上で結線される。
2. Description of the Related Art If various devices as a whole can be formed on a single semiconductor substrate, there are various advantages such as facilitation of manufacturing. However, some actual circuits are suitable for semiconductorization. There are circuits that are not available or circuits that cannot be semiconductorized. Therefore, in addition to one or a plurality of semiconductor devices configured by using a semiconductor substrate, many external parts are required. For example, in the case of a receiver, a high-frequency circuit including a tuning circuit using a capacitor and a coil is prepared as a separate component, and all or part of the circuit at the subsequent stage is formed as a semiconductor device on a semiconductor substrate. Wired on the printed circuit board.

【0003】一般に、このようにして前段の回路と後段
の半導体装置とを接続する場合には、半導体基板上に形
成されたパッドが用いられる。図2は、半導体装置と他
の回路の従来の接続状態を示す図である。半導体基板2
00にはパッド202が形成されており、このパッド2
02にはコンデンサ212を介して高周波回路210が
接続されている。
Generally, when connecting the circuit of the preceding stage and the semiconductor device of the succeeding stage in this way, a pad formed on a semiconductor substrate is used. FIG. 2 is a diagram showing a conventional connection state between a semiconductor device and another circuit. Semiconductor substrate 2
00 has a pad 202 formed thereon.
A high frequency circuit 210 is connected to 02 via a capacitor 212.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うに半導体装置に外付け部品としての高周波回路210
を接続する場合に、通常はインピーダンス整合や直流成
分除去等を目的としたコンデンサ212が用いられる
が、パッド202の静電容量が存在すると、コンデンサ
212の静電容量とパッド202の静電容量とが直列接
続された状態となって、入力信号の一部が損失するとい
う問題があった。例えば、パッド202の静電容量は、
パッド202の一般的な面積等を考慮すると3pF程度
となる。これに対し、外付けのコンデンサ212とし
て、例えば静電容量が1pFのものを用いるものとする
と、高周波回路210から出力された信号の一部が、パ
ッド202によって形成されるコンデンサを介してバイ
パスされ、損失となる。
By the way, as described above, the high frequency circuit 210 as an external component to the semiconductor device.
A capacitor 212 for the purpose of impedance matching, DC component removal, and the like is normally used to connect the two. However, when the capacitance of the pad 202 exists, the capacitance of the capacitor 212 and the capacitance of the pad 202 are However, there is a problem that a part of the input signal is lost due to the serial connection. For example, the capacitance of the pad 202 is
Considering a general area of the pad 202 and the like, it is about 3 pF. On the other hand, if an external capacitor 212 having, for example, a capacitance of 1 pF is used, a part of the signal output from the high frequency circuit 210 is bypassed via the capacitor formed by the pad 202. , Will be a loss.

【0005】本発明は、このような点に鑑みて創作され
たものであり、その目的は、半導体基板のパッドで生じ
る信号の損失を低減することができる半導体装置を提供
することにある。
The present invention was created in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a semiconductor device capable of reducing signal loss occurring in a pad of a semiconductor substrate.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明の半導体装置は、半導体基板上に形成さ
れたパッドと、パッドを介して入力される信号を受け取
る入力素子と、パッドと入力素子との間に挿入されたコ
ンデンサと、コンデンサと並列接続された短絡用のスイ
ッチング素子とを備えている。コンデンサを半導体基板
のパッドの外側ではなく、内側に形成することにより、
このパッドの外側に接続された回路から入力される信号
が、外付けのコンデンサとパッドによって形成されるコ
ンデンサとで分圧されることで生じるパッドでの信号の
損失を低減することができる。また、パッドより内部に
コンデンサを設けることにより、入力素子とパッドとの
間が直流的に分離されるため、入力素子の状態をパッド
を介して外部から試験することができなくなる不都合が
生じるが、コンデンサに並列接続されたスイッチング素
子で入力素子とパッド間を短絡することにより、この不
都合を回避することができる。
In order to solve the above-mentioned problems, a semiconductor device of the present invention comprises a pad formed on a semiconductor substrate, an input element for receiving a signal input through the pad, and a pad. And an input element, and a short-circuit switching element connected in parallel with the capacitor. By forming the capacitors inside the pads of the semiconductor substrate, rather than outside,
It is possible to reduce the signal loss at the pad, which is caused by the voltage input from the circuit connected to the outside of the pad being divided by the external capacitor and the capacitor formed by the pad. Further, by providing a capacitor inside the pad, the input element and the pad are separated from each other in terms of direct current, which causes a problem that the state of the input element cannot be externally tested via the pad. This inconvenience can be avoided by short-circuiting the input element and the pad with the switching element connected in parallel with the capacitor.

