JP2003124067A - Solid electrolytic capacitor - Google Patents

Solid electrolytic capacitor

Info

Publication number
JP2003124067A
JP2003124067A JP2001321671A JP2001321671A JP2003124067A JP 2003124067 A JP2003124067 A JP 2003124067A JP 2001321671 A JP2001321671 A JP 2001321671A JP 2001321671 A JP2001321671 A JP 2001321671A JP 2003124067 A JP2003124067 A JP 2003124067A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrolytic capacitor
solid electrolytic
electrode
capacitor according
vertical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2001321671A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsumasa Miki
勝政 三木
Yuji Mido
勇治 御堂
Tatsuo Fujii
達雄 藤井
Ryo Kimura
涼 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2001321671A priority Critical patent/JP2003124067A/en
Publication of JP2003124067A publication Critical patent/JP2003124067A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solid electrolytic capacitor having excellent high-frequency response and mountability. SOLUTION: The solid electrolytic capacitor comprises a valve metal porous unit 7a isolated into a plurality by lateral and longitudinal grooves 9 provided on at least one surface of a conductive substance 7 as one electrode, a dielectric film 5 provided on the front surface of the unit 7a, a solid electrolytic layer 6 provided on the film 5, a connecting terminal 2 provided as the other electrode together with a current collector layer 8 on the layer 6, and a lead-out electrode 1 connected to the substance 7 of the one electrode via the layer 3 in the grooves 9 and exposed to the terminal 2 side of the other electrode.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は各種電子機器に利用
され、半導体部品を直接実装できる固体電解コンデンサ
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid electrolytic capacitor which is used in various electronic devices and on which semiconductor parts can be directly mounted.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来における固体電解コンデンサとして
は、アルミニウムやタンタルなどの多孔質化された弁金
属シート体の厚み方向の片面あるいは中間の芯部を電極
部とし、この弁金属シート体の多孔質部の表面に誘電体
酸化被膜を形成し、その表面に機能性高分子などの固体
電解質層を設け、その固体電解質層の表面に集電体層、
この集電体層上に金属による電極層を設けてコンデンサ
素子を構成し、このコンデンサ素子を積層し各コンデン
サ素子の電極部または電極層をまとめて外部端子に接続
し、この外部端子を表出するように外装を形成して構成
されていた。
2. Description of the Related Art As a conventional solid electrolytic capacitor, one side or an intermediate core portion in the thickness direction of a porous valve metal sheet body made of aluminum or tantalum is used as an electrode portion, and Forming a dielectric oxide film on the surface of the part, providing a solid electrolyte layer such as a functional polymer on the surface, a current collector layer on the surface of the solid electrolyte layer,
An electrode layer made of metal is provided on the current collector layer to form a capacitor element, the capacitor elements are laminated, and the electrode parts or electrode layers of each capacitor element are collectively connected to an external terminal, and the external terminal is exposed. The exterior is formed so as to perform.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の固体電解コ
ンデンサにおいては、大容量化と等価直列抵抗(以下E
SRと称す)を下げることはできるが、一般的な固体電
解コンデンサと同様に、外部端子を介して回路基板上に
実装しなければならない。しかしながら、昨今の回路の
デジタル化に伴って電子部品の高周波応答性が求められ
ているが、上述のような回路基板に半導体部品とともに
表面実装される固体電解コンデンサでは、端子長や配線
長が存在することから高周波応答性に劣るといった問題
を有するものであった。
In the above-mentioned conventional solid electrolytic capacitor, a large capacity and an equivalent series resistance (hereinafter referred to as E
Although it can be lowered, it must be mounted on a circuit board via an external terminal like a general solid electrolytic capacitor. However, with the recent digitalization of circuits, high-frequency response of electronic parts is required, but in solid electrolytic capacitors that are surface-mounted with semiconductor parts on the above-mentioned circuit board, there are terminal lengths and wiring lengths. Therefore, there is a problem that the high frequency response is poor.

【0004】本発明は以上のような従来の欠点を除去
し、半導体部品を直接バンプ接続でき高周波応答性に優
れた固体電解コンデンサを提供することを目的とするも
のである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to eliminate the above-mentioned conventional defects and provide a solid electrolytic capacitor which is capable of directly bump-connecting a semiconductor component and is excellent in high frequency response.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の請求項1に記載の発明は、導電体の少なくと
も片面に縦横の溝によって複数に分離された弁金属多孔
質部を設けて一方の電極とし、この少なくとも弁金属多
孔質部の表面に誘電体被膜、この誘電体被膜上に固体電
解質層、この固体電解質層の上に集電体層とともに他方
の電極となる接続端子を設け、上記縦横の溝内に絶縁層
を介して一方の電極の導電体に接続され他方の電極の接
続端子側に表出する引出電極を設けた固体電解コンデン
サであり、一方の電極である引出電極と、他方の電極で
ある接続端子を同一平面上の所定の位置に配置すること
によって半導体部品を直接実装することができ、高周波
応答性に優れた固体電解コンデンサを実現できる。
In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 of the present invention is to provide a valve metal porous portion separated into a plurality of vertical and horizontal grooves on at least one surface of a conductor. One of the electrodes, a dielectric coating on at least the surface of the valve metal porous portion, a solid electrolyte layer on the dielectric coating, and a connection terminal to be the other electrode together with the collector layer on the solid electrolyte layer. A solid electrolytic capacitor provided with a lead electrode connected to the conductor of one electrode through an insulating layer in the vertical and horizontal grooves and exposed on the connection terminal side of the other electrode. By arranging the electrode and the connection terminal which is the other electrode at a predetermined position on the same plane, the semiconductor component can be directly mounted, and a solid electrolytic capacitor excellent in high frequency response can be realized.

【0006】請求項2に記載の発明は、導電体の少なく
とも片面に縦または横の溝によって複数に分離された弁
金属多孔質部を設けて一方の電極とし、この少なくとも
弁金属多孔質部の表面に誘電体被膜、この誘電体被膜上
に固体電解質層、この固体電解質層の上に集電体層とと
もに他方の電極となる接続端子を設け、上記縦または横
の溝内に絶縁層を介して一方の電極の導電体に接続され
他方の電極の接続端子側に表出する引出電極を設けた固
体電解コンデンサであり、請求項1の作用に加えて生産
性に優れる固体電解コンデンサを実現することができ
る。
According to a second aspect of the present invention, at least one surface of the conductor is provided with a valve metal porous portion separated by a plurality of vertical or horizontal grooves to form one electrode, and at least one of the valve metal porous portions is provided. A dielectric film is provided on the surface, a solid electrolyte layer is formed on the dielectric film, and a connection terminal to be the other electrode together with the current collector layer is provided on the solid electrolyte layer, and an insulating layer is provided in the vertical or horizontal groove. A solid electrolytic capacitor provided with a lead-out electrode connected to the conductor of one electrode and exposed on the connection terminal side of the other electrode, which realizes a solid electrolytic capacitor excellent in productivity in addition to the function of claim 1. be able to.

