JP2003141894A - 半導体メモリ装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 主メモリの中に含まれている不良セルに対応
するアドレスが選択されたときには予備メモリに振り替
えるように構成した半導体メモリ装置において、速い処
理速度を確保すること。 【解決手段】 主メモリの列または行の数と同じ数のメ
モリセルを備えた予備メモリを用意する。主メモリのn
行、m列のメモリセルAが不良であるとすると、このメ
モリセルAに書いておくべきデ−タを予備メモリのm列
のメモリセルAに予め書いておく。主メモリセルの不良
メモリセルAに対応するアドレスが選択されたときに
は、主メモリセルがセンスアンプから切り離されると共
にこの不良メモリセルAの代替えの予備メモリのメモリ
セルAが選択されてセンスアンプに読み出され、このセ
ンスアンプの読みだしデ−タをデ−タバスに出力する。
するアドレスが選択されたときには予備メモリに振り替
えるように構成した半導体メモリ装置において、速い処
理速度を確保すること。 【解決手段】 主メモリの列または行の数と同じ数のメ
モリセルを備えた予備メモリを用意する。主メモリのn
行、m列のメモリセルAが不良であるとすると、このメ
モリセルAに書いておくべきデ−タを予備メモリのm列
のメモリセルAに予め書いておく。主メモリセルの不良
メモリセルAに対応するアドレスが選択されたときに
は、主メモリセルがセンスアンプから切り離されると共
にこの不良メモリセルAの代替えの予備メモリのメモリ
セルAが選択されてセンスアンプに読み出され、このセ
ンスアンプの読みだしデ−タをデ−タバスに出力する。
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体メモリ装置
に関し、特に不良メモリセル(エラーセル)のアドレス
を記憶してそのセルの代わりに予備メモリのセルを利用
する技術に関する。 【0002】 【従来の技術】DRAMなどの半導体メモリにおいて
は、検査時に不良と判定されたセルのアドレスを不揮発
性メモリである不良アドレスメモリに書き込み、コンピ
ュ−タの電源投入直後にこの不良アドレスメモリから不
良アドレスを読みだしレジスタに記憶し、このレジスタ
の出力に基づいてアドレスデコ−ダに変更を加えるよう
にしている。 【0003】図9はこのような処理を行うための回路
例、即ち不良セルをアドレス空間から切り離すための回
路例を示す。1はメモリセル10からなるメモリ領域、
11〜14はアドレスに対応するワード線を選択するた
めのドライバ、F1〜F4はドライバ11〜14を夫々
選択するためのフリップフロップであり、図示しないレ
ジスタから不良アドレスが読み出され、そのアドレスに
対応するフリップフロップF1(F2〜F3)からドラ
イバ11(12〜14)に禁止信号が出力される。この
結果当該アドレスがCPUから読み出されても、対応す
るセルは選択されず、代わりに別途設けられた図示しな
い予備メモリ領域内のセルが選択される。なおこの例は
メモリ領域において不良アドレスを含む「行」のセル群
の選択が行われないように構成している。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】上述の回路は各「行」
のメモリセル群毎にそれらセルをメモリ領域から切り離
すためのコントロ−ル線が設けられているため、コント
ロ−ル線に必要なチップ面積が増加するという問題があ
り、また予備メモリ領域にCPUが管理しているアドレ
ス空間の一部を割り当てるので広いアドレス空間が必要
になり、それに伴ってアドレス線の数も増えるという問
題がある。 【0005】本発明はこのような事情にもとづいてなさ
れたものであり、主メモリの不良メモリセルが選択され
るときに予備メモリに振り替える半導体メモリ装置にお
いて、チップ面積の増加を抑えることを目的とする。ま
た本発明はこの種の半導体メモリ装置において早い処理
速度を確保することを目的とする。 【0006】 【課題を解決する手段】請求項1の発明は、アドレスバ
スに現れたアドレスが主メモリの不良メモリセルに対応
するときには予備メモリのメモリセルを選択する半導体
メモリ装置において、主メモリの列または行の数と同じ
数のメモリセルを備えた予備メモリと、主メモリのメモ
リセルが選択されたときに、予備メモリの中から、主メ
モリで選択されたメモリセルの列または行に対応するメ
モリセルを選択する手段と、主メモリにて選択されたメ
モリセルのデ−タを読み出す第1のセンスアンプと、予
備メモリにて選択されたメモリセルのデ−タを読み出す
第2のセンスアンプと、アドレスバスに現れたアドレス
が正常なメモリセルに対応するときには、第1のセンス
アンプをアドレスバスに接続すると共に第2のセンスア
ンプをアドレスバスから切り離し、またアドレスバスに
現れたアドレスが不良なメモリセルに対応するときに
は、第1のセンスアンプをアドレスバスから切り離すと
共に第2のセンスアンプをアドレスバスに接続する手段
と、を備えたことを特徴とする。 【0007】 【発明の実施の形態】図1は、本発明の半導体メモリ装
置の実施の形態を示す回路図、図2はこのメモリ装置を
適用したデ−タ処理装置例えばMCU(マイクロコント
ロ−ラユニット)の全体概要図である。図において2は
デ−タバス、21はCPU(中央処理装置)、3はアド
レスバスである。この例では、図2の構成のうちCPU
21を除いた部分をメモリ装置と呼ぶことにすると、メ
モリ装置はデ−タを格納するために不揮発性メモリ例え
ばフラッシュメモリからなる主メモリ4と、この主メモ
リ4に含まれる不良メモリセルのアドレス(以下不良ア
ドレスという)が予め書き込まれる不揮発性メモリであ
る不良アドレスメモリ22、主メモリ4内の不良メモリ
セルの代わりに用いられる予備メモリセルが割り当てら
れた予備メモリ(冗長メモリ)5と、を備えている。 【0008】また図1において40及び50は各々トラ
ンジスタからなるメモリセルを示している。この例では
主メモリ4及び予備メモリ5は共通のメモリチップ内に
別々のメモリ領域に割り当てられて設けられており、ビ
ット線BLはメモリセル40、50で共通化されてい
る。なお主メモリ4と予備メモリ5は共通のメモリアレ
イに設けられることに限らず別々のメモリアレイに設け
られていてもよい。WLはワ−ド線である。 【0009】41〜44は主メモリ4の各ワ−ド線WL
に対応するメモリセル群40を選択する、デコ−ダの一
部を構成するドライバ、51、52は予備メモリ5の各
ワ−ド線WLに対応するメモリセル群50を選択する、
デコ−ダの一部を構成するドライバである。これらドラ
イバ41〜44、51、52は、アドレスバス31に接
続される入力端inaと、制御信号線A2に接続される
入力端inbとを備えている。制御信号線A2はドライ
バ41〜44、51、52を動作または不動作にするた
めの制御信号を送るものであり、ドライバ41〜44、
51、52は入力端inaに論理「1」の信号が入力さ
れたときに動作状態となり、論理「0」の信号が入力さ
れたときに不動作状態となる。即ちこの例ではイネ−ブ
ル信号である「1」が入力されたときにアドレス信号の
入力が有効になる。 【0010】以上において、説明の便宜上例えばシステ
ムアドレスバス3に現れた下位2ビットがワ−ド線WL
に対応しているものとし、アドレスバスのうちワ−ド線
WLに対応する信号線をA0、A1の信号線からなるも
のとし、各ドライバ41〜44、51、52の入力側に
付してあるA0、A1などの符号を夫々信号線A0、A
1に出力されている信号レベルを表すものとする。なお
図ではその信号レベルの反転信号として上線を付してあ
るが、明細書では使用しているワ−プロの制限によりA
0の反転信号は「−A0」として記載する。従って例え
ば制御信号線A2に「1」が現れると、ドライバ41〜
44、51、52には「−A2」つまり「0]が入力さ
れることになる。 【0011】更にこのメモリ装置はレジスタ61を備え
ており、このレジスタ61はデ−タ処理装置の電源を投
入したときに不良アドレスメモリ22に書き込まれてい
る不良アドレスがコピ−される。この例ではこの不良ア
ドレスとは、主メモリ4のエラ−セルを含む「行」を特
定するアドレスである。62は比較部であるコンパレ−
タであり、このコンパレ−タ62は、アドレスバス3に
出力されたアドレスとレジスタ61に保持されているア
ドレスとが一致したときに例えば信号「1]が後述の予
備メモリアドレス出力部63、スイッチ部S1およびS
2に出力される。この例では主メモリ4の不良アドレス
(詳しくは不良アドレスのうち「行」を特定する下位2
ビット)を「00」、「10」の2個として説明しよう
としているため、レジスタ61は、これら不良アドレス
を夫々保持する2個のレジスタ61a、61bからな
り、またこれに対応してコンパレ−タ62は2個のコン
パレ−タ62a、62bからなる。 【0012】また63で示される予備メモリアドレス出
力部63は、例えば予備メモリ5のアドレスを夫々出力
するためのアドレス出力部63aおよび63bからな
り、各アドレス出力部63は、前記コンパレ−タ62か
らの信号「1」が入力されたときに、予備メモリ5のア
ドレスに対応する2ビットのデ−タをアドレスバス32
をなす信号線A0、A1に夫々出力する。またこれらア
ドレス出力部63a、63bは予備メモリ5のアドレス
の他に制御信号線A2に信号「1」を出力する。なおア
ドレスバスの用語は符号3、31、32で用いている
が、用語の混乱を避けるために3をシステムアドレスバ
ス、31をメモリアドレスバス、32を予備メモリアド
レスバスと夫々呼ぶことにする。 【0013】スイッチ部S1はメモリアドレスバス31
をシステムアドレス3または予備メモリアドレスバス3
2の一方に接続するための切り替え手段であり、接点N
C側では前者が、接点NO側では後者が選択される。ま
たスイッチ部S2は制御信号線A2をア−スに接続する
(接点NC側)か、浮遊状態の端子(接点NO側)に接
続する。スイッチ部S2及び制御信号線はデコーダ制御
手段をなしている。 【0014】次に上述実施の形態の作用について説明す
る。CPU21から主メモリ4のアドレスが出力され、
そのアドレスが正常な場合にはレジスタ61a(61
b)に保持されているアドレス(不良アドレス)とシス
テムアドレスバス3に現れているアドレスとは一致しな
いので、コンパレ−タ62a、62bのいずれの出力も
「0」であり、スイッチ部S1、S2はいずれもNC側
に切り替わっている(図1の状態)。このため制御信号
線A2はア−スに接続されるのでドライバ41〜44の
入力端inbには「−A2」の信号つまり「1」がイネ
−ブル信号として入力され、ドライバ41〜44は動作
状態となる。このときドライバ51、52の入力端in
bには「A2」の信号つまり「0」が禁止信号として入
力され、ドライバ51、52は不動作状態となり、予備
メモリ5に対してのアクセスは行われない。 【0015】一方システムアドレスバス3はメモリアド
レスバス31に接続されるので、システムアドレスバス
3に現れたアドレスに対応するドライバが駆動される。
この例では説明上「00」、「10」を不良アドレスと
しているので、例えば正常なアドレス「01」に対して
ドライバ43が駆動され、その出力線であるワ−ド線W
Lに接続されているメモリセル40が選択され、この結
果選択されたビット線BLと交差するデ−タが読み出さ
れる。 【0016】これに対し、CPU21から出力された主
メモリ4のアドレスが不良なメモリセル40に対応する
アドレス(不良アドレス)である場合、例えば「00」
であれば、レジスタ61aに保持されているアドレスと
システムアドレスバス3に現れているアドレスとが一致
するので、コンパレ−タ62aから「1」が出力され、
スイッチ部S1、S2がいずれもN0側に切り替わる。
このため制御信号線A2のスイッチ部S2側は浮遊状態
になり、予備アドレス出力部63aから制御信号線A2
に出力された信号「1」がドライバ51、52の入力端
inbにイネ−ブル信号として入力され、これらドライ
バ51、52が動作状態になる。このときドライバ41
〜44の入力端inbには「−A2」の信号つまり
「0」が禁止信号として入力され、ドライバ41〜44
は不動作状態となり、主メモリ4に対してのアクセスは
行われない。 【0017】一方コンパレ−タ62aからの信号「1」
により予備アドレス出力部63aから予備メモリアドレ
スバス32に予備メモリ5のアドレス(予備アドレス)
例えば「01」が出力される。予備メモリアドレスバス
32はメモリアドレスバス31に接続されるのでドライ
バ51が駆動され、その出力線であるワ−ド線WLに接
続されているメモリセル50が選択される。この結果選
択されたビット線BLと交差するデ−タが読み出され
る。 【0018】このような実施例によれば、主メモリ4の
ドライバ41〜44と予備メモリ5のドライバ51、5
2とのうちの一方を有効に、他方を無効にするための共
通の制御信号線A2を設けると共に、システムアドレス
バス3に現れるアドレスが不良アドレスであるか否かを
