JP2010203877A - 距離測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザ装置の共振器長を固定化する手段や、周波数を安定化する手段を設けずに、周波数が変化する2以上の周期信号の位相差から距離を測定する。
【解決手段】距離測定装置は、レーザ光束として光周波数コムを発生するレーザ装置1と、レーザ光束を基準光と測距光に分割する分割手段2と、基準光を受光する基準受光部3と、測距光を受光する測定受光部6とを備える。測定受光部6の受光信号は、第1フィルタ14で測距用の周波数成分が抜き出され、基準受光部3の受光信号は、第2フィルタ11で基準用の周波数成分が抜き出される。サンプリング部18は、第1フィルタ14および第2フィルタ11からの処理信号を非同期のサンプリング周波数でサンプリングする。位相差測定部23は、そのサンプル結果から処理信号の実際の周波数を演算し、2つの処理信号の位相差を測定する。距離測定部17は、位相差から距離を測定する。
【選択図】図1
【解決手段】距離測定装置は、レーザ光束として光周波数コムを発生するレーザ装置1と、レーザ光束を基準光と測距光に分割する分割手段2と、基準光を受光する基準受光部3と、測距光を受光する測定受光部6とを備える。測定受光部6の受光信号は、第1フィルタ14で測距用の周波数成分が抜き出され、基準受光部3の受光信号は、第2フィルタ11で基準用の周波数成分が抜き出される。サンプリング部18は、第1フィルタ14および第2フィルタ11からの処理信号を非同期のサンプリング周波数でサンプリングする。位相差測定部23は、そのサンプル結果から処理信号の実際の周波数を演算し、2つの処理信号の位相差を測定する。距離測定部17は、位相差から距離を測定する。
【選択図】図1
Description
本発明は、光周波数コムを用いて、2以上の周期信号の位相差から距離を測定する距離測定装置に係り、特に周波数が変化する周期信号を非同期にサンプリングして、その周波数を検出する距離測定装置に関する。
フェムト秒モード同期パルスレーザ装置を用いた距離測定装置が知られている(例えば、特許文献1)。モード同期パルスレーザの周波数スペクトルは、光パルスの繰り返し周波数で一定間隔に並び、かつ、モード間の位相が揃った多数の離散スペクトル(縦モード)で構成されている。正確な間隔の縦モードが櫛の歯のように多数立つため、この光パルスは、光周波数コム(comb)と呼ばれている。光周波数コムを用いた距離測定装置は、レーザを対象物に照射し、その反射光を受光素子で受光して、広いスペクトル幅の周波数成分から距離測定の分解能が高い周波数成分を選択し、これを物差しとして利用する。
特許文献1に記載の距離測定装置は、レーザ装置からのレーザ光線を基準光と測距光に分割する分割手段と、基準光を受光して多数のビート信号を出力する第2受光素子と、測距光を受光して多数のビート信号を出力する第1受光素子とを有する。第1受光素子からの受光信号は、第1フィルタで測距用の周波数成分が抜き出される。第2受光素子からの受光信号は、第3フィルタで第1フィルタと僅かに周波数差のある周波数成分が抜き出される。第1フィルタからの周波数成分は、第3フィルタからの周波数成分とミキサで乗算され、低い周波数成分にセルフビートダウンされる。低い周波数成分は、測距信号として位相差測定回路に入力される。
また、第2受光素子からの受光信号は、第2フィルタで比較用の周波数成分が抜き出される。比較用の周波数成分は、基準信号として位相差測定回路に入力される。位相差測定回路は、両ビート信号間の位相差を演算し、位相差を演算部に出力する。演算部は、この位相差に基づき距離を測定する。
しかしながら、フェムト秒モード同期パルスレーザ装置は、一般的に光ファイバーで共振器が構成されているため、共振器長は数m〜数百mと長く、僅かな温度変化や機械的振動によって共振器長が微少に変化してしまう。これに伴い、共振器長で決まる光パルスの繰り返し周波数が変化し、上述した位相差測定回路が入力する測距信号および基準信号の周波数も変化するため、両ビート信号間の位相差を精度良く測定することができない。このような課題を解決する手段として、共振器長を固定化する技術(例えば、特許文献2)や、周波数を安定化する負帰還機構を設ける技術(例えば、特許文献3)が開示されている。
特許文献2に記載の発明では、共振器長で決まる基本周波数の高次の整数倍に相当する正弦波のクロック信号をレーザ出力から抽出し、このクロック信号と周波数一定の標準信号との周波数差を検出し、誤差が予め定めた一定値になるように共振器長を自動的に調整する。
特許文献3に記載の発明では、共振器全体の温度変化によって縦モードの周波数が他の周波数に変化してしまうモードホップという現象を抑制する機構と、縦モード一本の絶対周波数と繰り返し周波数とを独立して安定化する周波数安定化負帰還機構とを設けている。それらを同時に動作させることで、全ての縦モードの絶対周波数を安定化する。
光周波数コム―新しい光のものさし―(http://www.aist.go.jp/aist_j/museum/keisoku/komu/komu.html)
