JP2003117437A - 液滴スプレーデバイス - Google Patents
液滴スプレーデバイスInfo
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- JP2003117437A JP2003117437A JP2002251790A JP2002251790A JP2003117437A JP 2003117437 A JP2003117437 A JP 2003117437A JP 2002251790 A JP2002251790 A JP 2002251790A JP 2002251790 A JP2002251790 A JP 2002251790A JP 2003117437 A JP2003117437 A JP 2003117437A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0638—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
- B05B17/0646—Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ケルビン効果を考慮に入れることができる液
滴スプレーデバイスを提供すること。 【解決手段】 本発明は、液状物質を噴霧する液滴スプ
レーデバイスを提供し、このデバイスは、以下：ハウジ
ングであって、このハウジングは、第一基板、第二基
板、および液状物質を収容するための空間を備え、この
第二基板は、この第一基板上に重ね合わされる、ハウジ
ング；この空間に液状物質を供給する手段；出口手段で
あって、この出口手段は、第一および第二基板の少なく
とも一方に配置され、そして少なくとも１個の出口ノズ
ルおよび少なくとも１個の排出チャネルを含み、この排
出チャネルは、空間を、少なくとも１個の出口ノズルの
各々に連結する、出口手段；ならびに振動要素であっ
て、この振動要素は、出口ノズルを通してスプレーとし
て液状物質を噴出するために、空間内の液体を振動させ
るように配置されている、振動要素、を備える、デバイ
ス。
滴スプレーデバイスを提供すること。 【解決手段】 本発明は、液状物質を噴霧する液滴スプ
レーデバイスを提供し、このデバイスは、以下：ハウジ
ングであって、このハウジングは、第一基板、第二基
板、および液状物質を収容するための空間を備え、この
第二基板は、この第一基板上に重ね合わされる、ハウジ
ング；この空間に液状物質を供給する手段；出口手段で
あって、この出口手段は、第一および第二基板の少なく
とも一方に配置され、そして少なくとも１個の出口ノズ
ルおよび少なくとも１個の排出チャネルを含み、この排
出チャネルは、空間を、少なくとも１個の出口ノズルの
各々に連結する、出口手段；ならびに振動要素であっ
て、この振動要素は、出口ノズルを通してスプレーとし
て液状物質を噴出するために、空間内の液体を振動させ
るように配置されている、振動要素、を備える、デバイ
ス。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液状物質（例え
ば、薬物、芳香剤または他の噴霧液体）を噴霧するのに
適切な液滴スプレーデバイスに関する。このようなデバ
イスは、例えば、香水ディスペンサーに使用され得る
か、または患者の呼吸系によって患者に噴霧薬物または
霧状薬物を投与するのに使用され得る。このようなデバ
イスは、その最も簡単な形状では、通例、アトマイザー
と呼ばれている。このデバイスは、この液状物質を、噴
霧液滴の分散体として送達する。さらに具体的には、本
発明は、改良した液滴スプレーデバイスに関し、これ
は、制御可能な液滴スプレーを効率的に作り発射する。
ば、薬物、芳香剤または他の噴霧液体）を噴霧するのに
適切な液滴スプレーデバイスに関する。このようなデバ
イスは、例えば、香水ディスペンサーに使用され得る
か、または患者の呼吸系によって患者に噴霧薬物または
霧状薬物を投与するのに使用され得る。このようなデバ
イスは、その最も簡単な形状では、通例、アトマイザー
と呼ばれている。このデバイスは、この液状物質を、噴
霧液滴の分散体として送達する。さらに具体的には、本
発明は、改良した液滴スプレーデバイスに関し、これ
は、制御可能な液滴スプレーを効率的に作り発射する。
【０００２】
【従来の技術】液体を噴霧する種々の液滴スプレーデバ
イスが公知である。例えば、文献欧州特許出願公開番号
０ ５１６ ５６５は、水を噴霧する超音波ネブライザ
ーを記述している。このデバイスは、室内加湿器として
使用される。この水を通して水面へと振動が伝達され、
この水面を通して、スプレーが生じる。振動なしで水を
保持するために、穿孔膜が設けられる。
イスが公知である。例えば、文献欧州特許出願公開番号
０ ５１６ ５６５は、水を噴霧する超音波ネブライザ
ーを記述している。このデバイスは、室内加湿器として
使用される。この水を通して水面へと振動が伝達され、
この水面を通して、スプレーが生じる。振動なしで水を
保持するために、穿孔膜が設けられる。
【０００３】代表的には、吸入器は、この液状物質を液
滴に噴霧するために、同じ原理を使用する（例えば、文
献ＷＯ９５／１５８２２を参照）。
滴に噴霧するために、同じ原理を使用する（例えば、文
献ＷＯ９５／１５８２２を参照）。
【０００４】公知のように、その液滴の大きさは、この
穿孔膜の出口オリフィスの大きさに依存し、そしてまた
その振動周波数に依存している。小さい液滴を得るため
には、非常に高い周波数を使用すべきであり、代表的に
は、直径約１０μｍの液滴には、１ＭＨｚを超える。一
般に、この周波数が高くなる程、この液滴の直径は小さ
くなり得る。これにより、この高い周波数が原因で、電
力消費量の増加を引き起こし、その結果、このようなデ
バイスは、小さい電池で作動するデバイスには適さなく
なる。
穿孔膜の出口オリフィスの大きさに依存し、そしてまた
その振動周波数に依存している。小さい液滴を得るため
には、非常に高い周波数を使用すべきであり、代表的に
は、直径約１０μｍの液滴には、１ＭＨｚを超える。一
般に、この周波数が高くなる程、この液滴の直径は小さ
くなり得る。これにより、この高い周波数が原因で、電
力消費量の増加を引き起こし、その結果、このようなデ
バイスは、小さい電池で作動するデバイスには適さなく
なる。
【０００５】別の液滴スプレーデバイスは、本出願人名
義の文献欧州特許出願公開番号０９２３ ９５７から公
知である。そこで記述された液滴スプレーデバイスは、
第一基板および第二基板の重ね合わせから形成されたハ
ウジングからなり、これらの基板の間に、液状物質を収
容してそれにより圧縮チャンバを提供するチャンバまた
は空間が形成されている。第一基板の薄い方の膜部分に
は、出口手段が設けられている。この出口手段は、空洞
（これは、このチャンバを部分的に構成する）、出口ノ
ズルおよび排出チャネル（これは、これらのノズルをチ
ャンバに連結する）からなる。この液状物質は、例え
ば、非常に小さい圧力（例えば、およそ数ミリバール）
または毛管現象により、スプレーデバイスのチャンバま
たは空間に入る。このスプレーデバイスは、さらに、こ
の空間内の液状物質の振動を引き起こすために、振動要
素（例えば、圧電素子）を含む。この液状物質を振動さ
せることにより、その液体は、この出口手段に入り、こ
