JP2003133957A - 信号増幅方法及び増幅装置 - Google Patents

信号増幅方法及び増幅装置

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JP2003133957A
JP2003133957A JP2001323091A JP2001323091A JP2003133957A JP 2003133957 A JP2003133957 A JP 2003133957A JP 2001323091 A JP2001323091 A JP 2001323091A JP 2001323091 A JP2001323091 A JP 2001323091A JP 2003133957 A JP2003133957 A JP 2003133957A
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amplifying
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Fumitaka Yoshioka
史高 吉岡
Takashi Ishii
隆嗣 石井
Yoshiyuki Adachi
美幸 足立
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Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 入力信号に対する応答速度を保ったまま、ダ
イナミックレンジを広くする。 【解決手段】 アナログ検出信号A0を、バッファアン
プ21で増幅した後、小信号用の大きな利得を有する小
信号用アンプ22と、大信号用の小さな利得を有する大
信号用アンプ23とで増幅し、小信号用A/D24、大
信号用A/D25でそれぞれディジタルデータに変換す
る。ディジタルデータ合成回路31は、所定値未満のア
ナログ信号A0に対する小信号用A/D24の出力と、
所定値以上のアナログ信号A0に対する大信号用A/D
25の出力とを繋いで合成する。ディジタルデータ変換
回路32は、合成したディジタルデータを変換し、小信
号用A/D24の出力と大信号用A/D25の出力との
繋ぎ目を滑らかにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、信号を増幅する信
号増幅方法及び増幅装置に係り、特に信号強度の変化が
大きい信号を増幅するのに好適な信号増幅方法及び増幅
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、液晶用のガラス基板上の異物検
査においては、サブミクロンから数十ミクロンの大きさ
の粒子を検出する必要があり、検出する粒子の大きさに
応じて検出信号の信号強度が著しく変化する。このよう
に信号強度が大きく変化する検出信号では、信号強度の
小さな信号はSN比を高くして雑音と分離するために高
い利得で増幅し、信号強度の大きな信号はダイナミック
レンジを大きく取るために低い利得で増幅することが望
まれる。従来、このような増幅を行う手段として、ログ
アンプが使用されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来のログアンプは、
信号強度の大きな信号をなまらせるため、入力信号に対
する応答速度が低下し、瞬間的なスパイク信号等を検出
するには適さなかった。
【0004】本発明は、入力信号に対する応答速度を保
ったまま、ダイナミックレンジを広くすることのできる
信号増幅方法及び増幅装置を提供することを目的とす
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明に係る信号増幅方
法は、アナログ信号を第1の利得で増幅した後にディジ
タルデータに変換する第1のステップと、同じアナログ
信号を第1の利得より小さな第2の利得で増幅してオフ
セットを加えた後にディジタルデータに変換する第2の
ステップと、所定値未満のアナログ信号に対する第1の
ステップのディジタルデータと所定値以上のアナログ信
号に対する第2のステップのディジタルデータとを繋い
で合成する第3のステップと、第3のステップで合成し
たディジタルデータを変換して、第1のステップのディ
ジタルデータと第2のステップのディジタルデータとの
繋ぎ目を滑らかにする第4のステップとを含むものであ
る。
【0006】また、本発明に係る増幅装置は、アナログ
信号を増幅する第1の増幅手段と、第1の増幅手段の出
力をディジタルデータに変換する第1のアナログ・ディ
ジタル変換手段と、第1の増幅手段の利得より小さな利
得を有し、第1の増幅手段と同じアナログ信号を増幅し
てオフセットを加える第2の増幅手段と、第2の増幅手
段の出力をディジタルデータに変換する第2のアナログ
・ディジタル変換手段と、所定値未満のアナログ信号に
対する第1のアナログ・ディジタル変換手段の出力と所
定値以上のアナログ信号に対する第2のアナログ・ディ
ジタル変換手段の出力とを繋いで合成するディジタルデ
ータ合成手段と、ディジタルデータ合成手段の出力を変
