WO2023127144A1 - 排ガス浄化装置 - Google Patents

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WO2023127144A1
WO2023127144A1 PCT/JP2021/048927 JP2021048927W WO2023127144A1 WO 2023127144 A1 WO2023127144 A1 WO 2023127144A1 JP 2021048927 W JP2021048927 W JP 2021048927W WO 2023127144 A1 WO2023127144 A1 WO 2023127144A1
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exhaust gas
cleaning liquid
casing
impeller
fluid nozzle
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Inventor
啓志 今村
秀夫 原口
康弘 佐藤
Original Assignee
カンケンテクノ株式会社
北京康肯▲環▼保▲設▼▲備▼有限公司
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/38—Removing components of undefined structure
    • B01D53/40—Acidic components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/38—Removing components of undefined structure
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B01D—SEPARATION
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    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/77—Liquid phase processes
    • B01D53/78—Liquid phase processes with gas-liquid contact

Definitions

  • the present invention relates to an exhaust gas purifier for removing not only fine dust in exhaust gas but also gaseous air pollutants.
  • Patent Document 1 JP 2003-144826 A
  • the prior art is configured as follows. It comprises a casing having an exhaust gas inlet and an exhaust gas outlet, a rotating impeller arranged in the casing, and a nozzle for ejecting washing water into the impeller. Exhaust gas containing dust from the exhaust gas suction port is sucked into the center of the impeller, and cleaning water is jetted out from the nozzle, and the dust contained in the exhaust gas is captured by the fine particles of the cleaning water.
  • impingement plates are continuously arranged around substantially the entire circumference of the impeller in the casing against which fine particles of exhaust gas and washing water exiting the impeller collide.
  • the impingement plate is arranged substantially all around the impeller in the casing against which fine particles of exhaust gas and cleaning water coming out of the impeller collide. collides with the impingement plate and generates turbulence around the entire circumference of the impeller. This turbulent flow promotes the mixing of fine particles of the exhaust gas and the cleaning water, and the generation of fine droplets that scatter when large droplets of the cleaning water collide with the impingement plate. Improves removal rate.
  • the above prior art has the following problems. Although the impingement plate is arranged substantially all around the impeller in the casing, even if such a impingement plate is not provided, fine particles of the exhaust gas and the cleaning water coming out of the impeller collide with the inner wall of the casing, causing the impingement plate to be displaced. However, there is a problem that the dust removal efficiency is not improved as much as expected. In addition, with such conventional technology, although it is possible to remove dust and easily water-soluble components among gaseous air pollutants from exhaust gas, it is difficult to remove poorly water-soluble and water-insoluble substances. There was also the problem that
  • the main object of the present invention is to provide an exhaust gas purifier capable of effectively removing not only fine dust but also many gaseous air pollutants from exhaust gas.
  • the present invention configured an exhaust gas purifier 10 as follows. That is, a casing 12 having an exhaust gas suction port 12a formed on the bottom surface and an exhaust gas discharge port 12b formed on the side surface is fixed to a rotating shaft 18 arranged along the vertical direction inside the casing 12. , an impeller 14 that rotates around the rotary shaft 18 and a two-fluid nozzle 16 that atomizes and sprays a cleaning liquid 20 into the impeller 14 .
  • the exhaust gas E to be treated is sucked into the casing 12 through the exhaust gas inlet 12 a by rotating the impeller 14 , and the cleaning liquid 20 sprayed from the two-fluid nozzle 16 is used to clean the exhaust gas E. After purifying the exhaust gas, it is discharged from the exhaust gas discharge port 12b.
  • the exhaust gas E contains NOx, and the cleaning liquid 20 is hydrogen peroxide water.
  • Another invention of the present invention is a casing 12 having an exhaust gas suction port 12a formed on the bottom surface and an exhaust gas discharge port 12b formed on the side surface, and arranged along the vertical direction inside the casing 12.
  • An impeller 14 that is fixed to a rotating shaft 18 and rotates around the rotating shaft 18 , and a two-fluid nozzle 16 that atomizes and sprays a cleaning liquid 20 into the impeller 14 .
  • the exhaust gas E to be treated is sucked into the casing 12 through the exhaust gas inlet 12 a by rotating the impeller 14 , and the cleaning liquid 20 sprayed from the two-fluid nozzle 16 is used to clean the exhaust gas E. After purifying the exhaust gas, it is discharged from the exhaust gas discharge port 12b.
  • the exhaust gas E contains an acidic gas
  • the cleaning liquid 20 is an alkaline aqueous solution.
  • Still another invention of the present invention is a casing 12 having an exhaust gas suction port 12a drilled on the bottom surface and an exhaust gas discharge port 12b drilled on the side surface, and a casing 12 inside the casing 12 along the vertical direction.
  • An impeller 14 fixed to a rotating shaft 18 arranged and rotating around the rotating shaft 18 and a two-fluid nozzle 16 for finely atomizing and spraying a cleaning liquid 20 into the impeller 14 are provided.
  • the exhaust gas E to be treated is sucked into the casing 12 through the exhaust gas inlet 12 a by rotating the impeller 14 , and the cleaning liquid 20 sprayed from the two-fluid nozzle 16 is used to clean the exhaust gas E. After purifying the exhaust gas, it is discharged from the exhaust gas discharge port 12b.
  • the exhaust gas E contains an alkaline gas, and the cleaning liquid 20 is an acidic aqueous solution.
  • a demister 22 on the side peripheral surface of the impeller 14 .
  • the gas-liquid contact between the exhaust gas E sucked by the impeller 14 and the cleaning liquid 20 can be further promoted, and the efficiency of capturing dust and air pollutants (gases) by the cleaning liquid 20 can be improved.
  • the demister 22 is constantly subjected to centrifugal force. Therefore, it is possible to effectively prevent the demister 22 from clogging due to dust in the exhaust gas E or the like.
