JP2003124765A - Method for device for assembling crystal vibrator - Google Patents

Method for device for assembling crystal vibrator

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JP2003124765A
JP2003124765A JP2001315844A JP2001315844A JP2003124765A JP 2003124765 A JP2003124765 A JP 2003124765A JP 2001315844 A JP2001315844 A JP 2001315844A JP 2001315844 A JP2001315844 A JP 2001315844A JP 2003124765 A JP2003124765 A JP 2003124765A
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JP
Japan
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unit
package
adhesive
crystal
lead screw
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Application number
JP2001315844A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshinori Iijima
芳紀 飯島
Yasushi Tanaka
泰 田中
Norito Kawai
憲人 川合
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Pioneer Corp
Pioneer FA Corp
Original Assignee
Pioneer FA Corp
Pioneer Electronic Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a crystal vibrator assembly device with which adhesives can be surely coated to a package and lowering in the yield of a crystal vibrator can be suppressed. SOLUTION: The crystal vibrator assembly device is provided with a rotary table 11 and a primary coating unit 15. In the rotary table 11, a plurality of holding fixtures 22 are provided at an outer edge. A ceramic package is placed on the upper faces of the holding fixtures 22. The primary coating unit 15 is provided with a coating head part 66 and a control part 67 for coating adhesives to the ceramic package on the holding fixtures 22. The control part 67 is equipped with a control stand 92. An upper face 98a of the control stand 92 is flattened along a horizontal direction and positioned on the same plane as the electrode of the ceramic package. After the lapse of a prescribed time from the coating of adhesives to one ceramic package to the coating to the other ceramic package, adhesives are coated to the upper face 98a of the control stand 92 by he coating head part 66.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動素子とし
ての水晶片をパッケージに取り付けて、電子機器として
の携帯電話などに用いられる水晶振動子を組み立てる水
晶振動子組立方法及び水晶振動子組立装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a crystal resonator assembling method and a crystal resonator assembling apparatus in which a crystal piece as a piezoelectric vibrating element is attached to a package to assemble a crystal resonator used in a mobile phone as an electronic device. Regarding

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器としての携帯電話には、圧電振
動素子としての水晶片を、パッケージ内に収容して構成
される水晶振動子(水晶発振器ともいう)が用いられて
いる。前記パッケージは、絶縁性を有する基板と、この
基板上に実装される回路素子などを備えている。前述し
たパッケージに、前記水晶片を取り付ける装置として従
来から種々の組立装置が用いられてきた。
2. Description of the Related Art In a mobile phone as an electronic device, a crystal resonator (also referred to as a crystal oscillator) is used, which is formed by accommodating a crystal piece as a piezoelectric vibration element in a package. The package includes a substrate having an insulating property, a circuit element mounted on the substrate, and the like. Conventionally, various assembling devices have been used as a device for attaching the crystal piece to the package described above.

【0003】前述した従来の組立装置は、前記パッケー
ジの電極に導電性を有する接着剤を塗布し、この接着剤
が硬化する前に前記水晶片を前記パッケージに重ねる。
塗布した接着剤が硬化すると、前記水晶片は前記パッケ
ージに固定される。このように、従来の組立装置は、前
記パッケージに水晶片を取り付けてきた。
The above-mentioned conventional assembling apparatus applies an electrically conductive adhesive to the electrodes of the package and lays the crystal piece on the package before the adhesive is cured.
When the applied adhesive is cured, the crystal piece is fixed to the package. As described above, the conventional assembling apparatus has attached the crystal piece to the package.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】前述した従来の組立装
置は、前記パッケージの電極に接着剤を塗布しない間
は、前記接着剤を塗布する塗布手段から接着剤が不意に
漏れることを防止してきた。しかしながら、パッケージ
の電極に接着剤を塗布しない時間が比較的長く続くと、
前記塗布手段内で前記接着剤が硬化してしまう事があっ
た。
The above-mentioned conventional assembling apparatus has prevented the adhesive from unintentionally leaking from the application means for applying the adhesive while the adhesive is not applied to the electrodes of the package. . However, if the adhesive is not applied to the package electrodes for a relatively long time,
The adhesive may be cured in the applying means.

【0005】塗布手段内で接着剤が硬化すると、前記電
極に塗布する際に、所望の量より少量の接着剤しか電極
に塗布できなくなることがある。このように、所望の量
の接着剤を確実に塗布できなくなって、水晶振動子の歩
留まりを低下させることがあった。さらに、最悪の場合
には、前記塗布手段の接着剤を通す通し孔が閉塞して、
接着剤の塗布自体ができなくなる事があった。
When the adhesive is hardened in the applying means, it may be possible to apply only a smaller amount of the adhesive than the desired amount to the electrode when applying it to the electrode. As described above, the desired amount of adhesive cannot be reliably applied, which may reduce the yield of the crystal unit. Furthermore, in the worst case, the through hole for passing the adhesive of the coating means is closed,
In some cases, the adhesive itself could not be applied.

【0006】さらに、前述した水晶振動子の組立工程で
は、前記接着剤の塗布量及び塗布位置などを保つため
に、前記塗布手段とパッケージの電極との間隔を、例え
ば0.1mmから0.15mmなどの非常に小さい所定
の間隔とする必要があった。このため、従来の組立装置
では、前記塗布手段とパッケージの電極との間隔を調整
する作業に熟練を要するとともに、前記塗布手段とパッ
ケージの電極との間隔を調整して、前記塗布手段を位置
決めする準備作業にかかる時間が長時間化する傾向があ
った。
Further, in the above-described crystal oscillator assembling step, in order to maintain the application amount and application position of the adhesive, the interval between the application means and the electrode of the package is, for example, 0.1 mm to 0.15 mm. It was necessary to have a very small predetermined interval such as. Therefore, in the conventional assembling apparatus, skill is required for adjusting the distance between the coating means and the electrodes of the package, and the distance between the coating means and the electrodes of the package is adjusted to position the coating means. There was a tendency for the preparation work to take a long time.

【0007】したがって、本発明の第1の目的は、パッ
ケージに確実に接着剤を塗布して、水晶振動子の歩留ま
りの低下を抑制できる水晶振動子組立方法及び水晶振動
子組立装置を提供することにある。本発明の第2の目的
は、準備作業にかかる所要時間を抑止できる水晶振動子
組立装置を提供することにある。
Therefore, a first object of the present invention is to provide a crystal resonator assembling method and a crystal resonator assembling apparatus capable of surely applying an adhesive to a package and suppressing a decrease in the yield of the crystal resonator. It is in. A second object of the present invention is to provide a crystal oscillator assembly apparatus that can suppress the time required for the preparatory work.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】前記第1の目的を達成す
るために、請求項1に記載の本発明の水晶振動子組立方
法は、パッケージに接着剤を塗布する塗布手段を用い
て、前記パッケージに水晶片を取り付ける水晶振動子組
立方法において、前記塗布手段が一つのパッケージに塗
布して他のパッケージに塗布する前に所定時間経過する
と、前記接着剤を放出することを特徴としている。
In order to achieve the first object, the crystal resonator assembling method of the present invention according to claim 1 uses the applying means for applying an adhesive to the package, In the method of assembling a crystal unit for attaching a crystal piece to a package, the adhesive is released when a predetermined time elapses before the applying means applies one package to another package.

【0009】前記第1の目的を達成するために、請求項
2に記載の本発明の水晶振動子組立装置は、パッケージ
の電極に接着剤を塗布して、前記パッケージに水晶片を
取り付ける水晶振動子組立装置において、前記パッケー
ジを保持可能な保持治具と、前記保持治具に保持された
前記パッケージに前記接着剤を塗布する塗布手段と、を
備え、前記塗布手段が一つのパッケージに塗布して他の
パッケージに塗布する前に所定時間経過すると、前記接
着剤を放出することを特徴としている。
In order to achieve the first object, a crystal resonator assembling apparatus according to a second aspect of the present invention is a crystal vibration applying apparatus, wherein an adhesive is applied to an electrode of a package and a crystal piece is attached to the package. The child assembly apparatus includes a holding jig capable of holding the package, and an applying unit that applies the adhesive to the package held by the holding jig, and the applying unit applies the package to one package. It is characterized in that the adhesive is released after a lapse of a predetermined time before being applied to another package.

【0010】前記第1の目的を達成するために、請求項
3に記載の本発明の水晶振動子組立装置は、請求項2に
記載の水晶振動子組立装置において、前記保持治具に保
持されたパッケージの電極と同一平面上に配された平坦
面を備え、前記塗布手段が一つのパッケージに塗布して
他のパッケージに塗布する前に所定時間経過して接着剤
を放出する際に、該接着剤を前記平坦面に塗布すること
を特徴としている。
In order to achieve the first object, the crystal oscillator assembling apparatus of the present invention according to claim 3 is the crystal oscillator assembling apparatus according to claim 2, wherein the crystal oscillator assembling apparatus is held by the holding jig. And a flat surface disposed on the same plane as the electrodes of the package, wherein the coating means coats one package and discharges the adhesive after a predetermined time elapses before coating another package. It is characterized in that an adhesive is applied to the flat surface.

【0011】前記第1の目的を達成するために、請求項
4に記載の本発明の水晶振動子組立装置は、請求項3に
記載の水晶振動子組立装置において、前記保持治具を設
置する装置本体と、前記塗布手段と前記パッケージの電
極との間隔を前記接着剤を塗布する適切な間隔に調整可
能な調整手段と、を備え、前記調整手段は、前記装置本
体に取付られる本体部と、前記平坦面を有しかつ前記本
体部に昇降自在に設けられた台本体と、前記台本体を前
記本体部から昇降させる第1マイクロメータヘッドと、
前記台本体の下死点では前記保持治具の前記パッケージ
を載置する載置面と前記平坦面とが同一平面上に位置す
ることを特徴としている。
In order to achieve the first object, a crystal oscillator assembling apparatus according to a fourth aspect of the present invention is the crystal oscillator assembling apparatus according to the third aspect, wherein the holding jig is installed. An apparatus body, and an adjusting means capable of adjusting a distance between the applying means and the electrodes of the package to an appropriate distance for applying the adhesive, the adjusting means comprising a body portion attached to the apparatus body. A base main body having the flat surface and vertically movable on the main body, and a first micrometer head for moving the base main body up and down from the main body.
At the bottom dead center of the base body, the mounting surface of the holding jig on which the package is mounted and the flat surface are located on the same plane.

【0012】前記第1の目的にくわえ第2の目的を達成
するために、請求項5に記載の本発明の水晶振動子組立
装置は、請求項4に記載の水晶振動子組立装置におい
て、ケースが前記台本体に取付られかつスピンドルの端
面が前記平坦面から突没自在な第2マイクロメータヘッ
ドを備え、前記第2マイクロメータヘッドのスピンドル
の下死点では該スピンドルの端面と前記平坦面とが同一
平面上に位置することを特徴としている。
In order to achieve the second object in addition to the first object, the crystal oscillator assembling apparatus of the present invention according to claim 5 is the crystal oscillator assembling apparatus according to claim 4, wherein: A second micrometer head attached to the base body and having an end surface of the spindle projecting and retracting from the flat surface. At the bottom dead center of the spindle of the second micrometer head, the end surface of the spindle and the flat surface are Are located on the same plane.

【0013】請求項1に記載された本発明によれば、一
つのパッケージを塗布した後に他のパッケージに塗布す
る前に、所定時間経過すると、塗布手段が接着剤を放出
する。このため、長くても所定時間毎に、接着剤が塗布
手段から放出される。なお、所定時間は、例えば10秒
から15秒までの、接着剤が硬化するまでの時間とする
のが望ましい。
According to the first aspect of the present invention, the application means releases the adhesive after a predetermined time elapses after applying one package and before applying the other package. For this reason, the adhesive is released from the application means at every predetermined time at the longest. In addition, it is desirable that the predetermined time is, for example, 10 seconds to 15 seconds until the adhesive is cured.

【0014】請求項2に記載された本発明によれば、一
つのパッケージを塗布した後に他のパッケージに塗布す
る前に、所定時間経過すると、塗布手段が接着剤を放出
する。このため、長くても所定時間毎に、接着剤が塗布
手段から放出される。なお、所定時間は、例えば10秒
から15秒までの、接着剤が硬化するまでの時間とする
のが望ましい。
According to the second aspect of the present invention, the application means releases the adhesive after a predetermined time elapses after applying one package and before applying the other package. For this reason, the adhesive is released from the application means at every predetermined time at the longest. In addition, it is desirable that the predetermined time is, for example, 10 seconds to 15 seconds until the adhesive is cured.

【0015】請求項3に記載された本発明によれば、長
くても所定時間毎に、接着剤が塗布手段から放出され
る。また、塗布手段が、接着剤を、パッケージの電極と
同一平面上に位置した平坦面に塗布する。このため、塗
布手段と平坦面との間隔が、塗布手段と電極との間隔に
等しい。したがって、塗布手段は、平坦面に塗布する際
に、電極に塗布する際と同様に接着剤を塗布できる。
According to the present invention as set forth in claim 3, the adhesive is released from the application means at every predetermined time at the longest. Further, the applying means applies the adhesive to the flat surface located on the same plane as the electrodes of the package. Therefore, the distance between the coating means and the flat surface is equal to the distance between the coating means and the electrodes. Therefore, the application means can apply the adhesive when applying to the flat surface in the same manner as when applying to the electrode.

【0016】請求項4に記載された本発明によれば、台
本体の下死点において、平坦面と、保持治具の上面とが
同一平面上に位置する。下死点から、第1マイクロメー
タヘッドを操作して台本体をパッケージの電極の高さ分
上昇させると、平坦面とパッケージの電極とが同一平面
上に位置する。
According to the fourth aspect of the present invention, the flat surface and the upper surface of the holding jig are located on the same plane at the bottom dead center of the base body. When the first micrometer head is operated from the bottom dead center to raise the base body by the height of the electrodes of the package, the flat surface and the electrodes of the package are located on the same plane.

【0017】このように、第1マイクロメータヘッドを
操作して台本体をパッケージの電極の高さ分上昇させる
と、容易に、平坦面をパッケージの電極と同一平面上に
位置させることができる。したがって、塗布手段は、平
坦面に塗布する際に、確実に、電極に塗布する際と同様
に接着剤を塗布できる。
As described above, by operating the first micrometer head to raise the base body by the height of the electrodes of the package, the flat surface can be easily located on the same plane as the electrodes of the package. Therefore, the application unit can reliably apply the adhesive when applying it to the flat surface in the same manner as when applying to the electrode.

【0018】請求項5に記載された本発明によれば、第
2マイクロメータヘッドのスピンドルの下死点におい
て、該スピンドルの端面と平坦面とが同一平面上に位置
する。このため、下死点から、第1マイクロメータヘッ
ドを操作して台本体をパッケージの電極の高さ分上昇さ
せ、第2マイクロメータヘッドを操作して該マイクロメ
ータヘッドのスピンドルを接着剤の塗布に適切な間隔分
上昇させると、スピンドルの端面は台本体と同一平面で
あるので、このスピンドルの端面は、パッケージの電極
より前記接着剤の塗布に適切な間隔分だけ上昇した位置
に設定される。
According to the present invention described in claim 5, at the bottom dead center of the spindle of the second micrometer head, the end surface of the spindle and the flat surface are located on the same plane. Therefore, from the bottom dead center, the first micrometer head is operated to raise the base body by the height of the electrodes of the package, and the second micrometer head is operated to apply the adhesive to the spindle of the micrometer head. , The end surface of the spindle is flush with the base body, so that the end surface of the spindle is set at a position raised by an appropriate distance for applying the adhesive from the electrodes of the package. .

【0019】したがって、該スピンドルの端面に、塗布
手段の先端を接触させて、塗布手段を位置決めすること
により、塗布手段と平坦面との間隔を、確実に、適切な
間隔とすることができる。
Therefore, by positioning the coating means by bringing the tip of the coating means into contact with the end surface of the spindle, the distance between the coating means and the flat surface can be surely set to an appropriate distance.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態にかか
る水晶振動子組立装置1を、図1ないし図48を参照し
て説明する。図1などに示す水晶振動子組立装置1は、
図3及び図4などに示すパッケージとしてのセラミック
パッケージ2に、圧電振動素子としての水晶片3(図5
及び図6に示す)を取り付けて、水晶振動子(水晶発振
器ともいう)を組み立てる装置である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A crystal resonator assembly device 1 according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 48. The crystal unit 1 shown in FIG.
A ceramic package 2 as a package shown in FIGS. 3 and 4 and a crystal piece 3 as a piezoelectric vibration element (see FIG.
And shown in FIG. 6), and a crystal oscillator (also called a crystal oscillator) is assembled.

【0021】セラミックパッケージ2は、セラミックな
どからなる周知の絶縁基板と、回路素子などが積層され
て構成されている。セラミックパッケージ2は、図3及
び図4に示すように、外縁部が、他の部分より厚く形成
されており、前記外縁部の内側に前記回路素子などと電
気的に接続した電極5を複数設けている。なお、電極5
は、図3及び図4に示すように、セラミックパッケージ
2の底面2aからの高さT1となる位置に、配されてい
る。
The ceramic package 2 is constructed by laminating a well-known insulating substrate made of ceramic or the like, a circuit element and the like. As shown in FIGS. 3 and 4, the ceramic package 2 has an outer edge portion formed to be thicker than other portions, and a plurality of electrodes 5 electrically connected to the circuit elements and the like are provided inside the outer edge portion. ing. The electrode 5
Are arranged at a position having a height T1 from the bottom surface 2a of the ceramic package 2, as shown in FIGS.

【0022】図5及び図6に示すように、セラミックパ
ッケージ2の電極5に導電性を有する接着剤6が塗布さ
れる。該接着剤6によって水晶片3が、電極5と固定さ
れる。そして、接着剤6によって、電極5と水晶片3と
は、電気的に接続する。
As shown in FIGS. 5 and 6, a conductive adhesive 6 is applied to the electrodes 5 of the ceramic package 2. The crystal piece 3 is fixed to the electrode 5 by the adhesive 6. Then, the electrode 5 and the crystal piece 3 are electrically connected by the adhesive 6.

【0023】水晶振動子組立装置1は、前記セラミック
パッケージ2の電極5に接着剤6を塗布して、水晶片3
を電極5に固定する装置である。水晶振動子組立装置1
は、図1及び図2に示すように、装置本体としてのフレ
ーム10と、搬送手段としての回転テーブル11と、パ
ッケージ搬入ユニット12と、パッケージ載置ユニット
13と、確認手段としての計測カメラ14と、1次塗布
ユニット15と、水晶搬入ユニット16と、載置手段と
しての水晶載置ユニット17と、2次塗布ユニット18
と、搬出ユニット19と、取り出しユニット20と、制
御手段としての制御装置60と、を備えている。
The crystal resonator assembly apparatus 1 applies the adhesive 6 to the electrodes 5 of the ceramic package 2 to form the crystal piece 3
Is a device for fixing the to the electrode 5. Crystal oscillator assembly device 1
As shown in FIGS. 1 and 2, a frame 10 as an apparatus main body, a rotary table 11 as a conveying unit, a package loading unit 12, a package placing unit 13, and a measuring camera 14 as a confirming unit. A primary coating unit 15, a crystal loading unit 16, a crystal mounting unit 17 as a mounting means, and a secondary coating unit 18.
And a take-out unit 19, a take-out unit 20, and a control device 60 as a control means.

【0024】フレーム10は、図1などに示すように、
工場などのフロア7上に載置される。フレーム10は、
板状のベース板8aと、板状の天井板8bと、複数の扉
9などを備えている。ベース板8aは、水平方向に沿っ
て略平坦に形成されている。
The frame 10 is, as shown in FIG.
It is placed on the floor 7 of a factory or the like. The frame 10 is
A plate-shaped base plate 8a, a plate-shaped ceiling plate 8b, a plurality of doors 9 and the like are provided. The base plate 8a is formed substantially flat along the horizontal direction.

【0025】ベース板8a上には、回転テーブル11
と、パッケージ搬入ユニット12と、パッケージ載置ユ
ニット13と、計測カメラ14と、1次塗布ユニット1
5と、水晶搬入ユニット16と、水晶載置ユニット17
と、2次塗布ユニット18と、搬出ユニット19と、取
り出しユニット20と、が設置されている。このため、
フレーム10は、回転テーブル11の後述する保持治具
22を設置している。
On the base plate 8a, the rotary table 11 is provided.
, Package loading unit 12, package placement unit 13, measurement camera 14, primary coating unit 1
5, crystal loading unit 16, and crystal placement unit 17
The secondary coating unit 18, the carry-out unit 19, and the take-out unit 20 are installed. For this reason,
The frame 10 is provided with a holding jig 22 for the rotary table 11, which will be described later.