の液体がデバイスから発射される際に、液滴スプレーが
発生する。
義の文献欧州特許出願公開番号０９２３ ９５７から公
知である。そこで記述された液滴スプレーデバイスは、
第一基板および第二基板の重ね合わせから形成されたハ
ウジングからなり、これらの基板の間に、液状物質を収
容してそれにより圧縮チャンバを提供するチャンバまた
は空間が形成されている。第一基板の薄い方の膜部分に
は、出口手段が設けられている。この出口手段は、空洞
（これは、このチャンバを部分的に構成する）、出口ノ
ズルおよび排出チャネル（これは、これらのノズルをチ
ャンバに連結する）からなる。この液状物質は、例え
ば、非常に小さい圧力（例えば、およそ数ミリバール）
または毛管現象により、スプレーデバイスのチャンバま
たは空間に入る。このスプレーデバイスは、さらに、こ
の空間内の液状物質の振動を引き起こすために、振動要
素（例えば、圧電素子）を含む。この液状物質を振動さ
せることにより、その液体は、この出口手段に入り、こ
の液体がデバイスから発射される際に、液滴スプレーが
発生する。
【０００６】この先行技術文献は、さらに、このような
排出チャネルを直線状でテーパのない輪郭にする技術を
記述している。これにより、水溶液および懸濁液に対し
て、この排出チャネルを横切る正確に規定した圧力低
下、液滴の大きさおよび流動挙動が得られるのに対し
て、懸濁液中で小さい固体粒子（例えば、１μｍ未満か
ら約２μｍ）を運ぶ医薬品には、比較的に滑らかな表面
が適している。同じ効果は、例えば、香水分配用途に対
してそれより大きい寸法（例えば、１０μｍ以上のノズ
ル）でも、比例的に得られ得る。
排出チャネルを直線状でテーパのない輪郭にする技術を
記述している。これにより、水溶液および懸濁液に対し
て、この排出チャネルを横切る正確に規定した圧力低
下、液滴の大きさおよび流動挙動が得られるのに対し
て、懸濁液中で小さい固体粒子（例えば、１μｍ未満か
ら約２μｍ）を運ぶ医薬品には、比較的に滑らかな表面
が適している。同じ効果は、例えば、香水分配用途に対
してそれより大きい寸法（例えば、１０μｍ以上のノズ
ル）でも、比例的に得られ得る。
【０００７】発射された液滴の直径は、この液状物質の
振動の所定周波数に対するノズル穴の大きさ「ｄ」およ
び入口圧力に依存している。約２４３ｋＨｚの周波数を
使用する従来のデバイスでは、その平均液滴直径は、約
５μｍであることが分かっており、この出口ノズルの穴
の直径は、約７μｍであり、その入口圧力は、数ミリバ
ールである。１個のこのような液滴は、それゆえ、約６
７フェムトリットル（１０−１５ｌ）の量を含み、その
結果、このようなノズルの数は、噴出する量の関数とし
て決定され得る。
振動の所定周波数に対するノズル穴の大きさ「ｄ」およ
び入口圧力に依存している。約２４３ｋＨｚの周波数を
使用する従来のデバイスでは、その平均液滴直径は、約
５μｍであることが分かっており、この出口ノズルの穴
の直径は、約７μｍであり、その入口圧力は、数ミリバ
ールである。１個のこのような液滴は、それゆえ、約６
７フェムトリットル（１０−１５ｌ）の量を含み、その
結果、このようなノズルの数は、噴出する量の関数とし
て決定され得る。
【０００８】実際、これらの出口ノズルの製作公差Δｄ
は、この量（すなわち、発射する液滴の容量「Ｖ」）を
制御し決定する際の必須要素である。事実、この容量Ｖ
は、ｄ３に依存しており（Ｖ＝１／６×πｄ３）、ｄ
は、この出口ノズルの直径である。
は、この量（すなわち、発射する液滴の容量「Ｖ」）を
制御し決定する際の必須要素である。事実、この容量Ｖ
は、ｄ３に依存しており（Ｖ＝１／６×πｄ３）、ｄ
は、この出口ノズルの直径である。
【０００９】例えば、もし、ｄ＝５μｍであり、Δｄ＝
±０．５μｍであるなら、液滴容量Ｖは、４７．５（ｄ
＝４．５）から８７（ｄ＝５．５）へと変わり得、これ
は、８３％の変動である。
±０．５μｍであるなら、液滴容量Ｖは、４７．５（ｄ
＝４．５）から８７（ｄ＝５．５）へと変わり得、これ
は、８３％の変動である。
【００１０】さらに、この排出チャネルを横切る圧力低
下は、ｄ４に依存していることが公知であり、そこで、
この出口直径、チャネル直径、その断面、ならびに出口
チャネルおよびノズルの変動する微小機械加工断面の任
意の組合せは、この液滴スプレーデバイスの構造におけ
る重要な因子であることが理解され得る。
下は、ｄ４に依存していることが公知であり、そこで、
この出口直径、チャネル直径、その断面、ならびに出口
チャネルおよびノズルの変動する微小機械加工断面の任
意の組合せは、この液滴スプレーデバイスの構造におけ
る重要な因子であることが理解され得る。
【００１１】この液滴の直径は、その液体のある種の物
理化学的特性（例えば、表面張力および粘度）と共に変
わることもまた、公知である。従って、引用した先行技
術で示されているように、発射する液体および所望の液
滴特性に従って、この物理的および電気的デバイスパラ
メータ（周波数および振幅）を適合させ得ることが重要
である。
理化学的特性（例えば、表面張力および粘度）と共に変
わることもまた、公知である。従って、引用した先行技
術で示されているように、発射する液体および所望の液
滴特性に従って、この物理的および電気的デバイスパラ
メータ（周波数および振幅）を適合させ得ることが重要
である。
【００１２】本出願人は、現在、この従来のデバイスが
一般に十分に機能することを見出したものの、このデバ
イスの構成の結果、製造が複雑となり、その結果、ある
種の用途（例えば、大気中での芳香剤の分配のため）で
は、記載されたデバイスは、高価である。さらに、その
スプレーを施した後にこのようなデバイスを補充するの
に必要な様式は、ある状況では、厄介でもあり得る。
一般に十分に機能することを見出したものの、このデバ
イスの構成の結果、製造が複雑となり、その結果、ある
種の用途（例えば、大気中での芳香剤の分配のため）で
は、記載されたデバイスは、高価である。さらに、その
スプレーを施した後にこのようなデバイスを補充するの
に必要な様式は、ある状況では、厄介でもあり得る。
【００１３】さらに、このスプレーデバイスを使用して
芳香剤を発射するとき、空気中での匂いの拡散は、直接
的に、周囲の空気で利用可能な液滴の表面と関係してい
ることが公知である。それゆえ、この液滴が小さくなる
程、その表面は小さくなる。この液滴の半径が小さくな
るにつれて、その表面／体積比が大きくなるので、これ
は、この匂いの拡散速度を変える。しかし、発射された
液滴の表面は、安定ではなく、それは、予想よりも早く
破裂し得、その結果、この液滴の大きさの関数として、
この匂いの拡散が変化する。事実、本出願人は、この液
滴が小さくなる程、この液滴の安定性が低くなることを
観察した。
芳香剤を発射するとき、空気中での匂いの拡散は、直接
的に、周囲の空気で利用可能な液滴の表面と関係してい
ることが公知である。それゆえ、この液滴が小さくなる
程、その表面は小さくなる。この液滴の半径が小さくな
るにつれて、その表面／体積比が大きくなるので、これ
は、この匂いの拡散速度を変える。しかし、発射された
液滴の表面は、安定ではなく、それは、予想よりも早く
破裂し得、その結果、この液滴の大きさの関数として、
この匂いの拡散が変化する。事実、本出願人は、この液
滴が小さくなる程、この液滴の安定性が低くなることを
観察した。