  • part of the exhaust gas E discharged to the outside of the casing 12 through the exhaust gas discharge port 12b is returned to the exhaust gas suction port 12a.
  • part of the exhaust gas E can repeatedly pass through the impeller 14, and the removal rate of dust and gaseous air pollutants in the exhaust gas E can be further improved.
  • the present invention preferably adds a unique configuration described in the embodiments described later.
  • an exhaust gas purifier that can effectively remove not only fine dust but also many gaseous air pollutants from exhaust gas.
  • FIG. 1 is a diagram showing an overview of an exhaust gas purifier 10 according to one embodiment of the present invention.
  • the exhaust gas purifier 10 of the present embodiment includes a casing 12 having an exhaust gas inlet 12a and an exhaust gas outlet 12b, and an impeller disposed in the casing 12 and supported by a rotating shaft 18.
  • 14 and a two-fluid nozzle 16 for spraying the cleaning liquid 20 into the impeller 14 are housed in an airtight and robust housing 24 made of metal such as stainless steel.
  • the shape of the housing 24 is not particularly limited, and may be a quadrangular prism shape or a cylindrical shape.
  • the housing 24 is formed in the shape of a quadrangular prism, and an exhaust gas inlet 26a and an exhaust gas outlet 26b are drilled in the top plate 26 forming the ceiling surface of the housing 24 at diagonally spaced positions. be done.
  • An inlet short pipe 28 to which a pipe leading to an exhaust gas source (not shown) is connected is inserted into the exhaust gas introduction port 26a.
  • An outlet double pipe 30 for discharging to the outside of 24 is inserted. Details of the outlet double pipe 30 will be described later.
  • An opening 26c is provided in the center of the top plate 26, and a motor 32 that rotates and drives the impeller 14 with the rotating shaft 18 inserted through the opening 26c is installed in the upper part of the center of the top plate 26.
  • a pipe wall 34 which is a short cylindrical pipe wall 34 and serves as a side peripheral wall of the casing 12 is vertically provided at a central lower portion of the top plate 26 . Therefore, in this embodiment, the central portion of the top plate 26 of the housing 24 is shared as the top plate of the casing 12 .
  • a ring-shaped bottom plate 36 is attached to the lower end of the tube wall 34, and has an opening in the center that serves as an exhaust gas inlet 12a after the impeller 14, which will be described later, is accommodated in the tube wall 34.
  • a pipe wall 34 serving as a side peripheral wall of the casing 12 is connected to the outlet double pipe 30 at a position close to the exhaust gas discharge port 26b so that the exhaust gas E that has passed through the impeller 14 is discharged from the casing 12. is provided with an exhaust gas discharge port 12b.
  • a tubular first tubular body 30a and its upper part are composed of a tubular body having the same diameter as the first tubular body 30a.
  • a second tubular body 30b is inserted into the inside of the tubular body 30a from above to hermetically seal the upper end 40 of the first tubular body 30a.
  • the lower end 42 of the second tubular body 30b is located below the lower end of the exhaust gas discharge port 12b and above the lower end 44 of the first tubular body 30a.
  • part of the exhaust gas E discharged from the exhaust gas discharge port 12b flows (runs up) from the lower end 42 of the second tubular body 30b into the second tubular body 30b, but the remaining part (exhaust gas The remainder of E and the cleaning liquid 20) that has passed through the exhaust gas discharge port 12b flow down the first tubular body 30a under the influence of gravity and are returned from the lower end 44 into the housing 24.
  • how much of the exhaust gas E that has passed through the impeller 14 and is discharged from the exhaust gas discharge port 12b is fed to the second tubular body 30b depends on the capacity of the housing 24 and the impeller. 14, and the length and diameter of the first tubular body 30a and/or the second tubular body 30b.
  • the impeller 14 is provided on a disk-shaped top plate 46 and on the lower surface of the peripheral edge of the top plate 46 . and a ring-shaped bottom plate 50 connecting the lower ends of the blades 48 (see FIG. 2).
  • a shaft hole 46a through which the rotating shaft 18 is inserted is formed in the central portion of the top plate 46.
  • the impeller 14 having the rotating shaft 18 inserted through the shaft hole 46a is shown in FIG. , a fixing member 52 is attached from the tip side of the rotating shaft 18 and fixed to the rotating shaft 18 .
  • a permeable wall member 54 made of stainless steel punching metal or the like is installed over the entire circumference between the outer peripheral edge of the top plate 46 and the outer peripheral edge of the bottom plate 50, and a demister is provided inside the wall member 54. 22 are provided.
  • the demister 22 is a kind of mist separator in which metal wires, resin filaments, etc. are laminated in several layers to increase the contact surface with the fluid while reducing the pressure loss.
  • the type of demister 22 used in the present invention is not particularly limited, and a mesh demister, wire demister, or the like can be used.
  • the two-fluid nozzle 16 is for atomizing and spraying the cleaning liquid 20 into the impeller 14 , and its head portion is arranged near the bottom of the impeller 14 .
  • a head portion of the two-fluid nozzle 16 is connected to a downstream end of a pressurized gas supply pipe 16a that supplies a pressurized gas P such as compressed air and a downstream end of a cleaning liquid supply pipe 16b that supplies the cleaning liquid 20 . Therefore, by using the high-speed flow of the pressurized gas P, the two-fluid nozzle 16 can atomize the cleaning liquid 20 to, for example, an average particle diameter of 10 ⁇ m or less and spray it.
  • the cleaning liquid 20 sprayed from the two-fluid nozzle 16 is selected according to the type of the exhaust gas E to be treated.