このような背景を鑑み、本発明は、レーザ装置の共振器長を固定化する手段や、周波数を安定化する手段を設けずに、周波数が変化する2以上の周期信号の位相差から距離を測定可能な距離測定装置を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、レーザ光束として光周波数コムを発生するレーザ装置と、前記レーザ光束を基準光と測距光に分割する分割手段と、前記基準光を受光して複数のビート信号を出力する基準受光部と、前記測距光を受光して複数のビート信号を出力する測定受光部と、前記測定受光部から少なくとも一つのビート信号を取り出す第1フィルタと、前記基準受光部から少なくとも一つのビート信号を取り出す第2フィルタと、前記第1フィルタおよび前記第2フィルタを介して入力するビート信号の周波数と非同期のサンプリング周波数で前記ビート信号をサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリング部が出力するサンプル結果に基づいて、前記ビート信号の実際の周波数を演算すると共に、前記第1フィルタおよび前記第2フィルタを介して入力する2つのビート信号の位相差を測定する位相差測定部と、前記位相差測定部の測定する位相差に基づいて距離を測定する距離測定部と、を備えることを特徴とする距離測定装置である。
請求項1に記載の発明によれば、レーザ装置の共振器長を固定化する手段や、周波数を安定化する手段を設けずに、周波数が変化する2つのビート信号の位相差から距離を測定することができる。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記サンプリング周波数(fs)は、前記レーザ装置で予め定めた共振器長によって決まる光パルスの繰り返し周波数(fr)よりも低いことを特徴とする。
請求項2に記載の発明によれば、低いサンプリング周波数でサンプリングできるため、簡易かつ安価な構成にすることができる。
請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記サンプリング周波数(fs)は、前記第1フィルタまたは前記第2フィルタを介して入力するビート信号の実際の周波数(fin=fr±Δf)よりも低いことを特徴とする
請求項3に記載の発明によれば、低いサンプリング周波数でサンプリングできるため、簡易かつ安価な構成にすることができる。
請求項4に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記サンプリング周波数(fs)は、前記ビート信号の実際の周波数(fin)と、サンプル周期に含まれるfinの周期の整数(n)と、1/finの1周期内のサンプル数(a)との関係式fin=fs×(n±a)に基づいて設定されていることを特徴とする。
請求項4に記載の発明によれば、サンプリング周波数(fs)をビート信号の実際の周波数(fin)と非同期の関係にしておくことで、サンプル結果からビート信号の実際の周波数(fin=fr±Δf)を検出することができる。
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の発明において、前記サンプル周期に含まれるfinの周期の整数(n)と、前記1/finの1周期内のサンプル数(a)は、変更可能であることを特徴とする。
請求項5に記載の発明によれば、nをより大きく設定することで、より低いサンプリング周波数(fs)で安定したサンプリングを行うことができる。また、aをより小さく設定することで、ビート信号の実際の周波数(fin)の1周期内のサンプル数が多くなり、finを精密に検出することができる。
請求項6に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記ビート信号の実際の周波数(fin)は、前記サンプル結果で構成される波形の1周期内のサンプル数(1/a)に基づいて演算されることを特徴とする。
請求項6に記載の発明によれば、finの変化に対してnが一定である場合、サンプル結果で構成される波形の1周期内のサンプル数(1/a)を数えるだけで、ビート信号の実際の周波数(fin)を検出することができる。
請求項7に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記第1フィルタまたは前記第2フィルタを介して入力するビート信号を二値化する二値化回路をさらに備え、前記位相差測定部は、前記二値化回路からの二値化結果に基づき、サンプリング周波数を変更することを特徴とする。
請求項7に記載の発明によれば、ビート信号の二値化結果に基づいて、ビート信号の実際の周波数(fin)とサンプリング周波数(fs)を一定の関係(nを一定)にすることができる。
請求項8に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記基準受光部からビート信号を入力して、前記第1フィルタが取り出すビート信号の周波数成分と異なる周波数成分のビート信号を取り出す第3フィルタと、前記第1フィルタと前記第3フィルタが取り出す2つのビート信号の和と差の周波数成分を生成するミキサと、前記ミキサから差の周波数成分を有するビート信号を取り出す第4フィルタとをさらに備え、前記位相差測定部は、前記第3フィルタおよび前記第2フィルタからの2つのビート信号の位相差を測定することを特徴とする。
請求項8に記載の発明によれば、基準受光部のビート信号を用いて、測距受光部のビート信号から取り出した周波数成分を低くすることができる(セルフビートダウン法)。
