JP2003144826A - ファンスクラバー - Google Patents

ファンスクラバー

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JP2003144826A
JP2003144826A JP2001344239A JP2001344239A JP2003144826A JP 2003144826 A JP2003144826 A JP 2003144826A JP 2001344239 A JP2001344239 A JP 2001344239A JP 2001344239 A JP2001344239 A JP 2001344239A JP 2003144826 A JP2003144826 A JP 2003144826A
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Kazutaka Okuda
和孝 奥田
Kotaro Kawamura
興太郎 川村
Takeshi Tsuji
健 辻
Yuji Shirao
祐司 白尾
Yoshihiro Ueda
美洋 植田
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Ebara Corp
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SAN TECHNO KK
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 排ガス中の微細なダストの除去率を向上させ
ることができるファンスクラバーを提供すること。 【解決手段】 排ガス吸込口及び排ガス吐出口を備えた
ケーシング２１と、該ケーシング２１内に配置され回転
する羽根車２３と、該羽根車２３内に洗浄液２４を噴出
するノズル２５とを具備し、該羽根車２３の中心部に排
ガス吸込口からのダストを含む排ガスを吸込むと共に、
ノズル２５から洗浄液２４を噴出し、該洗浄液２４の微
粒に排ガス中に含まれるダストを捕獲させて該排ガス中
のダストを除去するファンスクラバーにおいて、ケーシ
ング２１内の羽根車２３の略全周囲に該羽根車２３を出
る排ガス及び洗浄液２４の微粒が衝突する衝突板３１を
連続的に配置した。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ダストを含む排ガ
ス中から該ダストを効率よく除去するファンスクラバー
に関するものである。
【０００２】例えば、半導体製造プロセス、液晶パネル
製造プロセスから排出されるシランガス（ＳｉＨ4）、
或いはハロゲン系のガス（ＮＦ3，ＣｌＦ3，ＳＦ6，Ｃ
ＨＦ3，Ｃ2Ｆ6，ＣＦ4等）を含む有害可燃性、若しくは
難分解性ガスはそのまま大気に放出することができな
い。そこで、上記有害可燃性、若しくは難分解性ガスを
含む排ガスは、図１に示す構成の排ガス処理システムを
用いて無害化し、大気中に放出している。
【０００３】排ガス処理システムは、排ガス処理装置１
にファンスクラバー２０を接続した構成である。酸化に
より微細なダストを生成するＳｉＨ4等のガスを含む排
ガスＧは、排ガス処理装置１の燃焼器３に導入され、燃
焼器３内に形成される火炎４により微細なダストを含む
ガスとなり、液体噴霧部２内でノズル５から噴出された
冷却液（主に水）６により冷却された後、ファンスクラ
バー２０に導入される。また、ノズル５から噴出され、
排ガスＧの冷却に寄与した冷却液６はＵ字状の排液管７
を通って排出される。
【０００４】ファンスクラバー２０は、ケーシング２１
と、該ケーシング２１内の中心部に配置され、高速回転
用モーター２２により回転させる羽根車２３と、該羽根
車２３の中心部に配置され洗浄液（主に水）２４を噴出
するノズル２５を具備する構成である。排ガス処理装置
１からの排ガスＧは、ファンスクラバー２０の回転する
羽根車２３内に吸込まれる。排ガス中のダストは羽根車
２３の回転によりノズル２５から噴出された洗浄液２４
と攪拌され、吸着され、Ｕ字状の排液管２６を通って排
出される。
【０００５】羽根車から出た排ガスＧはミストキャッチ