換し、第1のアナログ・ディジタル変換手段の出力と第
2のアナログ・ディジタル変換手段の出力との繋ぎ目を
滑らかにするディジタルデータ変換手段とを備えたもの
である。
【0007】アナログ信号を大きな利得で増幅すること
により、所定値未満のアナログ信号に対してSN比の高
い信号が得られる。同じアナログ信号を小さな利得で増
幅することにより、広いダイナミックレンジが得られ
る。増幅された2つの信号をディジタルデータに変換し
た後に繋いで合成するので、入力信号に対する応答速度
は変わらず、ダイナミックレンジが広くなる。2つの信
号の繋ぎ目には変曲点が現れるが、ディジタル処理で繋
ぎ目を滑らかにする。
【0008】さらに、2つの信号のディジタルデータを
繋いで合成する際、小さな利得で増幅した信号のディジ
タルデータをビット数がnビット多いディジタルデータ
に変換した後に2n倍し、2n倍したディジタルデータか
らその上位nビットに基づいて所定値以上のアナログ信
号に対するディジタルデータを検出すると、合成するデ
ィジタルデータの判断が容易となる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に従って説明する。図1は、本発明の一実施の形態
による増幅装置の概略構成を示す図である。増幅装置
は、プリアンプ部10、アナログ信号処理部20、及び
ディジタル信号処理部30を含んで構成されている。プ
リアンプ部10には、例えば、液晶用のガラス基板上の
異物検査においては、受光素子からの検出信号が入力さ
れる。プリアンプ部10は、入力した検出信号を増幅し
て雑音を除去し、アナログ検出信号A0をアナログ信号
処理部20へ出力する。アナログ信号処理部20は、バ
ッファアンプ21、小信号用アンプ22、大信号用アン
プ23、小信号用A/D(アナログ・ディジタル変換
器)24、及び大信号用A/D25を含んで構成されて
いる。本実施の形態では、小信号用A/D24及び大信
号用A/D25が8ビット分解能を有するものとする。
【0010】バッファアンプ21は、一段目の増幅器で
あり、アナログ検出信号A0を増幅してアナログ信号A
1を出力する。小信号用アンプ22は、小信号用の大き
な利得を有し、バッファアンプ21が出力したアナログ
信号A1を増幅して、アナログ信号A2を出力する。小
信号用アンプ22の利得は、増幅されたアナログ信号A
2が所望のSN比を持つように決定される。小信号用A
/D24は、小信号用アンプ22が出力したアナログ信
号A2を8ビットのディジタルデータに変換する。この
とき、小信号用アンプ22の利得が大きいため、アナロ
グ信号A2の信号強度の最大値は小信号用A/D24の
最大レンジを超える。小信号用A/D24は、信号強度
が最大レンジを超えたアナログ信号A2についてはディ
ジタルデータに変換することができない。
【0011】一方、大信号用アンプ23は、小信号用ア
ンプ22の利得より小さな利得を有し、バッファアンプ
21が出力したアナログ信号A1を増幅した後に所定値
Cをオフセットとして加え、アナログ信号A3を出力す
る。大信号用アンプ23の利得は、増幅装置が所望のダ
イナミックレンジを持つように決定される。大信号用A
/D25は、大信号用アンプ23が出力したアナログ信
号A3を8ビットのディジタルデータに変換する。この
とき、大信号用アンプ23の利得が小さいため、アナロ
グ信号A3の信号強度の最大値は大信号用A/D25の
最大レンジを超えない。従って、大信号用A/D25
は、アナログ信号A3を総てディジタルデータに変換す
ることができる。
【0012】図2は、アナログ信号処理部の動作を説明
する図である。図2の横軸はアナログ検出信号A0の信
号強度を示し、縦軸はアナログ検出信号A0に対応する
アナログ信号A1,A2,A3をそれぞれディジタルデ
ータに変換した場合の信号強度の階調を示している。8
ビット分解能の小信号用A/D24及び大信号用A/D
25の最大階調は、28=256である。小信号用A/
D24及び大信号用A/D25の最大レンジは、アナロ
グ・ディジタル変換時に用いられる基準電圧の大きさで
決まり、最大階調256に対応している。本実施の形態
では、小信号用A/D24及び大信号用A/D25の最
大レンジに対応する最大階調256が、図2に示す位置
にあるものとする。バッファアンプ21が出力したアナ
ログ信号A1を直接小信号用A/D24又は大信号用A
/D25で8ビットのディジタルデータに変換した場
合、信号強度の階調が256以上の信号はディジタルデ
ータに変換することができない。そこで本実施の形態で
は、アナログ信号A1を小信号用アンプ22と大信号用
アンプ23の2系統で増幅してから、アナログ・ディジ
タル変換している。
【0013】大きな利得の小信号用アンプ22で増幅し
たアナログ信号A2は、小信号用A/D24で8ビット
のディジタルデータに変換すると、アナログ検出信号A
0が所定値aのときに信号強度の階調が256に達す
る。小信号用A/D24は、それより大きなアナログ信
号A2についてはディジタルデータに変換することがで
きない。一方、大信号用アンプ23の利得及びオフセッ
トCは、アナログ信号A3を大信号用A/D25で8ビ