  • the exhaust gas E contains NOx such as NO (nitrogen monoxide) and NO 2 (nitrogen dioxide) as gaseous air pollutants
  • NOx such as NO (nitrogen monoxide) and NO 2 (nitrogen dioxide) as gaseous air pollutants
  • hydrogen peroxide water is used as the cleaning liquid 20 .
  • concentration of the hydrogen peroxide solution used as the cleaning liquid 20 is not particularly limited, but is preferably in the range of 35% to 50% in consideration of availability, running costs, and the like.
  • NO is oxidized to NO 2 as shown in the following formula (1).
  • NO 2 reacts with the water content in the hydrogen peroxide solution and part of it becomes NO again, but the rest becomes nitric acid and dissolves in the cleaning liquid 20 and is removed from the exhaust gas E. be.
  • those that become NO again come into gas-liquid contact with the cleaning liquid 20 again to repeat the above process, and are gradually removed from the exhaust gas E. That is, NOx is removed from the exhaust gas E.
  • an alkaline aqueous solution such as a sodium hydroxide aqueous solution is used as the cleaning liquid 20 .
  • an acidic aqueous solution such as dilute sulfuric acid or an aqueous citric acid solution is used as the cleaning liquid 20 .
  • the cleaning liquid 20 sprayed from the two-fluid nozzle 16 is accompanied by air pollutants chemically captured by, for example, dust and various cleaning components in the cleaning liquid 20. It flows down inside the body 24 and becomes stored at the bottom of the housing 24 . Therefore, a drain line 56 and a piping system 58 for adjusting the level of the stored cleaning liquid 20 are attached to the bottom of the housing 24 .
  • the exhaust gas purifier 10 of the present embodiment configured as described above, first, electric power is supplied to the motor 32 to operate it, and the two-fluid nozzle 16 is finer.
  • the washed cleaning liquid 20 is sprayed.
  • the impeller 14 rotates at a high speed (for example, around 3000 to 4000 rpm), thereby generating negative pressure near the exhaust gas inlet 12a of the casing 12 and near the exhaust gas outlet 12b.
  • a positive pressure is generated toward the exhaust gas discharge port 12b, and an airflow within the casing 12 is generated.
  • an intake means such as a fan installed downstream of the exhaust gas discharge port 26b in the exhaust gas flow direction is operated to start introducing the exhaust gas E to be treated into the exhaust gas purification apparatus 10. do.
  • the exhaust gas E introduced into the housing 24 through the inlet short pipe 28 enters the casing 12 from the exhaust gas suction port 12a, which has a negative pressure, and is finely atomized into the cleaning liquid 20. It passes through the impeller 14 while being in gas-liquid contact with , and collides with the pipe wall 34 that is the side peripheral wall of the casing 12 .
  • the demister 22 is arranged on the side peripheral surface of the impeller 14, so that the gas-liquid contact between the exhaust gas E sucked by the impeller 14 and the cleaning liquid 20 is further enhanced. This can be further accelerated, and the efficiency of capturing dust and air pollutants by the cleaning liquid 20 can be significantly improved.
  • the washing liquid 20 collided with the wall surface of the pipe wall 34 (hereinafter also referred to as the “inner wall surface”) and the dust and air pollutants in the exhaust gas E captured by the washing liquid 20, and the above collisions were repeated.
  • the particle size of the particles gradually increases, and as a result, the particles flow down along the inner wall surface due to gravity.
  • Most of the cleaning liquid 20 accumulated on the inner wall surface of the casing 12 and most of the dust and air pollutants captured by the cleaning liquid flow out of the casing 12 (however, inside the housing 24) through the exhaust gas inlet 12a. discharged to
  • the exhaust gas E from which most of the cleaning liquid 20 and dust and air pollutants have been removed is discharged out of the casing 12 from the exhaust gas discharge port 12b.
  • the exhaust gas purifier 10 of the present embodiment since the exhaust gas discharge port 26b is equipped with the outlet double pipe 30, part of the exhaust gas E discharged outside the casing 12 from the exhaust gas discharge port 12b is returned to the exhaust gas suction port 12a. Therefore, part of the exhaust gas E can pass through the impeller 14 again, and the removal rate of dust and air pollutants from the exhaust gas E can be further improved.
  • the exhaust gas E contains NOx and the hydrogen peroxide solution is used as the cleaning liquid 20, the effect of removing NOx from the exhaust gas E becomes even more remarkable.
  • the solid lines represent those that have not passed through the impeller 14, and the dotted lines represent those that have passed through the impeller 14. there is
  • the lower end 42 of the second tubular body 30b of the outlet double pipe 30 is arranged below the lower end of the exhaust gas discharge port 12b and above the lower end 44 of the first tubular body 30a. Therefore, it is possible to reduce the emission of the cleaning liquid 20 and dust particles from inside the housing 24 .
  • the exhaust gas abatement apparatus is configured by combining with a decomposition furnace for thermally decomposing the exhaust gas E.
  • a decomposition furnace for thermally decomposing the exhaust gas E is preferred.
  • Any heat source may be used as the heat source for the cracking furnace as long as it can raise the temperature of the inside of the furnace to the thermal decomposition temperature of the exhaust gas E.
  • an electric heater, a flame burner, a non-transfer A type or transfer type plasma torch or the like can be preferably used.
  • a large amount of NOx may be produced as a by-product.
  • the exhaust gas purifying device 10 of the present embodiment is installed at least in the latter stage (in other words, downstream side) of the cracking furnace, NOx in the exhaust gas E finally discharged into the atmosphere can be reduced.
  • the cleaning liquid 20 is hydrogen peroxide water.
  • the impeller 14 is provided with the blade plate 48 inclined at a constant angle with respect to the radial direction of the top plate 46.
  • the axes of the blades 48 installed on the wheel 14 may be aligned in the radial direction.
