JP2003149341A - 距離測定装置 - Google Patents

距離測定装置

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JP2003149341A
JP2003149341A JP2001345022A JP2001345022A JP2003149341A JP 2003149341 A JP2003149341 A JP 2003149341A JP 2001345022 A JP2001345022 A JP 2001345022A JP 2001345022 A JP2001345022 A JP 2001345022A JP 2003149341 A JP2003149341 A JP 2003149341A
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light
pulse train
unit
measuring device
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Hisashi Yoshida
久 吉田
Kenji Fujii
賢治 藤井
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Nikon Corp
Nikon Geotecs Co Ltd
Original Assignee
Nikon Corp
Nikon Geotecs Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】受信信号に重畳するノイズの影響を受けにくい
距離測定装置を得る。 【解決手段】混合器103Pおよび103Sは、3つの
異なる周波数の変調信号102a、102bおよび10
2cを混合する。パルス周波数変調器105は、混合さ
れた和信号の振幅に応じたパルス列の信号105aをレ
ーザ駆動回路106へ出力する。レーザ駆動回路106
は、レーザダイオード107をパルス列発光させる。こ
れにより、位相情報がパルス間隔によって表される。受
光素子151で受光される受信信号は、A/D変換器1
54でディジタル値に変換される。DSP157は、デ
ィジタル化されたパルス列信号を和信号に復調し、さら
にフーリエ変換によって3つの周波数ごとの振幅スペク
トルおよび位相スペクトルを得る。CPU158は、得
られた位相情報を用いて距離を演算する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光波による距離測
定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】光波を利用した距離測定装置が知られて
いる。たとえば、特公昭63−3269号公報には、レ
ーザダイオードで発光された光を振幅変調して送信ビー
ム(変調光)を生成し、この送信ビーム(変調光)をキ
ューブリフレクタ(測定対象)に向けて送出し、当該キ
ューブリフレクタ(測定対象)で反射される反射ビーム
(受光光)を受信して距離測定を行う技術が開示されて
いる。この技術によれば、送信ビーム(変調光)と反射
ビーム(受光光)との間で変調信号の位相差を検出する
ことにより、キューブリフレクタ(測定対象)までの距
離が求められる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】距離測定装置を使用す
るユーザーからの要望として、測定精度の向上、測
定時間の短縮が常にある。
【0004】本発明の第1の目的は、精度よく距離測定
を行う距離測定装置を提供することにある。また、本発
明の第2の目的は、短時間で距離測定を行う距離測定装
置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明に
よる距離測定装置は、光源と、複数の周波数の信号を発
生する信号発生部と、信号発生部による複数の周波数の
信号を混合する混合部と、混合部による混合信号を当該
信号の振幅に応じてパルス列信号に変調する変調部と、
パルス列信号で光源の光をパルス列光に変調する光変調
部と、パルス列光を測定対象に向けて送光する送光光学
系と、測定対象からのパルス列反射光を受光する受光光
学系と、受光光学系による受光パルス列光を光電変換す
る光電変換部と、光電変換部により変換されたパルス列
信号を複数の周波数を混合した振幅信号に復調する復調
部と、復調部により復調された振幅信号から複数の周波
数に対応する複数の位相情報をそれぞれ抽出する位相情
報抽出部と、位相情報抽出部により抽出された複数の位
相情報を用いて測定対象までの距離を演算する演算部と
を備えることにより、上述した目的を達成する。請求項
2に記載の発明は、請求項1に記載の距離測定装置にお
いて、光変調部は、変調部によるパルス列信号に同期し
て光源を直接変調する光源駆動回路を含むことを特徴と
する。請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の距離
測定装置において、光源は、CW発光し、光変調部は、
変調部によるパルス列信号に同期してCW光を変調する
外部変調器を含むことを特徴とする。請求項4に記載の
発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の距離測定装置
において、光電変換部による変換信号をA/D変換する
A/D変換部をさらに備え、復調部は、A/D変換部に
より変換されたディジタル信号を複数の周波数を混合し
た振幅信号に復調することを特徴とする。請求項5に記
載の発明による距離測定装置は、光源と、所定の周波数
の信号を発生する信号発生部と、信号発生部から発生さ
れる信号を当該信号の振幅に応じてパルス列信号に変調
する変調部と、パルス列信号で光源の光をパルス列光に
変調する光変調部と、パルス列光を測定対象に向けて送