請求項9に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記第1フィルタおよび前記第2フィルタが取り出すビート信号の周波数成分と異なる周波数の周期信号を発振する発振器と、前記第1フィルタが取り出すビート信号と前記発振器が発振する周期信号の和と差の周波数成分を生成する第1ミキサと、前記第2フィルタが取り出すビート信号と前記発振器が発振する周期信号の和と差の周波数成分を生成する第2ミキサと、前記第1ミキサから差の周波数成分を有するビート信号を取り出す第3フィルタと、前記第2ミキサから差の周波数成分を有するビート信号を取り出す第4フィルタとをさらに備え、前記位相差測定部は、前記第3フィルタおよび前記第4フィルタからの2つのビート信号の位相差を測定することを特徴とする。
請求項9に記載の発明によれば、発振器の周期信号を用いて、測距受光部のビート信号から取り出した高周波数成分を低くすることができる(ローカルオシレータ法)。高周波成分を用いることで、距離の測定分解能を向上することができる。
請求項10に記載の発明は、請求項7に記載の発明において、前記発振器の替わりに、前記第1フィルタおよび前記第2フィルタが取り出すビート信号の周波数成分と異なる周波数成分のビート信号を前記基準受光部から取り出す第5フィルタをさらに備えることを特徴とする。
請求項10に記載の発明によれば、基準受光部のビート信号を用いて、測距受光部および基準受光部のビート信号から取り出した周波数成分を低くすることができる(セルフビートダウン法)。
請求項11に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記基準受光部からビート信号を入力して、少なくとも一つのビート信号を取り出す第3フィルタと、前記第1フィルタおよび前記第2フィルタが取り出すビート信号の周波数成分と異なる周波数の周期信号を発振する発振器と、前記第1フィルタで取り出されたビート信号と前記発振器が発振する周期信号の和と差の周波数成分を生成する第1ミキサと、前記第3フィルタで取り出されたビート信号と前記発振器が発振する周期信号の和と差の周波数成分を生成する第2ミキサと、前記第1ミキサから差の周波数成分を有するビート信号を取り出す第4フィルタと、前記第2ミキサから前記第4フィルタで取り出されたビート信号の周波数成分と異なる周波数成分のビート信号を取り出す第5フィルタと、前記第4フィルタで取り出されたビート信号と前記第5フィルタで取り出されたビート信号の和と差の周波数成分を生成する第3ミキサと、前記第3ミキサから差の周波数成分を有するビート信号を取り出す第6フィルタとをさらに備え、前記位相差測定部は、前記第6フィルタおよび前記第2フィルタからの2つのビート信号の位相差を測定することを特徴とする。
請求項11に記載の発明によれば、発振器の周波数の時間的なゆらぎが、測距受光部のビート信号から取り出した周波数成分に乗らないため、距離の測定精度が向上する。
本発明によれば、レーザ装置の共振器長を固定化する手段や、周波数を安定化する手段を設けずに、周波数が変化する2以上の周期信号の位相差から距離を測定することができる。
1.第1の実施形態
以下、距離測定装置の一例について、図面を参照して説明する。
以下、距離測定装置の一例について、図面を参照して説明する。
図1は、第1の実施形態に係る距離測定装置のブロック図である。距離測定装置は、フェムト秒モード同期レーザ装置1、スプリッタ2、基準受光部3、ハーフミラー4、ハーフミラー5、測定受光部6、レンズ7、コーナーキューブ8、レンズ9、チョッパー10、第2フィルタ11、第3フィルタ13、第1フィルタ14、ミキサ15、第4フィルタ16、位相差測定回路12、距離測定部17を備える。距離測定装置は、光周波数コムを用いたフェムト秒コム距離計であり、距離測定装置から測定対象物に設けられるコーナーキューブ8までの距離を測定する。
フェムト秒モード同期レーザ装置1は、フェムト秒という非常に短いパルス幅のパルスを一定間隔で出力する。1つのパルスは、広い周波数スペクトルを有している。周波数スペクトルは、光パルスの繰り返し周波数で一定間隔に並び、かつ、モード間の位相が揃った多数の離散スペクトル(縦モード)で構成されている。正確な間隔の縦モードが櫛の歯のように多数立つため、この光パルスは、光周波数コム(comb)と呼ばれている。
フェムト秒モード同期レーザ装置1は、例えば、励起光源、光ファイバ、光アイソレータ、可飽和吸収体、光カプラを備える。励起光源には、レーザダイオード等の励起用半導体レーザを使用し、光ファイバには、エルビウム等の希土類イオンをドープしたシングルモード光ファイバを使用する。共振器は、光ファイバでリング状に形成される。リング共振器内には、光アイソレータ、可飽和吸収体、および光カプラが配置される。
励起光源からの光は、光ファイバ内に入射する。光アイソレータは、共振器内に入射した光の反射を防ぐ。可飽和吸収体は、強度の弱い光を吸収し、強度の強い光で飽和する。これにより、各モード間の位相が時間的に同期すると共に、位相差が一定となる(モード同期)。各モードの光が共振器内で互いに干渉し、フェムト秒台の超短パルスが多重モード発振する。光カプラは、リング共振器から光パルスを取り出す。
なお、モード同期方法としては、共振器内に可飽和吸収体を挿入する受動モード同期(passive mode locking)の他、光変調器による強制モード同期(forced mode locking)を用いてもよい。光変調器は、共振器内における光巡回時間の逆数の自然数倍に等しい繰り返し周波数で共振器内の光を変調する。
例えば、フェムト秒モード同期レーザ装置1の共振器長Lが4m、光ファイバの屈折率nが1.5、真空中の光速度cが3×108m/sである場合、以下の式からリング共振器内における光巡回時間Tは20nsであり、光パルスの繰り返し周波数frは50MHzとなる。