ャー２７に導入され、排ガスＧ中のミストは該ミストキ
ャッチャー２７により除去され、排ガス吐出口２８から
大気中に放出される。
【０００６】上記のように半導体製造プロセス等から排
出されるＳｉＨ4等のガスを含む排ガスＧを排ガス処理
装置１で加熱酸化分解により無害化した排ガス中には、
１μｍ程度かそれ以下の微細なダストを高濃度に含む。
このような微細なダストを含む排ガスを従来構成のファ
ンスクラバーで浄化した場合、ダストの除去率は２０〜
６０％程度にとどまり、ダスト除去効果が低いという問
題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の点に鑑
みてなされたもので、排ガス中の微細なダストの除去率
を向上させることができるファンスクラバーを提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、排ガス吸込口及び排ガス吐出
口を備えたケーシングと、該ケーシング内に配置され回
転する羽根車と、該羽根車内に洗浄液を噴出するノズル
とを具備し、該羽根車の中心部に排ガス吸込口からのダ
ストを含む排ガスを吸込むと共に、ノズルから洗浄液を
噴出し、該洗浄液の微粒に排ガス中に含まれるダストを
捕獲させて該ガス中のダストを除去するファンスクラバ
ーにおいて、ケーシング内の羽根車の略全周囲に該羽根
車を出る排ガス及び洗浄液の微粒が衝突する衝突板を配
置したことを特徴とする。
【０００９】上記のように、ケーシング内の羽根車の略
全周囲に該羽根車を出る排ガス及び洗浄液の微粒が衝突
する衝突板を配置したので、羽根車を出た排ガス及び洗
浄液の微粒は衝突板に衝突し、該羽根車の略全周囲で乱
流を発生させる。この乱流により、排ガスと洗浄液の微
粒の混合や、大きな洗浄液の液滴が衝突板に衝突したと
き飛び散る微細な液滴の生成を促進させる。その結果、
ダストの液滴への吸着率が向上する。
【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のファンスクラバーにおいて、排ガス吐出口をケーシン
グ頂部に立設し、羽根車を出た排ガスを該排ガスの流れ
方向と逆方向に導く排ガス案内板を介して該排ガス吐出
口に導くことを特徴とする。
【００１１】上記のように、排ガス吐出口をケーシング
頂部に立設し、羽根車を出た排ガスを該排ガスの流れ方
向と逆方向に導く排ガス案内板を介して該排ガス吐出口
に導くので、羽根車の回転により発生する多数の液滴が
直接排ガス吐出口に向かうことなく、洗浄液排出口から
直接ケーシング外に排出され、ミストキャッチャーの負
荷の低減や、該ミストキャッチャーから逆流してくる洗
浄液の量を低減させることにより、モーターの負荷の低
減が可能となる。
【００１２】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
に記載のファンスクラバーにおいて、羽根車の中心部に
周囲に多数の孔を形成された筒体を、その一端が該羽根
車の内側面で閉塞されるように取り付け、該筒体に洗浄
液を噴出するノズルを挿入配置したことを特徴とする。
【００１３】上記のように羽根車の中心部に周囲に多数
の孔を形成された筒体を、その一端が該羽根車の内側面
で閉塞されるように取り付け、該筒体に洗浄液を噴出す
るノズルを挿入配置したので、羽根車が高速回転するこ
とにより、筒体も高速に回転し、筒体の多数の孔から微
細な液滴が噴出され、該液滴により筒体と羽根車の羽根
との間の空間が満され、該空間を通る排ガス中の微細な
ダストは液滴により効率良く除去される。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基いて説明する。図２は本発明（請求項１に記載の
発明）に係るファンスクラバーの構成を示す断面図であ
る。なお、図２において、図１と同一符号を付した部分
は同一又は相当部分を示す。本ファンスクラバー２０
は、排ガス吸込口（図示せず）及び排ガス吐出口２８を
備えたケーシング２１と、該ケーシング２１内に配置さ
れ回転する羽根車２３と、該羽根車２３内に洗浄液２４
を噴出するノズル２５とを具備している。羽根車２３内