【００１４】実際、ケルビン効果によれば、もし、その
気相の飽和が液相との比較において１より大きいなら、
この気相に比べたその液滴の熱力学的な安定性は、３Ｄ
液体を形成するエネルギー放出により高められるが、２
Ｄ表面の形成により低くなる。その正味の結果は、この
液滴の半径が小さくなるにつれての液体分子１個あたり
の自由エネルギーの増加となる。この効果は、この液滴
の半径が小さくなるにつれての蒸気圧の増大として観察
される。
気相の飽和が液相との比較において１より大きいなら、
この気相に比べたその液滴の熱力学的な安定性は、３Ｄ
液体を形成するエネルギー放出により高められるが、２
Ｄ表面の形成により低くなる。その正味の結果は、この
液滴の半径が小さくなるにつれての液体分子１個あたり
の自由エネルギーの増加となる。この効果は、この液滴
の半径が小さくなるにつれての蒸気圧の増大として観察
される。
【００１５】以下の表は、Ｔ＝２９８°Ｋの温度での液
滴直径の関数としての純水液滴にわたる平衡蒸気圧の増
大の例を示す：
滴直径の関数としての純水液滴にわたる平衡蒸気圧の増
大の例を示す：
【００１６】
【表１】
ここで、Ｄρは、液滴直径（ミクロン（１０−６ｍ））
であり、そしてΔＰは、圧力変化（％）である。
であり、そしてΔＰは、圧力変化（％）である。
【００１７】分かるように、圧力は、ケルビン効果によ
り、この液滴の半径（直径）が減少する場合に、増大す
る。
り、この液滴の半径（直径）が減少する場合に、増大す
る。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の課題
は、上述の不都合を克服する液滴スプレーデバイスであ
って、分配する液滴の大きさが一般に非常に小さいこと
に起因して、ケルビン効果を考慮に入れることができる
液滴スプレーデバイスを提供することにある。
は、上述の不都合を克服する液滴スプレーデバイスであ
って、分配する液滴の大きさが一般に非常に小さいこと
に起因して、ケルビン効果を考慮に入れることができる
液滴スプレーデバイスを提供することにある。
【００１９】本発明の他の課題は、簡単で、製造信頼性
があり、大きさが小さく、エネルギー消費が少なく、そ
して価格が安いようなデバイスを提供することにある。
があり、大きさが小さく、エネルギー消費が少なく、そ
して価格が安いようなデバイスを提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】本発明は、液状物質を噴
霧する液滴スプレーデバイス（１）を提供し、このデバ
イスは、以下：ハウジングであって、このハウジング
は、第一基板（２）、第二基板（３）、および液状物質
を収容するための空間（４）を備え、この第二基板は、
この第一基板上に重ね合わされ、そしてこの空間は、第
一および第二基板で囲まれている、ハウジング；この空
間（４）に液状物質を供給する手段（６、１６、２
６）；出口手段（７）であって、この出口手段は、第一
および第二基板（２、３）の少なくとも一方に配置さ
れ、そして少なくとも１個の出口ノズル（９）および少
なくとも１個の排出チャネル（８）を含み、この排出チ
ャネルは、空間（４）を、少なくとも１個の出口ノズル
（９）の各々に連結する、出口手段（７）；ならびに振
動要素（５）であって、この振動要素は、出口ノズル
（９）を通してスプレーとして液状物質を噴出するため
に、空間（４）内の液体を振動させるように配置されて
いる、振動要素（５）、を備え、ここで、各排出チャネ
ル（８）は、第一部分（８ａ）、第二部分（８ｂ）およ
び第三部分（８ｃ）を有し、この第一部分（８ａ）は、
空間（４）に隣接して配置され、そして直状の側壁を有
し、この第三部分（８ｃ）もまた、直状の側壁を有し、
そして第一部分および出口ノズル（９）に隣接して配置
され、第一部分の幅（ｄ１）は、第三部分の幅（ｄ２）
より大きく、第二部分（８ｂ）は、排出チャネルの幅が
第一部分の幅（ｄ１）から第三部分の幅（ｄ２）へと段
々と変わるように、第一部分（８ａ）を第三部分（８
ｃ）に連結することを特徴とする、デバイス。
霧する液滴スプレーデバイス（１）を提供し、このデバ
イスは、以下：ハウジングであって、このハウジング
は、第一基板（２）、第二基板（３）、および液状物質
を収容するための空間（４）を備え、この第二基板は、
この第一基板上に重ね合わされ、そしてこの空間は、第
一および第二基板で囲まれている、ハウジング；この空
間（４）に液状物質を供給する手段（６、１６、２
６）；出口手段（７）であって、この出口手段は、第一
および第二基板（２、３）の少なくとも一方に配置さ
れ、そして少なくとも１個の出口ノズル（９）および少
なくとも１個の排出チャネル（８）を含み、この排出チ
ャネルは、空間（４）を、少なくとも１個の出口ノズル
（９）の各々に連結する、出口手段（７）；ならびに振
動要素（５）であって、この振動要素は、出口ノズル
（９）を通してスプレーとして液状物質を噴出するため
に、空間（４）内の液体を振動させるように配置されて
いる、振動要素（５）、を備え、ここで、各排出チャネ
ル（８）は、第一部分（８ａ）、第二部分（８ｂ）およ
び第三部分（８ｃ）を有し、この第一部分（８ａ）は、
空間（４）に隣接して配置され、そして直状の側壁を有
し、この第三部分（８ｃ）もまた、直状の側壁を有し、
そして第一部分および出口ノズル（９）に隣接して配置
され、第一部分の幅（ｄ１）は、第三部分の幅（ｄ２）
より大きく、第二部分（８ｂ）は、排出チャネルの幅が
第一部分の幅（ｄ１）から第三部分の幅（ｄ２）へと段
々と変わるように、第一部分（８ａ）を第三部分（８
ｃ）に連結することを特徴とする、デバイス。
【００２１】本発明はさらに、液状物質を噴霧する液滴
スプレーデバイス（１）を提供し、このデバイスは、以
下：ハウジングであって、このハウジングは、第一基板
（２）、第二基板（３）、および液状物質を収容するた
めの空間（４）を備え、この第二基板は、この第一基板
上に重ね合わされ、そしてこの空間は、第一および第二
基板で囲まれている、ハウジング；空間（４）に液状物
質を供給する手段（６、１６、２６）；出口手段（７）
であって、この出口手段は、第一および第二基板（２、
３）の少なくとも一方に配置され、そして少なくとも１
個の出口ノズル（９）および少なくとも１個の排出チャ
ネル（２８）を含み、この排出チャネルは、空間（４）
を、少なくとも１個の出口ノズル（９）の各々に連結す
る、出口手段（７）；ならびに振動要素（５）であっ
て、この振動要素は、出口ノズル（９）を通してスプレ
ーとして液状物質を噴出するために、空間（４）内の液
体を振動させるように配置されている、振動要素
（５）、を備え、ここで、各排出チャネル（２８）は、
段差形状であり、第一部分（２８ａ）および第二部分
（２８ｃ）を有し、この第一部分（２８ａ）は、空間
（４）に隣接して配置され、そして直状の側壁を有し、
この第二部分（２８ｃ）もまた、直状の側壁を有し、そ
して第一部分および出口ノズル（９）に隣接して配置さ
れ、第一部分（２８ａ）の幅（ｄ１）は、第二部分（２
８ｃ）の幅（ｄ２）より大きいことを特徴とする。
スプレーデバイス（１）を提供し、このデバイスは、以
下：ハウジングであって、このハウジングは、第一基板
（２）、第二基板（３）、および液状物質を収容するた
めの空間（４）を備え、この第二基板は、この第一基板
上に重ね合わされ、そしてこの空間は、第一および第二