ットのディジタルデータに変換したときの信号強度の階
調が総て256以内に収まるように決定される。従っ
て、大信号用A/D25は、アナログ信号A3を総てデ
ィジタルデータに変換することができる。
【0014】ディジタル信号処理部30は、ディジタル
データ合成回路31及びディジタルデータ変換回路32
を含んで構成されている。まず、ディジタルデータ合成
回路31は、小信号用A/D24及び大信号用A/D2
5が出力した8ビットのディジタルデータを入力し、そ
れぞれのディジタルデータを10ビットのディジタルデ
ータに変換する。続いて、ディジタルデータ合成回路3
1は、大信号用A/D25が出力したディジタルデータ
を10ビットに変換したものを4倍する。図2にAで示
した直線は、アナログ信号A3を4倍した信号を示す。
信号Aのオフセットは、アナログ信号A3のオフセット
Cを4倍したC‘となり、信号Aの傾きは、アナログ信
号A3の傾きの4倍となる。ここで、アナログ信号A3
のオフセットCは、ディジタルデータに変換した場合の
信号強度の階調が256のところで信号Aがアナログ信
号A2と交差するように予め決定されている。この信号
Aに相当する10ビットのディジタルデータが、ディジ
タルデータ合成回路31の内部で作成される。
【0015】次に、ディジタルデータ合成回路31は、
大信号用A/D25が出力したディジタルデータを10
ビットに変換して4倍したディジタルデータから、その
上位2ビットに基づいて、所定値a以上のアナログ検出
信号A0に対するディジタルデータを検出する。図3
は、ディジタルデータ合成回路の動作を説明する図であ
る。小信号用A/D24が出力した8ビットのディジタ
ルデータは、信号強度の階調が256以上で飽和してい
る。大信号用A/D25が出力したディジタルデータを
10ビットに変換して4倍したディジタルデータは、信
号強度の階調が256未満ではその上位2ビットが「0
0」となり、256以上では上位2ビットが「01」〜
「11」となる。ディジタルデータ合成回路31は、こ
の上位2ビットが「01」及び「11」のディジタルデ
ータを検出し、小信号用A/D24が出力した飽和する
前のディジタルデータを10ビットに変換したものと繋
いで合成する。
【0016】以上の動作によりディジタルデータ合成回
路31は、所定値a未満のアナログ検出信号A0に対す
る小信号用A/D24の出力と、所定値a以上のアナロ
グ検出信号A0に対する大信号用A/D25の出力とを
繋いで合成し、10ビットのディジタルデータD1を出
力する。図4は、アナログ検出信号A0に対するディジ
タルデータ合成回路の出力特性を示す図である。ディジ
タルデータ合成回路31が出力する10ビットのディジ
タルデータD1では、所定値未満のアナログ検出信号A
0に対する小信号用A/D24の出力と、所定値以上の
アナログ検出信号A0に対する大信号用A/D25の出
力との繋ぎ目が、変曲点として現れる。この変曲点は、
所望のSN比を得るために小信号用アンプ22の利得を
変更すると変化し、また所望のダイナミックレンジを得
るために大信号用アンプ23の利得を変更すると変化す
る。
【0017】ディジタルデータ変換回路32は、ディジ
タルデータの変換テーブルを有し、ディジタルデータ合
成回路31が出力したディジタルデータD1を変換し
て、ディジタルデータD2を出力する。このときディジ
タルデータ変換回路32はまた、10ビットのディジタ
ルデータD1を8ビットのディジタルデータD2に変換
する。図5は、ディジタルデータ変換回路の入出力特性
を示す図である。ディジタルデータ変換回路32は、入
力するディジタルデータD1の変曲点の前後で入出力特
性が異なっている。ディジタルデータ変換回路32は、
この入出力特性の相違により、ディジタルデータ合成回
路31が出力したディジタルデータD1の小信号用A/
D24の出力と大信号用A/D25の出力との繋ぎ目を
滑らかにする。図6は、アナログ検出信号A0に対する
増幅装置の出力特性を示す図である。ディジタルデータ
変換回路32の働きにより、増幅装置が出力するディジ
タルデータD2は、変曲点のない滑らかなルートカーブ
となる。
【0018】以上説明した実施の形態によれば、ディジ
タルデータ合成回路31は、小信号用A/D24及び大
信号用A/D25が出力した8ビットのディジタルデー
タを2ビット多い10ビットのディジタルデータに変換
した後、大信号用A/D25が出力したディジタルデー
タを変換したものを4倍し、4倍したディジタルデータ
からその上位2ビットに基づいて所定値a以上のアナロ
グ検出信号A0に対するディジタルデータを検出してい
るので、合成するディジタルデータを容易に判断するこ
とができる。
【0019】また、以上説明した実施の形態によれば、
所望のSN比を得るために小信号用アンプ22の利得を
変更し、または所望のダイナミックレンジを得るために
大信号用アンプ23の利得を変更した結果、小信号用A
/D24の出力と大信号用A/D25の出力との繋ぎ目
に現れる変曲点が変化しても、ディジタルデータ変換回
路32の変換テーブルのデータを変更することで柔軟に
対応することができる。
【0020】なお、以上説明した実施の形態では、小信