【0026】なお、ベース板8a上には、回転テーブル
11を中心として、時計回りに順に、パッケージ搬入ユ
ニット12及びパッケージ載置ユニット13と、後述の
第1計測カメラ14aと、1次塗布ユニット15と、後
述の第2計測カメラ14bと、水晶搬入ユニット16及
び水晶載置ユニット17と、2次塗布ユニット18と、
後述の第3計測カメラ14cと、搬出ユニット19及び
取り出しユニット20と、が設置されている。
On the base plate 8a, the package carrying-in unit 12 and the package placing unit 13, the first measuring camera 14a, which will be described later, and the primary coating unit 15 are arranged in this order in a clockwise direction around the rotary table 11. And a second measurement camera 14b, which will be described later, a crystal loading unit 16, a crystal placement unit 17, and a secondary coating unit 18,
A third measurement camera 14c, which will be described later, and a carry-out unit 19 and a take-out unit 20 are installed.

【0027】天井板8bは、ベース板8aの上方に間隔
を存して設けられている。天井板8bは、水平方向に沿
って略平坦に形成されている。扉9は、ベース板8aと
天井板8bとの間に設けられている。扉9は、ベース板
8aと天井板8bとの間の空間を、解放する位置と覆う
位置とに亘って、ベース板8aと天井板8bに回転自在
に支持されている。即ち、扉9は、フレーム10内を開
閉する。又、フレーム10は、制御装置60を取り付け
ている。
The ceiling plate 8b is provided above the base plate 8a with a space. The ceiling plate 8b is formed substantially flat along the horizontal direction. The door 9 is provided between the base plate 8a and the ceiling plate 8b. The door 9 is rotatably supported by the base plate 8a and the ceiling plate 8b over a position where the space between the base plate 8a and the ceiling plate 8b is released and a position where the space is covered. That is, the door 9 opens and closes the inside of the frame 10. A control device 60 is attached to the frame 10.

【0028】回転テーブル11は、図2に示すように、
ベース板8aの略中央に設けられている。回転テーブル
11は、図7及び図8に示すように、円板状のテーブル
本体21と、複数の保持治具22と、駆動モータ23
と、を備えている。テーブル本体21は、表面が水平方
向に沿っている。テーブル本体21は、その中心を通り
かつ鉛直方向に沿う軸線Q回りに回転自在に、ベース板
8aに支持されている。テーブル本体21は、ベース板
8aに取り付けられた前述した駆動モータ23によっ
て、前記軸線Q回りに回転される。
The rotary table 11 is, as shown in FIG.
It is provided substantially at the center of the base plate 8a. As shown in FIGS. 7 and 8, the rotary table 11 includes a disk-shaped table body 21, a plurality of holding jigs 22, and a drive motor 23.
And are equipped with. The surface of the table body 21 extends in the horizontal direction. The table body 21 is supported by the base plate 8a so as to be rotatable around an axis Q passing through the center and extending in the vertical direction. The table body 21 is rotated around the axis Q by the drive motor 23 described above attached to the base plate 8a.

【0029】保持治具22は、テーブル本体21の外縁
部に設けられている。保持治具22は、軸線Qを中心と
した周方向に沿って並設されている。なお、図示例で
は、保持治具22は、前記周方向に沿って等間隔に、8
個設けられている。保持治具22は、図9などに示すよ
うに、治具本体24と、治具本体24を貫通した貫通孔
25(図9ないし図11に示す)と、を備えている。
The holding jig 22 is provided on the outer edge of the table body 21. The holding jigs 22 are arranged in parallel along the circumferential direction centering on the axis Q. In the illustrated example, the holding jigs 22 are arranged at equal intervals along the circumferential direction.
It is provided individually. As shown in FIG. 9 and the like, the holding jig 22 includes a jig body 24 and a through hole 25 (shown in FIGS. 9 to 11) penetrating the jig body 24.

【0030】治具本体24は、方体状に形成されかつテ
ーブル本体21の表面に、ボルトなどによって固定され
る。治具本体24は、テーブル本体21に固定される
と、このテーブル本体21の表面から上方に突出する。
治具本体24は、その上面24aにセラミックパッケー
ジ2が載置される。この上面24aは、水平方向に沿っ
て平坦に形成されている。なお、この上面24aは、保
持治具22の上面をなしており、本明細書に記した載置
面をなしている。
The jig body 24 is formed in a rectangular shape and is fixed to the surface of the table body 21 with bolts or the like. When the jig body 24 is fixed to the table body 21, the jig body 24 projects upward from the surface of the table body 21.
The ceramic package 2 is placed on the upper surface 24 a of the jig body 24. The upper surface 24a is formed flat along the horizontal direction. The upper surface 24a serves as the upper surface of the holding jig 22 and serves as the mounting surface described in this specification.

【0031】また、貫通孔25の一端は、図10に示す
ように、テーブル本体21に固定された治具本体24の
上面24aに開口している。貫通孔25の他端側には、
吸引手段を構成する吸引配管26が連結している。吸引
配管26は、各保持治具22からテーブル本体21の中
心方向に向かって延びている。吸引配管26は、テーブ
ル本体21の中央部で、各保持治具22に連結したもの
同士が一体となって、吸引装置27(図8に示す)に連
結している。吸引装置27として周知の真空ポンプを用
いることができる。
As shown in FIG. 10, one end of the through hole 25 is open to the upper surface 24a of the jig body 24 fixed to the table body 21. On the other end side of the through hole 25,
A suction pipe 26 forming a suction means is connected. The suction pipe 26 extends from each holding jig 22 toward the center of the table body 21. The suction pipe 26 is connected to the suction device 27 (shown in FIG. 8) in a central portion of the table main body 21, in which those connected to the respective holding jigs 22 are integrated. A well-known vacuum pump can be used as the suction device 27.

【0032】吸引装置27が、吸引配管26及び貫通孔
25を通して、外気を吸引する。すると、後述するよう
に、セラミックパッケージ2が、治具本体24即ち保持
治具22の上面24aに吸着される。
The suction device 27 sucks the outside air through the suction pipe 26 and the through hole 25. Then, as described later, the ceramic package 2 is attracted to the jig body 24, that is, the upper surface 24a of the holding jig 22.

【0033】前述した構成の回転テーブル11は、駆動
モータ23によって軸線Qを中心として、時計回り(図
中の矢印Rに沿う方向)に回転されることによって、保
持治具22に保持したセラミックパッケージ2を、パッ
ケージ搬入ユニット12及びパッケージ載置ユニット1
3の近傍と、第1計測カメラ14aの近傍と、1次塗布
ユニット15の近傍と、第2計測カメラ14bの近傍
と、水晶搬入ユニット16及び水晶載置ユニット17の
近傍と、2次塗布ユニット18の近傍と、第3計測カメ
ラ14cの近傍と、搬出ユニット19及び取り出しユニ
ット20の近傍に、順に搬送する。
The rotary table 11 having the above-described structure is rotated in the clockwise direction (along the arrow R in the figure) about the axis Q by the drive motor 23 to hold the ceramic package in the holding jig 22. 2, the package loading unit 12 and the package placement unit 1
3, the vicinity of the first measurement camera 14a, the vicinity of the primary coating unit 15, the vicinity of the second measurement camera 14b, the vicinity of the crystal loading unit 16 and the crystal placement unit 17, and the secondary coating unit. It is conveyed in the vicinity of 18, the vicinity of the third measurement camera 14c, and the vicinity of the carry-out unit 19 and the take-out unit 20 in order.

【0034】即ち、回転テーブル11は、セラミックパ
ッケージ2を、パッケージ搬入ユニット12及びパッケ
ージ載置ユニット13と、1次塗布ユニット15と、水
晶載置ユニット17と、搬出ユニット19及び取り出し
ユニット20に、順に搬送する。
That is, the rotary table 11 includes the ceramic package 2, the package loading unit 12 and the package loading unit 13, the primary coating unit 15, the crystal loading unit 17, the unloading unit 19 and the unloading unit 20. Transport in sequence.

【0035】パッケージ搬入ユニット12は、図2に示
すように、回転テーブル11の外周側に設けられてい
る。パッケージ搬入ユニット12には、回転テーブル1
1の外周側から、トレー36が供給される。トレー36
は、矩形状の平板状に形成されている。トレー36は、
表面に、多数のセラミックパッケージ2を、2次元のマ
トリック状に並べる。
The package carrying-in unit 12 is provided on the outer peripheral side of the rotary table 11, as shown in FIG. The package loading unit 12 includes a rotary table 1
The tray 36 is supplied from the outer peripheral side of 1. Tray 36
Is formed in a rectangular flat plate shape. Tray 36
A large number of ceramic packages 2 are arranged in a two-dimensional matrix on the surface.

【0036】パッケージ搬入ユニット12は、図12及
び図13に示すように、スライドシリンダ28と、一対
のガイドレール29と、シリンダ30と、一対のチャッ
ク31a,31bと、を備えている。スライドシリンダ
28は、長手方向が回転テーブル11のテーブル本体2
1の径方向に沿った直線状のロッド32と、ロッド32
に対しスライドするシリンダ本体33と、を備えてい
る。一対のガイドレール29は、ロッド32と平行であ
る。シリンダ30は、シリンダ本体33に固定されたシ
リンダ本体34と、このシリンダ本体34から鉛直方向
に沿って伸縮自在な伸縮ロッド35と、を備えている。
一対のチャック31a,31bは、伸縮ロッド35が伸
縮すると、互いに接離して、互いの間にトレー36を挟
む。
As shown in FIGS. 12 and 13, the package carry-in unit 12 includes a slide cylinder 28, a pair of guide rails 29, a cylinder 30, and a pair of chucks 31a and 31b. The slide cylinder 28 has a table body 2 whose longitudinal direction is the rotary table 11.
1, a linear rod 32 along the radial direction, and a rod 32
And a cylinder body 33 that slides with respect to. The pair of guide rails 29 are parallel to the rod 32. The cylinder 30 includes a cylinder body 34 fixed to the cylinder body 33, and a telescopic rod 35 that can extend and contract from the cylinder body 34 in the vertical direction.
When the telescopic rod 35 expands and contracts, the pair of chucks 31a and 31b come into contact with and separate from each other and sandwich the tray 36 between them.

【0037】前述した構成のパッケージ搬入ユニット1
2は、シリンダ本体33が、回転テーブル11のテーブ
ル本体21から離れた位置で、一旦伸縮ロッド35が伸
長した後、縮小して、チャック31a,31b間にトレ
ー36を挟む。そして、シリンダ本体33内に加圧され
た気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体33
が回転テーブル11のテーブル本体21に向かって移動
する。こうして、パッケージ搬入ユニット12は、トレ
ー36即ちセラミックパッケージ2を、回転テーブル1
1の近傍に搬入する。
The package loading unit 1 having the above-mentioned configuration
In No. 2, the cylinder main body 33 is at a position away from the table main body 21 of the rotary table 11, and once the telescopic rod 35 is expanded, it is contracted to sandwich the tray 36 between the chucks 31a and 31b. Then, by supplying pressurized gas or the like into the cylinder body 33, the cylinder body 33 is
Moves toward the table body 21 of the turntable 11. Thus, the package carrying-in unit 12 loads the tray 36, that is, the ceramic package 2 into the rotary table 1
Bring it in the vicinity of 1.

【0038】パッケージ載置ユニット13は、図2及び
図14などに示すように、パッケージ搬入ユニット12
の近傍に設けられている。パッケージ載置ユニット13
は、図14及び図15に示すように、移動部37と、載
置ヘッド部38と、を備えている。
As shown in FIGS. 2 and 14, the package mounting unit 13 includes the package loading unit 12 as shown in FIG.
Is provided in the vicinity of. Package placement unit 13
As shown in FIGS. 14 and 15, includes a moving portion 37 and a mounting head portion 38.

【0039】移動部37は、図14及び図15に示すよ
うに、Y軸駆動部39と、X軸駆動部40と、を備えて
いる。Y軸駆動部39は、駆動モータ41と、ボールね
じ42などを備えている。駆動モータ41は、ベース板
8aに固定されている。
As shown in FIGS. 14 and 15, the moving section 37 includes a Y-axis drive section 39 and an X-axis drive section 40. The Y-axis drive unit 39 includes a drive motor 41 and a ball screw 42. The drive motor 41 is fixed to the base plate 8a.

【0040】ボールねじ42は、リードスクリュー43
と、ナット44などを備えている。リードスクリュー4
3は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー
43は、長手方向が、一対のガイドレール29とロッド
32と平行である。リードスクリュー43は、周知の転
がり軸受などによって、ベース板8aに、軸芯回りに回
転自在に支持されている。リードスクリュー43には、
駆動モータ41の出力軸が連結している。
The ball screw 42 is a lead screw 43.
And a nut 44 and the like. Lead screw 4
3 extends along one direction. The longitudinal direction of the lead screw 43 is parallel to the pair of guide rails 29 and the rod 32. The lead screw 43 is supported on the base plate 8a by a well-known rolling bearing or the like so as to be rotatable around its axis. The lead screw 43 has
The output shaft of the drive motor 41 is connected.

【0041】ナット44は、リードスクリュー43の外
周に螺合している。ナット44は、リードスクリュー4
3がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー4
3の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット44は、
リードスクリュー43が回転すると、回転テーブル11
のテーブル本体21に接離する。
The nut 44 is screwed onto the outer circumference of the lead screw 43. The nut 44 is the lead screw 4
3 rotates about its axis, the lead screw 4
3 along the longitudinal direction. That is, the nut 44 is
When the lead screw 43 rotates, the rotary table 11
The table main body 21 is contacted and separated.

【0042】X軸駆動部40は、駆動モータ45と、ボ
ールねじ46などを備えている。駆動モータ45は、Y
軸駆動部39のナット44に固定されている。ボールね
じ46は、リードスクリュー47と、ナット48などを
備えている。リードスクリュー47は、一方向に沿って
延在している。リードスクリュー47は、長手方向が、
一対のガイドレール29とロッド32に交差している。
なお、図示例では、リードスクリュー47の長手方向
と、一対のガイドレール29とロッド32との双方の長
手方向は、互いに直交している。
The X-axis drive unit 40 includes a drive motor 45, a ball screw 46 and the like. The drive motor 45 is Y
It is fixed to a nut 44 of the shaft drive unit 39. The ball screw 46 includes a lead screw 47 and a nut 48. The lead screw 47 extends along one direction. In the longitudinal direction of the lead screw 47,
The pair of guide rails 29 and the rod 32 intersect.
In the illustrated example, the longitudinal direction of the lead screw 47 and the longitudinal directions of the pair of guide rails 29 and the rod 32 are orthogonal to each other.

【0043】リードスクリュー47は、周知の転がり軸
受などによって、ナット44に、軸芯回りに回転自在に
支持されている。リードスクリュー47には、駆動モー
タ45の出力軸が連結している。
The lead screw 47 is supported by the nut 44 by a well-known rolling bearing or the like so as to be rotatable about its axis. The output shaft of the drive motor 45 is connected to the lead screw 47.

【0044】ナット48は、リードスクリュー47の外
周に螺合している。ナット48は、リードスクリュー4
7がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー4
7の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット48は、
リードスクリュー47が回転すると、回転テーブル11
のテーブル本体21に接線に沿って、移動する。
The nut 48 is screwed onto the outer circumference of the lead screw 47. The nut 48 is the lead screw 4
When 7 rotates around its axis, the lead screw 4
7 along the longitudinal direction. That is, the nut 48 is
When the lead screw 47 rotates, the rotary table 11
The table body 21 is moved along a tangent line.

【0045】載置ヘッド部38は、図14及び図15な
どに示すように、X軸駆動部40のナット48に固定さ
れている。載置ヘッド部38は、図16及び図17に示
すように、ヘッド部本体49と、リニアガイドシリンダ
50と、吸着部51と、チャックシリンダ52と、一対
のパッケージチャック53と、を備えている。
The mounting head portion 38 is fixed to the nut 48 of the X-axis drive portion 40, as shown in FIGS. 14 and 15. As shown in FIGS. 16 and 17, the mounting head unit 38 includes a head unit body 49, a linear guide cylinder 50, a suction unit 51, a chuck cylinder 52, and a pair of package chucks 53. .

【0046】ヘッド部本体49は、断面T状の柱状に形
成されており、長手方向が鉛直方向に沿っている。ヘッ
ド部本体49は、ナット48に固定されており、該ナッ
ト48から立設している。リニアガイドシリンダ50
は、ヘッド部本体49に固定されたシリンダ本体54
と、鉛直方向に沿いかつシリンダ本体54に固定された
レール55と、レール55に移動自在に支持されたスラ
イダ56と、を備えている。
The head portion main body 49 is formed in a columnar shape having a T-shaped cross section, and the longitudinal direction is along the vertical direction. The head portion main body 49 is fixed to the nut 48 and stands upright from the nut 48. Linear guide cylinder 50
Is a cylinder body 54 fixed to the head body 49.
A rail 55 fixed to the cylinder body 54 along the vertical direction, and a slider 56 movably supported by the rail 55.

【0047】リニアガイドシリンダ50は、シリンダ本
体54内に加圧された気体が供給されると、スライダ5
6がレール55に沿って移動する。即ち、リニアガイド
シリンダ50は、シリンダ本体54内に加圧された気体
が供給されると、スライダ56が昇降する。なお、スラ
イダ56は、図16及び図17に示す一対のパッケージ
チャック53間に吸着部51の後述する下端面51aが
位置する上死点と、図19及び図20に示す下端面51
aが一対のパッケージチャック53間から下方に向かっ
て突出した下死点と、に亘って、移動する。
When the pressurized gas is supplied into the cylinder body 54, the linear guide cylinder 50 is moved to the slider 5
6 moves along the rail 55. That is, in the linear guide cylinder 50, when the pressurized gas is supplied into the cylinder body 54, the slider 56 moves up and down. The slider 56 includes a top dead center at which a lower end surface 51a of the suction portion 51, which will be described later, is located between the pair of package chucks 53 shown in FIGS. 16 and 17, and the lower end surface 51 shown in FIGS.
a moves between the pair of package chucks 53 and the bottom dead center protruding downward.

【0048】吸着部51は、リニアガイドシリンダ50
のスライダ56に固定されている。吸着部51は、リニ
アガイドシリンダ50のスライダ56から下方即ちトレ
ー36に向かって延在している。吸着部51のトレー3
6寄りの下端部には、貫通孔57(図18に示す)が設
けられている。
The suction portion 51 is a linear guide cylinder 50.
It is fixed to the slider 56. The suction portion 51 extends downward from the slider 56 of the linear guide cylinder 50, that is, toward the tray 36. Tray 3 of adsorption part 51
A through hole 57 (shown in FIG. 18) is provided at the lower end nearer to 6.

【0049】貫通孔57は、一端が吸着部51のトレー
36寄りの下端面51aに開口しており、他端には配管
が連結する。該配管は、例えば、周知の真空ポンプなど
の吸引装置などと連結している。吸着部51は、前記真
空ポンプが貫通孔57などを通して外気を吸い込んで、
セラミックパッケージ2を前記下端面51aに吸着す
る。
One end of the through hole 57 is open to the lower end surface 51a of the suction section 51 near the tray 36, and the other end is connected to a pipe. The pipe is connected to, for example, a suction device such as a well-known vacuum pump. In the suction unit 51, the vacuum pump sucks the outside air through the through holes 57 and the like,
The ceramic package 2 is attracted to the lower end surface 51a.

【0050】チャックシリンダ52は、ヘッド部本体4
9に固定されている。チャックシリンダ52は、一対の
パッケージチャック53を接離させる。一対のパッケー
ジチャック53は、水平方向に沿って並設されている。
一対のパッケージチャック53は、図18に示すよう
に、互いの間に吸着部51の下端部を挟む位置に設けら
れている。一対のパッケージチャック53は、互いに近
づくと、図18に示すように、吸着部51に吸着したセ
ラミックパッケージ2を挟む。
The chuck cylinder 52 is used for the head body 4
It is fixed at 9. The chuck cylinder 52 brings the pair of package chucks 53 into and out of contact with each other. The pair of package chucks 53 are arranged side by side along the horizontal direction.
As shown in FIG. 18, the pair of package chucks 53 are provided at positions where the lower end of the suction portion 51 is sandwiched between them. When the pair of package chucks 53 approaches each other, as shown in FIG. 18, the pair of package chucks 53 sandwich the ceramic package 2 adsorbed by the adsorbing portion 51.

