JP2017173170A - 距離測定装置および距離測定方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】コストを抑えつつ精度の高い測距技術を得る。【解決手段】参照パルス光の検出信号が入力されるフィルタ1(203)と、フィルタ1(203)と中心周波数が異なり、測定パルス光の検出信号が入力されるフィルタ2(204)と、2つのフィルタの出力を足し算する足し算回路207と、足し算回路207の出力信号が入力されるA/Dコンバータ209と、A/Dコンバータ209の出力をFFT解析し、参照検出信号に対応する第1の分離信号と測定検出信号に対応する第2の分離信号を得る分離信号算出部211と、2つの分離信号の少なくとも一方の位相を特定の周波数における値に変換する変換処理部212と、特定の周波数における2つの分離信号の位相差に基づき、対象物までの距離を算出する距離算出部213を備える。【選択図】図2

Description

本発明は、パルス光を用いた距離の測定を行う技術に関する。
パルス光を用いて距離を測定する技術が知られている(例えば、特許文献1を参照)。この技術では、パルス幅の小さいパルス光を用いた方が高い測距精度が得られる。この技術では、測距対象物から反射してきた測距用のパルス光と、装置内の内部光路を伝搬した参照用のパルス光との間の位相差を検出し、この位相差から距離の算出が行われる。
特開2013−11558号公報
検出したパルス光を処理するために、受光素子の出力をA/Dコンバータでデジタル信号に変換する必要がある。ところで、パルス幅が小さくなると、その分A/Dコンバータのサンプリング周波数を高くする必要がある。例えば、パルス幅が100ピコ秒である場合、この波形をサンプリングするには、サンプリング周波数が数十GHz以上、アナログ入力帯域が少なくとも5GHz以上のA/Dコンバータが必要になる。このようなA/Dコンバータは、入手が困難であり、また仮に入手できたとしても高コスト、高消費電力で発熱量が多く使用条件に制約があるといった問題がある。
この問題に対して、パルス光の検出信号をBPF(バンドパスフィルタ)を通して低い周波数に変換し、その上でA/Dコンバータでデジタル信号に変換する技術がある。しかしながら、パルス信号をBPFに通すと減衰振動波形となるので、測距する距離によっては測距用の検出信号の減衰振動波形と参照用の検出信号の減衰振動波形とが時間軸上で重なり、正しい波形の検出ができなくなる。
この問題を回避する方法として、外部光路(測定光の光路)と内部光路(参照光の光路)とを切り替え可能な構造とし、外部光路(測定光の光路)を伝搬してきた測距パルス光の検出と、内部光路(参照光の光路)を伝搬してきた参照パルス光とを別タイミングでサンプリングする方法が考えられる。しかしながらこの場合、測定時間が2倍になる問題がある。また、時間差をおくことによる演算誤差が発生する。高サンプリングレートのA/Dコンバータは、自身の発熱の影響等で、そのサンプリング精度が絶えず微妙に揺らいでおり、異なるタイミングでA/D変換を行うと、同じデータであっても得られるデジタルデータに極めて僅かな違いが生じる。cm以下の測距精度を追及する場合、この極めてわずかな揺らぎが精度に影響する。よって、上述した測定光と参照光とを時間差を置いて処理する方法は、測距精度の点で問題がある。
この問題を回避する方法として、A/Dコンバータを2つ用意し、RFスイッチを使い、参照信号と測定信号とを個別にBPFに通し、一方のA/Dコンバータで参照信号のサンプリングを行い、他方のA/Dコンバータで測定信号のサンプリングを行う方法が考えられる。しかしながら、上述の僅かな時間差でも演算誤差に揺らぎが生じることから分かるように、2つのA/Dコンバータの特性を揃えることは容易ではない。このため、この場合も測定誤差が生じる。
また、演算誤差の問題を回避する方法として、複数回の測定を行いその平均を取る方法が考えられるが、測定時間の増加や消費電力の増加といった問題が生じる。このような背景において、本発明は、コストを抑えつつ精度の高い測距技術を得ることを目的とする。
請求項1に記載の発明は、予め定められた光路を伝搬した参照用のパルス光の検出信号が入力される第1の中心周波数を有する第1のバンドパスフィルタと、対象物に照射され、前記対象物から反射された測距用のパルス光の検出信号が入力される第1の中心周波数と異なる第2の中心周波数を有する第2のバンドパスフィルタと、前記第1のバンドパスフィルタに前記参照用のパルス光の検出信号が入力されることで得られる第1の信号と、前記第2のバンドパスフィルタに前記測距用のパルス光の検出信号が入力されることで得られる第2の信号とを混合し混合信号を得る混合回路と、前記混合信号が入力されるA/Dコンバータと、前記混合信号が入力された前記A/Dコンバータの出力をFFT解析し、前記第1の信号に対応する第1の分離信号と前記第2の信号に対応する第2の分離信号を得る分離信号算出部と、前記第1の分離信号および前記第2の分離信号の少なくとも一方の位相を特定の周波数における値に変換する変換部と、前記特定の周波数における前記第1の分離信号と前記第2の分離信号の位相差に基づき、前記対象物までの距離を算出する距離算出部とを備えることを特徴とする距離測定装置である。