フェムト秒モード同期レーザ装置1からの光束は、スプリッタ2によって基準受光部3に向かう基準光27と、測距用の光束(測距光28と内部参照光29)に分けられる。基準光27は、基準受光部3で受光され、測距用の光束と位相を比較するための基準信号となる。
測距用の光束は、ハーフミラー4によって測距光28と内部参照光29に分けられる。内部参照光29は、ハーフミラー5によって反射されて、測定受光部6に入射する。測距光28は、レンズ7を透過して、測定対象物のコーナーキューブ8で反射する。反射した測距光28は、レンズ9を透過して、ハーフミラー5を透過し、測定受光部6に受光され、測距信号となる。
測距光28と内部参照光29は、チョッパー10によって交互に切り替えられる。チョッパー10の切り替え前後における測距値の差を取ることで、内部参照光路aと外部測定光路bの差の距離が測定される。
次に信号処理について説明する。第2フィルタ11は、基準受光部3の受光信号から、測距用の光束と位相を比較するための所望の周波数成分を抜き出す。この周波数成分は、光パルスの繰り返し周波数(例えば50MHz)の整数倍の周波数となるが、ここでは、光パルスの繰り返し周波数に等しい周波数成分を抜き出す。第2フィルタ11からの基準信号は、位相差測定回路12に入力する。
第1フィルタ14は、測定受光部6の受光信号から測距用の周波数成分(例えば10GHz)を抜き出す。第3フィルタ13は、基準受光部3の受光信号から、第1フィルタ14で抜き出した周波数成分と僅かに差がある周波数成分(例えば10GHz+50MHz)を抜き出す。なお、「僅かに差がある」とは、光パルスの繰り返し周波数(50MHz)分だけ差があることをいうが、これに限ることはなく、第1フィルタ14と第3フィルタ13で抜き出す周波数成分の差は、前記第2フィルタ11で抜き出した成分の周波数と等しくなるように設定すれば良い。
ミキサ15は、第1フィルタ14および第3フィルタ13によって抜き出された2つの周波数成分を乗算し、和と差の周波数成分を生成する。第4フィルタ16は、差の周波数成分(50MHz)を抜き出す。これによって、測距信号は、光パルスの繰り返し周波数(50MHz)にまでビートダウンされる。第4フィルタ16からの測距信号は、位相差測定回路12に入力する。
なお、光周波数コムは、広い周波数帯域にあるため、第1フィルタ14および第3フィルタ13で抜き出す周波数成分(波長)を可変にし、測定環境に応じた距離測定を行ってもよい。これによって、空気の屈折率が気温や気圧変化、浮遊物や霧等によって変化しても精度良く距離測定を行うことができる。
位相差測定回路12は、基準信号および測距信号の処理信号周波数(fin)と非同期のサンプリング周波数(fs)でサンプリングを行い、finを検出する。検出されたfinに基づいて、サンプル波形は、最小二乗法を用いて正弦波形にフィッティングされる。そして、位相差測定回路12は、基準信号と測距信号の正弦波形の位相差を測定する。
位相差のデータは、距離測定部17に出力される。距離測定部17は、その位相差から距離を測定する。位相差をΔφ、距離をD、周波数をf、光速をCとすれば、位相差は、Δφ=4πfDCと表される。コーナーキューブ8までの距離は、内部参照光路aと外部測定光路bの差として算出される。
以下、位相差測定回路12の構成について説明する。図2は、位相差測定回路のブロック図である。位相差測定回路12は、サンプリング部18、入力アンプ19、バンドパスフィルタ(BPF)20、入力アンプ21、BPF22、位相差測定部23、発振器24、入力アンプ25、二値化回路26を備える。
サンプリング部18は、2チャンネル(Ch1,Ch2)の入力を持つA/D変換器である。2チャンネル持つため、2つの入力信号は、同じ変換タイミングでA/D変換される。位相差測定部23は、FPGA(Field Programmable Gate Array)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)などの半導体集積装置で構成される。位相差測定部23のクロック源を出力する発振器24は、温度補償型水晶発振器(TCXO)、電圧制御水晶発振器(VCXO)で構成される。
以下、位相差測定回路12における信号処理について説明する。測距信号は、入力アンプ19で増幅され、波形整形用のBPF20を通過して、サンプリング部18のCh1に入力する。基準信号は、入力アンプ21で増幅され、波形整形用のBPF22を通過して、サンプリング部18のCh2に入力する。また、基準信号は、入力アンプ25で増幅され、二値化回路26によって二値化されて、位相差測定部23に入力する。なお、二値化回路26は、基準信号の替わりに、測距信号を二値化してもよい。
位相差測定部23は、二値化回路26からの二値化データを入力する。位相差測定部23は、二値化結果に基づき、処理信号周波数(fin)と一定の関係になるようにサンプリング周波数(fs)を生成する。この構成により、finが共振器長の変化に伴って大きく変化しても、fsは動的に変更され、一定の関係に保たれる。fsとfinとの関係については、後述する。
位相差測定部23で生成されたfsは、サンプリング部18に入力する。サンプリング部18は、位相差測定部23で生成されたfsで、2つの処理信号をサンプリングする。サンプリング結果は、位相差測定部23に入力される。位相差測定部23は、サンプリング結果に基づき、finを検出し、最小二乗法を用いてサンプル波形を正弦波形にフィッティングする。そして、位相差測定回路12は、基準信号と測距信号の正弦波形の位相差を測定する。測定された位相差は、距離測定部17に出力される。
