JP2003107126A - Handler for tcp - Google Patents

Handler for tcp

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JP2003107126A
JP2003107126A JP2001298820A JP2001298820A JP2003107126A JP 2003107126 A JP2003107126 A JP 2003107126A JP 2001298820 A JP2001298820 A JP 2001298820A JP 2001298820 A JP2001298820 A JP 2001298820A JP 2003107126 A JP2003107126 A JP 2003107126A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a handler for a TCP (tape carrier package) capable of preventing the punching force from working on another TCP when punching a device of the TCP. SOLUTION: In this handler 100 for the TCP, a TCP tape 1 having a plurality of articulated TCPs formed by sticking a device on a film respectively in run, and a reject punch part 30 for punching a defective TCP is provided on a running route. The reject punch part 30 is equipped with a punch 31 capable of punching the TCP, a die 32 installed movably in the contact direction with the under surface of the TCP tape 1 on the opposite side of the punch 31 across the TCP tape 1, capable of supporting the under surface, and a moving device 300 for moving the die 32 separately from the TCP tape 1 during running of the TCP tape 1 and moving the die 32 close to the TCP tape 1 at the punching operation time.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、フィルムにデバイ
スを貼付したTCP(Tape Carrier Package)が複数連
接されたTCPテープを走行させるとともに、デバイス
を試験装置に接続することにより選別するTCP用ハン
ドラに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a TCP handler for running a TCP tape in which a plurality of TCPs (Tape Carrier Packages) each having a device attached to a film are connected to each other and selecting the device by connecting the device to a test apparatus. It is a thing.

【0002】[0002]

【従来の技術】周知のように、TCPは、TAB(Tape
Automated Bonding)技術を用いることによりフィルム
上に半導体チップ(デバイス)を実装している。実際
に、デバイスがプリント基板に搭載される前の搬送段階
では、TCPは複数が連接されたテープ状となってい
る。このようなテープ形態のTCP(以下、「TCPテ
ープ」と称する)におけるデバイスは、専用のTCP用
ハンドラによって選別される。
2. Description of the Related Art As is well known, TCP is a TAB (Tape
Semiconductor chips (devices) are mounted on the film by using Automated Bonding technology. Actually, in the transportation stage before the device is mounted on the printed board, the TCP is in the form of a tape in which a plurality of TCPs are connected. Devices in such a tape type TCP (hereinafter referred to as “TCP tape”) are selected by a dedicated TCP handler.

【0003】従来におけるTCP用ハンドラは、TCP
テープが巻かれている供給リールと、TCPテープを巻
き取ることによって走行させる収容リールと、試験装置
による試験結果に基づいて、TCPフィルムに前記試験
結果に関する情報を含む所定のマーク穴を形成するマー
クパンチ部と、前記試験結果に基づいて不良と判断され
たTCPのデバイスを打ち抜くリジェクトパンチ部とを
備えている。前記試験装置の内、プローブカードはTC
Pテープの走行経路中に設けられる。TCPのテストパ
ッドにプローバを接触させて、デバイスを試験する。
A conventional TCP handler is TCP
A supply reel around which the tape is wound, a storage reel that is run by winding up the TCP tape, and a mark that forms a predetermined mark hole containing information about the test result in the TCP film based on the test result by the test device. A punch unit and a reject punch unit for punching out a TCP device determined to be defective based on the test result are provided. Of the above test equipment, the probe card is TC
It is provided in the running path of the P tape. The device is tested by contacting the prober with the TCP test pad.

【0004】図3にTCP用ハンドラの全体図を示す。
図3において、TCP測定システムSは、TCPテープ
1を走行させるTCP用ハンドラ100と、TCPテー
プ1の走行経路中に設けられ、TCPテープ1のデバイ
スと接続することによりデバイスを試験する試験装置2
00とを備えている。TCPテープ1は、図4に示すよ
うに、フィルムにデバイス(半導体チップ)を貼付した
TCP(Tape Carrier Package)が複数連接されたもの
である。
FIG. 3 shows an overall view of the TCP handler.
In FIG. 3, the TCP measurement system S is provided with a TCP handler 100 that runs the TCP tape 1 and a test apparatus 2 that is provided in the running path of the TCP tape 1 and tests the device by connecting to the device of the TCP tape 1.
00 and. As shown in FIG. 4, the TCP tape 1 is formed by connecting a plurality of TCPs (Tape Carrier Packages) in which devices (semiconductor chips) are attached to a film.

【0005】更に、TCP用ハンドラ100は、TCP
テープ1を装着する供給リール2Aと、供給リール2A
に装着されているTCPテープ1を巻き取る収容リール
2Bとを備えている。収容リール2Bは、試験装置20
0によって電気試験あるいは分類識別されたTCPテー
プ1を巻き取る。供給リール2A及び収容リール2Bの
それぞれには傾斜ガイド21,22が設けられている。
また、供給リール2Aと収容リール2Bとの間における
TCPテープ1の走行経路中には、スプロケット3A、
プーリ4A、ガイド5A、テンションプーリ6A、スプ
ロケット7A、スプロケット7B、テンションプーリ6
B、ガイド5B、プーリ4B、スプロケット3Bが設け
られている。そして、これらスプロケット、プーリ、ガ
イド、テンションプーリ、及び収容リールによって、T
CPテープ1を所定の速度・張力で走行させるTCP用
ハンドラ100が構成されている。ここで、各スプロケ
ットが制御されて回転することによりTCPテープ1が
移送されるが、TCPテープ1は、これらスプロケット
によって間欠送りされる。
Further, the TCP handler 100 is a TCP handler.
Supply reel 2A for mounting tape 1, and supply reel 2A
And a storage reel 2B that winds up the TCP tape 1 mounted on. The accommodation reel 2B is used for the testing device 20.
The TCP tape 1 which is electrically tested or classified by 0 is wound up. Inclined guides 21 and 22 are provided on the supply reel 2A and the storage reel 2B, respectively.
In the running path of the TCP tape 1 between the supply reel 2A and the accommodation reel 2B, the sprocket 3A,
Pulley 4A, guide 5A, tension pulley 6A, sprocket 7A, sprocket 7B, tension pulley 6
B, a guide 5B, a pulley 4B, and a sprocket 3B are provided. Then, with these sprockets, pulleys, guides, tension pulleys, and storage reels, the T
A TCP handler 100 that runs the CP tape 1 at a predetermined speed and tension is configured. Here, the TCP tape 1 is transported by controlling and rotating each sprocket, and the TCP tape 1 is intermittently fed by these sprockets.