【0007】具体的には、上述した入力素子はFETで
あり、このFETのゲートに所定のバイアス電圧を印加
するバイアス回路を接続することが望ましい。入力素子
としてFETを用いる場合には、バイアス回路によって
動作に必要な正常なバイアス電圧がこのFETのゲート
に印加されているか否かを試験する必要が生じるが、ス
イッチング素子を短絡状態にすることにより、パッドを
通してFETのゲート電圧を外部から観察することが可
能になる。
Specifically, the above-mentioned input element is an FET, and it is desirable to connect a bias circuit for applying a predetermined bias voltage to the gate of this FET. When an FET is used as an input element, it is necessary to test whether or not a normal bias voltage necessary for operation is applied to the gate of this FET by a bias circuit. , It becomes possible to observe the gate voltage of the FET from the outside through the pad.

【0008】また、上述したスイッチング素子は、FE
Tのゲート電圧を測定する際にオン状態に制御されて、
パッドとFETのゲートとの間を短絡することが望まし
い。FETのゲート電圧を測定するときのみスイッチン
グ素子を短絡状態にすることにより、試験時以外には、
パッドとFETのゲートとの間に設けたコンデンサを介
して信号を入力することが可能になる。
The switching element described above is an FE
It is controlled to the ON state when measuring the gate voltage of T,
It is desirable to have a short between the pad and the gate of the FET. By shorting the switching element only when measuring the gate voltage of the FET, except during the test,
It becomes possible to input a signal via a capacitor provided between the pad and the gate of the FET.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した一実施形
態の半導体装置について、図面を参照しながら説明す
る。図1は、一実施形態の半導体装置の構成と他の回路
との接続形態を示す図である。図1に示す半導体装置1
00は、半導体基板110上に形成されたパッド112
と、このパッド112に入力される信号を受信するFE
T114と、パッド110とFET114との間に挿入
されたコンデンサ116とを有している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION A semiconductor device according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a semiconductor device of one embodiment and a connection form with another circuit. Semiconductor device 1 shown in FIG.
00 is a pad 112 formed on the semiconductor substrate 110.
And an FE that receives a signal input to this pad 112
It has a T114 and a capacitor 116 inserted between the pad 110 and the FET 114.

【0010】パッド112は、半導体装置100と外部
の回路との接続を行う端子であり、例えば、同調回路等
の高周波回路150が接続されている。FET114
は、高周波回路150からパッド112に入力された信
号を受け取る入力素子であり、ゲートにバイアス電圧を
印加するバイアス回路120が接続されている。コンデ
ンサ116は、インピーダンス整合用あるいは直流成分
除去用であり、従来構成であればパッド112の外部に
接続されていたものが本実施形態ではこの位置に設けら
れている。また、このコンデンサ116には、例えばア
ナログスイッチからなるスイッチング素子122が並列
接続されている。このスイッチング素子122は、必要
に応じて、コンデンサ116の両端を短絡して、FET
114のゲートをパッド112に直接接続するためのも
のである。
The pad 112 is a terminal for connecting the semiconductor device 100 to an external circuit, and is connected to a high frequency circuit 150 such as a tuning circuit. FET 114
Is an input element that receives a signal input to the pad 112 from the high frequency circuit 150, and is connected to the bias circuit 120 that applies a bias voltage to the gate. The capacitor 116 is for impedance matching or for removing a direct current component, and in the present embodiment, the capacitor 116 which is connected to the outside of the pad 112 in the conventional configuration is provided at this position. In addition, a switching element 122 including, for example, an analog switch is connected in parallel to the capacitor 116. This switching element 122 is a FET that short-circuits both ends of the capacitor 116 if necessary.
The gate of 114 is directly connected to the pad 112.