光する送光光学系と、測定対象からのパルス列反射光を
受光する受光光学系と、受光光学系による受光パルス列
光を光電変換する光電変換部と、光電変換部により変換
されたパルス列信号を周波数の振幅信号に復調する復調
部と、復調部により復調された振幅信号から位相情報を
抽出する位相情報抽出部と、位相情報抽出部により抽出
された位相情報を用いて測定対象までの距離を演算する
演算部とを備えることにより、上述した目的を達成す
る。請求項6に記載の発明は、請求項5に記載の距離測
定装置において、光電変換部による変換信号をA/D変
換するA/D変換部をさらに備え、復調部は、A/D変
換部により変換されたディジタル信号を周波数の振幅信
号に復調することを特徴とする。請求項7に記載の発明
による距離測定装置は、光源と、複数の周波数の信号を
発生する信号発生部と、信号発生部による複数の周波数
の信号を混合する混合部と、混合部による混合信号で光
源の光を変調する光変調部と、光変調部による変調光を
測定対象に向けて送光する送光光学系と、測定対象から
の反射光を受光する受光光学系と、受光光学系による受
光光を光電変換する光電変換部と、光電変換部による変
換信号を複数の周波数ごとの信号に弁別する弁別部と、
弁別部により弁別された複数の信号からそれぞれ位相情
報を抽出する位相情報抽出部と、位相情報抽出部により
抽出される複数の位相情報を用いて測定対象までの距離
を演算する演算部とを備えることにより、上述した目的
を達成する。請求項8に記載の発明は、請求項1〜請求
項7のいずれかに記載の距離測定装置において、光変調
部による変調光を測定対象を介して送光光学系から受光
光学系に導く測定用の外部光路と、光変調部による変調
光を測定対象を介さずに送光光学系から受光光学系に導
く補正用の内部光路とをさらに備え、演算部は、外部光
路による距離演算値を内部光路による距離演算値を用い
て補正することを特徴とする。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。 (第一の実施の形態)図1は、本発明の第一の実施の形
態による距離測定装置のブロック図である。図1におい
て、距離測定装置の送光部は、基準信号発生器101
と、周波数シンセサイザ102と、第1の混合器103
Pと、第1のバンドパスフィルタ104Pと、第2の混
合器103Sと、第2のバンドパスフィルタ104S
と、パルス周波数変調器105と、レーザ駆動回路10
6と、レーザダイオード107とを有する。
【0007】基準信号発生器101は、たとえば、周波
数15MHzの基準信号101aを発生して周波数シンセ
サイザ102へ送る。周波数シンセサイザ102は、基
準信号101aを用いて異なる3つの周波数の信号10
2a、102bおよび102cを生成してそれぞれ出力
する。本実施の形態では、信号102aの周波数が15
MHz、信号102bの周波数が375KHz、信号102c
の周波数が3.75KHzである。
【0008】周波数シンセサイザ102による信号10
2aおよび102bは、それぞれ第1の混合器103P
へ入力される。第1の混合器103Pは、入力された2
つの信号を混合して和信号と差信号とを有する信号10
3aを第1のバンドパスフィルタ104Pへ送る。第1
のバンドパスフィルタ104Pは、入力された信号10
3aのうち和信号を通過させて信号104aを第2の混
合器103Sへ送る。
【0009】周波数シンセサイザ102による信号10
2cおよび第1のバンドパスフィルタ104Pによる信
号104aは、それぞれ第2の混合器103Sへ入力さ
れる。第2の混合器103Sは、入力された2つの信号
を混合して和信号と差信号とを有する信号103bを第
2のバンドパスフィルタ104Sへ送る。第2のバンド
パスフィルタ104Sは、入力された信号103bのう
ち和信号を通過させて信号104bをパルス周波数変調
器105へ送る。
【0010】パルス周波数変調器105は、入力された
信号104bの振幅に応じたパルス幅(パルス間隔)を
有するパルス列を生成するパルス幅変調を行い、そのパ
ルス列信号105aをレーザ駆動回路106へ送る。パ
ルス周波数変調器105は、入力される信号104bの
振幅が大きいほど生成する信号105aのパルス幅(パ
ルス間隔)を短くし、信号104bの振幅が小さいほど
生成する信号105aのパルス幅(パルス間隔)を長く
する。レーザ駆動回路106は、信号105aによるパ
ルス列に応じた駆動電流を発生し、レーザダイオード1
07をパルス発光させる。
【0011】距離測定装置の光学部は、リレーレンズ系
201Aと、送光光ファイバ202と、レンズ203A
および203Bと、ハーフミラー207Aおよび207
Bと、反射ミラー204Aおよび204Bと、光路切替
え装置208と、プリズム205と、対物レンズ206
と、受光光ファイバ209と、リレーレンズ系201B
とを有する。
【0012】レーザダイオード107から発せられるパ
ルス列光は、リレーレンズ系201Aによって送光光フ
ァイバ202に入射される。パルス列光は送光光ファイ
バ202によってレンズ203Aに導かれる。レンズ2
03Aで集光されたパルス列光は、ハーフミラー207
Aに入射される。光路切替え装置208は、外部測距光
路LEXTと内部参照光路LINTとを切替える。光路切替え
装置208が外部測距光路LEXT側に切替えられると
き、光路切替え装置208は図1の実線の位置に固定さ
れる。この場合には、ハーフミラー207Aを透過する
パルス列光は外部測距光路LEXT側の反射ミラー204
Aに入射される。ハーフミラー207Aで反射されるパ
ルス列光は、実線で示される光路切替え装置208によ
って遮断される。反射ミラー204Aに入射されたパル
ス列光は当該ミラー204Aで反射され、プリズム20
5を介して対物レンズ206へ導かれる。対物レンズ2
06は、パルス列光を不図示の測定対象(たとえば、キ