【0051】前述した構成のパッケージ載置ユニット1
3は、Y軸駆動部39の駆動モータ41とX軸駆動部4
0の駆動モータ45を駆動して、吸着部51の下端面5
1aを、トレー36上の所望のセラミックパッケージ2
に相対させる。このとき、スライダ56は前述した上死
点に位置している。
The package mounting unit 1 having the above-mentioned configuration
3 is a drive motor 41 of the Y-axis drive unit 39 and an X-axis drive unit 4
Driving the drive motor 45 of
1a to the desired ceramic package 2 on the tray 36
Relative to. At this time, the slider 56 is located at the above-mentioned top dead center.

【0052】そして、リニアガイドシリンダ50を駆動
して、スライダ56を下死点に移動させるとともに、吸
引装置を駆動して貫通孔57を通して外気を吸い込む。
すると、下端面51aは、図19及び図20に示すよう
に、一対のパッケージチャック53から下方に突出し、
該下端面51aにセラミックパッケージ2が吸着する。
Then, the linear guide cylinder 50 is driven to move the slider 56 to the bottom dead center and the suction device is driven to suck the outside air through the through hole 57.
Then, the lower end surface 51a projects downward from the pair of package chucks 53, as shown in FIGS.
The ceramic package 2 is attracted to the lower end surface 51a.

【0053】そして、リニアガイドシリンダ50を駆動
して、スライダ56を上死点に移動させるとともに、Y
軸駆動部39の駆動モータ41とX軸駆動部40の駆動
モータ45を駆動して、吸着部51の下端面51a即ち
セラミックパッケージ2を、回転テーブル11の保持治
具22に相対させる。スライダ56を下死点に移動させ
るとともに、吸引装置を停止する。下端面51aに吸着
されていたセラミックパッケージ2が、保持治具22上
に載置される。
Then, the linear guide cylinder 50 is driven to move the slider 56 to the top dead center, and Y
The drive motor 41 of the shaft drive unit 39 and the drive motor 45 of the X-axis drive unit 40 are driven to make the lower end surface 51a of the suction unit 51, that is, the ceramic package 2 face the holding jig 22 of the rotary table 11. The slider 56 is moved to the bottom dead center and the suction device is stopped. The ceramic package 2 adsorbed on the lower end surface 51 a is placed on the holding jig 22.

【0054】このように、パッケージ載置ユニット13
は、パッケージ搬入ユニット12によって搬入されたセ
ラミックパッケージ2を、トレー36から保持治具22
即ち回転テーブル11に移送して、該保持治具22に載
置する。なお、前記パッケージ搬入ユニット12とパッ
ケージ載置ユニット13とは、本明細書に記した搬入手
段を構成している。
In this way, the package mounting unit 13
Holds the ceramic package 2 loaded by the package loading unit 12 from the tray 36 to the holding jig 22.
That is, it is transferred to the rotary table 11 and placed on the holding jig 22. The package carrying-in unit 12 and the package placing unit 13 compose the carrying-in means described in this specification.

【0055】計測カメラ14は、図2及び図21に示す
ように、回転テーブル11の外周側に設けられている。
計測カメラ14は、図示例では、三つ設けられている。
一つの計測カメラ14(以下第1計測カメラ14aと呼
ぶ)は、回転テーブル11の周方向に沿って、パッケー
ジ搬入ユニット12と1次塗布ユニット15との間に設
けられている。
The measurement camera 14 is provided on the outer peripheral side of the turntable 11, as shown in FIGS.
In the illustrated example, three measurement cameras 14 are provided.
One measurement camera 14 (hereinafter referred to as the first measurement camera 14a) is provided between the package carry-in unit 12 and the primary coating unit 15 along the circumferential direction of the rotary table 11.

【0056】他の一つの計測カメラ14(以下第2計測
カメラ14bと呼ぶ)は、回転テーブル11の周方向に
沿って、1次塗布ユニット15と水晶搬入ユニット16
との間に設けられている。残りの計測カメラ14(以下
第3計測カメラ14cと呼ぶ)は、回転テーブル11の
周方向に沿って、2次塗布ユニット18と、搬出ユニッ
ト19との間に設けられている。なお、これらの計測カ
メラ14a,14b,14cは、構成及び機能が同一で
ある。
The other measuring camera 14 (hereinafter referred to as the second measuring camera 14b) includes a primary coating unit 15 and a crystal loading unit 16 along the circumferential direction of the rotary table 11.
It is provided between and. The remaining measurement camera 14 (hereinafter referred to as the third measurement camera 14c) is provided between the secondary coating unit 18 and the carry-out unit 19 along the circumferential direction of the rotary table 11. The measurement cameras 14a, 14b, 14c have the same configuration and function.

【0057】計測カメラ14(14a,14b,14
c)は、図21及び図22に示すように、ユニット本体
61と、撮像手段としてのCCDカメラ62と、光源ラ
ンプ63と、を備えている。ユニット本体61は、ベー
ス板8aに固定されている。ユニット本体61は、ベー
ス板8aから立設した柱状に形成されている。CCDカ
メラ62は、保持治具22に載置されたセラミックパッ
ケージ2を撮像可能である。光源ランプ63は、ハーフ
ミラー64などを介して、保持治具22に載置されたセ
ラミックパッケージ2に光を当てることが可能である。
Measurement camera 14 (14a, 14b, 14
As shown in FIGS. 21 and 22, (c) includes a unit main body 61, a CCD camera 62 as an image pickup means, and a light source lamp 63. The unit body 61 is fixed to the base plate 8a. The unit main body 61 is formed in a columnar shape standing from the base plate 8a. The CCD camera 62 can image the ceramic package 2 placed on the holding jig 22. The light source lamp 63 can apply light to the ceramic package 2 mounted on the holding jig 22 via the half mirror 64 and the like.

【0058】第1計測カメラ14aは、パッケージ載置
ユニット13によって保持治具22上に載置されたセラ
ミックパッケージ2を撮像して、該保持治具22上のセ
ラミックパッケージ2の画像を制御装置60に向かって
出力する。第2計測カメラ14bは、1次塗布ユニット
15によって電極5に接着剤6が塗布されたセラミック
パッケージ2を撮像して、該セラミックパッケージ2の
画像を制御装置60に向かって出力する。第3計測カメ
ラ14cは、水晶載置ユニット17によって水晶片3が
重ねられたセラミックパッケージ2を撮像して、該セラ
ミックパッケージ2の画像を制御装置60に向かって出
力する。
The first measuring camera 14a captures an image of the ceramic package 2 placed on the holding jig 22 by the package placing unit 13 and displays the image of the ceramic package 2 on the holding jig 22 in the controller 60. Output toward. The second measurement camera 14b takes an image of the ceramic package 2 in which the electrode 5 is coated with the adhesive 6 by the primary coating unit 15, and outputs the image of the ceramic package 2 to the control device 60. The third measurement camera 14c captures an image of the ceramic package 2 on which the crystal piece 3 is stacked by the crystal placement unit 17, and outputs the image of the ceramic package 2 to the control device 60.

【0059】1次塗布ユニット15は、図2に示すよう
に、回転テーブル11の外周側でかつ回転テーブル11
の周方向に沿って第1計測カメラ14aの隣りに設けら
れている。1次塗布ユニット15は、図23ないし図2
5に示すように、移動部65と、塗布ヘッド部66と、
調整部67と、を備えている。
As shown in FIG. 2, the primary coating unit 15 is located on the outer peripheral side of the rotary table 11 and on the rotary table 11.
It is provided adjacent to the first measurement camera 14a along the circumferential direction. The primary coating unit 15 is shown in FIGS.
5, the moving unit 65, the coating head unit 66,
The adjusting unit 67 is provided.

【0060】移動部65は、図23ないし図25に示す
ように、X軸駆動部68と、Y軸駆動部69と、を備え
ている。X軸駆動部68は、駆動モータ70と、ボール
ねじ71と、を備えている。駆動モータ70は、ベース
板8aに固定されている。
The moving section 65, as shown in FIGS. 23 to 25, comprises an X-axis drive section 68 and a Y-axis drive section 69. The X-axis drive unit 68 includes a drive motor 70 and a ball screw 71. The drive motor 70 is fixed to the base plate 8a.

【0061】ボールねじ71は、リードスクリュー72
と、ナット73などを備えている。リードスクリュー7
2は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー
72は、長手方向が、回転テーブル11のテーブル本体
21の接線方向に沿っている。リードスクリュー72
は、周知の転がり軸受などによって、ベース板8aに、
軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュ
ー72には、駆動モータ70の出力軸が連結している。
The ball screw 71 is a lead screw 72.
And a nut 73 and the like. Lead screw 7
2 extends along one direction. The longitudinal direction of the lead screw 72 is along the tangential direction of the table body 21 of the rotary table 11. Lead screw 72
To the base plate 8a by a well-known rolling bearing,
It is rotatably supported around the axis. The output shaft of the drive motor 70 is connected to the lead screw 72.

【0062】ナット73は、リードスクリュー72の外
周に螺合している。ナット73は、リードスクリュー7
2がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー7
2の長手方向に沿って移動する。
The nut 73 is screwed onto the outer circumference of the lead screw 72. The nut 73 is the lead screw 7
When 2 rotates around its axis, the lead screw 7
2. Move along the longitudinal direction.

【0063】Y軸駆動部69は、駆動モータ74と、ボ
ールねじ75などを備えている。駆動モータ74は、X
軸駆動部68のナット73に固定されている。ボールね
じ75は、リードスクリュー76と、ナット77などを
備えている。リードスクリュー76は、一方向に沿って
延在している。リードスクリュー76は、長手方向が、
回転テーブル11のテーブル本体21の径方向に沿って
いる。このため、X軸駆動部68のリードスクリュー7
2と、Y軸駆動部69のリードスクリュー76とは、互
いに直交している。
The Y-axis drive unit 69 includes a drive motor 74, a ball screw 75 and the like. The drive motor 74 is X
It is fixed to the nut 73 of the shaft drive unit 68. The ball screw 75 includes a lead screw 76 and a nut 77. The lead screw 76 extends along one direction. The longitudinal direction of the lead screw 76 is
It is along the radial direction of the table body 21 of the rotary table 11. Therefore, the lead screw 7 of the X-axis drive unit 68 is
2 and the lead screw 76 of the Y-axis drive unit 69 are orthogonal to each other.

【0064】リードスクリュー76は、周知の転がり軸
受などによって、ナット73に、軸芯回りに回転自在に
支持されている。リードスクリュー76には、駆動モー
タ74の出力軸が連結している。
The lead screw 76 is supported by the nut 73 by a well-known rolling bearing or the like so as to be rotatable around its axis. The output shaft of the drive motor 74 is connected to the lead screw 76.

【0065】ナット77は、リードスクリュー76の外
周に螺合している。ナット77は、リードスクリュー7
6がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー7
6の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット77は、
リードスクリュー76が回転すると、回転テーブル11
のテーブル本体21に接離する。
The nut 77 is screwed onto the outer circumference of the lead screw 76. The nut 77 is the lead screw 7
When 6 rotates around its axis, the lead screw 7
6 along the longitudinal direction. That is, the nut 77 is
When the lead screw 76 rotates, the rotary table 11
The table main body 21 is contacted and separated.

【0066】塗布ヘッド部66は、図23ないし図25
に示すように、ヘッド部本体78と、リニアガイドシリ
ンダ79と、塗布部80と、を備えている。ヘッド部本
体78は、一端がナット77に固定された板状に形成さ
れている。ヘッド部本体78は、ナット77から立設し
ている。
The coating head portion 66 is shown in FIGS.
As shown in FIG. 3, the head unit main body 78, the linear guide cylinder 79, and the coating unit 80 are provided. The head portion main body 78 is formed in a plate shape having one end fixed to the nut 77. The head portion main body 78 is erected from the nut 77.

【0067】リニアガイドシリンダ79は、シリンダ本
体81と、レール82と、スライダ83と、を備えてい
る。シリンダ本体81は、ヘッド部本体78に固定され
ている。シリンダ本体81内には、加圧された気体が供
給される。レール82は、鉛直方向に沿って延在してい
る。レール82は、シリンダ本体81に固定されてい
る。スライダ83は、レール82の長手方向に沿って移
動自在に、該レール82に支持されている。
The linear guide cylinder 79 has a cylinder body 81, a rail 82, and a slider 83. The cylinder body 81 is fixed to the head body 78. A pressurized gas is supplied into the cylinder body 81. The rail 82 extends along the vertical direction. The rail 82 is fixed to the cylinder body 81. The slider 83 is movably supported by the rail 82 along the longitudinal direction of the rail 82.

【0068】リニアガイドシリンダ79は、シリンダ本
体81内に加圧された気体が供給されると、スライダ8
3がレール82に沿って移動する。即ち、リニアガイド
シリンダ79は、シリンダ本体81内に加圧された気体
が供給されると、スライダ83が昇降する。
When the pressurized gas is supplied into the cylinder body 81, the linear guide cylinder 79 is moved to the slider 8
3 moves along the rail 82. That is, in the linear guide cylinder 79, when the pressurized gas is supplied into the cylinder body 81, the slider 83 moves up and down.

【0069】なお、スライダ83は、上死点と下死点と
に亘って移動する。上死点では、塗布部80の後述する
注射筒84の先端としての針先89aが保持治具22上
に載置されたセラミックパッケージ2から十分に離れ
る。下死点では、前記針先89aがセラミックパッケー
ジ2に近づいて前記針先89aと前記セラミックパッケ
ージ2の電極5との間隔が、接着剤6の塗布に適切な間
隔T2となる。
The slider 83 moves between the top dead center and the bottom dead center. At the top dead center, the needle tip 89a as the tip of the injection cylinder 84 of the application unit 80, which will be described later, is sufficiently separated from the ceramic package 2 placed on the holding jig 22. At the bottom dead center, the needle tip 89a approaches the ceramic package 2 and the distance between the needle tip 89a and the electrode 5 of the ceramic package 2 becomes an appropriate distance T2 for applying the adhesive 6.

【0070】塗布部80は、注射筒支持部85と、塗布
手段としての注射筒84などを備えている。注射筒支持
部85は、スライダ83に固定されている。注射筒支持
部85は、内側に注射筒84を通すことのできる孔86
と、ボルト87とを備えている。ボルト87は、注射筒
支持部85にねじ込まれている。ボルト87は、注射筒
支持部85にねじ込まれると、前記孔86を縮小させ
る。ボルト87は、注射筒支持部85からゆるめられる
と、前記孔86を拡大させる。
The coating section 80 is provided with an injection cylinder supporting portion 85, an injection cylinder 84 as a coating means, and the like. The syringe barrel support 85 is fixed to the slider 83. The syringe barrel support 85 has a hole 86 through which the syringe barrel 84 can pass.
And a bolt 87. The bolt 87 is screwed into the syringe barrel support portion 85. When the bolt 87 is screwed into the syringe barrel support portion 85, the hole 86 shrinks. The bolt 87 expands the hole 86 when loosened from the syringe barrel support portion 85.

【0071】注射筒84は、筒部88と、針89とを備
えている。筒部88は、有底筒状に形成されている。針
89は、その長手方向に沿って貫通した孔を備えてお
り、一端が筒部88の底部に接続している。針89は、
その孔が、前記底部に開口しており、筒部88の内外を
連通している。注射筒84内には、セラミックパッケー
ジ2に水晶片3を取り付けるための導電性を有する接着
剤6が収容される。また、筒部88の前記針89から離
れた基端部には、加圧された気体を供給する加圧気体供
給源と連結した配管90が連結している。
The injection cylinder 84 comprises a cylinder portion 88 and a needle 89. The tubular portion 88 is formed in a bottomed tubular shape. The needle 89 has a hole penetrating along the longitudinal direction thereof, and one end thereof is connected to the bottom portion of the tubular portion 88. Needle 89
The hole opens at the bottom portion and communicates the inside and outside of the tubular portion 88. An electrically conductive adhesive 6 for attaching the crystal piece 3 to the ceramic package 2 is accommodated in the injection cylinder 84. Further, a pipe 90 connected to a pressurized gas supply source for supplying a pressurized gas is connected to a base end portion of the tubular portion 88 which is separated from the needle 89.

【0072】調整部67は、図23に示すように、X軸
駆動部68と、回転テーブル11との間に設けられてい
る。調整部67は、図26及び図27に示すように、ベ
ース8aに固定された本体部としての調整部本体91
と、調整部本体91に昇降自在に支持された台本体とし
ての調整台92と、第1マイクロメータヘッド93と、
第2マイクロメータヘッド94と、を備えている。調整
台92の上面98aは、水平方向に沿って平坦である。
なお、この上面98aは、本明細書に記した平坦面をな
している。
As shown in FIG. 23, the adjusting section 67 is provided between the X-axis drive section 68 and the rotary table 11. As shown in FIGS. 26 and 27, the adjusting portion 67 includes an adjusting portion main body 91 as a main body portion fixed to the base 8a.
An adjusting table 92 as a table body that is supported by the adjusting section body 91 so as to move up and down, a first micrometer head 93,
And a second micrometer head 94. The upper surface 98a of the adjustment table 92 is flat along the horizontal direction.
The upper surface 98a is the flat surface described in this specification.

【0073】第1マイクロメータヘッド93は、筒状の
ケース100と、つまみ101と、スピンドル102
と、を備えている。ケース100は、長手方向が、鉛直
方向に沿っている。ケース100は、調整部本体91に
取り付けられている。
The first micrometer head 93 has a cylindrical case 100, a knob 101, and a spindle 102.
And are equipped with. The case 100 has a longitudinal direction along the vertical direction. The case 100 is attached to the adjustment unit body 91.

【0074】つまみ101は、ケース100の基端部に
回転自在に取り付けられている。スピンドル102は、
柱状に形成されかつケース100内に収容されている。
スピンドル102は、ケース100と同軸的に配されて
いる。
The knob 101 is rotatably attached to the base end of the case 100. The spindle 102 is
It has a columnar shape and is housed in the case 100.
The spindle 102 is arranged coaxially with the case 100.

【0075】スピンドル102は、つまみ101が回転
するのに連動して、ケース100から外方向に突出した
り、ケース100内に収容されたりする。スピンドル1
02は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。即ち、ス
ピンドル102の突没方向は、上面98aに対し直交し
ている。スピンドル102は、その先端部が、調整台9
2に固定されている。
The spindle 102 is interlocked with the rotation of the knob 101 and protrudes outward from the case 100 or is housed in the case 100. Spindle 1
In No. 02, the projecting / withdrawing direction is along the vertical direction. That is, the protruding and retracting direction of the spindle 102 is orthogonal to the upper surface 98a. The tip of the spindle 102 has an adjusting table 9
It is fixed at 2.

【0076】第1マイクロメータヘッド93は、つまみ
101が回転操作されると、スピンドル102がケース
100から突没して、調整台92を昇降させる。なお、
スピンドル102をケース100内に収容して、調整台
92が最も下方に位置すると、調整台92の上面98a
は、図45などに示すように、保持治具22の上面24
aと同一平面上に位置する。
In the first micrometer head 93, when the knob 101 is rotated, the spindle 102 is projected and retracted from the case 100, and the adjustment table 92 is moved up and down. In addition,
When the spindle 102 is housed in the case 100 and the adjustment base 92 is located at the lowest position, the upper surface 98a of the adjustment base 92 is
Is the upper surface 24 of the holding jig 22 as shown in FIG.
It is located on the same plane as a.

【0077】第2マイクロメータヘッド94は、筒状の
ケース103と、つまみ104と、スピンドル105
と、を備えている。ケース103は、長手方向が、鉛直
方向に沿っている。ケース103は、調整台92に取り
付けられている。
The second micrometer head 94 includes a cylindrical case 103, a knob 104, and a spindle 105.
And are equipped with. The case 103 has a longitudinal direction along the vertical direction. The case 103 is attached to the adjustment table 92.

【0078】つまみ104は、ケース103の基端部に
回転自在に取り付けられている。スピンドル105は、
柱状に形成されかつケース103内に収容されている。
スピンドル105は、ケース103と同軸的に配されて
いる。
The knob 104 is rotatably attached to the base end of the case 103. The spindle 105
It has a columnar shape and is housed in the case 103.
The spindle 105 is arranged coaxially with the case 103.