基板で囲まれている、ハウジング；空間（４）に液状物
質を供給する手段（６、１６、２６）；出口手段（７）
であって、この出口手段は、第一および第二基板（２、
３）の少なくとも一方に配置され、そして少なくとも１
個の出口ノズル（９）および少なくとも１個の排出チャ
ネル（２８）を含み、この排出チャネルは、空間（４）
を、少なくとも１個の出口ノズル（９）の各々に連結す
る、出口手段（７）；ならびに振動要素（５）であっ
て、この振動要素は、出口ノズル（９）を通してスプレ
ーとして液状物質を噴出するために、空間（４）内の液
体を振動させるように配置されている、振動要素
（５）、を備え、ここで、各排出チャネル（２８）は、
段差形状であり、第一部分（２８ａ）および第二部分
（２８ｃ）を有し、この第一部分（２８ａ）は、空間
（４）に隣接して配置され、そして直状の側壁を有し、
この第二部分（２８ｃ）もまた、直状の側壁を有し、そ
して第一部分および出口ノズル（９）に隣接して配置さ
れ、第一部分（２８ａ）の幅（ｄ１）は、第二部分（２
８ｃ）の幅（ｄ２）より大きいことを特徴とする。
【００２２】１つの局面においては、上記ハウジング
が、円形であり、そして上記空間が、数個の個々の空間
（４）からなり、ここで、数個の振動要素（５）が設け
られ、各々が、空間（４）の１個内の液状物質を振動さ
せるように配置されている。
が、円形であり、そして上記空間が、数個の個々の空間
（４）からなり、ここで、数個の振動要素（５）が設け
られ、各々が、空間（４）の１個内の液状物質を振動さ
せるように配置されている。
【００２３】１つの局面においては、上記第一および第
二基板（２、３）が、適切に被覆し貼り合わせたコンパ
クトディスク材料から製造される。
二基板（２、３）が、適切に被覆し貼り合わせたコンパ
クトディスク材料から製造される。
【００２４】１つの局面においては、上記第一および第
二基板（２、３）が、金属もしくは高分子基板または他
のウエハ様材料から製造され、その上に、適切な堆積法
により、上記空間（４）（単数または複数）および出口
手段（７）を設けるのに必要な構造体が堆積されてい
る。
二基板（２、３）が、金属もしくは高分子基板または他
のウエハ様材料から製造され、その上に、適切な堆積法
により、上記空間（４）（単数または複数）および出口
手段（７）を設けるのに必要な構造体が堆積されてい
る。
【００２５】１つの局面においては、上記出口手段
（７、８、９）が、上記第一基板（２）に配置されてい
る。
（７、８、９）が、上記第一基板（２）に配置されてい
る。
【００２６】１つの局面においては、上記出口手段
（７、８、９）が、上記第二基板（３）に配置されてい
る。
（７、８、９）が、上記第二基板（３）に配置されてい
る。
【００２７】１つの局面においては、上記出口手段
（７、８、９）が、上記第一基板および上記第二基板
（２、３）に配置されている。
（７、８、９）が、上記第一基板および上記第二基板
（２、３）に配置されている。
【００２８】１つの局面においては、上記第一基板
（２）が、上記振動要素（５）と上記第二基板（３）と
の間に設けられた箔（１０）により構成される。
（２）が、上記振動要素（５）と上記第二基板（３）と
の間に設けられた箔（１０）により構成される。
【００２９】１つの局面においては、上記液状物質を供
給する上記手段（６）が、上記第一基板（２）および上
記振動要素（５）を横切るように配置されている。
給する上記手段（６）が、上記第一基板（２）および上
記振動要素（５）を横切るように配置されている。
【００３０】１つの局面においては、上記液状物質を供
給する上記手段（１６、２６）が、上記第二基板（３）
を横切るように配置され、それにより、液状物質を上記
空間（４）に入れることを可能にする。
給する上記手段（１６、２６）が、上記第二基板（３）
を横切るように配置され、それにより、液状物質を上記
空間（４）に入れることを可能にする。
【００３１】１つの局面においては、液滴スプレーデバ
イスにはさらに、上記第二基板（３）に、パッシブバル
ブ（１７）が設けられ、ここで、上記空間（４）が、内
部容量および緩衝容量からなり、これらの内部容量およ
び緩衝容量が、このパッシブバルブ（１７）によって互
いに連結されている。
イスにはさらに、上記第二基板（３）に、パッシブバル
ブ（１７）が設けられ、ここで、上記空間（４）が、内
部容量および緩衝容量からなり、これらの内部容量およ
び緩衝容量が、このパッシブバルブ（１７）によって互
いに連結されている。
【００３２】それゆえ、本発明は、添付の特許請求の範
囲で規定した液滴スプレーデバイスに関する。
囲で規定した液滴スプレーデバイスに関する。
【００３３】本発明によるスプレーデバイスの構成（特
に、その出口手段の特定の形状および配置）のおかげ
で、比較的簡単かつ安価な様式で、効率的なデバイスが
得られ得る。
に、その出口手段の特定の形状および配置）のおかげ
で、比較的簡単かつ安価な様式で、効率的なデバイスが
得られ得る。
【００３４】本発明による液滴スプレーデバイスの他の
特徴および利点は、以下の説明を読むことから明らかと
なるが、これは、単に、添付の図面が参照される非限定
的な例によって示されているにすぎない。
特徴および利点は、以下の説明を読むことから明らかと
なるが、これは、単に、添付の図面が参照される非限定
的な例によって示されているにすぎない。
【００３５】
【発明の実施の形態】第一の好ましい実施形態の一例
を、以下で記述する。本発明は、それゆえ、液状物質を
噴霧する液滴スプレーデバイスに関する。図１は、第一
実施形態の断面を示す。この液滴スプレーデバイスは、
一般参照番号１で示されており、この例では、ハウジン
グからなり、このハウジングは、第一基板２および第二
基板３の重ね合わせを含む。このハウジング内では、液
状物質を受容するために、空の空間（すなわち、チャン
バ）４が設けられる。この空間４は、これらの基板の一
方の上面の一部をエッチングによって除去することによ
り、作製され得る。この例では、第二基板３の上面の一
部が、周知のエッチング技術（例えば、半導体の分野で
公知の技術および上記先行技術文献で記述された技術）
を使用することによりエッチングされ、その結果、次い
で、図示しているように、薄い中間部および厚い端部が
得られる。それゆえ、第一基板２の平坦な下面が、第二
基板３のエッチングした表面に装着される場合、その空
間が取り囲まれて、それにより、チャンバ４を形成す
る。基板２および３は、好ましくは、アノード結合（ａ
ｎｏｄｉｃ ｂｏｎｄｉｎｇ）を使用することにより、
当業者に周知の適切な接着技術で互いに結合される。
を、以下で記述する。本発明は、それゆえ、液状物質を
噴霧する液滴スプレーデバイスに関する。図１は、第一
実施形態の断面を示す。この液滴スプレーデバイスは、
一般参照番号１で示されており、この例では、ハウジン
グからなり、このハウジングは、第一基板２および第二
基板３の重ね合わせを含む。このハウジング内では、液
状物質を受容するために、空の空間（すなわち、チャン
バ）４が設けられる。この空間４は、これらの基板の一
方の上面の一部をエッチングによって除去することによ
り、作製され得る。この例では、第二基板３の上面の一
部が、周知のエッチング技術（例えば、半導体の分野で
公知の技術および上記先行技術文献で記述された技術）
を使用することによりエッチングされ、その結果、次い