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記特定の周波数は、前記第1の中心周波数であり、前記変換部は、前記第2の分離信号の位相φ2を前記第1の中心周波数における位相φ1’に変換する処理を行い、前記距離算出部は、前記第1の分離信号と前記位相φ1’に変換された前記第2の分離信号の位相差に基づき前記対象物までの距離の算出を行うことを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記変換部は、前記第1の中心周波数をf1、前記第2の中心周波数をf2(f2>f1)として、f2/f1=m、φ1’=φ2/mの処理を行うことを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記特定の周波数は、前記第2の中心周波数であり、前記変換部は、前記第1の分離信号の位相φ1を前記第2の中心周波数における位相φ2’に変換する処理を行い、前記距離算出部は、前記位相φ2’に変換された前記第1の分離信号と前記第2の分離信号の位相差に基づき前記対象物までの距離の算出を行うことを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の発明において、前記変換部は、前記第1の中心周波数をf1、前記第2の中心周波数をf2(f2>f1)として、f2/f1=m、φ2’=φ1×mの処理を行うことを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記第1の分離信号の位相φ1と前記第2の分離信号の位相φ2を前記第1の中心周波数および前記第2の中心周波数とは異なる比較用周波数における位相に変換する処理を行う変換処理部を備え、前記距離算出部は、前記比較用周波数における第1の分離信号と前記第2の分離信号の位相差に基づき前記対象物までの距離の算出を行うことを特徴とする。
請求項7に記載の発明は、予め定められた光路を伝搬した参照用のパルス光の検出信号を第1のバンドパスフィルタに通して第1の信号を得、対象物に照射され、前記対象物から反射された測距用のパルス光の検出信号を前記第1の中心周波数と異なる第2の中心周波数を有する第2のバンドパスフィルタに通して第2の信号を得、前記第1の信号と前記第2の信号とを混合し混合信号を得、前記混合信号をA/Dコンバータに入力し、前記混合信号が入力された前記A/Dコンバータの出力をFFT解析し、前記第1の信号に対応する第1の分離信号と前記第2の信号に対応する第2の分離信号を得、前記第1の分離信号および前記第2の分離信号の少なくとも一方の位相を特定の周波数における値に変換し、前記特定の周波数における前記第1の分離信号と前記第2の分離信号の位相差に基づき、前記対象物までの距離を算出することを特徴とする距離測定方法である。
以上の発明によれば、バンドパスフィルタにパルス信号を通過させることで、検出信号をより低い周波数に変換できる。このため、パルス幅の短いパルス光を用いた場合でも相対的に低サンプリング周波数のA/Dコンバータを利用できる。更に、A/Dコンバータに参照信号と測定信号が同時に入力されるので、時間差や別ハードウェアで処理した場合に問題となる処理時間の増大や演算誤差の増大が抑えられる。
請求項8に記載の発明は、予め定められた光路を伝搬した参照用のパルス光の検出信号が入力される第1の中心周波数を有する第1のバンドパスフィルタと、対象物に照射され、前記対象物から反射された測距用のパルス光の検出信号が入力される第1の中心周波数と異なる第2の中心周波数を有する第2のバンドパスフィルタと、前記第1のバンドパスフィルタに前記参照用のパルス光の検出信号が入力されることで得られる第1の信号と、前記第2のバンドパスフィルタに前記測距用のパルス光の検出信号が入力されることで得られる第2の信号とを混合し混合信号を得る混合回路と、前記混合信号の波形に基づき、前記対象物までの距離を算出する距離算出部とを備えることを特徴とする距離測定装置である。
請求項9に記載の発明は、請求項8に記載の発明において、前記距離算出部は、前記混合信号と、光路長が既知の参照用のパルス光の検出信号を前記第1のバンドパスフィルタと前記第2のバンドパスフィルタに同時に入力されることで得られる第1の信号と第2の信号を混合して得られる比較用混合信号との位相差から前記対象物までの前記距離を算出することを特徴とする。
本発明によれば、コストの増加を抑えつつ精度の高い測距技術が得られる。
実施形態のブロック図である。 実施形態のブロック図である。 実施形態における波形の関係を示す図である。 パルス波形をフーリエ展開し、複数のサイン波形に分解した状態を示す図である。 粗測定の原理を示す図である。
1.第1の実施形態
(構成)
図1には、位相差測定方式を用いて距離の測定を行う距離測定装置1が示されている。距離測定装置1は、三脚等の架台の上の載せることが可能な構造を有している。図1には、距離測定装置1のブロック図が示されている。図1には示されていないが、距離測定装置1は、電源、外部機器との通信を行うインターフェース、ユーザが各種の操作を行うためのインターフェース(操作パネルや表示装置)、その他既知の距離測定装置が備えているハードウェアおよびソフトウェアを備えている。
距離測定装置1は、発光部100を備えている。発光部100は、測定光および参照光となるパルス光を発光する光源101と、光源101を駆動する駆動部102を備えている。ここで、測定光は、距離の測定を行うために測定対象物に照射される光であり、参照光は、距離の算出のために、検出した測定光と比較される基準となる光である。