コンパレ−タ62により監視し、このコンパレ−タ63
の出力に基づいて制御信号線A2の信号レベルを切り替
えているので制御信号線A2が1本で足り、その配線領
域が狭くて済む。 【0019】またメモリアドレスバス31がシステムア
ドレスバス3から切り離された状態で予備メモリ5がア
クセスされること、及び通常時は制御信号A2により予
備メモリ5のドライバ51、52は無効になっているこ
とから、メモリアドレスバス31に発生させる予備メモ
リ5のアドレスは、CPU21が管理しているアドレス
空間から独立している。従って予備メモリ5のアドレス
として、CPU21が管理しているアドレスを気にする
ことなく自由に決めることができ、特にメモリ用に準備
されたアドレス空間に予備メモリを追加する余裕がない
場合に有効な手法である。このようにシステムが必要と
する最小限度のアドレス空間を準備すればよいので、ア
ドレス信号線の数が少なくなり、この点からも配線領域
が少なくなり、チップ面積の縮小をもたらしダイコスト
の低減を可能にするという効果があると共に、不必要な
アドレス信号線のチャ−ジアップを行わなくなるため消
費電力の低減にもつながり、信頼性の向上にも貢献す
る。 【0020】ここで不良アドレスメモリ22に書き込ま
れている不良アドレスをレジスタ61に書き込む手法に
ついての好ましい例について述べる。図3は例えばMC
Uの電源を時刻t1に投入したときのMCU内の電源電
圧(vdd)の立上がり、クロック信号の立上がり、及
びリセット状況を示すタイムチャ−トである。一般にM
CU内では、電源電圧(vdd)が所定値まで立上がり
クロック信号が安定する時刻t2までの間、レジスタへ
の書き込みが禁止されるリセットの状態になっており、
時刻t2にてリセットが解除され、レジスタへの書き込
みが行われる。 【0021】レジスタ61への不良アドレスの書き込み
についてはリセットをかけないようにし、不安定であっ
てもクロック信号により不良アドレスをレジスタ61に
読みだし、順次次のクロックで上書きしていく。このよ
うにすればはじめはレジスタ61内のデ−タが正しくな
くても、リセットが解除されるときには正しいデ−タつ
まり不良アドレスがレジスタ61内に書き込まれている
ことになる。従ってMCUが処理を開始するときには、
主メモリ4の不良アドレスがアクセスされても予備メモ
リ5に振り替えられるので、デ−タ処理に支障がない
し、またMCUのスタンバイ後はレジスタ61への書き
込み処理を行わなくてよく、その分通常の処理を行うこ
とができる。 【0022】上述実施の形態では、主メモリ4に不良メ
モリセルがあると、そのセルを含むワード線WLを無効
とし、予備メモリ5のワード線Wに振り替え、「行」に
含まれるメモリセル群ごと予備メモリ5のメモリセルと
取り替えているが、主メモリ4の不良メモリセルを含む
ビット線BLを無効とし、予備メモリ5のビット線Wに
振り替え、「列」に含まれるメモリセル群ごと予備メモ
リ5のメモリセルと交換するように構成してもよく、こ
の場合は、不良アドレスはビット線を特定する上位のア
ドレスをレジスタに記憶させると共に、主メモリ4及び
予備メモリ5の列デコーダのドライバに対して上述実施
の形態と同様の構成を採用すればよい。 【0023】図1に示す実施の形態において、CPU2
1で管理しているアドレスに空きがある場合にはつまり
使用していないアドレスがある場合には、その空いてい
るアドレスを予備メモリ5のアドレスに割り当てるよう
にしてもよい。この場合コントロ−ルスイッチS2及び
制御信号線A2を設けない構成とすることができる。何
故なら、主メモリ4と予備メモリ5のアドレスは互いに
異なるものになるし、スイッチS1がシステムアドレス
バス3側に切り替わっているときにも、CPU21に接
続されているインタ−フェイスなどの機器と同じアドレ
スがメモリアドレス31に現れることがないからであ
る。 【0024】図4は本発明の更に他の実施の形態を示す
図である。この例が図1の装置と異なる点は、予備アド
レス出力部63を用いずに比較部をなす各コンパレ−タ
62a,62bの出力を予備メモリ5の各行の選択信号
としたことにあり、予備メモリ5のメモリセル50の数
が少ない場合に用いることができる。即ちコンパレ−タ
62a,62bの出力信号線は予備メモリ5の各行のメ
モリセル50群のゲ−トに夫々接続されている。この場
合メモリアドレスバス31及びアドレスバスを切り替え
るためのスイッチ部S1は不要であり、主メモリ4のデ
コ−ダをなすドライバ41〜44は直接システムアドレ
スバス3に接続されている。 【0025】またシステムアドレスバス3に不良アドレ
スが発生したときに主メモリ4が選択されないようにす
るためにドライバ41〜44の制御入力端inbに一端
が接続された制御信号線A2が設けられている。この制
御信号線A2の他端に設けられたスイッチ部S3は、コ
ンパレ−タ61a、61bの出力がいずれも「0」のと
きにはア−ス側に、いずれかが「1」のときには電源V
dd側に切り替わるように構成されている。 【0026】従ってシステムアドレスバス3に正常なメ
モリセル40に対応するアドレスが発生しているときに
は、スイッチ部S3はア−ス側に切り替わっているので
ドライバ41〜44はイネ−ブル状態にあり、主メモリ
4の対応する行のメモリセルが選択される。このときは
コンパレ−タ61a、61bの出力はいずれも「0」で
あり、予備メモリ5はアクセスされない。一方システム
アドレスバス3に不良アドレスが発生した場合には、ス
イッチ部S3はVdd側に切り替わると共にコンパレ−
タ61a(61b)の出力が「1」になるので、主メモ
リ4のアクセスが禁止され、予備メモリ5がアクセスさ
れる。 【0027】次に本発明の更に他の実施の形態について
説明すると、図5はこの実施の形態の概略を説明するた
めの説明図であり、図6は同実施の形態を示す回路図で
ある。M1は第1のメモリアレイ、M2は第2のメモリ
アレイであり、いずれも例えばフラッシュメモリよりな
る。メモリアレイM1のワ−ド線WL(横のラインであ
る「行」)及びメモリアレイM2のワ−ド線WLは、夫
々第1の行デコ−ダRD1及び第2の行デコ−ダRD2
により選択される。またメモリアレイM1において、行
デコ−ダRD1側から縦のラインに属するメモリセル7
0を1列目、2列目、…、メモリアレイM2において、
行デコ−ダRD2側から縦のラインに属するメモリセル
70を1列目、2列目…と呼ぶことにすると、両メモリ
アレイM2、M2の同じ列に相当するビット線BLは列
デコ−ダCDにより同時に選択(デコ−ド)される。な
おメモリセル70をなすトランジスタは、図5ではマス
として、図6では丸により夫々便宜的に示してあり、そ
の数も図のエリアの制約から便宜的なものである。 【0028】前記メモリアレイM1(M2)は、予め決
めた1行に含まれるメモリセル70例えば最終行のメモ
リセルを予備メモリ71(81)として用い、その他の
メモリセルを主メモリ72(82)として用いる。そし
てアドレスバス(システムアドレスバス)3に現れるア
ドレスのうち例えば上位ビットによりビット線BLが、
選択され、下位ビットにより主メモリ72、82の中か
らワ−ド線WLが選択される。 【0029】予備メモリ71(81)のワ−ド線WLの
選択については、第1のメモリアレイM1の主メモリ7
2のワ−ド線WLが選択されたときには第2のメモリア
レイM2の予備メモリ81のワ−ド線WLが選択され、
第2のメモリアレイM2の主メモリ82のワ−ド線WL
が選択されたときには第1のメモリアレイM1の予備メ
モリ71のワ−ド線WLが選択される。このような動作
を行うためには、例えば行デコ−ダRD1(RD2)に
おいて、各ワ−ド線WLの出力のオア回路を組み込み、
そのオア回路の出力を予備メモリ81(71)のワ−ド
線WLの信号とすればよい。 【0030】73、83は、夫々第1のメモリアレイM
1及び第2のメモリアレイM2のデ−タを読み出してデ
−タバス2に出力するセンスアンプであり、例えばメモ
リアレイM1の主メモリ72のn行、m列のメモリセル
70が選択されると、センスアンプ73にてそのメモリ
セル70のデ−タが読み出される。またこのとき第2の
メモリアレイM2の予備メモリ81のm列のメモリセル
70が選択され、そのデ−タがセンスアンプに読み出さ
れている。ここでこの実施の形態では、主メモリ72
(82)に不良なメモリセル70が含まれている場合
に、その不良メモリセル70に代えて第2のメモリアレ
イM2の予備メモリ81(第1のメモリアレイM1の予
備メモリ71)に振り替えるようにしている。 【0031】この様子を図5に示す。例えば主メモリ7
2の1列、2行のメモリセルAが不良であるとすると、
このメモリセルAに書いておくべきデ−タを予備メモリ
81の1列のメモリセルAに予め書いておく。このよう
に処理しておくことにより、主メモリセル72の不良メ
モリセルAが選択されたときには、この不良メモリセル
Aの代替えの予備メモリ81のメモリセルAが選択され
てセンスアンプ83に読み出されるので、このセンスア
ンプ83の読みだしデ−タをデ−タバス2に出力すれば
よい。図5において、主メモリ72、82中に記載した
大文字のアルファベットは不良メモリセルであり、これ
ら不良メモリセルが振り替えられる予備メモリ71、8
1のメモリセルに、対応するアルファベットを付してあ
る。ただし主メモリ72(82)の一列の中に不良メモ
リセルが2個以上ある場合には、検査段階で不良品とし
て除外されているので、この実施の形態の対象としてい
るデバイスは、一列の中に不良メモリセルがあったとし
てもその数は1個である。 【0032】ところで、選択された主メモリ72(8
2)のメモリアレイ70が正常であれば、そのメモリア
レイ70から読み出した一方のセンスアンプ73(8
3)からデ−タバス2に出力し、不良メモリアレイ70
を選択したときには他方のセンスアンプ83(73)か
らデ−タバス2に出力する必要があるため、センスアン
プ73(83)の切り替えを行うために、既述の実施の
形態と同様にレジスタ91及びコンパレ−タ92を用
い、コンパレ−タ92の出力に応じて、センスアンプ7
3、83とデ−タバス2との間に設けたスイッチ部10
0、200の切り替えを行うようにしている。 【0033】次に、レジスタ91、コンパレ−タ92及
びスイッチ部100、200の切り替えのための回路に
ついて図7を参照しながら説明する。レジスタ91は、
主メモリ72の不良アドレスが書き込まれるレジスタ9
1−1及び91−2と、主メモリ82の不良アドレスが
書き込まれるレジスタ91−3及び91−4とからな
る。コンパレ−タ92は、主メモリ72の不良アドレス
がアドレスバス3に現れたときに比較結果a1、a2を
夫々出力するコンパレ−タ92−1及び92−2と、主
メモリ82の不良アドレスがアドレスバス3に現れたと
きに比較結果b1、b2を夫々出力するコンパレ−タ9
2−3及び92−4とからなる。そしてスイッチ部10
0(200)は、上述の比較結果a1、a2、b1、b
2と、行デコ−ダRD1(RD2)がいずれかのワ−ド
線WLを選択したときに出力される選択信号とに基づい
て図7のロジックによりオン、オフ制御され、オア回路
104(204)から「1」が入力されたときにスイッ
チが閉じ、「0」が入力されたときにスイッチが開くも
のとする。なお図中101、102、201、202は
オア回路、103、203は排他的論理和回路である。
また排他的論理和回路103の入力信号である行デコー
ダののRD1(RD2)からの選択信号は便宜上、出力
元の行デコ−ダと同一の符号としてある。 【0034】例えば主メモリ72から正常なメモリセル
が選択されたとすると、a1、a2は「0」であり、R
D1は「1」であるから排他的論理和回路103の出力
は「1」であり、従ってスイッチ部100は閉じる。一
方スイッチ部200についてはb1、b2が「0」、R
D2が「0」であるから、開いており、従ってセンスア
ンプ73にて読み出されたデ−タがデ−タバス2に出力
される。 【0035】これに対して主メモリ7の不良メモリセル
が選択されたとすると、a1(a2)は「1」となり、
RD1は「1」であるから排他的論理和回路103の出
力は「0」となり、スイッチ部100は開く(b1、b
2は「0」である)。一方スイッチ部200については
a1(a2)が「1」であるから閉じ、従ってセンスア
ンプ83にて読み出されたデ−タ(これは予備メモリ8
1のデ−タである)がデータバス2に出力される。 【0036】このような実施の形態によれば先の実施の
形態の場合よりもデ−タバス2へのデ−タの送出を早く
行うことができる。 【0037】図8の(a)、(b)は、図5〜図7に示
す実施の形態におけるアドレス信号及びデ−タの確定の
様子を示す。アドレス信号が時刻t1で確定すると、主
メモリ72(82)及び予備メモリ81(71)から同
時にセンスアンプ73(83)にデ−タが読み出される
と共にスイッチ部100、200の切り替えが行われ
る。この結果時刻t2にてデ−タが確定する。 【0038】一方図8の(c)、(d)は、図1及び図
2に示す実施の形態におけるアドレス信号及びデ−タの