  • the suction force of the exhaust gas E generated when the impeller 14 is rotated at high speed is weaker than in the above-described embodiment, when the demister 22 is arranged on the side peripheral surface of the impeller 14, this The residence time and moving distance of the exhaust gas E and the cleaning liquid 20 in the demister 22 can be increased. As a result, the exhaust gas E and the cleaning liquid 20 can sufficiently come into gas-liquid contact within the demister 22, and the efficiency of capturing dust and air pollutants by the cleaning liquid 20 can be improved.
  • the outlet double pipe 30 inserted into the exhaust gas discharge port 26b, the short tubular first tubular body 30a communicating with the exhaust gas discharge port 12b on the side peripheral surface, and the first tubular body 30a and a second tubular body 30b which is inserted into the interior from the upper side of the first tubular body 30a to hermetically seal the upper end 40 of the first tubular body 30a.
  • the double pipe 30 is arranged in a short pipe-shaped first tubular body 30a that communicates with the exhaust gas discharge port 12b on the side peripheral surface, and is disposed inside the first tubular body 30a, and the upper end is directly connected to the exhaust gas discharge port 12b.
  • part of the exhaust gas E discharged from the exhaust gas discharge port 12b immediately runs up the inside of the first tubular body 30a after coming out of the lower end 42 of the second tubular body 30b.
  • the remaining portion (the rest of the exhaust gas E and the cleaning liquid 20 that has passed through the exhaust gas discharge port 12b) is governed by gravity and flows down the first tubular body 30a into the housing 24 from the lower end 44 thereof. will be returned.
  • a fan (not shown) for feeding the exhaust gas E is installed downstream of the exhaust gas outlet 26b of the exhaust gas purification device 10 in the exhaust gas flow direction, but this fan is installed as necessary, and its installation location is not limited to the above-described embodiment, for example, it is installed upstream of the exhaust gas introduction port 26a of the exhaust gas purification device 10 in the exhaust gas flow direction. You may make it
  • Exhaust gas purification device 10: Exhaust gas purification device, 12: Casing, 12a: Exhaust gas inlet, 12b: Exhaust gas outlet, 14: Impeller, 16: Two-fluid nozzle, 18: Rotating shaft, 20: Cleaning liquid, 22: Demister, E: Exhaust gas, P: pressurized gas.

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Abstract