で、図示しているように、薄い中間部および厚い端部が
得られる。それゆえ、第一基板２の平坦な下面が、第二
基板３のエッチングした表面に装着される場合、その空
間が取り囲まれて、それにより、チャンバ４を形成す
る。基板２および３は、好ましくは、アノード結合（ａ
ｎｏｄｉｃ ｂｏｎｄｉｎｇ）を使用することにより、
当業者に周知の適切な接着技術で互いに結合される。
【００３６】このハウジングには、振動要素（例えば、
圧電素子）５が配置されて、一旦、液状物質が空間４内
に存在すると、この液状物質を振動させる。好ましく
は、振動要素５は、第一基板２に直接配置され、その振
動を、例えば、上記文献欧州特許出願公開番号０ ９２
３ ９５７から公知のような様式で、この基板およびこ
の液状物質にも伝達する。この液状物質をハウジングに
入れるために、この液滴スプレーデバイスに外部液体容
器（図示せず）を連結するのに適切な入口手段６が設け
られる。この例では、この入口手段は、振動要素５およ
び第一基板２を横切るチャネルからなる。この外部容器
に入口手段６を連結するために、さらに適切な連結手段
が設けられ得る。
圧電素子）５が配置されて、一旦、液状物質が空間４内
に存在すると、この液状物質を振動させる。好ましく
は、振動要素５は、第一基板２に直接配置され、その振
動を、例えば、上記文献欧州特許出願公開番号０ ９２
３ ９５７から公知のような様式で、この基板およびこ
の液状物質にも伝達する。この液状物質をハウジングに
入れるために、この液滴スプレーデバイスに外部液体容
器（図示せず）を連結するのに適切な入口手段６が設け
られる。この例では、この入口手段は、振動要素５およ
び第一基板２を横切るチャネルからなる。この外部容器
に入口手段６を連結するために、さらに適切な連結手段
が設けられ得る。
【００３７】出口手段７がさらに、このハウジング内に
設けられ、この液状物質がハウジングから出るのを可能
にする。事実、空間４内に含まれる液体が、適切な低圧
下にて、適切な周波数（この場合、約３００ｋＨｚ）
で、振動要素５により励起される場合に、それは、非常
に低い出口速度で、この出口手段を通って、液滴のスプ
レーとして、噴出される。出口手段７は、以下でさらに
詳細に説明するように、少なくとも１個の出口ノズルお
よび少なくとも１個の排出チャネル（これは、空間４を
各出口ノズルに連結する）からなる。
設けられ、この液状物質がハウジングから出るのを可能
にする。事実、空間４内に含まれる液体が、適切な低圧
下にて、適切な周波数（この場合、約３００ｋＨｚ）
で、振動要素５により励起される場合に、それは、非常
に低い出口速度で、この出口手段を通って、液滴のスプ
レーとして、噴出される。出口手段７は、以下でさらに
詳細に説明するように、少なくとも１個の出口ノズルお
よび少なくとも１個の排出チャネル（これは、空間４を
各出口ノズルに連結する）からなる。
【００３８】図２Ａは、液滴スプレーデバイス１の上面
図を示し、ここで、第一基板２は、透明である。分かる
ように、出口手段７は、その全周に沿って、第二基板３
の厚い端部に配置される。出口手段の数は、要件に従っ
て、適合され得る。
図を示し、ここで、第一基板２は、透明である。分かる
ように、出口手段７は、その全周に沿って、第二基板３
の厚い端部に配置される。出口手段の数は、要件に従っ
て、適合され得る。
【００３９】図２Ｂで分かるように、これらの出口手段
は、このスプレーデバイスの外部に空間４を連結するよ
うに、第二基板２に配置され、それゆえ、この液体は、
スプレーとして、発射され得るようになる。
は、このスプレーデバイスの外部に空間４を連結するよ
うに、第二基板２に配置され、それゆえ、この液体は、
スプレーとして、発射され得るようになる。
【００４０】この実施形態によれば、各排出チャネル
（図３で参照番号８により示す）は、３つの部分（第一
部分８ａ、第二部分８ｂおよび第三部分８ｃ）からな
る。図３Ａ〜３Ｃで示すように、排出チャネル８の第一
部分８ａは、空間４に隣接して配置され、そして直状の
側壁を有する。第三部分８ｃもまた、直状の側壁を有す
る。分かるように、排出チャネル８は、首形状を有し、
空間４に隣接した大きいチャネル部分から出口ノズル
（これは、参照番号９で示される）に隣接した狭い部分
に至る。事実、第一部分８ａの幅ｄ１は、第三部分８ｃ
の幅ｄ２よりも大きく、第二部分８ｂは、排出チャネル
８の幅が第二部分８ｂに沿って幅ｄ１から幅ｄ ２へと段
々と変わるように、第一部分８ａを第三部分８ｃに連結
する。図９は、２つの部分（内部空間４に隣接した広い
部分２８ａおよび外部ノズル９に隣接した狭い部分２８
ｃ）だけを使用する別の実施形態を示す。両方のチャネ
ル部分２８ａおよび２８ｃもまた、直状の側壁を有す
る。このような実施形態は、図６で暗示しているよう
に、本出願人名義の同時係属中の欧州特許出願番号０１
１０３ ６５３．０で説明されているように、種々の
材料に容易に機械加工され得る。その断面は、容易に想
像され得るように、三角形または円形であり得る。この
構造は、例えば、それをＫＯＨでエッチングする代わり
に、その構造に必要な物質を堆積することにより、また
はこの構造をレーザーもしくは微量射出成形などにより
機械加工することにより、作製され得る。
（図３で参照番号８により示す）は、３つの部分（第一
部分８ａ、第二部分８ｂおよび第三部分８ｃ）からな
る。図３Ａ〜３Ｃで示すように、排出チャネル８の第一
部分８ａは、空間４に隣接して配置され、そして直状の
側壁を有する。第三部分８ｃもまた、直状の側壁を有す
る。分かるように、排出チャネル８は、首形状を有し、
空間４に隣接した大きいチャネル部分から出口ノズル
（これは、参照番号９で示される）に隣接した狭い部分
に至る。事実、第一部分８ａの幅ｄ１は、第三部分８ｃ
の幅ｄ２よりも大きく、第二部分８ｂは、排出チャネル
８の幅が第二部分８ｂに沿って幅ｄ１から幅ｄ ２へと段
々と変わるように、第一部分８ａを第三部分８ｃに連結
する。図９は、２つの部分（内部空間４に隣接した広い
部分２８ａおよび外部ノズル９に隣接した狭い部分２８
ｃ）だけを使用する別の実施形態を示す。両方のチャネ
ル部分２８ａおよび２８ｃもまた、直状の側壁を有す
る。このような実施形態は、図６で暗示しているよう
に、本出願人名義の同時係属中の欧州特許出願番号０１
１０３ ６５３．０で説明されているように、種々の
材料に容易に機械加工され得る。その断面は、容易に想
像され得るように、三角形または円形であり得る。この
構造は、例えば、それをＫＯＨでエッチングする代わり
に、その構造に必要な物質を堆積することにより、また
はこの構造をレーザーもしくは微量射出成形などにより
機械加工することにより、作製され得る。
【００４１】出口手段７は、溝部を得るように、第二基
板３の厚い端部をエッチング（例えば、湿潤エッチング
または異方エッチングなど）することにより製造され
得、これらの溝部は、排出チャネルの部分８ａ、８ｂお
よび８ｃに対応している。
板３の厚い端部をエッチング（例えば、湿潤エッチング
または異方エッチングなど）することにより製造され
得、これらの溝部は、排出チャネルの部分８ａ、８ｂお
よび８ｃに対応している。
【００４２】２つの部分を使用するこの実施形態の利点
は、広い部分２８ａに対して狭い部分２８ｃの整列を変
えることにより、このスプレーデバイスから発射される