ューブリフレクタ)に向けて送出する。
【0013】不図示の測定対象で反射されたパルス列光
は、再び対物レンズ206に入射される。この反射光
は、プリズム205および反射ミラー204Bでそれぞ
れ反射され、ハーフミラー207Bを透過してレンズ2
03Bに導かれる。
【0014】一方、光路切替え装置208が内部参照光
路LINT側に切替えられるとき、光路切替え装置208
は図1の破線の位置に固定される。この場合には、ハー
フミラー207Aで反射されるパルス列光は、内部参照
光路LINTを経てハーフミラー207Bに入射される。
ハーフミラー207Aを透過するパルス列光は、破線で
示される光路切替え装置208によって遮断される。ハ
ーフミラー207Bは、入射されたパルス列光を反射
し、レンズ203Bに導く。
【0015】レンズ203Bは、パルス列光を受光光と
して受光光ファイバ209に入射させる。パルス列光は
受光光ファイバ209によってリレーレンズ系201B
に導かれる。リレーレンズ系201Bは、パルス列光を
受光素子151の不図示の受光面に入射させる。
【0016】距離測定装置の受光部は、受光素子151
と、I−V変換器152と、増幅器153と、A/D変
換器154と、サンプリングクロック発生回路155
と、メモリ156と、DSP(digital signal processo
r)157と、CPU158と、メモリ159と、表示部
170とを有する。
【0017】受光素子151は光電変換素子である。受
光素子151にはバイアス回路160によって逆バイア
ス電圧が印加されている。受光素子151に光が入力さ
れると、受光素子151は入射光の強さに応じて光電流
を流す。受光素子151から出力されるパルス状の電流
は、I−V変換器152によって電流−電圧変換され、
パルス列の電圧信号になる。このパルス列信号は増幅器
153で増幅され、A/D変換器154に入力される。
A/D変換器154は、サンプリングクロック発生回路
155から入力される変換タイミングでパルス列の電圧
信号をディジタルデータに変換する。ここで、サンプリ
ングクロック発生回路155で発生される変換クロック
周波数は、パルス列の最小パルス間隔、およびパルス列
の最小パルス幅のいずれか小さい方に対するナイキスト
周波数より高くするように構成されている。ディジタル
化されたパルス列データは、メモリ156に逐次格納さ
れる。メモリ156に格納されたパルス列データはDS
P157へ送られる。
【0018】DSP157は、入力されるパルス列デー
タに応じて振幅が変化する信号を生成する。具体的に
は、上述したパルス周波数変調器105によるパルス幅
変調と反対の復調処理を行う。復調処理では、パルス列
データのパルス幅が短いほど復調信号の振幅が大きくさ
れ、パルス列データのパルス幅が長いほど復調信号の振
幅が小さくされる。DSP157はさらに、復調信号に
対してフーリエ変換処理を行う。フーリエ変換の結果、
混合されている3つの信号102a、102bおよび1
02cに対応する3つの周波数成分ごとに、それぞれ振
幅スペクトル、位相スペクトルが得られる。
【0019】CPU158は、DSP157により演算
された各周波数の位相スペクトルを用いて距離を演算す
る。CPU158は、演算結果を表示部170に表示さ
せるとともに、メモリ159に格納する。CPU158
は、上述した光路切替え装置208に対する光路切替え
指示も行う。
【0020】CPU158は、距離演算において不図示
の測定対象までの距離DEXTと、装置内部で生じる位相
差による距離DINTとをそれぞれ演算する。距離D
EXTは、光路切替え装置208を外部測距光路LEXT側に
切替えた状態で受光される受光光による距離演算値であ
る。距離DINTは、光路切替え装置208を内部参照光
路LINT側に切替えた状態で受光される受光光による距
離演算値である。
【0021】距離測定装置の内部で生じる位相差とは、
信号102a、信号102bおよび信号102cがそれ
ぞれ装置内部を伝播して生じる位相の変化量である。信
号102a、信号102bおよび信号102cは、それ
ぞれ基準信号発生器101による基準信号101aを用
いて生成されるので、周波数シンセサイザ102から出
力される信号102a、信号102bおよび信号102
cの位相は既知の関係を有する。信号102a、信号1
02bおよび信号102cの3つの信号が混合器やバン
ドパスフィルタなどの電気回路を伝播し、これら3つの
信号の和信号から生成されるパルス列による変調光が送
光光ファイバ202、内部参照光路LIN Tおよび受光光
ファイバ209を伝播すると、回路長ならびに光路長に
よって上記3つの信号の位相関係が変化する。この位相
関係の変化は、距離測定装置から測定対象までの測定距
離にかかわらず、装置内部で常に発生するものである。
【0022】上述した理由により、光路切替え装置20
8を内部参照光路LINT側に切替えた状態の受光光から
復調される3つの信号の位相関係から演算される距離D
INTは、装置内部の回路長および光路長を含む。また、
光路切替え装置208を外部測距光路LEXT側に切替え
た状態の受光光から復調される3つの信号の位相関係か
ら演算される距離DEXTは、装置内部の回路長および光
路長と、距離測定装置から測定対象までの距離とを含
む。そこで、次式(1)のように距離DEXTを距離DINT
で補正することにより、装置内部の回路長および光路長
に起因する上記3つの信号の位相関係の変化、すなわ
ち、距離測定装置の内部で生じる位相差が除外される。
【数1】 D=DEXT−DINT (1) ただし、Dは距離測定装置から測定対象までの距離であ
る。
【0023】DSP157で行われるフーリエ変換によ
って級数展開される特定周波数fk(t)は、次式(2)で
表される。なお、特定周波数は上記3つの周波数であ
り、それぞれ15MHz、375KHz、3.75KHzであ
る。