光源101としては、レーザダイオード等が用いられる。光源101が発光するパルス光のパルス幅は極力小さい(パルス幅が狭い)方が距離の測定精度を高くできる。使用するパルス幅としては、例えば100psec〜1000psec程度のものが採用される。勿論、他のパルス幅を採用することもできる。光源101が発光するパルス光の波長は、例えば600〜1000nm程度のものが選択されるが、他の波長を用いることも可能である。駆動部102は、後述する信号処理部200の制御部214からの制御信号に基づき、光源101の発光を制御する駆動信号を光源101に出力する。光源101は、駆動部102に駆動されて1MHzの繰り返し周波数でパルス光を発光する。光源101の発光繰り返し周波数としては、数百kHz〜数MHzが選択可能であるが他の周波数を採用することも可能であり、測定したい距離に応じて決定することができる。
光源102から発光されたパルス光は、レンズ103を通り、ビームスプリッタ―104に入射する。ビームスプリッタ―104は、光源101からのパルス光の一部を透過し、他を入射方向と直交する方向に反射する。ビームスプリッタ104としては、偏光ビームスプリッタや無偏光ビームスプリッタが利用できる。
この例では、ビームスプリッタ104を透過したパルス光が測定パルス光となり、レンズ105を介して、外部光路の一部となる光ファイバ106に入射し、照射光学系116に送られる。ビームスプリッタ104で90°方向に反射したパルス光は参照パルス光として内部光路107に導かれる。光ファイバ106に導かれた測定パルス光は、距離測定装置1から外部に測定光(測距光)を照射するための照射光学系116に導かれ、そこから測定対象物に照射される。照射光学系116は、受光光学系も兼ねている。照射光学系116の詳細は、既知の距離測定装置と同じである。
照射光学系116から出射し、距離の測定の対象となる測定対象物に当たり、そこで反射された測定パルス光は、受光光学系を兼ねる照射光学系116に戻り、そこで受光され、光ファイバ108に取り込まれる。光ファイバ108に取り込まれた測定パルス光(対象物で反射した測定パルス光)は、レンズ109を介してビームコンバイナ110に入射し、そこで内部光路107を進んできた参照パルス光と合成される。ビームコンバイナ110は、ビームスプリッタ104と同じものを光ビーム合成用に用いている。
なお、厳密にいうと、光路長(伝搬距離)に差があるので、参照パルス光がまずビームコンバイナ110に入射し、遅れて測定パルス光がビームコンバイナに入射する。レンズ111を通過した参照パルス光と測定パルス光は、受光部112に取り込まれる。参照パルス光と測定パルス光は、フォトダイオード等の受光素子113で受光され、そこでパルス状の検出信号に変換される。
受光素子113は、参照パルス光の検出信号と測定パルス光の検出信号を出力する。参照パルス光と測定パルス光の光路長には違いがあるいので、時間差をおいて、最初に参照パルス光の検出信号が受光素子113から出力され、その後に測定パルス光の検出信号が受光素子113から出力される。以下、参照パルス光に対応する検出信号を参照検出信号、測定パルス光に対応する検出信号を測定検出信号と称する。
受光素子113から出力された参照検出信号と測定検出信号は、アンプ114で増幅され、バッファアンプ115(図2参照)を介して信号処理を行うための回路である信号処理部200に送られる。なお、参照光と測定光はパルス光であるので、(1)の部分(バッファアンプ115の出力部分)における参照検出信号と測定検出信号もパルス波形を有している。
図2には、信号処理部200の概要が示されている。信号処理部200は、RFスイッチ201と202を備えている。RFスイッチ201と202によって、参照検出信号がフィルタ1(203)に導かれ、測定検出信号がフィルタ2(204)に導かれる。内部光路の光路長は、既知であり、参照検出信号がRFスイッチ201に入力するタイミングは予め計算できる。そこで、参照検出信号がRFスイッチ201に入力するタイミングでRFスイッチ201をON、RFスイッチ202をOFFにし、その他の期間においてRFスイッチ202をON、RFスイッチ201をOFFにする。こうすることで、参照検出信号がフィルタ1(203)に導かれ、測定検出信号がフィルタ2(204)に導かれる。RFスイッチ201と202の制御は、後述する制御部214によって行われる。
フィルタ1(203)とフィルタ2(204)は、SAW(Surface Acoustic Wave)フィルタ(表面弾性波フィルタ)である。フィルタ1(203)は、中心周波数が480MHz、通過帯域幅が±150kHz、減衰量が隣接する±1MHzの周波数で-20dB以上の特性である。フィルタ2(204)は、中心周波数が500MHz、通過帯域幅が±150kHz、減衰量が隣接する±1MHzの周波数で-20dB以上の特性である。フィルタ1(203)とフィルタ2(204)の中心周波数は、極力近い方が後の演算処理の誤差が小さくなるので好ましいが、クロストークの問題および使用するフィルタの肩特性に鑑みて決定される。
これらのフィルタはQ値が非常に高いため、パルス波形は、連続波形に変換される。厳密には、フィルタ1(203)とフィルタ2(204)に入射したパルス波形は、当該フィルタを通過することで減衰振動波形になる。しかしながら、この例では光源101の発光繰り返し周波数は1MHzであり、時間軸上におけるパルスの間隔は、1μsecであり、1μsec程度の期間では、上記の減衰振動波形は、減衰の程度が少なく、連続サイン波形として取り扱うことができる。フィルタの種類は、実用上問題とならない特性が得られるのであれば、他の形式のフィルタであってもよい。