【0079】スピンドル105は、つまみ104が回転
するのに連動して、ケース103から外方向に突出した
り、ケース103内に収容されたりする。スピンドル1
05は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。即ち、ス
ピンドル105の突没方向は、上面98aに対し直交し
ている。スピンドル105は、その先端部が、調整台9
2を貫通した貫通孔98b内に挿入されている。
The spindle 105 interlocks with the rotation of the knob 104, and projects outward from the case 103 or is housed in the case 103. Spindle 1
In 05, the projecting / withdrawing direction is along the vertical direction. That is, the protruding / withdrawing direction of the spindle 105 is orthogonal to the upper surface 98a. The tip of the spindle 105 has an adjusting table 9
2 is inserted into a through hole 98b penetrating the hole 2.

【0080】第2マイクロメータヘッド94は、つまみ
104が回転操作されると、スピンドル105をケース
103から突没させる。ケース103内に収容されて、
スピンドル105が最も下方に位置すると、スピンドル
105の端面としての先端面105aは、図45などに
示すように、調整台92の上面98aと同一平面上に位
置する。なお、先端面105aは、水平方向に沿って平
坦である。
When the knob 104 is rotated, the second micrometer head 94 causes the spindle 105 to project and retract from the case 103. Housed in case 103,
When the spindle 105 is located at the lowest position, the front end surface 105a as the end surface of the spindle 105 is located on the same plane as the upper surface 98a of the adjustment base 92, as shown in FIG. The tip surface 105a is flat along the horizontal direction.

【0081】前述した構成の1次塗布ユニット15は、
保持治具22に載置されたセラミックパッケージ2の電
極5に導電性を有する接着剤6を塗布する前に、前記ス
ライダ83の下死点での先端としての針先89aの高さ
を調整する。このとき、注射筒支持部85に支持された
注射筒84は、針先89aが、第2マイクロメータヘッ
ド94のスピンドル105の先端面105aに相対して
いる。さらに、前記スライダ83は下死点に位置してい
る。
The primary coating unit 15 having the above-mentioned configuration is
Before applying the conductive adhesive 6 to the electrodes 5 of the ceramic package 2 mounted on the holding jig 22, the height of the needle tip 89a as the tip at the bottom dead center of the slider 83 is adjusted. . At this time, the needle tip 89a of the syringe barrel 84 supported by the syringe barrel support portion 85 faces the tip surface 105a of the spindle 105 of the second micrometer head 94. Further, the slider 83 is located at the bottom dead center.

【0082】まず、調整台92と、第2マイクロメータ
ヘッド94のスピンドル105と、を下死点まで下げ
る。すると、図45に示すように、調整台92の上面9
8aと保持治具22の上面24aとが同一平面上に位置
するとともに、スピンドル105の先端面105aと調
整台92の上面98aとが同一平面上に位置する。
First, the adjusting table 92 and the spindle 105 of the second micrometer head 94 are lowered to the bottom dead center. Then, as shown in FIG. 45, the upper surface 9 of the adjustment base 92 is
8a and the upper surface 24a of the holding jig 22 are located on the same plane, and the tip surface 105a of the spindle 105 and the upper surface 98a of the adjustment base 92 are located on the same plane.

【0083】セラミックパッケージ2の底面から電極5
までの高さT1分、第1マイクロメータヘッド93のス
ピンドル102を上昇させる。すると、図46に示すよ
うに、前記電極5と、調整台92の上面98aと、が同
一平面上に位置する。
From the bottom surface of the ceramic package 2 to the electrode 5
Then, the spindle 102 of the first micrometer head 93 is raised by a height T1. Then, as shown in FIG. 46, the electrode 5 and the upper surface 98a of the adjustment base 92 are located on the same plane.

【0084】さらに、例えば0.1mmから0.15m
mなどの接着剤6を塗布する際の適切な針先89aと電
極5との間隔T2分、第2スピンドルメータヘッド94
のスピンドル105を上昇させる。すると、図47に示
すように、スピンドル105の先端面105aは、上面
98aから前記間隔T2分突出する。
Further, for example, 0.1 mm to 0.15 m
An appropriate distance T2 between the needle tip 89a and the electrode 5 when applying the adhesive 6 such as m, the second spindle meter head 94
The spindle 105 of is raised. Then, as shown in FIG. 47, the front end surface 105a of the spindle 105 projects from the upper surface 98a by the distance T2.

【0085】その後、ボルト87をゆるめて、図48に
示すように、針先89aを第2マイクロメータヘッド9
4のスピンドル105の先端面105aに当接させる。
この状態で、再度ボルト87を閉めて、注射筒84をス
ライダ83に固定する。このように、針先89aと電極
5との間隔を、塗布する接着剤6に応じて定められる適
切な間隔T2とする。
Thereafter, the bolt 87 is loosened, and the needle tip 89a is moved to the second micrometer head 9 as shown in FIG.
4 is brought into contact with the tip surface 105a of the spindle 105.
In this state, the bolt 87 is closed again to fix the injection cylinder 84 to the slider 83. In this way, the distance between the needle tip 89a and the electrode 5 is set to an appropriate distance T2 determined according to the adhesive 6 to be applied.

【0086】そして、1次塗布ユニット15は、セラミ
ックパッケージ2の電極5に接着剤6を塗布する際に
は、まず、リニアガイドシリンダ79を駆動してスライ
ダ83を上死点まで上昇させる。その後、X軸駆動部6
8の駆動モータ70と、Y軸駆動部69の駆動モータ7
4を駆動して、針先89aを保持治具22上のセラミッ
クパッケージ2の電極5に相対させる。
When applying the adhesive 6 to the electrodes 5 of the ceramic package 2, the primary coating unit 15 first drives the linear guide cylinder 79 to raise the slider 83 to the top dead center. After that, the X-axis drive unit 6
No. 8 drive motor 70 and Y-axis drive unit 69 drive motor 7
4 is driven to make the needle tip 89a face the electrode 5 of the ceramic package 2 on the holding jig 22.

【0087】そして、リニアガイドシリンダ79を駆動
してスライダ83を下死点まで下降させるとともに、加
圧気体供給源から注射筒84内に加圧された気体を供給
する。なお、この加圧気体の供給量は、電極5に塗布さ
れる接着剤6の量に応じて定められる。すると、スライ
ダ83の下死点での、針先89aと電極5との間隔が適
切な間隔T2となっているので、適切な量の接着剤6が
電極5の適切な位置に塗布される。
Then, the linear guide cylinder 79 is driven to lower the slider 83 to the bottom dead center and the pressurized gas is supplied from the pressurized gas supply source into the injection cylinder 84. The supply amount of the pressurized gas is determined according to the amount of the adhesive 6 applied to the electrode 5. Then, since the distance between the needle tip 89a and the electrode 5 at the bottom dead center of the slider 83 is the appropriate distance T2, an appropriate amount of the adhesive 6 is applied to the appropriate position of the electrode 5.

【0088】また、X軸駆動部68の駆動モータ70
と、Y軸駆動部69の駆動モータ74を駆動するなどし
て、セラミックパッケージ2の他の電極5に、先ほどと
同様に接着剤6を塗布する。
The drive motor 70 of the X-axis drive unit 68
Then, the drive motor 74 of the Y-axis drive unit 69 is driven to apply the adhesive 6 to the other electrode 5 of the ceramic package 2 in the same manner as above.

【0089】さらに、セラミックパッケージ2を保持し
ていない保持治具22が下方に搬送されてきて、例えば
10秒から15秒などの所定時間以上接着剤6を電極5
に塗布しない場合には、1次塗布ユニット15は、上面
98aに接着剤6を塗布する。
Further, the holding jig 22 which does not hold the ceramic package 2 is conveyed downward, and the adhesive 6 is applied to the electrode 5 for a predetermined time such as 10 seconds to 15 seconds.
If not applied, the primary application unit 15 applies the adhesive 6 to the upper surface 98a.

【0090】このように、1次塗布ユニット15は、一
つのセラミックパッケージ2に塗布した後、他のセラミ
ックパッケージ2に塗布する前に、前記所定時間経過す
ると、接着剤6を上面98aに塗布して、捨てる。本明
細書では、接着剤6を上面98aに塗布して捨てること
を、接着剤6を捨て打ちするという。即ち、1次塗布ユ
ニット15は、電極5に接着剤6を塗布せずに前記所定
時間経過すると、接着剤6を放出する。また、前記所定
時間は、接着剤6が硬化するまでの時間とするのが望ま
しい。
As described above, the primary coating unit 15 coats the adhesive 6 on the upper surface 98a after the predetermined time has elapsed after coating the one ceramic package 2 and before coating the other ceramic package 2. And throw it away. In this specification, applying the adhesive 6 to the upper surface 98a and discarding it is referred to as discarding the adhesive 6. That is, the primary coating unit 15 releases the adhesive 6 after the predetermined time has elapsed without applying the adhesive 6 to the electrode 5. Further, it is desirable that the predetermined time is a time until the adhesive 6 is cured.

【0091】水晶搬入ユニット16は、図2に示すよう
に、回転テーブル11の外周側でかつ回転テーブル11
の周方向に沿って前記第2計測カメラ14bの隣りに設
けられている。水晶搬入ユニット16には、回転テーブ
ル11の外周側からトレー106が供給される。トレー
106は、矩形状の平板状に形成されている。トレー1
06は、表面に、多数の水晶片3を、2次元のマトリッ
ク状に並べる。
As shown in FIG. 2, the crystal carry-in unit 16 is provided on the outer peripheral side of the rotary table 11 and on the rotary table 11.
It is provided adjacent to the second measurement camera 14b along the circumferential direction of. The tray 106 is supplied to the crystal loading unit 16 from the outer peripheral side of the rotary table 11. The tray 106 is formed in a rectangular flat plate shape. Tray 1
In 06, a large number of crystal pieces 3 are arranged in a two-dimensional matrix on the surface.

【0092】水晶搬入ユニット16は、図28及び図2
9に示すように、スライドシリンダ110と、一対のガ
イドレール111と、シリンダ112と、一対のチャッ
ク113a,113bと、を備えている。スライドシリ
ンダ110は、長手方向が回転テーブル11のテーブル
本体21の径方向に沿った直線状のロッド114と、ロ
ッド114に対しスライドするシリンダ本体115と、
を備えている。一対のガイドレール111は、ロッド1
14と平行である。シリンダ112は、シリンダ本体1
15に固定されたシリンダ本体116と、このシリンダ
本体116から鉛直方向に沿って伸縮自在な伸縮ロッド
117と、を備えている。一対のチャック113a,1
13bは、伸縮ロッド117が伸縮すると、互いに接離
して、互いの間にトレー106を挟む。
The crystal loading unit 16 is shown in FIG. 28 and FIG.
As shown in FIG. 9, a slide cylinder 110, a pair of guide rails 111, a cylinder 112, and a pair of chucks 113a and 113b are provided. The slide cylinder 110 has a linear rod 114 whose longitudinal direction is along the radial direction of the table body 21 of the rotary table 11, and a cylinder body 115 that slides with respect to the rod 114.
Is equipped with. The pair of guide rails 111 is the rod 1
It is parallel to 14. The cylinder 112 is the cylinder body 1
A cylinder body 116 fixed to the cylinder body 15 and a telescopic rod 117 that can extend and contract along the vertical direction from the cylinder body 116 are provided. A pair of chucks 113a, 1
When the telescopic rod 117 expands and contracts, the 13b come in contact with and separate from each other, and sandwich the tray 106 between them.

【0093】前述した構成の水晶搬入ユニット16は、
シリンダ本体115が、回転テーブル11のテーブル本
体21から離れた位置で、一旦伸縮ロッド117が伸長
した後縮小して、チャック113a,113b間にトレ
ー106を挟む。そして、シリンダ本体115内に加圧
された気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体
115が回転テーブル11のテーブル本体21に向かっ
て移動する。こうして、水晶搬入ユニット16は、トレ
ー106即ち水晶片3を、回転テーブル11の近傍に搬
入する。なお、トレー106は、一対のガイドレール1
11上を搬送される。
The crystal carry-in unit 16 having the above-mentioned structure is
At the position where the cylinder body 115 is separated from the table body 21 of the rotary table 11, the telescopic rod 117 once expands and then contracts to sandwich the tray 106 between the chucks 113a and 113b. Then, the cylinder body 115 is moved toward the table body 21 of the rotary table 11 by supplying pressurized gas or the like into the cylinder body 115. In this way, the crystal carry-in unit 16 carries in the tray 106, that is, the crystal piece 3 in the vicinity of the rotary table 11. The tray 106 is a pair of guide rails 1.
11 is conveyed.

【0094】水晶載置ユニット17は、図2及び図30
などに示すように、水晶搬入ユニット16の近傍に設け
られている。水晶載置ユニット17は、図30及び図3
1に示すように、移動部127と、載置ヘッド部128
と、水晶計測カメラ126(図32に示す)とを備えて
いる。
The crystal mounting unit 17 is shown in FIGS.
As shown in the figure, it is provided in the vicinity of the crystal loading unit 16. The crystal placement unit 17 is shown in FIGS.
As shown in FIG. 1, the moving unit 127 and the mounting head unit 128
And a crystal measurement camera 126 (shown in FIG. 32).

【0095】移動部127は、図30及び図31に示す
ように、Y軸駆動部129と、X軸駆動部130と、を
備えている。Y軸駆動部129は、駆動モータ131
と、ボールねじ132などを備えている。駆動モータ1
31は、ベース板8aに固定されている。
As shown in FIGS. 30 and 31, the moving section 127 is provided with a Y-axis driving section 129 and an X-axis driving section 130. The Y-axis drive unit 129 has a drive motor 131.
And a ball screw 132 and the like. Drive motor 1
31 is fixed to the base plate 8a.

【0096】ボールねじ132は、リードスクリュー1
33と、ナット134などを備えている。リードスクリ
ュー133は、一方向に沿って延在している。リードス
クリュー133は、長手方向が、一対のガイドレール1
11とロッド114と平行である。リードスクリュー1
33は、周知の転がり軸受などによって、ベース板8a
に、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスク
リュー133には、駆動モータ131の出力軸が連結し
ている。
The ball screw 132 is the lead screw 1
33, a nut 134 and the like. The lead screw 133 extends along one direction. The lead screw 133 has a pair of guide rails 1 in the longitudinal direction.
11 and the rod 114 are parallel. Lead screw 1
33 is a base plate 8a formed by a well-known rolling bearing or the like.
In addition, it is rotatably supported around the axis. The output shaft of the drive motor 131 is connected to the lead screw 133.

【0097】ナット134は、リードスクリュー133
の外周に螺合している。ナット134は、リードスクリ
ュー133がその軸芯回りに回転すると、該リードスク
リュー133の長手方向に沿って移動する。即ち、ナッ
ト134は、リードスクリュー133が回転すると、回
転テーブル11のテーブル本体21に接離する。
The nut 134 is the lead screw 133.
Is screwed onto the outer circumference of. The nut 134 moves along the longitudinal direction of the lead screw 133 when the lead screw 133 rotates around its axis. That is, the nut 134 comes into contact with and separates from the table body 21 of the rotary table 11 when the lead screw 133 rotates.

【0098】X軸駆動部130は、駆動モータ135
と、ボールねじ136などを備えている。駆動モータ1
35は、Y軸駆動部129のナット134に固定されて
いる。ボールねじ136は、リードスクリュー137
と、ナット138などを備えている。リードスクリュー
137は、一方向に沿って延在している。リードスクリ
ュー137は、長手方向が、一対のガイドレール111
とロッド114に交差している。なお、図示例では、リ
ードスクリュー137の長手方向と、一対のガイドレー
ル111とロッド114との双方の長手方向は、互いに
直交している。
The X-axis drive section 130 includes a drive motor 135.
And a ball screw 136 and the like. Drive motor 1
35 is fixed to the nut 134 of the Y-axis drive unit 129. The ball screw 136 is the lead screw 137.
And a nut 138 and the like. The lead screw 137 extends along one direction. The lead screw 137 has a pair of guide rails 111 in the longitudinal direction.
And crosses the rod 114. In the illustrated example, the longitudinal direction of the lead screw 137 and the longitudinal directions of both the pair of guide rails 111 and the rod 114 are orthogonal to each other.

【0099】リードスクリュー137は、周知の転がり
軸受などによって、ナット134に、軸芯回りに回転自
在に支持されている。リードスクリュー137には、駆
動モータ135の出力軸が連結している。
The lead screw 137 is supported by a nut 134 by a well-known rolling bearing or the like so as to be rotatable around its axis. The output shaft of the drive motor 135 is connected to the lead screw 137.

【0100】ナット138は、リードスクリュー137
の外周に螺合している。ナット138は、リードスクリ
ュー137がその軸芯回りに回転すると、該リードスク
リュー137の長手方向に沿って移動する。即ち、ナッ
ト138は、リードスクリュー137が回転すると、回
転テーブル11のテーブル本体21に接線に沿って、移
動する。
The nut 138 corresponds to the lead screw 137.
Is screwed onto the outer circumference of. The nut 138 moves along the longitudinal direction of the lead screw 137 when the lead screw 137 rotates about its axis. That is, the nut 138 moves along the tangent to the table body 21 of the rotary table 11 when the lead screw 137 rotates.

【0101】載置ヘッド部128は、図30に示すよう
に、X軸駆動部130のナット138に固定されてい
る。載置ヘッド部128は、図33及び図34に示すよ
うに、ヘッド部本体139と、昇降モータ140と、吸
着部141とを備えている。
As shown in FIG. 30, the mounting head section 128 is fixed to the nut 138 of the X-axis drive section 130. As shown in FIGS. 33 and 34, the mounting head portion 128 includes a head portion main body 139, a lifting motor 140, and a suction portion 141.

【0102】ヘッド部本体139は、ナット138に固
定されている。ヘッド部本体139は、平板状に形成さ
れており、ナット138から立設している。昇降モータ
140は、ヘッド部本体139に固定されており、その
出力軸140aにピニオン142が取付られている。
The head portion main body 139 is fixed to the nut 138. The head portion main body 139 is formed in a flat plate shape and stands upright from the nut 138. The lifting motor 140 is fixed to the head body 139, and the pinion 142 is attached to the output shaft 140a thereof.

【0103】吸着部141は、平板状の吸着部本体14
3と、ラック144と、回転モータ125と、吸着ノズ
ル145と、を備えている。吸着部本体143は、リニ
アガイド146を介して、ヘッド部本体139に取り付
けられている。
The suction part 141 is a flat plate-shaped suction part body 14.
3, a rack 144, a rotary motor 125, and a suction nozzle 145. The suction section main body 143 is attached to the head section main body 139 via the linear guide 146.

【0104】リニアガイド146は、レール147と、
スライダ148とを備えている。レール147は、長手
方向が鉛直方向に沿っている。レール147は、ヘッド
部本体139に取り付けられている。スライダ148
は、レール147の長手方向に沿って移動自在に、レー
ル147に支持されている。スライダ148は、吸着部
本体143に固定されている。
The linear guide 146 includes a rail 147,
And a slider 148. The rail 147 has a longitudinal direction along the vertical direction. The rail 147 is attached to the head body 139. Slider 148
Are movably supported by the rail 147 along the longitudinal direction of the rail 147. The slider 148 is fixed to the suction section body 143.

【0105】ラック144は、長手方向が鉛直方向に沿
っている。ラック144は、吸着部本体143に固定さ
れている。ラック144は、ピニオン142と噛み合っ
ている。このような構成によって、吸着部本体143
は、昇降モータ140の回転駆動力によって、昇降す
る。即ち、吸着部141は、トレー106及び保持治具
22に接離自在となっている。なお、吸着部141は、
図34に示す上死点と図35に示す下死点とに亘って移
動する。
The longitudinal direction of the rack 144 is along the vertical direction. The rack 144 is fixed to the suction body 143. The rack 144 meshes with the pinion 142. With such a configuration, the suction portion main body 143
Moves up and down by the rotational driving force of the lifting motor 140. That is, the suction portion 141 can be brought into and out of contact with the tray 106 and the holding jig 22. In addition, the suction part 141 is
It moves between the top dead center shown in FIG. 34 and the bottom dead center shown in FIG.