【数2】 fk(t)=a0/2+Σ{akcos(ωkt)+bksin(ωkt)} (2) ただし、a0、akおよびbkは係数である。振幅スペク
トル|Ck|は次式(3)で、位相スペクトル∠Ckは次
式(4)でそれぞれ表される。
【数3】 |Ck|={√(ak 2+bk 2)}/2 (3) ∠Ck=tan-1(bk/ak) (4)
【0024】距離測定装置が空気中で用いられる場合の
距離DEXT(距離DINT)は、上式(2)〜(4)を次式
(5)もしくは(6)に代入して算出される。
【数4】 DEXT=(C0/n)×(N+∠CkEXT/2π)×(2×fk(t))-1 (5) DINT=(C0/n)×(∠CkINT/2π)×(2×fk(t))-1 (6) ただし、C0は真空中光速度、nは空気中の屈折率、N
は波数、∠CkEXTは光路切替え装置208を外部測距光
路LEXT側に切替えた状態で受光される受光光による位
相、∠CkINTは光路切替え装置208を内部参照光路L
INT側に切替えた状態で受光される受光光による位相で
ある。
【0025】周波数15MHzの1周期分の距離(基準
長)は、上式(5)もしくは(6)に対し、C0/n≒3
×108m、∠CkEXT/2π=1(∠CkINT/2π=1)、2
×fk(t)=30MHzを代入して算出され、基準長(15MH
z)=10mである。同様に、周波数375KHzの基準長
(375KHz)=400m、周波数3.75KHzの基準長
(3.75KHz)=40Kmである。
【0026】周波数15MHzに関して得られる位相は、
距離10mごとに周期的に変化する。周波数15MHzにお
ける波数をN1とすると、位相変化量Δpは上式(5)の
第2項より(N1+∠CkEXT/2π)で表される。たとえ
ば、被測定距離が100mのとき、周波数15MHzに関し
て得られる位相∠CkEXTは、被測定距離が0m、10m、
20m、…のように被測定距離が10mの整数倍のときと
同じ0で区別がつかない。そこで、1つ高い周波数37
5KHzに関して得られる位相から波数N1を求める。周波
数375KHzに関して得られる位相をπ/2とすれば、
周波数15MHzに関して得られる位相変化量Δpは、π
/2×(15×106×(375×103)-1)=20πとな
る。したがって、波数N1=(20π/2π)=10が求
められる。このように、1つ高い周波数に関して得られ
る位相を用いることにより、被測定距離が10m以上の
場合の波数N1が得られる。同様に、被測定距離が40
0mを超える場合には、周波数3.75KHzに関して得ら
れる位相から周波数375KHzにおける波数N2を求めれ
ばよい。
【0027】図2は、第一の実施の形態においてCPU
158で実行される距離測定プログラムの処理の流れを
説明するフローチャートである。図2による処理は、操
作者が距離測定装置の不図示の操作部材を操作すること
により、距離測定開始を示す操作信号がCPU158に
入力されると開始される。図2のステップS11におい
て、CPU158は、光路切替え装置208を外部測距
光路LEXT側に切替える制御信号を出力してステップS
12へ進む。ステップS12において、CPU158
は、レーザダイオード107の発光開始を指示する制御
信号をレーザ駆動回路106に出力してステップS13
へ進む。ステップS13において、CPU158は、レ
ーザダイオード107の発光停止を指示する制御信号を
レーザ駆動回路106に出力してステップS14へ進
む。レーザダイオード107を発光させる時間は、少な
くともDSP157による復調処理およびフーリエ変換
処理に必要なパルス列データが、メモリ156に格納さ
れるまでの時間とする。
【0028】ステップS14において、CPU158
は、光路切替え装置208を内部参照光路LINT側に切
替える制御信号を出力してステップS15へ進む。ステ
ップS15において、CPU158は、レーザダイオー
ド107の発光開始を指示する制御信号をレーザ駆動回
路106に出力してステップS16へ進む。ステップS
16において、CPU158は、レーザダイオード10
7の発光停止を指示する制御信号をレーザ駆動回路10
6に出力してステップS17へ進む。レーザダイオード
107を発光させる時間は、少なくともDSP157に
よる復調処理およびフーリエ変換処理に必要なパルス列
データが、メモリ156に格納されるまでの時間とす
る。
【0029】ステップS17において、CPU158
は、光路切替え装置208が外部測距光路LEXT側に切
替えられているときのパルス列データ、および光路切替
え装置208が内部参照光路LINT側に切替えられてい
るときのパルス列データのそれぞれに対して、DSP1
57による復調処理およびフーリエ変換処理が終了した
か否かを判定する。CPU158は、DSP157から
処理終了を示す信号が送られるとステップS17を肯定
判定してステップS18へ進み、DSP157から処理
終了の信号が送られない場合はステップS17を否定判
定して処理完了を示す信号を待つ。
【0030】ステップS18において、CPU158
は、DSP157による演算結果を上式(5)、(6)
に代入して距離DEXTおよび距離DINTをそれぞれ算出
し、算出した距離DEXTおよび距離DINTを用いて上式
(1)により距離Dを算出する。CPU158は、算出
した距離Dを表示部170に表示させると、図2による
処理を終了する。
【0031】以上説明した図2のフローチャートにおい
て、光路切替え装置208を外部測距光路LEXT側に切
替える処理(ステップS11)を先に行い、光路切替え
装置208を内部参照光路LINT側に切替える処理(ス
テップS14)を後に行うようにしたが、両処理を行う
順序を逆にしてもよい。
【0032】以上説明した第一の実施の形態によれば、
次の作用効果が得られる。 (1)パルス周波数変調器105で変調信号の振幅に応
じたパルス列の信号に変換(パルス幅変調)し、このパ