本発明は、排ガス中から微細な粉塵のみならず、気体の大気汚染物質の多くをも効果的に除去することができる排ガス浄化装置を提供する。すなわち、本発明の排ガス浄化装置は、底面に排ガス吸入口(１２ａ)が穿設されると共に、側面に排ガス吐出口(１２ｂ)が穿設されたケーシング(１２)と、そのケーシング(１２)内部にて鉛直方向に沿って配置された回転軸(１８)に固定され、当該回転軸(１８)周りに回転する羽根車(１４)と、その羽根車(１４)内に洗浄液(２０)を微細化して噴霧する２流体ノズル(１６)とを備える。前記羽根車(１４)を回転させて前記排ガス吸入口(１２ａ)を介して前記ケーシング(１２)内に処理対象の排ガス(Ｅ)を吸入し、前記２流体ノズル(１６)から噴霧させた前記洗浄液(２０)で前記排ガス(Ｅ)を浄化させた後、前記排ガス吐出口(１２ｂ)から吐出させる。そして、前記排ガス(Ｅ)はＮＯｘを含むものであり、前記洗浄液(２０)は過酸化水素水であることを特徴とする。

Description

排ガス浄化装置
　本発明は、排ガス中の微細な粉塵のみならず気体状の大気汚染物質をも除去するための排ガス浄化装置に関する。
　この種の排ガス浄化装置には、従来では、下記の特許文献１(日本国・特開２００３－１４４８２６号公報)に記載されたファンスクラバーがある。その従来技術は、次のように構成されている。
　排ガス吸込口及び排ガス吐出口を備えたケーシングと該ケーシング内に配置された回転する羽根車と、該羽根車内に洗浄水を噴出するノズルとを具備する。上記の羽根車の中心部に排ガス吸込口からのダストを含む排ガスを吸込むと共に、ノズルから洗浄水を噴出し、該洗浄水の微粒に排ガス中に含まれるダストを捕獲させて該排ガス中のダストを除去する際に、ケーシング内の羽根車の略全周囲に該羽根車を出る排ガス及び洗浄水の微粒が衝突する衝突板を連続的に配置する。
　上記の従来技術によれば、ケーシング内の羽根車の略全周に該羽根車を出る排ガス及び洗浄水の微粒が衝突する衝突板を配置したので、羽根車を出た排ガス及び洗浄水の微粒は衝突板に衝突し、該羽根車の略全周で乱流を発生させる。そして、この乱流により、排ガスと洗浄水の微粒の混合や、大きな洗浄水の液滴が衝突板に衝突したときに飛び散る微細な液滴の生成を促進させ、排ガス中の微細なダスト等の除去率が向上する。
特開２００３－１４４８２６号公報
　上記の従来技術は次の問題がある。
　ケーシング内の羽根車の略全周に衝突板を配置しているが、かかる衝突板を設けなくとも、羽根車を出た排ガス及び洗浄水の微粒がケーシングの内壁に衝突することによって該衝突板を配置した際と略同様の効果を得ることができ、ダストの除去効率が期待するほど向上しないという問題があった。
　また、かかる従来技術では、排ガス中からダストや、気体状の大気汚染物質のうち易水溶性成分のものを除去することはできるものの、難水溶性や非水溶性のものを除去するのが困難であるという問題もあった。
　それゆえに、本発明の主たる目的は、排ガス中から微細な粉塵のみならず、気体状の大気汚染物質の多くをも効果的に除去することができる排ガス浄化装置を提供することにある。
　上記目的を達成するため、本発明は、図１～図３に示すように、排ガス浄化装置１０を次のように構成した。
　すなわち、底面に排ガス吸入口１２ａが穿設されると共に、側面に排ガス吐出口１２ｂが穿設されたケーシング１２と、そのケーシング１２内部にて鉛直方向に沿って配置された回転軸１８に固定され、当該回転軸１８周りに回転する羽根車１４と、その羽根車１４内に洗浄液２０を微細化して噴霧する２流体ノズル１６とを備える。上記の羽根車１４を回転させて上記の排ガス吸入口１２ａを介して上記ケーシング１２内に処理対象の排ガスＥを吸入し、上記２流体ノズル１６から噴霧させた上記の洗浄液２０で上記の排ガスＥを浄化させた後、上記の排ガス吐出口１２ｂから吐出させる。そして、上記の排ガスＥはＮＯｘを含むものであり、上記の洗浄液２０は過酸化水素水であることを特徴とする。
　また、本発明の別の発明は、底面に排ガス吸入口１２ａが穿設されると共に、側面に排ガス吐出口１２ｂが穿設されたケーシング１２と、そのケーシング１２内部にて鉛直方向に沿って配置された回転軸１８に固定され、当該回転軸１８周りに回転する羽根車１４と、その羽根車１４内に洗浄液２０を微細化して噴霧する２流体ノズル１６とを備える。上記の羽根車１４を回転させて上記の排ガス吸入口１２ａを介して上記ケーシング１２内に処理対象の排ガスＥを吸入し、上記２流体ノズル１６から噴霧させた上記の洗浄液２０で上記の排ガスＥを浄化させた後、上記の排ガス吐出口１２ｂから吐出させる。そして、上記の排ガスＥは酸性ガスを含むものであり、上記の洗浄液２０はアルカリ性水溶液であることを特徴とする。
　また、本発明のさらに別の発明は、底面に排ガス吸入口１２ａが穿設されると共に、側面に排ガス吐出口１２ｂが穿設されたケーシング１２と、そのケーシング１２内部にて鉛直方向に沿って配置された回転軸１８に固定され、当該回転軸１８周りに回転する羽根車１４と、その羽根車１４内に洗浄液２０を微細化して噴霧する２流体ノズル１６とを備える。上記の羽根車１４を回転させて上記の排ガス吸入口１２ａを介して上記ケーシング１２内に処理対象の排ガスＥを吸入し、上記２流体ノズル１６から噴霧させた上記の洗浄液２０で上記の排ガスＥを浄化させた後、上記の排ガス吐出口１２ｂから吐出させる。そして、上記の排ガスＥはアルカリ性ガスを含むものであり、上記の洗浄液２０は酸性水溶液であることを特徴とする。
　本発明においては、前記の羽根車１４の側周面にデミスター２２を配設するのが好ましい。
　この場合、羽根車１４に吸引される排ガスＥと洗浄液２０との気液接触をより一層促進させることができ、洗浄液２０による粉塵および大気汚染物質(気体)の捕捉効率を向上させることができる。
　また、デミスター２２を羽根車１４の側周面に配設することにより、このデミスター２２には常に遠心力が作用することとなる。このため、排ガスＥ中の粉塵などによって、このデミスター２２が目詰まりを起こすのを効果的に予防することができる。
　また、本発明においては、前記の排ガス吐出口１２ｂよりケーシング１２の外に排出された排ガスＥの一部が再び前記の排ガス吸入口１２ａへと戻されるようにするのが好ましい。
