JP2003110009A

JP2003110009A - Sample holder

Info

Publication number: JP2003110009A
Application number: JP2001300971A
Authority: JP
Inventors: Makoto Takahashi; 誠高橋
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 2001-09-28
Filing date: 2001-09-28
Publication date: 2003-04-11
Anticipated expiration: 2021-09-28
Also published as: JP4132764B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sample holder capable of decreasing the number of works or a work space necessary for holding a sample on a sample stage. SOLUTION: The sample holder detachably supports a pallet (2) for detachably holding the sample (1) on the sample stage (21). The pallet (2) includes a sample holding member (4) movable between a sample holding position and a sample releasing position, urging means (9) for urging the sample holding member (4), and a sample release engaging part (7) provided in the sample holding member (4). The sample stage (21) includes a pallet holding member (24) movable between a pallet holding position and a pallet releasing position, urging means (26) for urging the pallet holding member (24), a pallet release engaging part provided in the pallet holding member (24), and a lever (32) having an operating part for samples and an operating part for pallets.

Description

【発明の詳細な説明】【０００１】【発明の属する技術分野】本発明は、電子ビーム装置や
イオンビーム装置等の荷電粒子線装置により描画、検
査、観察を行う乾板やウエハ（シリコンウエハ）などの
試料を保持するための試料保持装置に関する。【０００２】【従来の技術】半導体製作などに用いる高精度なレチク
ル（半導体デバイスの製作工程でウエハ上に回路パター
ンを露光するために使用されるフォトマスク）を描画す
る電子ビーム装置やイオンビーム装置などでは、乾板な
どの試料を保持する試料保持装置が設けられている。そ
して、従来の試料保持装置は、異なる大きさの乾板など
の試料に対応するためにパレットと試料ステージとから
なり、一旦、試料をパレットに支持し、この試料を支持
しているパレットを試料ステージに支持させている。図
７は従来の試料保持装置のパレットの説明図で、図７Ａ
がパレットの平面図、図７Ｂが図７ＡのＶIIＢ−ＶII
Ｂ断面図である。図８は従来のパレットの底面図で、図
７Ｂの矢印ＶIIIから見た図である。図９は従来の試料
保持装置の試料ステージの説明図で、図９Ａが試料ステ
ージの一部切欠き平面図、図９Ｂが図９Ａの IＸＢ−I
ＸＢ断面図である。なお、図９Ａにおいて、パレットは
二点鎖線で図示されている。【０００３】図７および図８において、試料であるガラ
ス乾板０１が着脱可能に装着されるパレット０２は板状
の本体０２ａを有しており、パレット０２上面は前記試
料であるガラス乾板０１の上面を位置決めする基準面０
２ｂとして形成されている。パレット０２の中央部に開
口０２ｃが設けられているとともに、この開口０２ｃの
周縁部には前記基準面０２ｂよりも１段低い凹部底面０
２ｄが形成されている。前記パレット基準面０２ｂに、
３個の試料規制板０３が凹部底面０２ｄ側に張り出して
取り付けられている。この試料規制板０３が、ガラス乾
板０１の上方への移動を規制しており、パレット０２に
取り付けられたガラス乾板０１の上面はパレット基準面
０２ｂと略面一となる。この各試料規制板０３に対向し
て乾板固定ピン０４が上下方向に移動可能に設けられて
いる。各乾板固定ピン０４は固定ピン支持板０６に一体
に形成されており、この固定ピン支持板０６に係合フッ
ク０７が設けられている。また、パレット本体０２ａの
下側には、各試料規制板０３毎にスプリング受０８が設
けられ、このスプリング受０８に設けられているスプリ
ング０９が乾板固定ピン０４を上方に常時付勢してい
る。【０００４】図７および図８において、試料であるガラ
ス乾板０１をパレット０２に装填する際には、前記パレ
ット０２を治具Ｇ１上に固定支持する。治具Ｇ１の下方
には上下動可能な乾板固定ピン作動治具Ｇ２が配置され
ている。この乾板固定ピン作動治具Ｇ２は、前記係合フ
ック０７に係合可能な解除フック０１２、係脱機構０１
３および上下機構０１４を具備している。前記上下機構
０１４により解除フック０１２を上昇させた後に、係脱
機構０１３により解除フック０１２を固定ピン支持板０
６の係合フック０７に係合させる。この係合後、上下機
構０１４により解除フック０１２を下降させる。この解
除フック０１２の下降にともなって、固定ピン支持板０
６がスプリング０９の付勢力に抗して下降し、固定ピン
支持板０６の乾板固定ピン０４が下方に移動する。する
と、試料規制板０３と乾板固定ピン０４との間に隙間が
開く。この隙間に、ガラス乾板０１を凹部底面０２ｄに
沿って挿入して入れる。ガラス乾板０１が所定の位置に
設置されると、上下機構０１４により解除フック０１２
を上昇させる。この上下機構０１４の上昇にともなっ
て、固定ピン支持板０６がスプリング０９の付勢力によ
り上昇する。そして、乾板固定ピン０４がガラス乾板０
１を試料規制板０３に押しつけ、乾板固定ピン０４と試
料規制板０３とでガラス乾板０１を挟持して保持する状
態となる。この様にしてガラス乾板０１が保持される
と、係脱機構０１３が作動して解除フック０１２と係合
フック０７との係合を離脱させる。その後、上下機構０
１４により解除フック０１２が下降する。これで、パレ
ット０２にガラス乾板０１が装填される。【０００５】一方、ガラス乾板０１の装填を解除する際
には、ガラス乾板０１が装填されているパレット０２が
治具Ｇ１上に固定された状態で、上下機構０１４により
解除フック０１２を上昇させた後に、係脱機構０１３に
より解除フック０１２を固定ピン支持板０６の係合フッ
ク０７に係合させる。この係合後、上下機構０１４によ
り解除フック０１２を下降させる。この解除フック０１
２の下降にともなって、固定ピン支持板０６がスプリン
グ０９の付勢力に抗して下降し、固定ピン支持板０６の
乾板固定ピン０４が下方に移動する。すると、試料規制
板０３と乾板固定ピン０４とによるガラス乾板０１の挟
持が解除するので、ガラス乾板０１を凹部底面０２ｄに
沿って取り出す。ガラス乾板０１が取り出されると、上
下機構０１４により解除フック０１２を上昇させる。こ
の上下機構０１４の上昇にともなって、固定ピン支持板
０６がスプリング０９の付勢力により上昇する。その
後、係脱機構０１３により解除フック０１２と係合フッ
ク０７との係合を離脱させ、ついで、上下機構０１４に
より解除フック０１２が下降する。これで、パレット０
２からガラス乾板０１を取り出す作業が終了する。【０００６】前述のようにして、ガラス乾板０１をパレ
ット０２に装填すると、このパレット０２を試料ステー
ジ０２１に搬送し、この試料ステージ０２１にパレット
０２を着脱自在に取り付ける。この試料ステージ０２１
のステージ本体０２２は、上面および正面が開口してい
るとともに、内部にパレット０２を収納するパレット収
納空間が形成されている。そして、パレット０２を試料
ステージ０２１に取り付ける際には、パレット０２はス
テージ本体０２２の前面開口からパレット収納空間に挿
入される。ステージ本体０２２の左右両側壁の上部には
パレット規制板０２３が計３個、パレット収納空間側に