ルス幅変調後のパルス列信号によってレーザダイオード
107をパルス列発光させるようにしたので、受光素子
151で受光される受信信号はパルス列の信号になる。
パルス幅変調を行うと、位相情報がパルス間隔によって
表されるため、受信信号に振幅雑音が重畳していても位
相情報に影響を及ぼすことがない。この結果、受信回路
に生じる振幅雑音に起因する距離の測定精度の低下が防
止され、精度よく距離測定を行うことができる。 (2)3つの異なる周波数の変調信号、すなわち、15
MHz(基準長10m)の信号102a、375KHz(基準
長400m)の信号102b、および3.75KHz(基準
長40Km)の信号102cを用いてレーザダイオード1
07を変調するようにしたから、短距離から長距離まで
距離測定を行うことができる。 (3)上記(2)の3つの異なる周波数の信号102
a、102bおよび102cを混合し、混合した和信号
を変調信号としてレーザダイオード107をパルス列変
調するようにした。和信号による受光信号は、DSP1
57によってパルス列信号から和信号に復調され、さら
にフーリエ変換されて各周波数ごとの振幅スペクトルお
よび位相スペクトルに分解される。これにより、3つの
周波数の信号102a、102bおよび102cを1つ
ずつ選択してレーザダイオード107を変調する場合に
比べて、距離測定に要する時間を短縮することができ
る。 (4)外部測距光路LEXTによる距離DEXTおよび内部参
照光路LINTによる距離DINTをそれぞれ算出し、距離D
EXTを距離DINTで上式(1)のように補正するようにし
た。この補正により、周囲の温度変化によって装置内の
回路で生じる遅延位相量が変化する場合でも、温度によ
る位相変化が補正される。この結果、精度よく距離測定
を行うことができる。
【0033】周波数シンセサイザ102から出力される
信号102a、信号102bおよび信号102cの位相
については、周波数シンセサイザ102の出力側で位相
を揃えておく(位相関係を既知にしておく)代わりに、
レーザダイオード107から投光される前の段階(すな
わち、混合器103P、103Sからレーザ駆動回路1
06までの経路のいずれか)で位相関係を既知にしてお
いてもよい。
【0034】上記の説明では、レーザ駆動回路106が
レーザダイオード107にパルス状の駆動電流を供給し
てパルス発光させることにより、パルス列光を生成する
直接変調方式を例にあげて説明した。直接変調方式の代
わりに、外部変調方式を用いてパルス列光を生成しても
よい。この場合には、レーザダイオード107を連続発
光(CW発光)させておき、レーザダイオード107に
よる発光光の光路中に光スイッチを挿入し、この光スイ
ッチをオン/オフさせることによってパルス列光を生成
する。光スイッチは、図1においてレーザダイオード1
07とリレーレンズ系201Aとの間、リレーレンズ系
201Aの間、もしくは送光光ファイバ202の途中の
いずれかに挿入すればよい。
【0035】信号102a、信号102b、および信号
102cの周波数をそれぞれ15MHz(基準長10m)、
375KHz(基準長400m)、および3.75KHz(基
準長40Km)にしたが、距離測定装置で測定する距離に
応じて適宜変更してよい。距離測定に使用する周波数
は、たとえば、数KHz〜数百MHzの間で選択する。
【0036】3つの変調周波数を用いるように説明した
が、4つの変調周波数を用いてもよい。この場合には、
4つの周波数の信号を混合した和信号を用いてレーザダ
イオード107を変調する。
【0037】(第二の実施の形態)第二の実施の形態に
よる距離測定装置では、第一の実施の形態に比べて、3
つの異なる周波数の信号を混合する混合器およびバンド
パスフィルタが省略される。レーザダイオードを変調す
る3つの周波数の信号は、周波数セレクタによって一つ
ずつ順番に切替えられる。図3は、本発明の第二の実施
の形態による距離測定装置のブロック図である。第一の
実施の形態の図1による構成と同じものは、同一符号を
記して説明を省略する。図3において、距離測定装置の
送光部は、基準信号発生器101と、周波数シンセサイ
ザ102と、第1のバンドパスフィルタ122と、第2
のバンドパスフィルタ123と、第3のバンドパスフィ
ルタ124と、周波数セレクタ121と、パルス周波数
変調器105と、レーザ駆動回路106と、レーザダイ
オード107とを有する。
【0038】第1のバンドパスフィルタ122は、周波
数15MHzの信号102aを通過させる。第2のバンド
パスフィルタ123は、周波数375KHzの信号102
bを通過させる。第3のバンドパスフィルタ124は、
周波数3.75KHzの信号102cを通過させる。周波
数セレクタ121は、周波数シンセサイザ102から出
力される3つの異なる周波数の信号102a、102b
および102cを入力し、いずれか一つを選択して信号
121aを出力する。周波数セレクタ121による信号
の選択は、CPU158Bから送信される切替え制御信
号130によって行われる。
【0039】パルス周波数変調器105は、周波数セレ
クタ121から出力される信号121aの振幅に応じて
パルス幅変調を行い、パルス列信号105aをレーザ駆
動回路106へ送る。レーザ駆動回路106は、信号1
05aによるパルス列に応じてパルス状の駆動電流を発
生し、レーザダイオード107をパルス発光させる。
【0040】距離測定装置の光学部の構成、および距離
測定装置の受光部の構成は、それぞれ第一の実施の形態
の図1による構成と同じである。ただし、CPU158
Bは、以下に説明するように処理を行う。
【0041】図4は、第二の実施の形態においてCPU
158Bで実行される距離測定プログラムの処理の流れ
を説明するフローチャートである。図4による処理は、
操作者が距離測定装置の不図示の操作部材を操作するこ
とにより、距離測定開始を示す操作信号がCPU158
Bに入力されると開始される。