　この場合、排ガスＥの一部は繰り返し羽根車１４を通過することができるようになり、排ガスＥ中の粉塵および気体状の大気汚染物質の除去率をより一層向上させることができる。
　さらに、本発明は、後述する実施形態に記載された特有の構成を付加することが好ましい。
　本発明によれば、排ガス中から微細な粉塵のみならず、気体状の大気汚染物質の多くをも効果的に除去することができる排ガス浄化装置を提供することができる。
本発明の一実施形態の排ガス浄化装置の概要を示す説明図である。 本発明の一実施形態の羽根車における天板の一部を切り欠いた部分切欠き平面図である。 本発明の他の実施形態の排ガス浄化装置の概要を示す説明図である。
　以下、本発明の一実施形態を図１および図２によって説明する。
　図１は、本発明の一実施形態の排ガス浄化装置１０の概要を示す図である。この図が示すように、本実施形態の排ガス浄化装置１０は、排ガス吸入口１２ａおよび排ガス吐出口１２ｂを有するケーシング１２と、そのケーシング１２内に配置されると共に回転軸１８に支持された羽根車１４と、その羽根車１４内に洗浄液２０を噴霧する２流体ノズル１６とが、ステンレスなどの金属からなる気密かつ堅牢な筐体２４内に収容されて構成されている。なお、この筐体２４の形状は特に限定されるものではなく、四角柱状でもよいし円柱状でもよい。図示実施形態では、筐体２４が四角柱状にて形成されており、その天井面を構成する天板２６には、対角線上の互いに離間した位置に排ガス導入口２６ａおよび排ガス排出口２６ｂが穿設される。そして、排ガス導入口２６ａには、(図示しないが)排ガス発生源に通じる配管が接続されるインレット短管２８が嵌挿されており、排ガス排出口２６ｂには、処理済の排ガスＥを筐体２４外へと排出するアウトレット二重管３０が嵌挿されている。なお、このアウトレット二重管３０の詳細については後述する。
　また、天板２６の中央部には開口２６ｃが設けられ、その天板２６中央の上部には、当該開口２６ｃに回転軸１８を挿通した状態で羽根車１４を回転駆動させるモーター３２が設置される。
　この天板２６の中央下部には、短円筒状の管壁３４であって、ケーシング１２の側周壁となる管壁３４が垂設されている。このため、本実施形態では、筐体２４の天板２６の中央部分がケーシング１２の天板として共用されている。また、上記の管壁３４の下端部には、管壁３４内に後述する羽根車１４を収容した後、中央に排ガス吸入口１２ａとなる開口が設けられたリング状の底板３６が取り付けられてケーシング１２が完成する。そして、ケーシング１２の側周壁となる管壁３４の排ガス排出口２６ｂに近接する位置に、上記のアウトレット二重管３０に連通し、羽根車１４を通過した排ガスＥをケーシング１２内から吐出させるための排ガス吐出口１２ｂが穿設される。
　ここで、排ガス吐出口１２ｂに連通するアウトレット二重管３０について説明すると、このアウトレット二重管３０は、排ガス排出口２６ｂに嵌挿されてその側周面にて排ガス吐出口１２ｂと連通する短管状の第１管体３０ａと、その上部が第１管体３０ａと同じ口径の管体で構成され、レデューサ３８を介してその下部の口径が縮小されると共に、縮径された下部が第１管体３０ａの上側からその内部に挿入されて第１管体３０ａの上端４０を気密的に密閉する第２管体３０ｂとを備える。そして、第２管体３０ｂの下端４２は、排ガス吐出口１２ｂの下端よりも下側であって、第１管体３０ａの下端４４よりも上側の位置に配置される。このため、排ガス吐出口１２ｂから吐出された排ガスＥの一部は、第２管体３０ｂの下端４２から第２管体３０ｂ内へと流入(遡上)して行くが、残りの部分(排ガスＥの残りと排ガス吐出口１２ｂを通過した洗浄液２０)は、重力に支配されて第１管体３０ａを流下してその下端４４から筐体２４内へと戻されるようになる。なお、羽根車１４を通過し、排ガス吐出口１２ｂより吐出された排ガスＥのうち、どれ位の量を第２管体３０ｂ側へと送給させるかについては、筐体２４の容量、羽根車１４を回転させるモーター３２の回転数、第１管体３０ａおよび／または第２管体３０ｂの長さや口径などを適宜設定することによって調節することができる。
　羽根車１４は、円盤状の天板４６と、天板４６の周縁部の下面に、当該天板４６の半径方向に対して一定の角度にて傾斜させると共に該天板４６の外周部に所定の間隔で均等配置した羽根板４８と、その羽根板４８の下端部同士を連結するリング状の底板５０とを具備する(図２参照)。
　上記の天板４６の中央部には、回転軸１８が挿通される軸孔４６ａが穿設されており、この軸孔４６ａに回転軸１８を挿通させた羽根車１４は、図１に示すように、回転軸１８の先端側から固定部材５２が取り付けられて当該回転軸１８に固定される。
　本実施形態の羽根車１４では、天板４６の外周縁と底板５０の外周縁との間の全周に亘ってステンレスパンチングメタルなどからなる通気性壁材５４が架設さており、その内側にデミスター２２が配設されている。
　ここで、デミスター２２とは、例えば金属線や樹脂フィラメントなどを、小さな圧力損失でありながら流体との接触面を増大させるべく幾層にも積層してマット状にしたミストセパレーターの一種である。本発明で使用するデミスター２２の種類は特に限定されず、メッシュデミスターやワイヤーデミスター等を用いることができる。
　２流体ノズル１６は、羽根車１４内に洗浄液２０を微細化して噴霧するためのものであり、そのヘッド部分が羽根車１４の底部近傍に配設される。この２流体ノズル１６のヘッド部分には、圧搾空気などの加圧気体Ｐを供給する加圧気体供給管１６ａの下流端と洗浄液２０を供給する洗浄液供給管１６ｂの下流端とが接続される。そのため、この２流体ノズル１６は、加圧気体Ｐの高速の流れを利用することによって、洗浄液２０を例えば平均粒子径１０μｍ以下に微粒化して噴霧することができる。