確定の様子を示す。この場合はアドレス信号が確定した
後、スイッチ部S1、S2の切り替えなどの処理に時間
Tを要し、このため読み出すべきメモリセルが確定する
のは、クロック1の立上がりの時刻t2であり、従って
図5〜図7に示す実施の形態の方が処理速度という点か
らすれば有利である。 【0039】図5、6の実施の形態では、主メモリ72
(82)の列の数と同じ数のメモリセルを予備メモリ8
1(72)として用意しているが、主メモリ72(8
2)の行の数と同じ数のメモリセルを予備メモリとして
用意し、主メモリのメモリセルが選択されたときに予備
メモリの中から主メモリで選択されたメモリセルの行に
対応するメモリセルを選択するようにしてもよい。 【0040】 【発明の効果】以上のように請求項1〜4の発明によれ
ば、主メモリのメモリセルが不良である場合に予備メモ
リに振り替える半導体メモリ装置を構成するにあたり、
チップ面積の増加を抑えることができる。また請求項5
の発明によれば、処理速度を早くすることができる。
に関し、特に不良メモリセル(エラーセル)のアドレス
を記憶してそのセルの代わりに予備メモリのセルを利用
する技術に関する。 【0002】 【従来の技術】DRAMなどの半導体メモリにおいて
は、検査時に不良と判定されたセルのアドレスを不揮発
性メモリである不良アドレスメモリに書き込み、コンピ
ュ−タの電源投入直後にこの不良アドレスメモリから不
良アドレスを読みだしレジスタに記憶し、このレジスタ
の出力に基づいてアドレスデコ−ダに変更を加えるよう
にしている。 【0003】図9はこのような処理を行うための回路
例、即ち不良セルをアドレス空間から切り離すための回
路例を示す。1はメモリセル10からなるメモリ領域、
11〜14はアドレスに対応するワード線を選択するた
めのドライバ、F1〜F4はドライバ11〜14を夫々
選択するためのフリップフロップであり、図示しないレ
ジスタから不良アドレスが読み出され、そのアドレスに
対応するフリップフロップF1(F2〜F3)からドラ
イバ11(12〜14)に禁止信号が出力される。この
結果当該アドレスがCPUから読み出されても、対応す
るセルは選択されず、代わりに別途設けられた図示しな
い予備メモリ領域内のセルが選択される。なおこの例は
メモリ領域において不良アドレスを含む「行」のセル群
の選択が行われないように構成している。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】上述の回路は各「行」
のメモリセル群毎にそれらセルをメモリ領域から切り離
すためのコントロ−ル線が設けられているため、コント
ロ−ル線に必要なチップ面積が増加するという問題があ
り、また予備メモリ領域にCPUが管理しているアドレ
ス空間の一部を割り当てるので広いアドレス空間が必要
になり、それに伴ってアドレス線の数も増えるという問
題がある。 【0005】本発明はこのような事情にもとづいてなさ
れたものであり、主メモリの不良メモリセルが選択され
るときに予備メモリに振り替える半導体メモリ装置にお
いて、チップ面積の増加を抑えることを目的とする。ま
た本発明はこの種の半導体メモリ装置において早い処理
速度を確保することを目的とする。 【0006】 【課題を解決する手段】請求項1の発明は、アドレスバ
スに現れたアドレスが主メモリの不良メモリセルに対応
するときには予備メモリのメモリセルを選択する半導体
メモリ装置において、主メモリの列または行の数と同じ
数のメモリセルを備えた予備メモリと、主メモリのメモ
リセルが選択されたときに、予備メモリの中から、主メ
モリで選択されたメモリセルの列または行に対応するメ
モリセルを選択する手段と、主メモリにて選択されたメ
モリセルのデ−タを読み出す第1のセンスアンプと、予
備メモリにて選択されたメモリセルのデ−タを読み出す
第2のセンスアンプと、アドレスバスに現れたアドレス
が正常なメモリセルに対応するときには、第1のセンス
アンプをアドレスバスに接続すると共に第2のセンスア
ンプをアドレスバスから切り離し、またアドレスバスに
現れたアドレスが不良なメモリセルに対応するときに
は、第1のセンスアンプをアドレスバスから切り離すと
共に第2のセンスアンプをアドレスバスに接続する手段
と、を備えたことを特徴とする。 【0007】 【発明の実施の形態】図1は、本発明の半導体メモリ装
置の実施の形態を示す回路図、図2はこのメモリ装置を
適用したデ−タ処理装置例えばMCU(マイクロコント
ロ−ラユニット)の全体概要図である。図において2は
デ−タバス、21はCPU(中央処理装置)、3はアド
レスバスである。この例では、図2の構成のうちCPU
21を除いた部分をメモリ装置と呼ぶことにすると、メ
モリ装置はデ−タを格納するために不揮発性メモリ例え
ばフラッシュメモリからなる主メモリ4と、この主メモ
リ4に含まれる不良メモリセルのアドレス(以下不良ア
ドレスという)が予め書き込まれる不揮発性メモリであ
る不良アドレスメモリ22、主メモリ4内の不良メモリ
セルの代わりに用いられる予備メモリセルが割り当てら
れた予備メモリ(冗長メモリ)5と、を備えている。 【0008】また図1において40及び50は各々トラ
ンジスタからなるメモリセルを示している。この例では
主メモリ4及び予備メモリ5は共通のメモリチップ内に
別々のメモリ領域に割り当てられて設けられており、ビ
ット線BLはメモリセル40、50で共通化されてい
る。なお主メモリ4と予備メモリ5は共通のメモリアレ
イに設けられることに限らず別々のメモリアレイに設け
られていてもよい。WLはワ−ド線である。 【0009】41〜44は主メモリ4の各ワ−ド線WL
に対応するメモリセル群40を選択する、デコ−ダの一
部を構成するドライバ、51、52は予備メモリ5の各
ワ−ド線WLに対応するメモリセル群50を選択する、
デコ−ダの一部を構成するドライバである。これらドラ
イバ41〜44、51、52は、アドレスバス31に接
続される入力端inaと、制御信号線A2に接続される
入力端inbとを備えている。制御信号線A2はドライ
バ41〜44、51、52を動作または不動作にするた
めの制御信号を送るものであり、ドライバ41〜44、
51、52は入力端inaに論理「1」の信号が入力さ
れたときに動作状態となり、論理「0」の信号が入力さ
れたときに不動作状態となる。即ちこの例ではイネ−ブ
ル信号である「1」が入力されたときにアドレス信号の
入力が有効になる。 【0010】以上において、説明の便宜上例えばシステ
ムアドレスバス3に現れた下位2ビットがワ−ド線WL
に対応しているものとし、アドレスバスのうちワ−ド線
WLに対応する信号線をA0、A1の信号線からなるも
のとし、各ドライバ41〜44、51、52の入力側に
付してあるA0、A1などの符号を夫々信号線A0、A
1に出力されている信号レベルを表すものとする。なお
図ではその信号レベルの反転信号として上線を付してあ
るが、明細書では使用しているワ−プロの制限によりA
0の反転信号は「−A0」として記載する。従って例え
ば制御信号線A2に「1」が現れると、ドライバ41〜
44、51、52には「−A2」つまり「0]が入力さ
れることになる。 【0011】更にこのメモリ装置はレジスタ61を備え
ており、このレジスタ61はデ−タ処理装置の電源を投
入したときに不良アドレスメモリ22に書き込まれてい
る不良アドレスがコピ−される。この例ではこの不良ア
ドレスとは、主メモリ4のエラ−セルを含む「行」を特
定するアドレスである。62は比較部であるコンパレ−
タであり、このコンパレ−タ62は、アドレスバス3に
出力されたアドレスとレジスタ61に保持されているア
ドレスとが一致したときに例えば信号「1]が後述の予
備メモリアドレス出力部63、スイッチ部S1およびS
2に出力される。この例では主メモリ4の不良アドレス
(詳しくは不良アドレスのうち「行」を特定する下位2
ビット)を「00」、「10」の2個として説明しよう
としているため、レジスタ61は、これら不良アドレス
を夫々保持する2個のレジスタ61a、61bからな
り、またこれに対応してコンパレ−タ62は2個のコン
パレ−タ62a、62bからなる。 【0012】また63で示される予備メモリアドレス出
力部63は、例えば予備メモリ5のアドレスを夫々出力
するためのアドレス出力部63aおよび63bからな
り、各アドレス出力部63は、前記コンパレ−タ62か
らの信号「1」が入力されたときに、予備メモリ5のア
ドレスに対応する2ビットのデ−タをアドレスバス32
をなす信号線A0、A1に夫々出力する。またこれらア
ドレス出力部63a、63bは予備メモリ5のアドレス
の他に制御信号線A2に信号「1」を出力する。なおア
ドレスバスの用語は符号3、31、32で用いている
が、用語の混乱を避けるために3をシステムアドレスバ
ス、31をメモリアドレスバス、32を予備メモリアド
レスバスと夫々呼ぶことにする。 【0013】スイッチ部S1はメモリアドレスバス31
をシステムアドレス3または予備メモリアドレスバス3
2の一方に接続するための切り替え手段であり、接点N
C側では前者が、接点NO側では後者が選択される。ま
たスイッチ部S2は制御信号線A2をア−スに接続する
(接点NC側)か、浮遊状態の端子(接点NO側)に接
続する。スイッチ部S2及び制御信号線はデコーダ制御
手段をなしている。 【0014】次に上述実施の形態の作用について説明す
る。CPU21から主メモリ4のアドレスが出力され、
そのアドレスが正常な場合にはレジスタ61a(61
b)に保持されているアドレス(不良アドレス)とシス
テムアドレスバス3に現れているアドレスとは一致しな
いので、コンパレ−タ62a、62bのいずれの出力も
「0」であり、スイッチ部S1、S2はいずれもNC側
に切り替わっている(図1の状態)。このため制御信号
線A2はア−スに接続されるのでドライバ41〜44の
入力端inbには「−A2」の信号つまり「1」がイネ
−ブル信号として入力され、ドライバ41〜44は動作
状態となる。このときドライバ51、52の入力端in
bには「A2」の信号つまり「0」が禁止信号として入
力され、ドライバ51、52は不動作状態となり、予備
メモリ5に対してのアクセスは行われない。 【0015】一方システムアドレスバス3はメモリアド
レスバス31に接続されるので、システムアドレスバス
3に現れたアドレスに対応するドライバが駆動される。
この例では説明上「00」、「10」を不良アドレスと
しているので、例えば正常なアドレス「01」に対して
ドライバ43が駆動され、その出力線であるワ−ド線W
Lに接続されているメモリセル40が選択され、この結
果選択されたビット線BLと交差するデ−タが読み出さ
れる。 【0016】これに対し、CPU21から出力された主
メモリ4のアドレスが不良なメモリセル40に対応する
アドレス(不良アドレス)である場合、例えば「00」
であれば、レジスタ61aに保持されているアドレスと
システムアドレスバス3に現れているアドレスとが一致
するので、コンパレ−タ62aから「1」が出力され、
スイッチ部S1、S2がいずれもN0側に切り替わる。
このため制御信号線A2のスイッチ部S2側は浮遊状態
になり、予備アドレス出力部63aから制御信号線A2
に出力された信号「1」がドライバ51、52の入力端
inbにイネ−ブル信号として入力され、これらドライ
バ51、52が動作状態になる。このときドライバ41
〜44の入力端inbには「−A2」の信号つまり
「0」が禁止信号として入力され、ドライバ41〜44
は不動作状態となり、主メモリ4に対してのアクセスは
行われない。 【0017】一方コンパレ−タ62aからの信号「1」
により予備アドレス出力部63aから予備メモリアドレ
スバス32に予備メモリ5のアドレス(予備アドレス)
例えば「01」が出力される。予備メモリアドレスバス
32はメモリアドレスバス31に接続されるのでドライ
バ51が駆動され、その出力線であるワ−ド線WLに接
続されているメモリセル50が選択される。この結果選
択されたビット線BLと交差するデ−タが読み出され
る。 【0018】このような実施例によれば、主メモリ4の
ドライバ41〜44と予備メモリ5のドライバ51、5
2とのうちの一方を有効に、他方を無効にするための共
通の制御信号線A2を設けると共に、システムアドレス
バス3に現れるアドレスが不良アドレスであるか否かを
コンパレ−タ62により監視し、このコンパレ−タ63
の出力に基づいて制御信号線A2の信号レベルを切り替
えているので制御信号線A2が1本で足り、その配線領
域が狭くて済む。 【0019】またメモリアドレスバス31がシステムア
ドレスバス3から切り離された状態で予備メモリ5がア
クセスされること、及び通常時は制御信号A2により予
備メモリ5のドライバ51、52は無効になっているこ
とから、メモリアドレスバス31に発生させる予備メモ
リ5のアドレスは、CPU21が管理しているアドレス
空間から独立している。従って予備メモリ5のアドレス
として、CPU21が管理しているアドレスを気にする
ことなく自由に決めることができ、特にメモリ用に準備
されたアドレス空間に予備メモリを追加する余裕がない