【0006】試験装置200は、プローブカード12
と、アタッチメントユニット13と、テストヘッド14
とを備えている。プッシャ9,10がTCPテープ1を
押下することにより、TCPのテストパッドと測定ピン
とが接触導通する。試験装置200の試験結果は制御装
置CONTに出力される。デバイスを試験する際、TC
Pテープ1を間欠送り可能なTCP用ハンドラ100は
TCPのデバイスと試験装置200とを位置合わせしつ
つTCPテープ1の走行を停止する。前記位置合わせは
カメラ15によるTCPの撮像結果に基づいて行われ
る。つまり、カメラ15によるTCP画像の撮像結果は
画像処理装置15Cに出力され、画像処理装置15Cは
カメラ15による画像データに基づいて画像処理し、処
理結果を制御装置CONTに出力する。制御装置CON
Tは画像処理装置15Cの処理結果に基づいて、TCP
のデバイスと試験装置200の測定ピンとが位置合わせ
されるように試験時のTCPを位置制御する。
The test apparatus 200 includes a probe card 12
, Attachment unit 13, and test head 14
It has and. When the pushers 9 and 10 press down the TCP tape 1, the TCP test pad and the measurement pin are brought into contact with each other. The test result of the test device 200 is output to the control device CONT. TC when testing the device
The TCP handler 100 capable of intermittently feeding the P tape 1 stops the running of the TCP tape 1 while aligning the TCP device and the test apparatus 200. The alignment is performed based on the result of TCP image pickup by the camera 15. That is, the result of capturing the TCP image by the camera 15 is output to the image processing device 15C, the image processing device 15C performs image processing based on the image data by the camera 15, and outputs the processing result to the control device CONT. Controller CON
T is TCP based on the processing result of the image processing device 15C.
The position of the TCP at the time of the test is controlled so that the above device and the measurement pin of the test apparatus 200 are aligned.

【0007】TCPテープ1の走行経路のうち測定部の
下流側には、TCPのフィルムに対してマーク穴を形成
可能なマークパンチ部11と、TCPのデバイスをTC
Pテープから打ち抜き可能なリジェクトパンチ部(パン
チ装置)30とが設けられている。マークパンチ部11
は、試験装置200の試験結果に基づいてTCPのフィ
ルムにマーク穴を打ち抜く。リジェクトパンチ部30は
試験装置200の試験結果に基づいて不良と判断された
TCPを打ち抜く。
On the downstream side of the measuring section in the running path of the TCP tape 1, a mark punch section 11 capable of forming a mark hole in a TCP film and a TCP device are provided as TC.
A reject punch unit (punch device) 30 capable of punching from the P tape is provided. Mark punch 11
Punches a mark hole in the TCP film based on the test result of the test apparatus 200. The reject punch unit 30 punches out the TCP determined to be defective based on the test result of the test apparatus 200.

【0008】供給リール2Aの走行経路下流側には検出
器群23が配置されており、収容リール2Bの走行経路
上流側には検出器群25が配置されている。検出器群2
3は、リーダテープ及び被試験TCPの有無を感知す
る。検出器群23の検出結果は制御装置CONTに出力
される。制御装置CONTは、カメラ15Aで検出され
たTCPが測定部に移動したとき、前記検出結果に基づ
いてTCPの試験の可否を試験装置200に指示する。
検出器群25も、TCPテープ1の有無を感知する。ま
た、測定部の上流側及び下流側のそれぞれにはTCPテ
ープ1の画像を撮像可能なカメラ15A,15Bが設け
られている。これらカメラ15A,15Bの撮像信号は
画像処理装置15Cに出力され、この画像処理結果によ
って、走行するテープがリーダテープか被試験TCPか
の確認や、デバイスの有無の確認及びTCPの試験の可
否の判断、あるいはパンチ穴を検出できる。
A detector group 23 is disposed on the downstream side of the supply reel 2A in the traveling route, and a detector group 25 is disposed on the upstream side of the accommodation reel 2B in the traveling route. Detector group 2
3 senses the presence or absence of the leader tape and TCP under test. The detection result of the detector group 23 is output to the control device CONT. When the TCP detected by the camera 15A moves to the measurement unit, the control unit CONT instructs the test apparatus 200 on the basis of the detection result whether the TCP test is possible or not.
The detector group 25 also detects the presence or absence of the TCP tape 1. Further, cameras 15A and 15B capable of picking up an image of the TCP tape 1 are provided on the upstream side and the downstream side of the measuring unit, respectively. The image pickup signals of the cameras 15A and 15B are output to the image processing device 15C, and based on the image processing result, it is confirmed whether the running tape is the leader tape or the TCP under test, whether the device is present or not, and whether the TCP test is possible or not. Judgment or punch holes can be detected.