【0007】請求項3に記載の発明は、一方の電極とし
て少なくとも片面にエッチングによって形成した多孔質
部を有するアルミニウム箔を用いた請求項1または2の
いずれか一つに記載の固体電解コンデンサであり、高周
波応答性に優れた大容量の固体電解コンデンサを容易に
実現することができる。
The invention according to claim 3 is the solid electrolytic capacitor according to claim 1 or 2, wherein an aluminum foil having a porous portion formed on at least one surface by etching is used as one electrode. Therefore, it is possible to easily realize a large-capacity solid electrolytic capacitor excellent in high frequency response.

【0008】請求項4に記載の発明は、一方の電極とし
て導電体に弁金属と銅のクラッド材を用いた請求項また
は2のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサであ
り、請求項1の作用に加えて電極接続性に優れた大容量
の固体電解コンデンサが得られる。
The invention according to claim 4 is the solid electrolytic capacitor according to claim 1 or 2, wherein a clad material of valve metal and copper is used as a conductor for one of the electrodes. In addition to the above action, a large-capacity solid electrolytic capacitor having excellent electrode connectivity can be obtained.

【0009】請求項5に記載の発明は、一方の電極とし
て導電体に金属箔を用い、弁金属多孔質部として弁金属
粉の焼結体を用いた請求項1または2のいずれか一つに
記載の固体電解コンデンサであり、より大容量の固体電
解コンデンサを実現することができる。
The invention according to claim 5 uses a metal foil as a conductor as one of the electrodes and a sintered body of valve metal powder as a porous portion of the valve metal. The solid electrolytic capacitor described in 1) can realize a solid electrolytic capacitor having a larger capacity.

【0010】請求項6に記載の発明は、弁金属多孔質部
に有機系誘電体膜を設けた請求項1または2のいずれか
一つに記載の固体電解コンデンサであり、請求項1の作
用に加えて、無極性であるとともに曲げ応力に対して信
頼性の高い固体電解コンデンサを実現することができ
る。
The invention according to claim 6 is the solid electrolytic capacitor according to any one of claims 1 and 2, wherein the valve metal porous portion is provided with an organic dielectric film. In addition, it is possible to realize a solid electrolytic capacitor which is non-polar and has high reliability against bending stress.

【0011】請求項7に記載の発明は、固体電解質層と
して機能性高分子を用いた請求項1または2のいずれか
一つに記載の固体電解コンデンサであり、より低ESR
特性を有する固体電解コンデンサを実現することができ
る。
The invention according to claim 7 is the solid electrolytic capacitor according to any one of claims 1 and 2, wherein a functional polymer is used as the solid electrolyte layer, which has a lower ESR.
A solid electrolytic capacitor having characteristics can be realized.

【0012】請求項8に記載の発明は、引出電極を縦横
の溝の全域あるいは縦または横の全域にわたって形成し
た請求項1または2のいずれか一つに記載の固体電解コ
ンデンサであり、低ESR特性を有する固体電解コンデ
ンサを実現することができる。
The invention according to claim 8 is the solid electrolytic capacitor according to any one of claims 1 and 2, wherein the extraction electrode is formed over the entire area of the vertical and horizontal grooves or over the entire vertical or horizontal area. A solid electrolytic capacitor having characteristics can be realized.

【0013】請求項9に記載の発明は、引出電極を縦横
の溝の一部あるいは縦または横の一部に形成した請求項
1または2のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサ
であり、請求項8の作用に加えて機械的応力の吸収性に
優れた固体電解コンデンサを実現することができる。
The invention according to claim 9 is the solid electrolytic capacitor according to any one of claims 1 and 2, wherein the extraction electrode is formed in a part of vertical and horizontal grooves or in a vertical or horizontal part. In addition to the effect of the eighth aspect, it is possible to realize a solid electrolytic capacitor excellent in absorption of mechanical stress.

【0014】請求項10に記載の発明は、引出電極を縦
横の溝の交叉部に形成した請求項1に記載の固体電解コ
ンデンサであり、請求項9と同じ作用の固体電解コンデ
ンサを実現することができる。
According to a tenth aspect of the invention, there is provided the solid electrolytic capacitor according to the first aspect in which the extraction electrodes are formed at the intersections of the vertical and horizontal grooves, and a solid electrolytic capacitor having the same function as that of the ninth aspect is realized. You can

【0015】請求項11に記載の発明は、引出電極を縦
横の溝の一部にスルホール電極にて形成した請求項1ま
たは2のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサであ
り、半導体部品との接続性に優れた固体電解コンデンサ
を実現することができる。
The eleventh aspect of the present invention is the solid electrolytic capacitor according to any one of the first and second aspects, in which the extraction electrode is formed of a through-hole electrode in a part of the vertical and horizontal grooves, and is a semiconductor component. It is possible to realize a solid electrolytic capacitor having excellent connectivity.

【0016】請求項12に記載の発明は、溝の幅が表面
部から内部に向かって狭くなるテーパ状に形成する請求
項1または2のいずれか一つに記載の固体電解コンデン
サであり、絶縁膜の形成が容易で絶縁膜の信頼性に優れ
た固体電解コンデンサを実現することができる。
The invention according to claim 12 is the solid electrolytic capacitor according to any one of claims 1 and 2, wherein the width of the groove is formed in a taper shape that narrows from the surface portion toward the inside. It is possible to realize a solid electrolytic capacitor in which the film is easily formed and the reliability of the insulating film is excellent.

【0017】請求項13に記載の発明は、溝の幅が表面
部から内部に向かって広くなるテーパ状に形成する請求
項1または2のいずれか一つに記載の固体電解コンデン
サであり、より大きな容量の固体電解コンデンサを実現
することができる。
The invention according to claim 13 is the solid electrolytic capacitor according to any one of claims 1 and 2, wherein the width of the groove is formed in a taper shape widening from the surface portion toward the inside. It is possible to realize a solid electrolytic capacitor having a large capacity.