張り出して設けられている。このパレット規制板０２３
が、パレット０２の上方への移動を規制している。各パ
レット規制板０２３の下方に対向して、パレット固定ピ
ン０２４が上下方向に移動可能に設けられている。各パ
レット固定ピン０２４はスプリング０２６により常時上
方に付勢されている。パレット規制板０２３およびパレ
ット固定ピン０２４は、試料ステージ０２１の手前右
側、奥右側および左中央の計３か所に設けられている。【０００７】パレット固定ピン０２４は、ピン駆動機構
により上下方向に駆動される。ピン駆動機構は、パレッ
ト固定ピン０２４のフランジ部に上端が係脱可能なＬ字
レバー０３２、このＬ字レバー０３２の下端に一端が揺
動自在に連結されているロッド０３３、このロッド０３
３の他端が揺動自在に連結されているディスク０３４お
よび、ディスク０３４に固定されているアーム０３６を
具備している。このアーム０３６の端部は、ステージ本
体０２２の外側に延在している。そして、ステージ本体
０２２には上部が二股に形成された支持柱０３８が立設
しており、この支持柱０３８の前記二股の上端部には水
平軸０３９が設けられている。前記Ｌ字レバー０３２は
逆Ｌ字状に配置されているとともにその中央部が前記水
平軸０３９を中心として回動自在に取り付けられてお
り、ロッド０３３が内側に移動すると、Ｌ字レバー０３
２が水平軸０３９を中心として回動する。このとき、Ｌ
字レバー０３２の上端の二股部が下方に変位し、Ｌ字レ
バー０３２の上端の二股部がパレット固定ピン０２４の
フランジ部に係合してパレット固定ピン０２４を下降さ
せる。【０００８】また、前記ディスク０３４は前後一対設け
られているとともに、上壁、前壁、後壁および下壁を有
するケース０４０内に収容されている。このケース０４
０は、ステージ本体０２２に固定されているとともに、
前後壁が円弧状をしている。そして、各ディスク０３４
はその中心部が、ケース０４０内に立設する垂直軸０４
１に回転可能に取り付けられている。手前右側および奥
右側のパレット固定ピン０２４を駆動するロッド０３３
は各々、手前および奥のディスク０３４にそれぞれ直接
連結されている。また、ディスク０３４同士はＩ字状レ
バー０４３で連結されている。各ディスク０３４のＩ字
状レバー０４３との連結部は、このＩ字状レバー０４３
の端部に、Ｉ字状レバー０４３の長手方向に摺動可能に
接続されている。そして、Ｉ字状レバー０４３の中心部
に、左中央のパレット固定ピン０２４を駆動するロッド
０３３が連結されている。【０００９】そして、試料ステージ０２１にパレット０
２を装填する際には、図示しないアーム駆動機構がアー
ム０３６の先端を水平方向に移動させて、図９Ａにおい
て実線で図示されている開いた位置にある一対のアーム
０３６を、二点鎖線で図示されている閉じた位置に回動
する。すると、手前側のディスク０３４は時計方向に回
動し、一方、奥側のディスク０３４は反時計方向に回動
する。このディスク０３４の回動に伴って、右側のロッ
ド０３３は左側に、一方、左側のロッド０３３は右側に
移動する。すると、Ｌ字レバー０３２の下端が引っ張ら
れ、水平軸０３９を回転軸としてＬ字レバー０３２が回
動する。このＬ字レバー０３２の回動により、Ｌ字レバ
ー０３２の上端が下方に変位し、パレット固定ピン０２
４をスプリング０２６の付勢力に抗して押し下げる。【００１０】パレット固定ピン０２４が下側に変位した
状態で、パレット０２をパレット規制板０２３とパレッ
ト固定ピン０２４との間に挿入する。パレット０２の挿
入後、アーム０３６を開いて実線で図示する状態にす
る。すると、手前側のディスク０３４は反時計方向に回
動し、一方、奥側のディスク０３４は時計方向に回動す
る。このディスク０３４の回動に伴って、右側のロッド
０３３は右側に、一方、左側のロッド０３３は左側に移
動し、Ｌ字レバー０３２の下端を押す。Ｌ字レバー０３
２は水平軸０３９を回転軸として回動し、Ｌ字レバー０
３２の上端が上昇する。それにともなって、スプリング
０２６の付勢力により、パレット固定ピン０２４が上昇
し、パレット０２をパレット規制板０２３に押し当て
る。この様にして、パレット０２はパレット規制板０２
３およびパレット固定ピン０２４で挟持されて試料ステ
ージ０２１に保持される。【００１１】一方、パレット０２の装填を解除する際に
は、前述と同様にしてアーム０３６を操作して、パレッ
ト固定ピン０２４を押し下げて、パレット規制板０２３
とパレット固定ピン０２４とによるパレット０２の挟持
を解除し、パレット０２を取り出す。【００１２】【発明が解決しようとする課題】前記従来の技術では、
１枚のガラス乾板０１に対して１個のパレット０２を用
いて試料ステージ０２１に装填しており、同一形状でか
つ同一大きさのガラス乾板０１を何枚か処理したい場合
にも、その枚数だけパレット０２が必要であった。そし
て、パレット０２は同じ構造の場合でも、パレット０２
毎のでき上がりに違いがあり、その差がガラス乾板０１
毎に異なった歪みを生じさせることがある。そのため、
高精度な描画ができなかった。【００１３】また、ガラス乾板０１を試料ステージ０２
１に保持する際には、前述の様に、まず初めに、上下機
構０１４で乾板固定ピン０４を上下動させて、ガラス乾
板０１をパレット０２に装填し、ついで、ガラス乾板０
１の装填されたパレット０２を試料ステージ０２１の設
置箇所まで搬送し、その後、アーム０３６を操作して、
パレット固定ピン０２４の上下動によりパレット０２を
試料ステージ０２１に取り付ける。特に、上下動作によ
る固定が乾板固定ピン０４およびパレット固定ピン０２
４により２回行われるため、ガラス乾板０１にゴミなど
が付く機会が多く、描画した材料に不良が生じることが
ある。また、ガラス乾板０１のパレット０２への装填作
業、パレット０２の搬送作業、および、パレット０２の
試料ステージ０２１への取付作業などの多数の作業が必
要となるとともに、広い作業スペースが必要となる。【００１４】本発明は、前記問題点に鑑み、次の記載内
容（Ｏ01）を技術的課題とする。（Ｏ01）試料を試料ス
テージに保持させるのに必要な作業数や作業空間を減少
させることができる試料保持装置を提供すること。【００１５】【課題を解決するための手段】本発明の試料保持装置
は、試料（１）を着脱自在に支持するパレット（２）を
試料ステージ（２１）に着脱自在に支持しており、前記
パレット（２）は、前記試料（１）を保持する試料保持
位置と試料（１）の着脱を可能とする試料解除位置との
間を移動可能な試料保持部材（４）と、この試料保持部
材（４）を前記試料保持位置に付勢する付勢手段（９）
と、前記試料保持部材（４）と一体に設けられている試
料開放用係合部（７）とを具備し、前記試料ステージ
（２１）は、前記パレット（２）を保持するパレット保
持位置とパレット（２）の着脱を可能とするパレット解
除位置との間を移動可能なパレット保持部材（２４）
と、このパレット保持部材（２４）を前記パレット保持
位置に付勢する付勢手段（２６）と、前記パレット保持
部材（２４）と一体に設けられているパレット開放用係
合部と、前記試料開放用係合部（７）に係合する試料用
作動部および前記パレット開放用係合部に係合するパレ
ット用作動部を有するレバー（３２）とを具備し、前記
レバー（３２）は、前記試料用作動部が前記試料開放用
係合部（７）に係合して試料保持部材（４）を前記試料
解除位置に移動させる試料開放位置と、前記パレット用
作動部がパレット開放用係合部に係合してパレット保持
部材（２４）を前記パレット解除位置に移動させるパレ
ット開放位置との間を移動可能である。【００１６】この様に構成されている試料保持装置で、
試料（１）を交換する際には、レバー（３２）を試料開
放位置に移動させて、このレバー（３２）の試料用作動
部を試料開放用係合部（７）に係合させ試料保持部材
（４）を試料解除位置に移動させる。試料保持部材
（４）が試料解除位置になると、保持されていた試料
（１）を取り出して、新しい試料（１）を装着する。試
料（１）の装着後、レバー（３２）を試料開放位置とパ
レット開放位置との間の中立位置に戻すと、試料保持部
材（４）が付勢手段（９）により試料保持位置に付勢さ
れ、試料（１）が保持される。【００１７】また、パレット（２）を交換する際には、
レバー（３２）をパレット開放位置に移動させて、この
レバー（３２）のパレット用作動部をパレット開放用係
合部に係合させパレット保持部材（２４）をパレット解
除位置に移動させる。パレット保持部材（２４）がパレ
ット解除位置になると、保持されていたパレット（２）
を取り出して、新しいパレット（２）を装着する。パレ
ット（２）の装着後、レバー（３２）を試料開放位置と
パレット開放位置との間の中立位置に戻すと、パレット
保持部材（２４）が付勢手段（２６）によりパレット保