【0009】図5は従来のリジェクトパンチ部30の概
略構成図である。リジェクトパンチ部30は、走行する
TCPテープ1の上方に設けられたパンチ31と、TC
Pテープ1の下方に設けられたダイス32とを備えてい
る。ダイス32は走行するTCPテープ1に対して離間
する位置に固定されている。TCPテープ1とダイス3
2とが離間しているのは、走行中において、TCPテー
プ1の上下両面に実装されているTCP(デバイス)と
ダイス32とが干渉するのを防止するためである。そし
て、不良と判断されたTCPを打ち抜く際には、ダイス
32とTCPテープ1とを離間した状態で、パンチ31
をTCPに対して下降する。TCPはダイス32と接触
したときに切断され、打ち抜かれる。
FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a conventional reject punch section 30. The reject punch section 30 includes a punch 31 provided above the traveling TCP tape 1 and a TC.
And a die 32 provided below the P tape 1. The die 32 is fixed at a position separated from the running TCP tape 1. TCP tape 1 and dice 3
2 is separated from each other to prevent the TCP (device) mounted on both upper and lower surfaces of the TCP tape 1 from interfering with the dice 32 during running. Then, when punching out the TCP that is determined to be defective, the punch 31 is punched with the die 32 and the TCP tape 1 separated from each other.
With respect to TCP. The TCP is cut and punched when it comes into contact with the die 32.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おけるTCP用ハンドラのリジェクトパンチ部30にお
いて不良のTCPを打ち抜く際、ダイス32の位置が固
定されているため、パンチ31が下降すると、ダイス3
2との間でTCPが切断される前にTCPテープ1が下
方に反るように押し下げられる。この場合、打ち抜かれ
るべきTCPの両隣りのTCPに、TCPテープ1の反
りに起因する曲げ方向や引っ張り方向の力が作用し、悪
影響を与えてしまう場合がある。
However, when the defective TCP is punched out in the reject punch section 30 of the conventional TCP handler, the position of the die 32 is fixed.
The TCP tape 1 is pushed down so as to warp downward before the TCP is cut between the TCP tape 1 and the TCP 2. In this case, the force in the bending direction or the pulling direction due to the warp of the TCP tape 1 acts on the TCPs on both sides of the TCP to be punched, which may adversely affect the TCP.

【0011】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、TCPのデバイスを打ち抜く際、他のTCPデ
バイスに打ち抜きの際の力を作用させないTCP用ハン
ドラを提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a TCP handler that does not apply the force of punching to another TCP device when punching out a TCP device.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項1記載のTCP用ハンドラは、フィルムにデ
バイスを貼付したTCPが複数連接されたTCPテープ
を走行させ、前記TCPテープの走行経路中に前記デバ
イスと接続することにより各デバイスを試験装置で試験
するTCP用ハンドラにおいて、前記走行経路中に設け
られ、前記TCPを前記TCPテープの一方の面から打
ち抜き可能なパンチ装置と、前記TCPテープを挟んで
前記パンチ装置と反対側に、前記TCPテープの他方の
面に対して接離方向に移動可能に設けられ、前記他方の
面を支持可能な支持装置と、前記TCPテープの走行中
には前記支持装置を前記他方の面に対して離間するよう
に移動し、前記打ち抜き動作の際には前記支持装置を前
記他方の面に対して近接させるように移動する移動装置
とを備えることを特徴とする。
In order to solve the above problems, the TCP handler according to claim 1 runs a TCP tape in which a plurality of TCPs each having a device attached to a film are run, and the running of the TCP tape. In a TCP handler for testing each device by a test apparatus by connecting the device in a path, a punching device provided in the running path and capable of punching the TCP from one surface of the TCP tape, A support device that is provided on the side opposite to the punch device across the TCP tape so as to be movable toward and away from the other surface of the TCP tape, and that is capable of supporting the other surface, and the running of the TCP tape. Inside, the supporting device is moved so as to be separated from the other surface, and the supporting device is moved relative to the other surface during the punching operation. Characterized in that it comprises a moving device which moves so as to approach.

【0013】本発明によれば、TCPのデバイスを一方
の面から打ち抜く際、他方を面を支持装置で支持するこ
とにより、TCPテープは反らず、したがって、他のT
CPのデバイスに対してTCPテープの反りに起因する
力が作用しない。また、TCPテープの走行中には、支
持装置はTCPテープから離間しているので、TCPテ
ープに実装されているTCPと支持装置とは干渉しな
い。
According to the present invention, when the TCP device is punched from one side, the other side is supported by the supporting device so that the TCP tape does not warp, and therefore the other T
The force due to the warp of the TCP tape does not act on the CP device. Further, since the supporting device is separated from the TCP tape while the TCP tape is running, the TCP mounted on the TCP tape and the supporting device do not interfere with each other.

【0014】請求項2記載のTCP用ハンドラは、請求
項1記載のTCP用ハンドラにおいて、前記移動装置の
移動動作及び前記パンチ装置の打ち抜き動作を制御する
制御装置を備え、前記試験装置は試験結果を前記制御装
置に出力し、前記制御装置は前記試験装置の試験結果に
応じて前記移動動作及び前記打ち抜き動作を制御するこ
とを特徴とする。
A TCP handler according to a second aspect is the TCP handler according to the first aspect, further comprising a control device for controlling a moving operation of the moving device and a punching operation of the punch device, and the test device has a test result. Is output to the control device, and the control device controls the moving operation and the punching operation according to a test result of the test device.

【0015】本発明によれば、試験装置の試験結果に基
づいて、移動装置の移動動作やパンチ装置の打ち抜き動
作が制御されるので、試験結果に基づいて不良デバイス
を確実に打ち抜ける。
According to the present invention, since the moving operation of the moving device and the punching operation of the punching device are controlled based on the test result of the test apparatus, the defective device can be reliably punched out based on the test result.

【0016】請求項3記載のTCP用ハンドラは、請求
項2記載のTCP用ハンドラにおいて、前記制御装置
は、前記移動動作及び前記打ち抜き動作の際、前記TC
Pテープの走行を停止することを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the TCP handler according to the second aspect, the controller controls the TC during the moving operation and the punching operation.
The feature is that the running of the P tape is stopped.