フィルタ1(203)を通過した後の参照検出信号が第1の信号となり、フィルタ2(204)を通過した後の測定検出信号が第2の信号となる。フィルタ1(203)の出力は、バッファアンプ205を介して、足し算回路207に入力される。また、フィルタ2(204)の出力は、バッファアンプ206を介して、足し算回路207に入力される。足し算回路207において、中心周波数480MHzのフィルタ1(203)を通過した参照検出信号(第1の信号)と、中心周波数500MHzのフィルタ2(204)を通過した測定検出信号(第2の信号)とが足し算される。図2には、足し算回路207が独立した回路として記載されているが、この例では専用の回路ではなく、後段のバッファアンプ208内のトランジスタの非線形性を利用して構成されている。足し算回路207は、トランジスタやダイオード等を用いた公知の周波数混合回路を利用することもできる。足し算回路207において、480MHzの参照検出信号と500MHzの測定検出信号とがミックスされ、980MHzの1/2のビート信号(490MHz)を加算信号として利用する。
加算信号は、数学的に以下のように説明される。まず、余弦波の足し算は公式からω=2πf として、数1の展開式が得られる。
Figure 2017173170
ここで差信号である2 cos((ω1‐ω2) / 2・t) はビート波形のエンベロープであり、和信号であるcos((ω12) / 2・t )はビート波形のキャリア信号に相当する。
足し算回路207によって得られた加算信号(490MHzの信号)は、バッファアンプ208を介して、A/Dコンバータ209に入力される。図3には、図2の(1)〜(6)の部分における波形の関係が示されている。簡単に説明すると、(2)におけるパルス状の参照検出信号がフィルタ1(203)を通過することで、(4)の参照検出信号が得られる。また、(3)におけるパルス状の測定検出信号がフィルタ2(204)を通過することで、(5)の測定検出信号が得られる。そして、(4)の参照検出信号(480MHz)と(5)の測定検出信号(500MHz)が加算されることで、(6)の加算信号(490MHz)が得られる。
(6)の加算信号は、A/Dコンバータ209でデジタル信号に変換される。この際、サンプリングの対象が490MHzの連続信号(図3の符号(6)の信号波形を参照)であるので、A/Dコンバータとして、それ程高コストでないものを利用できる。
A/Dコンバータ209でデジタル化された(6)の加算信号は、FPGA(field programmable gate array)210 で処理される。FPGA210を利用して、分離信号算出部211、変換処理部212、距離算出部213および制御部214が構成されている。これらの処理部の一または複数は、専用のハードウェア(回路)で構成することも可能である。また、汎用のCPUを利用してソフトウェア的に構成することも可能である。なお、この例では、扱う信号の周波数が高いので、高い処理速度が得られるFPGAで上記の処理部を構成している。
分離信号算出部211は、FFT解析の手法を用いて(6)(図3参照)の加算信号(490MHz)から(4)の参照検出信号(480MHz)と(5)の測定検出信号(500MHz)を分離する。この処理では、(6)の加算信号をフーリエ展開し、その中から480MHzの成分と500MHzの成分を抜き出すデジタル処理が行なわれる。
変換処理部212は、測定検出信号(500MHz)の位相を参照検出信号の周波数である480MHzにおける位相に変換する。以下、この処理について説明する。周知のように、位相差測定方式を用いた距離の測定では、繰り返し波形となった参照信号(本実施形態の参照検出信号(4))と同じく繰り返し波形となった測定信号(本実施形態の測定検出信号(5))の位相の差から距離の算出を行う。これは、参照光と測定光の伝搬距離の差に起因して、参照信号と測定信号に位相差が生じることを利用している。
上記の位相の比較は、参照信号と測定信号の周波数が同じである必要がある。これは、遅延特性が周波数に依存するので、異なる周波数同士の位相を比較しても位相差が正確に距離に対応しないためである。
本実施形態では、意図的に480MHzと500MHzに分けているので、参照検出信号(4)と測定検出信号(5)の位相を直接比較したのでは、距離が計算できない。そこで、変換処理部212において測定検出信号(500MHz)の位相を参照検出信号の周波数である480MHzにおける位相に変換する。なお、この変換を行っても精度が確保されるのは、以下の理由による。
図4の上段には、パルス波形が示され、下段には上段のパルス波形をフーリエ展開して多数のサイン波形に分解した状態が示されている。パルス波形をフーリエ展開し、複数のサイン波のスペクトルに分解した場合、各スペクトルの群遅延特性は一定である。
群遅延Tgは、入力波形と出力波形の位相差φを角周波数ωで微分したものであり、Tg=−dφ/dωで定義される。上記の場合、Tg=一定ということは、位相差φはωに比例、すなわちフィルタ等を通過することで生じる位相差は周波数に比例するという関係となる。したがって、パルス波形をフーリエ展開し、複数のサイン波のスペクトルに分解した場合、一つのスペクトルにおける位相差が、他のスペクトルの周波数においてどのくらいの位相差となるのかを計算で求めることができる。
ところで、本実施形態では、パルス波をBPFに通すことで、図3の(4)や(5)で示す連続波(正確には減衰振動波形)が生じる。これは、Qの大きいBPFをパルス波が通過することで群遅延が発生し、BPFから振動波形が出力される現象として理解できる。この理解に基づくと、(4)や(5)に示す連続波の波と波の間隔、すなわち位相の関係は、フィルタを通過した際に生じる群遅延に起因する位相差に他ならない。