持位置に付勢され、パレット（２）が保持される。【００１８】【発明の実施の形態】（実施例）次に、図面により本発
明の実施の形態の具体例（実施例）を説明する。（実施例１）図１は本発明の試料保持装置の実施例１の
パレットの説明図で、図１Ａがパレットの平面図、図１
Ｂが図１Ａの IＢ−IＢ断面図である。図２はパレット
の底面図で、図１Ｂの矢印IIから見た図である。図３は
試料保持装置の試料ステージの説明図で、図３Ａが試料
ステージの一部切欠き平面図、図３Ｂが図３ＡのIIIＢ
−IIIＢ断面図である。図１ないし図３に示す本発明の
実施例１の説明において、前記図７ないし図９に示す従
来の試料保持装置の構成要素と同一の構成要素には、前
記図７ないし図９で使用した符号の最初の０を除いた符
号を付して、その詳細な説明は省略する。【００１９】前記図７および図８に示す従来の試料保持
装置のパレット０２の係合フック０７が内側に向いてい
るのに対して、図１および図２に図示する実施例１の試
料保持装置のパレット２の試料開放用係合部としての係
合フック７は外側に向いている。また、図９に示す従来
の試料保持装置の試料ステージ０２１ではＬ字レバー０
３２を使用していたのに対して、図３に図示する実施例
１の試料保持装置の試料ステージ２１では、パレット保
持部材としてのパレット固定ピン２４を駆動するレバー
が、Ｔ字レバー３２である。そして、Ｔ字レバー３２の
外側の端部（パレット用作動部）が、従来のＬ字レバー
０３２と同様に二股状に形成されてパレット固定ピン２
４のフランジ部（パレット開放用係合部）に係脱可能に
なっており、Ｔ字レバー３２の外側の端部が下方に移動
してパレット開放位置になると、パレット固定ピン２４
のフランジ部に係合してパレット固定ピン２４を下側の
パレット解除位置に変位させる。一方、Ｔ字レバー３２
の外側の端部が上方に移動すると、パレット固定ピン２
４は付勢手段であるスプリング２６の付勢力により上昇
しパレット保持位置になる。【００２０】また、Ｔ字レバー３２の内側の端部（試料
用作動部）がパレット２の係合フック７に係脱可能にな
っており、Ｔ字レバー３２の内側の端部が下方に移動し
て試料開放位置になると、係合フック７に係合して試料
保持部材としての乾板固定ピン４を下側に変位させて試
料解除位置にし、一方、Ｔ字レバー３２の内側の端部が
上方に移動すると、乾板固定ピン４は付勢手段であるス
プリング９の付勢力により上昇し試料保持位置になる。
そして、図３Ａにおいて、実施例１のアーム３６は、中
立位置が実線で図示されており、この中立位置よりも開
いた状態の試料用開放位置と前記中立位置よりも閉じた
状態のパレット用開放位置との間を移動可能となってい
る。【００２１】実施例１においては、図示しない駆動機構
が、アーム３６の先端を水平方向に移動させて、アーム
３６を操作することにより、ガラス乾板１またはパレッ
ト２を選択的に試料ステージ２１に着脱することができ
る。同一形状で、かつ、同一大きさのガラス乾板１を何
枚か処理したい場合には、図３Ａにおいて中立位置にあ
るアーム３６を開いて試料用開放位置に移動させる。す
ると、手前側のディスク３４は反時計方向に回動し、一
方、奥側のディスク３４は時計方向に回動する。このデ
ィスク３４の回動に伴って、右側のロッド３３は右側
に、一方、左側のロッド３３は左側に移動する。する
と、Ｔ字レバー３２の下端が押し出され、水平軸３９を
回転軸としてＴ字レバー３２が回動する。このＴ字レバ
ー３２の回動により、Ｔ字レバー３２の内側の端部が下
方に変位し、乾板固定ピン４をスプリング９の付勢力に
抗して押し下げる。乾板固定ピン４が下側に変位した状
態で、図示しない搬送機構が、装填されていたガラス乾
板１を取り出し、次のガラス乾板１を試料規制板３と乾
板固定ピン４との間に挿入する。ガラス乾板１の挿入
後、アーム３６を閉めて実線で図示する中立位置に移動
させる。すると、手前側のディスク３４は時計方向に回
動し、一方、奥側のディスク３４は反時計方向に回動す
る。このディスク３４の回動に伴って、右側のロッド３
３は左側に、一方、左側のロッド３３は右側に移動し、
Ｔ字レバー３２の下端を引っ張る。Ｔ字レバー３２は水
平軸３９を回転軸として回動し、Ｔ字レバー３２の内側
の端部が上昇する。それにともなって、スプリング９の
付勢力により、乾板固定ピン４が上昇し、ガラス乾板１
を試料規制板３に押し当てる。この様にして、ガラス乾
板１は試料規制板３および乾板固定ピン４で挟持されて
パレット２を介して試料ステージ２１に保持される。【００２２】ところで、形状や大きさの異なるガラス乾
板１を処理したい場合には、ガラス乾板１を保持するパ
レット２を、処理したいガラス乾板１の形状および大き
さに対応するパレット２と交換する。そして、パレット
２を交換する際には、図３Ａにおいて中立位置にあるア
ーム３６を閉じてパレット用開放位置に移動させる。す
ると、手前側のディスク３４は時計方向に回動し、一
方、奥側のディスク３４は反時計方向に回動する。この
ディスク３４の回動に伴って、右側のロッド３３は左側
に、一方、左側のロッド３３は右側に移動する。する
と、Ｔ字レバー３２の下端が引っ張られ、水平軸３９を
回転軸としてＴ字レバー３２が回動する。このＴ字レバ
ー３２の回動により、Ｔ字レバー３２の外側の端部が下
方に変位し、パレット固定ピン２４をスプリング２６の
付勢力に抗して押し下げる。パレット固定ピン２４が下
側に変位した状態で、前記搬送機構（図示しない）が、
装填されていたパレット２を取り出し、次のパレット２
をパレット規制板２３とパレット固定ピン２４との間に
挿入する。パレット２の挿入後、アーム３６を開いて実
線で図示する中立位置にする。すると、手前側のディス
ク３４は反時計方向に回動し、一方、奥側のディスク３
４は時計方向に回動する。このディスク３４の回動に伴
って、右側のロッド３３は右側に、一方、左側のロッド
３３は左側に移動し、Ｔ字レバー３２の下端を押し出
す。Ｔ字レバー３２は水平軸３９を回転軸として回動
し、Ｔ字レバー３２の外側の端部が上昇する。それにと
もなって、スプリング２６の付勢力により、パレット２
が上昇し、パレット２をパレット規制板２３に押し当て
る。この様にして、パレット２はパレット規制板２３お
よびパレット固定ピン２４で挟持されて試料ステージ２
１に保持される。【００２３】この様に、この実施例１では、アーム３６
を操作することにより、ガラス乾板１またはパレット２
を選択的に試料ステージ２１に着脱することができる。
したがって、同一形状でかつ同一大きさのガラス乾板１
を何枚か処理したい場合には、パレット２を取り外さな
いで、ガラス乾板１を交換することができる。そのた
め、ガラス乾板１を交換する際には、上下動作による固
定は乾板固定ピン４により１回のみ行われる。したがっ
て、ガラス乾板１にゴミなどが付着する機会が減少す
る。その結果、描画した材料に不良が生じることなどが
減少する。また、パレット２の搬送作業が減少し、作業
が軽減する。また、試料ステージ２１の設置場所で、パ
レット２だけでなく、ガラス乾板１も着脱することがで
きるので、作業スペースを削減することができる。【００２４】（実施例２）図４は実施例２の試料保持装
置の試料ステージの説明図で、図４Ａが試料ステージの
一部切欠き平面図、図４Ｂが図４Ａの IＶＢ−IＶＢ断
面図である。この実施例２の図４は、実施例１の図３に
対応している。なお、この実施例２の説明において、前
記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一符号
を付して、その詳細な説明は省略する。【００２５】実施例２の試料ステージ２１のＴ字レバー
３２は、実施例１のＴ字レバー３２と異なり、Ｔ字レバ
ー３２の内側端部および外側端部にローラ５１が設けら
れている。Ｔ字レバー３２の外側端部は二股状であり、
ローラ５１は二股部の２個の先端に各々設けられてい
る。一方、Ｔ字レバー３２の内側端部にはローラ５１は
１個設けられている。そして、Ｔ字レバー３２の内側端
部および外側端部は、ローラ５１を介して係合フック７
およびパレット固定ピン２４のフランジ部を下方に押圧
する。ところで、Ｔ字レバー３２が係合フック７やパレ
ット固定ピン２４を押圧する際に、実施例１において
は、Ｔ字レバー３２の端部が係合フック７やパレット固
定ピン２４に直接接触しているため、Ｔ字レバー３２か
ら係合フック７やパレット固定ピン２４に、垂直方向の
力だけではなく、水平方向の力が加わる。それに対し
て、実施例２においては、前述の様に、Ｔ字レバー３２
の端部がローラ５１を介して係合フック７やパレット固
定ピン２４に接触しているため、Ｔ字レバー３２から係
合フック７やパレット固定ピン２４に、垂直方向の力だ
けを加えることができる。したがって、係合フック７、
スプリング９、パレット固定ピン２４やスプリング２６