は２枚の側板３４の外周部に羽根２９を所定の間隔で均
等配置した構成であり、モーター２２（図１参照）によ
り矢印Ａに示すように回転するようになっている。
【００１５】ケーシング２１内で、且つ羽根車２３内の
該外周には羽根車２３の外周部と所定の間隔を設けて衝
突板取付板３０が設けられ、該衝突板取付板３０の内側
（羽根車２３側）には断面山型の衝突板３１が羽根車２
３内の略全周囲を囲むように連続的に設けられている。
羽根車２３の中心部に排ガス吸込口（図１参照）からの
ダストを含む排ガスを吸込むと共に、ノズル２５から洗
浄液（主に水）を噴出し、該洗浄液の微粒に排ガス中に
含まれるダストを捕獲させ、該洗浄液の微粒はケーシン
グ２１の底部に集まり、排液管２６を通って排出され
る。
【００１６】上記のように、ケーシング２１内の羽根車
２３の略全周囲に衝突板３１を連続的に配置することに
より、羽根車２３を出た排ガス及び洗浄液２４の微粒は
衝突板３１に衝突し、乱流を発生させる。この乱流によ
り、排ガスと洗浄液２４の微粒の混合や、大きな洗浄液
２４の液滴が衝突板３１に衝突したとき、飛び散る微細
な液滴の生成を促進させるから、排ガス中の微細なダス
トの除去率が向上する。
【００１７】排ガス吐出口２８はケーシング２１の頂部
中央に立設され、羽根車２３を出た排ガスＧは衝突板取
付板３０に設けた排ガス出口３６から出て排ガス案内板
３３により、その流れ方向３５と逆の方向に導かれ、ミ
ストキャッチャー２７を通って排ガス吐出口２８から排
出されるようになっている。このように排ガス吐出口２
８をケーシング２１の頂部に立設し、羽根車２３を出た
排ガスＧを排ガス案内板３３によりその流れ方向３５と
逆方向に導き該排ガス吐出口２８から排出するので、羽
根車２３の回転により発生する多数の液滴が直接排ガス
吐出口２８に向かうことがなくなり、ミストキャッチャ
ー２７の負荷の低減や、ミストキャッチャー２７で捕獲
され、逆流してくる洗浄液の量を低減させることによ
り、モーターの負荷の低減が可能となる。
【００１８】排ガス案内板３３は排ガス吐出口２８に対
して傾斜させて設けている。例えば、排ガス吐出口２８
から離れるにつれて下方に垂れると、ミストキャッチャ
ー２７から戻る水滴は排ガス案内板３３を伝わって排液
管２６に向かうことになる。
【００１９】また、羽根車２３の中心部には図３に示す
ように、外周囲に多数の細孔３９が形成された筒体３８
を、図４に示すようにその一端が羽根車２３の側板３４
で閉塞されるように取り付け、更に他端に洗浄液を噴出
するノズル２５を挿入配置している。
【００２０】上記のように、筒体３８の一端を該羽根車
２３の側板３４で閉塞されるように取り付け、ノズル２
５を挿入配置することにより、羽根車２３を高速回転す
ると筒体３８も高速に回転し、ノズル２５から筒体３８
内に噴出した洗浄液は筒体３８の外周に設けた多数の細
孔３９から微細な液滴となって噴出する。そしてこの微
細な液滴が筒体３８と羽根車２３の羽根２９の間の空間
４２（図４参照）を満たすから、該空間４２を通る排ガ
ス中の微細なダストが効率良く該液滴に捕獲され、除去
される。なお、図４は羽根車２３及び筒体３８の内部構
成を示す断面図である。
【００２１】
【発明の効果】以上、説明したように各請求項に記載の
発明によれば下記のような優れた効果が得られる。
【００２２】請求項１に記載の発明によれば、ケーシン
グ内の羽根車の略全周囲に該羽根車を出る排ガス及び洗
浄液の微粒が衝突する衝突板を配置したので、羽根車を
出た排ガス及び洗浄液の微粒は衝突板に衝突し、該羽根
車の略全周囲で乱流を発生させる。この乱流により、排
ガスと洗浄液の微粒の混合や、大きな洗浄液の液滴が衝
突板に衝突したとき飛び散る微細な液滴の生成を促進さ
せ、排ガス中の微細なダストの除去率が向上する。
【００２３】請求項２に記載の発明によれば、排ガス吐
出口をケーシング頂部に立設し、羽根車を出た排ガスを
該排ガスの流れ方向に導く排ガス案内板を介して該排ガ
ス吐出口に導くので、羽根車の回転により発生する多数
の液滴が直接排ガス吐出口に向かうことなく、洗浄液排
出口から直接ケーシング外に排出され、ミストキャッチ
ャーの負荷の低減や、該ミストキャッチャーから逆流し