場合に有効な手法である。このようにシステムが必要と
する最小限度のアドレス空間を準備すればよいので、ア
ドレス信号線の数が少なくなり、この点からも配線領域
が少なくなり、チップ面積の縮小をもたらしダイコスト
の低減を可能にするという効果があると共に、不必要な
アドレス信号線のチャ−ジアップを行わなくなるため消
費電力の低減にもつながり、信頼性の向上にも貢献す
る。 【0020】ここで不良アドレスメモリ22に書き込ま
れている不良アドレスをレジスタ61に書き込む手法に
ついての好ましい例について述べる。図3は例えばMC
Uの電源を時刻t1に投入したときのMCU内の電源電
圧(vdd)の立上がり、クロック信号の立上がり、及
びリセット状況を示すタイムチャ−トである。一般にM
CU内では、電源電圧(vdd)が所定値まで立上がり
クロック信号が安定する時刻t2までの間、レジスタへ
の書き込みが禁止されるリセットの状態になっており、
時刻t2にてリセットが解除され、レジスタへの書き込
みが行われる。 【0021】レジスタ61への不良アドレスの書き込み
についてはリセットをかけないようにし、不安定であっ
てもクロック信号により不良アドレスをレジスタ61に
読みだし、順次次のクロックで上書きしていく。このよ
うにすればはじめはレジスタ61内のデ−タが正しくな
くても、リセットが解除されるときには正しいデ−タつ
まり不良アドレスがレジスタ61内に書き込まれている
ことになる。従ってMCUが処理を開始するときには、
主メモリ4の不良アドレスがアクセスされても予備メモ
リ5に振り替えられるので、デ−タ処理に支障がない
し、またMCUのスタンバイ後はレジスタ61への書き
込み処理を行わなくてよく、その分通常の処理を行うこ
とができる。 【0022】上述実施の形態では、主メモリ4に不良メ
モリセルがあると、そのセルを含むワード線WLを無効
とし、予備メモリ5のワード線Wに振り替え、「行」に
含まれるメモリセル群ごと予備メモリ5のメモリセルと
取り替えているが、主メモリ4の不良メモリセルを含む
ビット線BLを無効とし、予備メモリ5のビット線Wに
振り替え、「列」に含まれるメモリセル群ごと予備メモ
リ5のメモリセルと交換するように構成してもよく、こ
の場合は、不良アドレスはビット線を特定する上位のア
ドレスをレジスタに記憶させると共に、主メモリ4及び
予備メモリ5の列デコーダのドライバに対して上述実施
の形態と同様の構成を採用すればよい。 【0023】図1に示す実施の形態において、CPU2
1で管理しているアドレスに空きがある場合にはつまり
使用していないアドレスがある場合には、その空いてい
るアドレスを予備メモリ5のアドレスに割り当てるよう
にしてもよい。この場合コントロ−ルスイッチS2及び
制御信号線A2を設けない構成とすることができる。何
故なら、主メモリ4と予備メモリ5のアドレスは互いに
異なるものになるし、スイッチS1がシステムアドレス
バス3側に切り替わっているときにも、CPU21に接
続されているインタ−フェイスなどの機器と同じアドレ
スがメモリアドレス31に現れることがないからであ
る。 【0024】図4は本発明の更に他の実施の形態を示す
図である。この例が図1の装置と異なる点は、予備アド
レス出力部63を用いずに比較部をなす各コンパレ−タ
62a,62bの出力を予備メモリ5の各行の選択信号
としたことにあり、予備メモリ5のメモリセル50の数
が少ない場合に用いることができる。即ちコンパレ−タ
62a,62bの出力信号線は予備メモリ5の各行のメ
モリセル50群のゲ−トに夫々接続されている。この場
合メモリアドレスバス31及びアドレスバスを切り替え
るためのスイッチ部S1は不要であり、主メモリ4のデ
コ−ダをなすドライバ41〜44は直接システムアドレ
スバス3に接続されている。 【0025】またシステムアドレスバス3に不良アドレ
スが発生したときに主メモリ4が選択されないようにす
るためにドライバ41〜44の制御入力端inbに一端
が接続された制御信号線A2が設けられている。この制
御信号線A2の他端に設けられたスイッチ部S3は、コ
ンパレ−タ61a、61bの出力がいずれも「0」のと
きにはア−ス側に、いずれかが「1」のときには電源V
dd側に切り替わるように構成されている。 【0026】従ってシステムアドレスバス3に正常なメ
モリセル40に対応するアドレスが発生しているときに
は、スイッチ部S3はア−ス側に切り替わっているので
ドライバ41〜44はイネ−ブル状態にあり、主メモリ
4の対応する行のメモリセルが選択される。このときは
コンパレ−タ61a、61bの出力はいずれも「0」で
あり、予備メモリ5はアクセスされない。一方システム
アドレスバス3に不良アドレスが発生した場合には、ス
イッチ部S3はVdd側に切り替わると共にコンパレ−
タ61a(61b)の出力が「1」になるので、主メモ
リ4のアクセスが禁止され、予備メモリ5がアクセスさ
れる。 【0027】次に本発明の更に他の実施の形態について
説明すると、図5はこの実施の形態の概略を説明するた
めの説明図であり、図6は同実施の形態を示す回路図で
ある。M1は第1のメモリアレイ、M2は第2のメモリ
アレイであり、いずれも例えばフラッシュメモリよりな
る。メモリアレイM1のワ−ド線WL(横のラインであ
る「行」)及びメモリアレイM2のワ−ド線WLは、夫
々第1の行デコ−ダRD1及び第2の行デコ−ダRD2
により選択される。またメモリアレイM1において、行
デコ−ダRD1側から縦のラインに属するメモリセル7
0を1列目、2列目、…、メモリアレイM2において、
行デコ−ダRD2側から縦のラインに属するメモリセル
70を1列目、2列目…と呼ぶことにすると、両メモリ
アレイM2、M2の同じ列に相当するビット線BLは列
デコ−ダCDにより同時に選択(デコ−ド)される。な
おメモリセル70をなすトランジスタは、図5ではマス
として、図6では丸により夫々便宜的に示してあり、そ
の数も図のエリアの制約から便宜的なものである。 【0028】前記メモリアレイM1(M2)は、予め決
めた1行に含まれるメモリセル70例えば最終行のメモ
リセルを予備メモリ71(81)として用い、その他の
メモリセルを主メモリ72(82)として用いる。そし
てアドレスバス(システムアドレスバス)3に現れるア
ドレスのうち例えば上位ビットによりビット線BLが、
選択され、下位ビットにより主メモリ72、82の中か
らワ−ド線WLが選択される。 【0029】予備メモリ71(81)のワ−ド線WLの
選択については、第1のメモリアレイM1の主メモリ7
2のワ−ド線WLが選択されたときには第2のメモリア
レイM2の予備メモリ81のワ−ド線WLが選択され、
第2のメモリアレイM2の主メモリ82のワ−ド線WL
が選択されたときには第1のメモリアレイM1の予備メ
モリ71のワ−ド線WLが選択される。このような動作
を行うためには、例えば行デコ−ダRD1(RD2)に
おいて、各ワ−ド線WLの出力のオア回路を組み込み、
そのオア回路の出力を予備メモリ81(71)のワ−ド
線WLの信号とすればよい。 【0030】73、83は、夫々第1のメモリアレイM
1及び第2のメモリアレイM2のデ−タを読み出してデ
−タバス2に出力するセンスアンプであり、例えばメモ
リアレイM1の主メモリ72のn行、m列のメモリセル
70が選択されると、センスアンプ73にてそのメモリ
セル70のデ−タが読み出される。またこのとき第2の
メモリアレイM2の予備メモリ81のm列のメモリセル
70が選択され、そのデ−タがセンスアンプに読み出さ
れている。ここでこの実施の形態では、主メモリ72
(82)に不良なメモリセル70が含まれている場合
に、その不良メモリセル70に代えて第2のメモリアレ
イM2の予備メモリ81(第1のメモリアレイM1の予
備メモリ71)に振り替えるようにしている。 【0031】この様子を図5に示す。例えば主メモリ7
2の1列、2行のメモリセルAが不良であるとすると、
このメモリセルAに書いておくべきデ−タを予備メモリ
81の1列のメモリセルAに予め書いておく。このよう
に処理しておくことにより、主メモリセル72の不良メ
モリセルAが選択されたときには、この不良メモリセル
Aの代替えの予備メモリ81のメモリセルAが選択され
てセンスアンプ83に読み出されるので、このセンスア
ンプ83の読みだしデ−タをデ−タバス2に出力すれば
よい。図5において、主メモリ72、82中に記載した
大文字のアルファベットは不良メモリセルであり、これ
ら不良メモリセルが振り替えられる予備メモリ71、8
1のメモリセルに、対応するアルファベットを付してあ
る。ただし主メモリ72(82)の一列の中に不良メモ
リセルが2個以上ある場合には、検査段階で不良品とし
て除外されているので、この実施の形態の対象としてい
るデバイスは、一列の中に不良メモリセルがあったとし
てもその数は1個である。 【0032】ところで、選択された主メモリ72(8
2)のメモリアレイ70が正常であれば、そのメモリア
レイ70から読み出した一方のセンスアンプ73(8
3)からデ−タバス2に出力し、不良メモリアレイ70
を選択したときには他方のセンスアンプ83(73)か
らデ−タバス2に出力する必要があるため、センスアン
プ73(83)の切り替えを行うために、既述の実施の
形態と同様にレジスタ91及びコンパレ−タ92を用
い、コンパレ−タ92の出力に応じて、センスアンプ7
3、83とデ−タバス2との間に設けたスイッチ部10
0、200の切り替えを行うようにしている。 【0033】次に、レジスタ91、コンパレ−タ92及
びスイッチ部100、200の切り替えのための回路に
ついて図7を参照しながら説明する。レジスタ91は、
主メモリ72の不良アドレスが書き込まれるレジスタ9
1−1及び91−2と、主メモリ82の不良アドレスが
書き込まれるレジスタ91−3及び91−4とからな
る。コンパレ−タ92は、主メモリ72の不良アドレス
がアドレスバス3に現れたときに比較結果a1、a2を
夫々出力するコンパレ−タ92−1及び92−2と、主
メモリ82の不良アドレスがアドレスバス3に現れたと
きに比較結果b1、b2を夫々出力するコンパレ−タ9
2−3及び92−4とからなる。そしてスイッチ部10
0(200)は、上述の比較結果a1、a2、b1、b
2と、行デコ−ダRD1(RD2)がいずれかのワ−ド
線WLを選択したときに出力される選択信号とに基づい
て図7のロジックによりオン、オフ制御され、オア回路
104(204)から「1」が入力されたときにスイッ
チが閉じ、「0」が入力されたときにスイッチが開くも
のとする。なお図中101、102、201、202は
オア回路、103、203は排他的論理和回路である。
また排他的論理和回路103の入力信号である行デコー
ダののRD1(RD2)からの選択信号は便宜上、出力
元の行デコ−ダと同一の符号としてある。 【0034】例えば主メモリ72から正常なメモリセル
が選択されたとすると、a1、a2は「0」であり、R
D1は「1」であるから排他的論理和回路103の出力
は「1」であり、従ってスイッチ部100は閉じる。一
方スイッチ部200についてはb1、b2が「0」、R
D2が「0」であるから、開いており、従ってセンスア
ンプ73にて読み出されたデ−タがデ−タバス2に出力
される。 【0035】これに対して主メモリ7の不良メモリセル
が選択されたとすると、a1(a2)は「1」となり、
RD1は「1」であるから排他的論理和回路103の出
力は「0」となり、スイッチ部100は開く(b1、b
2は「0」である)。一方スイッチ部200については
a1(a2)が「1」であるから閉じ、従ってセンスア
ンプ83にて読み出されたデ−タ(これは予備メモリ8
1のデ−タである)がデータバス2に出力される。 【0036】このような実施の形態によれば先の実施の
形態の場合よりもデ−タバス2へのデ−タの送出を早く
行うことができる。 【0037】図8の(a)、(b)は、図5〜図7に示
す実施の形態におけるアドレス信号及びデ−タの確定の
様子を示す。アドレス信号が時刻t1で確定すると、主
メモリ72(82)及び予備メモリ81(71)から同
時にセンスアンプ73(83)にデ−タが読み出される
と共にスイッチ部100、200の切り替えが行われ
る。この結果時刻t2にてデ−タが確定する。 【0038】一方図8の(c)、(d)は、図1及び図
2に示す実施の形態におけるアドレス信号及びデ−タの
確定の様子を示す。この場合はアドレス信号が確定した
後、スイッチ部S1、S2の切り替えなどの処理に時間
Tを要し、このため読み出すべきメモリセルが確定する
のは、クロック1の立上がりの時刻t2であり、従って
図5〜図7に示す実施の形態の方が処理速度という点か
らすれば有利である。 【0039】図5、6の実施の形態では、主メモリ72
(82)の列の数と同じ数のメモリセルを予備メモリ8
1(72)として用意しているが、主メモリ72(8
2)の行の数と同じ数のメモリセルを予備メモリとして
用意し、主メモリのメモリセルが選択されたときに予備
メモリの中から主メモリで選択されたメモリセルの行に
対応するメモリセルを選択するようにしてもよい。 【0040】 【発明の効果】以上のように請求項1〜4の発明によれ