などに無用な力が加わることを極力防止することができ
る。他の構成および作用は、実施例１の試料保持装置と
略同じである。【００２６】（実施例３）図５は実施例３の試料保持装
置の試料ステージの説明図で、図５Ａが試料ステージの
一部切欠き平面図、図５Ｂが図５ＡのＶＢ−ＶＢ断面
図である。この実施例３の図５は、実施例１の図３に対
応している。なお、この実施例３の説明において、前記
実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一符号を
付して、その詳細な説明は省略する。【００２７】実施例３の試料ステージ２１では、実施例
１の試料ステージ２１と異なり、実施例１のアーム３６
およびディスク３４の代わりに、Ｔ字状のアーム５６が
用いられている。このアーム５６は、その頭の中央部が
垂直軸４１に回動自在に取り付けられ、かつ、その頭の
両側の端部が、実施例１のディスク３４の場合と同様に
して、各々ロッド３３およびＩ字状レバー４３に連結さ
れている。そして、Ｔ字状アーム５６の脚部が、実施例
１のアーム３６と同様な操作部となっている。他の構成
および作用は、実施例１の試料保持装置と略同じであ
る。【００２８】（実施例４）図６は実施例４および実施例
５の試料保持装置の試料ステージの説明図で、図６Ａは
実施例４の試料ステージの一部切欠き平面図、図６Ｂは
実施例５の試料ステージの一部切欠き平面図である。実
施例４の図６Ａは、実施例１の図３Ａに対応している。
なお、この実施例４の説明において、前記実施例１の構
成要素に対応する構成要素には同一符号を付して、その
詳細な説明は省略する。【００２９】実施例４の試料ステージ２１では、実施例
１の試料ステージ２１と異なり、実施例１のディスク３
４の代わりに、Ｉ字状のレバー６１が用いられている。
このレバー６１は、その中央部が垂直軸４１に回動自在
に取り付けられ、かつ、その両側の端部が、実施例１の
ディスク３４の場合と同様にして、各々ロッド３３およ
びＩ字状レバー４３に連結されている。また、実施例１
のアーム３６に代えて、Ｌ字状のアーム６２が設けられ
ている。このＬ字アーム６２はその角部が垂直軸６３に
回動自在に取り付けられている。この垂直軸６３はステ
ージ本体２２に立設している。垂直軸６３から外側に向
かって延びるＬ字アーム６２の第１アーム部６２ａが、
実施例１のアーム３６と同様な操作部となっている。一
方、Ｌ字アーム６２の第２アーム部６２ｂは、Ｌ字アー
ム６２の第１アーム部６２ａが操作された際に左側のロ
ッド３３を左右方向に移動すべく、左側のロッド３３に
連結されている。【００３０】この様に構成されている実施例４の試料保
持装置において、Ｌ字アーム６２が操作されると、左側
のロッド３３が左右方向に移動し、左側のＴ字レバー３
２を回動する。また、左側のロッド３３の移動に伴っ
て、Ｉ字状レバー４３が左右方向に移動し、レバー６１
が回動する。このレバー６１の回動により、右側のロッ
ド３３が左右方向に移動し、右側のＴ字レバー３２を回
動する。そして、Ｔ字レバー３２の回動により、係合フ
ック７やパレット固定ピン２４が作動する。他の構成お
よび作用は、実施例１の試料保持装置と略同じである。【００３１】（実施例５）実施例５の図６Ｂは、実施例
４の図６Ａに対応している。なお、この実施例５の説明
において、前記実施例４の構成要素に対応する構成要素
には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。【００３２】実施例５のＬ字アーム６２は、実施例４の
Ｌ字アーム６２と異なり、垂直軸６３で回動自在に支持
されずに、左右方向にスライド可能に設けられている。
そして、実施例５のＬ字アーム６２の第２アーム部６２
ｂの端部は、左側のロッド３３に固定されている。ま
た、Ｌ字アーム６２の移動量はストッパー６６，６７で
規制されている。このＬ字アーム６２を操作する際に
は、Ｌ字アーム６２の第１アーム部６２ａを左右方向に
移動させる。すると、左側のロッド３３が左右方向に移
動する。それ以降の動作は、実施例４と略同じである。【００３３】以上、本発明の実施の形態を詳述したが、
本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、
特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、
種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例を
下記に例示する。（１）ガラス乾板１をパレット２に着脱させるための搬
送機構と、パレット２を試料ステージ２１に着脱させる
ための搬送機構とは兼用させることも可能であるし、個
々に設けることも可能である。（２）１個のアーム駆動機構が、アームをパレット用開
放位置および試料用開放位置に移動させているが、アー
ム駆動機構を２個設け、一方がアームを中立位置とパレ
ット用開放位置との間を移動させ、他方が中立位置と試
料用開放位置との間を移動させることも可能である。ま
た、アーム駆動機構がアームをパレット用開放位置、中
立位置および試料用開放位置において、アームを固定し
ていることも可能であるし、アームを固定していないこ
とも可能である。（３）パレット保持部材および試料保持部材を移動させ
るレバーの駆動機構は適宜変更可能である。【００３４】【発明の効果】本発明によれば、レバーは試料用作動部
およびパレット用作動部を有しており、このレバーの試
料用作動部が試料保持部材の試料開放用係合部に係合す
ることにより試料を交換したり、また、レバーのパレッ
ト用作動部がパレット保持部材のパレット開放用係合部
に係合することによりパレットを交換したりすることが
できる。したがって、同一形状でかつ同一大きさの試料
を何枚か処理したい場合には、パレットを交換すること
なく、試料のみを交換することができる。その結果、試
料にゴミなどが付着することが減少する。また、試料ス
テージにおいて、試料およびパレットの交換が可能であ
るため、従来行われていた試料の装填されているパレッ
トを搬送する作業が減少し、作業数が減少するととも
に、作業スペースが減少する。さらに、異なる形状や異
なる大きさの試料を処理したい場合には、試料ステージ
に装着されているパレットを、処理したい試料に対応す
るパレットに交換することにより、対応することができ
る。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electron beam device,
Drawing and inspection with a charged particle beam device such as an ion beam device
Inspection and observation of dry plates and wafers (silicon wafers)
The present invention relates to a sample holding device for holding a sample. 2. Description of the Related Art High-precision reticle used in semiconductor fabrication and the like
(In the semiconductor device manufacturing process, the circuit pattern
Drawing a photomask used to expose the mask)
In electron beam devices and ion beam devices,
A sample holding device for holding any sample is provided. So
The conventional sample holding device has different sizes of dry plates.
Pallet and sample stage
Once the sample is supported on the pallet and this sample is supported
The pallet is supported by the sample stage. Figure
7 is an explanatory view of a pallet of a conventional sample holding device, and FIG.
Is a plan view of the pallet, and FIG. 7B is VIIB-VII of FIG. 7A.
It is B sectional drawing. FIG. 8 is a bottom view of a conventional pallet.