【0017】本発明によれば、移動装置の移動動作及び
パンチ装置の打ち抜き動作時においては、TCP用ハン
ドラはTCPテープの走行を停止するので、TCPテー
プに実装されているTCPは支持装置から衝撃を受けず
に安定して支持され、打ち抜かれる。
According to the present invention, the TCP handler stops the running of the TCP tape during the moving operation of the moving device and the punching operation of the punching device, so that the TCP mounted on the TCP tape is impacted by the supporting device. It is stably supported and punched without being hit.

【0018】請求項4記載のTCP用ハンドラは、請求
項1〜3の何れか一項記載のTCP用ハンドラにおい
て、前記移動装置は、前記パンチ装置を前記TCPテー
プに対して接離方向に移動可能に支持し、前記支持装置
を前記TCPテープの他方の面に近接させた後、前記パ
ンチ装置を前記TCPテープの一方の面に接近させるこ
とを特徴とする。
A TCP handler according to a fourth aspect is the TCP handler according to any one of the first to third aspects, wherein the moving device moves the punching device in a contacting / separating direction with respect to the TCP tape. The support device is movably supported, and the supporting device is brought close to the other surface of the TCP tape, and then the punch device is brought close to one surface of the TCP tape.

【0019】本発明によれば、TCPテープに対して支
持装置を接触させた後、反対側からパンチ装置がTCP
テープに接近することにより、パンチ装置の打ち抜き動
作時においてTCPテープは支持装置に確実に支持され
る。したがって、打ち抜き動作は安定する。
According to the present invention, after the support device is brought into contact with the TCP tape, the punch device is operated by the TCP device from the opposite side.
By approaching the tape, the TCP tape is reliably supported by the supporting device during the punching operation of the punch device. Therefore, the punching operation is stable.

【0020】請求項5記載のTCP用ハンドラは、請求
項4記載のTCP用ハンドラにおいて、前記移動装置
は、シリンダ本体と、前記シリンダ本体を軸方向に移動
可能に支持するスライドガイド部と、前記シリンダ本体
に対して所定ストロークで出入可能なロッドと、前記ロ
ッドの前記シリンダ本体に対する最も出た位置から挿入
方向への移動を所定位置で規制するストッパ部材とを備
え、前記所定ストロークのうち、前記ストッパ部材によ
って前記ロッドの移動が規制された後の残りストローク
だけ前記シリンダ本体は前記スライドガイド部に支持さ
れながら軸方向に移動するように設けられ、前記支持装
置は前記ロッドに接続され、前記パンチ装置は前記シリ
ンダ本体に接続されていることを特徴とする。
A TCP handler according to a fifth aspect is the TCP handler according to the fourth aspect, wherein the moving device includes a cylinder body, a slide guide portion for movably supporting the cylinder body in an axial direction, and A rod that can be moved in and out of the cylinder body at a predetermined stroke; and a stopper member that restricts movement of the rod in the insertion direction from the most extended position with respect to the cylinder body at a predetermined position. The cylinder body is provided so as to move in the axial direction while being supported by the slide guide portion for the remaining stroke after the movement of the rod is restricted by the stopper member, the supporting device is connected to the rod, and the punch is provided. The device is characterized in that it is connected to the cylinder body.

【0021】本発明によれば、TCPテープに対する支
持装置の接近動作とパンチ装置の接近動作とを1つのシ
リンダで兼ねるので装置構成をシンプルかつコンパクト
化できる。
According to the present invention, one cylinder serves both the approaching operation of the supporting device and the approaching operation of the punching device with respect to the TCP tape, so that the device structure can be made simple and compact.

【0022】請求項6記載のTCP用ハンドラは、請求
項5記載のTCP用ハンドラにおいて、前記シリンダ本
体と前記ストッパ部材との間に、前記シリンダ本体と前
記ストッパ部材とが離間する方向に付勢力を有する付勢
部材を設けたことを特徴とする。
A TCP handler according to a sixth aspect is the TCP handler according to the fifth aspect, wherein a biasing force is applied between the cylinder body and the stopper member in a direction in which the cylinder body and the stopper member are separated from each other. A biasing member having is provided.

【0023】本発明によれば、シリンダ本体とストッパ
部材との間に付勢部材を設けたことにより、支持装置が
TCPテープに接近してからパンチ装置がTCPテープ
に接近する。
According to the present invention, since the biasing member is provided between the cylinder body and the stopper member, the punching device approaches the TCP tape after the supporting device approaches the TCP tape.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本発明のTCP用ハンドラ
について図面を参照しながら説明する。図1は本発明の
TCP用ハンドラの特徴的な部分であるリジェクトパン
チ部(パンチ装置)の概略構成図である。ここで、図1
のリジェクトパンチ部は、図3に示したTCP用ハンド
ラ100(TCP測定システムS)において説明したリ
ジェクトパンチ部30に設置されるものであり、以下の
説明において、図1に示した構成部分と同一又は同等の
構成部分については、その説明を簡略もしくは省略す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION A TCP handler of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a reject punch unit (punch device) which is a characteristic part of the TCP handler of the present invention. Here, FIG.
The reject punch unit is installed in the reject punch unit 30 described in the TCP handler 100 (TCP measurement system S) shown in FIG. 3, and is the same as the component shown in FIG. 1 in the following description. Or, the description of the equivalent components will be simplified or omitted.

【0025】図1において、リジェクトパンチ部(パン
チ装置)30は、TCP用ハンドラ100の走行経路中
に設けられ、TCPをTCPテープ1の上面から打ち抜
き可能なパンチ(パンチ装置)31を有するパンチ駆動
部(パンチ装置、移動装置)40と、TCPテープ1を
挟んでパンチ31と反対側に、TCPテープ1の下面に
対して接離方向に移動可能に設けられ、TCPテープ1
の下面を支持可能なダイス(支持装置)32とを備えて
いる。ここで、TCPテープ1はパンチ31とダイス3
2との間を紙面手前方向(+X方向)に走行する。
In FIG. 1, a reject punch section (punch device) 30 is provided in the traveling path of the TCP handler 100, and has a punch drive (punch device) 31 capable of punching TCP from the upper surface of the TCP tape 1. The unit (punch device, moving device) 40 is provided on the side opposite to the punch 31 with the TCP tape 1 interposed therebetween so as to be movable in the contacting and separating direction with respect to the lower surface of the TCP tape 1.
And a die (supporting device) 32 capable of supporting the lower surface of the. Here, the TCP tape 1 has a punch 31 and a die 3.
It runs between 2 and the front side of the paper (+ X direction).