スプレーの方向を変化させることが可能となることにあ
る。分かるように、両方の部分を同心様式で整列させる
ことにより、そこを通って発射される液滴は、この出口
ノズルに対して垂直に移動する。しかし、もし、この狭
い部分が広い部分に対して偏心しているなら、発射され
る液滴は、この出口ノズルに対して垂直には発射され
ず、その偏心度に依存する角度で発射される。それゆ
え、明らかに、この様式では、段差を付けた部分の配置
に起因して、収束または発散して発射したスプレーを得
ることが可能となる。
は、広い部分２８ａに対して狭い部分２８ｃの整列を変
えることにより、このスプレーデバイスから発射される
スプレーの方向を変化させることが可能となることにあ
る。分かるように、両方の部分を同心様式で整列させる
ことにより、そこを通って発射される液滴は、この出口
ノズルに対して垂直に移動する。しかし、もし、この狭
い部分が広い部分に対して偏心しているなら、発射され
る液滴は、この出口ノズルに対して垂直には発射され
ず、その偏心度に依存する角度で発射される。それゆ
え、明らかに、この様式では、段差を付けた部分の配置
に起因して、収束または発散して発射したスプレーを得
ることが可能となる。
【００４３】上記様式により本出願人により作製された
実施形態では、約７ｃｍ２の実質的に正方形の基板を使
用して、この液滴スプレーデバイスにおいて、１側面あ
たり７１個の出口手段（すなわち、合計２８４個の出口
手段）を得ることが可能であった。
実施形態では、約７ｃｍ２の実質的に正方形の基板を使
用して、この液滴スプレーデバイスにおいて、１側面あ
たり７１個の出口手段（すなわち、合計２８４個の出口
手段）を得ることが可能であった。
【００４４】図４は、作動中の本発明による液滴スプレ
ーデバイスを示す。分かるように、この液滴スプレー
は、このスプレーデバイスの全ての側面から発射され、
このデバイスは、側面シューターと呼ばれ得る。
ーデバイスを示す。分かるように、この液滴スプレー
は、このスプレーデバイスの全ての側面から発射され、
このデバイスは、側面シューターと呼ばれ得る。
【００４５】有利なことに、もし、さらに多くの出口手
段が必要なら（例えば、より多くの液体をスプレーとし
て分散すべきとき）、類似の様式で、第一基板２に出口
手段を作製することもまた、可能である。図５Ａおよび
５Ｂで示すように、第一基板２にある出口手段は、もち
ろん、いかなる重なりをも回避するために、第二基板３
にあるものに対してシフトすべきである。このように、
このスプレーデバイスにおいて、さらに高い密度の出口
手段が得られ得る。そのように作製した実施形態では、
同じ大きさの基板（７ｃｍ２）を使用するとき、５６８
個、すなわち、二倍の量の出口手段が得られ得る。
段が必要なら（例えば、より多くの液体をスプレーとし
て分散すべきとき）、類似の様式で、第一基板２に出口
手段を作製することもまた、可能である。図５Ａおよび
５Ｂで示すように、第一基板２にある出口手段は、もち
ろん、いかなる重なりをも回避するために、第二基板３
にあるものに対してシフトすべきである。このように、
このスプレーデバイスにおいて、さらに高い密度の出口
手段が得られ得る。そのように作製した実施形態では、
同じ大きさの基板（７ｃｍ２）を使用するとき、５６８
個、すなわち、二倍の量の出口手段が得られ得る。
【００４６】当然のことながら、これらの出口手段は、
第二基板３に作製される必要はなく、その代わりに、第
二基板２について上で記述したものと同じ様式で、第一
基板２で作製され得、または両方で作製され得る。
第二基板３に作製される必要はなく、その代わりに、第
二基板２について上で記述したものと同じ様式で、第一
基板２で作製され得、または両方で作製され得る。
【００４７】これらの基板に適切な材料には、ガラス、
セラミック、シリコン、高密度重合体、プラスチック、
フォトレジスト、金属などが挙げられる。事実、これら
の基板に使用される材料は、内部空間４および出口手段
７を作製するために、上で言及した様式で、材料をエッ
チング、機械加工または堆積することを可能とするに適
切である必要がある。
セラミック、シリコン、高密度重合体、プラスチック、
フォトレジスト、金属などが挙げられる。事実、これら
の基板に使用される材料は、内部空間４および出口手段
７を作製するために、上で言及した様式で、材料をエッ
チング、機械加工または堆積することを可能とするに適
切である必要がある。
【００４８】別の好ましい実施形態では、図６で示すよ
うに、この液滴スプレーデバイスは、実質的に円形であ
り、例えば、２つの円形ウエハ、またはコンパクトディ
スクを製造するのに通常使用される２枚のディスクを使
用することにより製作され得、これらは、上で説明した
ように適切に機械加工され、必要に応じて、被覆され、
互いに適切に結合される。
うに、この液滴スプレーデバイスは、実質的に円形であ
り、例えば、２つの円形ウエハ、またはコンパクトディ
スクを製造するのに通常使用される２枚のディスクを使
用することにより製作され得、これらは、上で説明した
ように適切に機械加工され、必要に応じて、被覆され、
互いに適切に結合される。
【００４９】この実施形態および他の実施形態は、１個
以上の空間４を備え得、各々は、分配されるべき液状物
質を含む。各空間は、同一または異なる液状物質を含み
得る。もちろん、このような場合、制御コマンドの関数
として、該数個の異なる液状物質を個々にまたは一緒に
活性化するために、対応する数の振動要素またはアクチ
ュエータが使用される。このようにして、これらの液状
物質の組合せにより形成されたスプレーが発射され得
る。このような実施形態は、人（例えば、適切な様式で
匂いを誘発した映画を見ている人、ある種の製品の匂い
を嗅ぐ買い物客または顧客など）に匂いを供給するのに
使用され得る。
以上の空間４を備え得、各々は、分配されるべき液状物
質を含む。各空間は、同一または異なる液状物質を含み
得る。もちろん、このような場合、制御コマンドの関数
として、該数個の異なる液状物質を個々にまたは一緒に
活性化するために、対応する数の振動要素またはアクチ
ュエータが使用される。このようにして、これらの液状
物質の組合せにより形成されたスプレーが発射され得
る。このような実施形態は、人（例えば、適切な様式で
匂いを誘発した映画を見ている人、ある種の製品の匂い
を嗅ぐ買い物客または顧客など）に匂いを供給するのに
使用され得る。
【００５０】このデバイスおよび先に記述した小型の円
形版はまた、もちろん、他の材料（例えば、金属、フォ
トレジストなど）で実現され得る。
形版はまた、もちろん、他の材料（例えば、金属、フォ
トレジストなど）で実現され得る。
【００５１】図７Ａおよび７Ｂは、それぞれ、本発明に
よる液滴スプレーデバイスの改変物を示し、この場合、
その入口チャネルは、上で示したように、第一基板２で
はなく第二基板３に設けられている。実際、図７Ａで示
すように、入口チャネル１６は、外部容器を空間４に連
結するために、第二基板３の薄い部分を横切って、設け
られている。有利なことに、さらに、緩衝容量（図示せ
ず）が設けられ得、これは、緩衝チャネル１７により、
内部空間４に連結される。緩衝チャネル１７は、パッシ
ブバルブであり、これは、この液状物質を、この緩衝空
間から内部空間へと移動させる。これを、本出願人名義
の同時係属中の欧州特許出願番号０１１０３ ６５３．