It is the figure seen from arrow VIII of 7B. Figure 9 shows a conventional sample
FIG. 9A is an explanatory view of a sample stage of the holding device.
9B is a partially cutaway plan view of FIG. 9B, and FIG.
It is XB sectional drawing. In FIG. 9A, the pallet is
This is shown by a two-dot chain line. [0003] In Figs.
The pallet 02 on which the dry plate 01 is detachably mounted is plate-shaped
Main body 02a, and the upper surface of the pallet 02
Reference surface 0 for positioning the upper surface of glass dry plate 01
2b. Open at the center of pallet 02
The mouth 02c is provided and the opening 02c
In the peripheral portion, a concave bottom surface 0 which is one step lower than the reference surface 02b is provided.
2d is formed. On the pallet reference surface 02b,
The three sample control plates 03 project toward the concave bottom surface 02d.
Installed. This sample regulating plate 03 is
The upward movement of the plate 01 is restricted and the pallet 02
The upper surface of the attached glass dry plate 01 is the pallet reference surface
02b. Opposite to each sample regulating plate 03
And the dry plate fixing pin 04 is provided so as to be movable in the vertical direction.
I have. Each dry plate fixing pin 04 is integrated with the fixing pin support plate 06
The fixed pin support plate 06 has an engagement hook.
07 is provided. In addition, the pallet body 02a
On the lower side, a spring holder 08 is provided for each sample regulating plate 03.
The spring provided on the spring receiver 08
09 constantly urges the plate fixing pin 04 upward.
You. [0004] In FIGS.
When loading the dry plate 01 onto the pallet 02,
The fixture 02 is fixedly supported on a jig G1. Below jig G1
A dry plate fixing pin operation jig G2 that can move up and down
ing. The dry plate fixing pin operating jig G2 is
Release hook 012 engageable with hook 07, disengagement mechanism 01
3 and an up-and-down mechanism 014. The vertical mechanism
After raising the release hook 012 by 014,
The release hook 012 is fixed to the fixed pin support plate 0 by the mechanism 013.
6 is engaged with the engagement hook 07. After this engagement,
The release hook 012 is lowered by the mechanism 014. This solution
As the removal hook 012 descends, the fixed pin support plate 0
6 descends against the urging force of the spring 09, and the fixing pin
The dry plate fixing pin 04 of the support plate 06 moves downward. Do
Between the sample regulating plate 03 and the dry plate fixing pin 04
open. In this gap, the glass dry plate 01 is placed on the concave bottom surface 02d.
Insert along. The glass plate 01 is in the specified position
Once installed, the lifting hook 012 is activated by the up / down mechanism 014.
To rise. With the raising and lowering mechanism 014,
As a result, the fixing pin support plate 06 is
Rise. And, the dry plate fixing pin 04 is
1 against the sample regulating plate 03, and
A state in which the glass dry plate 01 is sandwiched and held with the material regulation plate 03.
State. Thus, the glass dry plate 01 is held.
And the engagement / disengagement mechanism 013 is actuated to engage the release hook 012
The engagement with the hook 07 is released. Then, the vertical mechanism 0
14, the release hook 012 is lowered. This is Palais
A glass dry plate 01 is loaded in the tray 02. On the other hand, when the loading of the glass dry plate 01 is released
Has a pallet 02 loaded with a glass dry plate 01
While being fixed on the jig G1, the vertical mechanism 014
After raising the release hook 012, the disengagement mechanism 013
Release hook 012 from the engaging hook of fixing pin support plate 06.
And engage with 07. After this engagement, the up / down mechanism 014
Release hook 012 is lowered. This release hook 01
2 and the fixed pin support plate 06
9 against the urging force of the fixed pin support plate 06.
The dry plate fixing pin 04 moves downward. Then, sample regulation
Sandwiching the glass plate 01 between the plate 03 and the plate fixing pin 04
Since the holding is released, put the glass dry plate 01 on the concave bottom surface 02d.
Take out along. When the glass plate 01 is taken out,
The release hook 012 is raised by the lower mechanism 014. This
With the raising and lowering mechanism 014, the fixed pin support plate
06 rises by the urging force of the spring 09. That
Then, the release hook 012 and the engagement hook are
Release the engagement with the lock 07, and then
Thus, the release hook 012 descends. Now, pallet 0
The operation of removing the glass dry plate 01 from 2 is completed. As described above, the glass dry plate 01 is
When the pallet 02 is loaded on the sample
To the sample stage 21 and a pallet
02 is detachably attached. This sample stage 021
Stage body 022 has an open top and front
And a pallet for storing pallet 02 inside.
A storage space is formed. Then, put the pallet 02 on the sample
When mounting on the stage 021, the pallet 02
Insert into the pallet storage space from the front opening of the tage body 022
Is entered. The upper part of the left and right side walls of the stage body 022
Pallet control plates 023, 3 in total, on the pallet storage space side
It is provided overhanging. This pallet control plate 023
Restricts the upward movement of the pallet 02. Each pa
Pallet fixing plate
024 is provided movably in the vertical direction. Each pa
Let fixing pin 024 is always up by spring 026
Is biased towards. Pallet control plate 023 and pallet
The set fixing pin 024 is located on the right side in front of the sample stage 21.
It is provided at a total of three places: side, right rear and left center. The pallet fixing pin 024 is a pin driving mechanism.
Driven in the vertical direction. The pin drive mechanism is
L-shaped upper end of which can be disengaged from the flange of fixing pin 024
Lever 032, one end swings at the lower end of this L-shaped lever 032.
A rod 033 movably connected, this rod 03
Disk 034 and the other end of which are swingably connected to each other
And the arm 036 fixed to the disk 034
I have it. The end of this arm 036 is a stage book
It extends outside the body 022. And the stage body
The support column 038 with the upper part formed bifurcated in 022
Water is placed on the upper end of the fork of the support column 038.
A flat shaft 039 is provided. The L-shaped lever 032 is
It is arranged in an inverted L-shape and its center is
It is attached so that it can rotate around the flat shaft 039.
When the rod 033 moves inward, the L-shaped lever 03
2 rotates about a horizontal axis 039. At this time, L
The forked part at the upper end of the L-shaped lever 032 is displaced downward,
The forked part at the upper end of the bar 032 is
Engage the flange and lower the pallet fixing pin 024
Let [0008] The disk 034 is provided in a pair of front and rear.
And has upper, front, rear, and lower walls.
Is housed in a case 040 that performs the operation. This case 04
0 is fixed to the stage body 022,
The front and rear walls are arc-shaped. And each disk 034
Is a vertical axis 04 whose center is erected in the case 040.
1 is rotatably mounted. Front right and back
Rod 033 for driving right pallet fixing pin 024
Are directly on the front and back disks 034, respectively.
Are linked. Also, disks 034 are I-shaped.
They are connected by a bar 043. I character of each disk 034
The connection with the I-shaped lever 043 is
Slidable in the longitudinal direction of the I-shaped lever 043
It is connected. And the central part of the I-shaped lever 043
The rod that drives the pallet fixing pin 024 at the center of the left
033 are connected. Then, the pallet 0 is placed on the sample stage 021.
When loading 2, the arm drive mechanism (not shown)
9A by moving the tip of the memory 036 horizontally.
A pair of arms in the open position shown by solid lines
036 pivoted to the closed position shown in phantom
I do. Then, the disk 034 on the near side is rotated clockwise.
Moves, while the disc 034 on the far side rotates counterclockwise.
I do. As the disc 034 rotates, the right
Do03 is on the left, while rod033 on the left is on the right
Moving. Then, the lower end of the L-shaped lever 032 is pulled.
The L-shaped lever 032 is turned around the horizontal axis 039 as the rotation axis.
Move. The rotation of the L-shaped lever 032 causes the L-shaped lever
-032 is displaced downward, and the pallet fixing pin 02
4 is pressed down against the urging force of the spring 026. [0010] The pallet fixing pin 024 is displaced downward.
In this state, the pallet 02 is
G fixed pin 024. Insert pallet 02
After insertion, open the arm 036 to the state shown by the solid line.
You. Then, the disk 034 on the front side is turned counterclockwise.
And the disc 034 on the far side rotates clockwise.