【0026】パンチ駆動部40は、ベース41と、ベー
ス41の上部に固定されたシリンダ本体42と、ベース
41の下部に配置され、シリンダ本体42に対して所定
ストロークで出入り可能なロッド43と、ベース41の
下部に設けられた前記パンチ31とを有している。シリ
ンダ本体42とロッド43とによってエアシリンダが構
成されており、ロッド43はシリンダ本体42に対して
軸方向(図中、上下方向)に移動する。パンチ駆動部4
0のベース41は、貫通穴部41aを有しており、この
貫通穴部41aを介して、基台部Bに鉛直方向に延びて
設けられたスライドガイド部50に上下方向に摺動可能
に支持されている。このとき、シリンダ本体42はその
軸方向を上下方向としてベース41に固定されているた
め、ベース41に固定されているシリンダ本体42は、
スライドガイド部50によって軸方向に移動可能に支持
されている。更に、ベース41に取り付けられているパ
ンチ31は、ベース41の上下方向の移動に伴って上下
方向に移動可能、すなわち、TCPテープ1の上面に対
して接離方向に移動可能となっている。
The punch driving unit 40 includes a base 41, a cylinder body 42 fixed to an upper portion of the base 41, a rod 43 arranged below the base 41 and capable of moving in and out of the cylinder body 42 at a predetermined stroke. The punch 31 is provided below the base 41. An air cylinder is configured by the cylinder body 42 and the rod 43, and the rod 43 moves in the axial direction (vertical direction in the drawing) with respect to the cylinder body 42. Punch drive unit 4
The base 41 of No. 0 has a through hole 41a, and through the through hole 41a, the base 41 can be slid vertically by a slide guide 50 provided in the base B extending vertically. It is supported. At this time, since the cylinder body 42 is fixed to the base 41 with its axial direction being the vertical direction, the cylinder body 42 fixed to the base 41 is
It is supported by the slide guide portion 50 so as to be movable in the axial direction. Further, the punch 31 attached to the base 41 is movable in the vertical direction with the movement of the base 41 in the vertical direction, that is, it is movable in the contacting / separating direction with respect to the upper surface of the TCP tape 1.

【0027】ダイス32は、連結部材44を介してパン
チガイド部45と一体に固定されている。パンチガイド
部45はパンチ31を案内するガイド穴部45aを有し
ており、パンチ31はベース41の移動に伴ってガイド
穴部45aの内部を案内されつつ上下方向に移動可能と
なっている。また、連結部材44は貫通穴部44aを有
しており、この貫通穴部44aを介して、基台部Bに鉛
直方向に延びて設けられたスライドガイド部50に上下
方向に摺動可能に支持されている。そして、ダイス32
と連結部材44とパンチガイド部45とは一体に固定さ
れているため、これらダイス32と連結部材44とパン
チガイド部45とは一体でスライドガイド部50に対し
て上下方向に摺動し、ダイス32はTCPテープ1の下
面に対して接離方向に移動する。
The die 32 is integrally fixed to the punch guide portion 45 via a connecting member 44. The punch guide portion 45 has a guide hole portion 45a that guides the punch 31, and the punch 31 is vertically movable while being guided inside the guide hole portion 45a as the base 41 moves. Further, the connecting member 44 has a through hole portion 44a, and through this through hole portion 44a, it can be slid vertically with respect to a slide guide portion 50 provided in the base portion B extending in the vertical direction. It is supported. And the dice 32
Since the connecting member 44 and the punch guide portion 45 are integrally fixed, the die 32, the connecting member 44, and the punch guide portion 45 integrally slide in the vertical direction with respect to the slide guide portion 50, and 32 moves toward and away from the lower surface of the TCP tape 1.

【0028】パンチガイド部45の上面はロッド43に
固定されている。したがって、ロッド43の移動によっ
てパンチガイド部45は上下方向に移動する。そして、
パンチガイド部45とダイス32とは連結部材44を介
して一体に固定されているため、ロッド43の移動によ
ってダイス32も上下方向にスライドガイド部50に案
内されつつ移動する。
The upper surface of the punch guide portion 45 is fixed to the rod 43. Therefore, the movement of the rod 43 causes the punch guide portion 45 to move in the vertical direction. And
Since the punch guide portion 45 and the die 32 are integrally fixed via the connecting member 44, the die 32 also moves vertically while being guided by the slide guide portion 50 by the movement of the rod 43.

【0029】スライドガイド部50の途中には、パンチ
ガイド部45の上方への移動を規制するストッパ部材5
1が設けられている。そして、パンチガイド部45はロ
ッド43に固定されているため、ストッパ部材51がパ
ンチガイド部45の上方への移動を規制することによっ
て、ロット43のシリンダ本体42に対する最も出た位
置から挿入方向への移動を所定高さ位置で規制するよう
になっている。
A stopper member 5 for restricting upward movement of the punch guide portion 45 is provided in the middle of the slide guide portion 50.
1 is provided. Since the punch guide portion 45 is fixed to the rod 43, the stopper member 51 restricts the upward movement of the punch guide portion 45, so that the lot 43 moves in the insertion direction from the most protruded position with respect to the cylinder body 42. Is restricted at a predetermined height position.

【0030】また、シリンダ本体42と固定されている
ベース41とストッパ部材51との間には、ベース41
とストッパ部材51とが離間する方向に付勢力を有して
いるばね(付勢部材)52が設けられている。このばね
52の付勢力によって、ベース41は下方に落下しな
い。
Further, between the base 41 fixed to the cylinder body 42 and the stopper member 51, the base 41 is provided.
A spring (urging member) 52 having an urging force in a direction in which the stopper member 51 and the stopper member 51 are separated from each other is provided. The urging force of the spring 52 prevents the base 41 from dropping downward.