ここで、480MHzの参照検出信号と500MHzの測定検出信号は、パルス波形をBPFに通すことで得られたもので、それぞれは、上記のパルス波形をサイン波にスペクトル分解した場合の第1のスペクトル波形と第2のスペクトル波形と見ることができる。そして、上述したように、パルス波形をサイン波にスペクトル分解した場合における第1のスペクトル波形の位相と第2のスペクトル波形の位相は、周波数に比例する。
よって、480MHzの参照検出信号の位相φを500MHzにおける位相φ’に直すと、周波数が高くなる分、位相は大きくなる(波が変化するスピードが速くなる)。具体的には、φ’=φ/(480MHz/500MHz)(またはφ’=(500MHz/480MHz)×φ)となる。言い換えると、480MHzの参照検出信号の位相φを500MHzの周波数で捉えると、同じではなく、500MHzでは、480MHzの場合よりも大きな値φ’>φとなる。逆に、500MHzの測定検出信号の位相φを480MHzにおける位相φ’に直すと、周波数が低くなる分、位相は小さくなる(波の変化するスピードが遅くなる)。具体的には、φ’=φ/(500MHz/480MHz)(またはφ’=(480MHz/500MHz)×φ)となる。
一般化すると、以下のようになる。参照検出信号の周波数(480MHz)をf1、その位相をφ1、測定検出信号の周波数(500MHz)をf2、その位相をφ2、m=f2/f1として、f1における測定検出信号の位相φ1480は、φ1480=(1/m)×φ2で示される。逆に、f2における参照検出信号の位相φ2500は、φ2500=m×φ1で示される。
例えば、測定検出信号(500MHz)の位相がφ=15degであるとする。この位相を参照検出信号の周波数480MHzにおける値に変換すると、φ1480=φ2/(500MHz/480MHz)=15deg /(500/480)=14.39999・・degとなる。こうして、参照検出信号(480MHz)と測定検出信号(500MHz)の位相差を同じ条件で比較できるようになる。上記の一方の周波数における位相を他方の周波数の位相に変換する処理が変換処理部212において行われる。
上記の例は、参照検出信号側の480MHzで位相の比較を行う場合の例であるが、参照検出信号の位相を測定検出信号の周波数である500MHzにおける値に変換してもよい。
距離算出部213は、同じ周波数で捉えた参照検出信号の位相と測定検出信号の位相とを比較し、距離測定装置1から測定光が当たった(測定光を反射した)対象物までの距離を算出する。また、距離算出部213は、図3に示す精密測定よりも精度が低い粗測定の処理を行う。粗測定は、コンパレータ215を用いて参照パルス光と測定パルス光の間隔を測定し、その間隔から対象物までの距離を算出する。
以下、粗測定について説明する。図5には、粗測定の原理が示されている。コンパレータ215は、基準電位と入力を比較し、アンプ115から出力されたパルス状の参照パルス光の検出信号が入力するとH、次に測定パルス光の検出信号が入力するとLを出力する。この際のコンパレータ215の出力波形が図5の入力パルスである。この入力パルスが距離算出部213に入力される。
この例では、入力パルスがHとなる期間に対して、カウント用クロックの間隔が十分に短くとれないので、以下の方法で精度を高める。なお、カウント用クロックの周波数を高くすれば、以下の工夫は必要ないが、現状の技術ではA/Dコンバータのクロック周波数には上限があり、また高いクロック周波数のものは、高コストで動作条件も厳しい(例えば、発熱が膨大である等)という問題がある。
この例では、カウントクロックに同期したPLL出力クロックを利用する。ここでは、ラッチ回路を利用してPLL出力クロックの位相を1/8の位相差でずらした波形を8個生成し、入力パルスの状態を8個のクロックで別々にサンプリングする。これによって、入力パルスがHとなるタイミング、およびLとなるタイミングを検出する。この方法によれば、単にカウント用クロックを用いたサンプリングに比較して入力パルスのL→Hのタイミング、H→Lのタイミングをより高い精度で検出できる(勿論、図3の処理に比較すれば大きな誤差がある)。この処理により、粗測定の精度を高め、図2のフィルタ1(203)およびフィルタ2(204)の中心周波数を極力高く設定できるようにしている。
実際の動作では、まず粗測定により大凡の距離の測定が行われ、ついで粗測定で測定された大凡の距離を初期値として、図3の精密測定が行われる。
制御部214は、発光部100の発光タイミングの制御、その他距離測定装置1全体の動作を制御するマイコンとしての機能を有する。
以上述べたように、本実施形態では、参照パルス光の検出信号が入力されるフィルタ1(203)と、フィルタ1(203)と中心周波数が異なり、測定パルス光の検出信号が入力されるフィルタ2(204)と、2つのフィルタの出力を足し算する足し算回路207と、足し算回路207の出力信号が入力されるA/Dコンバータ209と、A/Dコンバータ209の出力をFFT解析し、参照検出信号に対応する第1の分離信号と測定検出信号に対応する第2の分離信号を得る分離信号算出部211と、2つの分離信号の少なくとも一方の位相を特定の周波数における値に変換する変換処理部212と、特定の周波数における2つの分離信号の位相差に基づき、対象物までの距離を算出する距離算出部213を備える。
(優位性)