ば、主メモリのメモリセルが不良である場合に予備メモ
リに振り替える半導体メモリ装置を構成するにあたり、
チップ面積の増加を抑えることができる。また請求項5
の発明によれば、処理速度を早くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の要部を示す回路図であ
る。 【図2】上記の実施の形態の全体を示す回路図である。 【図3】コンピュ−タの電源投入時の各部の電圧の立上
がりの様子を示す波形図である。 【図4】本発明の他の実施の形態の要部を示す回路図で
ある。 【図5】本発明の更に他の実施の形態の概略を示す説明
図である。 【図6】上記の更に他の実施の形態の要部を示す回路図
である。 【図7】上記の更に他の実施の形態において、スイッチ
部の切り替えのための回路を示す回路図である。 【図8】図1及び図6に示す実施の形態におけるデ−タ
の確定の様子を示すタイムチャ−トである。 【図9】従来の半導体メモリ装置の一部を示す回路図で
ある。 【符号の説明】 2 デ−タバス 22 不良アドレスメモリ 3 アドレスバス(システムアドレスバス) 31 メモリアドレスバス 32 予備メモリアドレスバス 4 主メモリ 40 メモリセル 41〜44 ドライバ 5 予備メモリ 50 メモリセル 51 ドライバ 61 レジスタ 62 コンパレ−タ 63 不良アドレス出力部 S1、S2 スイッチ部 BL ビット線 WL ワ−ド線 M1 第1のメモリアレイ M2 第2のメモリアレイ 71、81 予備メモリ 72、82 主メモリ 73、83 センスアンプ 91 レジスタ 92 コンパレ−タ 100、200 スイッチ部 RD1、RD2 行デコ−ダ CD 列デコ−ダ
る。 【図2】上記の実施の形態の全体を示す回路図である。 【図3】コンピュ−タの電源投入時の各部の電圧の立上
がりの様子を示す波形図である。 【図4】本発明の他の実施の形態の要部を示す回路図で
ある。 【図5】本発明の更に他の実施の形態の概略を示す説明
図である。 【図6】上記の更に他の実施の形態の要部を示す回路図
である。 【図7】上記の更に他の実施の形態において、スイッチ
部の切り替えのための回路を示す回路図である。 【図8】図1及び図6に示す実施の形態におけるデ−タ
の確定の様子を示すタイムチャ−トである。 【図9】従来の半導体メモリ装置の一部を示す回路図で
ある。 【符号の説明】 2 デ−タバス 22 不良アドレスメモリ 3 アドレスバス(システムアドレスバス) 31 メモリアドレスバス 32 予備メモリアドレスバス 4 主メモリ 40 メモリセル 41〜44 ドライバ 5 予備メモリ 50 メモリセル 51 ドライバ 61 レジスタ 62 コンパレ−タ 63 不良アドレス出力部 S1、S2 スイッチ部 BL ビット線 WL ワ−ド線 M1 第1のメモリアレイ M2 第2のメモリアレイ 71、81 予備メモリ 72、82 主メモリ 73、83 センスアンプ 91 レジスタ 92 コンパレ−タ 100、200 スイッチ部 RD1、RD2 行デコ−ダ CD 列デコ−ダ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】 【提出日】平成14年11月27日(2002.11.
27) 【手続補正1】 【補正対象書類名】明細書 【補正対象項目名】全文 【補正方法】変更 【補正内容】 【書類名】 明細書 【発明の名称】 半導体メモリ装置 【特許請求の範囲】 【請求項1】 アドレスバスに現れたアドレスが主メモ
リの不良メモリセルに対応するときには予備メモリのメ
モリセルを選択する半導体メモリ装置において、 主メモリの列または行の数と同じ数のメモリセルを備え
た予備メモリと、 主メモリのメモリセルが選択されたときに、予備メモリ
の中から、主メモリで選択されたメモリセルの列または
行に対応するメモリセルを選択する手段と、 主メモリにて選択されたメモリセルのデ−タを読み出す
第1のセンスアンプと、 予備メモリにて選択されたメモリセルのデ−タを読み出
す第2のセンスアンプと、 アドレスバスに現れたアドレスが正常なメモリセルに対
応するときには、第1のセンスアンプをアドレスバスに
接続すると共に第2のセンスアンプをアドレスバスから
切り離し、またアドレスバスに現れたアドレスが不良な
メモリセルに対応するときには、第1のセンスアンプを
アドレスバスから切り離すと共に第2のセンスアンプを
アドレスバスに接続する手段と、を備えたことを特徴と
する半導体メモリ装置。 【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、半導体メモリ装置
に関し、特に不良メモリセル(エラーセル)のアドレス
を記憶してそのセルの代わりに予備メモリのセルを利用
する技術に関する。 【0002】 【従来の技術】DRAMなどの半導体メモリにおいて
は、検査時に不良と判定されたセルのアドレスを不揮発
性メモリである不良アドレスメモリに書き込み、コンピ
ュ−タの電源投入直後にこの不良アドレスメモリから不
良アドレスを読みだしレジスタに記憶し、このレジスタ
の出力に基づいてアドレスデコ−ダに変更を加えるよう
にしている。 【0003】図7はこのような処理を行うための回路
例、即ち不良セルをアドレス空間から切り離すための回
路例を示す。1はメモリセル10からなるメモリ領域、
11〜14はアドレスに対応するワード線を選択するた
めのドライバ、F1〜F4はドライバ11〜14を夫々
選択するためのフリップフロップであり、図示しないレ
ジスタから不良アドレスが読み出され、そのアドレスに
対応するフリップフロップF1(F2〜F3)からドラ
イバ11(12〜14)に禁止信号が出力される。この
結果当該アドレスがCPUから読み出されても、対応す
るセルは選択されず、代わりに別途設けられた図示しな
い予備メモリ領域内のセルが選択される。なおこの例は
メモリ領域において不良アドレスを含む「行」のセル群
の選択が行われないように構成している。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】本発明はこの種の半導
体メモリ装置において早い処理速度を確保することを目
的とする。 【0005】 【課題を解決する手段】請求項1の発明は、アドレスバ
スに現れたアドレスが主メモリの不良メモリセルに対応
するときには予備メモリのメモリセルを選択する半導体
メモリ装置において、主メモリの列または行の数と同じ
数のメモリセルを備えた予備メモリと、主メモリのメモ
リセルが選択されたときに、予備メモリの中から、主メ
モリで選択されたメモリセルの列または行に対応するメ
モリセルを選択する手段と、主メモリにて選択されたメ
モリセルのデ−タを読み出す第1のセンスアンプと、予
備メモリにて選択されたメモリセルのデ−タを読み出す
第2のセンスアンプと、アドレスバスに現れたアドレス
が正常なメモリセルに対応するときには、第1のセンス
アンプをアドレスバスに接続すると共に第2のセンスア
ンプをアドレスバスから切り離し、またアドレスバスに
現れたアドレスが不良なメモリセルに対応するときに
は、第1のセンスアンプをアドレスバスから切り離すと
共に第2のセンスアンプをアドレスバスに接続する手段
と、を備えたことを特徴とする。 【0006】 【発明の実施の形態】以下に本発明の半導体メモリ装置
の実施の形態について説明する。図1はこの実施の形態
の概略を説明するための説明図であり、図2は同実施の
形態を示す回路図である。M1は第1のメモリアレイ、
M2は第2のメモリアレイであり、いずれも例えばフラ
ッシュメモリよりなる。メモリアレイM1のワ−ド線W
L(横のラインである「行」)及びメモリアレイM2の
ワ−ド線WLは、夫々第1の行デコ−ダRD1及び第2
の行デコ−ダRD2により選択される。またメモリアレ
イM1において、行デコ−ダRD1側から縦のラインに
属するメモリセル70を1列目、2列目、…、メモリア
レイM2において、行デコ−ダRD2側から縦のライン
に属するメモリセル70を1列目、2列目…と呼ぶこと
にすると、両メモリアレイM2、M2の同じ列に相当す
るビット線BLは列デコ−ダCDにより同時に選択(デ
コ−ド)される。なおメモリセル70をなすトランジス
タは、図5ではマスとして、図6では丸により夫々便宜
的に示してあり、その数も図のエリアの制約から便宜的
なものである。 【0007】前記メモリアレイM1(M2)は、予め決
めた1行に含まれるメモリセル70例えば最終行のメモ
リセルを予備メモリ71(81)として用い、その他の
メモリセルを主メモリ72(82)として用いる。そし
てアドレスバス(システムアドレスバス)3に現れるア
ドレスのうち例えば上位ビットによりビット線BLが、
選択され、下位ビットにより主メモリ72、82の中か
らワ−ド線WLが選択される。 【0008】予備メモリ71(81)のワ−ド線WLの
選択については、第1のメモリアレイM1の主メモリ7
2のワ−ド線WLが選択されたときには第2のメモリア
レイM2の予備メモリ81のワ−ド線WLが選択され、
第2のメモリアレイM2の主メモリ82のワ−ド線WL
が選択されたときには第1のメモリアレイM1の予備メ
モリ71のワ−ド線WLが選択される。このような動作
を行うためには、例えば行デコ−ダRD1(RD2)に
おいて、各ワ−ド線WLの出力のオア回路を組み込み、
そのオア回路の出力を予備メモリ81(71)のワ−ド
線WLの信号とすればよい。 【0009】73、83は、夫々第1のメモリアレイM
1及び第2のメモリアレイM2のデ−タを読み出してデ
−タバス2に出力するセンスアンプであり、例えばメモ
リアレイM1の主メモリ72のn行、m列のメモリセル
70が選択されると、センスアンプ73にてそのメモリ
セル70のデ−タが読み出される。またこのとき第2の
メモリアレイM2の予備メモリ81のm列のメモリセル
70が選択され、そのデ−タがセンスアンプに読み出さ
れている。ここでこの実施の形態では、主メモリ72
(82)に不良なメモリセル70が含まれている場合
に、その不良メモリセル70に代えて第2のメモリアレ
イM2の予備メモリ81(第1のメモリアレイM1の予
備メモリ71)に振り替えるようにしている。 【0010】この様子を図1に示す。例えば主メモリ7
2の1列、2行のメモリセルAが不良であるとすると、
このメモリセルAに書いておくべきデ−タを予備メモリ
81の1列のメモリセルAに予め書いておく。このよう
に処理しておくことにより、主メモリセル72の不良メ
モリセルAが選択されたときには、この不良メモリセル
Aの代替えの予備メモリ81のメモリセルAが選択され
てセンスアンプ83に読み出されるので、このセンスア
ンプ83の読みだしデ−タをデ−タバス2に出力すれば
よい。図1において、主メモリ72、82中に記載した
大文字のアルファベットは不良メモリセルであり、これ
ら不良メモリセルが振り替えられる予備メモリ71、8
1のメモリセルに、対応するアルファベットを付してあ
る。ただし主メモリ72(82)の一列の中に不良メモ
リセルが2個以上ある場合には、検査段階で不良品とし
て除外されているので、この実施の形態の対象としてい
るデバイスは、一列の中に不良メモリセルがあったとし
てもその数は1個である。ところで、選択された主メモ
リ72(82)のメモリアレイ70が正常であれば、そ
のメモリアレイ70から読み出した一方のセンスアンプ
73(83)からデ−タバス2に出力し、不良メモリア
レイ70を選択したときには他方のセンスアンプ83
(73)からデ−タバス2に出力する必要があるため、
センスアンプ73(83)の切り替えを行うために、既
述の実施の形態と同様にレジスタ91及びコンパレ−タ
92を用い、コンパレ−タ92の出力に応じて、センス
アンプ73、83とデ−タバス2との間に設けたスイッ
チ部100、200の切り替えを行うようにしている。 【0011】次に、レジスタ91、コンパレ−タ92及
びスイッチ部100、200の切り替えのための回路に
ついて図3を参照しながら説明する。レジスタ91は、
主メモリ72の不良アドレスが書き込まれるレジスタ9
1−1及び91−2と、主メモリ82の不良アドレスが
書き込まれるレジスタ91−3及び91−4とからな
る。コンパレ−タ92は、主メモリ72の不良アドレス
がアドレスバス3に現れたときに比較結果a1、a2を
夫々出力するコンパレ−タ92−1及び92−2と、主
メモリ82の不良アドレスがアドレスバス3に現れたと
きに比較結果b1、b2を夫々出力するコンパレ−タ9
2−3及び92−4とからなる。そしてスイッチ部10
0(200)は、上述の比較結果a1、a2、b1、b
2と、行デコ−ダRD1(RD2)がいずれかのワ−ド
線WLを選択したときに出力される選択信号とに基づい
て図3のロジックによりオン、オフ制御され、オア回路
104(204)から「1」が入力されたときにスイッ
チが閉じ、「0」が入力されたときにスイッチが開くも
のとする。なお図中101、102、201、202は
オア回路、103、203は排他的論理和回路である。
また排他的論理和回路103の入力信号である行デコー