【0018】請求項14に記載の発明は、絶縁層として
絶縁樹脂材料を用いた請求項1または2のいずれか一つ
に記載の固体電解コンデンサであり、生産性の高い固体
電解コンデンサを実現することができる。
The fourteenth aspect of the present invention is the solid electrolytic capacitor according to any one of the first and second aspects, which uses an insulating resin material as the insulating layer, and realizes a solid electrolytic capacitor having high productivity. be able to.

【0019】請求項15に記載の発明は、絶縁層として
無機フィラーを含有した絶縁樹脂材料を用いた請求項1
または2のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサで
あり、請求項14の作用に加えて高い耐熱性を有する絶
縁層を形成できるために信頼性の高い固体電解コンデン
サを実現することができる。
According to a fifteenth aspect of the present invention, an insulating resin material containing an inorganic filler is used as the insulating layer.
Alternatively, the solid electrolytic capacitor according to any one of the aspects 1 and 2 can achieve a highly reliable solid electrolytic capacitor because an insulating layer having high heat resistance can be formed in addition to the effect of the fourteenth aspect.

【0020】請求項16に記載の発明は、外周面に外装
を形成した請求項1または2のいずれか一つに記載の固
体電解コンデンサであり、信頼性に優れた固体電解コン
デンサを実現することができる。
According to a sixteenth aspect of the present invention, there is provided a solid electrolytic capacitor according to any one of the first and second aspects, in which an outer surface is formed on an outer peripheral surface, and a solid electrolytic capacitor having excellent reliability is realized. You can

【0021】請求項17に記載の発明は、接続端子と引
出電極上に接続バンプを設けた請求項1または2のいず
れか一つに記載の固体電解コンデンサであり、半導体部
品、一般の電子部品などを直接実装できるようになると
ともに、高周波応答性に優れた固体電解コンデンサを実
現することができる。
The invention according to claim 17 is the solid electrolytic capacitor according to any one of claims 1 and 2, wherein a connection bump is provided on the connection terminal and the extraction electrode, which is a semiconductor component or a general electronic component. And the like can be directly mounted, and a solid electrolytic capacitor excellent in high frequency response can be realized.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下、本発明の固体電解コンデン
サについて実施の形態および図面を用いて説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The solid electrolytic capacitor of the present invention will be described below with reference to embodiments and drawings.

【0023】(実施の形態1)以下、実施の形態1およ
び図1〜図7により請求項1、3、7〜10、12〜1
6に記載の発明を説明する。
(Embodiment 1) Hereinafter, the first embodiment and FIGS. 1 to 7 will be referred to as claims 1, 3, 7, 10 and 12 to 1.
The invention described in 6 will be described.

【0024】図1、図4、図5は本発明の実施の形態に
おける固体電解コンデンサの平面図、図2、図6、図7
はその一部の断面図、図3は同要部の拡大図である。
1, 4, and 5 are plan views of the solid electrolytic capacitor according to the embodiment of the present invention, and FIGS. 2, 6, and 7.
Is a sectional view of a part thereof, and FIG. 3 is an enlarged view of the main part.

【0025】図1〜図7の固体電解コンデンサは、導電
体7であるアルミニウム箔の片面の弁金属多孔質部7a
に縦横に複数の溝9が設けられ、この溝9の側壁には絶
縁層3が形成されており、上記縦横の溝9内に絶縁層3
を介して導電体7であるアルミニウム箔に接続されて引
出電極1が形成されている。この引出電極1は接続端子
2の同一面側に形成している。
In the solid electrolytic capacitors shown in FIGS. 1 to 7, the valve metal porous portion 7a on one side of the aluminum foil which is the conductor 7 is used.
A plurality of grooves 9 are provided in the vertical and horizontal directions, and an insulating layer 3 is formed on the side walls of the grooves 9. The insulating layer 3 is provided in the vertical and horizontal grooves 9.
The extraction electrode 1 is formed by being connected to the aluminum foil which is the conductor 7 via the. The extraction electrode 1 is formed on the same surface side of the connection terminal 2.

【0026】また導電体7の片面側には縦横の溝9によ
って複数に分離された弁金属多孔質部7aの表面に酸化
アルミニウムの層である誘電体被膜5を形成し、この誘
電体被膜5の上にピロールやチオフェン等の固体電解質
層6が設けられ、さらにその上には集電体層8を介して
接続端子2が形成されている。導電体7の片面に形成さ
れる弁金属多孔質部7aはエッチング処理によって形成
することができ、弁金属多孔質部7aの表面に誘電体被
膜5を形成するためには導電体7であるアルミニウム箔
を薬液で酸化させることで得られ、固体電解コンデンサ
としての容量の増加を図ることができる。導電体7とし
てはアルミニウムの他にはタンタル、ニオブなどの弁金
属材料を用いることができる。
On one side of the conductor 7, a dielectric coating 5 which is a layer of aluminum oxide is formed on the surface of the valve metal porous portion 7a divided into a plurality of vertical and horizontal grooves 9, and this dielectric coating 5 is formed. A solid electrolyte layer 6 of pyrrole, thiophene, or the like is provided on the above, and the connection terminal 2 is further formed on the solid electrolyte layer 6 via a current collector layer 8. The valve metal porous portion 7a formed on one surface of the conductor 7 can be formed by an etching process. In order to form the dielectric film 5 on the surface of the valve metal porous portion 7a, the aluminum which is the conductor 7 is used. It is obtained by oxidizing the foil with a chemical solution, and the capacity of the solid electrolytic capacitor can be increased. As the conductor 7, other than aluminum, a valve metal material such as tantalum or niobium can be used.

【0027】そして誘電体被膜5、固体電解質層6、集
電体層8及び接続端子2は溝9によってそれぞれが個別
の容量端子として分断され、かつ引出電極1と、誘電体
被膜5、固体電解質層6、集電体層8及び接続端子2は
絶縁層3によって電気的に絶縁されている。そしてこの
コンデンサ素子10の外周部は外装4で覆われた構成と
なっている。
The dielectric film 5, the solid electrolyte layer 6, the current collector layer 8 and the connection terminal 2 are each divided by the groove 9 into individual capacitance terminals, and the extraction electrode 1, the dielectric film 5, and the solid electrolyte are separated. The layer 6, the current collector layer 8 and the connection terminal 2 are electrically insulated by the insulating layer 3. The outer peripheral portion of the capacitor element 10 is covered with the exterior 4.