図3の(1)におけるref(内)が参照パルス光の検出タイミングであり、meas(外)が測定パルス光の検出タイミングである。2つのパルス光の検出のタイミングがずれているのは、2つのパルス光の伝搬距離(飛翔距離)に違いがあるからである。ここで、参照パルス光の伝搬距離は、内部光路長であるから既知である。よって、2つのパルス光の位相差(検出時間差)が判れば、光の速度は一定だから測定対象物までの距離を算出できる。
しかしながら、幅の短いパルス光を直接サンプリングするのはコスト的および技術的に困難である、そこで、本実施形態では、参照パルス光の検出パルス信号と測定パルス光の検出パルス信号をQが高く、中心周波数が異なる2つのBPFに通すことで、サンプリングが容易な周波数であり、また連続波として扱える図3の参照検出信号(480MHz)と測定検出信号(500MHz)を得る。そして、時間差およびハードウェアの違いに起因する演算誤差を生じさせないために、参照検出信号と測定検出信号を足し算し、加算信号を得、それをA/Dコンバータでデジタル化する。この際、加算信号は、490MHzに変換されているので、サンプリングが容易であり、コスト的および技術的な困難は回避される。また、参照検出信号と測定検出信号が同時に処理されるので、時間差で処理した場合の問題が生じない。
そして、FFT解析によって加算信号を480MHzの成分と500MHzの成分に分離し、デジタル化された参照検出信号と測定検出信号を得る。ここで、参照検出信号と測定検出信号は周波数が異なるので、そのままの状態で位相差を比較しても正確な距離の算出が行なえない。
ここで、下記の事項に着目する。
(1)参照パルス光と測定パルス光は、一つのパルス光を分岐したものである。
(2)参照検出信号と測定検出信号がパルス波をBPFに通すことで生じる連続波であり、参照検出信号と測定検出信号は、一つのパルス光をフーリエ展開することで得られるスペクトル成分の関係にある。
(3)パルス波形をフーリエ展開することで得られる複数の異なる周波数のサイン波形の群遅延は一定であり、ある周波数の波形の位相が判れば、その波形の他の周波数における位相を計算できる。
上記の事項から、参照検出信号と測定検出信号の位相を同じ周波数で比較するための変換を行い、その上で参照検出信号と測定検出信号の位相差を検出し、この位相差から対象物までの距離の算出を行う。
この技術によれば、
(A)パルス波形を直接サンプリングする際に問題となるコスト的および技術的な困難
(B)時間差を置いて行う演算による誤差
(C)参照検出信号と測定検出信号を別のA/Dコンバータで処理する場合に生じる異なるA/Dコンバータ間の特性の差に起因する誤差
の発生が回避できる。
このため、測距信号と参照信号を同時に処理でき、また短いパルス幅にも対応できる技術が得られる。
(その他)
変換処理部212は、以下の処理も可能である。例えば、参照検出信号(480MHz)の位相と測定検出信号(500MHz)の位相を470MHzにおける位相に変換し、その上で参照検出信号と測定検出信号の位相差を検出し、対象物までの距離を算出することも可能である。
また、参照検出信号(480MHz)の位相と測定検出信号(500MHz)の位相を490MHzにおける位相に変換する方法、参照検出信号(480MHz)の位相と測定検出信号(500MHz)の位相を510MHzにおける位相に変換する方法等も可能である。
参照検出信号と測定検出信号の周波数は、なるべく高い方が測距精度は高くなる。しかしながら、周波数が高くなると、その周波数を扱うデバイスの性能限界やコストが問題となる。よって、許容できる範囲で、参照検出信号と測定検出信号の周波数は高い方が好ましい。勿論、参照検出信号と測定検出信号の周波数を本実施形態よりも低くして、精度を犠牲にする代わりにコストを抑える構成も可能である。また、参照検出信号の周波数より測定検出信号の周波数を低くする構成も可能である。
参照検出信号と測定検出信号を加算した加算信号の代わりに、参照検出信号と測定検出信号の差の信号を利用することもできる。この場合、数1の差信号(2 cos((ω1‐ω2) / 2・t))を (ω1‐ω2) / 2 の周波数を通すローパスフィルターを使って抜き出すことで差信号を得る。参照検出信号と測定検出信号を直接混合するのではなく、少なくとも一方を一旦他の周波数に変換した上で混合することも可能である。
2.第2の実施形態
第1の実施形態では、加算信号をFFT解析することで参照検出信号と測定検出信号に分離し、その上で参照検出信号と加算検出信号の位相差を検出することで対象物までの距離を算出している。この方法は、加算信号に基づき対象物までの距離の算出を行う方法の一つである。ところで、加算信号には、参照検出信号と測定検出信号の位相差に関する情報も含まれている。
例えば、第1の参照検出信号と第1の測定検出信号を加算した第1の加算信号と、第2の参照検出信号と第2の測定検出信号を加算した第2の加算信号を考える。この際、第1の参照検出信号と第1の測定検出信号の位相差と、第2の参照検出信号と第2の測定検出信号の位相差とが異なると、第1の加算信号と第2の加算信号の波形に違いが生じる。これは、数1からも明らかである。このことから、加算信号には、参照検出信号と測定検出信号の位相差に関する情報も含まれている。したがって、加算信号から参照検出信号と測定検出信号の位相差に関する情報を検出すること、あるいは加算信号から対象物までの距離を算出することが可能である。