【0106】回転モータ125は、出力軸125aが鉛
直方向に沿った状態で、吸着部本体143に固定されて
いる。吸着ノズル145は、出力軸125aに連結して
いるとともに、吸着部本体143に、前記出力軸125
a回りに回転自在に支持されている。吸着ノズル145
は、出力軸125aから下方に向かって延在している。
The rotary motor 125 is fixed to the suction portion main body 143 with the output shaft 125a extending along the vertical direction. The suction nozzle 145 is connected to the output shaft 125a, and the suction unit main body 143 is connected to the output shaft 125a.
It is rotatably supported around a. Suction nozzle 145
Extends downward from the output shaft 125a.

【0107】吸着ノズル145のトレー106寄りの先
端部には、図示しない貫通孔が設けられている。貫通孔
は、一端が吸着ノズル145のトレー106寄りの先端
面145aに開口しており、他端には配管が連結する。
該配管は、例えば、周知の真空ポンプなどの吸引装置な
どと連結している。吸着ノズル145は、前記真空ポン
プが貫通孔などを通して外気を吸い込んで、水晶片3を
前記先端面145aに吸着する。
A through hole (not shown) is provided at the tip of the suction nozzle 145 near the tray 106. One end of the through hole is opened to the tip surface 145a of the suction nozzle 145 near the tray 106, and the other end is connected to a pipe.
The pipe is connected to, for example, a suction device such as a well-known vacuum pump. The suction nozzle 145 sucks the outside air through the through hole or the like by the vacuum pump and sucks the crystal piece 3 on the tip surface 145a.

【0108】水晶計測カメラ126は、回転テーブル1
1と水晶搬入ユニット16との双方の近傍に設けられて
いる。水晶計測カメラ126は、図32に示すように、
撮像手段としてのCCDカメラ152と、光源ランプ1
53と、を備えている。
The crystal measurement camera 126 is the rotary table 1
1 and the crystal carry-in unit 16 are provided in the vicinity thereof. The crystal measurement camera 126, as shown in FIG.
CCD camera 152 as image pickup means, and light source lamp 1
53 is provided.

【0109】CCDカメラ152は、ベース板8aに固
定されている。CCDカメラ152は、ベース板8aに
対し立設している。CCDカメラ152は、レンズの対
物側が上方に相対している。CCDカメラ152は、上
方に吸着ノズル145が位置すると、前記先端面145
aに吸着された水晶片3を撮像可能である。
The CCD camera 152 is fixed to the base plate 8a. The CCD camera 152 is erected on the base plate 8a. In the CCD camera 152, the objective side of the lens faces upward. When the suction nozzle 145 is located above the CCD camera 152, the tip surface 145 is
The crystal piece 3 adsorbed on a can be imaged.

【0110】光源ランプ153は、水晶計測カメラ12
6の上端部に取り付けられている。光源ランプ153
は、ハーフミラー154などを介して、上方に向かって
光りを照射する。光源ランプ153は、上方に吸着ノズ
ル145が位置すると、前記先端面145aに吸着され
た水晶片3に光をあてることが可能である。
The light source lamp 153 is used for the crystal measurement camera 12
It is attached to the upper end of 6. Light source lamp 153
Illuminates light upward through the half mirror 154 and the like. When the suction nozzle 145 is located above the light source lamp 153, the light source lamp 153 can irradiate light onto the crystal blank 3 that is sucked onto the tip surface 145a.

【0111】前述した構成の水晶載置ユニット17は、
Y軸駆動部129の駆動モータ131とX軸駆動部13
0の駆動モータ135を駆動して、吸着部141の先端
面145aを、トレー106上の所望の水晶片3に相対
させる。なお、このとき、スライダ148即ち吸着部1
41は前述した上死点に位置している。
The crystal mounting unit 17 having the above-described structure is
The drive motor 131 of the Y-axis drive unit 129 and the X-axis drive unit 13
The drive motor 135 of 0 is driven to bring the tip surface 145a of the suction portion 141 into contact with the desired crystal piece 3 on the tray 106. At this time, the slider 148, that is, the suction unit 1
41 is located at the above-mentioned top dead center.

【0112】そして、昇降モータ140を駆動して、ス
ライダ148即ち吸着部141を下死点に移動させると
ともに、吸引装置を駆動して貫通孔を通して外気を吸い
込む。すると、図35に示すように、吸着部141が下
降するとともに、先端面145aに水晶片3が吸着す
る。
Then, the lift motor 140 is driven to move the slider 148, that is, the suction portion 141 to the bottom dead center, and the suction device is driven to suck the outside air through the through hole. Then, as shown in FIG. 35, the suction portion 141 descends and the crystal piece 3 is sucked onto the tip surface 145a.

【0113】そして、昇降モータ140を駆動して、ス
ライダ148即ち吸着部141を上死点に移動させると
ともに、Y軸駆動部129の駆動モータ131とX軸駆
動部130の駆動モータ135とを駆動して、先端面1
45aを水晶計測カメラ126の上方に位置させる。水
晶計測カメラ126が撮像した映像に基いて、前記先端
面145aと水晶片3との相対的な位置関係を求める。
Then, the elevating motor 140 is driven to move the slider 148, that is, the suction portion 141 to the top dead center, and the driving motor 131 of the Y-axis driving portion 129 and the driving motor 135 of the X-axis driving portion 130 are driven. And then the tip surface 1
45a is located above the crystal measurement camera 126. Based on the image captured by the crystal measurement camera 126, the relative positional relationship between the tip surface 145a and the crystal piece 3 is obtained.

【0114】その後、Y軸駆動部129の駆動モータ1
31とX軸駆動部130の駆動モータ135と回転モー
タ125を駆動して、保持治具22に載置されたセラミ
ックパッケージ2の所望の位置に、吸着した水晶片3を
相対させる。スライダ148を下死点に移動させるとと
もに、吸引装置を停止する。先端面145aに吸着され
ていた水晶片3が、セラミックパッケージ2上に重ねら
れる。第1計測カメラ14aの映像から得た保持治具2
2とセラミックパッケージ2との相対的な位置と、前記
水晶計測カメラ126の映像から得た先端面145aと
水晶片3との相対的な位置と、に基いて、セラミックパ
ッケージ2に水晶片3を位置決めする。
Then, the drive motor 1 of the Y-axis drive unit 129 is driven.
31 and the drive motor 135 of the X-axis drive unit 130 and the rotation motor 125 are driven to make the sucked crystal piece 3 face a desired position of the ceramic package 2 mounted on the holding jig 22. The slider 148 is moved to the bottom dead center and the suction device is stopped. The crystal piece 3 adsorbed on the tip surface 145a is placed on the ceramic package 2. Holding jig 2 obtained from the image of the first measurement camera 14a
2 and the ceramic package 2 and the relative position of the tip surface 145a and the crystal piece 3 obtained from the image of the crystal measurement camera 126, the crystal piece 3 is placed in the ceramic package 2. Position.

【0115】このように、水晶載置ユニット17は、水
晶搬入ユニット16によって搬入された水晶片3を、ト
レー106から取り出して、接着剤6が塗布されたセラ
ミックパッケージ2に重ねる。
As described above, the crystal placement unit 17 takes out the crystal piece 3 carried in by the crystal carry-in unit 16 from the tray 106 and stacks it on the ceramic package 2 to which the adhesive 6 is applied.

【0116】2次塗布ユニット18は、図2に示すよう
に、回転テーブル11の外周側でかつ回転テーブル11
の周方向に沿って水晶搬入ユニット16の隣りに設けら
れている。2次塗布ユニット18は、図36ないし図3
8に示すように、移動部65と、塗布ヘッド部66と、
調整部67と、を備えている。なお、移動部65と塗布
ヘッド部66と調整部67とは、前述した1次塗布ユニ
ット15と構成がほぼ同一であるので、同一箇所には同
一符号を付して説明する。
As shown in FIG. 2, the secondary coating unit 18 is on the outer peripheral side of the rotary table 11 and on the rotary table 11.
It is provided next to the crystal loading unit 16 along the circumferential direction of. The secondary coating unit 18 is shown in FIGS.
8, the moving unit 65, the coating head unit 66,
The adjusting unit 67 is provided. Since the moving unit 65, the coating head unit 66, and the adjusting unit 67 have substantially the same structure as the above-described primary coating unit 15, the same portions will be denoted by the same reference numerals.

【0117】移動部65は、図36ないし図38に示す
ように、X軸駆動部68と、Y軸駆動部69と、を備え
ている。X軸駆動部68は、駆動モータ70と、ボール
ねじ71と、を備えている。駆動モータ70は、ベース
板8aに固定されている。
The moving section 65, as shown in FIGS. 36 to 38, includes an X-axis driving section 68 and a Y-axis driving section 69. The X-axis drive unit 68 includes a drive motor 70 and a ball screw 71. The drive motor 70 is fixed to the base plate 8a.

【0118】ボールねじ71は、リードスクリュー72
と、ナット73などを備えている。リードスクリュー7
2は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー
72は、長手方向が、回転テーブル11のテーブル本体
21の接線方向に沿っている。リードスクリュー72
は、周知の転がり軸受などによって、ベース板8aに、
軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュ
ー72には、駆動モータ70の出力軸が連結している。
The ball screw 71 is the lead screw 72.
And a nut 73 and the like. Lead screw 7
2 extends along one direction. The longitudinal direction of the lead screw 72 is along the tangential direction of the table body 21 of the rotary table 11. Lead screw 72
To the base plate 8a by a well-known rolling bearing,
It is rotatably supported around the axis. The output shaft of the drive motor 70 is connected to the lead screw 72.

【0119】ナット73は、リードスクリュー72の外
周に螺合している。ナット73は、リードスクリュー7
2がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー7
2の長手方向に沿って移動する。
The nut 73 is screwed onto the outer circumference of the lead screw 72. The nut 73 is the lead screw 7
When 2 rotates around its axis, the lead screw 7
2. Move along the longitudinal direction.

【0120】Y軸駆動部69は、駆動モータ74と、ボ
ールねじ75などを備えている。駆動モータ74は、X
軸駆動部68のナット73に固定されている。ボールね
じ75は、リードスクリュー76と、ナット77などを
備えている。リードスクリュー76は、一方向に沿って
延在している。リードスクリュー76は、長手方向が、
回転テーブル11のテーブル本体21の径方向に沿って
いる。このため、X軸駆動部68のリードスクリュー7
2と、Y軸駆動部69のリードスクリュー76とは、互
いに直交している。
The Y-axis drive section 69 includes a drive motor 74, a ball screw 75 and the like. The drive motor 74 is X
It is fixed to the nut 73 of the shaft drive unit 68. The ball screw 75 includes a lead screw 76 and a nut 77. The lead screw 76 extends along one direction. The longitudinal direction of the lead screw 76 is
It is along the radial direction of the table body 21 of the rotary table 11. Therefore, the lead screw 7 of the X-axis drive unit 68 is
2 and the lead screw 76 of the Y-axis drive unit 69 are orthogonal to each other.

【0121】リードスクリュー76は、周知の転がり軸
受などによって、ナット73に、軸芯回りに回転自在に
支持されている。リードスクリュー76には、駆動モー
タ74の出力軸が連結している。
The lead screw 76 is rotatably supported on the nut 73 by a well-known rolling bearing or the like about the axis. The output shaft of the drive motor 74 is connected to the lead screw 76.

【0122】ナット77は、リードスクリュー76の外
周に螺合している。ナット77は、リードスクリュー7
6がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー7
6の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット77は、
リードスクリュー76が回転すると、回転テーブル11
のテーブル本体21に接離する。
The nut 77 is screwed onto the outer circumference of the lead screw 76. The nut 77 is the lead screw 7
When 6 rotates around its axis, the lead screw 7
6 along the longitudinal direction. That is, the nut 77 is
When the lead screw 76 rotates, the rotary table 11
The table main body 21 is contacted and separated.

【0123】塗布ヘッド部66は、図36ないし図38
に示すように、ヘッド部本体78と、リニアガイドシリ
ンダ79と、塗布部80と、を備えている。ヘッド部本
体78は、一端がナット77に固定された板状に形成さ
れている。ヘッド部本体78は、ナット77から立設し
ている。
The coating head portion 66 is shown in FIGS.
As shown in FIG. 3, the head unit main body 78, the linear guide cylinder 79, and the coating unit 80 are provided. The head portion main body 78 is formed in a plate shape having one end fixed to the nut 77. The head portion main body 78 is erected from the nut 77.

【0124】リニアガイドシリンダ79は、シリンダ本
体81と、レール82と、スライダ83と、を備えてい
る。シリンダ本体81は、ヘッド部本体78に固定され
ている。シリンダ本体81内には、加圧された気体が供
給される。レール82は、鉛直方向に沿って延在してい
る。レール82は、シリンダ本体81に固定されてい
る。スライダ83は、レール82の長手方向に沿って移
動自在に、該レール82に支持されている。
The linear guide cylinder 79 has a cylinder body 81, a rail 82, and a slider 83. The cylinder body 81 is fixed to the head body 78. A pressurized gas is supplied into the cylinder body 81. The rail 82 extends along the vertical direction. The rail 82 is fixed to the cylinder body 81. The slider 83 is movably supported by the rail 82 along the longitudinal direction of the rail 82.

【0125】リニアガイドシリンダ79は、シリンダ本
体81内に加圧された気体が供給されると、スライダ8
3がレール82に沿って移動する。即ち、リニアガイド
シリンダ79は、シリンダ本体81内に加圧された気体
が供給されると、スライダ83が昇降する。
When the pressurized gas is supplied into the cylinder body 81, the linear guide cylinder 79 moves toward the slider 8
3 moves along the rail 82. That is, in the linear guide cylinder 79, when the pressurized gas is supplied into the cylinder body 81, the slider 83 moves up and down.

【0126】なお、スライダ83は、上死点と下死点と
に亘って移動する。上死点では、塗布部80の後述する
注射筒84の針先89aが保持治具22上に載置された
セラミックパッケージ2から十分に離れる。下死点で
は、前記針先89aがセラミックパッケージ2に近づい
て前記針先89aと前記セラミックパッケージ2の電極
5との間隔が、接着剤6の塗布に適切な間隔T2とな
る。
The slider 83 moves between the top dead center and the bottom dead center. At the top dead center, the needle tip 89a of the injection cylinder 84, which will be described later, of the application unit 80 is sufficiently separated from the ceramic package 2 placed on the holding jig 22. At the bottom dead center, the needle tip 89a approaches the ceramic package 2 and the distance between the needle tip 89a and the electrode 5 of the ceramic package 2 becomes an appropriate distance T2 for applying the adhesive 6.

【0127】塗布部80は、注射筒支持部85と、注射
筒84などを備えている。注射筒支持部85は、スライ
ダ83に固定されている。注射筒支持部85は、内側に
注射筒84を通すことのできる孔86と、ボルト87と
を備えている。ボルト87は、注射筒支持部85にねじ
込まれている。ボルト87は、注射筒支持部85にねじ
込まれると、前記孔86を縮小させる。ボルト87は、
注射筒支持部85からゆるめられると、前記孔86を拡
大させる。
The coating section 80 is provided with an injection cylinder supporting portion 85, an injection cylinder 84 and the like. The syringe barrel support 85 is fixed to the slider 83. The syringe barrel support portion 85 is provided with a hole 86 through which the syringe barrel 84 can be inserted and a bolt 87. The bolt 87 is screwed into the syringe barrel support portion 85. When the bolt 87 is screwed into the syringe barrel support portion 85, the hole 86 shrinks. Bolt 87
When loosened from the syringe barrel support 85, the hole 86 is enlarged.

【0128】注射筒84は、筒部88と、針89とを備
えている。筒部88は、有底筒状に形成されている。針
89は、その長手方向に沿って貫通した孔を備えてお
り、一端が筒部88の底部に接続している。針89は、
その孔が、前記底部に開口しており、筒部88の内外を
連通している。注射筒84内には、セラミックパッケー
ジ2に水晶片3を取り付けるための導電性を有する接着
剤6が収容される。また、筒部88の前記針89から離
れた基端部には、加圧された気体を供給する加圧気体供
給源と連結した配管90が連結している。
The injection cylinder 84 has a cylinder portion 88 and a needle 89. The tubular portion 88 is formed in a bottomed tubular shape. The needle 89 has a hole penetrating along the longitudinal direction thereof, and one end thereof is connected to the bottom portion of the tubular portion 88. Needle 89
The hole opens at the bottom portion and communicates the inside and outside of the tubular portion 88. An electrically conductive adhesive 6 for attaching the crystal piece 3 to the ceramic package 2 is accommodated in the injection cylinder 84. Further, a pipe 90 connected to a pressurized gas supply source for supplying a pressurized gas is connected to a base end portion of the tubular portion 88 which is separated from the needle 89.

【0129】調整部67は、図36に示すように、X軸
駆動部68と、回転テーブル11との間に設けられてい
る。調整部67は、図37及び図38に示すように、ベ
ース8aに固定された調整部本体91と、調整部本体9
1に昇降自在に支持された調整台92と、第1マイクロ
メータヘッド93と、第2マイクロメータヘッド94
と、を備えている。
As shown in FIG. 36, the adjusting section 67 is provided between the X-axis drive section 68 and the rotary table 11. As shown in FIGS. 37 and 38, the adjusting section 67 includes an adjusting section main body 91 fixed to the base 8a and an adjusting section main body 9
1, an adjusting table 92 that is vertically movable, a first micrometer head 93, and a second micrometer head 94.
And are equipped with.

【0130】第1マイクロメータヘッド93は、筒状の
ケース100と、つまみ101と、スピンドル102
と、を備えている。ケース100は、長手方向が、鉛直
方向に沿っている。ケース100は、調整部本体91に
取り付けられている。
The first micrometer head 93 includes a cylindrical case 100, a knob 101, and a spindle 102.
And are equipped with. The case 100 has a longitudinal direction along the vertical direction. The case 100 is attached to the adjustment unit body 91.

【0131】つまみ101は、ケース100の基端部に
回転自在に取り付けられている。スピンドル102は、
柱状に形成されかつケース100内に収容されている。
スピンドル102は、ケース100と同軸的に配されて
いる。
The knob 101 is rotatably attached to the base end of the case 100. The spindle 102 is
It has a columnar shape and is housed in the case 100.
The spindle 102 is arranged coaxially with the case 100.

【0132】スピンドル102は、つまみ101が回転
するのに連動して、ケース100から外方向に突出した
り、ケース100内に収容されたりする。スピンドル1
02は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンド
ル102は、その先端部が、調整台92に固定されてい
る。
The spindle 102 projects outward from the case 100 or is housed in the case 100 in conjunction with the rotation of the knob 101. Spindle 1
In No. 02, the projecting / withdrawing direction is along the vertical direction. The tip of the spindle 102 is fixed to the adjusting base 92.

【0133】第1マイクロメータヘッド93は、つまみ
101が回転操作されると、スピンドル102がケース
100から突没して、調整台92を昇降させる。なお、
スピンドル102をケース100内に収容して、調整台
92が最も下方に位置すると、調整台92の上面98a
は、保持治具22の上面24aと同一平面上に位置す
る。
When the knob 101 of the first micrometer head 93 is rotationally operated, the spindle 102 is projected and retracted from the case 100 to raise and lower the adjusting table 92. In addition,
When the spindle 102 is housed in the case 100 and the adjustment base 92 is located at the lowest position, the upper surface 98a of the adjustment base 92 is
Are located on the same plane as the upper surface 24a of the holding jig 22.

【0134】第2マイクロメータヘッド94は、筒状の
ケース103と、つまみ104と、スピンドル105
と、を備えている。ケース103は、長手方向が、鉛直
方向に沿っている。ケース103は、調整台92に取り
付けられている。
The second micrometer head 94 includes a cylindrical case 103, a knob 104, and a spindle 105.
And are equipped with. The case 103 has a longitudinal direction along the vertical direction. The case 103 is attached to the adjustment table 92.

【0135】つまみ104は、ケース103の基端部に
回転自在に取り付けられている。スピンドル105は、
柱状に形成されかつケース103内に収容されている。
スピンドル105は、ケース103と同軸的に配されて
いる。
The knob 104 is rotatably attached to the base end of the case 103. The spindle 105
It has a columnar shape and is housed in the case 103.
The spindle 105 is arranged coaxially with the case 103.