てくる洗浄液の量を低減させることにより、モーターの
負荷の低減が可能となる。
【００２４】請求項３に記載の発明によれば、羽根車の
中心部に周囲に多数の孔を形成された筒体を、その一端
が該羽根車の内側面で閉塞されるように取り付け、該筒
体に洗浄液を噴出するノズルを挿入配置したので、羽根
車が高速回転することにより、筒体も高速に回転し、筒
体の多数の孔から微細な液滴が噴出され、該液滴により
筒体と羽根車の羽根との間の空間を満し、該空間を通る
排ガス中の微細なダストは該液滴により効率良く除去さ
れるから、排ガス中のダストの除去効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】排ガス処理装置にファンスクラバーを接続した
排ガス処理システムの構成例を示す図である。
【図２】本発明に係るファンスクラバーの構成例を示す
断面図である。
【図３】本発明に係るファンスクラバーの構成例を示す
概略外観図である。
【図４】本発明に係るファンスクラバーの羽根車の内部
構成例を示す断面図である。
【符号の説明】
１ 排ガス処理装置 ２ 液体噴霧部 ３ 燃焼器 ４ 火炎 ５ ノズル ６ 冷却液 ７ 排液管 ２０ ファンスクラバー ２１ ケーシング ２２ 高速回転用モーター ２３ 羽根車 ２４ 洗浄液 ２５ ノズル ２６ 排液管 ２７ ミストキャッチャー ２８ 排ガス吐出口 ２９ 羽根 ３０ 衝突板取付板 ３１ 衝突板 ３３ 排ガス案内板 ３４ 側板 ３５ 排ガスの流れ方向 ３６ 排ガス出口 ３８ 筒体 ３９ 細孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川村 興太郎 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内 (72)発明者 辻 健 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内 (72)発明者 白尾 祐司 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内 (72)発明者 植田 美洋 埼玉県春日部市備後東八丁目11−10 Ｆターム(参考） 3K070 DA07 DA37 3K078 BA05 BA26 BA29 CA04 CA09 CA24 4D032 AC10 AC35 BA03 BB01 BB09

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 排ガス吸込口及び排ガス吐出口を備えた
    ケーシングと、該ケーシング内に配置され回転する羽根
    車と、該羽根車内に洗浄液を噴出するノズルとを具備
    し、該羽根車の中心部に前記排ガス吸込口からのダスト
    を含む排ガスを吸込むと共に、前記ノズルから洗浄液を
    噴出し、該洗浄液の微粒に前記排ガス中に含まれるダス
    トを捕獲させて該ガス中のダストを除去するファンスク
    ラバーにおいて、 前記ケーシング内の前記羽根車の略全周囲に該羽根車を
    出る排ガス及び洗浄液の微粒が衝突する衝突板を配置し
    たことを特徴とするファンスクラバー。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載のファンスクラバーにお
    いて、 前記排ガス吐出口をケーシング頂部に立設し、前記羽根
    車を出た排ガスを該排ガスの流れ方向と逆方向に導く排
    ガス案内板を介して該排ガス吐出口に導くことを特徴と
    するファンスクラバー。
  3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載のファンスクラバ
    ーにおいて、 前記羽根車の中心部に周囲に多数の孔を形成された筒体
    をその一端が該羽根車の内側面で閉塞されるように取り
    付け、該筒体に前記洗浄液を噴出するノズルを挿入配置
    したことを特徴とするファンスクラバー。
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