ダののRD1(RD2)からの選択信号は便宜上、出力
元の行デコ−ダと同一の符号としてある。 【0012】例えば主メモリ72から正常なメモリセル
が選択されたとすると、a1、a2は「0」であり、R
D1は「1」であるから排他的論理和回路103の出力
は「1」であり、従ってスイッチ部100は閉じる。一
方スイッチ部200についてはb1、b2が「0」、R
D2が「0」であるから、開いており、従ってセンスア
ンプ73にて読み出されたデ−タがデ−タバス2に出力
される。 【0013】これに対して主メモリ7の不良メモリセル
が選択されたとすると、a1(a2)は「1」となり、
RD1は「1」であるから排他的論理和回路103の出
力は「0」となり、スイッチ部100は開く(b1、b
2は「0」である)。一方スイッチ部200については
a1(a2)が「1」であるから閉じ、従ってセンスア
ンプ83にて読み出されたデ−タ(これは予備メモリ8
1のデ−タである)がデータバス2に出力される。 【0014】このような実施の形態によれば先の実施の
形態の場合よりもデ−タバス2へのデ−タの送出を早く
行うことができる。 【0015】図4の(a)、(b)は、図1〜図3に示
す実施の形態におけるアドレス信号及びデ−タの確定の
様子を示す。アドレス信号が時刻t1で確定すると、主
メモリ72(82)及び予備メモリ81(71)から同
時にセンスアンプ73(83)にデ−タが読み出される
と共にスイッチ部100、200の切り替えが行われ
る。この結果時刻t2にてデ−タが確定する。 【0016】一方図8の(c)、(d)は、後述の参考
例の図5及び図6に示す実施の形態におけるアドレス信
号及びデ−タの確定の様子を示す。この場合はアドレス
信号が確定した後、スイッチ部S1、S2の切り替えな
どの処理に時間Tを要し、このため読み出すべきメモリ
セルが確定するのは、クロック1の立上がりの時刻t2
であり、従って図1〜図3に示す実施の形態の方が処理
速度という点からすれば有利である。図1、2の実施の
形態では、主メモリ72(82)の列の数と同じ数のメ
モリセルを予備メモリ81(72)として用意している
が、主メモリ72(82)の行の数と同じ数のメモリセ
ルを予備メモリとして用意し、主メモリのメモリセルが
選択されたときに予備メモリの中から主メモリで選択さ
れたメモリセルの行に対応するメモリセルを選択するよ
うにしてもよい。 【0017】なおここで図5及び図6の参考例について
述べておく。 図5及び図6において2はデ−タバス、
21はCPU(中央処理装置)、3はアドレスバスであ
る。この例では、図6の構成のうちCPU21を除いた
部分をメモリ装置と呼ぶことにすると、メモリ装置はデ
−タを格納するために不揮発性メモリ例えばフラッシュ
メモリからなる主メモリ4と、この主メモリ4に含まれ
る不良メモリセルのアドレス(以下不良アドレスとい
う)が予め書き込まれる不揮発性メモリである不良アド
レスメモリ22、主メモリ4内の不良メモリセルの代わ
りに用いられる予備メモリセルが割り当てられた予備メ
モリ(冗長メモリ)5と、を備えている。 【0018】また図5において40及び50は各々トラ
ンジスタからなるメモリセルを示している。この例では
主メモリ4及び予備メモリ5は共通のメモリチップ内に
別々のメモリ領域に割り当てられて設けられており、ビ
ット線BLはメモリセル40、50で共通化されてい
る。なお主メモリ4と予備メモリ5は共通のメモリアレ
イに設けられることに限らず別々のメモリアレイに設け
られていてもよい。WLはワ−ド線である。 【0019】41〜44は主メモリ4の各ワ−ド線WL
に対応するメモリセル群40を選択する、デコ−ダの一
部を構成するドライバ、51、52は予備メモリ5の各
ワ−ド線WLに対応するメモリセル群50を選択する、
デコ−ダの一部を構成するドライバである。これらドラ
イバ41〜44、51、52は、アドレスバス31に接
続される入力端inaと、制御信号線A2に接続される
入力端inbとを備えている。制御信号線A2はドライ
バ41〜44、51、52を動作または不動作にするた
めの制御信号を送るものであり、ドライバ41〜44、
51、52は入力端inaに論理「1」の信号が入力さ
れたときに動作状態となり、論理「0」の信号が入力さ
れたときに不動作状態となる。即ちこの例ではイネ−ブ
ル信号である「1」が入力されたときにアドレス信号の
入力が有効になる。 【0020】以上において、説明の便宜上例えばシステ
ムアドレスバス3に現れた下位2ビットがワ−ド線WL
に対応しているものとし、アドレスバスのうちワ−ド線
WLに対応する信号線をA0、A1の信号線からなるも
のとし、各ドライバ41〜44、51、52の入力側に
付してあるA0、A1などの符号を夫々信号線A0、A
1に出力されている信号レベルを表すものとする。なお
図ではその信号レベルの反転信号として上線を付してあ
るが、明細書では使用しているワ−プロの制限によりA
0の反転信号は「−A0」として記載する。従って例え
ば制御信号線A2に「1」が現れると、ドライバ41〜
44、51、52には「−A2」つまり「0]が入力さ
れることになる。 【0021】更にこのメモリ装置はレジスタ61を備え
ており、このレジスタ61はデ−タ処理装置の電源を投
入したときに不良アドレスメモリ22に書き込まれてい
る不良アドレスがコピ−される。この例ではこの不良ア
ドレスとは、主メモリ4のエラ−セルを含む「行」を特
定するアドレスである。62は比較部であるコンパレ−
タであり、このコンパレ−タ62は、アドレスバス3に
出力されたアドレスとレジスタ61に保持されているア
ドレスとが一致したときに例えば信号「1]が後述の予
備メモリアドレス出力部63、スイッチ部S1およびS
2に出力される。この例では主メモリ4の不良アドレス
(詳しくは不良アドレスのうち「行」を特定する下位2
ビット)を「00」、「10」の2個として説明しよう
としているため、レジスタ61は、これら不良アドレス
を夫々保持する2個のレジスタ61a、61bからな
り、またこれに対応してコンパレ−タ62は2個のコン
パレ−タ62a、62bからなる。 【0022】また63で示される予備メモリアドレス出
力部63は、例えば予備メモリ5のアドレスを夫々出力
するためのアドレス出力部63aおよび63bからな
り、各アドレス出力部63は、前記コンパレ−タ62か
らの信号「1」が入力されたときに、予備メモリ5のア
ドレスに対応する2ビットのデ−タをアドレスバス32
をなす信号線A0、A1に夫々出力する。またこれらア
ドレス出力部63a、63bは予備メモリ5のアドレス
の他に制御信号線A2に信号「1」を出力する。なおア
ドレスバスの用語は符号3、31、32で用いている
が、用語の混乱を避けるために3をシステムアドレスバ
ス、31をメモリアドレスバス、32を予備メモリアド
レスバスと夫々呼ぶことにする。 【0023】スイッチ部S1はメモリアドレスバス31
をシステムアドレス3または予備メモリアドレスバス3
2の一方に接続するための切り替え手段であり、接点N
C側では前者が、接点NO側では後者が選択される。ま
たスイッチ部S2は制御信号線A2をア−スに接続する
(接点NC側)か、浮遊状態の端子(接点NO側)に接
続する。スイッチ部S2及び制御信号線はデコーダ制御
手段をなしている。 【0024】この参考例の回路は次のように動作する。
CPU21から主メモリ4のアドレスが出力され、その
アドレスが正常な場合にはレジスタ61a(61b)に
保持されているアドレス(不良アドレス)とシステムア
ドレスバス3に現れているアドレスとは一致しないの
で、コンパレ−タ62a、62bのいずれの出力も
「0」であり、スイッチ部S1、S2はいずれもNC側
に切り替わっている(図1の状態)。このため制御信号
線A2はア−スに接続されるのでドライバ41〜44の
入力端inbには「−A2」の信号つまり「1」がイネ
−ブル信号として入力され、ドライバ41〜44は動作
状態となる。このときドライバ51、52の入力端in
bには「A2」の信号つまり「0」が禁止信号として入
力され、ドライバ51、52は不動作状態となり、予備
メモリ5に対してのアクセスは行われない。 【0025】一方システムアドレスバス3はメモリアド
レスバス31に接続されるので、システムアドレスバス
3に現れたアドレスに対応するドライバが駆動される。
この例では説明上「00」、「10」を不良アドレスと
しているので、例えば正常なアドレス「01」に対して
ドライバ43が駆動され、その出力線であるワ−ド線W
Lに接続されているメモリセル40が選択され、この結
果選択されたビット線BLと交差するデ−タが読み出さ
れる。 【0026】これに対し、CPU21から出力された主
メモリ4のアドレスが不良なメモリセル40に対応する
アドレス(不良アドレス)である場合、例えば「00」
であれば、レジスタ61aに保持されているアドレスと
システムアドレスバス3に現れているアドレスとが一致
するので、コンパレ−タ62aから「1」が出力され、
スイッチ部S1、S2がいずれもN0側に切り替わる。
このため制御信号線A2のスイッチ部S2側は浮遊状態
になり、予備アドレス出力部63aから制御信号線A2
に出力された信号「1」がドライバ51、52の入力端
inbにイネ−ブル信号として入力され、これらドライ
バ51、52が動作状態になる。このときドライバ41
〜44の入力端inbには「−A2」の信号つまり
「0」が禁止信号として入力され、ドライバ41〜44
は不動作状態となり、主メモリ4に対してのアクセスは
行われない。 【0027】一方コンパレ−タ62aからの信号「1」
により予備アドレス出力部63aから予備メモリアドレ
スバス32に予備メモリ5のアドレス(予備アドレス)
例えば「01」が出力される。予備メモリアドレスバス
32はメモリアドレスバス31に接続されるのでドライ
バ51が駆動され、その出力線であるワ−ド線WLに接
続されているメモリセル50が選択される。この結果選
択されたビット線BLと交差するデ−タが読み出され
る。 【0028】 【発明の効果】以上のように本発明によれば、処理速度
を早くすることができる。 【0029】 【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の実施の形態の概略を示す説明図であ
る。 【図2】上記の実施の形態の要部を示す回路図である。 【図3】上記の実施の形態において、スイッチ部の切り
替えのための回路を示す回路図である。 【図4】上記の実施の形態及び参考例におけるデ−タの
確定の様子を示すタイムチャ−トである。 【図5】参考例の要部を示す回路図である。 【図6】参考例の全体を示す回路図である。 【図7】従来の半導体メモリ装置の一部を示す回路図で
ある。 【符号の説明】 2 デ−タバス 22 不良アドレスメモリ 3 アドレスバス(システムアドレスバス) 31 メモリアドレスバス 32 予備メモリアドレスバス 4 主メモリ 40 メモリセル 41〜44 ドライバ 5 予備メモリ 50 メモリセル 51 ドライバ 61 レジスタ 62 コンパレ−タ 63 不良アドレス出力部 S1、S2 スイッチ部 BL ビット線 WL ワ−ド線 M1 第1のメモリアレイ M2 第2のメモリアレイ 71、81 予備メモリ 72、82 主メモリ 73、83 センスアンプ 91 レジスタ 92 コンパレ−タ 100、200 スイッチ部 RD1、RD2 行デコ−ダ CD 列デコ−ダ 【手続補正2】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図1 【補正方法】変更 【補正内容】 【図1】【手続補正3】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図2 【補正方法】変更 【補正内容】 【図2】 【手続補正4】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図3 【補正方法】変更 【補正内容】 【図3】【手続補正5】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図4 【補正方法】変更 【補正内容】 【図4】 【手続補正6】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図5 【補正方法】変更 【補正内容】 【図5】【手続補正7】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図6 【補正方法】変更 【補正内容】 【図6】 【手続補正8】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図7 【補正方法】変更 【補正内容】 【図7】【手続補正9】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図8 【補正方法】削除 【手続補正10】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図9 【補正方法】削除
【手続補正書】 【提出日】平成14年11月27日(2002.11.