以下、finとfsとの関係について説明する。図3は、fin<fsの場合の処理信号波形を示す図(A)と、サンプル波形を示す図(B)である。図3(A)に示すように、finに対してfsが十分に高い場合にはサンプル数が多くなるため、図3(B)に示すように、サンプリングされたデータをそのまま並べれば、元の波形を再現できる。
図3では、簡易的にfs=6×finというfsとfinが同期した関係でサンプリングが行われているが、実際には両者は非同期であるため、fsとfinの周波数差を大きく取り、1周期中のサンプル数を多くしたり、サンプルする位相の数を増やしたりすることで、精密な位相差測定が行われる。
例えば、finが50MHz±Δfである場合には、fsは約500MHz以上の周波数が必要となる。したがって、fin<fsの場合には位相差測定回路12の構成が複雑かつ高価になる。
回路構成を簡易かつ安価に構成するためには、アンダーサンプリング(fin>fs、fr>fs)が好適である。図4は、fin>fsの場合の処理信号波形を示す図(A)と、サンプル波形を示す図(B)である。図4(B)に示すように、得られるサンプル波形はぎざぎざの変化を示し、サンプリングされたデータをそのまま並べただけでは元の波形を再現できない。
そこで、finとfsの関係を以下に示す関係式の状態にすることで、得られるデータを並べただけで、新しい正弦波信号を生成し、その周期を調べることでfinを計算で求めることができる。
finとfsの関係が上式を満たしている例を図5に示す。図5(A)は、fin>fsであり、finとfsが上式の関係にある処理信号波形を示す図であり、図5(B)は、サンプル波形を示す図である。
この例では、n=3、a=1/10に設定されている。すなわち、サンプル周期にはfinの周期が3つあり、サンプル波形で再現されたfinの1周期には、10個のサンプルデータがある。なお、nおよびaは、図示省略した操作部によって変更可能である。
この場合、位相差測定部23は、二値化回路26からの二値化結果に基づき、finが約49.5MHzであると判断した場合には、上式からfsを49.5MHz/(3−1/10)≒17.07MHzに変更する。これによって、finとfsは一定の関係(nが一定)となる。
サンプリング部18は、位相差測定部23によって生成されたfs(17.07MHz)で測距信号および基準信号をサンプリングする。サンプリングされたデータは、サンプリング18から位相差測定部23に出力される。
位相差測定部23は、サンプリングされたデータを並べてサンプル波形を作り、サンプル波形で再現されたfinの1周期内のサンプル数を計算し、aを求める。aが求まれば、nは一定なので、finが検出される。
例えば、このサンプル数が11個である場合には、上式から、fin=17.07MHz×(3−1/11)≒49.66MHzとなる。
finが求まると、位相差測定部23は、最小二乗法を用いて、2つの処理信号のサンプルデータを49.66MHzの正弦波にフィッティングする。また、位相差測定部23は、得られた2つの正弦波の位相差を測定する。位相差は、距離測定部17に出力される。
なお、nおよびaの設定において、例えば、二値化結果に基づくfinが48.683MHz、n=26、a=1/100とした場合、fsは、48.683÷(26+1/100)≒1.873MHzに変更される。
このように、nをより大きくすることで、より低いfs(1.873MHz)で安定したサンプリングを行うことができる。すなわち、fin(48.683MHz)の処理信号を、見かけ上20kHz程度の信号と同じようにサンプリングすることができる。
また、aをより小さくすることで、サンプル波形の1周期中のサンプル数が多くなるため、fin(48.683MHz±Δf)をより精密に検出することができる。
(第1の実施形態の優位性)
第1の実施形態によれば、フェムト秒モード同期レーザ装置1の共振器長を固定化する手段や、周波数を安定化する手段を設けずに、2つの処理信号の周波数を計算で求め、その位相差から距離を測定することができる。
第1の実施形態によれば、フェムト秒モード同期レーザ装置1の共振器長を固定化する手段や、周波数を安定化する手段を設けずに、2つの処理信号の周波数を計算で求め、その位相差から距離を測定することができる。
また、アンダーサンプリング(fin>fs)でfinを検出するため、位相差測定回路12を簡易かつ安価な構成にすることができる。
なお、fsは、finと、サンプル周期に含まれるfinの周期の整数(n)と、1/finの1周期内のサンプル数(a)との関係式fin=fs×(n±a)に基づいて設定される。
このnおよびaは、図示省略した操作部によって変更可能である。nをより大きく設定することで、より低いfsで安定したサンプリングを行うことができる。また、aをより小さく設定することで、処理信号の1周期内のサンプル数が多くなり、finを精密に検出することができる。
また、finの変化に対してnが一定である場合、サンプルデータを並べた波形の1周期内のサンプル数(1/a)を数えるだけで、finを検出することができる。
なお、基準信号を二値化することによって、finとfsを一定の関係(nを一定)にすることができる。
2.第2の実施形態
以下、第1の実施形態の変形例について説明する。第1の実施形態では、フェムト秒モード同期レーザ装置1からの基準光27の受光信号を用いて、測距信号の周波数を低くした(セルフビートダウン法)。