【0042】図4のステップS21において、CPU1
58Bは、光路切替え装置208を外部測距光路LEXT
側に切替える制御信号を出力してステップS22へ進
む。ステップS22において、CPU158Bは、レー
ザダイオード107の発光開始を指示する制御信号をレ
ーザ駆動回路106に出力してステップS23へ進む。
ステップS23において、CPU158Bは、周波数セ
レクタ121に切替え制御信号を出力してステップS2
4へ進む。周波数セレクタ121による選択順序は、た
とえば、信号102a→信号102b→信号102cと
する。ステップS24において、CPU158Bは、信
号102a、信号102bおよび信号102cの全てを
選択したか否かを判定する。CPU158Bは、信号1
02cが選択されている場合にステップS24を肯定判
定してステップS25へ進み、信号102c以外が選択
されている場合にステップS24を否定判定してステッ
プS23へ戻る。
【0043】ステップS25において、CPU158B
は、レーザダイオード107の発光停止を指示する制御
信号をレーザ駆動回路106に出力してステップS26
へ進む。レーザダイオード107を発光させる時間は、
少なくともDSP157による復調処理およびフーリエ
変換処理に必要なパルス列データが、3つの周波数に対
応してそれぞれメモリ156に格納されるまでの時間と
する。
【0044】ステップS26において、CPU158B
は、光路切替え装置208を内部参照光路LINT側に切
替える制御信号を出力してステップS27へ進む。ステ
ップS27〜ステップS30は、上述したステップS2
2〜ステップS25と同様の処理を行う。
【0045】ステップS31において、CPU158B
は、光路切替え装置208が外部測距光路LEXT側に切
替えられているときのパルス列データ、および光路切替
え装置208が内部参照光路LINT側に切替えられてい
るときのパルス列データのそれぞれに対して、DSP1
57による復調処理およびフーリエ変換処理が終了した
か否かを判定する。CPU158Bは、DSP157か
ら処理終了を示す信号が送られるとステップS31を肯
定判定してステップS32へ進み、DSP157から処
理終了の信号が送られない場合はステップS31を否定
判定して処理完了を示す信号を待つ。なお、第二の実施
の形態では、上記3つの信号102a、102bおよび
102cのそれぞれの周波数が1つずつ選択された状態
で受信されるパルス列データに対して、それぞれフーリ
エ変換が行われる。このため、各フーリエ変換により、
3つの選択周波数に関する振幅スペクトルおよび位相ス
ペクトルがそれぞれ算出される。
【0046】ステップS32において、CPU158B
は、DSP157による演算結果を上式(5)、(6)
に代入して距離DEXTおよび距離DINTをそれぞれ算出
し、算出した距離DEXTおよび距離DINTを用いて上式
(1)により距離Dを算出する。CPU158Bは、算
出した距離Dを表示部170に表示させると、図4によ
る処理を終了する。
【0047】以上説明した図4のフローチャートにおい
て、光路切替え装置208を外部測距光路LEXT側に切
替える処理(ステップS21)を先に行い、光路切替え
装置208を内部参照光路LINT側に切替える処理(ス
テップS26)を後に行うようにしたが、両処理を行う
順序を逆にしてもよい。
【0048】以上説明した第二の実施の形態によれば、
次の作用効果が得られる。 (1)パルス周波数変調器105で変調信号の振幅に応
じたパルス列の信号に変換(パルス幅変調)し、このパ
ルス幅変調後のパルス列信号によってレーザダイオード
107をパルス列発光させるようにしたので、受光素子
151で受光される受信信号はパルス列の信号になる。
パルス幅変調を行うと、位相情報がパルス間隔によって
表されるため、受信信号に振幅雑音が重畳していても位
相情報に影響を及ぼすことがない。この結果、受信回路
に生じる振幅雑音に起因する距離の測定精度の低下が防
止され、精度よく距離測定を行うことができる。 (2)3つの異なる周波数の信号、すなわち、15MHz
(基準長10m)の信号102a、375KHz(基準長4
00m)の信号102b、および3.75KHz(基準長4
0Km)の信号102cを周波数セレクタ121で一つず
つ選択して出力し、この出力信号121aを用いてレー
ザダイオード107を変調する。3つの周波数は、信号
102aを15MHz(基準長10m)、信号102bを3
75KHz(基準長400m)、信号102cを3.75KH
z(基準長40Km)としたので、短距離から長距離まで
距離測定を行うことができる。
【0049】(第三の実施の形態)第三の実施の形態に
よる距離測定装置では、第一の実施の形態に比べて、パ
ルス幅変調を行うパルス周波数変調器が省略される。レ
ーザダイオードは、3つの周波数の信号の和信号によっ
て振幅変調される。図5は、本発明の第三の実施の形態
による距離測定装置のブロック図である。第一の実施の
形態の図1による構成と同じものは、同一符号を記して
説明を省略する。図5において、距離測定装置の送光部
は、基準信号発生器101と、周波数シンセサイザ10
2と、第1の混合器103Pと、第1のバンドパスフィ
ルタ104Pと、第2の混合器103Sと、第2のバン
ドパスフィルタ104Sと、レーザ駆動回路106と、
レーザダイオード107とを有する。
【0050】レーザ駆動回路106は、第2のバンドパ
スフィルタ104Sから出力される和信号104aの振
幅変化に応じて駆動電流を発生し、レーザダイオード1
07の発光レベルを変化させる。距離測定装置の光学部
の構成、および距離測定装置の受光部の構成は、それぞ
れ第一の実施の形態の図1による構成と同じである。た
だし、DSP157Bは復調処理を省略してフーリエ変
換のみを行い、CPU158Cは、図2のフローチャー
トのステップS17において以下に説明する処理を行