【0028】また図4に示す別の固体電解コンデンサの
構成はほぼ図1のコンデンサ素子10と基本的な部分は
同様であるが、引出電極1が縦横の溝の一部に不連続に
形成された構成となっており、引出電極1を不連続にす
ることによって引出電極1を構成する電極材料と絶縁層
3を構成する絶縁樹脂などとの熱膨張係数が異なるため
に起こる応力を緩和することができる。その結果、電気
的接続の信頼性劣化を少なくする引出電極構造が得られ
る。
The structure of another solid electrolytic capacitor shown in FIG. 4 is basically the same as that of the capacitor element 10 of FIG. 1, but the extraction electrode 1 is formed discontinuously in a part of vertical and horizontal grooves. By discontinuing the extraction electrode 1, the stress caused by the difference in thermal expansion coefficient between the electrode material forming the extraction electrode 1 and the insulating resin forming the insulating layer 3 can be relaxed. You can As a result, it is possible to obtain the extraction electrode structure that reduces the deterioration of the reliability of the electrical connection.

【0029】また図5に示す別の固体電解コンデンサの
構成は引出電極1が縦横の溝の交差部に形成された構成
となっており、引出電極1を必要最小限に設計すること
によって、高周波応答性に優れた性能を維持しながら効
率的な引出電極1を配置することによって、より小型化
が実現できるとともに生産性を高めることが可能とな
る。
Another solid electrolytic capacitor shown in FIG. 5 has a structure in which the extraction electrode 1 is formed at the intersection of the vertical and horizontal grooves, and the extraction electrode 1 is designed to have a minimum necessary frequency. By arranging the extraction electrode 1 efficiently while maintaining the performance excellent in responsiveness, it is possible to realize further downsizing and increase productivity.

【0030】次に本発明の固体電解コンデンサ素子10
の溝9の形状を図6に示すように、溝9の幅が表面部か
ら内部に向かって狭くなるテーパー状に構成することに
よって絶縁層3の形成を絶縁樹脂材料を充填して形成す
る場合において、樹脂の充填性と充填速度が高まり、生
産性と信頼性に優れた固体電解コンデンサを実現するこ
とができる。さらにこのコンデンサ素子10の溝9の形
状を図7に示すように、溝9の幅が表面部から内部に向
かって広くなるテーパー状に構成することによって引出
電極1が導電体7に強固に保持されることになり、電気
的接続の信頼性を高めた個体電解コンデンサを実現する
ことができる。
Next, the solid electrolytic capacitor element 10 of the present invention
In the case where the insulating layer 3 is formed by filling the insulating resin material by forming the groove 9 into a tapered shape in which the width of the groove 9 becomes narrower from the surface portion toward the inside as shown in FIG. In the above, the filling property and filling speed of the resin are increased, and a solid electrolytic capacitor excellent in productivity and reliability can be realized. Further, as shown in FIG. 7, the shape of the groove 9 of the capacitor element 10 is configured so that the width of the groove 9 becomes wider from the surface portion toward the inside, whereby the extraction electrode 1 is firmly held by the conductor 7. As a result, a solid electrolytic capacitor with improved reliability of electrical connection can be realized.

【0031】(実施の形態2)本発明の実施の形態2お
よび図8〜図11により請求項2、4、17に記載の発
明を説明する。
(Embodiment 2) The invention described in claims 2, 4, and 17 will be described with reference to Embodiment 2 of the present invention and FIGS.

【0032】図8は本発明の実施の形態2における固体
電解コンデンサの平面図、図9、図11はその一部の断
面図、図10は斜視図である。
FIG. 8 is a plan view of a solid electrolytic capacitor according to a second embodiment of the present invention, FIGS. 9 and 11 are partial sectional views thereof, and FIG. 10 is a perspective view thereof.

【0033】図8〜図11の固体電解コンデンサは、導
電体7としてアルミニウム、タンタル、ニオブなどの弁
金属材料と銅のクラッド材を用いることができ、一例と
して銅箔12とエッチングによって多孔質化されたアル
ミニウム箔11のクラッド材を用いて説明する。銅箔1
2とアルミニウム箔11のクラッド材を図9に示すよう
にアルミニウム箔11を切断するように縦または横に複
数の溝9が設けられ、この溝の側壁には絶縁層3が形成
されており、上記縦または横に設けられた複数の溝9内
に絶縁層3を介して銅箔8に接続されて引出電極1が形
成されている。この引出電極1は接続端子2の同一面側
に形成している。
In the solid electrolytic capacitors of FIGS. 8 to 11, a valve metal material such as aluminum, tantalum, niobium and a clad material of copper can be used as the conductor 7, and as an example, the copper foil 12 and porous by etching. A description will be given using the clad material of the aluminum foil 11 thus prepared. Copper foil 1
As shown in FIG. 9, the clad material of 2 and the aluminum foil 11 is provided with a plurality of vertical or horizontal grooves 9 so as to cut the aluminum foil 11, and the insulating layer 3 is formed on the side wall of the groove. The extraction electrode 1 is formed in the plurality of grooves 9 provided vertically or horizontally and connected to the copper foil 8 via the insulating layer 3. The extraction electrode 1 is formed on the same surface side of the connection terminal 2.

【0034】またアルミニウム箔11の片面側の表面に
酸化アルミニウムの層である誘電体被膜5、誘電体被膜
5の上に固体電解質層6、その上には集電体層8を介し
て接続端子2が形成されている。誘電体被膜5、固体電
解質層6、集電体層8及び接続端子2は溝9によってそ
れぞれが個別の容量素子として分断され、かつ引出電極
1と、誘電体被膜5、固体電解質6、集電体層8及び接
続端子2は絶縁層3によって電気的に絶縁されている。
On one surface of the aluminum foil 11, a dielectric coating 5 which is a layer of aluminum oxide, a solid electrolyte layer 6 on the dielectric coating 5, and a collector layer 8 on the connection terminal are provided. 2 is formed. The dielectric film 5, the solid electrolyte layer 6, the current collector layer 8 and the connection terminal 2 are each divided into individual capacitive elements by the groove 9, and the extraction electrode 1, the dielectric film 5, the solid electrolyte 6, and the current collector are separated. The body layer 8 and the connection terminal 2 are electrically insulated by the insulating layer 3.