以下、第1の実施形態の変形例について説明する。第1の実施形態では、フェムト秒モード同期レーザ装置1からの基準光27の受光信号を用いて、測距信号の周波数を低くした(セルフビートダウン法)。
第2の実施形態では、基準光27の受光信号を用いずに、測距信号の周波数をビートダウンする方法(ローカルオシレータ法)について説明する。なお、第1の実施形態と同様の構成については、説明を省略する。
図6は、第2の実施形態に係る距離測定装置のブロック図である。第1フィルタ14と第2フィルタ11は、それぞれ測定受光部6の受光信号および基準受光部3の受光信号から、同一の高周波数成分(例えば40GHz近辺)を抜き出す。なお、ここで抜き出す周波数成分は、単一周波数成分である必要はなく、その周辺の周波数成分が抜き出されれば良い。そして、第1フィルタ14と第2フィルタ11を通過した周波数成分は、それぞれ第1ミキサ31および第2ミキサ32に出力される。
第1ミキサ31および第2ミキサ32は、第1フィルタ14および第2フィルタ11から入力した高周波数成分(例えば40GHz近辺)と僅かに差がある周波数成分(例えば40GHz+10MHz)を発振器30から入力する。
第1ミキサ31は、第1フィルタ14で抜き出された高周波数成分(40GHz近辺)と発振器30からの高周波数成分(40GHz+10MHz)との和と差の周波数成分を第3フィルタ33に出力する。第3フィルタ33は、差の周波数成分(10MHz)を抜き出し、測距信号として位相差測定回路12に出力する。なお、差の周波数成分(10MHz)以外の周波数成分は、その差の周波数成分から離れた値となるので、たとえ第1フィルタ14で単一周波数成分を抜き出さなくても、第3フィルタ33によって容易に分離できる。
第2ミキサ32は、第2フィルタ11で抜き出された高周波数成分(40GHz近辺)と発振器30からの高周波数成分(40GHz+10MHz)との和と差の周波数成分を第4フィルタ34に出力する。第4フィルタ34は、差の周波数成分(10MHz)を抜き出し、基準信号として位相差測定回路12に出力する。
位相差測定回路12は、第3フィルタ33で抜き出された測距信号と第4フィルタ34で抜き出された基準信号を入力する。位相差測定回路12および距離測定部17における処理は、第1の実施形態と同様である。
(第2の実施形態の優位性)
光周波数コムの周波数間隔は、予め定めた共振器長で決まる光パルスの繰り返し周波数である。例えば、この周波数間隔が50MHzの場合には、セルフビートダウン法で50MHzより低い周波数成分(例えば10MHz)を抜き出すのは不可能である。
光周波数コムの周波数間隔は、予め定めた共振器長で決まる光パルスの繰り返し周波数である。例えば、この周波数間隔が50MHzの場合には、セルフビートダウン法で50MHzより低い周波数成分(例えば10MHz)を抜き出すのは不可能である。
また、距離の測定分解能を上げるために、高周波数成分(例えば40G)が必要であるが、この高周波数成分と僅かに差がある高周波数成分(40GHzと40G+50MHz)を一本だけ電気的なフィルタで抜き出すのは困難である。
しかしながら、第2の実施形態によれば、発振器30を用いて、僅かに差がある高周波数成分(40GHz+10MHz)を生成するため、10MHzまで周波数をビートダウンすることができる。これにより、距離の測定精度を向上することができる。
3.第3の実施形態
以下、第2の実施形態の変形例について説明する。図7は、第3の実施形態に係る距離測定装置のブロック図である。距離測定装置は、第2の実施形態で用いた発振器30の替わりに第5フィルタ40を備える。また、第1フィルタ14と第2フィルタ11は単一周波数成分(例えば10GHz)を抜き出す構成となっている。第1および第2の実施形態と同様の構成については、説明を省略する。
以下、第2の実施形態の変形例について説明する。図7は、第3の実施形態に係る距離測定装置のブロック図である。距離測定装置は、第2の実施形態で用いた発振器30の替わりに第5フィルタ40を備える。また、第1フィルタ14と第2フィルタ11は単一周波数成分(例えば10GHz)を抜き出す構成となっている。第1および第2の実施形態と同様の構成については、説明を省略する。
第5フィルタ40は、基準受光部3からの受光信号を入力する。第5フィルタ40は、第1フィルタ14および第2フィルタ11から出力される周波数成分(例えば10GHz)と僅かに差がある周波数成分(例えば10GHz+50MHz)を基準受光部3の受光信号から抜き出す。なお、この周波数成分の差は、光周波数コムの周波数間隔(50MHz)の整数倍であれば良いが、ここでは光周波数コムの周波数間隔と等しく設定してある。
第1ミキサ31は、第1フィルタ14で抜き出された周波数成分(10GHz)と第5フィルタ40からの周波数成分(10GHz+50MHz)との和と差の周波数成分を第3フィルタ33に出力する。第3フィルタ33は、差の周波数成分(50MHz)を抜き出し、測距信号として位相差測定回路12に出力する。
第2ミキサ32は、第2フィルタ11で抜き出された周波数成分(10GHz)と第5フィルタ40からの周波数成分(10GHz+50MHz)との和と差の周波数成分を第4フィルタ35に出力する。第4フィルタ34は、差の周波数成分(50MHz)を抜き出し、基準信号として位相差測定回路12に出力する。位相差測定回路12および距離測定部17における処理は、第1の実施形態と同様である。
(第3の実施形態の優位性)
第3の実施形態によれば、基準光27の受光信号を用いて、測距信号および基準信号の周波数を低くすることができる。