【0136】スピンドル105は、つまみ104が回転
するのに連動して、ケース103から外方向に突出した
り、ケース103内に収容されたりする。スピンドル1
05は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンド
ル105は、その先端部が、調整台92を貫通した貫通
孔98b内に挿入されている。
The spindle 105 interlocks with the rotation of the knob 104 and projects outward from the case 103 or is housed in the case 103. Spindle 1
In 05, the projecting / withdrawing direction is along the vertical direction. The tip of the spindle 105 is inserted into a through hole 98b penetrating the adjusting base 92.

【0137】第2マイクロメータヘッド94は、つまみ
104が回転操作されると、スピンドル105をケース
103から突没させる。なお、ケース103内に収容し
て、スピンドル105が最も下方に位置すると、スピン
ドル105の先端面105aは、調整台92の上面98
aと同一平面上に位置する。
When the knob 104 is rotated, the second micrometer head 94 causes the spindle 105 to project and retract from the case 103. Note that when the spindle 105 is housed in the case 103 and the spindle 105 is located at the lowest position, the tip surface 105 a of the spindle 105 has the upper surface 98 of the adjustment base 92.
It is located on the same plane as a.

【0138】前述した構成の2次塗布ユニット18は、
前記セラミックパッケージ2に接着固定された水晶片3
に、さらに導電性の接着剤6を塗布するユニットであ
る。なお、2次塗布ユニット18が接着剤6を塗布する
位置は、前記電極5の上方に位置する水晶片3の表面で
ある。
The secondary coating unit 18 having the above-mentioned structure is
Crystal piece 3 adhered and fixed to the ceramic package 2
Further, it is a unit for further applying a conductive adhesive 6. The position where the secondary coating unit 18 applies the adhesive 6 is the surface of the crystal piece 3 located above the electrode 5.

【0139】また、2次塗布ユニット18による接着剤
6の塗布は、セラミックパッケージ2に対する水晶片3
の接着強度を向上させるためなどに行われる。このた
め、2次塗布ユニット18による接着剤6の塗布は、組
み立てる水晶振動子の品番に応じて行われる。したがっ
て、2次塗布ユニット18による接着剤6の塗布が行わ
れる水晶振動子もあり、2次塗布ユニット18による接
着剤6の塗布が必要ない水晶振動子もある。
The application of the adhesive 6 by the secondary application unit 18 is performed by the crystal piece 3 on the ceramic package 2.
Is performed to improve the adhesive strength of the. Therefore, the application of the adhesive 6 by the secondary application unit 18 is performed according to the product number of the crystal unit to be assembled. Therefore, there are crystal oscillators in which the adhesive 6 is applied by the secondary coating unit 18, and there are crystal oscillators in which the adhesive 6 is not required to be applied by the secondary coating unit 18.

【0140】2次塗布ユニット18においても、前述し
た1次塗布ユニット15と同様に、セラミックパッケー
ジ2の底面からの電極5の高さT1に応じて、前記調整
部67を用いて、注射筒84の位置が調整される。そし
て、2次塗布ユニット18は、1次塗布ユニット15と
同様に、必要に応じてY軸駆動部69の駆動モータ74
とX軸駆動部68の駆動モータ70とを駆動し、加圧気
体供給源から注射筒84内に加圧された気体を供給し
て、所望箇所に、接着剤6を塗布する。
In the secondary coating unit 18, as in the case of the primary coating unit 15 described above, the adjusting portion 67 is used in accordance with the height T1 of the electrode 5 from the bottom surface of the ceramic package 2, and the injection cylinder 84 is used. The position of is adjusted. Then, similarly to the primary coating unit 15, the secondary coating unit 18 may drive the drive motor 74 of the Y-axis drive unit 69 as necessary.
And the drive motor 70 of the X-axis drive unit 68 are driven to supply the pressurized gas from the pressurized gas supply source into the injection cylinder 84, and the adhesive 6 is applied to a desired portion.

【0141】さらに、2次塗布ユニット18も前記1次
塗布ユニット15と同様に、一つのセラミックパッケー
ジ2に接着剤6を塗布した後、所定時間経過して他のセ
ラミックパッケージ2に接着剤6を塗布しない場合に
は、上面98aに接着剤6を塗布する。即ち、2次塗布
ユニット18も前記1次塗布ユニット15と同様に、電
極5に接着剤6を塗布せずに前記所定時間経過すると、
接着剤6を放出する。
Similarly to the primary coating unit 15, the secondary coating unit 18 coats the adhesive 6 on one ceramic package 2 and then, after a predetermined time, coats the adhesive 6 on the other ceramic packages 2. If not applied, the adhesive 6 is applied to the upper surface 98a. That is, similarly to the primary coating unit 15, the secondary coating unit 18 does not apply the adhesive 6 to the electrode 5 and the predetermined time elapses.
Release the adhesive 6.

【0142】搬出ユニット19は、図2に示すように、
回転テーブル11の外周側でかつ、この回転テーブル1
1の周方向に沿って第3計測カメラ14cと、パッケー
ジ搬入ユニット12と、の間に設けられている。
The carry-out unit 19 is, as shown in FIG.
On the outer peripheral side of the rotary table 11 and this rotary table 1
It is provided between the third measurement camera 14c and the package carry-in unit 12 along the circumferential direction of 1.

【0143】搬出ユニット19は、回転テーブル11の
外周側からトレー169が供給される。トレー169
は、矩形状の平板状に形成されている。トレー169
は、表面に、取り出しユニット20によって保持治具2
2から取り外された水晶片3付きのセラミックパッケー
ジ2が、2次元のマトリック状に並べられる。
The carry-out unit 19 is supplied with the tray 169 from the outer peripheral side of the rotary table 11. Tray 169
Is formed in a rectangular flat plate shape. Tray 169
On the surface of the holding jig 2 by the take-out unit 20.
The ceramic packages 2 with the crystal pieces 3 removed from 2 are arranged in a two-dimensional matrix.

【0144】搬出ユニット19は、図39及び図40に
示すように、スライドシリンダ170と、一対のガイド
レール171と、シリンダ172と、一対のチャック1
73a,173bと、を備えている。スライドシリンダ
170は、長手方向が回転テーブル11から離れる方向
に沿った直線状のロッド174と、ロッド174に対し
スライドするシリンダ本体175と、を備えている。一
対のガイドレール171は、ロッド174と平行であ
る。シリンダ172は、シリンダ本体175に固定され
たシリンダ本体176と、このシリンダ本体176から
鉛直方向に沿って伸縮自在な伸縮ロッド177と、を備
えている。一対のチャック173a,173bは、伸縮
ロッド177が伸縮すると、鉛直方向に沿って互いに接
離して、互いの間にトレー169を挟む。
As shown in FIGS. 39 and 40, the carry-out unit 19 includes a slide cylinder 170, a pair of guide rails 171, a cylinder 172, and a pair of chucks 1.
73a and 173b. The slide cylinder 170 includes a linear rod 174 whose longitudinal direction is along the direction away from the turntable 11, and a cylinder body 175 that slides with respect to the rod 174. The pair of guide rails 171 are parallel to the rod 174. The cylinder 172 includes a cylinder body 176 fixed to the cylinder body 175, and a telescopic rod 177 that can extend and contract from the cylinder body 176 in the vertical direction. When the telescopic rod 177 expands and contracts, the pair of chucks 173a and 173b come in contact with and separate from each other along the vertical direction, and sandwich the tray 169 between them.

【0145】前述した構成の搬出ユニット19は、シリ
ンダ本体175が、回転テーブル11のテーブル本体2
1から離れた位置で、一旦伸縮ロッド177が伸長した
後縮小して、チャック173a,173b間にトレー1
69を挟む。そして、シリンダ本体175内に加圧され
た気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体17
5が回転テーブル11のテーブル本体21に向かって移
動する。こうして、搬出ユニット19は、トレー169
を、回転テーブル11の近傍に搬入する。
In the carry-out unit 19 having the above-described structure, the cylinder body 175 is the table body 2 of the rotary table 11.
At a position apart from 1, the telescopic rod 177 once expands and then contracts, so that the tray 1 is placed between the chucks 173a and 173b.
69 is sandwiched. Then, by supplying pressurized gas or the like into the cylinder body 175,
5 moves toward the table body 21 of the turntable 11. In this way, the carry-out unit 19 has the tray 169.
Are carried in the vicinity of the turntable 11.

【0146】また、取り出しユニット20によって、保
持治具22上の水晶片3付きのセラミックパッケージ2
が取り外されて、トレー169上に載置される。その
後、トレー169上に水晶片3付きのセラミックパッケ
ージ2が所定数以上載置されると、シリンダ本体175
内に加圧された気体などが供給されるなどして、該シリ
ンダ本体175が回転テーブル11のテーブル本体21
から離れる。このように、搬出ユニット19は、水晶片
3付きのセラミックパッケージ2を、水晶振動子組立装
置1の外方向に搬送する。その後、水晶片3付きのセラ
ミックパッケージ2は、水晶振動子の組立工程の後工程
に向かって搬送される。
Further, by the take-out unit 20, the ceramic package 2 with the crystal piece 3 on the holding jig 22 is provided.
Are removed and placed on the tray 169. After that, when a predetermined number or more of the ceramic packages 2 with the crystal pieces 3 are placed on the tray 169, the cylinder body 175
When the pressurized gas or the like is supplied into the cylinder body 175, the cylinder body 175 is moved to the table body 21 of the rotary table 11.
Get away from. In this way, the carry-out unit 19 carries the ceramic package 2 with the crystal piece 3 to the outside of the crystal unit assembly apparatus 1. After that, the ceramic package 2 with the crystal piece 3 is conveyed toward the subsequent process of the crystal oscillator assembling process.

【0147】取り出しユニット20は、図2及び図41
に示すように、搬出ユニット19の近傍に設けられてい
る。取り出しユニット20は、図41及び図42に示す
ように、移動部180と、取り出しヘッド部181と、
を備えている。移動部180は、図41及び図42に示
すように、Y軸駆動部182と、X軸駆動部183と、
を備えている。Y軸駆動部182は、駆動モータ184
と、ボールねじ185などを備えている。駆動モータ1
84は、ベース板8aに固定されている。
The take-out unit 20 is shown in FIGS.
As shown in, it is provided near the carry-out unit 19. As shown in FIGS. 41 and 42, the take-out unit 20 includes a moving section 180, a take-out head section 181, and a take-out head section 181.
Is equipped with. The moving unit 180, as shown in FIGS. 41 and 42, includes a Y-axis driving unit 182, an X-axis driving unit 183, and
Is equipped with. The Y-axis drive unit 182 includes a drive motor 184.
And a ball screw 185 and the like. Drive motor 1
84 is fixed to the base plate 8a.

【0148】ボールねじ185は、リードスクリュー1
86と、ナット187などを備えている。リードスクリ
ュー186は、一方向に沿って延在している。リードス
クリュー186は、長手方向が、一対のガイドレール1
71とロッド174と平行である。リードスクリュー1
86は、周知の転がり軸受などによって、ベース板8a
に回転自在に支持されている。リードスクリュー186
には、駆動モータ184の出力軸が連結している。
The ball screw 185 is the lead screw 1
86, a nut 187 and the like. The lead screw 186 extends along one direction. The lead screw 186 has a pair of guide rails 1 in the longitudinal direction.
71 and the rod 174 are parallel. Lead screw 1
86 is a base plate 8a formed by a well-known rolling bearing or the like.
It is rotatably supported by. Lead screw 186
The output shaft of the drive motor 184 is connected to the.

【0149】ナット187は、リードスクリュー186
の外周に螺合している。ナット187は、リードスクリ
ュー186がその軸芯回りに回転すると、該リードスク
リュー186の長手方向に沿って移動する。即ち、ナッ
ト187は、リードスクリュー186が回転すると、回
転テーブル11のテーブル本体21に接離する。
The nut 187 corresponds to the lead screw 186.
Is screwed onto the outer circumference of. The nut 187 moves along the longitudinal direction of the lead screw 186 when the lead screw 186 rotates about its axis. That is, the nut 187 comes into contact with and separates from the table body 21 of the rotary table 11 when the lead screw 186 rotates.

【0150】X軸駆動部183は、駆動モータ188
と、ボールねじ189などを備えている。駆動モータ1
88は、Y軸駆動部182のナット187に固定されて
いる。ボールねじ189は、リードスクリュー190
と、ナット191などを備えている。リードスクリュー
190は、一方向に沿って延在している。リードスクリ
ュー190は、長手方向が、一対のガイドレール171
とロッド174に交差している。なお、図示例では、リ
ードスクリュー190の長手方向と、一対のガイドレー
ル171とロッド174との双方の長手方向は、互いに
直交している。
The X-axis drive section 183 has a drive motor 188.
And a ball screw 189 and the like. Drive motor 1
88 is fixed to the nut 187 of the Y-axis drive unit 182. The ball screw 189 is the lead screw 190.
And a nut 191 and the like. The lead screw 190 extends along one direction. The lead screw 190 has a pair of guide rails 171 in the longitudinal direction.
And crosses the rod 174. In the illustrated example, the longitudinal direction of the lead screw 190 and the longitudinal directions of both the pair of guide rails 171 and rods 174 are orthogonal to each other.

【0151】リードスクリュー190は、周知の転がり
軸受などによって、ナット187に、軸芯回りに回転自
在に支持されている。リードスクリュー190には、駆
動モータ188の出力軸が連結している。ナット191
は、リードスクリュー190の外周に螺合している。ナ
ット191は、リードスクリュー190がその軸芯回り
に回転すると、該リードスクリュー190の長手方向に
沿って移動する。
The lead screw 190 is supported by a nut 187 by a well-known rolling bearing or the like so as to be rotatable around its axis. The output shaft of the drive motor 188 is connected to the lead screw 190. Nut 191
Is screwed onto the outer circumference of the lead screw 190. The nut 191 moves along the longitudinal direction of the lead screw 190 when the lead screw 190 rotates around its axis.

【0152】取り出しヘッド部181は、図41に示す
ように、X軸駆動部183のナット191に固定されて
いる。取り出しヘッド部181は、図43及び図44に
示すように、ヘッド部本体192と、リニアガイドシリ
ンダ193と、ロータリアクチュエータ194と、チャ
ックシリンダ201と、一対のチャック195と、を備
えている。
The take-out head section 181 is fixed to the nut 191 of the X-axis drive section 183, as shown in FIG. As shown in FIGS. 43 and 44, the take-out head portion 181 includes a head portion main body 192, a linear guide cylinder 193, a rotary actuator 194, a chuck cylinder 201, and a pair of chucks 195.

【0153】ヘッド部本体192は、ナット191に固
定されている。リニアガイドシリンダ193は、ヘッド
部本体192に固定されたシリンダ本体196と、鉛直
方向に沿いかつシリンダ本体196に固定されたレール
197と、レール197に移動自在に支持されたスライ
ダ198と、を備えている。
The head portion main body 192 is fixed to the nut 191. The linear guide cylinder 193 includes a cylinder main body 196 fixed to the head main body 192, a rail 197 fixed to the cylinder main body 196 along the vertical direction, and a slider 198 movably supported by the rail 197. ing.

【0154】リニアガイドシリンダ193は、シリンダ
本体196内に加圧された気体が供給されると、スライ
ダ198がレール197に沿って移動する。即ち、リニ
アガイドシリンダ193は、シリンダ本体196内に加
圧された気体が供給されると、スライダ198が昇降す
る。
In the linear guide cylinder 193, when the pressurized gas is supplied into the cylinder body 196, the slider 198 moves along the rail 197. That is, in the linear guide cylinder 193, when the pressurized gas is supplied into the cylinder body 196, the slider 198 moves up and down.

【0155】なお、スライダ198は、一対のチャック
195が保持治具22及びトレー169から十分に離れ
る上死点と、一対のチャック195が保持治具22に近
づいて該保持治具22に載置されたセラミックパッケー
ジ2を挟むことができる下死点と、に亘って昇降する。
The slider 198 is placed on the holding jig 22 at the top dead center where the pair of chucks 195 are sufficiently separated from the holding jig 22 and the tray 169 and when the pair of chucks 195 approaches the holding jig 22. The ceramic package 2 is moved up and down to a bottom dead center where the ceramic package 2 can be sandwiched.

【0156】ロータリアクチュエータ194は、アクチ
ュエータ本体199と、このアクチュエータ本体199
に回転自在に支持された出力軸200とを備えている。
アクチュエータ本体199は、スライダ198に取り付
けられている。アクチュエータ本体199は、その内側
に加圧された気体などが供給されると、出力軸200を
軸芯回りに回転させる。ロータリアクチュエータ194
は、出力軸200が鉛直方向に沿っている。出力軸20
0には、チャックシリンダ201が連結している。
The rotary actuator 194 includes an actuator body 199 and the actuator body 199.
And an output shaft 200 that is rotatably supported.
The actuator body 199 is attached to the slider 198. The actuator body 199 rotates the output shaft 200 around the axis when pressurized gas or the like is supplied to the inside thereof. Rotary actuator 194
Has the output shaft 200 along the vertical direction. Output shaft 20
A chuck cylinder 201 is connected to 0.

【0157】チャックシリンダ201は、一対のチャッ
ク195を接離させる。一対のチャック195は、水平
方向に沿って並設されている。一対のチャック195
は、チャックシリンダ201の下方で、かつ保持治具2
2及びトレー169に相対することが可能な位置に配さ
れている。一対のチャック195は、互いに近づくと、
水晶片3付きのセラミックパッケージ2を挟む。
The chuck cylinder 201 brings the pair of chucks 195 into and out of contact with each other. The pair of chucks 195 are arranged side by side along the horizontal direction. A pair of chucks 195
Is below the chuck cylinder 201, and is the holding jig 2.
2 and the tray 169. When the pair of chucks 195 come close to each other,
The ceramic package 2 with the crystal piece 3 is sandwiched.

【0158】前述した構成の取り出しユニット20は、
Y軸駆動部182の駆動モータ184と、X軸駆動部1
83の駆動モータ188とを駆動して、一対のチャック
195を、保持治具22に相対させる。このとき、スラ
イダ198は、前述した上死点に位置している。
The take-out unit 20 having the above-mentioned structure is
The drive motor 184 of the Y-axis drive unit 182 and the X-axis drive unit 1
The drive motor 188 of 83 is driven to make the pair of chucks 195 face the holding jig 22. At this time, the slider 198 is located at the above-mentioned top dead center.

【0159】ロータリアクチュエータ194を駆動し
て、一対のチャック195間にセラミックパッケージ2
を挟める位置まで、チャックシリンダ201を回転す
る。リニアガイドシリンダ193を駆動して、スライダ
198を前記下死点に向かって移動する。一対のチャッ
ク195間に、セラミックパッケージ2を位置させる。
チャックシリンダ201を駆動して、一対のチャック1
95間にセラミックパッケージ2を挟む。
The rotary actuator 194 is driven to drive the ceramic package 2 between the pair of chucks 195.
The chuck cylinder 201 is rotated to the position where it can be clamped. The linear guide cylinder 193 is driven to move the slider 198 toward the bottom dead center. The ceramic package 2 is positioned between the pair of chucks 195.
The chuck cylinder 201 is driven to drive the pair of chucks 1.
The ceramic package 2 is sandwiched between 95.

【0160】リニアガイドシリンダ193を駆動してス
ライダ198を前記上死点に移動するとともに、駆動モ
ータ184,188とロータリアクチュエータ194を
駆動して、一対のチャック195をトレー169に相対
させる。チャックシリンダ201などを駆動して、トレ
ー169の所定位置に、水晶片3付きのセラミックパッ
ケージ2を載置する。
The linear guide cylinder 193 is driven to move the slider 198 to the top dead center, and at the same time, the drive motors 184 and 188 and the rotary actuator 194 are driven to make the pair of chucks 195 face the tray 169. By driving the chuck cylinder 201 or the like, the ceramic package 2 with the crystal piece 3 is placed at a predetermined position on the tray 169.

【0161】このように、取り出しユニット20は、水
晶片3付きのセラミックパッケージ2を、吸引装置27
の吸引する力に抗して、保持治具22から取り外す。そ
の後、取り出しユニット20は、トレー169に水晶片
3付きのセラミックパッケージ2を載置する。なお、前
記搬出ユニット19と取り出しユニット20とは、本明
細書に記した搬出手段を構成している。
In this way, the take-out unit 20 uses the suction device 27 to remove the ceramic package 2 with the crystal piece 3.
It is removed from the holding jig 22 against the suction force of. After that, the take-out unit 20 places the ceramic package 2 with the crystal piece 3 on the tray 169. The carry-out unit 19 and the take-out unit 20 compose the carry-out means described in this specification.