う。この場合のメモリ156には、振幅変調された和信
号の波形データが記憶される。
【0051】ステップS17において、CPU158C
は、光路切替え装置208が外部測距光路LEXT側に切
替えられているときの波形データ、および光路切替え装
置208が内部参照光路LINT側に切替えられていると
きの波形データのそれぞれに対して、DSP157Bに
よるフーリエ変換処理が終了したか否かを判定する。C
PU158Cは、DSP157Bから処理終了を示す信
号が送られるとステップS17を肯定判定してステップ
S18へ進み、DSP157Bから処理終了の信号が送
られない場合はステップS17を否定判定して処理完了
を示す信号を待つ。
【0052】なお、CPU158Cがレーザダイオード
107の発光開始を指示する制御信号をレーザ駆動回路
106に出力した後、レーザダイオード107の発光停
止を指示する制御信号をレーザ駆動回路106に出力す
るまでの時間、すなわち、レーザダイオード107を発
光させる時間は、少なくともDSP157Bによるフー
リエ変換処理に必要な振幅波形のデータが、メモリ15
6に格納されるまでの時間とする。
【0053】以上説明した第三の実施の形態によれば、
次の作用効果が得られる。 (1)3つの異なる周波数の信号、すなわち、15MHz
(基準長10m)の信号102a、375KHz(基準長4
00m)の信号102b、および3.75KHz(基準長4
0Km)の信号102cを用いてレーザダイオード107
を変調するようにしたから、短距離から長距離まで距離
測定を行うことができる。 (2)上記(1)の3つの異なる周波数の信号102
a、102bおよび102cを混合し、混合した和信号
を用いてレーザダイオード107を変調するようにし
た。和信号による受光信号は、DSP157Bでフーリ
エ変換を行って各周波数ごとの振幅スペクトルおよび位
相スペクトルに分解する。これにより、3つの周波数の
信号102a、102bおよび102cを1つずつ選択
してレーザダイオード107を変調する場合に比べて、
距離測定に要する時間を短縮することができる。
【0054】周波数シンセサイザ102から出力される
信号102a、信号102bおよび信号102cの位相
については、周波数シンセサイザ102の出力側で位相
を揃えておく(位相関係を既知にしておく)代わりに、
レーザダイオード107から投光される前の段階(すな
わち、混合器103P、103Sからレーザ駆動回路1
06までの経路のいずれか)で位相関係を既知にしてお
いてもよい。
【0055】以上説明した距離測定装置では、パルス列
光をキューブリフレクタなどに向けて送出し、当該キュ
ーブリフレクタなどで反射される反射光を受光するよう
にしたが、キューブリフレクタを必要としないタイプの
距離測定装置にも本発明を適用できる。この場合には、
測定対象に向けてパルス列光を送出し、当該測定対象の
表面で散乱される散乱光を受光する。一般に、散乱光の
レベルは反射光のレベルに比べて低いが、増幅器153
の増幅利得を高くすればよい。
【0056】本発明による距離測定装置は、レンジファ
インダーと呼ばれる測距装置、トータルステーションと
呼ばれる測距測角装置などに適用される。
【0057】特許請求の範囲における各構成要素と、発
明の実施の形態における各構成要素との対応について説
明する。光源は、レーザダイオード107を例にあげて
説明したが、LEDによって構成してもよい。信号発生
部102は、たとえば、周波数シンセサイザ102によ
って構成される。混合部は、たとえば、混合器103
P、103Sによって構成される。変調部は、たとえ
ば、パルス周波数変調器105によって構成される。パ
ルス列信号への変調は、たとえば、パルス幅変調によっ
て行われる。光変調部は、たとえば、レーザ駆動回路1
06によって構成される。送光光学系は、たとえば、リ
レーレンズ系201A、 送光光ファイバ202、レン
ズ203A、反射ミラー204A、プリズム205、お
よび対物レンズ206によって構成される。受光光学系
は、たとえば、リレーレンズ系201B、 レンズ20
3B、反射ミラー204B、プリズム205、対物レン
ズ206、および受光光ファイバ209によって構成さ
れる。光電変換部は、たとえば、受光素子151によっ
て構成される。復調部および位相情報抽出部は、たとえ
ば、DSP157によって構成される。演算部は、たと
えば、CPU158(158B,158C)によって構
成される。光源駆動回路は、たとえば、レーザ駆動回路
106によって構成される。弁別部および位相情報抽出
部は、たとえば、DSP157Bによって構成される。
外部光路は、たとえば、外部測距光路LEX Tが対応す
る。内部光路は、たとえば、内部参照光路LINTが対応
する。なお、本発明の特徴的な機能を損なわない限り、
各構成要素は上記構成に限定されるものではない。
【0058】
【発明の効果】(1)請求項1、請求項5に記載の発明
による距離測定装置では、精度よく距離測定を行うこと
ができる。 (2)請求項1、請求項7に記載の発明による距離測定
装置では、短時間で距離測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施の形態による距離測定装置
のブロック図である。
【図2】第一の実施の形態においてCPUで行われる距
離測定プログラムの処理の流れを説明するフローチャー
トである。
【図3】本発明の第二の実施の形態による距離測定装置
のブロック図である。
【図4】第二の実施の形態においてCPUで行われる距
離測定プログラムの処理の流れを説明するフローチャー
トである。
【図5】本発明の第三の実施の形態による距離測定装置
のブロック図である。
【符号の説明】
101…基準信号発生器、 102…周波数
シンセサイザ、103P,103S…混合器、104P,
104S,122〜124…バンドパスフィルタ、10
5…パルス周波数変調器、 106…レーザ駆動