【0011】本実施形態の半導体装置100はこのよう
な構成を有しており、次にその動作を説明する。通常動
作時においては、高周波回路150から出力される信号
は、パッド112に入力された後、コンデンサ116を
介してFET114のゲートに入力される。FET11
4のゲートにはバイアス回路120によって発生するバ
イアス電圧が印加されており、コンデンサ116を介し
て入力された信号に応じてFET114が動作し、この
入力信号を後段の回路(図示せず)に伝達する。
The semiconductor device 100 of this embodiment has such a structure, and its operation will be described below. During normal operation, the signal output from the high frequency circuit 150 is input to the pad 112 and then to the gate of the FET 114 via the capacitor 116. FET 11
A bias voltage generated by a bias circuit 120 is applied to the gate of the FET No. 4, and the FET 114 operates in response to a signal input via the capacitor 116, and this input signal is transmitted to a circuit (not shown) in the subsequent stage. To do.

【0012】ところで、本実施形態の半導体装置100
は、パッド112とFET114との間にコンデンサ1
16が挿入されており、パッド112と高周波回路15
0との間にはコンデンサは設けられていない。このた
め、高周波回路150から入力された信号は、パッド1
12によって形成されるコンデンサ130によって分圧
されずにコンデンサ116のみを通ってFET114の
ゲートに入力され、パッド112で生じる信号の損失を
低減することができる。
Incidentally, the semiconductor device 100 of the present embodiment.
Is a capacitor 1 between the pad 112 and the FET 114.
16 is inserted, the pad 112 and the high frequency circuit 15
No capacitor is provided between 0 and 0. Therefore, the signal input from the high frequency circuit 150 is not
It is possible to reduce the loss of the signal that is input to the gate of the FET 114 through only the capacitor 116 without being divided by the capacitor 130 formed by 12 and is generated at the pad 112.

【0013】特に、パッド112によって形成されるコ
ンデンサ130は、高周波回路150内のインピーダン
ス素子(抵抗、コンデンサ、コイル)と並列接続される
だけであり、従来のように、外付けのコンデンサとパッ
ド112によって形成されるコンデンサ130とが直列
接続されて信号が分圧される場合に比べて、入力信号の
損失を大幅に低減することができる。
In particular, the capacitor 130 formed by the pad 112 is only connected in parallel with the impedance element (resistor, capacitor, coil) in the high frequency circuit 150, and the external capacitor and pad 112 are conventionally used. The loss of the input signal can be significantly reduced compared to the case where the signal is divided by connecting the capacitor 130 formed by the above in series.

【0014】また、本実施形態の半導体装置100は、
FET114とパッド112の間にコンデンサ116が
挿入されているため、製造工程での製品検査や不具合発
生時の調査等において、パッド112の電圧を測定して
も、FET114のゲートに正常なバイアス電圧が印加
されているか否かを知ることはできない。スイッチング
素子122は、このような検査や調査時に、FET11
4のゲート電圧を測定する場合に、オン状態に制御され
る。すなわち、コンデンサ116と並列接続されたスイ
ッチング素子122をオン状態にしてコンデンサ116
の両端、すなわちパッド112とFET114のゲート
の間を短絡することにより、パッド112の電圧を測定
して、FET114のゲートに正常にバイアス電圧が印
加されているか否かを知ることができる。スイッチング
素子122をオン状態に制御する機構については、種々
の方法が考えられる。例えば、試験用パッドを新たに追
加し、この試験用パッドにハイレベルの信号を入力した
ときにスイッチング素子122をオン状態に切り替える
ようにしてもよい。
Further, the semiconductor device 100 of this embodiment is
Since the capacitor 116 is inserted between the FET 114 and the pad 112, a normal bias voltage is applied to the gate of the FET 114 even if the voltage of the pad 112 is measured in the product inspection in the manufacturing process or the investigation at the occurrence of a defect. It is not possible to know whether it is being applied. The switching element 122 is used for the FET 11 during such inspection and investigation.
When the gate voltage of 4 is measured, it is controlled to the ON state. That is, the switching element 122 connected in parallel with the capacitor 116 is turned on and the capacitor 116 is turned on.
By short-circuiting both ends, that is, between the pad 112 and the gate of the FET 114, the voltage of the pad 112 can be measured to know whether or not the bias voltage is normally applied to the gate of the FET 114. Various methods are conceivable as a mechanism for controlling the switching element 122 to be in the ON state. For example, a test pad may be newly added and the switching element 122 may be turned on when a high-level signal is input to the test pad.