【0162】また、搬出ユニット19と、回転テーブル
11との間には、図2及び図41に示すように、NG品
収容部203が設けられている。NG品収容部203に
は、制御装置60が不良品であると判定したセラミック
パッケージ2が、取り出しユニット20によって搬送さ
れてくる。NG品収容部203は、取り出しユニット2
0によって搬送されてきた不良品と判定されたセラミッ
クパッケージ2を収容する。
Further, as shown in FIGS. 2 and 41, an NG product accommodating portion 203 is provided between the carry-out unit 19 and the rotary table 11. The ceramic package 2 determined to be defective by the control device 60 is conveyed to the NG product storage unit 203 by the take-out unit 20. The NG product accommodating portion 203 is the take-out unit 2
The ceramic package 2 which is determined to be a defective product conveyed by 0 is accommodated.

【0163】制御装置60は、周知のRAM、ROM及
びCPUなどを備えている。制御装置60は、回転テー
ブル11と、パッケージ搬入ユニット12と、パッケー
ジ載置ユニット13と、各計測カメラ14a,14b,
14cと、1次塗布ユニット15と、水晶搬入ユニット
16と、水晶載置ユニット17と、2次塗布ユニット1
8と、搬出ユニット19と、取り出しユニット20など
と接続している。
The control device 60 is provided with a well-known RAM, ROM and CPU. The control device 60 includes a rotary table 11, a package loading unit 12, a package mounting unit 13, each of the measurement cameras 14a, 14b, and
14c, the primary coating unit 15, the crystal loading unit 16, the crystal mounting unit 17, and the secondary coating unit 1
8, the carry-out unit 19, the take-out unit 20, and the like.

【0164】制御装置60は、回転テーブル11と、パ
ッケージ搬入ユニット12と、パッケージ載置ユニット
13と、各計測カメラ14a,14b,14cと、1次
塗布ユニット15と、水晶搬入ユニット16と、水晶載
置ユニット17と、2次塗布ユニット18と、搬出ユニ
ット19と、取り出しユニット20を制御して水晶振動
子組立装置1全体の制御をつかさどる。
The control device 60 includes a rotary table 11, a package loading unit 12, a package mounting unit 13, measurement cameras 14a, 14b and 14c, a primary coating unit 15, a crystal loading unit 16, and a crystal. The mounting unit 17, the secondary coating unit 18, the carry-out unit 19, and the take-out unit 20 are controlled to control the entire crystal oscillator assembly apparatus 1.

【0165】制御装置60は、予め、組み立てる水晶振
動子の品番などを記憶している。制御装置60は、品番
に応じて定められる、接着剤6を塗布する電極5の位置
と、2次塗布ユニット18による接着剤6の塗布の有無
などの加工データなどを記録している。
The controller 60 stores in advance the product number of the crystal unit to be assembled. The control device 60 records the position of the electrode 5 to which the adhesive 6 is applied, which is determined according to the product number, and processing data such as whether or not the adhesive 6 is applied by the secondary application unit 18.

【0166】制御装置60には、図示しない入力手段が
接続しており、この入力手段から入力される水晶振動子
の品番と組立個数などに基いて、水晶振動子組立装置1
の動作を制御する。
Input means (not shown) is connected to the control device 60. Based on the product number and the number of assembled crystal resonators input from the input means, the crystal resonator assembling apparatus 1
Control the behavior of.

【0167】入力手段としては、周知のキーボード、各
種のスイッチや操作ボタン及びCD−ROM駆動装置な
どの各種の記録媒体駆動装置などの、各種の情報入力用
の装置などを用いることができる。入力手段は、新たな
品番の加工データを制御装置60に入力するようになっ
ていても良い。
As the input means, various information input devices such as a well-known keyboard, various switches and operation buttons, and various recording medium driving devices such as a CD-ROM driving device can be used. The input means may input the processed data of a new product number to the control device 60.

【0168】また、制御装置60は、第1計測カメラ1
4aが得た画像情報から、パッケージ載置ユニット13
によって保持治具22に載置されたセラミックパッケー
ジ2と、該セラミックパッケージ2を載置した保持治具
22と、の相対的な位置を算出する。
Further, the control device 60 uses the first measurement camera 1
From the image information obtained by 4a, the package mounting unit 13
The relative positions of the ceramic package 2 mounted on the holding jig 22 and the holding jig 22 mounting the ceramic package 2 are calculated by.

【0169】制御装置60は、第2計測カメラ14bが
得た画像情報から、電極5への接着剤6の塗布状況の良
否を判定する。制御装置60は、所定の電極5に接着剤
6が塗布されていれば良品と判定し、所定の電極5に接
着剤6が塗布されていない場合及び誤った電極5に接着
剤6が塗布されている場合には不良品と判定する。ま
た、制御装置60は、電極5から塗布された接着剤6が
許容される範囲を超えて位置ずれしている場合なども、
不良品と判定する。
The control device 60 determines whether the application state of the adhesive 6 on the electrode 5 is good or bad based on the image information obtained by the second measurement camera 14b. The control device 60 determines that the adhesive 6 is good if the predetermined electrode 5 is coated with the adhesive 6, and determines that the predetermined electrode 5 is not coated with the adhesive 6 or the wrong electrode 5 is coated with the adhesive 6. If so, it is determined as a defective product. In addition, the control device 60 may also move the position of the adhesive 6 applied from the electrode 5 beyond the allowable range.
Judge as defective.

【0170】さらに、制御装置60は、水晶計測カメラ
126が得た画像情報から、吸着ノズル145の先端面
145aと、水晶片3と、の相対的な位置を算出する。
制御装置60は、保持治具22とセラミックパッケージ
2との相対的な位置と、先端面145aと水晶片3との
相対的な位置とに基いて、水晶載置ユニット17を制御
して、セラミックパッケージ2の所定の位置に水晶片3
を重ねる。
Further, the control device 60 calculates the relative positions of the tip surface 145a of the suction nozzle 145 and the crystal piece 3 from the image information obtained by the crystal measurement camera 126.
The control device 60 controls the crystal placement unit 17 based on the relative positions of the holding jig 22 and the ceramic package 2 and the relative positions of the tip end surface 145a and the crystal blank 3 to control the ceramic mounting unit 17. The crystal piece 3 is placed at a predetermined position on the package 2.
Pile up.

【0171】制御装置60は、第3計測カメラ14cが
得た画像情報から、セラミックパッケージ2と、該セラ
ミックパッケージ2に取り付けられた水晶片3と、の相
対的な位置を算出する。制御装置60は、セラミックパ
ッケージ2と水晶片3との位置ずれが所定の範囲内であ
れば、水晶片3付きのセラミックパッケージ2を良品で
あると判定する。制御装置60は、前記位置ずれが所定
の範囲を超えると水晶片3付きのセラミックパッケージ
2を不良品であると判定する。
The control device 60 calculates the relative positions of the ceramic package 2 and the crystal blank 3 attached to the ceramic package 2 from the image information obtained by the third measurement camera 14c. If the positional deviation between the ceramic package 2 and the crystal piece 3 is within a predetermined range, the control device 60 determines that the ceramic package 2 with the crystal piece 3 is a good product. When the positional deviation exceeds a predetermined range, the control device 60 determines that the ceramic package 2 with the crystal piece 3 is defective.

【0172】また、制御装置60は、2次塗布ユニット
18によって接着剤6が塗布されるセラミックパッケー
ジ2においては、この2次塗布ユニット18による接着
剤6の塗布状況の良否を判定する。このとき、制御装置
60は、1次塗布ユニット15による接着剤6の塗布状
況と、同様に良否を判定する。
Further, in the ceramic package 2 to which the adhesive 6 is applied by the secondary application unit 18, the controller 60 determines whether the application state of the adhesive 6 by the secondary application unit 18 is good or bad. At this time, the control device 60 determines whether the application of the adhesive 6 by the primary application unit 15 is the same or not, similarly.

【0173】制御装置60は、1次塗布ユニット15に
よる接着剤6の塗布状況と、水晶片3の位置と、2次塗
布ユニット18による接着剤6の塗布状況と、のうち全
てが良好であるセラミックパッケージ2を、取り出しユ
ニット20を制御してトレー169に載置する。一方、
制御装置60は、1次塗布ユニット15による接着剤6
の塗布状況と、水晶片3の位置と、2次塗布ユニット1
8による接着剤6の塗布状況と、のうち少なくとも一つ
が不良であるセラミックパッケージ2を、取り出しユニ
ット20を制御してNG品収容部203まで搬送する。
The control device 60 is good in all of the application state of the adhesive 6 by the primary application unit 15, the position of the crystal piece 3, and the application state of the adhesive 6 by the secondary application unit 18. The ceramic package 2 is placed on the tray 169 by controlling the take-out unit 20. on the other hand,
The controller 60 uses the primary coating unit 15 for the adhesive 6
Coating state, position of crystal piece 3, secondary coating unit 1
The ceramic package 2 in which at least one of the application state of the adhesive 6 by 8 is defective is conveyed to the NG product accommodating section 203 by controlling the take-out unit 20.

【0174】また、制御装置60は、電極5に接着剤6
を塗布しないで前記所定時間経過すると、1次塗布ユニ
ット15と2次塗布ユニット18とに、接着剤6を上面
98aに塗布させる。制御装置60は、電極5に接着剤
6を塗布しないで前記所定時間経過すると、1次塗布ユ
ニット15と2次塗布ユニット18とに、接着剤6を放
出させる。
Further, the control device 60 attaches the adhesive 6 to the electrode 5.
When the predetermined time has elapsed without applying the adhesive, the primary coating unit 15 and the secondary coating unit 18 are coated with the adhesive 6 on the upper surface 98a. The control device 60 causes the primary coating unit 15 and the secondary coating unit 18 to release the adhesive 6 when the predetermined time has passed without coating the electrode 5 with the adhesive 6.

【0175】前述した構成の水晶振動子組立装置1は、
まず、作業員などが前記入力手段などを用いて、組み立
てる水晶振動子の品番と個数などを制御装置60に入力
する。調整部67を用いて、1次塗布ユニット15の注
射筒84の位置を調整するとともに、必要に応じて2次
塗布ユニット18の注射筒84の位置を調整する。
The crystal unit 1 having the above-mentioned structure is
First, an operator or the like uses the input means or the like to input the product number and the number of the crystal unit to be assembled to the control device 60. The position of the injection cylinder 84 of the primary coating unit 15 is adjusted using the adjustment unit 67, and the position of the injection cylinder 84 of the secondary coating unit 18 is adjusted as necessary.

【0176】その後、入力手段などから制御装置60に
作業開始指令を入力する。すると、パッケージ搬入ユニ
ット12が回転テーブル11の近傍にトレー36を搬入
するとともに、水晶搬入ユニット16が回転テーブル1
1の近傍にトレー106を搬入する。パッケージ載置ユ
ニット13が、トレー36上のセラミックパッケージ2
を一つずつ保持治具22の上面24aに載置する。回転
テーブル11が、保持治具22にセラミックパッケージ
2が載置されるのに応じて、矢印Rに沿って断続的に回
転する。
Thereafter, a work start command is input to the control device 60 from the input means or the like. Then, the package carry-in unit 12 carries in the tray 36 near the turntable 11, and the crystal carry-in unit 16 causes the turntable 1 to move.
The tray 106 is carried in the vicinity of 1. The package mounting unit 13 is used for the ceramic package 2 on the tray 36.
Are placed one by one on the upper surface 24a of the holding jig 22. The rotary table 11 intermittently rotates along the arrow R as the ceramic package 2 is placed on the holding jig 22.

【0177】セラミックパッケージ2が載置された保持
治具22が、第1計測カメラ14aの下方を通ると、該
第1計測カメラ14aが保持治具22とセラミックパッ
ケージ2とを撮像する。そして、1次塗布ユニット15
が、保持治具22に載置されたセラミックパッケージ2
の所定の電極5に接着剤6を塗布する。
When the holding jig 22 on which the ceramic package 2 is placed passes below the first measuring camera 14a, the first measuring camera 14a images the holding jig 22 and the ceramic package 2. And the primary coating unit 15
However, the ceramic package 2 placed on the holding jig 22
The adhesive 6 is applied to the predetermined electrode 5 of.

【0178】セラミックパッケージ2が載置された保持
治具22が、第2計測カメラ14bの下方を通ると、該
第2計測カメラ14bが保持治具22とセラミックパッ
ケージ2とを撮像する。
When the holding jig 22 on which the ceramic package 2 is placed passes below the second measuring camera 14b, the second measuring camera 14b takes an image of the holding jig 22 and the ceramic package 2.

【0179】そして、水晶載置ユニット17が、水晶片
3を保持し、水晶計測カメラ126の上方を通る。水晶
計測カメラ126が、吸着ノズル145と水晶片3とを
撮像する。水晶載置ユニット17が、第1計測カメラ1
4aからの画像情報と水晶計測カメラ126からの画像
情報とに基いて、水晶片3をセラミックパッケージ2の
所定の位置に重ねる。
The crystal mounting unit 17 holds the crystal piece 3 and passes above the crystal measurement camera 126. The crystal measurement camera 126 images the suction nozzle 145 and the crystal piece 3. The crystal mounting unit 17 is the first measurement camera 1
Based on the image information from 4a and the image information from the crystal measurement camera 126, the crystal piece 3 is placed on the ceramic package 2 at a predetermined position.

【0180】必要に応じて、水晶片3が載置されたセラ
ミックパッケージ2に、2次塗布ユニット18が接着剤
6を塗布する。セラミックパッケージ2が載置された保
持治具22が、第3計測カメラ14cの下方を通ると、
該第3計測カメラ14cが保持治具22とセラミックパ
ッケージ2とを撮像する。
If necessary, the secondary coating unit 18 applies the adhesive 6 to the ceramic package 2 on which the crystal piece 3 is placed. When the holding jig 22 on which the ceramic package 2 is placed passes below the third measurement camera 14c,
The third measurement camera 14c images the holding jig 22 and the ceramic package 2.

【0181】そして、制御装置60が、第2及び第3計
測カメラ14b,14cからの画像情報に基いて、水晶
片3付きのセラミックパッケージ2の良否を判定する。
この良否に基いて、取り出しユニット20が、保持治具
22から水晶片3付きのセラミックパッケージ2を取り
外して、トレー169またはNG品収容部203に搬送
する。
Then, the control device 60 judges the quality of the ceramic package 2 with the crystal piece 3 based on the image information from the second and third measurement cameras 14b and 14c.
Based on this quality, the take-out unit 20 removes the ceramic package 2 with the crystal piece 3 from the holding jig 22 and conveys it to the tray 169 or the NG product accommodating portion 203.

【0182】本実施形態の水晶振動子組立装置1によれ
ば、1次塗布手段15と2次塗布手段18との双方が、
一つのセラミックパッケージ2に接着剤6を塗布した
後、他のセラミックパッケージ2に塗布するまでに所定
時間経過すると、調整台92の上面98aに接着剤6を
塗布する。即ち、1次塗布手段15と2次塗布手段18
とは、長くても前記所定時間毎に、接着剤6を放出す
る。
According to the crystal resonator assembly apparatus 1 of this embodiment, both the primary coating means 15 and the secondary coating means 18 are
After the adhesive 6 is applied to one ceramic package 2 and a predetermined time elapses before being applied to the other ceramic package 2, the adhesive 6 is applied to the upper surface 98a of the adjustment base 92. That is, the primary coating means 15 and the secondary coating means 18
Means that the adhesive 6 is released at every predetermined time even at the longest.

【0183】長くても前記所定時間毎に接着剤6を放出
するので、注射筒84内の接着剤6が硬化することを防
止できる。このため、接着剤6が硬化して、注射筒84
内即ち針89及び筒部88内が閉塞することを防止でき
る。したがって、セラミックパッケージ2の電極5に所
定の量ずつ接着剤6を確実に塗布でき、水晶振動子の歩
留まりの低下を防止できる。
Since the adhesive 6 is released every predetermined time even at the longest time, it is possible to prevent the adhesive 6 in the syringe barrel 84 from hardening. Therefore, the adhesive 6 hardens, and the injection barrel 84
It is possible to prevent the inside of the needle 89 and the inside of the tubular portion 88 from being closed. Therefore, the adhesive 6 can be reliably applied to the electrodes 5 of the ceramic package 2 by a predetermined amount, and the yield of the crystal resonator can be prevented from lowering.

【0184】また、接着剤6を放出する際に、接着剤6
を塗布する上面98aが、電極5と同一平面上に位置し
ている。このため、接着剤6を放出する際に、電極5に
塗布する際と同様に塗布できる。したがって、接着剤6
が、注射筒84内で硬化することを確実に防止でき、セ
ラミックパッケージ2の電極5に所定の量ずつ接着剤6
を確実に塗布でき、水晶振動子の歩留まりの低下を防止
できる。
When releasing the adhesive 6, the adhesive 6
The upper surface 98a for coating the electrode is located on the same plane as the electrode 5. Therefore, when the adhesive 6 is released, it can be applied in the same manner as when it is applied to the electrode 5. Therefore, the adhesive 6
However, it can be surely prevented from hardening in the syringe barrel 84, and the adhesive 6 is applied to the electrode 5 of the ceramic package 2 by a predetermined amount.
Can be applied reliably, and a decrease in the yield of crystal units can be prevented.

【0185】また、調整台92の下死点で、上面98a
と保持治具22の上面24aとが同一平面上に位置す
る。第2マイクロメータヘッド94の下死点で、スピン
ドル105の先端面105aと上面98aとが同一平面
上に位置する。
Also, at the bottom dead center of the adjusting table 92, the upper surface 98a
And the upper surface 24a of the holding jig 22 are located on the same plane. At the bottom dead center of the second micrometer head 94, the tip surface 105a of the spindle 105 and the upper surface 98a are located on the same plane.

【0186】このため、前記下死点から、第1マイクロ
メータヘッド93を操作して調整台92を電極5の高さ
T1分上昇させ、第2マイクロメータヘッド94を操作
してスピンドル105を適切な間隔T2分上昇させる
と、電極5と上面98aは同一平面なので、前記スピン
ドル105の先端面105aは電極5より適切な間隔T
2分上昇した位置に設定される。そして、スピンドル1
05の先端面105aに、針先89aを接触させて、注
射筒84を位置決めすることにより、針先89aと上面
98aとの間隔を、前記適切な間隔T2とすることがで
きる。
Therefore, from the bottom dead center, the first micrometer head 93 is operated to raise the adjustment base 92 by the height T1 of the electrode 5, and the second micrometer head 94 is operated to properly set the spindle 105. Since the electrode 5 and the upper surface 98a are flush with each other, the tip surface 105a of the spindle 105 is more appropriate than the electrode 5 by the distance T2.
It is set to a position that is raised by 2 minutes. And spindle 1
The tip 89a of 05 is brought into contact with the needle tip 89a to position the injection cylinder 84, whereby the distance between the needle tip 89a and the upper surface 98a can be set to the appropriate distance T2.

【0187】このように、第1マイクロメータヘッド9
3と第2マイクロメータヘッド94を操作して、前記ス
ピンドル105の上面98aからの先端面105aの高
さを適切な間隔T2に容易にできる。さらに、針先89
aを先端面105aに接触させて注射筒84を位置決め
することにより、針先89aと上面98aとの間隔を、
前記適切な間隔T2に、容易にできる。したがって、注
射筒84の位置を容易に調整でき、準備作業にかかる所
要時間を確実に抑制できる。
Thus, the first micrometer head 9
3 and the second micrometer head 94 can be operated so that the height of the tip surface 105a from the upper surface 98a of the spindle 105 can be easily set to an appropriate interval T2. In addition, the needle tip 89
By positioning a by contacting a with the tip surface 105a and positioning the injection cylinder 84, the distance between the needle tip 89a and the upper surface 98a is
The appropriate interval T2 can be easily achieved. Therefore, the position of the injection cylinder 84 can be easily adjusted, and the time required for the preparatory work can be reliably suppressed.

【0188】さらに、スピンドル102,105の突没
方向が、上面98aに対し直交している。このため、ス
ピンドル102を電極5の高さT1分上昇させ、スピン
ドル105を適切な間隔T2分上昇させると、電極5と
上面98aとが同一平面であるので、先端面105aは
電極5より適切な間隔T2分上昇した位置に設定され
る。
Furthermore, the protruding and retracting directions of the spindles 102 and 105 are orthogonal to the upper surface 98a. Therefore, when the spindle 102 is raised by the height T1 of the electrode 5 and the spindle 105 is raised by an appropriate interval T2, the electrode 5 and the upper surface 98a are flush with each other, so that the tip surface 105a is more appropriate than the electrode 5. It is set at a position raised by the interval T2.