You. With the rotation of the disk 034, the right rod
033 is to the right, while the left rod 033 is to the left.
Move and push the lower end of the L-shaped lever 032. L-shaped lever 03
2 rotates about the horizontal axis 039 as a rotation axis,
The upper end of 32 rises. Along with that, the spring
Pallet fixing pin 024 rises due to biasing force of 026
And press the pallet 02 against the pallet control plate 023
You. In this way, the pallet 02 is
3 and the pallet fixing pin 024
Page 021. On the other hand, when unloading the pallet 02
Operates the arm 036 in the same manner as
G of the pallet regulating plate 023
Of the pallet 02 with the pallet fixing pin 024
Is released, and the pallet 02 is taken out. [0012] In the above prior art,
Use one pallet 02 for one glass plate 01
Is loaded on the sample stage 021 and has the same shape.
If you want to process several glass dry plates 01 of the same size
In addition, the pallets 02 are required for the number of pallets. Soshi
Therefore, even if the pallet 02 has the same structure,
There is a difference in the finish of each, the difference is the glass dry plate 01
Each may cause different distortions. for that reason,
High-precision drawing could not be performed. The glass dry plate 01 is placed on the sample stage 02
When holding at 1, the first
Move the plate fixing pin 04 up and down in the structure 014 to
The plate 01 is loaded on the pallet 02, and then the glass dry plate 0
The loaded pallet 02 is set on the sample stage 021.
To the place, and then operate the arm 036 to
Pallet 02 is moved up and down by pallet fixing pin 024
It is attached to the sample stage 21. In particular, vertical movement
The fixed plate is fixed to the dry plate fixing pin 04 and the pallet fixing pin 02
4 is performed twice, so that dust etc.
There are many chances that there is
is there. Also, loading work of the glass dry plate 01 onto the pallet 02
Industry, pallet 02 transport work, and pallet 02
Many operations such as mounting to the sample stage 21 are necessary.
In addition, a large work space is required. [0014] In view of the above problems, the present invention provides the following:
Let O01 be a technical issue. (O01) Use the sample
Reduces the amount of work and work space required to keep the cottage
Provided is a sample holding device capable of causing the sample to be held. [0015] A sample holding apparatus according to the present invention.
Is a pallet (2) that detachably supports the sample (1).
It is detachably supported on the sample stage (21).
A pallet (2) for holding the sample (1)
Between the position and the sample release position where the sample (1) can be attached and detached.
A sample holding member (4) movable between members, and a sample holding section
Urging means (9) for urging the material (4) to the sample holding position
And a sample provided integrally with the sample holding member (4).
The sample stage, comprising a material release engaging portion (7).
(21) is a pallet storage for holding the pallet (2).
Pallet solution that enables the holding position and pallet (2) to be attached and detached
Pallet holding member (24) movable to and from a removal position
And the pallet holding member (24)
Urging means (26) for urging the pallet;
Pallet release unit provided integrally with member (24)
A joint portion and a sample for engaging with the sample opening engaging portion (7).
A pallet engaged with an operating portion and the pallet opening engaging portion;
A lever (32) having an operating portion for
The lever (32) is configured such that the sample operating section is used to open the sample.
The sample holding member (4) is engaged with the engaging portion (7) and
The sample release position to be moved to the release position and the pallet
Actuating part engages with pallet release engaging part to hold pallet
Pallet for moving a member (24) to the pallet release position
It is movable between the open position and the open position. In the sample holding apparatus thus configured,
When replacing the sample (1), open the lever (32).
Move the lever to the release position and operate the lever (32) for the sample.
The sample holding member is engaged with the sample opening engaging portion (7).
(4) is moved to the sample release position. Sample holding member
(4) When the sample release position is reached, the held sample
Take out (1) and mount a new sample (1). Trial
After loading the sample (1), move the lever (32) to the sample open position and
When returning to the neutral position between the
The material (4) is urged to the sample holding position by the urging means (9).
Then, the sample (1) is held. When replacing the pallet (2),
Move the lever (32) to the pallet open position,
The pallet operating part of the lever (32) is engaged with the pallet release
Disengage the pallet holding member (24)
Move to the removal position. Pallet holding member (24)
When the pallet is released, the pallet (2)
And take out a new pallet (2). Palais
After mounting the slot (2), move the lever (32) to the sample open position.
When returning to the neutral position between the pallet release position, the pallet
The holding member (24) is held by the urging means (26).
The pallet (2) is held by being biased to the holding position. (Embodiment) Next, the present invention will be described with reference to the drawings.
A specific example (example) of the embodiment will be described. (Embodiment 1) FIG. 1 shows a sample holding apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
1A is a plan view of a pallet, and FIG.
FIG. 1B is a sectional view taken along the line IB-IB in FIG. 1A. Figure 2 is a pallet
FIG. 2B is a bottom view of FIG. 1 as viewed from the arrow II in FIG. 1B. Figure 3
FIG. 3A is an explanatory view of a sample stage of a sample holding device, and FIG.
3B is a partially cutaway plan view of the stage, and FIG.
It is IIIB sectional drawing. The present invention shown in FIGS.
In the description of the first embodiment, the subordinates shown in FIGS.
The same components as those of the conventional sample holding device
The code used in FIGS. 7 to 9 except for the first zero.
Numbers are attached and detailed description is omitted. The conventional sample holding apparatus shown in FIGS.
The engaging hook 07 of the pallet 02 of the device faces inward
On the other hand, in the first embodiment shown in FIGS.
Of the pallet 2 of the sample holding device as a sample release engaging portion
The mating hook 7 faces outward. Also, as shown in FIG.
L-shaped lever 0 on the sample stage 021 of the sample holding device
The embodiment shown in FIG.
In the sample stage 21 of the first sample holding device, the pallet holding
Lever for driving pallet fixing pin 24 as a holding member
Is the T-shaped lever 32. And of the T-shaped lever 32
The outer end (operating part for pallets) is a conventional L-shaped lever
Pallet fixing pin 2 formed bifurcated like 032
4 can be disengaged from the flange part (pallet opening engagement part)
And the outer end of the T-shaped lever 32 moves downward.
When the pallet is released, the pallet fixing pin 24
Of the pallet fixing pin 24
Displace to the pallet release position. On the other hand, T-shaped lever 32
When the outer end of the pallet moves upward, the pallet fixing pin 2
4 is raised by the urging force of the spring 26 as the urging means.
To the pallet holding position. The inner end of the T-shaped lever 32 (sample
Operating portion) can be disengaged from the engaging hook 7 of the pallet 2.
And the inner end of the T-shaped lever 32 moves downward.
When the sample is in the open position, the
The dry plate fixing pin 4 as a holding member was displaced
To the release position, while the inner end of the T-shaped lever 32
When moved upward, the dry plate fixing pin 4 is pressed by a switch as a biasing means.
It rises by the urging force of the pulling 9 and reaches the sample holding position.
In FIG. 3A, the arm 36 of the first embodiment is
The standing position is shown by a solid line, and it is more open than this neutral position.
Closed than the open position for sample and neutral position
The pallet can be moved to and from the pallet release position.
You. In the first embodiment, a driving mechanism (not shown)
Moves the tip of the arm 36 in the horizontal direction,
36, the glass dry plate 1 or the palette
Can be selectively attached to and detached from the sample stage 21.
You. What is the glass plate 1 of the same shape and the same size?
If you want to process only one sheet, place it in the neutral position in FIG. 3A.
The arm 36 is opened and moved to the sample open position. You
Then, the front disk 34 rotates counterclockwise, and
On the other hand, the rear disk 34 rotates clockwise. This de
With the rotation of the disk 34, the right rod 33 moves to the right
Meanwhile, the left rod 33 moves to the left. Do
When the lower end of the T-shaped lever 32 is pushed out, the horizontal shaft 39 is
The T-shaped lever 32 rotates as a rotation axis. This T-shaped lever
-32, the inner end of the T-shaped lever 32 is lowered.
The dry plate fixing pin 4 to the urging force of the spring 9
Press down against. Dry plate fixing pin 4 displaced downward
In this state, the transport mechanism (not shown)
The plate 1 is taken out, and the next glass dry plate 1 is dried with the sample regulating plate 3.