０で説明されているものと類似の様式で、行い得る。こ
の内部空間の全容量は、次いで、空間４の容量および緩
衝空間の容量に対応する。有利なことに、緩衝チャネル
はまた、この入口チャネルと比べて、この基板の反対端
で、第二基板３の薄い部分を横切る。
よる液滴スプレーデバイスの改変物を示し、この場合、
その入口チャネルは、上で示したように、第一基板２で
はなく第二基板３に設けられている。実際、図７Ａで示
すように、入口チャネル１６は、外部容器を空間４に連
結するために、第二基板３の薄い部分を横切って、設け
られている。有利なことに、さらに、緩衝容量（図示せ
ず）が設けられ得、これは、緩衝チャネル１７により、
内部空間４に連結される。緩衝チャネル１７は、パッシ
ブバルブであり、これは、この液状物質を、この緩衝空
間から内部空間へと移動させる。これを、本出願人名義
の同時係属中の欧州特許出願番号０１１０３ ６５３．
０で説明されているものと類似の様式で、行い得る。こ
の内部空間の全容量は、次いで、空間４の容量および緩
衝空間の容量に対応する。有利なことに、緩衝チャネル
はまた、この入口チャネルと比べて、この基板の反対端
で、第二基板３の薄い部分を横切る。
【００５２】他の改変物では、図７Ｂで示すように、中
心に配置された入口チャネル２７が設けられ、これは、
第二基板３を横切って、その外部容器を内部空間４に連
結する。
心に配置された入口チャネル２７が設けられ、これは、
第二基板３を横切って、その外部容器を内部空間４に連
結する。
【００５３】さらに好ましい実施形態は、図８で示され
ている。この実施形態では、このハウジングは、１枚の
基板（この例では、第二基板３）だけからなり、ここ
で、出口手段７は、上で説明した様式で、配置されてい
る。圧電素子５と第二基板３との間には、箔１０のシー
トまたはリングが設けられている。この箔１０がシート
形状である場合には、空間４および出口手段７の両方を
密封し、それゆえ、第一基板１の代わりをする。この箔
１０がリング形状である場合には、少なくとも、出口手
段７を密封し、これに対して、振動要素５が、空間４を
密封する。
ている。この実施形態では、このハウジングは、１枚の
基板（この例では、第二基板３）だけからなり、ここ
で、出口手段７は、上で説明した様式で、配置されてい
る。圧電素子５と第二基板３との間には、箔１０のシー
トまたはリングが設けられている。この箔１０がシート
形状である場合には、空間４および出口手段７の両方を
密封し、それゆえ、第一基板１の代わりをする。この箔
１０がリング形状である場合には、少なくとも、出口手
段７を密封し、これに対して、振動要素５が、空間４を
密封する。
【００５４】本発明は、液状物質を噴霧する液滴スプレ
ーデバイスに関し、該デバイスは、ハウジングを備え、
該ハウジングは、第一基板、第二基板、および該液状物
質を収容するための空間を備え、該第二基板は、該第一
基板上に重ね合わされ、そして該空間は、該第一および
第二基板で囲まれている。該第一または第二基板の少な
くとも一方には、出口手段が配置され、これは、少なく
とも１個の出口ノズル（１９）および少なくとも１個の
排出チャネル（２０）を含み、該排出チャネルは、該空
間（１２）を、各出口ノズル（１９）に連結する。該出
口ノズル（１９）を通るスプレーとして該液状物質を噴
出するために、該空間（１２）内の液体を振動させるよ
うに、振動要素（１８）が配置されている。
ーデバイスに関し、該デバイスは、ハウジングを備え、
該ハウジングは、第一基板、第二基板、および該液状物
質を収容するための空間を備え、該第二基板は、該第一
基板上に重ね合わされ、そして該空間は、該第一および
第二基板で囲まれている。該第一または第二基板の少な
くとも一方には、出口手段が配置され、これは、少なく
とも１個の出口ノズル（１９）および少なくとも１個の
排出チャネル（２０）を含み、該排出チャネルは、該空
間（１２）を、各出口ノズル（１９）に連結する。該出
口ノズル（１９）を通るスプレーとして該液状物質を噴
出するために、該空間（１２）内の液体を振動させるよ
うに、振動要素（１８）が配置されている。
【００５５】本発明によれば、各排出チャネル（２０）
は、第一部分（２０ａ）、第二部分（２０ｂ）および第
三部分を有し、該第一部分は、該空間（１２）に隣接し
て配置され、そして直状の側壁を有し、該第三部分もま
た、直状の側壁を有し、該第一部分の幅は、該第三部分
の幅より大きく、該第二部分は、該排出チャネルの幅が
該第一部分の幅から該第三部分の幅へと段々と変わるよ
うに、該第一部分を該第三部分に連結する。
は、第一部分（２０ａ）、第二部分（２０ｂ）および第
三部分を有し、該第一部分は、該空間（１２）に隣接し
て配置され、そして直状の側壁を有し、該第三部分もま
た、直状の側壁を有し、該第一部分の幅は、該第三部分
の幅より大きく、該第二部分は、該排出チャネルの幅が
該第一部分の幅から該第三部分の幅へと段々と変わるよ
うに、該第一部分を該第三部分に連結する。
【００５６】本発明の好ましい実施形態を記述したが、
現在、その概念を含む他の実施形態が使用され得ること
は、当業者に明らかとなる。従って、本発明は、開示し
た実施形態に限定されるべきではなく、むしろ、添付の
特許請求の範囲でのみ限定されるべきであると思われ
る。
現在、その概念を含む他の実施形態が使用され得ること
は、当業者に明らかとなる。従って、本発明は、開示し
た実施形態に限定されるべきではなく、むしろ、添付の
特許請求の範囲でのみ限定されるべきであると思われ
る。
【００５７】例えば、同じ液滴スプレーデバイスは、呼
吸器療法用の医薬品を噴霧するのに使用され得るだけで
なく、一般に、例えば、水性またはアルコール性または
他の液状物質を使用して、異なる物理化学的組成物を噴
霧するのに使用され得る。
吸器療法用の医薬品を噴霧するのに使用され得るだけで
なく、一般に、例えば、水性またはアルコール性または
他の液状物質を使用して、異なる物理化学的組成物を噴
霧するのに使用され得る。
【００５８】
【発明の効果】本発明によって、ケルビン効果を考慮に
入れることができる液滴スプレーデバイスが提供され
る。
入れることができる液滴スプレーデバイスが提供され
る。
【図１】図１は、本発明による液滴スプレーデバイスの
第一実施形態の概略断面図である。
第一実施形態の概略断面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、第一基板が透明である図１の液滴
スプレーデバイスの概略上面図を示す。
スプレーデバイスの概略上面図を示す。
【図２Ｂ】図２Ｂは、図１の液滴スプレーデバイスの概
略側面図を示す。
略側面図を示す。
【図３Ａ】図３Ａは、そこに出口手段を備えた第二基板
の概略詳細断面図を示す。
の概略詳細断面図を示す。
【図３Ｂ】図３Ｂは、そこに出口手段を備えた第二基板
の概略詳細断面図を示す。
の概略詳細断面図を示す。
【図３Ｃ】図３Ｃは、そこに出口手段を備えた第二基板
の概略詳細断面図を示す。
の概略詳細断面図を示す。
【図４】図４は、作動中の本発明による液滴スプレーデ
バイスを示す。
バイスを示す。
【図５Ａ】図５Ａは、本発明による液滴スプレーデバイ
スの第一および第二基板の両方に出口手段が設けられた
代替物の概略断面図を示す。
スの第一および第二基板の両方に出口手段が設けられた
代替物の概略断面図を示す。