【0189】したがって、スピンドル102を電極5の
高さT1分上昇させ、スピンドル105を適切な間隔T
2分上昇させることにより、針先89aと上面98aと
の間隔を、前記適切な間隔T2に、容易にできる。した
がって、注射筒84の位置をより一層容易に調整でき、
準備作業にかかる所要時間をより一層確実に抑制でき
る。
Therefore, the spindle 102 is raised by the height T1 of the electrode 5 and the spindle 105 is moved to an appropriate interval T.
By raising by 2 minutes, the distance between the needle tip 89a and the upper surface 98a can be easily set to the appropriate distance T2. Therefore, the position of the syringe barrel 84 can be adjusted more easily,
The time required for the preparatory work can be suppressed even more reliably.

【0190】[0190]

【発明の効果】以上説明したように請求項1に記載の本
発明は、長くても所定時間毎に、塗布手段が接着剤を放
出する。このため、塗布手段内の接着剤が硬化すること
を防止できる。したがって、パッケージに所定量ずつ接
着剤を確実に塗布でき、水晶振動子の歩留まりの低下を
防止できる。
As described above, according to the present invention as set forth in claim 1, the application means releases the adhesive at every predetermined time at the longest. Therefore, it is possible to prevent the adhesive in the application unit from being cured. Therefore, the adhesive can be reliably applied to the package by a predetermined amount, and the reduction in the yield of the crystal unit can be prevented.

【0191】請求項2に記載の本発明は、長くても所定
時間毎に、塗布手段が接着剤を放出する。このため、塗
布手段内の接着剤が硬化することを防止できる。したが
って、パッケージに所定量ずつ接着剤を確実に塗布で
き、水晶振動子の歩留まりの低下を防止できる。
According to the second aspect of the present invention, the coating means releases the adhesive at every predetermined time at the longest. Therefore, it is possible to prevent the adhesive in the application unit from being cured. Therefore, the adhesive can be reliably applied to the package by a predetermined amount, and the reduction in the yield of the crystal unit can be prevented.

【0192】請求項3に記載の本発明は、平坦面がパッ
ケージの電極と同一平面上に位置しているため、塗布手
段と平坦面との間隔が、塗布手段と電極との間隔に等し
い。このため、塗布手段は、平坦面に塗布する際に、電
極に塗布する際と、同様に接着剤を塗布できる。
According to the third aspect of the present invention, since the flat surface is located on the same plane as the electrodes of the package, the distance between the coating means and the flat surface is equal to the distance between the coating means and the electrode. For this reason, the application means can apply the adhesive when applying to the flat surface in the same manner as when applying to the electrode.

【0193】このため、平坦面に、パッケージに塗布す
る際と同様に塗布できるので、塗布手段内で接着剤が硬
化することを確実に防止できる。したがって、パッケー
ジに所定量ずつ接着剤をより確実に塗布でき、水晶振動
子の歩留まりの低下をより確実に防止できる。
Therefore, since it can be applied to the flat surface in the same manner as when applying to the package, it is possible to reliably prevent the adhesive from being hardened in the applying means. Therefore, the adhesive can be more reliably applied to the package by a predetermined amount, and the reduction in the yield of the crystal unit can be more surely prevented.

【0194】請求項4に記載の本発明は、第1マイクロ
メータヘッドを操作して、容易に、平坦面をパッケージ
の電極と同一平面上に位置させることができる。このた
め、塗布手段は、平坦面に塗布する際に、電極に塗布す
る際と、同様に塗布できる。したがって、パッケージに
所定量ずつ接着剤をより一層確実に塗布でき、水晶振動
子の歩留まりの低下をより一層確実に防止できる。
According to the fourth aspect of the present invention, by operating the first micrometer head, the flat surface can be easily located on the same plane as the electrodes of the package. Therefore, the application means can apply the same when applying to the flat surface as when applying to the electrode. Therefore, the adhesive can be more surely applied to the package by a predetermined amount, and the decrease in the yield of the crystal unit can be more surely prevented.

【0195】請求項5に記載の本発明は、下死点から、
第1マイクロメータヘッドを操作して台本体をパッケー
ジの電極の高さ分上昇させ、第2マイクロメータヘッド
を操作して該マイクロメータヘッドのスピンドルを接着
剤の塗布に適切な間隔分上昇させると、スピンドルの端
面は台本体と同一平面であるので、このスピンドルの端
面は、パッケージの電極より前記接着剤の塗布に適切な
間隔分だけ上昇した位置に設定される。
The present invention according to claim 5 is from the bottom dead center,
When the first micrometer head is operated to raise the base body by the height of the electrodes of the package, and the second micrometer head is operated to raise the spindle of the micrometer head by an appropriate interval for applying the adhesive. Since the end surface of the spindle is flush with the base body, the end surface of the spindle is set at a position higher than the electrodes of the package by a distance suitable for applying the adhesive.

【0196】したがって、該スピンドルの端面に、塗布
手段の先端を接触させて、塗布手段を位置決めすること
により、塗布手段と平坦面との間隔を、確実に適切な間
隔とすることができる。
Therefore, by positioning the coating means by bringing the tip of the coating means into contact with the end surface of the spindle, the spacing between the coating means and the flat surface can be surely set to an appropriate distance.

【0197】このように、第1マイクロメータヘッドと
第2マイクロメータヘッドを操作して、スピンドルの端
面のパッケージの電極からの高さを、接着剤を塗布する
のに適切な間隔に、容易にできる。
In this way, by operating the first micrometer head and the second micrometer head, the height of the end surface of the spindle from the electrode of the package can be easily adjusted to an appropriate interval for applying the adhesive. it can.

【0198】したがって、パッケージに所定量ずつ接着
剤を確実に塗布でき、水晶振動子の歩留まりの低下を防
止できることにくわえ、塗布手段の位置を容易に調整で
き、準備作業にかかる所要時間を確実に抑制できる。
Therefore, in addition to the fact that the adhesive can be surely applied to the package by a predetermined amount and the yield of the crystal resonator can be prevented from lowering, the position of the applying means can be easily adjusted and the time required for the preparatory work can be surely done. Can be suppressed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施形態にかかる水晶振動子組立装
置を示す側面図である。
FIG. 1 is a side view showing a crystal resonator assembling apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示された水晶振動子組立装置の要部を示
す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing a main part of the crystal unit assembly apparatus shown in FIG.

【図3】図1に示された水晶振動子組立装置によって組
み立てられる水晶振動子のセラミックパッケージを示す
平面図である。
3 is a plan view showing a ceramic package of a crystal unit assembled by the crystal unit assembling apparatus shown in FIG.

【図4】図3中のIV―IV線に沿う断面図である。4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG.

【図5】図1に示された水晶振動子組立装置によって取
り付けられた水晶片付きのセラミックパッケージを示す
平面図である。
5 is a plan view showing a ceramic package with a crystal piece attached by the crystal resonator assembling apparatus shown in FIG. 1. FIG.

【図6】図5中のVI―VI線に沿う断面図である。6 is a sectional view taken along line VI-VI in FIG.

【図7】図1に示された水晶振動子組立装置の回転テー
ブルを示す平面図である。
7 is a plan view showing a rotary table of the crystal unit assembly apparatus shown in FIG. 1. FIG.

【図8】図7に示された回転テーブルの側面図である。8 is a side view of the turntable shown in FIG. 7. FIG.

【図9】図7に示された回転テーブルの保持治具を示す
平面図である。
9 is a plan view showing a holding jig for the rotary table shown in FIG. 7. FIG.

【図10】図9中のX―X線に沿う断面図である。10 is a cross-sectional view taken along the line XX in FIG.

【図11】図9中のXI―XI線に沿う断面図である。11 is a cross-sectional view taken along the line XI-XI in FIG.

【図12】図1に示された水晶振動子組立装置のパッケ
ージ搬入ユニットを示す平面図である。
12 is a plan view showing a package carrying-in unit of the crystal unit assembly apparatus shown in FIG. 1. FIG.

【図13】図12中の矢印A方向からみた図である。13 is a diagram viewed from the direction of arrow A in FIG.

【図14】図1に示された水晶振動子組立装置のパッケ
ージ搬入ユニットとパッケージ載置ユニットを示す平面
図である。
FIG. 14 is a plan view showing a package loading unit and a package mounting unit of the crystal unit assembly apparatus shown in FIG.

【図15】図14中の矢印B方向からみた図である。FIG. 15 is a view as seen from the direction of arrow B in FIG.

【図16】図14に示されたパッケージ載置ユニットの
載置ヘッド部を示す側面図である。
16 is a side view showing a mounting head portion of the package mounting unit shown in FIG.

【図17】図16中の矢印C方向からみた図である。FIG. 17 is a view as seen from the direction of arrow C in FIG.

【図18】図17中のD−D線に沿う断面図である。18 is a cross-sectional view taken along the line DD in FIG.

【図19】図16に示された載置ヘッド部の吸着部が下
降した状態を示す側面図である。
FIG. 19 is a side view showing a state where the suction section of the mounting head section shown in FIG. 16 is lowered.

【図20】図19中の矢印C1方向からみた図である。20 is a diagram viewed from the direction of arrow C1 in FIG.

【図21】図1に示された水晶振動子組立装置の計測カ
メラを示す平面図である。
21 is a plan view showing a measurement camera of the crystal unit assembly apparatus shown in FIG. 1. FIG.

【図22】図21中の矢印E方向からみた図である。22 is a view as seen from the direction of arrow E in FIG.

【図23】図1に示された水晶振動子組立装置の1次塗
布ユニットを示す平面図である。
FIG. 23 is a plan view showing a primary coating unit of the crystal unit assembly apparatus shown in FIG. 1.

【図24】図23中の矢印F方向からみた一部を断面で
示す図である。
FIG. 24 is a diagram showing a part of a section viewed from the direction of arrow F in FIG. 23.

【図25】図23中の矢印G方向からみた図である。FIG. 25 is a diagram viewed from the direction of arrow G in FIG. 23.

【図26】図23に示された1次塗布ユニットの調整部
を示す正面図である。
FIG. 26 is a front view showing an adjusting unit of the primary coating unit shown in FIG. 23.

【図27】図26中の矢印H方向からみた図である。27 is a view as seen from the direction of arrow H in FIG. 26.

【図28】図1に示された水晶振動子組立装置の水晶搬
入ユニットを示す平面図である。
28 is a plan view showing a crystal loading unit of the crystal resonator assembling apparatus shown in FIG. 1. FIG.

【図29】図28中の矢印I方向からみた図である。FIG. 29 is a diagram viewed from the direction of arrow I in FIG. 28.

【図30】図1に示された水晶振動子組立装置の水晶搬
入ユニットと水晶載置ユニットを示す平面図である。
30 is a plan view showing a crystal loading unit and a crystal mounting unit of the crystal resonator assembling apparatus shown in FIG. 1. FIG.

【図31】図30中の矢印J方向からみた図である。31 is a view as seen from the direction of arrow J in FIG. 30.

【図32】図30に示された水晶載置ユニットの水晶計
測カメラを示す側面図である。
32 is a side view showing a crystal measurement camera of the crystal mounting unit shown in FIG. 30. FIG.

【図33】図30に示された水晶載置ユニットの載置ヘ
ッド部を示す平面図である。
33 is a plan view showing a mounting head portion of the crystal mounting unit shown in FIG. 30. FIG.

【図34】図33中の矢印K方向からみた図である。34 is a view as seen from the direction of arrow K in FIG. 33.

【図35】図33に示された載置ヘッド部の吸着部が下
降した状態を示す側面図である。
FIG. 35 is a side view showing a state where the suction section of the mounting head section shown in FIG. 33 is lowered.

【図36】図1に示された水晶振動子組立装置の2次塗
布ユニットを示す平面図である。
FIG. 36 is a plan view showing a secondary coating unit of the crystal unit assembly apparatus shown in FIG. 1.

【図37】図36中の矢印L方向からみた一部を断面で
示す図である。
FIG. 37 is a cross-sectional view showing a part as viewed in the direction of arrow L in FIG. 36.

【図38】図36中の矢印M方向からみた図である。38 is a view as seen from the direction of arrow M in FIG. 36.

【図39】図1に示された水晶振動子組立装置の搬出ユ
ニットを示す平面図である。
39 is a plan view showing a carry-out unit of the crystal unit assembly apparatus shown in FIG. 1. FIG.

【図40】図39中の矢印N方向からみた図である。FIG. 40 is a view as seen from the direction of arrow N in FIG. 39.

【図41】図1に示された水晶振動子組立装置の搬出ユ
ニットと取り出しユニットを示す平面図である。
41 is a plan view showing a carry-out unit and a take-out unit of the crystal unit assembly apparatus shown in FIG. 1. FIG.

【図42】図41中の矢印O方向からみた図である。FIG. 42 is a view as seen from the direction of arrow O in FIG. 41.

【図43】図41に示された取り出しユニットの取り出
しヘッド部を示す正面図である。
43 is a front view showing a take-out head portion of the take-out unit shown in FIG. 41. FIG.

【図44】図43中の矢印P方向からみた図である。FIG. 44 is a view as seen from the direction of arrow P in FIG. 43.

【図45】図27に示された調整部の第1及び第2マイ
クロメータヘッドのスピンドルが下死点に位置した状態
を模式的に示す説明図である。
45 is an explanatory diagram schematically showing a state in which the spindles of the first and second micrometer heads of the adjustment unit shown in FIG. 27 are located at the bottom dead center.

【図46】図45に示された状態からセラミックパッケ
ージの電極の高さ分台本体が上昇した状態を模式的に示
す説明図である。
FIG. 46 is an explanatory view schematically showing a state where the base body is elevated by the height of the electrodes of the ceramic package from the state shown in FIG. 45.

【図47】図46に示された状態から第2マイクロメー
タヘッドのスピンドルが接着剤を塗布する際の針先と電
極との適切な間隔分上昇した状態を模式的に示す説明図
である。
FIG. 47 is an explanatory diagram schematically showing a state in which the spindle of the second micrometer head has risen from the state shown in FIG. 46 by an appropriate distance between the needle tip and the electrode when applying the adhesive.

【図48】図47に示された第2マイクロメータヘッド
のスピンドルの先端面に針先を接触させて注射筒を位置
決めする状態を模式的に示す説明図である。
48 is an explanatory diagram schematically showing a state in which the needle tip is brought into contact with the tip end surface of the spindle of the second micrometer head shown in FIG. 47 to position the injection cylinder.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 水晶振動子組立装置 2 セラミックパッケージ(パッケージ) 3 水晶片 6 接着剤 10 フレーム(装置本体) 22 保持治具 24a 上面(載置面) 25 貫通孔 67 調整部(調整手段) 84 注射筒(塗布手段) 89a 針先(先端) 91 調整部本体(本体部) 92 調整台(台本体) 93 第1マイクロメータヘッド 94 第2マイクロメータヘッド 98a 上面(平坦面) 105 スピンドル 105a 先端面(端面) T1 電極の高さ T2 適切な間隔 1 Crystal oscillator assembly device 2 Ceramic package (package) 3 crystal pieces 6 adhesive 10 frames (device body) 22 Holding jig 24a Upper surface (mounting surface) 25 through holes 67 Adjusting unit (adjusting means) 84 syringe (application means) 89a Needle tip (tip) 91 Adjustment unit main body (main body) 92 Adjustment stand (stand body) 93 First Micrometer Head 94 Second Micrometer Head 98a Top surface (flat surface) 105 spindle 105a Tip surface (end surface) Height of T1 electrode T2 proper interval

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 泰 埼玉県鶴ヶ島市富士見6丁目1番1号 株 式会社パイオニアエフ・エー内 (72)発明者 川合 憲人 埼玉県鶴ヶ島市富士見6丁目1番1号 株 式会社パイオニアエフ・エー内 Fターム(参考) 4D075 AC07 AC73 AC82 AC91 AC93 CA12 CA47 DA06 DA11 DB14 DC19 DC21 EA35 5J108 MM04    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Yasushi Tanaka             6-1-1 Fujimi, Tsurugashima City, Saitama Prefecture             In ceremony company Pioneer FA (72) Inventor Kento Kawai             6-1-1 Fujimi, Tsurugashima City, Saitama Prefecture             In ceremony company Pioneer FA F-term (reference) 4D075 AC07 AC73 AC82 AC91 AC93                       CA12 CA47 DA06 DA11 DB14                       DC19 DC21 EA35                 5J108 MM04

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 パッケージに接着剤を塗布する塗布手段
を用いて、前記パッケージに水晶片を取り付ける水晶振
動子組立方法において、 前記塗布手段が一つのパッケージに塗布して他のパッケ
ージに塗布する前に所定時間経過すると、前記接着剤を
放出することを特徴とする水晶振動子組立方法。
1. A method of assembling a crystal unit, wherein a crystal piece is attached to a package by using an applying means for applying an adhesive to a package, wherein the applying means applies one package to another package. The method for assembling a crystal resonator, wherein the adhesive is released after a predetermined time has passed.
【請求項2】 パッケージの電極に接着剤を塗布して、
前記パッケージに水晶片を取り付ける水晶振動子組立装
置において、 前記パッケージを保持可能な保持治具と、 前記保持治具に保持された前記パッケージに前記接着剤
を塗布する塗布手段と、を備え、 前記塗布手段が一つのパッケージに塗布して他のパッケ
ージに塗布する前に所定時間経過すると、前記接着剤を
放出することを特徴とする水晶振動子組立装置。
2. An adhesive is applied to the electrodes of the package,
A crystal resonator assembly device for mounting a crystal piece on the package, comprising: a holding jig capable of holding the package; and an applying unit for applying the adhesive to the package held by the holding jig, A crystal resonator assembling apparatus, wherein the adhesive is released when a predetermined time elapses before the applying means applies one package to another package.
【請求項3】 前記保持治具に保持されたパッケージの
電極と同一平面上に配された平坦面を備え、 前記塗布手段が一つのパッケージに塗布して他のパッケ
ージに塗布する前に所定時間経過して接着剤を放出する
際に、該接着剤を前記平坦面に塗布することを特徴とす
る請求項2記載の水晶振動子組立装置。
3. A flat surface disposed on the same plane as the electrodes of the package held by the holding jig, wherein the applying means applies a predetermined period of time before applying to one package and applying to another package. 3. The crystal resonator assembling apparatus according to claim 2, wherein the adhesive is applied to the flat surface when the adhesive is released after a certain period of time.
【請求項4】 前記保持治具を設置する装置本体と、前
記塗布手段と前記パッケージの電極との間隔を前記接着
剤を塗布する適切な間隔に調整可能な調整手段と、を備
え、 前記調整手段は、 前記装置本体に取付られる本体部と、 前記平坦面を有しかつ前記本体部に昇降自在に設けられ
た台本体と、 前記台本体を前記本体部から昇降させる第1マイクロメ
ータヘッドと、 前記台本体の下死点では前記保持治具の前記パッケージ
を載置する載置面と前記平坦面とが同一平面上に位置す
ることを特徴とする請求項3記載の水晶振動子組立装
置。
4. An apparatus main body in which the holding jig is installed, and an adjusting unit capable of adjusting a gap between the coating unit and an electrode of the package to an appropriate gap for coating the adhesive, Means include a main body unit attached to the apparatus main body, a base body having the flat surface and provided to be movable up and down on the main body unit; 4. The crystal unit assembling apparatus according to claim 3, wherein, at the bottom dead center of the base body, the mounting surface of the holding jig on which the package is mounted and the flat surface are located on the same plane. .
【請求項5】 ケースが前記台本体に取付られかつスピ
ンドルの端面が前記平坦面から突没自在な第2マイクロ
メータヘッドを備え、 前記第2マイクロメータヘッドのスピンドルの下死点で
は該スピンドルの端面と前記平坦面とが同一平面上に位
置することを特徴とする請求項4記載の水晶振動子組立
装置。
5. A second micrometer head having a case attached to the base body and an end surface of the spindle projecting and retracting from the flat surface is provided, and the spindle of the second micrometer head has a bottom dead center of the spindle. 5. The crystal unit assembling apparatus according to claim 4, wherein the end face and the flat face are located on the same plane.
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