第3の実施形態によれば、基準光27の受光信号を用いて、測距信号および基準信号の周波数を低くすることができる。
4.第4の実施形態
以下、第2の実施形態の変形例について説明する。第4の実施形態では、図6の発振器30における発振周波数のゆらぎの問題を改善する。図8は、第4の実施形態に係る距離測定装置のブロック図であり、図9は、光周波数コムと第4の実施形態との関係を説明する説明図である。なお、第1および第2の実施形態と同様の構成については、説明を省略する。
以下、第2の実施形態の変形例について説明する。第4の実施形態では、図6の発振器30における発振周波数のゆらぎの問題を改善する。図8は、第4の実施形態に係る距離測定装置のブロック図であり、図9は、光周波数コムと第4の実施形態との関係を説明する説明図である。なお、第1および第2の実施形態と同様の構成については、説明を省略する。
第1フィルタ14は、測定受光部6からの受光信号から第1の高周波数成分(例えば40GHz)を含む高周波数成分(例えば40GHz近辺)を抜き出す。第3フィルタ13は、第1フィルタ14で抜き出した高周波数成分と僅かに差がある第2の高周波成分(例えば40GHz+50MHz)を含む高周波数成分(例えば40GHz+50MHz近辺)を抜き出す。
発振器50は、第1の高周波数成分(40GHz)および第2の高周波数成分(40GHz+50MHz)と十分に差がある単一高周波数成分(39GHz)を第1ミキサ31と第2ミキサ32に出力する。なお、「十分に差がある」とは、ある周波数(例えば40GHz)の40分の1以上の差(1GHz)があることをいう。
第1ミキサ31は、第1フィルタ14からの高周波数成分(40GHz近辺)と発振器50の単一高周波数成分(39GHz)を乗算して、和と差の周波数成分を生成する。第4フィルタ51は、第1の高周波数成分と発振器50の単一高周波数成分との差の周波数成分(1GHz)を抜き出す。なお、第1フィルタ14は、この差の周波数成分(1GHz)と同じ値の周波数成分を生成する高周波数成分(例えば38GHz)を含まないように設定されている。
第2ミキサ32は、第3フィルタ13からの高周波数成分(40GHz+50MHz近辺)と発振器50の単一高周波数成分(39GHz)を乗算して、和と差の周波数成分を生成する。第5フィルタ52は、第2の高周波数成分と発振器50の単一高周波数成分との差の周波数成分(1GHz+50MHz)を抜き出す。なお、第3フィルタ13は、この差の周波数成分(1GHz+50MHz)と同じ値の周波数成分を生成する高周波数成分(例えば37GHz+950MHz)を含まないように設定されている。
第3ミキサ53は、第4フィルタ51からの周波数成分(1GHz)と、第5フィルタ52からの周波数成分(1GHz+50MHz)を乗算して、和と差の周波数成分を生成する。第6フィルタ54は、差の周波数成分(50MHz)の測距信号を抜き出す。測距信号は、位相差測定回路12に入力する。
第2フィルタ11は、基準受光部3からの受光信号から、第6フィルタ54から位相差測定回路12に入力された周波数成分と同じ周波数の低周波数成分(50MHz)の基準信号を抜き出す。ここでは、基準信号の周波数は、光パルスの繰り返し周波数(50MHz)と等しくなるよう設定している。基準信号は、位相差測定回路12に入力する。位相差測定回路12および距離測定部17における処理は、第1の実施形態と同様である。
(第4の実施形態の優位性)
第2の実施形態では、図6の発振器30の発振周波数は、時間的なゆらぎを有しているため、第1フィルタ14および第2フィルタ11からの高周波数成分(40GHz)と僅かな差しかない発振器30の高周波数成分(40GHz+10MHz)をミキシングすると、そのゆらぎが、ビートダウンする測距信号(10MHz)に乗ってしまう。
第2の実施形態では、図6の発振器30の発振周波数は、時間的なゆらぎを有しているため、第1フィルタ14および第2フィルタ11からの高周波数成分(40GHz)と僅かな差しかない発振器30の高周波数成分(40GHz+10MHz)をミキシングすると、そのゆらぎが、ビートダウンする測距信号(10MHz)に乗ってしまう。
第4の実施形態によれば、発振器50の周波数に時間的なゆらぎがあったとしても、同等のゆらぎを有する周波数成分同士を第3ミキサ53で乗算し、差の周波数成分を第6フィルタ54で抜き出すので、そのゆらぎはキャンセルされてビートダウンした測距信号(50MHz)に乗らない。したがって、時間的なゆらぎが小さい発振器を使用する必要がない。また、時間的なゆらぎが大きい発振器を用いたとしても、安定して距離を測定することができる。
本発明は、光周波数コムを用いて、2以上の周期信号の位相差から距離を測定する距離測定装置に用いることができる。
1…フェムト秒モード同期レーザ装置、2…スプリッタ、3…基準受光部、4…ハーフミラー、5…ハーフミラー、6…測定受光部、7…レンズ、8…コーナーキューブ、9…レンズ、10…チョッパー、11…第2フィルタ、12…位相差測定回路、13…第3フィルタ、14…第1フィルタ、15…ミキサ、16…第4フィルタ、17…距離測定部、18…サンプリング部、19…入力アンプ、20…バンドパスフィルタ、21…入力アンプ、22…バンドパスフィルタ、23…位相差測定部、24…発振器。
Claims (11)
- レーザ光束として光周波数コムを発生するレーザ装置と、
前記レーザ光束を基準光と測距光に分割する分割手段と、
前記基準光を受光して複数のビート信号を出力する基準受光部と、
前記測距光を受光して複数のビート信号を出力する測定受光部と、