It is inserted between the plate fixing pins 4. Insertion of glass plate 1
Then, the arm 36 is closed and moved to the neutral position shown by the solid line.
Let it. Then, the disk 34 on the near side is rotated clockwise.
The disk 34 on the other side rotates counterclockwise.
You. With the rotation of the disk 34, the right rod 3
3 moves to the left, while the left rod 33 moves to the right,
Pull the lower end of the T-shaped lever 32. T-shaped lever 32 is water
Rotating around the flat shaft 39 as a rotation axis, the inside of the T-shaped lever 32
End rises. Along with that, the spring 9
By the urging force, the dry plate fixing pin 4 is raised, and the glass dry plate 1
Is pressed against the sample regulating plate 3. In this way, dry the glass
The plate 1 is held between the sample regulating plate 3 and the dry plate fixing pin 4.
It is held on the sample stage 21 via the pallet 2. By the way, a glass dry having different shapes and sizes is used.
When the plate 1 is to be processed, the glass holding plate 1
Let 2 be the shape and size of the glass dry plate 1 to be treated.
Replace with the corresponding pallet 2. And a pallet
2 is replaced with the neutral position in FIG. 3A.
The arm 36 is closed and moved to the pallet opening position. You
Then, the disk 34 on the near side rotates clockwise, and
On the other hand, the rear disk 34 rotates counterclockwise. this
With the rotation of the disc 34, the right rod 33 moves to the left
On the other hand, the left rod 33 moves to the right. Do
Then, the lower end of the T-shaped lever 32 is pulled, and the horizontal shaft 39 is moved.
The T-shaped lever 32 rotates as a rotation axis. This T-shaped lever
-32, the outer end of the T-shaped lever 32 is lowered.
And the pallet fixing pin 24 is
Push down against the bias. Pallet fixing pin 24 is down
When the transfer mechanism (not shown) is displaced to the side,
Take out the loaded pallet 2 and load the next pallet 2
Between the pallet regulating plate 23 and the pallet fixing pin 24
insert. After inserting the pallet 2, open the arm 36 and
Set to the neutral position shown by the line. Then, the disc on the near side
The disc 34 rotates counterclockwise, while the disc 3 on the far side
4 rotates clockwise. As the disk 34 rotates,
Thus, the right rod 33 is on the right, while the left rod is
33 moves to the left and pushes out the lower end of T-shaped lever 32
You. The T-shaped lever 32 rotates about the horizontal axis 39 as a rotation axis.
Then, the outer end of the T-shaped lever 32 rises. And
As a result, the pallet 2 is
Rises and presses pallet 2 against pallet regulating plate 23
You. In this way, the pallet 2 is moved to the pallet control plate 23 and
And the sample stage 2 held by the pallet fixing pin 24
It is held at 1. As described above, in the first embodiment, the arm 36
By operating the glass dry plate 1 or the pallet 2
Can be selectively attached to and detached from the sample stage 21.
Therefore, a glass dry plate 1 having the same shape and the same size
If you want to process several sheets, remove pallet 2.
Then, the glass dry plate 1 can be replaced. That
Therefore, when replacing the glass plate 1,
The setting is performed only once by the fixing pin 4 for the dry plate. Accordingly
And the chance that dust etc. adhere to the glass dry plate 1 is reduced.
You. As a result, defects in the drawn material may occur.
Decrease. Also, the work of transporting the pallet 2 is reduced,
Is reduced. Also, at the place where the sample stage 21 is installed,
Not only the let 2 but also the glass dry plate 1 can be attached and detached.
Therefore, the work space can be reduced. (Embodiment 2) FIG. 4 shows a sample holding device of Embodiment 2.
FIG. 4A is an explanatory view of a sample stage of a sample stage.
4B is a partially cutaway plan view, and FIG. 4B is an IVB-IVB cutaway of FIG. 4A.
FIG. FIG. 4 of the second embodiment is different from FIG. 3 of the first embodiment.
Yes, it is. In the description of the second embodiment,
The components corresponding to the components of the first embodiment are denoted by the same reference numerals.
And a detailed description thereof will be omitted. T-Lever of Sample Stage 21 of Embodiment 2
The T-shaped lever 32 is different from the T-shaped lever 32 of the first embodiment.
The roller 51 is provided at the inner end and the outer end of the
Have been. The outer end of the T-shaped lever 32 is bifurcated,
The rollers 51 are provided at the two ends of the forked portion, respectively.
You. On the other hand, a roller 51 is provided at the inner end of the T-shaped lever 32.
One is provided. And the inner end of the T-shaped lever 32
Part and the outer end are engaged with the engagement hook 7 via the roller 51.
And press the pallet fixing pin 24 flange down
I do. By the way, the T-shaped lever 32 is not
When pressing the socket fixing pin 24, in the first embodiment,
Is that the end of the T-shaped lever 32 is
Because it is in direct contact with the fixed pin 24, the T-shaped lever 32
To the engaging hook 7 and the pallet fixing pin 24
Not only force but horizontal force is applied. For it
Therefore, in the second embodiment, as described above, the T-shaped lever 32
Of the pallet is fixed to the engaging hook 7 or the pallet
Because it is in contact with the fixed pin 24,
The vertical force is applied to the hook 7 and the pallet fixing pin 24
Can be added. Therefore, the engagement hook 7,
Spring 9, pallet fixing pin 24 and spring 26
It can prevent unnecessary force from being applied to
You. Other configurations and operations are the same as those of the sample holding device of the first embodiment.
It is almost the same. (Embodiment 3) FIG. 5 shows a sample holding device of Embodiment 3.
FIG. 5A is an explanatory view of a sample stage,
5B is a partially cutaway plan view, and FIG. 5B is a VB-VB cross section of FIG. 5A.
FIG. FIG. 5 of the third embodiment corresponds to FIG. 3 of the first embodiment.
I am responding. In the description of the third embodiment,
The same reference numerals are used for components corresponding to the components of the first embodiment.
The detailed description is omitted. In the sample stage 21 of the third embodiment,
Unlike the sample stage 21 of the first embodiment, the arm 36 of the first embodiment
And a disk T instead of a T-shaped arm 56
Used. This arm 56 has a central part of its head
It is rotatably attached to the vertical shaft 41, and its head
Both ends are the same as in the case of the disc 34 of the first embodiment.
And connected to the rod 33 and the I-shaped lever 43, respectively.
Have been. The leg of the T-shaped arm 56 is
An operation unit similar to the first arm 36 is provided. Other configurations
The operation is substantially the same as that of the sample holding device of the first embodiment.
You. (Embodiment 4) FIG. 6 shows an embodiment 4 and an embodiment.
FIG. 6A is an explanatory diagram of a sample stage of the sample holding device of FIG.
FIG. 6B is a partially cutaway plan view of the sample stage of the fourth embodiment.
FIG. 18 is a partially cutaway plan view of a sample stage of Example 5. Real
FIG. 6A of the fourth embodiment corresponds to FIG. 3A of the first embodiment.
In the description of the fourth embodiment, the configuration of the first embodiment is described.
The components corresponding to the components are denoted by the same reference numerals, and the
Detailed description is omitted. In the sample stage 21 of the fourth embodiment,
Unlike the sample stage 21 of the first embodiment, the disk 3 of the first embodiment
Instead of 4, an I-shaped lever 61 is used.
The center of the lever 61 is rotatable about the vertical shaft 41.
, And both ends thereof are the same as those of the first embodiment.
As in the case of the disc 34, the rod 33 and the
And an I-shaped lever 43. Example 1
An L-shaped arm 62 is provided in place of the arm 36 of FIG.
ing. The corner of this L-shaped arm 62 is
It is rotatably mounted. This vertical axis 63 is
The main body 22 stands upright. Outward from vertical axis 63
The first arm portion 62a of the L-shaped arm 62 that has been extended
The operation unit is similar to the arm 36 of the first embodiment. one
On the other hand, the second arm portion 62b of the L-shaped arm 62 is
When the first arm 62a of the arm 62 is operated,
To move the rod 33 in the left and right direction.