【0031】次に、上述した構成を備えるTCP用ハン
ドラ100のリジェクトパンチ部30によって、試験装
置200で不良と判断されたTCPを打ち抜く動作につ
いて図2を参照しながら説明する。TCP用ハンドラ1
00によってTCPテープ1が間欠送りされ、停止した
状態で試験装置200がTCPを試験する。試験結果は
制御装置CONTに出力される。
Next, the operation of punching out a TCP judged to be defective by the test apparatus 200 by the reject punch section 30 of the TCP handler 100 having the above-mentioned configuration will be described with reference to FIG. TCP handler 1
The TCP tape 1 is intermittently fed by 00, and the test apparatus 200 tests the TCP in a stopped state. The test result is output to the control device CONT.

【0032】試験装置200によって試験されたTCP
がリジェクトパンチ部30に移送される。なお、このと
き(TCPテープ1が走行時で打ち抜き動作前)、図2
(a)に示すように、エアシリンダのロッド43はシリ
ンダ本体42から最も出た状態(下方に出た状態)とな
っており、ロッド43にパンチガイド部45及び連結部
材44を介して接続されているダイス32も下方に移動
された状態となっている。したがって、ダイス32とT
CPテープ1の下面とは離間している。
TCP tested by the test apparatus 200
Are transferred to the reject punch unit 30. At this time (when the TCP tape 1 is running and before the punching operation), FIG.
As shown in (a), the rod 43 of the air cylinder is in the most extended state (the downwardly extended state) from the cylinder body 42 and is connected to the rod 43 via the punch guide portion 45 and the connecting member 44. The die 32 is also in a state of being moved downward. Therefore, die 32 and T
It is separated from the lower surface of the CP tape 1.

【0033】試験装置200によって不良と判断された
TCPがリジェクトパンチ部30に移送されたら、TC
P用ハンドラ100は制御装置CONTの制御のもと
で、TCP用テープ1の走行を停止する。そして、リジ
ェクトパンチ部30は制御装置CONTの制御のもと
で、打ち抜き動作を開始する。まず、図2(b)に示す
ように、エアシリンダのロッド43が上昇する。ロッド
43が所定距離L1上方に移動すると、ダイス32がT
CPテープ1の下面に接触し支持するとともに、パンチ
ガイド部45とストッパ部材51とが当たる。このと
き、所定距離L1はロッド43のストロークLより小さ
い。ストッパ部材51とパンチガイド部45とが当たる
ことにより、ダイス32が高さ方向所定位置に設定され
る。ここで、ダイス32がTCPテープ1の下面と近接
するように設定されている。すなわち、ストッパ部材5
1が、ロッド43のシリンダ本体42に対する最も出た
位置から挿入方向(図中、上方向)への移動を所定位置
(ダイス32がTCPテープ1の下面と近接する位置位
置)で規制する。
When the TCP judged to be defective by the test apparatus 200 is transferred to the reject punch section 30, TC
The P handler 100 stops the running of the TCP tape 1 under the control of the control device CONT. Then, the reject punch unit 30 starts the punching operation under the control of the control device CONT. First, as shown in FIG. 2B, the rod 43 of the air cylinder moves up. When the rod 43 moves upward by a predetermined distance L1, the die 32 moves to T
The lower surface of the CP tape 1 is contacted and supported, and the punch guide portion 45 and the stopper member 51 contact. At this time, the predetermined distance L1 is smaller than the stroke L of the rod 43. The die member 32 is set at a predetermined position in the height direction by hitting the stopper member 51 and the punch guide portion 45. Here, the die 32 is set to be close to the lower surface of the TCP tape 1. That is, the stopper member 5
1 regulates the movement of the rod 43 from the most extended position with respect to the cylinder body 42 in the insertion direction (upward in the drawing) at a predetermined position (position where the die 32 is close to the lower surface of the TCP tape 1).

【0034】次いで、ロッド43の上方への移動、すな
わち、ダイス32の上方への移動がストッパ部材51に
よって規制されたら、図2(c)に示すように、エアシ
リンダのストロークLのうち、ストッパ部材51によっ
てロッド43の移動が規制された後の残りのストローク
L2(=L−L1)だけ、シリンダ本体42がスライド
ガイド部50に支持されながらばね52の付勢力にうち
勝って下方に移動する。すると、シリンダ本体42に接
続しているベース41及びパンチ31も下方に移動す
る。下降したパンチ31は、TCPテープ1の上面に接
近し、TCPを打ち抜く。
Next, when the upward movement of the rod 43, that is, the upward movement of the die 32 is restricted by the stopper member 51, as shown in FIG. While the movement of the rod 43 is restricted by the member 51, only the remaining stroke L2 (= L-L1) after the rod body 43 is supported by the slide guide portion 50, the cylinder body 42 overcomes the urging force of the spring 52 and moves downward. . Then, the base 41 and the punch 31 connected to the cylinder body 42 also move downward. The lowered punch 31 approaches the upper surface of the TCP tape 1 and punches out the TCP.

【0035】このように、シリンダ本体42及びロッド
43、スライドガイド部50、ベース41,パンチガイ
ド部45、連結部材44、ストッパ部材51によって、
TCPテープ1の走行中にはダイス(支持装置)32を
TCPテープ1の下面から離間し、パンチ31による打
ち抜き動作の際には、ダイス32をTCPテープ1の下
面と近接させて支持するように移動する移動装置300
が構成されている。
As described above, by the cylinder body 42 and the rod 43, the slide guide portion 50, the base 41, the punch guide portion 45, the connecting member 44, and the stopper member 51,
The die (supporting device) 32 is separated from the lower surface of the TCP tape 1 while the TCP tape 1 is running, and the die 32 is supported close to the lower surface of the TCP tape 1 during the punching operation by the punch 31. Moving device 300 that moves
Is configured.