以下、加算信号を参照検出信号と測定検出信号に分離せずに対象物までの距離を求める方法の一例を説明する。この場合、距離算出部214で以下の処理が行なわれる。まず、加算信号を得る点は、第1の実施形態の場合と同じである。この加算信号が、被測定用加算信号となる。被測定用加算信号を得たら、光源を再度発光させ、参照パルス光の検出信号(参照検出信号)を得る。そして、RFスイッチ210と202を共にONにして、この参照検出信号をフィルタ1(203)とフィルタ2(204)に通し、更にその出力を加算して基準加算信号を得る。この基準加算信号は、距離が既知である内部光路を通ったパルス光に基づくものとなる。
そして、上記の被測定用加算信号と基準加算信号を比較し、その位相差を求める。この位相差は、対象物までの距離と内部光路の距離の差に比例している。この比例関係は予め取得されており、この比例関係と上記の位相差とから対象までの距離を算出できる。
1…距離測定装置、103…レンズ、104…ビームスプリッタ、105…レンズ、106…光ファイバ、107…内部光路、108…光ファイバ、109…レンズ、110…ビームコンバイナ、111…レンズ、113…受光素子、114…アンプ、115…アンプ、201…RFスイッチ、202…RFスイッチ、203…フィルタ1(SAWフィルタ)、205…フィルタ2(SAWフィルタ)、205…アンプ、206…アンプ、207…足し算回路、209…A/Dコンバータ。

Claims (9)

  1. 予め定められた光路を伝搬した参照用のパルス光の検出信号が入力される第1の中心周波数を有する第1のバンドパスフィルタと、
    対象物に照射され、前記対象物から反射された測距用のパルス光の検出信号が入力される第1の中心周波数と異なる第2の中心周波数を有する第2のバンドパスフィルタと、
    前記第1のバンドパスフィルタに前記参照用のパルス光の検出信号が入力されることで得られる第1の信号と、前記第2のバンドパスフィルタに前記測距用のパルス光の検出信号が入力されることで得られる第2の信号とを混合し混合信号を得る混合回路と、
    前記混合信号が入力されるA/Dコンバータと、
    前記混合信号が入力された前記A/Dコンバータの出力をFFT解析し、前記第1の信号に対応する第1の分離信号と前記第2の信号に対応する第2の分離信号を得る分離信号算出部と、
    前記第1の分離信号および前記第2の分離信号の少なくとも一方の位相を特定の周波数における値に変換する変換部と、
    前記特定の周波数における前記第1の分離信号と前記第2の分離信号の位相差に基づき、前記対象物までの距離を算出する距離算出部と
    を備えることを特徴とする距離測定装置。
  2. 前記特定の周波数は、前記第1の中心周波数であり、
    前記変換部は、前記第2の分離信号の位相φ2を前記第1の中心周波数における位相φ1’に変換する処理を行い、
    前記距離算出部は、
    前記第1の分離信号と前記位相φ1’に変換された前記第2の分離信号の位相差に基づき前記対象物までの距離の算出を行うことを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。
  3. 前記変換部は、
    前記第1の中心周波数をf1、前記第2の中心周波数をf2(f2>f1)として、
    f2/f1=m、
    φ1’=φ2/m
    の処理を行うことを特徴とする請求項2に記載の距離測定装置。
  4. 前記特定の周波数は、前記第2の中心周波数であり、
    前記変換部は、前記第1の分離信号の位相φ1を前記第2の中心周波数における位相φ2’に変換する処理を行い、
    前記距離算出部は、
    前記位相φ2’に変換された前記第1の分離信号と前記第2の分離信号の位相差に基づき前記対象物までの距離の算出を行うことを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。
  5. 前記変換部は、
    前記第1の中心周波数をf1、前記第2の中心周波数をf2(f2>f1)として、
    f2/f1=m、
    φ2’=φ1×m
    の処理を行うことを特徴とする請求項4に記載の距離測定装置。
  6. 前記第1の分離信号の位相φ1と前記第2の分離信号の位相φ2を前記第1の中心周波数および前記第2の中心周波数とは異なる比較用周波数における位相に変換する処理を行う変換処理部を備え、
    前記距離算出部は、前記比較用周波数における第1の分離信号と前記第2の分離信号の位相差に基づき前記対象物までの距離の算出を行うことを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。
  7. 予め定められた光路を伝搬した参照用のパルス光の検出信号を第1のバンドパスフィルタに通して第1の信号を得、
    対象物に照射され、前記対象物から反射された測距用のパルス光の検出信号を前記第1の中心周波数と異なる第2の中心周波数を有する第2のバンドパスフィルタに通して第2の信号を得、
    前記第1の信号と前記第2の信号とを混合し混合信号を得、
    前記混合信号をA/Dコンバータに入力し、
    前記混合信号が入力された前記A/Dコンバータの出力をFFT解析し、前記第1の信号に対応する第1の分離信号と前記第2の信号に対応する第2の分離信号を得、
    前記第1の分離信号および前記第2の分離信号の少なくとも一方の位相を特定の周波数における値に変換し、
    前記特定の周波数における前記第1の分離信号と前記第2の分離信号の位相差に基づき、前記対象物までの距離を算出することを特徴とする距離測定方法。