【0035】さらに本発明の実施の形態2によって固体
電解コンデンサを構成することによって、アルミニウム
箔11すべてを弁金属多孔質部7aとして用いることに
より大容量化、薄層化を容易に実現することができる。
そしてコンデンサ素子10の外周部は外装4で覆われた
構成となっている。ここでは引出電極1は図8のように
不連続の引出電極1を形成しているが、実施の形態1の
ような連続した引出電極1を構成することもできる。
Further, by constructing the solid electrolytic capacitor according to the second embodiment of the present invention, it is possible to easily realize a large capacity and a thin layer by using the entire aluminum foil 11 as the valve metal porous portion 7a. it can.
The outer peripheral portion of the capacitor element 10 is covered with the exterior 4. Here, the extraction electrode 1 forms the discontinuous extraction electrode 1 as shown in FIG. 8, but it is also possible to form the continuous extraction electrode 1 as in the first embodiment.

【0036】以上説明してきたような固体電解コンデン
サを構成することにより実施の形態1で説明した構造に
比較して溝9の占有面積が少なくなるため、結果として
大容量で低ESR、低ESL性能を有する固体電解コン
デンサを実現することができる。また弁金属と銅のクラ
ッド材を用いることにより引出電極1を銅箔12上にめ
っき技術などを用いて、直接めっき電極を形成して接続
させることが可能となり、アルミニウムよりも界面抵抗
の小さい導電性部材を用いることができるため、非常に
導電性に優れた電極構造を形成することができるととも
に、めっき技術を用いることで引出電極1を一括形成す
ることが可能となり、飛躍的に生産性を高めることがで
きる。さらに脆弱なアルミニウム箔11の強度を補強で
き、かつ固体電解コンデンサを回路基板に実装する際に
は銅箔12を実装面とできるので、基板上への実装も容
易となる。
By configuring the solid electrolytic capacitor as described above, the area occupied by the groove 9 is reduced as compared with the structure described in the first embodiment, and as a result, a large capacity, low ESR and low ESL performance are obtained. It is possible to realize a solid electrolytic capacitor having. Further, by using the valve metal and the clad material of copper, the extraction electrode 1 can be directly formed on the copper foil 12 by using a plating technique or the like to form a connection, and the extraction electrode 1 can be electrically connected with a smaller interface resistance than aluminum. Since it is possible to use a conductive member, it is possible to form an electrode structure having excellent conductivity, and it is possible to collectively form the extraction electrode 1 by using a plating technique, which dramatically improves productivity. Can be increased. Furthermore, the strength of the fragile aluminum foil 11 can be reinforced, and when the solid electrolytic capacitor is mounted on the circuit board, the copper foil 12 can be used as the mounting surface, so that mounting on the board becomes easy.

【0037】以上のように構成されたコンデンサ素子1
0と半導体部品のリード端子をはんだ付け技術を用いて
接続することもできるが、より高密度実装を実現するた
めにはバンプ接続による実装形態が広く実用されるよう
になってきている。
The capacitor element 1 configured as described above
0 and the lead terminal of the semiconductor component can be connected by using a soldering technique, but a mounting form by bump connection has been widely put into practical use in order to realize higher density mounting.

【0038】次にこの実装形態を可能とするための構造
について説明する。図10、図11はコンデンサ素子1
0の引出電極1と接続端子2に接続されてそれぞれの電
極が電気的に絶縁され、長期信頼性を高めるためのパタ
ーン設計された保護膜13を介して接続バンプ14が形
成されている。
Next, a structure for enabling this mounting mode will be described. 10 and 11 show the capacitor element 1.
0 is connected to the lead-out electrode 1 and the connection terminal 2 to electrically insulate the respective electrodes, and the connection bumps 14 are formed via a protective film 13 having a pattern design for enhancing long-term reliability.

【0039】この接続バンプ14を端子ピッチ、バンプ
径を最適に設計して形成することによって、半導体部品
と直接バンプ接続することができるようになり、リード
端子の半導体実装よりも端子ピッチを微細に設計するこ
とができるとともに、電極長を最短にして接続できるこ
とから高周波応答性に優れた低ESR、低ESL特性を
実現することができる。この接続バンプ14は低融点金
属のはんだ合金、金、金−スズ合金などの材料が最適で
ある。また、この接続バンプ14を構成することは他の
実施の形態においても可能である。以上説明してきた構
成は半導体部品以外の部品についても可能であることは
いうまでもない。
By forming the connection bumps 14 by optimally designing the terminal pitch and the bump diameter, it becomes possible to directly connect the bumps to the semiconductor component, and the terminal pitch is finer than that of the semiconductor mounting of the lead terminals. Since the electrodes can be designed and the connection can be made with the shortest electrode length, low ESR and low ESL characteristics excellent in high frequency response can be realized. The connecting bumps 14 are optimally made of a low melting point metal solder alloy, gold, gold-tin alloy, or the like. Further, the connection bumps 14 can be configured in other embodiments. It goes without saying that the configuration described above can be applied to parts other than semiconductor parts.

【0040】(実施の形態3)本発明の実施の形態3お
よび図1、図2、図12により請求項5に記載の発明を
説明する。図12は本発明の実施の形態3における要部
の拡大図である。
(Embodiment 3) The invention according to claim 5 will be described with reference to Embodiment 3 of the present invention and FIGS. 1, 2, and 12. FIG. 12 is an enlarged view of a main part in the third embodiment of the present invention.

【0041】本発明の固体電解コンデンサは、図1、図
2にて説明した実施の形態1と基本的な構造は同じであ
り、同じ構成の部分の詳細な説明は省略する。特に本発
明の特徴とする構造は図12に示すように、一方の電極
である導電体7として弁金属箔などの金属を用い、弁金
属多孔質部として弁金属粉の焼結体層15を形成し、そ
の焼結体層15の表面を陽極酸化することによって誘電
体被膜5を形成し、さらにこの誘電体被膜5の上に形成
された固体電解質層6及び集電体層8を介して接続端子
2に接続されており、このような構造とすることにより
高周波応答性に優れたものとする効果のみならず、薄層
のシート状でありながら大容量の固体電解コンデンサを
形成することができる。その結果、回路基板の内部に埋
設したり、回路の小型化に有効である。
The solid electrolytic capacitor of the present invention has the same basic structure as that of the first embodiment described with reference to FIGS. 1 and 2, and the detailed description of the same components will be omitted. In particular, as shown in FIG. 12, the structure characterized by the present invention uses a metal such as a valve metal foil as the conductor 7 which is one electrode, and a sintered body layer 15 of the valve metal powder as the valve metal porous portion. Then, the surface of the sintered body layer 15 is anodized to form the dielectric film 5, and the solid electrolyte layer 6 and the current collector layer 8 formed on the dielectric film 5 are interposed. The solid electrolytic capacitor connected to the connection terminal 2 has such a structure that not only has an excellent high-frequency response but also has a thin sheet shape and a large capacity. it can. As a result, it is effectively embedded in the circuit board and miniaturized in the circuit.