Are linked. The sample holder of the fourth embodiment thus configured is
In the holding device, when the L-shaped arm 62 is operated,
Of the left T-shaped lever 3
2 is rotated. Also, with the movement of the left rod 33
Then, the I-shaped lever 43 moves in the left-right direction,
Rotates. The rotation of the lever 61 causes the right
33 moves right and left and turns the right T-shaped lever 32.
Move. The rotation of the T-shaped lever 32 causes the engagement
The lock 7 and the pallet fixing pin 24 operate. Other configurations
The operation and operation are substantially the same as those of the sample holding device of the first embodiment. (Embodiment 5) FIG. 6B of Embodiment 5 shows an embodiment.
4 corresponding to FIG. 6A. The description of the fifth embodiment
, Components corresponding to the components of the fourth embodiment.
Are denoted by the same reference numerals, and a detailed description thereof will be omitted. The L-shaped arm 62 of the fifth embodiment is
Unlike the L-shaped arm 62, it is supported rotatably on the vertical shaft 63.
Instead, they are slidably provided in the left-right direction.
Then, the second arm portion 62 of the L-shaped arm 62 of the fifth embodiment
The end of b is fixed to the left rod 33. Ma
The movement amount of the L-shaped arm 62 is controlled by stoppers 66 and 67.
Regulated. When operating this L-shaped arm 62
Moves the first arm portion 62a of the L-shaped arm 62 in the left-right direction.
Move. Then, the left rod 33 moves in the left-right direction.
Move. Subsequent operations are substantially the same as in the fourth embodiment. The embodiment of the present invention has been described above in detail.
The present invention is not limited to the above embodiment,
Within the gist of the present invention described in the claims,
Various changes can be made. Modifications of the present invention
Examples are given below. (1) Carrying for attaching / detaching glass dry plate 1 to / from pallet 2
The transport mechanism and the pallet 2 are attached to and detached from the sample stage 21
Can also be used as a transport mechanism for
It is also possible to provide them separately. (2) One arm drive mechanism opens the arm for the pallet.
Release position and sample open position.
Two arm drive mechanisms, one of which moves the arm to the neutral position
Between the neutral position and the neutral position.
It is also possible to move between the food opening position. Ma
The arm drive mechanism moves the arm to the pallet open position,
Fix the arm in the upright position and open sample position.
And the arm is not fixed.
Both are possible. (3) Move the pallet holding member and the sample holding member
The drive mechanism of the lever can be appropriately changed. According to the present invention, the operating lever for the sample is used as the lever.
And a pallet operating part.
The sample operating part engages with the sample opening engaging part of the sample holding member.
The sample by changing the
Pallet holding part is the pallet release engaging part of the pallet holding member
Pallets can be replaced by engaging
it can. Therefore, samples of the same shape and size
If you want to process several sheets, change the pallet
And only the sample can be exchanged. As a result,
Adhesion of garbage to the material is reduced. In addition, sample
Sample and pallet can be changed
For this reason, the conventional method of loading the sample loaded
And the number of operations will decrease.
In addition, the working space is reduced. In addition, different shapes and different
If you want to process a large sample,
The pallet mounted on the
By replacing the pallet with
You.

【図面の簡単な説明】【図１】図１は本発明の試料保持装置の実施例１のパ
レットの説明図で、図１Ａがパレットの平面図、図１Ｂ
が図１Ａの IＢ−IＢ断面図である。【図２】図２はパレットの底面図で、図１Ｂの矢印II
から見た図である。【図３】図３は試料保持装置の試料ステージの説明図
で、図３Ａが試料ステージの一部切欠き平面図、図３Ｂ
が図３Ａの IIIＢ−IIIＢ断面図である。【図４】図４は実施例２の試料保持装置の試料ステー
ジの説明図で、図４Ａが試料ステージの一部切欠き平面
図、図４Ｂが図４Ａの IＶＢ−IＶＢ断面図である。【図５】図５は実施例３の試料保持装置の試料ステー
ジの説明図で、図５Ａが試料ステージの一部切欠き平面
図、図５Ｂが図５ＡのＶＢ−ＶＢ断面図である。【図６】図６は実施例４および実施例５の試料保持装
置の試料ステージの説明図で、図６Ａは実施例４の試料
ステージの一部切欠き平面図、図６Ｂは実施例５の試料
ステージの一部切欠き平面図である。【図７】図７は従来の試料保持装置のパレットの説明
図で、図７Ａがパレットの平面図、図７Ｂが図７Ａの
ＶIIＢ−ＶIIＢ断面図である。【図８】図８は従来のパレットの底面図で、図７Ｂの
矢印ＶIIIから見た図である。【図９】図９は従来の試料保持装置の試料ステージの
説明図で、図９Ａが試料ステージの一部切欠き平面図、
図９Ｂが図９Ａの IＸＢ−IＸＢ断面図である。【符号の説明】１…試料（ガラス乾板）、２…パレット、４…試料保持
部材（乾板固定ピン）、７…試料開放用係合部（係合フ
ック）、９…付勢手段（スプリング）、２１…試料ステ
ージ、２４…パレット保持部材（パレット固定ピン）、
２６…付勢手段スプリング）、３２…レバー（Ｔ字レバ
ー）BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an explanatory view of a pallet according to a first embodiment of a sample holding device of the present invention. FIG. 1A is a plan view of the pallet, and FIG. 1B.
1B is a sectional view taken along the line IB-IB in FIG. 1A. FIG. 2 is a bottom view of the pallet, which is indicated by an arrow II in FIG. 1B.
FIG. FIG. 3 is an explanatory view of a sample stage of the sample holding device. FIG. 3A is a partially cutaway plan view of the sample stage, and FIG. 3B.
3B is a sectional view taken along the line IIIB-IIIB in FIG. 3A. 4 is an explanatory diagram of a sample stage of the sample holding device according to the second embodiment. FIG. 4A is a partially cutaway plan view of the sample stage, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line IVB-IVB of FIG. 4A. 5 is an explanatory view of a sample stage of the sample holding device according to the third embodiment. FIG. 5A is a partially cutaway plan view of the sample stage, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line VB-VB of FIG. 5A. FIG. 6 is an explanatory view of a sample stage of the sample holding device according to the fourth and fifth embodiments. FIG. 6A is a partially cutaway plan view of the sample stage of the fourth embodiment, and FIG. FIG. 3 is a partially cutaway plan view of a sample stage. 7 is an explanatory view of a pallet of a conventional sample holding device, FIG. 7A is a plan view of the pallet, and FIG. 7B is a view of FIG. 7A.
It is VIIB-VIIB sectional drawing. FIG. 8 is a bottom view of the conventional pallet, as viewed from an arrow VIII in FIG. 7B. FIG. 9 is an explanatory view of a sample stage of a conventional sample holding device, and FIG. 9A is a partially cutaway plan view of the sample stage;
FIG. 9B is a sectional view taken along the line IXB-IXB of FIG. 9A. [Description of Signs] 1 ... Sample (glass dry plate), 2 ... Pallet, 4 ... Sample holding member (dry plate fixing pin), 7 ... Sample release engaging portion (engaging hook), 9 ... Biasing means (spring) , 21: sample stage, 24: pallet holding member (pallet fixing pin),
26: biasing means spring), 32: lever (T-shaped lever)

Claims

Claims: 1. A sample holding apparatus for detachably supporting a pallet for detachably supporting a sample on a sample stage, wherein the pallet is configured to be attached to and detached from a sample holding position for holding the sample. A sample holding member movable between a sample releasing position to be enabled, an urging means for urging the sample holding member to the sample holding position, and a sample opening member provided integrally with the sample holding member. An engaging portion, wherein the sample stage is a pallet holding member movable between a pallet holding position for holding the pallet and a pallet releasing position for allowing the pallet to be attached and detached; and Urging means for urging the pallet holding position, a pallet opening engaging portion provided integrally with the pallet holding member, and a sample working member engaged with the sample releasing engaging portion. A lever having a moving portion and a pallet operating portion engaged with the pallet opening engaging portion, wherein the lever holds the sample when the sample operating portion is engaged with the sample opening engaging portion. A pallet release position for moving a member to the sample release position and a pallet release position for moving the pallet holding member to the pallet release position by engaging the pallet operating portion with the pallet release engagement portion; A sample holding device characterized in that it is possible.