【0015】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変
形実施が可能である。例えば、上述した実施形態では、
入力素子としてFET114を考えたが、バイポーラト
ランジスタ等の他の素子を用いるようにしてもよい。ま
た、パッド112に高周波回路150が接続される場合
を例にとって示したが、他の回路を接続するようにして
もよい。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made within the scope of the present invention. For example, in the embodiment described above,
Although the FET 114 is considered as the input element, other elements such as a bipolar transistor may be used. Further, although the case where the high-frequency circuit 150 is connected to the pad 112 is shown as an example, other circuits may be connected.

【0016】[0016]

【発明の効果】上述したように、本発明によれば、コン
デンサを半導体基板のパッドの外側ではなく、内側に形
成することにより、このパッドの外側に接続された回路
から入力される信号が、外付けのコンデンサとパッドに
よって形成されるコンデンサとで分圧されることで生じ
るパッドでの信号の損失を低減することができる。ま
た、パッドより内部にコンデンサを設けることにより、
入力素子とパッドとの間が直流的に分離されるため、入
力素子の状態をパッドを介して外部から試験することが
できなくなる不都合が生じるが、コンデンサに並列接続
されたスイッチング素子で入力素子とパッド間を短絡す
ることにより、この不都合を回避することができる。
As described above, according to the present invention, by forming the capacitor on the inside of the pad of the semiconductor substrate, not on the outside, the signal input from the circuit connected to the outside of the pad is It is possible to reduce signal loss at the pad caused by voltage division between the external capacitor and the capacitor formed by the pad. Also, by providing a capacitor inside the pad,
Since the input element and the pad are galvanically separated, the state of the input element cannot be externally tested via the pad, but the switching element connected in parallel with the capacitor causes the input element to By shorting the pads, this inconvenience can be avoided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】一実施形態の半導体装置の構成と他の回路との
接続形態を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a semiconductor device of one embodiment and a connection form with another circuit.

【図2】半導体装置と他の回路の従来の接続状態を示す
図である。
FIG. 2 is a diagram showing a conventional connection state of a semiconductor device and another circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100 半導体装置 110 半導体基板 112 パッド 114 FET 116、130 コンデンサ 120 バイアス回路 122 スイッチング素子 150 高周波回路 100 semiconductor devices 110 Semiconductor substrate 112 pads 114 FET 116, 130 capacitors 120 bias circuit 122 switching element 150 high frequency circuits

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体基板上に形成されたパッドと、 前記パッドを介して入力される信号を受け取る入力素子
と、 前記パッドと前記入力素子との間に挿入されたコンデン
サと、 前記コンデンサと並列接続された短絡用のスイッチング
素子と、 を備えることを特徴とする半導体装置。
1. A pad formed on a semiconductor substrate, an input element for receiving a signal input through the pad, a capacitor inserted between the pad and the input element, and a capacitor in parallel with the capacitor. A semiconductor device comprising: a short-circuit switching element connected thereto.
【請求項2】 請求項1において、 前記入力素子はFETであり、このFETのゲートに所
定のバイアス電圧を印加するバイアス回路が接続されて
いることを特徴とする半導体装置。
2. The semiconductor device according to claim 1, wherein the input element is a FET, and a bias circuit for applying a predetermined bias voltage is connected to the gate of the FET.
【請求項3】 請求項1または2において、 前記スイッチング素子は、前記FETのゲート電圧を測
定する際にオン状態に制御されて、前記パッドと前記F
ETのゲートとの間を短絡することを特徴とする半導体
装置。
3. The switching element according to claim 1 or 2, wherein the switching element is controlled to be in an ON state when measuring a gate voltage of the FET, and the pad and the F
A semiconductor device characterized by short-circuiting with the gate of ET.
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