【0036】打ち抜き動作が終了したら、ロッド43が
下降し、これに伴ってダイス32が下降するとともにパ
ンチ31が上昇し、元の待機位置まで戻る。
When the punching operation is completed, the rod 43 descends, the die 32 descends accordingly, and the punch 31 ascends to return to the original standby position.

【0037】以上説明したように、TCPのデバイスを
打ち抜く際、下面をダイス32で支持することにより、
TCPテープ1はパンチ31の下降に伴う反りを生じな
い。したがって、打ち抜かれるべきTCPに隣接する他
のTCPに対してTCPテープ1の反りに起因する力が
作用しない。したがって、不良TCPを打ち抜く際の力
が良品TCPに悪影響を及ぼすことを防止できる。ま
た、TCPテープ1の走行中には、ダイス32はTCP
テープ1から離間しているので、TCPテープ1に実装
されているTCPとダイス32との干渉を発生させず、
安定した走行を実現できる。
As described above, when the TCP device is punched out, by supporting the lower surface with the die 32,
The TCP tape 1 does not warp as the punch 31 descends. Therefore, the force due to the warp of the TCP tape 1 does not act on other TCPs adjacent to the TCP to be punched. Therefore, it is possible to prevent the force for punching out the bad TCP from adversely affecting the good TCP. Also, while the TCP tape 1 is running, the die 32 is TCP
Since it is separated from the tape 1, the TCP mounted on the TCP tape 1 does not interfere with the die 32,
Stable running can be realized.

【0038】ダイス32やパンチ31のTCPテープ1
に対する接離方向の移動動作やパンチ31の打ち抜き動
作は、試験装置200の試験結果に基づいて制御される
ので、試験結果に基づいて不良なTCPを確実にリジェ
クトできる。
TCP tape 1 for die 32 and punch 31
Since the moving operation in the contacting / separating direction and the punching operation of the punch 31 are controlled based on the test result of the test apparatus 200, the defective TCP can be reliably rejected based on the test result.

【0039】ダイス32やパンチ31のTCPテープ1
に対する接離方向の移動動作やパンチ31の打ち抜き動
作においては、TCP用ハンドラ100はTCPテープ
1の走行を停止するので、TCPテープ1に実装されて
いる良品のTCPはダイス32から衝撃を受けず、また
不良なTCPは安定して支持されてから打ち抜かれる。
TCP tape 1 for die 32 and punch 31
Since the TCP handler 100 stops the running of the TCP tape 1 in the moving operation in the contacting / separating direction with respect to and the punching operation of the punch 31, the non-defective TCP mounted on the TCP tape 1 does not receive an impact from the die 32. Also, a bad TCP is punched after being stably supported.

【0040】TCPテープ1に対して下方からダイス3
2を接触させた後、上方からパンチ31がTCPテープ
1に接近することにより、パンチ31の打ち抜き動作時
においてTCPテープ1をダイス32によって確実に支
持できる。したがって、打ち抜き動作は安定する。
Dice 3 from below with respect to TCP tape 1
After the two are brought into contact with each other, the punch 31 approaches the TCP tape 1 from above, so that the TCP tape 1 can be reliably supported by the die 32 during the punching operation of the punch 31. Therefore, the punching operation is stable.

【0041】また、本実施形態においては、TCPテー
プ1に対するダイス32の接近動作とパンチ31の接近
動作とを1つのシリンダで兼ねるので装置構成をシンプ
ルかつコンパクト化できる。
Further, in the present embodiment, one cylinder serves both the approaching operation of the die 32 and the approaching operation of the punch 31 with respect to the TCP tape 1, so that the apparatus structure can be made simple and compact.

【0042】シリンダ本体42に固定されたベース41
とストッパ部材51との間にばね52を設けたことによ
り、非打ち抜き動作時においてベース41は落下せず、
打ち抜き動作時において、1つのシリンダによってダイ
ス32をTCPテープ1に接近させてからパンチ31を
TCPテープ1に接近できる。
Base 41 fixed to cylinder body 42
By providing the spring 52 between the stopper member 51 and the stopper member 51, the base 41 does not drop during the non-punching operation,
During the punching operation, the die 32 can be brought closer to the TCP tape 1 and then the punch 31 can be brought closer to the TCP tape 1 by one cylinder.

【0043】[0043]

【発明の効果】TCPのデバイスを打ち抜く際、TCP
テープの一方の面を支持装置で支持するようにしたの
で、TCPテープにはパンチ装置の動作に伴う反りが生
じない。したがって、打ち抜かれるべきTCPに隣接す
る他のTCPに対してTCPテープの反りに起因する力
は作用せず、所定のTCPを打ち抜く際の力が他のTC
Pに悪影響を及ぼすことを防止できる。また、TCPテ
ープの走行中には、支持装置をTCPテープから離間さ
せているので、TCPテープに実装されているTCPと
支持装置とは干渉せず、安定した走行を実現できる。
When the TCP device is punched out, the TCP
Since one side of the tape is supported by the supporting device, the TCP tape does not warp due to the operation of the punching device. Therefore, the force due to the warp of the TCP tape does not act on other TCPs adjacent to the TCP to be punched, and the force when punching a predetermined TCP is different from that of other TCs.
It is possible to prevent P from being adversely affected. Further, since the supporting device is separated from the TCP tape during the traveling of the TCP tape, the TCP mounted on the TCP tape and the supporting device do not interfere with each other, and stable traveling can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】TCP用ハンドラのうち、本発明に係るパンチ
装置の概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a punch device according to the present invention in a TCP handler.

【図2】パンチ装置の動作を説明する図である。FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the punch device.

【図3】TCP用ハンドラの全体概略図である。FIG. 3 is an overall schematic diagram of a TCP handler.

【図4】TCPテープを示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a TCP tape.