号用A/D24及び大信号用A/D25が8ビット分解
能を有していたが、それ以外の分解能であってもよい。
また、ディジタルデータ合成回路31は、小信号用A/
D24及び大信号用A/D25が出力したディジタルデ
ータをビット数が2ビット多いディジタルデータに変換
し、大信号用A/D25が出力したディジタルデータを
変換したものを4倍していたが、ビット数がnビット多
いディジタルデータに変換し、大信号用A/D25が出
力したディジタルデータを変換したものを2n倍しても
よい。
【0021】
【発明の効果】本発明の信号増幅方法及び増幅装置によ
れば、所定値未満のアナログ信号を大きな利得で増幅
し、所定値以上のアナログ信号を小さな利得で増幅する
ことができるので、入力信号に対する応答速度を保った
まま、ダイナミックレンジを広くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施の形態による増幅装置の概略
構成を示す図である。
【図2】 アナログ信号処理部の動作を説明する図であ
る。
【図3】 ディジタルデータ合成回路の動作を説明する
図である。
【図4】 アナログ検出信号A0に対するディジタルデ
ータ合成回路の出力特性を示す図である。
【図5】 ディジタルデータ変換回路の入出力特性を示
す図である。
【図6】 アナログ検出信号A0に対する増幅装置の出
力特性を示す図である。
【符号の説明】
10…プリアンプ部、20…アナログ信号処理部、21
…バッファアンプ、22…小信号用アンプ、23…大信
号用アンプ、24…小信号用A/D、25…大信号用A
/D、30…ディジタル信号処理部、31…ディジタル
データ合成回路、32…ディジタルデータ変換回路
フロントページの続き (72)発明者 足立 美幸 東京都渋谷区東3丁目16番3号 日立電子 エンジニアリング株式会社内 Fターム(参考) 5J022 AA01 BA03 BA05 BA08 CB06 CC02 CF02 5J092 AA01 AA26 CA32 CA65 FA15 KA00 KA03 KA34 SA15 TA01 TA02 5J500 AA01 AA26 AC32 AC65 AF15 AK00 AK03 AK34 AS15 AT01 AT02

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 アナログ信号を第1の利得で増幅した後
    にディジタルデータに変換する第1のステップと、 同じアナログ信号を第1の利得より小さな第2の利得で
    増幅してオフセットを加えた後にディジタルデータに変
    換する第2のステップと、 所定値未満のアナログ信号に対する第1のステップのデ
    ィジタルデータと所定値以上のアナログ信号に対する第
    2のステップのディジタルデータとを繋いで合成する第
    3のステップと、 第3のステップで合成したディジタルデータを変換し
    て、第1のステップのディジタルデータと第2のステッ
    プのディジタルデータとの繋ぎ目を滑らかにする第4の
    ステップとを含むことを特徴とする信号増幅方法。
  2. 【請求項2】 第3のステップは、 第2のステップのディジタルデータをビット数がnビッ
    ト多いディジタルデータに変換した後に2n倍し、 2n倍したディジタルデータからその上位nビットに基
    づいて所定値以上のアナログ信号に対するディジタルデ
    ータを検出することを特徴とする請求項1に記載の信号
    増幅方法。
  3. 【請求項3】 アナログ信号を増幅する第1の増幅手段
    と、 前記第1の増幅手段の出力をディジタルデータに変換す
    る第1のアナログ・ディジタル変換手段と、 前記第1の増幅手段の利得より小さな利得を有し、前記
    第1の増幅手段と同じアナログ信号を増幅してオフセッ
    トを加える第2の増幅手段と、 前記第2の増幅手段の出力をディジタルデータに変換す
    る第2のアナログ・ディジタル変換手段と、 所定値未満のアナログ信号に対する前記第1のアナログ
    ・ディジタル変換手段の出力と所定値以上のアナログ信
    号に対する前記第2のアナログ・ディジタル変換手段の
    出力とを繋いで合成するディジタルデータ合成手段と、 前記ディジタルデータ合成手段の出力を変換し、前記第
    1のアナログ・ディジタル変換手段の出力と前記第2の
    アナログ・ディジタル変換手段の出力との繋ぎ目を滑ら
    かにするディジタルデータ変換手段とを備えたことを特
    徴とする増幅装置。
  4. 【請求項4】 前記ディジタルデータ合成手段は、 前記第2のアナログ・ディジタル変換手段が出力したデ
    ィジタルデータをビット数がnビット多いディジタルデ
    ータに変換した後に2n倍し、 2n倍したディジタルデータからその上位nビットに基
    づいて所定値以上のアナログ信号に対するディジタルデ
    ータを検出することを特徴とする請求項3に記載の増幅
    装置。
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