【図５Ｂ】図５Ｂは、本発明による液滴スプレーデバイ
スの第一および第二基板の両方に出口手段が設けられた
代替物の概略断面図を示す。
スの第一および第二基板の両方に出口手段が設けられた
代替物の概略断面図を示す。
【図６】図６は、本発明による円形液滴スプレーデバイ
スの別の好ましい実施形態を示す。
スの別の好ましい実施形態を示す。
【図７Ａ】図７Ａは、第二基板に入口チャネルを設けた
本発明による液滴スプレーデバイスの改変物を示す。
本発明による液滴スプレーデバイスの改変物を示す。
【図７Ｂ】図７Ｂは、第二基板に入口チャネルを設けた
本発明による液滴スプレーデバイスの改変物を示す。
本発明による液滴スプレーデバイスの改変物を示す。
【図８Ａ】図８Ａは、本発明による液滴スプレーデバイ
スの別の好ましい実施形態の概略断面図を示す。
スの別の好ましい実施形態の概略断面図を示す。
【図８Ｂ】図８Ｂは、本発明による液滴スプレーデバイ
スの別の好ましい実施形態の概略断面図を示す。
スの別の好ましい実施形態の概略断面図を示す。
【図９】図９は、本発明による液滴スプレーデバイスの
さらなる実施形態を示す。
さらなる実施形態を示す。
１ 液滴スプレーデバイス
２ 第一基板
３ 第二基板
４ 空間
５ 振動要素
６ 液状物質を供給する手段
７ 出口手段
８ 排出チャネル
９ 出口ノズル
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 ボウ フ
スイス国 セーアッシュ−2034 プシュ
ー， アヴニュ フォルナション 17ベー
Ｆターム(参考） 4D074 AA03 BB02 BB06 DD02 DD05
DD13 DD21 DD32 FF01
4F033 BA03 DA05 EA01 FA01 FA03
NA01
Claims (12)
- 【請求項１】 液状物質を噴霧する液滴スプレーデバイ
ス（１）であって、該デバイスは、以下：ハウジングで
あって、該ハウジングは、第一基板（２）、第二基板
（３）、および該液状物質を収容するための空間（４）
を備え、該第二基板は、該第一基板上に重ね合わされ、
そして該空間は、該第一および第二基板で囲まれてい
る、ハウジング；該空間（４）に該液状物質を供給する
手段（６、１６、２６）；出口手段（７）であって、該
出口手段は、該第一および第二基板（２、３）の少なく
とも一方に配置され、そして少なくとも１個の出口ノズ
ル（９）および少なくとも１個の排出チャネル（８）を
含み、該排出チャネルは、該空間（４）を、該少なくと
も１個の出口ノズル（９）の各々に連結する、出口手段
（７）；ならびに振動要素（５）であって、該振動要素
は、該出口ノズル（９）を通してスプレーとして該液状
物質を噴出するために、該空間（４）内の液体を振動さ
せるように配置されている、振動要素（５）、を備え、
ここで、 各排出チャネル（８）は、第一部分（８ａ）、第二部分
（８ｂ）および第三部分（８ｃ）を有し、該第一部分
（８ａ）は、該空間（４）に隣接して配置され、そして
直状の側壁を有し、該第三部分（８ｃ）もまた、直状の
側壁を有し、そして該第一部分および該出口ノズル
（９）に隣接して配置され、該第一部分の幅（ｄ１）
は、該第三部分の幅（ｄ２）より大きく、該第二部分
（８ｂ）は、該排出チャネルの幅が該第一部分の幅（ｄ
１）から該第三部分の幅（ｄ２）へと段々と変わるよう
に、該第一部分（８ａ）を該第三部分（８ｃ）に連結す
ることを特徴とする、デバイス。 - 【請求項２】 液状物質を噴霧する液滴スプレーデバイ
ス（１）であって、該デバイスは、以下：ハウジングで
あって、該ハウジングは、第一基板（２）、第二基板
（３）、および該液状物質を収容するための空間（４）
を備え、該第二基板は、該第一基板上に重ね合わされ、
そして該空間は、該第一および第二基板で囲まれてい
る、ハウジング；該空間（４）に該液状物質を供給する
手段（６、１６、２６）；出口手段（７）であって、該
出口手段は、該第一および第二基板（２、３）の少なく
とも一方に配置され、そして少なくとも１個の出口ノズ
ル（９）および少なくとも１個の排出チャネル（２８）
を含み、該排出チャネルは、該空間（４）を、該少なく
とも１個の出口ノズル（９）の各々に連結する、出口手
段（７）；ならびに振動要素（５）であって、該振動要
素は、該出口ノズル（９）を通してスプレーとして該液
状物質を噴出するために、該空間（４）内の液体を振動
させるように配置されている、振動要素（５）、を備
え、ここで、 各排出チャネル（２８）は、段差形状であり、第一部分
（２８ａ）および第二部分（２８ｃ）を有し、該第一部
分（２８ａ）は、該空間（４）に隣接して配置され、そ
して直状の側壁を有し、該第二部分（２８ｃ）もまた、
直状の側壁を有し、そして該第一部分および該出口ノズ
ル（９）に隣接して配置され、該第一部分（２８ａ）の
幅（ｄ１）は、該第二部分（２８ｃ）の幅（ｄ２）より
大きいことを特徴とする、デバイス。 - 【請求項３】 前記ハウジングが、円形であり、そして
前記空間が、数個の個々の空間（４）からなり、ここ
で、数個の振動要素（５）が設けられ、各々が、該空間
（４）の１個内の液状物質を振動させるように配置され
ている、請求項１または２に記載の液滴スプレーデバイ
ス。 - 【請求項４】 前記第一および第二基板（２、３）が、
適切に被覆し貼り合わせたコンパクトディスク材料から
製造される、請求項３に記載の液滴スプレーデバイス。 - 【請求項５】 前記第一および第二基板（２、３）が、
金属もしくは高分子基板または他のウエハ様材料から製
造され、その上に、適切な堆積法により、前記空間
（４）（単数または複数）および出口手段（７）を設け
るのに必要な構造体が堆積されている、請求項１、２ま
たは３に記載の液滴スプレーデバイス。 - 【請求項６】 前記出口手段（７、８、９）が、前記第
一基板（２）に配置されている、請求項１、２、３また
は４に記載の液滴スプレーデバイス。 - 【請求項７】 前記出口手段（７、８、９）が、前記第
二基板（３）に配置されている、請求項１、２、３また
は４に記載の液滴スプレーデバイス。 - 【請求項８】 前記出口手段（７、８、９）が、前記第
一基板および前記第二基板（２、３）に配置されてい
る、請求項１、２、３または４に記載の液滴スプレーデ
バイス。 - 【請求項９】 前記第一基板（２）が、前記振動要素
（５）と前記第二基板（３）との間に設けられた箔（１
０）により構成される、請求項１〜８のいずれか１項に
記載の液滴スプレーデバイス。 - 【請求項１０】 前記液状物質を供給する前記手段
（６）が、前記第一基板（２）および前記振動要素
（５）を横切るように配置されている、請求項１〜８の
いずれか１項に記載の液滴スプレーデバイス。 - 【請求項１１】 前記液状物質を供給する前記手段（１
６、２６）が、前記第二基板（３）を横切るように配置
され、それにより、該液状物質を前記空間（４）に入れ
ることを可能にする、請求項１〜８のいずれか１項に記
載の液滴スプレーデバイス。 - 【請求項１２】 さらに、前記第二基板（３）に、パッ
シブバルブ（１７）が設けられ、ここで、前記空間
（４）が、内部容量および緩衝容量からなり、該内部容
量および該緩衝容量が、該パッシブバルブ（１７）によ
って互いに連結されている、請求項９に記載の液滴スプ
レーデバイス。
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