　ここで、本実施形態の排ガス浄化装置１０では、２流体ノズル１６から噴霧する洗浄液２０は、処理対象の排ガスＥの種類に応じて所定のものが選択される。具体的に、排ガスＥが気体状の大気汚染物質としてＮＯ(一酸化窒素)やＮＯ２(二酸化窒素)と言ったＮＯｘを含むものである場合には、洗浄液２０として過酸化水素水が用いられる。洗浄液２０として使用する過酸化水素水の濃度は、特に限定されるものではないが、入手の容易さやランニングコストなどを考慮すると、３５％～５０％の範囲内であるのが好ましい。そして、このようなＮＯｘを含む排ガスＥと過酸化水素水からなり霧状に微細化された洗浄液２０とが気液接触すると、下式(１)のようにＮＯがＮＯ２に酸化されると共に、下式(２）のようにＮＯ２が過酸化水素水中の水分と反応してその一部は再びＮＯになるものの、残りは硝酸となって洗浄液２０中へと溶け込み排ガスＥ中から除去される。なお、再びＮＯになったものは、改めて洗浄液２０と気液接触することによって上記のプロセスが繰り返され、排ガスＥ中から漸次除去されていく。つまり、排ガスＥ中からＮＯｘが取り除かれていくことになる。
　ＮＯ＋Ｈ２Ｏ２→ＮＯ２＋Ｈ２Ｏ　…(１)
　３ＮＯ２＋Ｈ２Ｏ→ＮＯ＋２ＨＮＯ３　…(２)
　また、排ガスＥが大気汚染物質として硫化水素 (Ｈ２Ｓ)や二酸化炭素 (ＣＯ２)と言った酸性ガスを含むものである場合には、洗浄液２０として水酸化ナトリウム水溶液などのアルカリ性水溶液が用いられる。逆に排ガスＥが大気汚染物質としてアンモニアやアミンなどのアルカリ性ガスを含むものである場合には、洗浄液２０として希硫酸やクエン酸水溶液などの酸性水溶液が用いられる。これらの場合、排ガスＥと霧状に微細化された洗浄液２０とが気液接触することによって、気体状の大気汚染物質が中和されて洗浄液２０中へと移行し、排ガスＥ中から除去されるようになる。
　なお、本実施形態の排ガス浄化装置１０では、２流体ノズル１６より噴霧した洗浄液２０の多くが、例えば粉塵や洗浄液２０中の各種洗浄成分などによって化学的に捕捉された大気汚染物質を伴って筐体２４内を流下し、当該筐体２４の底部に貯留されるようになる。このため、筐体２４の底部には、ドレン抜きのライン５６や貯留する洗浄液２０の液面を調整する配管系５８などが取り付けられる。
　次に、以上のように構成された本実施形態の排ガス浄化装置１０を使用する際には、先ず始めに、モーター３２に電力を供給してこれを作動させると共に、２流体ノズル１６より微細化した洗浄液２０を噴霧させる。そうすると、羽根車１４が所定の回転数(例えば、３０００～４０００ｒｐｍ前後)で高速回転することによって、ケーシング１２の排ガス吸入口１２ａの近傍に負圧が発生すると共に、排ガス吐出口１２ｂの近傍では該排ガス吐出口１２ｂに向けての陽圧が発生し、ケーシング１２内での気流が生じるようになる。
　続いて、図示しないが、排ガス排出口２６ｂよりも排ガス通流方向の下流側に設置されたファンなどの吸気手段を作動させて、処理対象である排ガスＥの排ガス浄化装置１０への導入を開始する。すると、インレット短管２８を介して筐体２４内に導入された排ガスＥは、負圧となっている排ガス吸入口１２ａからケーシング１２内へと入り、微細化されて霧状になった洗浄液２０に気液接触しながら羽根車１４を通過し、ケーシング１２の側周壁である管壁３４に衝突する。
　ここで、本実施形態の排ガス浄化装置１０では、羽根車１４の側周面にデミスター２２が配設されているので、羽根車１４に吸引された排ガスＥと洗浄液２０との気液接触をより一層促進させることができ、洗浄液２０による粉塵や大気汚染物質の捕捉効率を著しく向上させることができる。
　続いて、管壁３４の壁面(以下、「内壁面」とも言う。)に衝突した洗浄液２０と、これに捕捉された排ガスＥ中の粉塵および大気汚染物質とは、上記の衝突が繰り返されることによってその粒径が次第に大きくなり、その結果、重力によって内壁面を伝って流下するようになる。そして、ケーシング１２の内壁面で蓄積された洗浄液２０と、これに捕捉された粉塵および大気汚染物質との大半は、当該排ガス吸入口１２ａを介してケーシング１２の外(但し、筐体２４内)へと排出される。
　一方、洗浄液２０と、粉塵および大気汚染物質との多くが取り除かれた排ガスＥは、排ガス吐出口１２ｂからケーシング１２の外へと吐出される。
　ここで、本実施形態の排ガス浄化装置１０では、排ガス排出口２６ｂに上記のアウトレット二重管３０が装備されているので、排ガス吐出口１２ｂよりケーシング１２の外に排出された排ガスＥの一部が再び前記の排ガス吸入口１２ａへと戻されるようになっている。このため、排ガスＥの一部は再び羽根車１４を通過することができるようになっており、排ガスＥ中からの粉塵や大気汚染物質の除去率をより一層向上させることができる。特に、排ガスＥがＮＯｘを含有し、洗浄液２０として過酸化水素水を使用している場合には、排ガスＥ中からのＮＯｘ除去効果がより一層顕著なものとなる。
　なお、図１中において、排ガスＥの流れを示す矢印に関し、実線で記しているものは羽根車１４未通過のものを表し、点線で記しているものは羽根車１４通過後のものを表している。
　また、アウトレット二重管３０の第２管体３０ｂの下端４２を、排ガス吐出口１２ｂの下端よりも下側であって、第１管体３０ａの下端４４よりも上側の位置に配置しているので、筐体２４内からの洗浄液２０および粉塵等の放出を低減させることができる。尤も、筐体２４内からの洗浄液２０および粉塵等の放出を更に抑えたい場合には、アウトレット二重管３０の第２管体３０ｂの内部にデミスターなどを設置することが望ましい。
　本実施形態の排ガス浄化装置１０で排ガス浄化処理を行う排ガスＥが、例えば半導体製造工程より排出されるものの場合には、排ガスＥを熱分解する分解炉と組み合わせて排ガス除害装置を構成するのが好ましい。上記の分解炉の熱源としては、炉内を排ガスＥの熱分解温度にまで昇温させることができるものであれば如何なるものであってもよく、例えば、電熱式ヒーター，火炎式バーナー，非移行型或いは移行型のプラズマトーチなどを好適に用いることができる。また、半導体製造工程より排出される排ガスＥを熱分解させて除害すると、多量のＮＯｘが副生される場合が有る。このため、本実施形態の排ガス浄化装置１０を少なくとも当該分解炉の後段(換言すれば下流側)に設置すれば、最終的に大気中へと排出する排ガスＥ中のＮＯｘを削減することができる。勿論、この場合、洗浄液２０は過酸化水素水である。