27) 【手続補正1】 【補正対象書類名】明細書 【補正対象項目名】全文 【補正方法】変更 【補正内容】 【書類名】 明細書 【発明の名称】 半導体メモリ装置 【特許請求の範囲】 【請求項1】 アドレスバスに現れたアドレスが主メモ
リの不良メモリセルに対応するときには予備メモリのメ
モリセルを選択する半導体メモリ装置において、 主メモリの列または行の数と同じ数のメモリセルを備え
た予備メモリと、 主メモリのメモリセルが選択されたときに、予備メモリ
の中から、主メモリで選択されたメモリセルの列または
行に対応するメモリセルを選択する手段と、 主メモリにて選択されたメモリセルのデ−タを読み出す
第1のセンスアンプと、 予備メモリにて選択されたメモリセルのデ−タを読み出
す第2のセンスアンプと、 アドレスバスに現れたアドレスが正常なメモリセルに対
応するときには、第1のセンスアンプをアドレスバスに
接続すると共に第2のセンスアンプをアドレスバスから
切り離し、またアドレスバスに現れたアドレスが不良な
メモリセルに対応するときには、第1のセンスアンプを
アドレスバスから切り離すと共に第2のセンスアンプを
アドレスバスに接続する手段と、を備えたことを特徴と
する半導体メモリ装置。 【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、半導体メモリ装置
に関し、特に不良メモリセル(エラーセル)のアドレス
を記憶してそのセルの代わりに予備メモリのセルを利用
する技術に関する。 【0002】 【従来の技術】DRAMなどの半導体メモリにおいて
は、検査時に不良と判定されたセルのアドレスを不揮発
性メモリである不良アドレスメモリに書き込み、コンピ
ュ−タの電源投入直後にこの不良アドレスメモリから不
良アドレスを読みだしレジスタに記憶し、このレジスタ
の出力に基づいてアドレスデコ−ダに変更を加えるよう
にしている。 【0003】図7はこのような処理を行うための回路
例、即ち不良セルをアドレス空間から切り離すための回
路例を示す。1はメモリセル10からなるメモリ領域、
11〜14はアドレスに対応するワード線を選択するた
めのドライバ、F1〜F4はドライバ11〜14を夫々
選択するためのフリップフロップであり、図示しないレ
ジスタから不良アドレスが読み出され、そのアドレスに
対応するフリップフロップF1(F2〜F3)からドラ
イバ11(12〜14)に禁止信号が出力される。この
結果当該アドレスがCPUから読み出されても、対応す
るセルは選択されず、代わりに別途設けられた図示しな
い予備メモリ領域内のセルが選択される。なおこの例は
メモリ領域において不良アドレスを含む「行」のセル群
の選択が行われないように構成している。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】本発明はこの種の半導
体メモリ装置において早い処理速度を確保することを目
的とする。 【0005】 【課題を解決する手段】請求項1の発明は、アドレスバ
スに現れたアドレスが主メモリの不良メモリセルに対応
するときには予備メモリのメモリセルを選択する半導体
メモリ装置において、主メモリの列または行の数と同じ
数のメモリセルを備えた予備メモリと、主メモリのメモ
リセルが選択されたときに、予備メモリの中から、主メ
モリで選択されたメモリセルの列または行に対応するメ
モリセルを選択する手段と、主メモリにて選択されたメ
モリセルのデ−タを読み出す第1のセンスアンプと、予
備メモリにて選択されたメモリセルのデ−タを読み出す
第2のセンスアンプと、アドレスバスに現れたアドレス
が正常なメモリセルに対応するときには、第1のセンス
アンプをアドレスバスに接続すると共に第2のセンスア
ンプをアドレスバスから切り離し、またアドレスバスに
現れたアドレスが不良なメモリセルに対応するときに
は、第1のセンスアンプをアドレスバスから切り離すと
共に第2のセンスアンプをアドレスバスに接続する手段
と、を備えたことを特徴とする。 【0006】 【発明の実施の形態】以下に本発明の半導体メモリ装置
の実施の形態について説明する。図1はこの実施の形態
の概略を説明するための説明図であり、図2は同実施の
形態を示す回路図である。M1は第1のメモリアレイ、
M2は第2のメモリアレイであり、いずれも例えばフラ
ッシュメモリよりなる。メモリアレイM1のワ−ド線W
L(横のラインである「行」)及びメモリアレイM2の
ワ−ド線WLは、夫々第1の行デコ−ダRD1及び第2
の行デコ−ダRD2により選択される。またメモリアレ
イM1において、行デコ−ダRD1側から縦のラインに
属するメモリセル70を1列目、2列目、…、メモリア
レイM2において、行デコ−ダRD2側から縦のライン
に属するメモリセル70を1列目、2列目…と呼ぶこと
にすると、両メモリアレイM2、M2の同じ列に相当す
るビット線BLは列デコ−ダCDにより同時に選択(デ
コ−ド)される。なおメモリセル70をなすトランジス
タは、図5ではマスとして、図6では丸により夫々便宜
的に示してあり、その数も図のエリアの制約から便宜的
なものである。 【0007】前記メモリアレイM1(M2)は、予め決
めた1行に含まれるメモリセル70例えば最終行のメモ
リセルを予備メモリ71(81)として用い、その他の
メモリセルを主メモリ72(82)として用いる。そし
てアドレスバス(システムアドレスバス)3に現れるア
ドレスのうち例えば上位ビットによりビット線BLが、
選択され、下位ビットにより主メモリ72、82の中か
らワ−ド線WLが選択される。 【0008】予備メモリ71(81)のワ−ド線WLの
選択については、第1のメモリアレイM1の主メモリ7
2のワ−ド線WLが選択されたときには第2のメモリア
レイM2の予備メモリ81のワ−ド線WLが選択され、
第2のメモリアレイM2の主メモリ82のワ−ド線WL
が選択されたときには第1のメモリアレイM1の予備メ
モリ71のワ−ド線WLが選択される。このような動作
を行うためには、例えば行デコ−ダRD1(RD2)に
おいて、各ワ−ド線WLの出力のオア回路を組み込み、
そのオア回路の出力を予備メモリ81(71)のワ−ド
線WLの信号とすればよい。 【0009】73、83は、夫々第1のメモリアレイM
1及び第2のメモリアレイM2のデ−タを読み出してデ
−タバス2に出力するセンスアンプであり、例えばメモ
リアレイM1の主メモリ72のn行、m列のメモリセル
70が選択されると、センスアンプ73にてそのメモリ
セル70のデ−タが読み出される。またこのとき第2の
メモリアレイM2の予備メモリ81のm列のメモリセル
70が選択され、そのデ−タがセンスアンプに読み出さ
れている。ここでこの実施の形態では、主メモリ72
(82)に不良なメモリセル70が含まれている場合
に、その不良メモリセル70に代えて第2のメモリアレ
イM2の予備メモリ81(第1のメモリアレイM1の予
備メモリ71)に振り替えるようにしている。 【0010】この様子を図1に示す。例えば主メモリ7
2の1列、2行のメモリセルAが不良であるとすると、
このメモリセルAに書いておくべきデ−タを予備メモリ
81の1列のメモリセルAに予め書いておく。このよう
に処理しておくことにより、主メモリセル72の不良メ
モリセルAが選択されたときには、この不良メモリセル
Aの代替えの予備メモリ81のメモリセルAが選択され
てセンスアンプ83に読み出されるので、このセンスア
ンプ83の読みだしデ−タをデ−タバス2に出力すれば
よい。図1において、主メモリ72、82中に記載した
大文字のアルファベットは不良メモリセルであり、これ
ら不良メモリセルが振り替えられる予備メモリ71、8
1のメモリセルに、対応するアルファベットを付してあ
る。ただし主メモリ72(82)の一列の中に不良メモ
リセルが2個以上ある場合には、検査段階で不良品とし
て除外されているので、この実施の形態の対象としてい
るデバイスは、一列の中に不良メモリセルがあったとし
てもその数は1個である。ところで、選択された主メモ
リ72(82)のメモリアレイ70が正常であれば、そ
のメモリアレイ70から読み出した一方のセンスアンプ
73(83)からデ−タバス2に出力し、不良メモリア
レイ70を選択したときには他方のセンスアンプ83
(73)からデ−タバス2に出力する必要があるため、
センスアンプ73(83)の切り替えを行うために、既
述の実施の形態と同様にレジスタ91及びコンパレ−タ
92を用い、コンパレ−タ92の出力に応じて、センス
アンプ73、83とデ−タバス2との間に設けたスイッ
チ部100、200の切り替えを行うようにしている。 【0011】次に、レジスタ91、コンパレ−タ92及
びスイッチ部100、200の切り替えのための回路に
ついて図3を参照しながら説明する。レジスタ91は、
主メモリ72の不良アドレスが書き込まれるレジスタ9
1−1及び91−2と、主メモリ82の不良アドレスが
書き込まれるレジスタ91−3及び91−4とからな
る。コンパレ−タ92は、主メモリ72の不良アドレス
がアドレスバス3に現れたときに比較結果a1、a2を
夫々出力するコンパレ−タ92−1及び92−2と、主
メモリ82の不良アドレスがアドレスバス3に現れたと
きに比較結果b1、b2を夫々出力するコンパレ−タ9
2−3及び92−4とからなる。そしてスイッチ部10
0(200)は、上述の比較結果a1、a2、b1、b
2と、行デコ−ダRD1(RD2)がいずれかのワ−ド
線WLを選択したときに出力される選択信号とに基づい
て図3のロジックによりオン、オフ制御され、オア回路
104(204)から「1」が入力されたときにスイッ
チが閉じ、「0」が入力されたときにスイッチが開くも
のとする。なお図中101、102、201、202は
オア回路、103、203は排他的論理和回路である。
また排他的論理和回路103の入力信号である行デコー
ダののRD1(RD2)からの選択信号は便宜上、出力
元の行デコ−ダと同一の符号としてある。 【0012】例えば主メモリ72から正常なメモリセル
が選択されたとすると、a1、a2は「0」であり、R
D1は「1」であるから排他的論理和回路103の出力
は「1」であり、従ってスイッチ部100は閉じる。一
方スイッチ部200についてはb1、b2が「0」、R
D2が「0」であるから、開いており、従ってセンスア
ンプ73にて読み出されたデ−タがデ−タバス2に出力
される。 【0013】これに対して主メモリ7の不良メモリセル
が選択されたとすると、a1(a2)は「1」となり、
RD1は「1」であるから排他的論理和回路103の出
力は「0」となり、スイッチ部100は開く(b1、b
2は「0」である)。一方スイッチ部200については
a1(a2)が「1」であるから閉じ、従ってセンスア
ンプ83にて読み出されたデ−タ(これは予備メモリ8
1のデ−タである)がデータバス2に出力される。 【0014】このような実施の形態によれば先の実施の
形態の場合よりもデ−タバス2へのデ−タの送出を早く
行うことができる。 【0015】図4の(a)、(b)は、図1〜図3に示
す実施の形態におけるアドレス信号及びデ−タの確定の
様子を示す。アドレス信号が時刻t1で確定すると、主
メモリ72(82)及び予備メモリ81(71)から同
時にセンスアンプ73(83)にデ−タが読み出される
と共にスイッチ部100、200の切り替えが行われ
る。この結果時刻t2にてデ−タが確定する。 【0016】一方図8の(c)、(d)は、後述の参考
例の図5及び図6に示す実施の形態におけるアドレス信
号及びデ−タの確定の様子を示す。この場合はアドレス
信号が確定した後、スイッチ部S1、S2の切り替えな
どの処理に時間Tを要し、このため読み出すべきメモリ
セルが確定するのは、クロック1の立上がりの時刻t2
であり、従って図1〜図3に示す実施の形態の方が処理
速度という点からすれば有利である。図1、2の実施の
形態では、主メモリ72(82)の列の数と同じ数のメ
モリセルを予備メモリ81(72)として用意している
が、主メモリ72(82)の行の数と同じ数のメモリセ
ルを予備メモリとして用意し、主メモリのメモリセルが
選択されたときに予備メモリの中から主メモリで選択さ
れたメモリセルの行に対応するメモリセルを選択するよ
うにしてもよい。 【0017】なおここで図5及び図6の参考例について
述べておく。 図5及び図6において2はデ−タバス、
21はCPU(中央処理装置)、3はアドレスバスであ
る。この例では、図6の構成のうちCPU21を除いた
部分をメモリ装置と呼ぶことにすると、メモリ装置はデ
−タを格納するために不揮発性メモリ例えばフラッシュ
メモリからなる主メモリ4と、この主メモリ4に含まれ
る不良メモリセルのアドレス(以下不良アドレスとい
う)が予め書き込まれる不揮発性メモリである不良アド
レスメモリ22、主メモリ4内の不良メモリセルの代わ
りに用いられる予備メモリセルが割り当てられた予備メ