【0042】(実施の形態4)本発明の実施の形態4お
よび図1、図2により請求項6に記載の発明を説明す
る。本発明の固体電解コンデンサは、実施の形態1と基
本的な構成はほぼ同じであり、同じ構成部分の詳細な説
明は省略する。
(Embodiment 4) The invention according to claim 6 will be described with reference to Embodiment 4 of the present invention and FIGS. The solid electrolytic capacitor of the present invention has substantially the same basic configuration as that of the first embodiment, and detailed description of the same components will be omitted.

【0043】特に本発明の構造において特徴とするとこ
ろは陽極酸化による金属酸化物の誘電体被膜5ではな
く、誘電体被膜5を有機系誘電体被膜にて構成している
点である。導電体7の片面に形成された弁金属多孔質部
7aの表面に、例えばアクリル樹脂を含む溶液に浸漬し
て電着して電着して被覆することによって有機系誘電体
被膜5を形成することができる。その後有機系誘電体被
膜5の上に固体電解質層6、集電体層8を介して接続端
子2を形成することによって有機系誘電体被膜5を有し
た固体電解コンデンサが得られる。
A particular feature of the structure of the present invention is that the dielectric coating 5 is formed of an organic dielectric coating instead of the metal oxide dielectric coating 5 formed by anodic oxidation. The organic dielectric coating 5 is formed on the surface of the valve metal porous portion 7a formed on one surface of the conductor 7 by dipping it in a solution containing acrylic resin, electrodeposition, and electrodeposition. be able to. After that, the connection terminals 2 are formed on the organic dielectric coating 5 via the solid electrolyte layer 6 and the current collector layer 8 to obtain a solid electrolytic capacitor having the organic dielectric coating 5.

【0044】このような構成の固体電解コンデンサとす
ることによって誘電体被膜5が無極性となり、電極取り
出しの方向性がなくなるので、回路基板に実装したりあ
るいは各種電子部品と組み合わせて複合部品とするとき
にも設計の自由度が向上する。さらに誘電体被膜5に陽
極酸化による酸化被膜を用いた場合、外部からのストレ
ス、例えば外部応力によって酸化被膜が破壊されてしま
いショート不良が発生する。そのためフレキシブル基板
などの応力のかかる箇所には用いることが困難であった
が、本発明の固体電解コンデンサは柔軟性に富み、曲げ
応力がかるような回路や基板などにも装着が可能であ
る。
By using the solid electrolytic capacitor having such a structure, the dielectric film 5 becomes nonpolar and the direction of electrode extraction is lost, so that it is mounted on a circuit board or combined with various electronic parts to form a composite part. Sometimes the degree of freedom in design is improved. Further, when an oxide film formed by anodic oxidation is used as the dielectric film 5, the oxide film is destroyed by external stress, for example, external stress, and a short circuit defect occurs. For this reason, it was difficult to use it in a stressed portion such as a flexible substrate, but the solid electrolytic capacitor of the present invention is highly flexible and can be mounted on a circuit or substrate where bending stress is applied.

【0045】(実施の形態5)本発明の実施の形態5お
よび図13、図14により請求項11に記載の発明を説
明する。図13は本発明の実施の形態5における固体電
解コンデンサの平面図、図14はその一部の断面図であ
る。
(Embodiment 5) The invention according to claim 11 will be described with reference to Embodiment 5 of the present invention and FIGS. 13 is a plan view of a solid electrolytic capacitor according to a fifth embodiment of the present invention, and FIG. 14 is a partial sectional view thereof.

【0046】本発明の固体電解コンデンサは実施の形態
1と基本的な構造は同じであり、同じ構成の部分の詳細
な説明は省略する。特に本発明の構造において特徴とす
るところは、引出電極1を縦横の溝9に充填された絶縁
層3の一部にスルホール穴を設けてそのスルホール穴に
一方の電極の導電体7に接続し接続端子2側に表出させ
るためのスルホール電極16を形成したことである。
The solid electrolytic capacitor of the present invention has the same basic structure as that of the first embodiment, and detailed description of the parts having the same structure will be omitted. In particular, the structure of the present invention is characterized in that the extraction electrode 1 is provided with a through hole in a part of the insulating layer 3 filled in the vertical and horizontal grooves 9, and the through hole is connected to the conductor 7 of one electrode. That is, the through-hole electrode 16 for exposing on the connection terminal 2 side is formed.

【0047】スルホール電極16を形成することによっ
て所望の位置に最小の面積で引出電極1を形成すること
ができるために短絡不良、曲げ応力による断線不良など
を低減することができる。また半導体部品の端子ピッチ
に合わせてスルホール電極16を形成することができる
ので、その上に直接接続バンプ12を形成したりするこ
とも可能となり、高周波応答性と生産性に優れた固体電
解コンデンサを実現することができる。
By forming the through-hole electrode 16, the extraction electrode 1 can be formed at a desired position with a minimum area, so that short circuit failure, disconnection failure due to bending stress, etc. can be reduced. Further, since the through-hole electrode 16 can be formed in accordance with the terminal pitch of the semiconductor component, it is possible to directly form the connection bump 12 on the through-hole electrode 16 and a solid electrolytic capacitor excellent in high frequency response and productivity can be obtained. Can be realized.

【0048】[0048]

【発明の効果】以上のように本発明の固体電解コンデン
サの構成によれば、非常に低いESR、ESL特性が得
られるとともに直接半導体部品あるいは他の電子部品を
実装することが可能となり、高周波応答性に優れる固体
電解コンデンサを容易に、かつ効率よく製造することが
できる。
As described above, according to the structure of the solid electrolytic capacitor of the present invention, very low ESR and ESL characteristics can be obtained, and it becomes possible to directly mount a semiconductor component or other electronic component, and a high frequency response is obtained. A solid electrolytic capacitor having excellent properties can be manufactured easily and efficiently.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態における固体電解コンデン
サの平面図
FIG. 1 is a plan view of a solid electrolytic capacitor according to an embodiment of the present invention.