【図5】従来のパンチ装置を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a conventional punching device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 TCPテープ 30 リジェクトパンチ部(パンチ装置) 31 パンチ(パンチ装置) 32 ダイス(支持装置) 50 スライドガイド部 42 シリンダ本体 43 ロッド 51 ストッパ部材 52 ばね(付勢部材) 100 TCP用ハンドラ 200 試験装置 300 移動装置 CONT 制御装置 1 TCP tape 30 Reject punch part (punch device) 31 punch (punch device) 32 dies (supporting device) 50 Slide guide section 42 Cylinder body 43 rod 51 Stopper member 52 Spring (biasing member) 100 TCP handler 200 test equipment 300 mobile devices CONT control device

フロントページの続き Fターム(参考) 2G003 AA07 AD09 AF06 AG08 AG11 AG16 AH07 4M106 AA20 BA01 CA70 DD03 DD10 DD23 DG03 DG09 DG26 DG29Continued front page    F-term (reference) 2G003 AA07 AD09 AF06 AG08 AG11                       AG16 AH07                 4M106 AA20 BA01 CA70 DD03 DD10                       DD23 DG03 DG09 DG26 DG29

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フィルムにデバイスを貼付したTCPが
複数連接されたTCPテープを走行させ、前記TCPテ
ープの走行経路中に前記デバイスと接続することにより
各デバイスを試験装置で試験するTCP用ハンドラにお
いて、 前記走行経路中に設けられ、前記TCPを前記TCPテ
ープの一方の面から打ち抜き可能なパンチ装置と、 前記TCPテープを挟んで前記パンチ装置と反対側に、
前記TCPテープの他方の面に対して接離方向に移動可
能に設けられ、前記他方の面を支持可能な支持装置と、 前記TCPテープの走行中には前記支持装置を前記他方
の面に対して離間するように移動し、前記打ち抜き動作
の際には前記支持装置を前記他方の面に対して近接させ
るように移動する移動装置とを備えることを特徴とする
TCP用ハンドラ。
1. A TCP handler for testing each device by a test apparatus by running a TCP tape in which a plurality of TCPs each having a device attached to a film are connected and connected to the device in a running path of the TCP tape. A punching device that is provided in the traveling path and that can punch out the TCP from one surface of the TCP tape; and a punching device that is on the opposite side of the punching device with the TCP tape interposed therebetween.
A supporting device which is provided so as to be movable toward and away from the other surface of the TCP tape and is capable of supporting the other surface; and a supporting device for supporting the other surface while the TCP tape is running. And a moving device that moves so that the supporting device moves closer to the other surface during the punching operation.
【請求項2】 前記移動装置の移動動作及び前記パンチ
装置の打ち抜き動作を制御する制御装置を備え、 前記試験装置は試験結果を前記制御装置に出力し、 前記制御装置は前記試験装置の試験結果に応じて前記移
動動作及び前記打ち抜き動作を制御することを特徴とす
る請求項1記載のTCP用ハンドラ。
2. A control device for controlling a movement operation of the moving device and a punching operation of the punch device, wherein the test device outputs a test result to the control device, and the control device outputs a test result of the test device. 2. The TCP handler according to claim 1, wherein the moving operation and the punching operation are controlled in accordance with the above.
【請求項3】 前記制御装置は、前記移動動作及び前記
打ち抜き動作の際、前記TCPテープの走行を停止する
ことを特徴とする請求項2記載のTCP用ハンドラ。
3. The TCP handler according to claim 2, wherein the control device stops the running of the TCP tape during the moving operation and the punching operation.
【請求項4】 前記移動装置は、前記パンチ装置を前記
TCPテープに対して接離方向に移動可能に支持し、前
記支持装置を前記TCPテープの他方の面に近接させた
後、前記パンチ装置を前記TCPテープの一方の面に接
近させることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項記
載のTCP用ハンドラ。
4. The punching device, wherein the moving device supports the punching device so that the punching device can move in a contacting / separating direction with respect to the TCP tape, and the supporting device is brought close to the other surface of the TCP tape. 4. The TCP handler according to any one of claims 1 to 3, wherein the TCP handler is brought close to one surface of the TCP tape.
【請求項5】 前記移動装置は、シリンダ本体と、 前記シリンダ本体を軸方向に移動可能に支持するスライ
ドガイド部と、 前記シリンダ本体に対して所定ストロークで出入可能な
ロッドと、 前記ロッドの前記シリンダ本体に対する最も出た位置か
ら挿入方向への移動を所定位置で規制するストッパ部材
とを備え、 前記所定ストロークのうち、前記ストッパ部材によって
前記ロッドの移動が規制された後の残りストロークだけ
前記シリンダ本体は前記スライドガイド部に支持されな
がら軸方向に移動するように設けられ、 前記支持装置は前記ロッドに接続され、前記パンチ装置
は前記シリンダ本体に接続されていることを特徴とする
請求項4記載のTCP用ハンドラ。
5. The moving device includes a cylinder body, a slide guide portion that movably supports the cylinder body in an axial direction, a rod that can move in and out with respect to the cylinder body with a predetermined stroke, and the rod of the rod. A stopper member for restricting a movement in the insertion direction from the most extended position with respect to the cylinder body at a predetermined position, and for the remaining stroke of the predetermined stroke after the movement of the rod is restricted by the stopper member, The main body is provided so as to move in the axial direction while being supported by the slide guide portion, the supporting device is connected to the rod, and the punching device is connected to the cylinder main body. The described TCP handler.
【請求項6】 前記シリンダ本体と前記ストッパ部材と
の間に、前記シリンダ本体と前記ストッパ部材とが離間
する方向に付勢力を有する付勢部材を設けたことを特徴
とする請求項5記載のTCP用ハンドラ。
6. The urging member having an urging force in a direction in which the cylinder body and the stopper member are separated from each other, is provided between the cylinder body and the stopper member. Handler for TCP.
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