回路、107…レーザダイオード、 151…
受光素子、152…I−V変換器、 15
3…増幅器、154…A/D変換器、 1
56,159…メモリ、157,157B…DSP、15
8,158B,158C…CPU、201A,201B…
リレーレンズ系、 202…送光光ファイバ、203A,
203B…レンズ、 204A,204B…反射
ミラー、205…プリズム、 206
…対物レンズ、207A、207B…ハーフミラー、
208…光路切替え装置、209…受光光ファイバ、
EXT…外部測距光路、LINT…内部参照光路
フロントページの続き (72)発明者 藤井 賢治 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 株 式会社ニコン内 Fターム(参考) 5J084 AA05 AB20 BA03 BB11 BB20 BB21 BB24 BB31 CA03 CA05 CA24 CA27 CA42 CA49 CA52 CA77 DA01 EA01 EA12

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光源と、 複数の周波数の信号を発生する信号発生部と、 前記信号発生部による複数の周波数の信号を混合する混
    合部と、 前記混合部による混合信号を当該信号の振幅に応じてパ
    ルス列信号に変調する変調部と、 前記パルス列信号で前記光源の光をパルス列光に変調す
    る光変調部と、 前記パルス列光を測定対象に向けて送光する送光光学系
    と、 前記測定対象からのパルス列反射光を受光する受光光学
    系と、 前記受光光学系による受光パルス列光を光電変換する光
    電変換部と、 前記光電変換部により変換されたパルス列信号を前記複
    数の周波数を混合した振幅信号に復調する復調部と、 前記復調部により復調された振幅信号から前記複数の周
    波数に対応する複数の位相情報をそれぞれ抽出する位相
    情報抽出部と、 前記位相情報抽出部により抽出された複数の位相情報を
    用いて前記測定対象までの距離を演算する演算部とを備
    えることを特徴とする距離測定装置。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の距離測定装置において、 前記光変調部は、前記変調部によるパルス列信号に同期
    して前記光源を直接変調する光源駆動回路を含むことを
    特徴とする距離測定装置。
  3. 【請求項3】請求項1に記載の距離測定装置において、 前記光源は、CW発光し、 前記光変調部は、前記変調部によるパルス列信号に同期
    して前記CW光を変調する外部変調器を含むことを特徴
    とする距離測定装置。
  4. 【請求項4】請求項1〜3のいずれかに記載の距離測定
    装置において、 前記光電変換部による変換信号をA/D変換するA/D
    変換部をさらに備え、 前記復調部は、前記A/D変換部により変換されたディ
    ジタル信号を前記複数の周波数を混合した振幅信号に復
    調することを特徴とする距離測定装置。
  5. 【請求項5】光源と、 所定の周波数の信号を発生する信号発生部と、 前記信号発生部から発生される信号を当該信号の振幅に
    応じてパルス列信号に変調する変調部と、 前記パルス列信号で前記光源の光をパルス列光に変調す
    る光変調部と、 前記パルス列光を測定対象に向けて送光する送光光学系
    と、 前記測定対象からのパルス列反射光を受光する受光光学
    系と、 前記受光光学系による受光パルス列光を光電変換する光
    電変換部と、 前記光電変換部により変換されたパルス列信号を前記周
    波数の振幅信号に復調する復調部と、 前記復調部により復調された振幅信号から位相情報を抽
    出する位相情報抽出部と、 前記位相情報抽出部により抽出された位相情報を用いて
    前記測定対象までの距離を演算する演算部とを備えるこ
    とを特徴とする距離測定装置。
  6. 【請求項6】請求項5に記載の距離測定装置において、 前記光電変換部による変換信号をA/D変換するA/D
    変換部をさらに備え、 前記復調部は、前記A/D変換部により変換されたディ
    ジタル信号を前記周波数の振幅信号に復調することを特
    徴とする距離測定装置。
  7. 【請求項7】光源と、 複数の周波数の信号を発生する信号発生部と、 前記信号発生部による複数の周波数の信号を混合する混
    合部と、 前記混合部による混合信号で前記光源の光を変調する光
    変調部と、 前記光変調部による変調光を測定対象に向けて送光する
    送光光学系と、 前記測定対象からの反射光を受光する受光光学系と、 前記受光光学系による受光光を光電変換する光電変換部
    と、 前記光電変換部による変換信号を前記複数の周波数ごと
    の信号に弁別する弁別部と、 前記弁別部により弁別された複数の信号からそれぞれ位
    相情報を抽出する位相情報抽出部と、 前記位相情報抽出部により抽出される複数の位相情報を
    用いて前記測定対象までの距離を演算する演算部とを備
    えることを特徴とする距離測定装置。
  8. 【請求項8】請求項1〜請求項7のいずれかに記載の距
    離測定装置において、 前記光変調部による変調光を前記測定対象を介して前記
    送光光学系から前記受光光学系に導く測定用の外部光路
    と、 前記光変調部による変調光を前記測定対象を介さずに前
    記送光光学系から前記受光光学系に導く補正用の内部光
    路とをさらに備え、 前記演算部は、前記外部光路による距離演算値を前記内
    部光路による距離演算値を用いて補正することを特徴と
    する距離測定装置。
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