前記測定受光部から少なくとも一つのビート信号を取り出す第1フィルタと、
前記基準受光部から少なくとも一つのビート信号を取り出す第2フィルタと、
前記第1フィルタおよび前記第2フィルタを介して入力するビート信号の周波数と非同期のサンプリング周波数で前記ビート信号をサンプリングするサンプリング部と、
前記サンプリング部が出力するサンプル結果に基づいて、前記ビート信号の実際の周波数を演算すると共に、前記第1フィルタおよび前記第2フィルタを介して入力する2つのビート信号の位相差を測定する位相差測定部と、
前記位相差測定部の測定する位相差に基づいて距離を測定する距離測定部と、を備えることを特徴とする距離測定装置。 - 前記サンプリング周波数(fs)は、前記レーザ装置で予め定めた共振器長によって決まる光パルスの繰り返し周波数(fr)よりも低いことを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。
- 前記サンプリング周波数(fs)は、前記第1フィルタまたは前記第2フィルタを介して入力するビート信号の実際の周波数(fin=fr±Δf)よりも低いことを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。
- 前記サンプリング周波数(fs)は、前記ビート信号の実際の周波数(fin)と、サンプル周期に含まれるfinの周期の整数(n)と、1/finの1周期内のサンプル数(a)との関係式fin=fs×(n±a)に基づいて設定されていることを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。
- 前記サンプル周期に含まれるfinの周期の整数(n)と、前記1/finの1周期内のサンプル数(a)は、変更可能であることを特徴とする請求項4に記載の距離測定装置。
- 前記ビート信号の実際の周波数(fin)は、前記サンプル結果で構成される波形の1周期内のサンプル数(1/a)に基づいて演算されることを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。
- 前記第1フィルタまたは前記第2フィルタを介して入力するビート信号を二値化する二値化回路をさらに備え、前記位相差測定部は、前記二値化回路からの二値化結果に基づき、サンプリング周波数を変更することを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。
- 前記基準受光部からビート信号を入力して、前記第1フィルタが取り出すビート信号の周波数成分と異なる周波数成分のビート信号を取り出す第3フィルタと、
前記第1フィルタと前記第3フィルタが取り出す2つのビート信号の和と差の周波数成分を生成するミキサと、
前記ミキサから差の周波数成分を有するビート信号を取り出す第4フィルタとをさらに備え、
前記位相差測定部は、前記第3フィルタおよび前記第2フィルタからの2つのビート信号の位相差を測定することを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。 - 前記第1フィルタおよび前記第2フィルタが取り出すビート信号の周波数成分と異なる周波数の周期信号を発振する発振器と、
前記第1フィルタが取り出すビート信号と前記発振器が発振する周期信号の和と差の周波数成分を生成する第1ミキサと、
前記第2フィルタが取り出すビート信号と前記発振器が発振する周期信号の和と差の周波数成分を生成する第2ミキサと、
前記第1ミキサから差の周波数成分を有するビート信号を取り出す第3フィルタと、
前記第2ミキサから差の周波数成分を有するビート信号を取り出す第4フィルタとをさらに備え、
前記位相差測定部は、前記第3フィルタおよび前記第4フィルタからの2つのビート信号の位相差を測定することを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。 - 前記発振器の替わりに、前記第1フィルタおよび前記第2フィルタが取り出すビート信号の周波数成分と異なる周波数成分のビート信号を前記基準受光部から取り出す第5フィルタをさらに備えることを特徴とする請求項7に記載の距離測定装置。
- 前記基準受光部からビート信号を入力して、少なくとも一つのビート信号を取り出す第3フィルタと、
前記第1フィルタおよび前記第2フィルタが取り出すビート信号の周波数成分と異なる周波数の周期信号を発振する発振器と、
前記第1フィルタで取り出されたビート信号と前記発振器が発振する周期信号の和と差の周波数成分を生成する第1ミキサと、
前記第3フィルタで取り出されたビート信号と前記発振器が発振する周期信号の和と差の周波数成分を生成する第2ミキサと、
前記第1ミキサから差の周波数成分を有するビート信号を取り出す第4フィルタと、
前記第2ミキサから前記第4フィルタで取り出されたビート信号の周波数成分と異なる周波数成分のビート信号を取り出す第5フィルタと、
前記第4フィルタで取り出されたビート信号と前記第5フィルタで取り出されたビート信号の和と差の周波数成分を生成する第3ミキサと、
前記第3ミキサから差の周波数成分を有するビート信号を取り出す第6フィルタとをさらに備え、
前記位相差測定部は、前記第6フィルタおよび前記第2フィルタからの2つのビート信号の位相差を測定することを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。
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