  8. 予め定められた光路を伝搬した参照用のパルス光の検出信号が入力される第1の中心周波数を有する第1のバンドパスフィルタと、
    対象物に照射され、前記対象物から反射された測距用のパルス光の検出信号が入力される第1の中心周波数と異なる第2の中心周波数を有する第2のバンドパスフィルタと、
    前記第1のバンドパスフィルタに前記参照用のパルス光の検出信号が入力されることで得られる第1の信号と、前記第2のバンドパスフィルタに前記測距用のパルス光の検出信号が入力されることで得られる第2の信号とを混合し混合信号を得る混合回路と、
    前記混合信号に基づき、前記対象物までの距離を算出する距離算出部と
    を備えることを特徴とする距離測定装置。
  9. 前記距離算出部は、
    前記混合信号と、
    光路長が既知の参照用のパルス光の検出信号を前記第1のバンドパスフィルタと前記第2のバンドパスフィルタに同時に入力されることで得られる第1の信号と第2の信号を混合して得られる比較用混合信号と
    の位相差から前記対象物までの前記距離を算出することを特徴とする請求項8に記載の距離測定装置。

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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6693783B2 (ja) * 2016-03-24 2020-05-13 株式会社トプコン 距離測定装置およびその校正方法
US20220291371A1 (en) * 2019-08-19 2022-09-15 Sony Semiconductor Solutions Corporation Distance measurement device and distance measurement method
US11133864B1 (en) * 2020-04-24 2021-09-28 Ciena Corporation Measurement of crosstalk

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002323556A (ja) * 2001-04-27 2002-11-08 Nec Corp 距離計測装置
JP2003149341A (ja) * 2001-11-09 2003-05-21 Nikon Geotecs Co Ltd 距離測定装置
JP2010203877A (ja) * 2009-03-03 2010-09-16 Topcon Corp 距離測定装置
US20120092644A1 (en) * 2009-06-10 2012-04-19 Carl Zeiss Ag Evaluation device, measuring arrangement and method for path length measurement
JP2013011558A (ja) * 2011-06-30 2013-01-17 Topcon Corp 光波距離測定方法及び光波距離装置
JP2014059247A (ja) * 2012-09-19 2014-04-03 Hitachi Ltd 距離計測方法および装置
JP2017173173A (ja) * 2016-03-24 2017-09-28 株式会社トプコン 距離測定装置およびその校正方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7945408B2 (en) * 2007-09-20 2011-05-17 Voxis, Inc. Time delay estimation
JP5683782B2 (ja) * 2008-12-25 2015-03-11 株式会社トプコン 距離測定装置及び距離測定方法
US10054675B2 (en) * 2014-10-24 2018-08-21 Analog Devices, Inc. Active compensation for phase alignment errors in time-of-flight cameras

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002323556A (ja) * 2001-04-27 2002-11-08 Nec Corp 距離計測装置
JP2003149341A (ja) * 2001-11-09 2003-05-21 Nikon Geotecs Co Ltd 距離測定装置
JP2010203877A (ja) * 2009-03-03 2010-09-16 Topcon Corp 距離測定装置
US20120092644A1 (en) * 2009-06-10 2012-04-19 Carl Zeiss Ag Evaluation device, measuring arrangement and method for path length measurement
JP2013011558A (ja) * 2011-06-30 2013-01-17 Topcon Corp 光波距離測定方法及び光波距離装置
JP2014059247A (ja) * 2012-09-19 2014-04-03 Hitachi Ltd 距離計測方法および装置
JP2017173173A (ja) * 2016-03-24 2017-09-28 株式会社トプコン 距離測定装置およびその校正方法

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