　なお、上述の実施形態では、羽根車１４として、天板４６の半径方向に対して一定の角度にて傾斜させて羽根板４８が設置されたものを示したが、例えば、図示しないが、羽根車１４に設置する羽根板４８の軸を半径方向に一致させるようにしてもよい。
　この場合、羽根車１４を高速回転させた際に生じる排ガスＥの吸引力は上述の実施形態に比べて弱くなるものの、羽根車１４の側周面にデミスター２２を配設した場合には、このデミスター２２内における排ガスＥおよび洗浄液２０の滞留時間および移動距離を長く取ることができる。そうすると、このデミスター２２内で排ガスＥと洗浄液２０とが十分に気液接触することができ、洗浄液２０による粉塵および大気汚染物質の捕捉効率を向上させることができる。
　また、上述の実施形態では、排ガス排出口２６ｂに嵌挿されるアウトレット二重管３０として、側周面にて排ガス吐出口１２ｂと連通する短管状の第１管体３０ａと、その第１管体３０ａの上側からその内部に挿入されて第１管体３０ａの上端４０を気密的に密閉する第２管体３０ｂとで構成されたものを示したが、例えば、図３に示すように、アウトレット二重管３０を、側周面にて排ガス吐出口１２ｂと連通する短管状の第１管体３０ａと、その第１管体３０ａの内部に配設され、上端が排ガス吐出口１２ｂに直結されると共に、下端４２が排ガス吐出口１２ｂの下端よりも下側であって、第１管体３０ａの下端４４よりも上側の位置に配置されたエルボ形状の第２管体３０ｂとで構成するようにしてもよい。
　この場合も、上述の実施形態と同様に、排ガス吐出口１２ｂから吐出された排ガスＥの一部は、第２管体３０ｂの下端４２から出た後、直ちに第１管体３０ａ内を遡上して行くが、残りの部分(排ガスＥの残りと排ガス吐出口１２ｂを通過した洗浄液２０)は、重力に支配されて第１管体３０ａを流下してその下端４４から筐体２４内へと戻されるようになる。
　さらに、上述の実施形態では、排ガス浄化装置１０の排ガス排出口２６ｂよりも排ガス通流方向の下流側に排ガスＥを送給するファン(図示せず)を設置する場合を示したが、このファンは必要に応じて設置されるものであって、その設置場所は上述の態様に限定されるものではなく、例えば、排ガス浄化装置１０の排ガス導入口２６ａよりも排ガス通流方向の上流側に設置するようにしてもよい。
　その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
　１０：排ガス浄化装置，１２：ケーシング，１２ａ：排ガス吸入口，１２ｂ：排ガス吐出口，１４：羽根車，１６：２流体ノズル，１８：回転軸，２０：洗浄液，２２：デミスター，Ｅ：排ガス，Ｐ：加圧気体．

Claims (5)

  1. 　底面に排ガス吸入口(１２ａ)が穿設されると共に、側面に排ガス吐出口(１２ｂ)が穿設されたケーシング(１２)と、そのケーシング(１２)内部にて鉛直方向に沿って配置された回転軸(１８)に固定され、当該回転軸(１８)周りに回転する羽根車(１４)と、その羽根車(１４)内に洗浄液(２０)を微細化して噴霧する２流体ノズル(１６)とを備え、上記の羽根車(１４)を回転させて上記の排ガス吸入口(１２ａ)を介して上記ケーシング(１２)内に処理対象の排ガス(Ｅ)を吸入し、上記２流体ノズル(１６)から噴霧させた上記の洗浄液(２０)で上記の排ガス(Ｅ)を浄化させた後、上記の排ガス吐出口(１２ｂ)から吐出させる排ガス浄化装置であって、
    　上記の排ガス(Ｅ)はＮＯｘを含むものであり、
    　上記の洗浄液(２０)は過酸化水素水である、ことを特徴とする排ガス浄化装置。
  2. 　底面に排ガス吸入口(１２ａ)が穿設されると共に、側面に排ガス吐出口(１２ｂ)が穿設されたケーシング(１２)と、そのケーシング(１２)内部にて鉛直方向に沿って配置された回転軸(１８)に固定され、当該回転軸(１８)周りに回転する羽根車(１４)と、その羽根車(１４)内に洗浄液(２０)を微細化して噴霧する２流体ノズル(１６)とを備え、上記の羽根車(１４)を回転させて上記の排ガス吸入口(１２ａ)を介して上記ケーシング(１２)内に処理対象の排ガス(Ｅ)を吸入し、上記２流体ノズル(１６)から噴霧させた上記の洗浄液(２０)で上記の排ガス(Ｅ)を浄化させた後、上記の排ガス吐出口(１２ｂ)から吐出させる排ガス浄化装置であって、
    　上記の排ガス(Ｅ)は酸性ガスを含むものであり、
    　上記の洗浄液(２０)はアルカリ性水溶液である、ことを特徴とする排ガス浄化装置。
  3. 　底面に排ガス吸入口(１２ａ)が穿設されると共に、側面に排ガス吐出口(１２ｂ)が穿設されたケーシング(１２)と、そのケーシング(１２)内部にて鉛直方向に沿って配置された回転軸(１８)に固定され、当該回転軸(１８)周りに回転する羽根車(１４)と、その羽根車(１４)内に洗浄液(２０)を微細化して噴霧する２流体ノズル(１６)とを備え、上記の羽根車(１４)を回転させて上記の排ガス吸入口(１２ａ)を介して上記ケーシング(１２)内に処理対象の排ガス(Ｅ)を吸入し、上記２流体ノズル(１６)から噴霧させた上記の洗浄液(２０)で上記の排ガス(Ｅ)を浄化させた後、上記の排ガス吐出口(１２ｂ)から吐出させる排ガス浄化装置であって、
    　上記の排ガス(Ｅ)はアルカリ性ガスを含むものであり、
    　上記の洗浄液(２０)は酸性水溶液である、ことを特徴とする排ガス浄化装置。
  4. 　請求項１乃至３の何れかの排ガス浄化装置において、
    　前記の羽根車(１４)の側周面にデミスター(２２)が配設されている、ことを特徴とする排ガス浄化装置。
  5. 　請求項１乃至４の何れかの排ガス浄化装置において、
    　前記の排ガス吐出口(１２ｂ)よりケーシング(１２)の外に排出された排ガス(Ｅ)の一部が再び前記の排ガス吸入口(１２ａ)へと戻される、ことを特徴とする排ガス浄化装置。
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