モリ(冗長メモリ)5と、を備えている。 【0018】また図5において40及び50は各々トラ
ンジスタからなるメモリセルを示している。この例では
主メモリ4及び予備メモリ5は共通のメモリチップ内に
別々のメモリ領域に割り当てられて設けられており、ビ
ット線BLはメモリセル40、50で共通化されてい
る。なお主メモリ4と予備メモリ5は共通のメモリアレ
イに設けられることに限らず別々のメモリアレイに設け
られていてもよい。WLはワ−ド線である。 【0019】41〜44は主メモリ4の各ワ−ド線WL
に対応するメモリセル群40を選択する、デコ−ダの一
部を構成するドライバ、51、52は予備メモリ5の各
ワ−ド線WLに対応するメモリセル群50を選択する、
デコ−ダの一部を構成するドライバである。これらドラ
イバ41〜44、51、52は、アドレスバス31に接
続される入力端inaと、制御信号線A2に接続される
入力端inbとを備えている。制御信号線A2はドライ
バ41〜44、51、52を動作または不動作にするた
めの制御信号を送るものであり、ドライバ41〜44、
51、52は入力端inaに論理「1」の信号が入力さ
れたときに動作状態となり、論理「0」の信号が入力さ
れたときに不動作状態となる。即ちこの例ではイネ−ブ
ル信号である「1」が入力されたときにアドレス信号の
入力が有効になる。 【0020】以上において、説明の便宜上例えばシステ
ムアドレスバス3に現れた下位2ビットがワ−ド線WL
に対応しているものとし、アドレスバスのうちワ−ド線
WLに対応する信号線をA0、A1の信号線からなるも
のとし、各ドライバ41〜44、51、52の入力側に
付してあるA0、A1などの符号を夫々信号線A0、A
1に出力されている信号レベルを表すものとする。なお
図ではその信号レベルの反転信号として上線を付してあ
るが、明細書では使用しているワ−プロの制限によりA
0の反転信号は「−A0」として記載する。従って例え
ば制御信号線A2に「1」が現れると、ドライバ41〜
44、51、52には「−A2」つまり「0]が入力さ
れることになる。 【0021】更にこのメモリ装置はレジスタ61を備え
ており、このレジスタ61はデ−タ処理装置の電源を投
入したときに不良アドレスメモリ22に書き込まれてい
る不良アドレスがコピ−される。この例ではこの不良ア
ドレスとは、主メモリ4のエラ−セルを含む「行」を特
定するアドレスである。62は比較部であるコンパレ−
タであり、このコンパレ−タ62は、アドレスバス3に
出力されたアドレスとレジスタ61に保持されているア
ドレスとが一致したときに例えば信号「1]が後述の予
備メモリアドレス出力部63、スイッチ部S1およびS
2に出力される。この例では主メモリ4の不良アドレス
(詳しくは不良アドレスのうち「行」を特定する下位2
ビット)を「00」、「10」の2個として説明しよう
としているため、レジスタ61は、これら不良アドレス
を夫々保持する2個のレジスタ61a、61bからな
り、またこれに対応してコンパレ−タ62は2個のコン
パレ−タ62a、62bからなる。 【0022】また63で示される予備メモリアドレス出
力部63は、例えば予備メモリ5のアドレスを夫々出力
するためのアドレス出力部63aおよび63bからな
り、各アドレス出力部63は、前記コンパレ−タ62か
らの信号「1」が入力されたときに、予備メモリ5のア
ドレスに対応する2ビットのデ−タをアドレスバス32
をなす信号線A0、A1に夫々出力する。またこれらア
ドレス出力部63a、63bは予備メモリ5のアドレス
の他に制御信号線A2に信号「1」を出力する。なおア
ドレスバスの用語は符号3、31、32で用いている
が、用語の混乱を避けるために3をシステムアドレスバ
ス、31をメモリアドレスバス、32を予備メモリアド
レスバスと夫々呼ぶことにする。 【0023】スイッチ部S1はメモリアドレスバス31
をシステムアドレス3または予備メモリアドレスバス3
2の一方に接続するための切り替え手段であり、接点N
C側では前者が、接点NO側では後者が選択される。ま
たスイッチ部S2は制御信号線A2をア−スに接続する
(接点NC側)か、浮遊状態の端子(接点NO側)に接
続する。スイッチ部S2及び制御信号線はデコーダ制御
手段をなしている。 【0024】この参考例の回路は次のように動作する。
CPU21から主メモリ4のアドレスが出力され、その
アドレスが正常な場合にはレジスタ61a(61b)に
保持されているアドレス(不良アドレス)とシステムア
ドレスバス3に現れているアドレスとは一致しないの
で、コンパレ−タ62a、62bのいずれの出力も
「0」であり、スイッチ部S1、S2はいずれもNC側
に切り替わっている(図1の状態)。このため制御信号
線A2はア−スに接続されるのでドライバ41〜44の
入力端inbには「−A2」の信号つまり「1」がイネ
−ブル信号として入力され、ドライバ41〜44は動作
状態となる。このときドライバ51、52の入力端in
bには「A2」の信号つまり「0」が禁止信号として入
力され、ドライバ51、52は不動作状態となり、予備
メモリ5に対してのアクセスは行われない。 【0025】一方システムアドレスバス3はメモリアド
レスバス31に接続されるので、システムアドレスバス
3に現れたアドレスに対応するドライバが駆動される。
この例では説明上「00」、「10」を不良アドレスと
しているので、例えば正常なアドレス「01」に対して
ドライバ43が駆動され、その出力線であるワ−ド線W
Lに接続されているメモリセル40が選択され、この結
果選択されたビット線BLと交差するデ−タが読み出さ
れる。 【0026】これに対し、CPU21から出力された主
メモリ4のアドレスが不良なメモリセル40に対応する
アドレス(不良アドレス)である場合、例えば「00」
であれば、レジスタ61aに保持されているアドレスと
システムアドレスバス3に現れているアドレスとが一致
するので、コンパレ−タ62aから「1」が出力され、
スイッチ部S1、S2がいずれもN0側に切り替わる。
このため制御信号線A2のスイッチ部S2側は浮遊状態
になり、予備アドレス出力部63aから制御信号線A2
に出力された信号「1」がドライバ51、52の入力端
inbにイネ−ブル信号として入力され、これらドライ
バ51、52が動作状態になる。このときドライバ41
〜44の入力端inbには「−A2」の信号つまり
「0」が禁止信号として入力され、ドライバ41〜44
は不動作状態となり、主メモリ4に対してのアクセスは
行われない。 【0027】一方コンパレ−タ62aからの信号「1」
により予備アドレス出力部63aから予備メモリアドレ
スバス32に予備メモリ5のアドレス(予備アドレス)
例えば「01」が出力される。予備メモリアドレスバス
32はメモリアドレスバス31に接続されるのでドライ
バ51が駆動され、その出力線であるワ−ド線WLに接
続されているメモリセル50が選択される。この結果選
択されたビット線BLと交差するデ−タが読み出され
る。 【0028】 【発明の効果】以上のように本発明によれば、処理速度
を早くすることができる。 【0029】 【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の実施の形態の概略を示す説明図であ
る。 【図2】上記の実施の形態の要部を示す回路図である。 【図3】上記の実施の形態において、スイッチ部の切り
替えのための回路を示す回路図である。 【図4】上記の実施の形態及び参考例におけるデ−タの
確定の様子を示すタイムチャ−トである。 【図5】参考例の要部を示す回路図である。 【図6】参考例の全体を示す回路図である。 【図7】従来の半導体メモリ装置の一部を示す回路図で
ある。 【符号の説明】 2 デ−タバス 22 不良アドレスメモリ 3 アドレスバス(システムアドレスバス) 31 メモリアドレスバス 32 予備メモリアドレスバス 4 主メモリ 40 メモリセル 41〜44 ドライバ 5 予備メモリ 50 メモリセル 51 ドライバ 61 レジスタ 62 コンパレ−タ 63 不良アドレス出力部 S1、S2 スイッチ部 BL ビット線 WL ワ−ド線 M1 第1のメモリアレイ M2 第2のメモリアレイ 71、81 予備メモリ 72、82 主メモリ 73、83 センスアンプ 91 レジスタ 92 コンパレ−タ 100、200 スイッチ部 RD1、RD2 行デコ−ダ CD 列デコ−ダ 【手続補正2】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図1 【補正方法】変更 【補正内容】 【図1】【手続補正3】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図2 【補正方法】変更 【補正内容】 【図2】 【手続補正4】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図3 【補正方法】変更 【補正内容】 【図3】【手続補正5】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図4 【補正方法】変更 【補正内容】 【図4】 【手続補正6】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図5 【補正方法】変更 【補正内容】 【図5】【手続補正7】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図6 【補正方法】変更 【補正内容】 【図6】 【手続補正8】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図7 【補正方法】変更 【補正内容】 【図7】【手続補正9】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図8 【補正方法】削除 【手続補正10】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図9 【補正方法】削除
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 近藤 秀樹
東京都港区南麻布3丁目20番1号 モトロ
ーラ株式会社内
Fターム(参考) 5B025 AA03 AB01 AC01 AD00 AD02
AD06 AD13 AE00
5L106 AA10 CC01 CC16 CC17 CC22
EE02 FF08
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 アドレスバスに現れたアドレスが主メモ
リの不良メモリセルに対応するときには予備メモリのメ
モリセルを選択する半導体メモリ装置において、 主メモリの列または行の数と同じ数のメモリセルを備え
た予備メモリと、 主メモリのメモリセルが選択されたときに、予備メモリ
の中から、主メモリで選択されたメモリセルの列または
行に対応するメモリセルを選択する手段と、 主メモリにて選択されたメモリセルのデ−タを読み出す
第1のセンスアンプと、 予備メモリにて選択されたメモリセルのデ−タを読み出
す第2のセンスアンプと、 アドレスバスに現れたアドレスが正常なメモリセルに対
応するときには、第1のセンスアンプをアドレスバスに
接続すると共に第2のセンスアンプをアドレスバスから
切り離し、またアドレスバスに現れたアドレスが不良な
メモリセルに対応するときには、第1のセンスアンプを
アドレスバスから切り離すと共に第2のセンスアンプを
アドレスバスに接続する手段と、を備えたことを特徴と
する半導体メモリ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002327121A JP2003141894A (ja) | 2002-11-11 | 2002-11-11 | 半導体メモリ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP (1) | JP2003141894A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100351768C (zh) * | 2004-07-30 | 2007-11-28 | 国际商业机器公司 | 提供具有总线中继器的串行化存储接口的系统和方法 |
-
2002
- 2002-11-11 JP JP2002327121A patent/JP2003141894A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100351768C (zh) * | 2004-07-30 | 2007-11-28 | 国际商业机器公司 | 提供具有总线中继器的串行化存储接口的系统和方法 |
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