【図2】同断面図FIG. 2 is a sectional view of the same.

【図3】同要部の拡大図FIG. 3 is an enlarged view of the main part.

【図4】同平面図FIG. 4 is a plan view of the same.

【図5】同平面図FIG. 5 is a plan view of the same.

【図6】同断面図FIG. 6 is a sectional view of the same.

【図7】同断面図FIG. 7 is a sectional view of the same.

【図8】同平面図FIG. 8 is a plan view of the same.

【図9】同断面図FIG. 9 is a sectional view of the same.

【図10】同斜視図FIG. 10 is a perspective view of the same.

【図11】同断面図FIG. 11 is a sectional view of the same.

【図12】同拡大断面図FIG. 12 is an enlarged sectional view of the same.

【図13】同平面図FIG. 13 is a plan view of the same.

【図14】同断面図FIG. 14 is a sectional view of the same.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 引出電極 2 接続端子 3 絶縁層 4 外装 5 誘電体被膜 6 固体電解質層 7 導電体 7a 弁金属多孔質部 8 集電体層 9 溝 10 コンデンサ素子 11 アルミニウム箔 12 銅箔 13 保護膜 14 接続バンプ 15 焼結体層 16 スルホール電極 1 Extraction electrode 2 connection terminals 3 insulating layers 4 exterior 5 Dielectric coating 6 Solid electrolyte layer 7 conductor 7a Valve metal porous part 8 Current collector layer 9 grooves 10 Capacitor element 11 Aluminum foil 12 Copper foil 13 Protective film 14 connection bump 15 Sintered body layer 16 Through-hole electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤井 達雄 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 木村 涼 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Tatsuo Fujii             1006 Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric             Sangyo Co., Ltd. (72) Inventor Ryo Kimura             1006 Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric             Sangyo Co., Ltd.

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導電体の少なくとも片面に縦横の溝によ
って複数に分離された弁金属多孔質部を設けて一方の電
極とし、この少なくとも弁金属多孔質部の表面に誘電体
被膜、この誘電体被膜上に固体電解質層、この固体電解
質層の上に集電体層とともに他方の電極となる接続端子
を設け、上記縦横の溝内に絶縁層を介して一方の電極の
導電体に接続され他方の電極の接続端子側に表出する引
出電極を設けた固体電解コンデンサ。
1. A valve metal porous portion divided into a plurality of vertical and horizontal grooves on at least one surface of a conductor to form one electrode, and a dielectric coating on at least the surface of the valve metal porous portion, and this dielectric. A solid electrolyte layer on the coating, a connection terminal to be the other electrode together with the collector layer on the solid electrolyte layer is provided, and the other is connected to the conductor of one electrode through an insulating layer in the vertical and horizontal grooves. Solid electrolytic capacitor provided with an extraction electrode exposed on the connection terminal side of the electrode.
【請求項2】 導電体の少なくとも片面に縦または横の
溝によって複数に分離された弁金属多孔質部を設けて一
方の電極とし、この少なくとも弁金属多孔質部の表面に
誘電体被膜、この誘電体被膜上に固体電解質層、この固
体電解質層の上に集電体層とともに他方の電極となる接
続端子を設け、上記縦または横の溝内に絶縁層を介して
一方の電極の導電体に接続され他方の電極の接続端子側
に表出する引出電極を設けた固体電解コンデンサ。
2. A valve metal porous portion divided into a plurality of vertical or horizontal grooves on at least one surface of a conductor to form one electrode, and at least the surface of the valve metal porous portion has a dielectric coating, A solid electrolyte layer on the dielectric film, a connection terminal to be the other electrode together with the current collector layer on the solid electrolyte layer, the conductor of one electrode through the insulating layer in the vertical or horizontal groove Solid electrolytic capacitor provided with a lead-out electrode connected to the other end and exposed on the connection terminal side of the other electrode.
【請求項3】 一方の電極として少なくとも片面にエッ
チングによって形成した多孔質部を有するアルミニウム
箔を用いた請求項1または2のいずれか一つに記載の固
体電解コンデンサ。
3. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein an aluminum foil having a porous portion formed on at least one surface by etching is used as one electrode.
【請求項4】 一方の電極として導電体に弁金属と銅の
クラッド材を用いた請求項または2のいずれか一つに記
載の固体電解コンデンサ。
4. The solid electrolytic capacitor according to claim 2, wherein a valve metal and a copper clad material are used as a conductor for one of the electrodes.
【請求項5】 一方の電極として導電体に金属箔を用
い、弁金属多孔質部として弁金属粉の焼結体を用いた請
求項1または2のいずれか一つに記載の固体電解コンデ
ンサ。
5. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein a metal foil is used as a conductor as one of the electrodes, and a sintered body of valve metal powder is used as a valve metal porous portion.
【請求項6】 弁金属多孔質部に有機系誘電体膜を設け
た請求項1または2のいずれか一つに記載の固体電解コ
ンデンサ。
6. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein an organic dielectric film is provided on the valve metal porous portion.
【請求項7】 固体電解質層として機能性高分子を用い
た請求項1または2のいずれか一つに記載の固体電解コ
ンデンサ。
7. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein a functional polymer is used as the solid electrolyte layer.
【請求項8】 引出電極を縦横の溝の全域あるいは縦ま
たは横の全域にわたって形成した請求項1または2のい
ずれか一つに記載の固体電解コンデンサ。
8. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the extraction electrode is formed over the entire area of the vertical and horizontal grooves or over the entire area of the vertical and horizontal directions.
【請求項9】 引出電極を縦横の溝の一部あるいは縦ま
たは横の一部に形成した請求項1または2のいずれか一
つに記載の固体電解コンデンサ。
9. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the extraction electrode is formed in a part of vertical and horizontal grooves or in a vertical or horizontal part.
【請求項10】 引出電極を縦横の溝の交叉部に形成し
た請求項1に記載の固体電解コンデンサ。
10. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the extraction electrode is formed at an intersection of vertical and horizontal grooves.
【請求項11】 引出電極を縦横の溝の一部にスルホー
ル電極にて形成した請求項1または2のいずれか一つに
記載の固体電解コンデンサ。
11. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the extraction electrode is formed of a through-hole electrode in a part of vertical and horizontal grooves.
【請求項12】 溝の幅が表面部から内部に向かって狭
くなるテーパ状に形成する請求項1または2のいずれか
一つに記載の固体電解コンデンサ。
12. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the width of the groove is formed in a taper shape that becomes narrower from the surface portion toward the inside.
【請求項13】 溝の幅が表面部から内部に向かって広
くなるテーパ状に形成する請求項1または2のいずれか
一つに記載の固体電解コンデンサ。
13. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the groove is formed in a taper shape in which the width increases from the surface portion toward the inside.
【請求項14】 絶縁層として絶縁樹脂材料を用いた請
求項1または2のいずれか一つに記載の固体電解コンデ
ンサ。
14. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein an insulating resin material is used as the insulating layer.
【請求項15】 絶縁層として無機フィラーを含有した
絶縁樹脂材料を用いた請求項1または2のいずれか一つ
に記載の固体電解コンデンサ。
15. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein an insulating resin material containing an inorganic filler is used as the insulating layer.
【請求項16】 外周面に外装を形成した請求項1また
は2のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサ。
16. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein an outer surface is formed on the outer peripheral surface.
【請求項17】 接続端子と引出電極上に接続バンプを
設けた請求項1または2のいずれか一つに記載の固体電
解コンデンサ。
17. The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein a connection bump is provided on the connection terminal and the extraction electrode.
JP2001321671A 2001-10-19 2001-10-19 Solid electrolytic capacitor Withdrawn JP2003124067A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001321671A JP2003124067A (en) 2001-10-19 2001-10-19 Solid electrolytic capacitor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001321671A JP2003124067A (en) 2001-10-19 2001-10-19 Solid electrolytic capacitor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003124067A true JP2003124067A (en) 2003-04-25

Family

ID=19138853

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001321671A Withdrawn JP2003124067A (en) 2001-10-19 2001-10-19 Solid electrolytic capacitor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003124067A (en)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006165152A (en) * 2004-12-06 2006-06-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Solid electrolytic capacitor and substrate with built-in solid electrolytic capacitor, and those manufacturing methods
JP2008047756A (en) * 2006-08-18 2008-02-28 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Manufacturing method of valve metal composite electrode foil
JP2008218481A (en) * 2007-02-28 2008-09-18 Fujitsu Ltd Capacitor and its manufacturing method
JP2009182273A (en) * 2008-01-31 2009-08-13 Nippon Chemicon Corp Solid-state electrolytic capacitor and method of manufacturing the same
JP2009194257A (en) * 2008-02-15 2009-08-27 Nippon Chemicon Corp Solid electrolytic capacitor and manufacturing method therefor
JP2009246236A (en) * 2008-03-31 2009-10-22 Nippon Chemicon Corp Solid electrolytic capacitor, and method for manufacturing the same
JP2009246234A (en) * 2008-03-31 2009-10-22 Nippon Chemicon Corp Solid electrolytic capacitor, and method for manufacturing the same
JP2013225558A (en) * 2012-04-20 2013-10-31 Sumitomo Light Metal Ind Ltd Electrode material for positive electrode of electrolytic capacitor, and manufacturing method of the same

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006165152A (en) * 2004-12-06 2006-06-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Solid electrolytic capacitor and substrate with built-in solid electrolytic capacitor, and those manufacturing methods
JP2008047756A (en) * 2006-08-18 2008-02-28 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Manufacturing method of valve metal composite electrode foil
JP4665866B2 (en) * 2006-08-18 2011-04-06 住友金属鉱山株式会社 Manufacturing method of valve metal composite electrode foil
JP2008218481A (en) * 2007-02-28 2008-09-18 Fujitsu Ltd Capacitor and its manufacturing method
JP2009182273A (en) * 2008-01-31 2009-08-13 Nippon Chemicon Corp Solid-state electrolytic capacitor and method of manufacturing the same
JP2009194257A (en) * 2008-02-15 2009-08-27 Nippon Chemicon Corp Solid electrolytic capacitor and manufacturing method therefor
JP2009246236A (en) * 2008-03-31 2009-10-22 Nippon Chemicon Corp Solid electrolytic capacitor, and method for manufacturing the same
JP2009246234A (en) * 2008-03-31 2009-10-22 Nippon Chemicon Corp Solid electrolytic capacitor, and method for manufacturing the same
JP2013225558A (en) * 2012-04-20 2013-10-31 Sumitomo Light Metal Ind Ltd Electrode material for positive electrode of electrolytic capacitor, and manufacturing method of the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4440911B2 (en) Solid electrolytic capacitor
CN100565735C (en) Solid electrolytic capacitor and transmission-line device and method for making thereof, composite electronic component
US20090116173A1 (en) Solid electrolytic capacitor
JP4019837B2 (en) Solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof
JP4757698B2 (en) Solid electrolytic capacitor
CN1862727B (en) Solid electrolytic capacitor which can easily be lowered in ESL
US6785147B2 (en) Circuit module
JP2006237520A (en) Thin-shaped multi-terminal capacitor, and manufacturing method therefor
JP4142878B2 (en) Solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof
JP4839824B2 (en) Capacitor-embedded substrate and manufacturing method thereof
JP2003124067A (en) Solid electrolytic capacitor
JP2004165248A (en) Solid electrolytic capacitor and its manufacturing method
JP5201671B2 (en) Bottom electrode type solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof
WO2002078026A1 (en) Solid electrolytic capacitor and method of manufacturing the capacitor
JP2002299161A (en) Composite electronic component
JP2002237431A (en) Solid-state electrolytic capacitor and method of manufacturing the same
KR100980155B1 (en) Wiring board, method of manufacturing the same and electronic component using the same
JP2002353073A (en) Circuit module
JP2002343686A (en) Solid electrolytic capacitor and the manufacturing method thereof
KR20080081848A (en) Solid electrolytic capacitor
JP5017164B2 (en) Solid electrolytic capacitor
JP2003272957A (en) Solid electrolytic capacitor
JP4558257B2 (en) Solid electrolytic capacitor
JP2005158903A (en) Solid electrolytic capacitor
JP4706115B2 (en) Solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041005

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20050701

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20061101